JPH0814889B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH0814889B2 JPH0814889B2 JP62033258A JP3325887A JPH0814889B2 JP H0814889 B2 JPH0814889 B2 JP H0814889B2 JP 62033258 A JP62033258 A JP 62033258A JP 3325887 A JP3325887 A JP 3325887A JP H0814889 B2 JPH0814889 B2 JP H0814889B2
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体とくに垂直磁気記録方式に適
した垂直磁気記録媒体に関する。
した垂直磁気記録媒体に関する。
まず垂直磁気記録方式について説明する。この方式は
磁気記録媒体膜面に垂直方向に磁気記録を行うものであ
り、高密度磁気記録に際して各ビツト内の反磁界が小さ
いために磁気記録密度を上げるのに適した方式である。
この目的のために使用される磁気記録媒体としては、Co
-Cr,Co-V,Co-Mo,Co-W,Co-Rn,Co-Re,Co-O,Co-Cr-Rh,Co-C
r-Ru,Co-Ni-OなどのCo基合金薄膜を用いたものがある。
これらの磁性薄膜を構成するCo基合金は、最密六方格子
（hcp）構造を持ち、薄膜を構成する微結晶粒がＣ軸配
向し易いという特徴がある。そしてこれらCo基合金薄膜
はＣ軸方向に強い結晶磁気異方性をもつ。そして、これ
ら垂直磁気記録媒体を用いて、磁気記録特性（例えば、
記録密度，記録再生の感度）を上げるためには、薄膜の
Ｃ軸配向度を向上すると共に、膜の保磁力（膜の垂直方
向）を大きくすることが必要である。磁気記録感度を上
げるためには、アイ・イー・イー・イー，トランザクシ
ヨン オン マグネチツクス，エム エー ジー15、
（IEEE Trans.Magnetics,MAG-15）,1456（1979）におけ
る岩崎らの“垂直磁気記録媒体”と題する文献において
論じられているように、Co基合金薄膜の下部にパーマロ
イなどの軟磁性材料の薄膜層を設ける方法が知られてい
る。
磁気記録媒体膜面に垂直方向に磁気記録を行うものであ
り、高密度磁気記録に際して各ビツト内の反磁界が小さ
いために磁気記録密度を上げるのに適した方式である。
この目的のために使用される磁気記録媒体としては、Co
-Cr,Co-V,Co-Mo,Co-W,Co-Rn,Co-Re,Co-O,Co-Cr-Rh,Co-C
r-Ru,Co-Ni-OなどのCo基合金薄膜を用いたものがある。
これらの磁性薄膜を構成するCo基合金は、最密六方格子
（hcp）構造を持ち、薄膜を構成する微結晶粒がＣ軸配
向し易いという特徴がある。そしてこれらCo基合金薄膜
はＣ軸方向に強い結晶磁気異方性をもつ。そして、これ
ら垂直磁気記録媒体を用いて、磁気記録特性（例えば、
記録密度，記録再生の感度）を上げるためには、薄膜の
Ｃ軸配向度を向上すると共に、膜の保磁力（膜の垂直方
向）を大きくすることが必要である。磁気記録感度を上
げるためには、アイ・イー・イー・イー，トランザクシ
ヨン オン マグネチツクス，エム エー ジー15、
（IEEE Trans.Magnetics,MAG-15）,1456（1979）におけ
る岩崎らの“垂直磁気記録媒体”と題する文献において
論じられているように、Co基合金薄膜の下部にパーマロ
イなどの軟磁性材料の薄膜層を設ける方法が知られてい
る。
現在用いられている垂直磁気記録媒体は、ポリイミ
ド，ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチツクフ
イルム類、あるいはAl,ガラス板などの非磁性基板上
に、直接Co基合金薄膜を付着せしめるか、もしくは上記
基板上にパーマロイなどの軟磁性薄層を介してCo基合金
薄膜を形成せしめたものである。またCo基合金薄膜の形
成方法においても、薄膜形成時の基板温度，形成速度、
およびCo基合金の組成もできるだけ一定に保つ工夫がな
されている。
ド，ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチツクフ
イルム類、あるいはAl,ガラス板などの非磁性基板上
に、直接Co基合金薄膜を付着せしめるか、もしくは上記
基板上にパーマロイなどの軟磁性薄層を介してCo基合金
薄膜を形成せしめたものである。またCo基合金薄膜の形
成方法においても、薄膜形成時の基板温度，形成速度、
およびCo基合金の組成もできるだけ一定に保つ工夫がな
されている。
磁気記録用媒体を高密度にするためには、媒体の膜厚
はできるだけ薄く、Ｃ軸配向度が優れており、また柱状
晶粒径の大きさも一様に揃つていることが望ましい。ま
た、磁気記録再生感度を向上するには、Co基合金薄膜の
垂直方向の保磁力を大きくし、媒体の膜厚を厚くする必
要がある。しかし、この場合、磁気ヘツドによる記録再
生が極めて困難になるという欠点があつた。
はできるだけ薄く、Ｃ軸配向度が優れており、また柱状
晶粒径の大きさも一様に揃つていることが望ましい。ま
た、磁気記録再生感度を向上するには、Co基合金薄膜の
垂直方向の保磁力を大きくし、媒体の膜厚を厚くする必
要がある。しかし、この場合、磁気ヘツドによる記録再
生が極めて困難になるという欠点があつた。
上記従来技術はCo基合金薄膜の垂直方向の保磁力の大
きさについては配慮がされていなかつた。
きさについては配慮がされていなかつた。
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消した
ものであつて、垂直磁気記録用媒体の垂直磁化膜とし
て、非磁性基板上、あるいは軟磁性薄膜層を設けた非磁
性基板上に形成させるCo基合金薄膜のＣ軸配向度と柱状
結晶粒径をを制御し、特にCo基合金薄膜の膜厚方向の保
磁力の大きさを制御してCo基合金薄膜を形成することに
よつて、磁気記録再生感度に優れた高密度磁気記録に好
適な垂直磁気記録媒体を提供することにある。
ものであつて、垂直磁気記録用媒体の垂直磁化膜とし
て、非磁性基板上、あるいは軟磁性薄膜層を設けた非磁
性基板上に形成させるCo基合金薄膜のＣ軸配向度と柱状
結晶粒径をを制御し、特にCo基合金薄膜の膜厚方向の保
磁力の大きさを制御してCo基合金薄膜を形成することに
よつて、磁気記録再生感度に優れた高密度磁気記録に好
適な垂直磁気記録媒体を提供することにある。
本発明は、以下に示す知見に基づいて完成されたもの
である。すなわち、最密六方格子構造（以下hcp構造と
いう）のCoは、そのＣ軸方向に大きな結晶磁気異方性を
有し、これにCr,V,Moなどの元素を添加して非磁性基板
上にCo基合金薄膜を形成すれば、Ｃ軸を膜面に垂直方向
に配向させた垂直磁化膜が得られ、また添加元素の組成
や、膜の形成温度を変化することにより、飽和磁化や保
磁力の大きさを変化できることは知られている。いま、
Co基合金薄膜として、Co-Cr合金膜を例に上げて本発明
の内容を説明する。非磁性基板上にCo-Cr合金磁性膜を
形成し、磁性膜の磁気特性、組成と微細構造の関係につ
いて、振動試料型磁力計やカー回転角の測定,X線マイク
ロアナライザやオージエ電子分光法及び電子顕微鏡によ
る断面観察などにより調べた。その結果、Co-Cr合金磁
性膜の垂直方向の保磁力と膜組成の間には、Cr添加物濃
度の組成によつて保磁力の大きさを制御でき、15〜28wt
％Crの範囲のCo-Cr合金組成において、垂直方向の保磁
力の大きさをほぼ比例的に制御でき、Cr添加量を少なく
することにより保磁力を大きくできることを見出した。
また、Co-Cr合金磁性膜の垂直方向の保磁力と膜の微細
構造の関係について調べた結果、Co-Cr合金膜の柱状結
晶の粒径と保磁力の大きさに相関があり、粒径の大きさ
を大きくすると保磁力が大きくなることを見出した。さ
らに、柱状結晶の粒径は、磁性膜の形成温度や形成速度
を変化することによつて制御でき、形成温度を高く、ま
た形成速度を遅くすると柱状結晶粒径は大きくなること
がわかつた。
である。すなわち、最密六方格子構造（以下hcp構造と
いう）のCoは、そのＣ軸方向に大きな結晶磁気異方性を
有し、これにCr,V,Moなどの元素を添加して非磁性基板
上にCo基合金薄膜を形成すれば、Ｃ軸を膜面に垂直方向
に配向させた垂直磁化膜が得られ、また添加元素の組成
や、膜の形成温度を変化することにより、飽和磁化や保
磁力の大きさを変化できることは知られている。いま、
Co基合金薄膜として、Co-Cr合金膜を例に上げて本発明
の内容を説明する。非磁性基板上にCo-Cr合金磁性膜を
形成し、磁性膜の磁気特性、組成と微細構造の関係につ
いて、振動試料型磁力計やカー回転角の測定,X線マイク
ロアナライザやオージエ電子分光法及び電子顕微鏡によ
る断面観察などにより調べた。その結果、Co-Cr合金磁
性膜の垂直方向の保磁力と膜組成の間には、Cr添加物濃
度の組成によつて保磁力の大きさを制御でき、15〜28wt
％Crの範囲のCo-Cr合金組成において、垂直方向の保磁
力の大きさをほぼ比例的に制御でき、Cr添加量を少なく
することにより保磁力を大きくできることを見出した。
また、Co-Cr合金磁性膜の垂直方向の保磁力と膜の微細
構造の関係について調べた結果、Co-Cr合金膜の柱状結
晶の粒径と保磁力の大きさに相関があり、粒径の大きさ
を大きくすると保磁力が大きくなることを見出した。さ
らに、柱状結晶の粒径は、磁性膜の形成温度や形成速度
を変化することによつて制御でき、形成温度を高く、ま
た形成速度を遅くすると柱状結晶粒径は大きくなること
がわかつた。
上記知見をもとに、本発明者らは、非磁性基板上にCo
-Cr合金磁性膜の垂直方向の保磁力を連続的に又は、段
階的に変化させ基板界面側の保磁力を小さくし、磁性膜
の表面側の保磁力を大きくなるように形成した垂直磁気
記録媒体を用いれば、磁気ヘツド、特にリング型磁気ヘ
ツドを用いた時の記録再生効率を向上でき、高密度磁気
記録が可能であることを見出した。保磁力を段階的に変
化させるには保磁力の異なる多層膜を積層すればよい。
-Cr合金磁性膜の垂直方向の保磁力を連続的に又は、段
階的に変化させ基板界面側の保磁力を小さくし、磁性膜
の表面側の保磁力を大きくなるように形成した垂直磁気
記録媒体を用いれば、磁気ヘツド、特にリング型磁気ヘ
ツドを用いた時の記録再生効率を向上でき、高密度磁気
記録が可能であることを見出した。保磁力を段階的に変
化させるには保磁力の異なる多層膜を積層すればよい。
さらに本発明者らは、垂直磁化膜であるCo基合金とし
て、Co-Cr以外に、例えばCo-V,Co-Mo,Co-W,Co-Ruなどを
用いても同様の効果を確認している。
て、Co-Cr以外に、例えばCo-V,Co-Mo,Co-W,Co-Ruなどを
用いても同様の効果を確認している。
また、本発明者らは、垂直磁化膜であるCo基合金薄膜
の下層に、Co系の非晶質軟磁性薄膜、例えばCo-Mo-Zr,C
o-Mo-Nb,Co-W-Nb,Co-Nb-Zr薄膜、または他の高透磁率磁
性薄膜を形成させた磁気記録媒体においても、上述のCo
基合金垂直磁化膜の保磁力を変化させるように膜を形成
することにより、記録再生効率を向上できることを確認
した。
の下層に、Co系の非晶質軟磁性薄膜、例えばCo-Mo-Zr,C
o-Mo-Nb,Co-W-Nb,Co-Nb-Zr薄膜、または他の高透磁率磁
性薄膜を形成させた磁気記録媒体においても、上述のCo
基合金垂直磁化膜の保磁力を変化させるように膜を形成
することにより、記録再生効率を向上できることを確認
した。
本発明において、多層化したCo基合金磁性膜とすると
き、その１層の厚さは、20Å未満では１層ごとの連続膜
を形成するには不十分であり、20Å以上とすることが望
ましい。１層の膜厚が5000Å以上となつても、本発明の
効果は同じであるが、垂直磁気記録用媒体としては全体
の膜厚が3000Å程度で用いられることから、その膜厚は
3000Å以下が望ましく、実用的にいつて、さらに望まし
い１層の膜厚の範囲は、50〜1000Åである。
き、その１層の厚さは、20Å未満では１層ごとの連続膜
を形成するには不十分であり、20Å以上とすることが望
ましい。１層の膜厚が5000Å以上となつても、本発明の
効果は同じであるが、垂直磁気記録用媒体としては全体
の膜厚が3000Å程度で用いられることから、その膜厚は
3000Å以下が望ましく、実用的にいつて、さらに望まし
い１層の膜厚の範囲は、50〜1000Åである。
本発明の磁気記録媒体における薄膜の形成方法は、真
空蒸着法、高周波スパツタリング法，イオンビームスパ
ツタリング法などの物理蒸着法を用いることができ、ま
た磁性薄膜の保磁力の制御法としては、磁性膜の組成の
他に薄膜形成時の基板温度の制御および薄膜の形成速度
の調整の他に、例えばスパツタリング法で形成させる場
合には、スパツタリングの出力やAr圧力などを変化させ
ても保磁力の大きさは制御できる。
空蒸着法、高周波スパツタリング法，イオンビームスパ
ツタリング法などの物理蒸着法を用いることができ、ま
た磁性薄膜の保磁力の制御法としては、磁性膜の組成の
他に薄膜形成時の基板温度の制御および薄膜の形成速度
の調整の他に、例えばスパツタリング法で形成させる場
合には、スパツタリングの出力やAr圧力などを変化させ
ても保磁力の大きさは制御できる。
ヘツドの磁界の強さは、端面からの距離に反比例して
弱くなる。このためヘツドの磁界強度に比べて、大きな
保磁力を持つ記録媒体では、媒体の表面部分でのみしか
磁気記録がされないので記録再生特性が悪い。一方、小
さな保磁力の媒体では、媒体の表面から下面まで磁気記
録されるが、十分な再生出力が得られない。本発明のご
とく、ヘツド磁界強度の分布に対応して、媒体の表面側
の保磁力を大きくし、下面に向つて順次保磁力を低下し
た媒体を用いることにより、媒体の表面から下面部まで
十分な磁気記録が行われるため、記録再生特性を向上で
きる。
弱くなる。このためヘツドの磁界強度に比べて、大きな
保磁力を持つ記録媒体では、媒体の表面部分でのみしか
磁気記録がされないので記録再生特性が悪い。一方、小
さな保磁力の媒体では、媒体の表面から下面まで磁気記
録されるが、十分な再生出力が得られない。本発明のご
とく、ヘツド磁界強度の分布に対応して、媒体の表面側
の保磁力を大きくし、下面に向つて順次保磁力を低下し
た媒体を用いることにより、媒体の表面から下面部まで
十分な磁気記録が行われるため、記録再生特性を向上で
きる。
以下に本発明の一実施例を挙げ、図面を参照しながら
さらに詳細に説明する。図において同一符号を付したも
のは、同じ性能特性を有する部分を示す。
さらに詳細に説明する。図において同一符号を付したも
のは、同じ性能特性を有する部分を示す。
実施例１ ガライ基板を用いて、第１図に示す構造の多層の磁性
膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体を、高周波スパツタ
リング法により、以下に示す手順で作製した。
膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体を、高周波スパツタ
リング法により、以下に示す手順で作製した。
本実施例に用いた高周波スパツタ装層では、各各組成
の異なる４種類のCo-Cr合金ターゲツトを設置でき、本
実施例では、Co-27wt％Cr,Co-24wt％Cr,Co-21wt％Cr,Co
-18wt％Crから成るCo-Cr合金ターゲツトを用いた。まず
基板１を温度120℃に設定し、Ar圧力5mTorr,スパツタリ
ングにおける高周波出力4W/cm2の条件でCo-27wt％Crか
ら成る第１の磁性層２を厚さ500Åに形成した。つぎに
同一雰囲気中で前記と同一の条件でCo-24wt％Crから成
る第２の磁性層３を、ついでCo-21wt％Crから成る第３
の磁性層４を、ついでCo-18wt％Crから成る第４の磁性
層５を各々300Åの厚さ形成し、全膜厚1400Åの多層の
磁性膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製した。
の異なる４種類のCo-Cr合金ターゲツトを設置でき、本
実施例では、Co-27wt％Cr,Co-24wt％Cr,Co-21wt％Cr,Co
-18wt％Crから成るCo-Cr合金ターゲツトを用いた。まず
基板１を温度120℃に設定し、Ar圧力5mTorr,スパツタリ
ングにおける高周波出力4W/cm2の条件でCo-27wt％Crか
ら成る第１の磁性層２を厚さ500Åに形成した。つぎに
同一雰囲気中で前記と同一の条件でCo-24wt％Crから成
る第２の磁性層３を、ついでCo-21wt％Crから成る第３
の磁性層４を、ついでCo-18wt％Crから成る第４の磁性
層５を各々300Åの厚さ形成し、全膜厚1400Åの多層の
磁性膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製した。
また、４層の磁性膜から成Co-Cr垂直磁気記録媒体６
において、各々第1,第2,第３の磁性層の上層の磁性膜を
形成しない媒体を作製して、カー効果を利用して各々の
磁性層の垂直方向の保磁力を測定し、その結果の一例を
第１表に示した。
において、各々第1,第2,第３の磁性層の上層の磁性膜を
形成しない媒体を作製して、カー効果を利用して各々の
磁性層の垂直方向の保磁力を測定し、その結果の一例を
第１表に示した。
第１表に示すごとく、各々組成を変化した多層のCo-C
r磁性膜を形成することにより、各磁性層において垂直
方向の保磁力を制御した膜を形成できた。
r磁性膜を形成することにより、各磁性層において垂直
方向の保磁力を制御した膜を形成できた。
また、比較用として前記と同様の条件で、Co-21wt％C
rの合金ターゲツトを用いて、第２図に示すような膜厚1
400Åの単一層から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製
した。この磁性膜の垂直方向の保磁力は850Oeであつ
た。
rの合金ターゲツトを用いて、第２図に示すような膜厚1
400Åの単一層から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製
した。この磁性膜の垂直方向の保磁力は850Oeであつ
た。
第２表に、本実施例で作製した組成変化により保磁力
を変化した多層のCo-Cr垂直磁気記録媒体と、単一層か
ら成る媒体の記録再生特性を測定した結果の一例を示
す。
を変化した多層のCo-Cr垂直磁気記録媒体と、単一層か
ら成る媒体の記録再生特性を測定した結果の一例を示
す。
第２表に示すごとく、各々組成を変化し、下層に比べ
て上層の保磁力を大きくしたり多層のCo-Cr磁性膜を形
成することにより、垂直磁気記録における記録再生特性
を大幅に向上できた。
て上層の保磁力を大きくしたり多層のCo-Cr磁性膜を形
成することにより、垂直磁気記録における記録再生特性
を大幅に向上できた。
実施例２ ポリイミドフイルムを基板１にして、第１図と同様の
構造の多層の磁性膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体
を、第３図に示す真空蒸着法により、以下の手順で作製
した。
構造の多層の磁性膜から成るCo-Cr垂直磁気記録媒体
を、第３図に示す真空蒸着法により、以下の手順で作製
した。
１×10-6Torrの真空中で、第１のキヤンローラ７を11
0℃に加熱して、第１の蒸着源８からCo-22wt％Crを1000
Å/Sの速度で500Åの厚さに蒸着した。ついで同一真空
中で第２のキヤンローラ７を150℃に加熱して第２の蒸
発源８からCo-22wt％Crを1000Å/Sの速度で300Åの厚さ
に蒸着した。さらに同一真空中で第３のキヤンローラ７
を190℃に加熱して、第３の蒸発源８からCo-22wt％Crを
1000Å/Sの速度で300Åの厚さに蒸着した。最後に同様
の真空中で第４のキヤンローラ７を230℃に加熱して、
第４の蒸発源８からCo-22wt％Crを1000Å/Sの速度で300
Åの厚さ蒸着し、全膜厚1400ÅのCo-Cr垂直磁気記録媒
体６を作製した。
0℃に加熱して、第１の蒸着源８からCo-22wt％Crを1000
Å/Sの速度で500Åの厚さに蒸着した。ついで同一真空
中で第２のキヤンローラ７を150℃に加熱して第２の蒸
発源８からCo-22wt％Crを1000Å/Sの速度で300Åの厚さ
に蒸着した。さらに同一真空中で第３のキヤンローラ７
を190℃に加熱して、第３の蒸発源８からCo-22wt％Crを
1000Å/Sの速度で300Åの厚さに蒸着した。最後に同様
の真空中で第４のキヤンローラ７を230℃に加熱して、
第４の蒸発源８からCo-22wt％Crを1000Å/Sの速度で300
Åの厚さ蒸着し、全膜厚1400ÅのCo-Cr垂直磁気記録媒
体６を作製した。
本実施例におけるCo-Cr垂直磁気記録媒体６の断面試
料をArイオンシニング法により作製して、透過電子顕微
鏡観察によりCo-Cr柱状結晶の粒径を測定した。また実
施例１と同様の方法で第１〜第４層の各々の保磁力の大
きさをカー効果を利用して測定し、その結果の一例を第
３表に示した。
料をArイオンシニング法により作製して、透過電子顕微
鏡観察によりCo-Cr柱状結晶の粒径を測定した。また実
施例１と同様の方法で第１〜第４層の各々の保磁力の大
きさをカー効果を利用して測定し、その結果の一例を第
３表に示した。
第３表に示すごとく、各々形成温度を変化して形成し
た多層のCo-Cr磁性膜は、各々の磁性膜において柱状結
晶粒径を順次制御でき、また、保磁力の大きさを制御し
た膜を形成できた。
た多層のCo-Cr磁性膜は、各々の磁性膜において柱状結
晶粒径を順次制御でき、また、保磁力の大きさを制御し
た膜を形成できた。
また、比較用として前記と同様の蒸着装置を用いて、
キヤンローラ７を190℃に加熱して、蒸発源８からCo-22
wt％Crを1000Å/Sの速度で1400Åの厚さ蒸着した単一層
のCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製した。この磁性膜の
垂直方向の保磁力は、820Oeであつた。
キヤンローラ７を190℃に加熱して、蒸発源８からCo-22
wt％Crを1000Å/Sの速度で1400Åの厚さ蒸着した単一層
のCo-Cr垂直磁気記録媒体６を作製した。この磁性膜の
垂直方向の保磁力は、820Oeであつた。
第４表に、本実施例で作製した柱状結晶粒径の変化に
より保磁力を変化した多層のCo-Cr垂直磁化膜と、単一
層から成る媒体の記録再生特性を測定した結果の一例を
示す。
より保磁力を変化した多層のCo-Cr垂直磁化膜と、単一
層から成る媒体の記録再生特性を測定した結果の一例を
示す。
第４表に示すごとく、各々柱状結晶粒径を下層より上
層で大きくし、下層に比べて上層の保磁力を大きくした
多層のCo-Cr磁性膜を形成することにより、垂直磁気記
録における記録再生特性を大幅に向上できた。
層で大きくし、下層に比べて上層の保磁力を大きくした
多層のCo-Cr磁性膜を形成することにより、垂直磁気記
録における記録再生特性を大幅に向上できた。
実施例３ 第４図に示すごとく、多層のCo-Cr磁性膜６の下層
（基板１の上層）に、Co-Mo-Zr合金の非晶質軟磁性薄膜
９を設けた垂直磁気記録媒体を、高周波スパツタリング
装置により、基板温度150℃,Ar圧力5mTorr,スパツタリ
ングにおける高周波出力4W/cm2の条件で、Co-0.2at％Zr
-0.7at％Moからなる非晶質の軟磁性薄膜９を5000Åの厚
さに形成させた以外は上述の実施例１と同じ手順によつ
て作製した。
（基板１の上層）に、Co-Mo-Zr合金の非晶質軟磁性薄膜
９を設けた垂直磁気記録媒体を、高周波スパツタリング
装置により、基板温度150℃,Ar圧力5mTorr,スパツタリ
ングにおける高周波出力4W/cm2の条件で、Co-0.2at％Zr
-0.7at％Moからなる非晶質の軟磁性薄膜９を5000Åの厚
さに形成させた以外は上述の実施例１と同じ手順によつ
て作製した。
この場合においても、各層のCo-Cr磁性膜の保磁力、
及び記録再生特性は実施例１における第1,第２表に示し
た結果とほぼ同等の性能特性を得ることができた。
及び記録再生特性は実施例１における第1,第２表に示し
た結果とほぼ同等の性能特性を得ることができた。
以上の実施例では、Co基合金磁性膜の一例として、Co
-Cr磁性薄膜の場合について述べたが、他のCo基合金磁
性薄膜であるCo-Ru,Co-V,Co-Mo,Co-W,Co-Re,Co-O,Co-Cr
-Rh,Co-Cr-Ru,Co-Ni-Oなどを用いても同等の効果を得る
ことができた。
-Cr磁性薄膜の場合について述べたが、他のCo基合金磁
性薄膜であるCo-Ru,Co-V,Co-Mo,Co-W,Co-Re,Co-O,Co-Cr
-Rh,Co-Cr-Ru,Co-Ni-Oなどを用いても同等の効果を得る
ことができた。
また、軟磁性薄膜としては、Co-Mo-Zrの非晶質薄膜の
他に、他のCo系非晶質薄膜、例えばCo-Mo-Nb,Co-W-Nb,C
o-Nb-Zrなど、およびその他の高透磁率の材料であつて
も同等の効果を得ることができた。
他に、他のCo系非晶質薄膜、例えばCo-Mo-Nb,Co-W-Nb,C
o-Nb-Zrなど、およびその他の高透磁率の材料であつて
も同等の効果を得ることができた。
以上詳細に説明したごとく、本発明の磁気記録媒体に
おいては、垂直磁化膜であるCo基合金薄膜を形成するに
あたつて、Co基合金薄膜の保磁力が下層部に比べて上層
部が大きくなつた多層のCo基合金薄膜とすることによ
り、垂直磁気記録における線記録密度や再生出力などの
磁気記録再生効率が大幅に改善される。この場合、下地
層として軟磁性薄膜があつても、あるいは非磁性基板で
あつても有効であり、高密度磁気記録に適した垂直磁気
記録媒体を得ることができ、工業上の利用価値は極めて
大きい。
おいては、垂直磁化膜であるCo基合金薄膜を形成するに
あたつて、Co基合金薄膜の保磁力が下層部に比べて上層
部が大きくなつた多層のCo基合金薄膜とすることによ
り、垂直磁気記録における線記録密度や再生出力などの
磁気記録再生効率が大幅に改善される。この場合、下地
層として軟磁性薄膜があつても、あるいは非磁性基板で
あつても有効であり、高密度磁気記録に適した垂直磁気
記録媒体を得ることができ、工業上の利用価値は極めて
大きい。
第１図は、本発明の実施例１における垂直磁気記録体の
構造を示す断面図、第２図は比較用の垂直磁気記録媒体
の構造を示す断面図、第３図は本発明の実施例２におけ
る製造方法の説明図、第４図は本発明の実施例３におけ
る垂直磁気記録媒体の構造を示す断面図である。 １……基板、２……第１の磁性層、３……第２の磁性
層、４……第３の磁性層、５……第４の磁性層、６……
磁気記録媒体、７……キヤンローラ、８……蒸発源、９
……軟磁性薄膜。
構造を示す断面図、第２図は比較用の垂直磁気記録媒体
の構造を示す断面図、第３図は本発明の実施例２におけ
る製造方法の説明図、第４図は本発明の実施例３におけ
る垂直磁気記録媒体の構造を示す断面図である。 １……基板、２……第１の磁性層、３……第２の磁性
層、４……第３の磁性層、５……第４の磁性層、６……
磁気記録媒体、７……キヤンローラ、８……蒸発源、９
……軟磁性薄膜。
Claims (2)
- 【請求項１】非磁性基板上、もしくは軟磁性薄膜を設け
た非磁性基板上に、強磁性金属薄膜を形成してなる磁気
記録媒体において、前記強磁性金属薄膜がCoと他の金属
からなるCo基合金で構成され、前記Co合金におけるCoの
他の金属に対する比率が下層から表面に向かって順次増
加した積層膜で構成され、前記強磁性金属薄膜を構成す
る結晶粒の平均粒径が下層から表面に向かって順次大き
くなった積層膜で構成されており、前記強磁性金属薄膜
の保磁力が、表面から下層に向かって順次低下した積層
膜となっていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】前記積層膜１層の厚さが20Å以上1000Å以
下であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62033258A JPH0814889B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62033258A JPH0814889B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201912A JPS63201912A (ja) | 1988-08-22 |
| JPH0814889B2 true JPH0814889B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=12381482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62033258A Expired - Lifetime JPH0814889B2 (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814889B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02226515A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JP2798745B2 (ja) * | 1989-11-20 | 1998-09-17 | 日本放送協会 | 垂直磁気記録二層媒体の製造方法 |
| JP2684457B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1997-12-03 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
| US7381282B2 (en) | 2004-04-07 | 2008-06-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Co alloy target and its production method, soft magnetic film for perpendicular magnetic recording and perpendicular magnetic recording medium |
| US7862913B2 (en) | 2006-10-23 | 2011-01-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Oxide magnetic recording layers for perpendicular recording media |
| JP2009238299A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| US8580409B2 (en) | 2009-11-09 | 2013-11-12 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording media having a dual onset layer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56127929A (en) * | 1980-03-07 | 1981-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS59167834A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-21 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP62033258A patent/JPH0814889B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63201912A (ja) | 1988-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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