JPH0798264A - Low-coherent reflectometer - Google Patents
Low-coherent reflectometerInfo
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- JPH0798264A JPH0798264A JP24318693A JP24318693A JPH0798264A JP H0798264 A JPH0798264 A JP H0798264A JP 24318693 A JP24318693 A JP 24318693A JP 24318693 A JP24318693 A JP 24318693A JP H0798264 A JPH0798264 A JP H0798264A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光導波路の検査に利用す
る。特に、低コヒーレント光干渉を利用して高空間分解
能で光導波路の反射分布を測定するリフレクトメータ、
すなわち低コヒーレントリフレクトメータ(OLCR)
に関する。The present invention is used in the inspection of optical waveguides. In particular, a reflectometer that measures the reflection distribution of an optical waveguide with high spatial resolution by using low coherent light interference,
Low coherence reflectometer (OLCR)
Regarding
【0002】[0002]
【従来の技術】図4は低コヒーレントリフレクトメータ
の基本構成を示す図である。この構成では、発光スペク
トル幅10nmの光源1と、2入力2出力(2×2)の
光カプラー2とを備える。光カプラー2としては、例え
ば光ファイバカプラーを用いる。光カプラー2のひとつ
のポートには光源1の出射光が入射し、そのポートと対
向する二つのポートの一方すなわち入出力ポート3に
は、コリメートレンズ5および反射鏡6が設けられる。
光源1の出射光が入射するポートと対向する二つのポー
トの他方、すなわち入出力ポート4には、被試験光導波
路7が光学的に接続される。光源1の出射光が入射する
側のもうひとつのポート8には光検出器9が設けられ、
レベルメータ10に接続される。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a diagram showing a basic structure of a low coherence reflectometer. In this configuration, a light source 1 having an emission spectrum width of 10 nm and an optical coupler 2 having two inputs and two outputs (2 × 2) are provided. As the optical coupler 2, for example, an optical fiber coupler is used. The light emitted from the light source 1 is incident on one port of the optical coupler 2, and a collimator lens 5 and a reflecting mirror 6 are provided on one of the two ports facing the port, that is, the input / output port 3.
The optical waveguide 7 to be tested is optically connected to the other of the two ports, that is, the input / output port 4, which faces the port on which the light emitted from the light source 1 enters. A photodetector 9 is provided at the other port 8 on the side on which the light emitted from the light source 1 enters,
It is connected to the level meter 10.
【0003】光源1からの出射光は光カプラー2により
二分される。二分された一方は局部発振光として利用さ
れ、入出力ポート3を通過してコリメートレンズ5によ
り平行光となり、反射鏡6で反射された後に再び光カプ
ラー2に入射する。二分された他方は、プローブポート
である入出力ポート4を通過して被試験光導波路7に入
射する。被試験光導波路7内の各点に存在する散乱点や
反射点により、それぞれ後方散乱光や反射光が生じる。
これらの光を以下単に「反射光」という。この反射光は
入出力ポート4を通過し、入出力ポート8において局部
発振光と合波される。得られた合波光は光検出器9によ
り受光され、その干渉成分がレベルメータ10により測
定される。この測定を反射鏡6を移動させて繰り返す。
すなわち、反射鏡6を一定速度で移動させ、反射鏡6の
個々の位置に対する干渉強度をレベルメータ10で検出
する。Light emitted from the light source 1 is divided into two by an optical coupler 2. One of the two halves is used as local oscillation light, passes through the input / output port 3, becomes parallel light by the collimator lens 5, is reflected by the reflecting mirror 6, and then enters the optical coupler 2 again. The other half is passed through the input / output port 4 which is a probe port and is incident on the optical waveguide 7 under test. Backscattered light and reflected light are generated by the scattering points and reflection points existing at each point in the optical waveguide 7 under test.
Hereinafter, these lights will be simply referred to as "reflected lights". This reflected light passes through the input / output port 4 and is combined with the local oscillation light at the input / output port 8. The obtained combined light is received by the photodetector 9, and the interference component thereof is measured by the level meter 10. This measurement is repeated by moving the reflecting mirror 6.
That is, the reflecting mirror 6 is moved at a constant speed, and the interference intensity with respect to each position of the reflecting mirror 6 is detected by the level meter 10.
【0004】光源1の出射光のコヒーレント長が50μ
m程度であるため、反射鏡6の各位置に対して、局部発
振光と50μm以内で光路長の合致した反射光のみが局
部発振光と干渉する。このため、反射鏡6の各位置と被
試験光導波路7の各散乱点とが1対1に対応する。この
とき、光検出器9で生じる光電流I1 は次の式で表され
る。The coherent length of the light emitted from the light source 1 is 50 μm.
Since it is about m, only the reflected light whose optical path length is matched with the local oscillation light within 50 μm interferes with the local oscillation light at each position of the reflecting mirror 6. Therefore, each position of the reflecting mirror 6 and each scattering point of the optical waveguide 7 under test have a one-to-one correspondence. At this time, the photocurrent I 1 generated in the photodetector 9 is expressed by the following equation.
【0005】[0005]
【数1】 ここで、I3 は被試験光導波路7内の特定の反射点で生
じた反射信号の光電流(反射強度に比例)、I4 は局部
発振光の光電流、C1 は定数、fは反射鏡6の一定速度
の移動によって生じるドップラー周波数変位、tは時間
である。したがって、その地点に対して測定された干渉
強度、すなわち、2C1 (I3 I4 )1/2cos(2π
ft)の時間についての二乗平均値2C1 2 I3 I
4 は、反射強度に比例する。このため、レベルメータ1
0の出力がその地点の反射率を表すことになる。このよ
うにして、反射鏡6の移動によって被試験光導波路7内
の散乱点や反射点の分布を測定できる。[Equation 1] Here, I 3 is the photocurrent of the reflected signal (proportional to the reflection intensity) generated at a specific reflection point in the optical waveguide 7 under test, I 4 is the photocurrent of the locally oscillated light, C 1 is a constant, and f is the reflection. The Doppler frequency displacement caused by the constant velocity movement of the mirror 6, t is time. Therefore, the interference intensity measured for that point, that is, 2C 1 (I 3 I 4 ) 1/2 cos (2π
root mean square value 2C 1 2 I 3 I
4 is proportional to the reflection intensity. Therefore, level meter 1
The output of 0 represents the reflectance at that point. In this way, the distribution of scattering points and reflection points in the optical waveguide 7 under test can be measured by moving the reflecting mirror 6.
【0006】このリフレクトメータで、光源1として熱
輻射光と同じ統計に従うスペクトル幅の広いものを使用
する。このため、光源1の強度雑音がレーザ光に比較し
て非常に大きくなり、感度を制限する要因となる。そこ
で低コヒーレントリフレクトメータには、従来から、い
わゆるバランス検波方式が採用されている。そのような
従来例を図5に示す。In this reflectometer, as the light source 1, a light source having a wide spectrum width which follows the same statistics as the heat radiation light is used. Therefore, the intensity noise of the light source 1 becomes extremely large as compared with the laser light, which becomes a factor that limits the sensitivity. Therefore, a so-called balanced detection method has been conventionally used for the low coherence reflectometer. Such a conventional example is shown in FIG.
【0007】図5に示した従来例は、2入力2出力で分
岐比1対1の光カプラー12が増設された点が図4に示
した基本構成と大きく異なる。光カプラー12のひとつ
の入出力ポート15は光カプラー2の入出力ポート8に
光学的に結合され、同じ側の入出力ポート16には、光
カプラー2の入出力ポート3からコリメートレンズ5を
介して出射された光をこの入出力ポート16に入射する
ため、レトロー型のリフレクター11とレンズ14とを
備える。光カプラー2はまた、入出力ポート8、16と
対向する側に二つの入出力ポート17、18を備え、こ
の二つの入出力ポート17、18にはそれぞれ光検出器
9、13が設けられる。光検出器9、13は差動増幅器
19を介してレベルメータ10に接続される。The conventional example shown in FIG. 5 is greatly different from the basic configuration shown in FIG. 4 in that an optical coupler 12 having two inputs and two outputs and a branching ratio of 1: 1 is added. One input / output port 15 of the optical coupler 12 is optically coupled to the input / output port 8 of the optical coupler 2, and the input / output port 16 on the same side is connected from the input / output port 3 of the optical coupler 2 to the collimator lens 5. The retro-type reflector 11 and the lens 14 are provided so that the light emitted as a light enters the input / output port 16. The optical coupler 2 also has two input / output ports 17 and 18 on the side facing the input / output ports 8 and 16, and the two input / output ports 17 and 18 are provided with photodetectors 9 and 13, respectively. The photodetectors 9 and 13 are connected to the level meter 10 via a differential amplifier 19.
【0008】光カプラー2の入出力ポート3を通過した
局部発振光は、コリメートレンズ5で平行ビームとなっ
た後にリフレクター11で反射し、レンズ14で第二の
光カプラー12の入出力ポート16に入射する。一方、
被試験光導波路7からの反射光は、第一の光カプラー4
の入出力ポート8より第二の光カプラー12の入出力ポ
ート15に入射した後に、入出力ポート16に伝搬した
局部発振光と合波される。この合波光は入出力ポート1
7、18から出射され、それぞれ光検出器9、13によ
り検波される。光検出器9、13でそれぞれ生じた光電
流I1 、I2 は差動増幅器19に入力され、その差I1
−I2 が求められる。ここで、光電流I1 、I2 は次の
ように表される。The locally oscillated light that has passed through the input / output port 3 of the optical coupler 2 is collimated by the collimating lens 5 and then reflected by the reflector 11, and is reflected by the lens 14 to the input / output port 16 of the second optical coupler 12. Incident. on the other hand,
The reflected light from the optical waveguide 7 under test is reflected by the first optical coupler 4
After being incident on the input / output port 15 of the second optical coupler 12 from the input / output port 8, the local oscillation light propagated to the input / output port 16 is multiplexed. This combined light is input / output port 1
It is emitted from 7 and 18 and detected by photodetectors 9 and 13, respectively. The photocurrents I 1 and I 2 generated in the photodetectors 9 and 13 are input to the differential amplifier 19 and the difference I 1
-I 2 is sought. Here, the photocurrents I 1 and I 2 are expressed as follows.
【0009】[0009]
【数2】 と表される。ここで、C2 は定数である。この式におい
て、光電流I1 、I2 の強度雑音の原因である右辺第一
および第二項がいずれもC2 (I3 +I4 )となって共
通であるが、検出すべき干渉成分である右辺第3項の符
号が互いに逆になっている。したがって、差動増幅器1
9により光電流I1 、I2 の差を求めることにより、そ
の出力は次のようになる。[Equation 2] Is expressed as Here, C 2 is a constant. In this equation, the first and second terms on the right side, which are the causes of the intensity noises of the photocurrents I 1 and I 2 , are both C 2 (I 3 + I 4 ) and are common, but they are interference components to be detected. The signs of the third term on the right side are opposite to each other. Therefore, the differential amplifier 1
By calculating the difference between the photocurrents I 1 and I 2 using 9, the output is as follows.
【0010】[0010]
【数3】 したがって、干渉成分をレベルメータ10で検出できる
とともに、光源の強度雑音を相殺することができる。[Equation 3] Therefore, the interference component can be detected by the level meter 10 and the intensity noise of the light source can be canceled.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかし、図5に示した
従来例では、光カプラーを増設したために構成が複雑と
なり、安定性が低下するという問題があった。また、測
定レンジがリフレクターの移動距離に制限されて通常数
十cm程度であるので、測定点の反射光と局部発振光と
がリフレクターの移動で干渉できるように、各光カプラ
ーのポートの長さを調節しながら二つの光カプラーを接
続しなければならない問題があった。However, in the conventional example shown in FIG. 5, there is a problem that the structure becomes complicated due to the additional optical coupler and the stability is lowered. Also, since the measurement range is limited to the moving distance of the reflector and is usually about several tens of cm, the length of the port of each optical coupler is set so that the reflected light at the measurement point and the local oscillation light can interfere with the movement of the reflector. There was a problem that two optical couplers had to be connected while adjusting.
【0012】本発明は、このような課題を解決し、簡便
な構成でバランス検波を行うことのできる低コヒーレン
トリフレクトメータを提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide a low coherence reflectometer capable of solving such problems and performing balanced detection with a simple structure.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明の低コヒーレント
リフレクトメータは、光源と、この光源の出射光を分岐
し、そのひとつの分岐光を被試験光導波路に入射すると
ともに、その被試験光導波路内で生じた反射光を別の分
岐光に合波する光学手段と、この光学手段により合波さ
れた光の強度を検出する光検出手段とを備えた低コヒー
レントリフレクトメータにおいて、光学手段は少なくと
も3つの入出力ポートと少なくとも2つの入出力ポート
とが対向して設けられた光カプラーを含み、少なくとも
3つの入出力ポートの第一のポートに光源が光学的に接
続され、少なくとも2つの入出力ポートの第一のポート
には被試験光導波路、第二のポートには光反射手段がそ
れぞれ光学的に接続され、光検出手段は少なくとも3つ
の入出力ポートの第二のポートと第三のポートにおける
光強度の差を求める手段を含むことを特徴とする。A low coherence reflectometer according to the present invention splits a light source and light emitted from the light source, and makes one of the split light beams incident on an optical waveguide under test. In a low coherence reflectometer comprising optical means for combining the reflected light generated inside into another branched light, and light detecting means for detecting the intensity of the light combined by this optical means, at least the optical means An optical coupler provided with three input / output ports and at least two input / output ports facing each other, and a light source is optically connected to a first port of the at least three input / output ports, and at least two input / output ports. An optical waveguide under test is optically connected to the first port of the ports, and light reflecting means is optically connected to the second port, and the light detecting means is at least three input / output ports. Characterized in that it comprises a means for determining the difference in light intensity in the second port and the third port.
【0014】[0014]
【作用】スペクトル幅との広い光源と干渉計とを使用し
て被試験光導波路内の反射分布を高空間分解能で測定す
る低コヒーレントリフレクトメータにおいて、従来から
用いられている2入力2出力の光カプラーに代えて、M
入力N出力(M≧3、N≧2)の光カプラーを使用す
る。これにより、1個の光カプラーでバランス検波が可
能なリフレクトメータを実現できる。The two-input, two-output light conventionally used in the low coherence reflectometer for measuring the reflection distribution in the optical waveguide under test with a high spatial resolution by using a light source having a wide spectral width and an interferometer. M instead of coupler
An optical coupler with input N output (M ≧ 3, N ≧ 2) is used. This makes it possible to realize a reflectometer capable of balanced detection with one optical coupler.
【0015】[0015]
【実施例】図1は本発明実施例の低コヒーレントリフレ
クトメータを示すブロック構成図である。この実施例
は、光源1と、この光源1の出射光を分岐し、そのひと
つの分岐光を被試験光導波路7に入射するとともに、そ
の被試験光導波路7内で生じた反射光を別の分岐光に合
波する光学手段として光カプラー20とコリメートレン
ズ5および反射鏡6とを備え、光カプラー20により合
波された光の強度を検出する光検出手段として光検出器
9、13を備える。ここで本実施例の特徴とするところ
は、光カプラー20には、少なくとも3つの入出力ポー
ト21、22、23と、少なくとも2つ、この実施例で
は3つの入出力ポート24、25、26とが対向して設
けられ、入出力ポート21に光源1が光学的に接続さ
れ、入出力ポート24には被試験光導波路7、入出力ポ
ート26には光反射手段としてのコリメートレンズ5お
よび反射鏡6がそれぞれ光学的に接続され、入出力ポー
ト22、23における光強度の差を求める手段として差
動増幅器19およびレベルメータ10を備えたことにあ
る。1 is a block diagram showing a low coherence reflectometer according to an embodiment of the present invention. In this embodiment, the light source 1 and the light emitted from the light source 1 are branched, one of the branched light beams is incident on the optical waveguide 7 under test, and the reflected light generated in the optical waveguide 7 under test is separated. An optical coupler 20, a collimator lens 5, and a reflecting mirror 6 are provided as optical means for combining the branched light, and photodetectors 9, 13 are provided as light detecting means for detecting the intensity of the light combined by the optical coupler 20. . A feature of this embodiment is that the optical coupler 20 has at least three input / output ports 21, 22, 23 and at least two, and in this embodiment, three input / output ports 24, 25, 26. Are provided so as to face each other, the light source 1 is optically connected to the input / output port 21, the optical waveguide 7 to be tested is provided at the input / output port 24, and the collimator lens 5 and the reflecting mirror as light reflecting means are provided at the input / output port 26. 6 is optically connected, and a differential amplifier 19 and a level meter 10 are provided as means for obtaining a difference in light intensity at the input / output ports 22 and 23.
【0016】光源1からの出射光は入出力ポート21か
ら3×3構成の光カプラー20に入射し、パワーが3等
分されてそれぞれ入出力ポート24〜26から出射され
る。これらのポートのうち入出力ポート24は、図4に
示した基本構成におけるポート4と同様に、プローブポ
ートとして被試験光導波路7に接続される。入出力ポー
ト26は、図4に示した基本構成におけるポート3と同
様に、局部発振光用のポートとして使用される。入出力
ポート25は未使用とする。ここで、この装置ではプロ
ーブポートより先の部分の反射を測定するので、入出力
ポート25の長さを入出力ポート24よりも短くし、か
つ入出力ポート25の端面に無反射コートを施してお
き、入出力ポート25からの反射光(このポート中での
後方レーリイ散乱光や出射端の端面反射)が被試験光導
波路7からの信号(反射光)と混入しないようにしてお
く。被試験光導波路7からの反射光と局部発振光とは光
カプラー20により合波され、その合波光は入出力ポー
ト22と23を通過して2個の光検出器9、13により
受光される。Light emitted from the light source 1 enters the 3 × 3 optical coupler 20 from the input / output port 21, is divided into three equal powers, and is output from the input / output ports 24 to 26, respectively. Of these ports, the input / output port 24 is connected to the optical waveguide 7 under test as a probe port, like the port 4 in the basic configuration shown in FIG. The input / output port 26 is used as a port for local oscillation light, similarly to the port 3 in the basic configuration shown in FIG. The input / output port 25 is unused. Here, in this apparatus, since the reflection of the portion beyond the probe port is measured, the length of the input / output port 25 is made shorter than that of the input / output port 24, and the end face of the input / output port 25 is coated with a non-reflective coating. Every time, the reflected light from the input / output port 25 (the backward Rayleigh scattered light in this port and the end face reflection at the emitting end) is prevented from mixing with the signal (reflected light) from the optical waveguide 7 under test. The reflected light from the optical waveguide 7 under test and the local oscillation light are combined by the optical coupler 20, and the combined light passes through the input / output ports 22 and 23 and is received by the two photodetectors 9 and 13. .
【0017】光パワーを3等分する3×3の光カプラー
20で反射光と局部発振光とを合波して入出力ポート2
2、23から出射するとき、位相差は互いに2π/3ず
つずれる。このため、光検出器9、13からの光電流出
力は次式で表される。The reflected light and the locally oscillated light are combined by the 3 × 3 optical coupler 20 which divides the optical power into three equal parts and the input / output port 2
When exiting from Nos. 2 and 23, the phase difference deviates from each other by 2π / 3. Therefore, the photocurrent output from the photodetectors 9 and 13 is expressed by the following equation.
【0018】[0018]
【数4】 と表される。ここでC3 は定数である。すなわち、3×
3構成の光カプラー20を用いた場合、I1 とI2 にお
いて、強度雑音の原因である右辺第1項と第2項はいず
れもC3 (I3 +I4 )となって共通であるが、右辺第
3項の干渉成分の位相は互いに2π/3ずれている。し
たがって、差動増幅器19からの出力は次式で表され
る。[Equation 4] Is expressed as Here, C 3 is a constant. Ie 3x
In the case of using the optical coupler 20 of three configurations, in I 1 and I 2 , the first term and the second term on the right-hand side, which are the causes of the intensity noise, are both C 3 (I 3 + I 4 ) but common. , The phases of the interference components of the third term on the right side are shifted from each other by 2π / 3. Therefore, the output from the differential amplifier 19 is expressed by the following equation.
【0019】[0019]
【数5】 したがって、干渉成分をレベルメータ10で検出できる
とともに、光源1の強度雑音は相殺される。[Equation 5] Therefore, the interference component can be detected by the level meter 10, and the intensity noise of the light source 1 is canceled.
【0020】図2および図3は図1に示した実施例を用
いて石英系光導波路の反射分布を測定した結果を示す。
図2はひとつの光検出器9だけで出力を検出したときの
信号であり、図3は二つの光検出器9、13を用いたバ
ランス検波したときの信号を示す。被試験光導波路の長
さは10cmであり、0cmと10cmのピークは導波
路両端のフレネル反射を表す。図2に示すように、光検
出器が1個だけの場合には光源の強度雑音に遮られて反
射分布を測定することができないが、図3に示すよう
に、本実施例により、0cmから10cmまでの地点
で、導波路中の反射分布を明瞭に観測でき、バランス検
波が有効に行われることを確認できた。FIGS. 2 and 3 show the results of measuring the reflection distribution of the silica type optical waveguide using the embodiment shown in FIG.
FIG. 2 shows a signal when the output is detected by only one photodetector 9, and FIG. 3 shows a signal when the balance detection using the two photodetectors 9 and 13 is performed. The length of the optical waveguide under test is 10 cm, and the peaks at 0 cm and 10 cm represent Fresnel reflection at both ends of the waveguide. As shown in FIG. 2, when the number of photodetectors is only one, the reflection distribution cannot be measured due to the intensity noise of the light source, but as shown in FIG. It was possible to clearly observe the reflection distribution in the waveguide at a point up to 10 cm, and it was confirmed that balanced detection was effectively performed.
【0021】以上の実施例では3×3の光カプラーを用
いた例を示したが、本発明は、3以上の整数M、2以上
の整数Nに対してM×N構成の光カプラーであれば同様
に実施できる。ただし、M個のポートのうち3個、N個
のポートのうち2個だけを使用し、N個のポートのうち
の残りのポートについては、長さをプローブポートより
短くし、かつそれらの端面には無反射コートを施して、
これらのポートで生じた後方レーリイ散乱や端面反射光
が信号中に混合するのを防ぐようにする。In the above embodiments, an example using a 3 × 3 optical coupler is shown, but the present invention may be an optical coupler having an M × N structure for an integer M of 3 or more and an integer N of 2 or more. Can be implemented in the same way. However, only three of the M ports and two of the N ports are used, and the remaining ports of the N ports have a length shorter than that of the probe port and their end faces. Is given a non-reflective coat,
It is necessary to prevent the backward Rayleigh scattering and the end-face reflected light generated at these ports from mixing in the signal.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の低コヒー
レントリフレクトメータは、1個の光カプラーでバラン
ス検波が可能となるので、従来に比べて構成が簡素化さ
れて安定性が増大するとともに、光カプラー間の接続作
業がなく、光カプラー内の光ファイバの長さの調整が簡
素化されて製造行程が簡略化されるので、高安定な装置
をより安価に製造できる効果がある。As described above, the low coherence reflectometer of the present invention enables balanced detection with one optical coupler, so that the structure is simplified and stability is increased as compared with the conventional one. Since there is no connection work between the optical couplers and the adjustment of the length of the optical fiber in the optical couplers is simplified and the manufacturing process is simplified, there is an effect that a highly stable device can be manufactured at a lower cost.
【図1】本発明実施例の低コヒーレントリフレクトメー
タの構成を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a low coherence reflectometer according to an embodiment of the present invention.
【図2】反射分布の測定例を示す図であり、1個の光検
出器だけで測定した結果を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a measurement example of a reflection distribution, and a diagram showing a result of measurement with only one photodetector.
【図3】反射分布の測定例を示す図であり、2個の光検
出器を用いたバランス検波の結果を示す図。FIG. 3 is a diagram showing an example of measurement of a reflection distribution, showing a result of balance detection using two photodetectors.
【図4】低コヒーレントリフレクトメータの基本構成を
示す図。FIG. 4 is a diagram showing a basic configuration of a low coherence reflectometer.
【図5】バランス検波を行う従来例の構成を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a conventional example that performs balanced detection.
1 光源 2、12、20 光カプラー 3、4、8、15〜18、21〜26 入出力ポート 5 コリメートレンズ 6 反射鏡 7 被試験光導波路 9、13 光検出器 10 レベルメータ 14 レンズ 19 差動増幅器 1 Light source 2, 12, 20 Optical coupler 3, 4, 8, 15-18, 21-26 Input / output port 5 Collimating lens 6 Reflector 7 Optical waveguide under test 9, 13 Photodetector 10 Level meter 14 Lens 19 Differential amplifier
Claims (1)
験光導波路に入射するとともに、その被試験光導波路内
で生じた反射光を別の分岐光に合波する光学手段と、 この光学手段により合波された光の強度を検出する光検
出手段とを備えた低コヒーレントリフレクトメータにお
いて、 前記光学手段は少なくとも3つの入出力ポートと少なく
とも2つの入出力ポートとが対向して設けられた光カプ
ラーを含み、 前記少なくとも3つの入出力ポートの第一のポートに前
記光源が光学的に接続され、 前記少なくとも2つの入出力ポートの第一のポートには
被試験光導波路、第二のポートには光反射手段がそれぞ
れ光学的に接続され、 前記光検出手段は前記少なくとも3つの入出力ポートの
第二のポートと第三のポートにおける光強度の差を求め
る手段を含むことを特徴とする低コヒーレントリフレク
トメータ。1. A light source and light emitted from this light source are branched, one of the branched lights is incident on an optical waveguide under test, and the reflected light generated in the optical waveguide under test is combined with another branched light. A low coherence reflectometer comprising optical means for oscillating and light detecting means for detecting the intensity of light combined by the optical means, wherein the optical means comprises at least three input / output ports and at least two input / output ports. And an optical coupler provided to face each other, the light source is optically connected to the first port of the at least three input / output ports, and the first port of the at least two input / output ports is connected to the first port. Light reflecting means is optically connected to the test optical waveguide and the second port, respectively, and the light detecting means is connected to the second port and the third port of the at least three input / output ports. A low coherence reflectometer characterized by including means for obtaining a difference in light intensity.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24318693A JPH0798264A (en) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | Low-coherent reflectometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24318693A JPH0798264A (en) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | Low-coherent reflectometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0798264A true JPH0798264A (en) | 1995-04-11 |
Family
ID=17100109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24318693A Pending JPH0798264A (en) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | Low-coherent reflectometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0798264A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6760110B2 (en) * | 2000-10-18 | 2004-07-06 | Ando Electric Co., Ltd. | Low coherent reflectometer |
-
1993
- 1993-09-29 JP JP24318693A patent/JPH0798264A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6760110B2 (en) * | 2000-10-18 | 2004-07-06 | Ando Electric Co., Ltd. | Low coherent reflectometer |
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