JPH08146013A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH08146013A JPH08146013A JP28471894A JP28471894A JPH08146013A JP H08146013 A JPH08146013 A JP H08146013A JP 28471894 A JP28471894 A JP 28471894A JP 28471894 A JP28471894 A JP 28471894A JP H08146013 A JPH08146013 A JP H08146013A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】カンチレバー交換時の着脱性、取り付け位置の
微調整を容易にし、走査型プローブ顕微鏡の測定性能を
劣化させないように、常に正常な探針による測定を提供
する。 【構成】先端に探針５ｂを保持したカンチレバー支持体
５ｃを、両端を板バネ１１に固着されたワイヤ１１ａに
よりカンチレバーホルダ部５ａにバネ力により押圧保持
する。
微調整を容易にし、走査型プローブ顕微鏡の測定性能を
劣化させないように、常に正常な探針による測定を提供
する。 【構成】先端に探針５ｂを保持したカンチレバー支持体
５ｃを、両端を板バネ１１に固着されたワイヤ１１ａに
よりカンチレバーホルダ部５ａにバネ力により押圧保持
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、走査型トンネル顕微
鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等に代表され
る走査型プローブ顕微鏡に関する。
鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等に代表され
る走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は、試料とこれに
対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査す
ることにより、探針と試料表面との間の相互作用により
生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの
分解能で測定するもので、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等がこれに該当する。
走査型トンネル顕微鏡は、試料とこれに対向配置した探
針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流
が一定になるよう探針又は試料を走査することにより、
試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察するもので
ある。すなわち、上記トンネル電流が探針と試料との距
離によって一義的に定まるという性質を利用し、このト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料の高さを圧
電素子等による精密駆動機構により制御し、この制御量
を計測することにより試料表面の凹凸を測定するもので
ある。
対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査す
ることにより、探針と試料表面との間の相互作用により
生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの
分解能で測定するもので、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等がこれに該当する。
走査型トンネル顕微鏡は、試料とこれに対向配置した探
針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流
が一定になるよう探針又は試料を走査することにより、
試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察するもので
ある。すなわち、上記トンネル電流が探針と試料との距
離によって一義的に定まるという性質を利用し、このト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料の高さを圧
電素子等による精密駆動機構により制御し、この制御量
を計測することにより試料表面の凹凸を測定するもので
ある。
【０００３】また、原子間力顕微鏡は、カンチレバー等
によって支持される探針を試料表面に近付けることによ
り、探針先端の原子と試料表面の原子との間に生じる微
小な原子間力を測定し、上記原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用し、試料
表面に沿って走査しながらその原子間力が一定となるよ
う探針と試料間の距離を調整して、探針又は試料の高さ
方向の軌跡により試料表面の凹凸形状を測定するもので
ある。
によって支持される探針を試料表面に近付けることによ
り、探針先端の原子と試料表面の原子との間に生じる微
小な原子間力を測定し、上記原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用し、試料
表面に沿って走査しながらその原子間力が一定となるよ
う探針と試料間の距離を調整して、探針又は試料の高さ
方向の軌跡により試料表面の凹凸形状を測定するもので
ある。
【０００４】ここで、かかる走査型プローブ顕微鏡の性
能は探針の微妙な形状に敏感に影響されることから、探
針先端の損傷や汚染は、測定精度に多大な悪影響を与
え、本来四角の形状を有する穴が円形状に測定される等
といった問題を引き起こす。そのため、探針を劣化する
前に交換する必要がある。
能は探針の微妙な形状に敏感に影響されることから、探
針先端の損傷や汚染は、測定精度に多大な悪影響を与
え、本来四角の形状を有する穴が円形状に測定される等
といった問題を引き起こす。そのため、探針を劣化する
前に交換する必要がある。
【０００５】従来の走査型プローブ顕微鏡のカンチレバ
ー部の構成について図３を参照して説明する。５ａは先
端に探針５ｂを保持したシリコン窒化膜製カンチレバー
で、探針５ｂと反対方向の端がカンチレバー支持体５ｃ
に固着されている。５ｄはカンチレバーホルダ部、１５
は押え板で片端を固定用ネジ１６によりカンチレバーホ
ルダ部５ｄに固定されている。カンチレバー支持体５ｃ
は板状のバネ材を材料とした押え板１５によりカンチレ
バーホルダ部５ｄに押圧保持されている。ところで、押
え板１５はカンチレバー支持体５ｃを安定に押圧保持す
るために、押圧部Ａがカンチレバー支持体５ｃの略全体
を覆う大きさになっていた。そのため、探針を先端に保
持したカンチレバー支持体５ｃの交換時の着脱性が悪
く、取り付け位置の微調整も困難であった。
ー部の構成について図３を参照して説明する。５ａは先
端に探針５ｂを保持したシリコン窒化膜製カンチレバー
で、探針５ｂと反対方向の端がカンチレバー支持体５ｃ
に固着されている。５ｄはカンチレバーホルダ部、１５
は押え板で片端を固定用ネジ１６によりカンチレバーホ
ルダ部５ｄに固定されている。カンチレバー支持体５ｃ
は板状のバネ材を材料とした押え板１５によりカンチレ
バーホルダ部５ｄに押圧保持されている。ところで、押
え板１５はカンチレバー支持体５ｃを安定に押圧保持す
るために、押圧部Ａがカンチレバー支持体５ｃの略全体
を覆う大きさになっていた。そのため、探針を先端に保
持したカンチレバー支持体５ｃの交換時の着脱性が悪
く、取り付け位置の微調整も困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、以上の問
題点を解決したもので、探針を先端に保持したカンチレ
バー支持体交換時の作業を容易にして、走査型プローブ
顕微鏡の測定性能を劣化させないように、常に正常な探
針による測定を可能にすることを目的とする。
題点を解決したもので、探針を先端に保持したカンチレ
バー支持体交換時の作業を容易にして、走査型プローブ
顕微鏡の測定性能を劣化させないように、常に正常な探
針による測定を可能にすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】先端に探針を保持した探
針支持体を、両端が板状の弾性体に保持されたワイヤに
よりカンチレバーホルダ部に押圧保持したものである。
針支持体を、両端が板状の弾性体に保持されたワイヤに
よりカンチレバーホルダ部に押圧保持したものである。
【０００８】
【作用】両端に板状の弾性体からのバネ力を軸方向と直
角方向に受けたワイヤはカンチレバー支持体の幅方向に
接触し、カンチレバー支持体を押圧してカンチレバーホ
ルダ部に保持する。カンチレバー支持体にはワイヤのみ
が覆っているので、先端に探針を保持したカンチレバー
支持体の交換時の着脱性が良く、取り付け位置の微調整
も容易に行える。
角方向に受けたワイヤはカンチレバー支持体の幅方向に
接触し、カンチレバー支持体を押圧してカンチレバーホ
ルダ部に保持する。カンチレバー支持体にはワイヤのみ
が覆っているので、先端に探針を保持したカンチレバー
支持体の交換時の着脱性が良く、取り付け位置の微調整
も容易に行える。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例の構成について図１
および図２を参照して説明する。図１において、１は試
料ホルダで、測定対象となる試料１ａが載置されてい
る。２は試料ホルダ１を介して試料１ａをＺ軸方向に微
動させるためのＺ軸微動機構であり、Ｚ軸ドライバ２ａ
により駆動される。３はＺ軸微動機構２と試料ホルダ１
を介して試料１ａをＸ，Ｙ軸平面内で微動走査させるた
めのＸＹ微動機構であり、ＸＹ走査ドライバ３ａにより
駆動される。４はＸＹ粗動ステージで、ＸＹ粗動ドライ
バ４ａによって駆動される。
および図２を参照して説明する。図１において、１は試
料ホルダで、測定対象となる試料１ａが載置されてい
る。２は試料ホルダ１を介して試料１ａをＺ軸方向に微
動させるためのＺ軸微動機構であり、Ｚ軸ドライバ２ａ
により駆動される。３はＺ軸微動機構２と試料ホルダ１
を介して試料１ａをＸ，Ｙ軸平面内で微動走査させるた
めのＸＹ微動機構であり、ＸＹ走査ドライバ３ａにより
駆動される。４はＸＹ粗動ステージで、ＸＹ粗動ドライ
バ４ａによって駆動される。
【００１０】５ａは探針５ｂを取換え可能に保持するカ
ンチレバー、６は探針５ｂと試料表面との距離を測定す
るための変位検出器である。ここで、探針５ｂと試料表
面の距離は、例えば、走査型トンネル顕微鏡であれば、
探針５ｂと試料表面間に流れるトンネル電流を、また、
原子間力顕微鏡では探針５ｂと試料表面間に生じる原子
間力を検知することにより求められる。これは、上述し
たように、トンネル電流又は原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用したもの
である。
ンチレバー、６は探針５ｂと試料表面との距離を測定す
るための変位検出器である。ここで、探針５ｂと試料表
面の距離は、例えば、走査型トンネル顕微鏡であれば、
探針５ｂと試料表面間に流れるトンネル電流を、また、
原子間力顕微鏡では探針５ｂと試料表面間に生じる原子
間力を検知することにより求められる。これは、上述し
たように、トンネル電流又は原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用したもの
である。
【００１１】７は、探針５ｂと試料表面との距離を示す
変位検出器６の出力が常に一定になるようにＺ軸ドライ
バ２ａを介してＺ軸微動機構２を駆動制御するためのサ
ーボ機構である。８はＡ／Ｄ変換部で、サーボ機構７の
出力をＡ／Ｄ変換し、制御手段９に出力する。
変位検出器６の出力が常に一定になるようにＺ軸ドライ
バ２ａを介してＺ軸微動機構２を駆動制御するためのサ
ーボ機構である。８はＡ／Ｄ変換部で、サーボ機構７の
出力をＡ／Ｄ変換し、制御手段９に出力する。
【００１２】９は上述したＺ軸ドライバ２ａ、ＸＹ走査
ドライバ３ａ、及びＸＹ粗動ドライバー４ａを駆動制御
すると共に、測定対象となる試料のＸＹ平面での軌跡及
びＺ軸方向の軌跡から試料表面形状の測定を行う制御手
段である。１０は得られた測定データを表示する表示手
段で、ＣＲＴ等により構成される。
ドライバ３ａ、及びＸＹ粗動ドライバー４ａを駆動制御
すると共に、測定対象となる試料のＸＹ平面での軌跡及
びＺ軸方向の軌跡から試料表面形状の測定を行う制御手
段である。１０は得られた測定データを表示する表示手
段で、ＣＲＴ等により構成される。
【００１３】次に、この発明の実施例の作用について説
明する。まず、ＸＹ粗動ドライバー４ａを介してＸＹ粗
動ステージ４を駆動し、探針５ｂの直下に試料１ａを配
置する。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機構２を
介して試料１ａと探針５ｂの間を所定の距離に調整した
後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に置くと
共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機構３を
駆動し、試料１ａの表面形状を測定する。
明する。まず、ＸＹ粗動ドライバー４ａを介してＸＹ粗
動ステージ４を駆動し、探針５ｂの直下に試料１ａを配
置する。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機構２を
介して試料１ａと探針５ｂの間を所定の距離に調整した
後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に置くと
共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機構３を
駆動し、試料１ａの表面形状を測定する。
【００１４】次に、カンチレバー部の構成について図２
を参照して説明する。５ａは先端に探針５ｂを保持した
シリコン窒化膜製のカンチレバーで、探針５ｂと反対方
向の端がカンチレバー支持体５ｃに固着されている。５
ｄはカンチレバーホルダ部、１１ａはステンレス鋼製の
ワイヤで、両端を板バネ１１の二また形状（Ｕ形）の先
端部に溶接されている。板バネ１１のワイヤ１１ａと反
対側の端は固定ネジ１２によりカンチレバーホルダ部５
ｄに固定されている。カンチレバー支持体５ｃは板バネ
１１のバネ力により、ワイヤ１１ａを介してカンチレバ
ーホルダ部５ｄに押圧保持されているが、ワイヤ１１ａ
と略中央部で接触しているだけで、カンチレバー５ａ側
の半分の部分は着脱のため両側面をつかむ場合、何等障
害になるものはない。
を参照して説明する。５ａは先端に探針５ｂを保持した
シリコン窒化膜製のカンチレバーで、探針５ｂと反対方
向の端がカンチレバー支持体５ｃに固着されている。５
ｄはカンチレバーホルダ部、１１ａはステンレス鋼製の
ワイヤで、両端を板バネ１１の二また形状（Ｕ形）の先
端部に溶接されている。板バネ１１のワイヤ１１ａと反
対側の端は固定ネジ１２によりカンチレバーホルダ部５
ｄに固定されている。カンチレバー支持体５ｃは板バネ
１１のバネ力により、ワイヤ１１ａを介してカンチレバ
ーホルダ部５ｄに押圧保持されているが、ワイヤ１１ａ
と略中央部で接触しているだけで、カンチレバー５ａ側
の半分の部分は着脱のため両側面をつかむ場合、何等障
害になるものはない。
【００１５】以上の実施例では、板バネ１１は、二また
形状の一体物であるが、ワイヤ１１ａの両端を各々別個
に独立した２枚の板バネで保持してもよい。また、ワイ
ヤ１１ａの両端の板バネ１１への保持は、溶接以外にバ
ンドで押さえてネジで固定してもよい。上記実施例で
は、ワイヤ１１ａは１本であるが、２本を平行に板バネ
１１にとりつけてもよい。更に形状については、丸棒の
かわりに幅の狭い矩形断面のものでもよい。ワイヤ１１
ａの材質はステンレス鋼以外に押圧保持に強度的に耐
え、耐蝕性のあるものであればよい。
形状の一体物であるが、ワイヤ１１ａの両端を各々別個
に独立した２枚の板バネで保持してもよい。また、ワイ
ヤ１１ａの両端の板バネ１１への保持は、溶接以外にバ
ンドで押さえてネジで固定してもよい。上記実施例で
は、ワイヤ１１ａは１本であるが、２本を平行に板バネ
１１にとりつけてもよい。更に形状については、丸棒の
かわりに幅の狭い矩形断面のものでもよい。ワイヤ１１
ａの材質はステンレス鋼以外に押圧保持に強度的に耐
え、耐蝕性のあるものであればよい。
【００１６】なお、探針５ｂの性能劣化は、試料ホルダ
１上に予め形状の分かっている検査用の試料を載置して
測定を行い、測定結果を表示手段１０に表示して試料の
表面形状が変形して表示されていないかをチェックする
ことにより確認できる。
１上に予め形状の分かっている検査用の試料を載置して
測定を行い、測定結果を表示手段１０に表示して試料の
表面形状が変形して表示されていないかをチェックする
ことにより確認できる。
【００１７】
【発明の効果】この発明は以上のように、カンチレバー
支持体にはワイヤのみが覆っていて、カンチレバー支持
体の側面をつかむ上で障害になるものがないので、カン
チレバー支持体の交換時の着脱性が良く、取り付け位置
の微調整も容易に行える。
支持体にはワイヤのみが覆っていて、カンチレバー支持
体の側面をつかむ上で障害になるものがないので、カン
チレバー支持体の交換時の着脱性が良く、取り付け位置
の微調整も容易に行える。
【図１】この発明の実施例の走査型プローブ顕微鏡の構
成を示す図。
成を示す図。
【図２】この発明の実施例の走査型プローブ顕微鏡のカ
ンチレバー部の構成を示す図。
ンチレバー部の構成を示す図。
【図３】従来の走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー部
の構成を示す図。
の構成を示す図。
１…試料ホルダ １ａ…試料 ２…Ｚ軸微動機構 ３…ＸＹ微動機構 ４…ＸＹ粗動ステージ ５ａ…カンチレバー ５ｂ…探針 ５ｃ…カンチレバー支持体 ６…変位検出器 ７…サーボ機構 ９…制御手段 １０…表示手段 １１…板バネ １１ａ…ワイヤ
Claims (1)
- 【請求項１】 試料とこれに対向配置した探針とを近接
させ、探針又は試料を走査することにより、探針と試料
表面との間の相互作用により生じる物理量を検出して試
料表面の形状を原子レベルの分解能で測定する走査型プ
ローブ顕微鏡において、先端に探針を保持した探針支持
体を、両端を弾性体に保持されたワイヤ状部材によりホ
ルダに押圧保持するようにしたことを特徴とする走査型
プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28471894A JP2853585B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28471894A JP2853585B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146013A true JPH08146013A (ja) | 1996-06-07 |
| JP2853585B2 JP2853585B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=17682087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28471894A Expired - Fee Related JP2853585B2 (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2853585B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1436636A4 (en) * | 1999-07-09 | 2005-04-27 | Suss Microtec Test Sys Gmbh | METHOD AND DEVICE FOR SUBMICRONIC IMAGING AND ELECTRICAL CONTROL OF A TEST STATION |
| JP2006292722A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-10-26 | Sii Nanotechnology Inc | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2011158466A (ja) * | 2010-01-07 | 2011-08-18 | Mitsutoyo Corp | てこ式検出器、スタイラス、及びスタイラス自動交換装置 |
| US10620235B2 (en) | 2013-10-31 | 2020-04-14 | Shimadzu Corporation | Cantilever attachment fitting and scanning probe microscope provided therewith |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3589630B2 (ja) * | 2000-12-04 | 2004-11-17 | 株式会社東京精密 | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP28471894A patent/JP2853585B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1436636A4 (en) * | 1999-07-09 | 2005-04-27 | Suss Microtec Test Sys Gmbh | METHOD AND DEVICE FOR SUBMICRONIC IMAGING AND ELECTRICAL CONTROL OF A TEST STATION |
| JP2006292722A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-10-26 | Sii Nanotechnology Inc | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2011158466A (ja) * | 2010-01-07 | 2011-08-18 | Mitsutoyo Corp | てこ式検出器、スタイラス、及びスタイラス自動交換装置 |
| US10620235B2 (en) | 2013-10-31 | 2020-04-14 | Shimadzu Corporation | Cantilever attachment fitting and scanning probe microscope provided therewith |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2853585B2 (ja) | 1999-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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