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JPH0780766A - Assembly jig - Google Patents

Assembly jig

Info

Publication number
JPH0780766A
JPH0780766A JP5228722A JP22872293A JPH0780766A JP H0780766 A JPH0780766 A JP H0780766A JP 5228722 A JP5228722 A JP 5228722A JP 22872293 A JP22872293 A JP 22872293A JP H0780766 A JPH0780766 A JP H0780766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
grindstone
processing
tool
cup
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5228722A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeki Kageyama
滋樹 影山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5228722A priority Critical patent/JPH0780766A/en
Publication of JPH0780766A publication Critical patent/JPH0780766A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a jig which fixes an H-type steel and an L-type steel securely and solidly as component members in assembling a working frame, a timbering stand and the like. CONSTITUTION:This assembly jig consists of a groove form part 1 and a plate form part 2, and two sets of nuts 4 are formed at both ends of the groove form part 1, the flange A of an H-type steel is held by two of bolts 3, and the flange B of an L-type steel is held by a C-type jig C to insert the flange B to projections 5 on the rear side surface of the plate form part 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、超音波加工技術を適用
した被加工物(一般にはセラミックス製の被加工物)の
加工方法及び溝付き加工物の製法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for processing an object to be processed (generally a ceramic object) to which ultrasonic processing technology is applied and a method for manufacturing a grooved object.

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミックス特にファイン・セラミック
ス(以下、両者を単にセラミックスと総称する)のよう
な硬くて脆い材料からなる被加工物の加工(例えば溝の
加工=形成)には、超音波振動を利用した加工技術が有
効である。図3は、セラミックス製被加工物に対して
「回転非対称な形状を有する円周状の溝」を加工するた
めの従来の方法を示す概略斜視図である。まず、回転す
る小径(例えば、φ10mm程度)の軸付き砥石31に
超音波振動を与え、固定された被加工物32に垂直方向
から切り込みを入れる。次に、所望の非対称な形状が得
られるように軸付き砥石31を被加工物32に対し移動
させる。軸付き砥石31が所望の形状を描き終わった時
点で加工が終了し、被加工物32に「回転非対称な円周
状の溝33」が形成される。
2. Description of the Related Art Ultrasonic vibration is applied to the processing (for example, groove processing = formation) of a workpiece made of a hard and brittle material such as ceramics, especially fine ceramics (both are simply referred to as ceramics hereinafter). The processing technology used is effective. FIG. 3 is a schematic perspective view showing a conventional method for processing a “circular groove having a rotationally asymmetric shape” on a ceramic workpiece. First, ultrasonic vibration is applied to a rotating grindstone 31 having a small diameter (for example, about φ10 mm) and a cut is made in a fixed workpiece 32 from a vertical direction. Next, the grindstone 31 with a shaft is moved with respect to the workpiece 32 so that a desired asymmetrical shape is obtained. When the grindstone 31 with a shaft has finished drawing a desired shape, the processing ends, and a "rotationally asymmetrical circumferential groove 33" is formed in the workpiece 32.

【0003】円周状の溝を加工する場合は、超音波研削
加工用カップ砥石(特開昭63−267150)を用い
る方法もある。このカップ砥石は、ある特定の周波数で
超音波振動するように設計されたカップ型の台金の縁に
砥石をろう付けしたものである。このカップ砥石を回転
させながら被加工物に垂直に押しつければ円周状の溝の
加工が可能である。しかし、工具を回転させなければな
らないため、溝は「回転対称な円周状の溝」に限定され
る。
When machining a circumferential groove, there is also a method of using a cup grindstone for ultrasonic grinding (Japanese Patent Laid-Open No. 63-267150). This cup grindstone is obtained by brazing the grindstone to the edge of a cup-shaped base metal designed to vibrate ultrasonically at a specific frequency. Circular grooves can be processed by pressing the cup grindstone vertically against the workpiece while rotating. However, since the tool has to be rotated, the grooves are limited to "rotationally symmetrical circumferential grooves".

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来技術に
おいては、次に述べるような問題点、があった。 カップ砥石を用いれば、「回転対称な円周状の溝」の
加工(形成)は可能である。しかし、この方法では、超
音波を利用しているものの、加工方式が研削加工である
ため、工具は回転させなければならない。従って、「回
転非対称な円周状の溝」の加工は不可能であった。即
ち、「回転非対称な円周状の溝」を加工するには軸付き
砥石を用いるしかない。しかし、軸付き砥石の場合、横
送り速度が小さいので、加工の終点に至るのに長時間を
要する。さらに、そのため、加工中に軸付き砥石に工具
摩耗が発生する。この摩耗によって砥石の直径と長さが
減少するため、加工の終点付近では所望の溝形状が得ら
れない。このように砥石の摩耗によって、加工された溝
の形状の精度が低下していた。また、工具を製作する上
で、砥石をろう付けしなければならない。このろう付け
部分により超音波の振動状態が乱されることがある。従
って、所望の共振周波数が得られない場合や、加工に必
要な振幅が得られない場合があり、加工に支障をきたす
ことがあった。
The above-mentioned conventional techniques have the following problems. If a cup grindstone is used, it is possible to process (form) a “rotationally symmetrical circumferential groove”. However, in this method, although ultrasonic waves are used, since the processing method is grinding, the tool must be rotated. Therefore, it is impossible to process "a rotationally asymmetrical circumferential groove". That is, a grindstone with a shaft can only be used to process a "rotationally asymmetric circumferential groove". However, in the case of a grindstone with a shaft, since the lateral feed speed is low, it takes a long time to reach the end point of processing. Further, therefore, tool wear occurs in the grindstone with a shaft during processing. This wear reduces the diameter and length of the grindstone, so that the desired groove shape cannot be obtained near the end point of processing. As described above, due to the abrasion of the grindstone, the precision of the shape of the processed groove is lowered. In addition, a grindstone must be brazed when manufacturing a tool. The brazed portion may disturb the vibration state of ultrasonic waves. Therefore, the desired resonance frequency may not be obtained, or the amplitude required for processing may not be obtained, which may hinder the processing.

【0005】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、加工時間の短縮および加工形状精度の向上を
目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to shorten the processing time and improve the accuracy of the processed shape.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、「回
転非対称な円周状の溝の形状に合わせて形成された作業
面」を有するカップ状の超音波加工用工具を、被加工物
上に、砥粒(好ましくは砥粒を溶かした懸濁液の形態で
用いる)を介在させた状態で、前記工具又は被加工物に
超音波振動を与えながら、相対的に押し付けることで、
前記被加工物に「回転非対称な円周状の溝」を加工(形
成)するようにした。
In view of the above, the present invention provides a cup-shaped ultrasonic machining tool having a "working surface formed in conformity with the shape of a rotationally asymmetrical circumferential groove" as a workpiece. On the top, with abrasive grains (preferably used in the form of a suspension in which abrasive grains are dissolved) interposed, by applying relative pressure while applying ultrasonic vibration to the tool or the workpiece,
A "rotationally asymmetric circumferential groove" is machined (formed) on the workpiece.

【0007】[0007]

【作用】本発明で用いるカップ状の超音波加工用工具
(以下、カップ型工具と言う)はその形状自体がある特
定の共振周波数で振動するように有限要素法により設計
することが好ましい。カップ型工具の作業面は、加工す
る「回転非対称な円周状の溝」の形状に合わせて作られ
ている。従って、この作業面の形状と同じ形状の溝が被
加工物に転写される。溝の加工は、カップ型工具又は被
加工物に超音波振動を与えて振動させるとともに、カッ
プ型工具と被加工物との間に砥粒を介在させた状態で、
カップ型工具を被加工物に相対的に押し付けることで行
なわれる。砥粒は適当な液体(例えば、水、油)に砥粒
を懸濁させた懸濁液の形態で使用することが一般的であ
る。
The cup-shaped ultrasonic machining tool (hereinafter referred to as a cup-shaped tool) used in the present invention is preferably designed by the finite element method so that the shape itself vibrates at a certain resonance frequency. The working surface of the cup-shaped tool is made according to the shape of the "rotationally asymmetric circumferential groove" to be machined. Therefore, a groove having the same shape as that of the work surface is transferred to the workpiece. The groove is processed by applying ultrasonic vibration to the cup-shaped tool or the workpiece to vibrate them, and with abrasive grains interposed between the cup-shaped tool and the workpiece,
It is performed by pressing the cup-shaped tool relative to the work piece. The abrasive grains are generally used in the form of a suspension obtained by suspending the abrasive grains in a suitable liquid (eg, water or oil).

【0008】従来の軸付き砥石による加工では、溝を形
成するために軸付き砥石を横方向に送らなければならな
い。そのため、セラミックスのような高硬度材料からな
る被加工物の場合、研削抵抗が増大するために、送り速
度が大きくできず、加工に長時間を要する。しかし、本
発明では、軸付き砥石が送られる道筋を一括して加工で
きるため、加工時間の短縮が容易に可能である。
[0008] In the conventional processing using a grindstone with a shaft, the grindstone with a shaft must be fed in the lateral direction to form a groove. Therefore, in the case of a workpiece made of a high hardness material such as ceramics, the feed rate cannot be increased because the grinding resistance increases, and the processing requires a long time. However, according to the present invention, the route along which the grindstone with the shaft is fed can be collectively processed, so that the processing time can be shortened easily.

【0009】さらに、軸付き砥石の場合のような加工の
始点、終点はないので、場所による形状精度の差異がで
ない。また、軸付き砥石を用いた場合では、加工により
砥石の目詰まり、目こぼれ、目つぶれが生じ、頻繁に砥
石の目たてを行なわなければならない。特にセラミック
スのような高硬度材料では頻度が高まる。これに対し、
本発明では、切れ刃である砥粒は、加工により破砕され
ても(砥石で言う目つぶれの状態)、新たな砥粒が流れ
てくるため、目たての必要がない。あえてするならば、
数百時間加工を行なった後、タンク内の懸濁液を取り替
える必要があるのみである。超音波研削における目たて
の頻度に比べると、その労力は無視できる。
Furthermore, since there is no starting point and ending point of machining as in the case of a grindstone with a shaft, there is no difference in shape accuracy depending on the location. Further, when a grindstone with a shaft is used, the grindstone is clogged, spilled, or crushed due to the processing, and the grindstone must be frequently retouched. Especially in high hardness materials such as ceramics, the frequency increases. In contrast,
In the present invention, even if the abrasive grains that are the cutting edges are crushed by the processing (a state in which the grindstone is crushed), new abrasive grains flow into the abrasive grains, so that there is no need to make a sharp edge. If you dare
It is only necessary to replace the suspension in the tank after processing for a few hundred hours. The labor is negligible compared to the frequency of ultrasonic grinding.

【0010】ただし、被加工物に形成しようとしている
溝形状に合わせて、溝形状を反転させた形状を工具に形
成しておく必要がある。しかし、工具材質は、鋼で十分
であり、セラミックスに溝を形成するよりは容易であ
る。また、この工具を繰り返し使用できるため、このこ
とも加工時間短縮に寄与するものである。以下、実施例
により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれ
に限られるものではない。
However, it is necessary to form a shape in which the groove shape is reversed in the tool in accordance with the groove shape to be formed in the workpiece. However, steel is sufficient as the material of the tool, which is easier than forming grooves in ceramics. Further, since this tool can be repeatedly used, this also contributes to shortening the processing time. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

【0011】[0011]

【実施例】図1は、本発明の一実施例を示す概略斜視図
である。本実施例で用いる超音波振動系は、外部励振源
となるボルト締めランジュバン型振動子(図示せず)、
振幅拡大ホーン4およびこのホーンに結合されたカップ
型工具1とで構成される。図2は、本実施例で用いたカ
ップ型工具の概略垂直断面図である。工具は最大径部分
で直径φ90mmで設計されている。作業面(つまり、
被加工物との接触面)は、加工したい「回転非対称な円
周状の溝」の平面形状と同一に作られている。工具の材
料は合金工具鋼であるが、これに限らず、例えば、ステ
ンレス鋼や炭素鋼でもよい。このカップ型工具1は有限
要素法により所定の共振周波数(例えば22 kHz )で
振動するように設計してある。
1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the present invention. The ultrasonic vibration system used in the present embodiment is a bolted Langevin type vibrator (not shown) which serves as an external excitation source.
It is composed of an amplitude amplification horn 4 and a cup-shaped tool 1 connected to this horn. FIG. 2 is a schematic vertical sectional view of the cup-shaped tool used in this example. The tool is designed with a diameter of 90 mm in the maximum diameter portion. Work surface (that is,
The contact surface with the work piece) is made to have the same planar shape as the "rotationally asymmetric circumferential groove" to be processed. Although the material of the tool is alloy tool steel, it is not limited to this and may be stainless steel or carbon steel, for example. The cup-shaped tool 1 is designed to vibrate at a predetermined resonance frequency (for example, 22 kHz) by the finite element method.

【0012】被加工物にはアルミナ・セラミックスを用
いた。「回転非対称な円周状の溝」の加工にあたって
は、まず、前記超音波振動系により、カップ型工具1
を、加工に必要な振幅(例えば10μm〜30μm)が
得られるように超音波振動させる。そして、固定してあ
る被加工物2の上に、水と砥粒を混ぜた懸濁液6を、被
加工面全体が覆われるように流しこむ。ここで懸濁液6
は懸濁液供給ホース7より供給される。砥粒はB4
(ボロンカーバイド)#280を用いた。
Alumina ceramics was used for the work piece. In processing the "rotationally asymmetric circumferential groove", first, the cup-shaped tool 1 is moved by the ultrasonic vibration system.
Is ultrasonically vibrated so that the amplitude (for example, 10 μm to 30 μm) necessary for processing is obtained. Then, the suspension 6 in which water and abrasive grains are mixed is poured onto the fixed workpiece 2 so that the entire surface to be processed is covered. Where suspension 6
Is supplied from the suspension supply hose 7. Abrasive grain is B 4 C
(Boron Carbide) # 280 was used.

【0013】その後、振動しているカップ型工具1を、
被加工物2の所望の位置に一定荷重(例えば20N〜3
0N)で垂直方向(図中矢印Sで示す)から押し付け
る。超音波振動により砥粒を介して被加工物2に衝撃が
伝わり、加工が進行し、被加工物2に「回転非対称な円
周状の溝3」が形成される。本実施例では、深さ0.2
mmの図1に示す形状の溝を加工した。この加工に要し
た時間は5分であった。
Then, the vibrating cup-shaped tool 1 is
A constant load (for example, 20N to 3) is applied to a desired position of the workpiece 2.
0N) and press from the vertical direction (indicated by arrow S in the figure). A shock is transmitted to the work piece 2 through the abrasive grains by the ultrasonic vibration, and the working progresses, so that the "rotationally asymmetrical circumferential groove 3" is formed in the work piece 2. In this embodiment, the depth is 0.2.
mm, the groove having the shape shown in FIG. 1 was processed. The time required for this processing was 5 minutes.

【0014】次に比較のために、小径(直径φ10m
m)の軸付きダイヤモンド砥石(#270)を用いて実
施例と同様に、アルミナ・セラミックス(被加工物)に
直径φ90mm、深さ0.5mmの回転非対称の溝の加
工を行なった。加工は固定された被加工物32に対し
て、図3に示された溝を形成するように移動させて行な
った。この時、砥石の横送り速度は5mm/min程度
に設定した。この加工に要した時間は60分であった。
この方法で加工すると、加工の始点に比べて終点では、
溝の幅が0.1mm、加工深さが0.05mm減少して
いた。
Next, for comparison, a small diameter (diameter φ10 m
Using the diamond grindstone (# 270) with a shaft of m), a rotationally asymmetric groove having a diameter of 90 mm and a depth of 0.5 mm was machined in the alumina ceramics (workpiece) in the same manner as in the example. The processing was performed by moving the fixed workpiece 32 so as to form the groove shown in FIG. At this time, the lateral feed speed of the grindstone was set to about 5 mm / min. The time required for this processing was 60 minutes.
When machining with this method, compared to the starting point of machining, at the end point,
The groove width was reduced by 0.1 mm and the working depth was reduced by 0.05 mm.

【0015】このように、本実施例によれば溝の加工時
間は従来の約10分の1で済み、加工時間の大幅な短縮
が可能となったことになる。
As described above, according to this embodiment, the processing time of the groove is about 1/10 of the conventional one, and the processing time can be greatly shortened.

【0016】[0016]

【発明の効果】従来のカップ砥石を用いた超音波研削加
工では、「回転対称な円周状の溝」しか加工できなかっ
た。これに対し、本発明によれば、カップ型工具を使用
して超音波加工を行なうことで「回転非対称な円周状の
溝」の加工が可能となる。また、工具を一体で作れるこ
とにより、カップ砥石を用いる超音波研削加工より、工
具製作が安価である。なおかつ、砥石を用いないため、
砥石ろう付けの必要がなくなる。従って、ろう付けによ
る超音波振動が乱されず、良好な振動状態が保たれる。
EFFECTS OF THE INVENTION In conventional ultrasonic grinding using a cup grindstone, only "rotationally symmetrical circumferential grooves" can be processed. On the other hand, according to the present invention, it is possible to machine a "rotationally asymmetrical circumferential groove" by performing ultrasonic machining using a cup-shaped tool. Further, since the tool can be integrally formed, the tool is less expensive to manufacture than the ultrasonic grinding process using the cup grindstone. Moreover, since no grindstone is used,
Eliminates the need to grind stones. Therefore, the ultrasonic vibration due to brazing is not disturbed, and a good vibration state is maintained.

【0017】一方、小径の軸付き砥石を用いた場合と比
べて、砥石の横送り運動が不要となるため、高硬度のセ
ラミックス(被加工物)に対して、「回転非対称の円周
状の溝」が容易に加工でき、加工時間が大幅に短縮され
る。また、軸付き砥石の場合は、砥石の摩耗が形状精度
に大きな影響を及ぼしていたが、同様の理由(横送り運
動が不要)により、形状精度の場所的な差異がない加工
が可能である。また、遊離砥粒を使用していることか
ら、 砥石を用いる場合に発生する砥石の目詰まり、目
こぼれ、目つぶれがないため、良好な加工状態が持続で
きる。
On the other hand, compared with the case of using a grindstone with a small-diameter shaft, the lateral feed motion of the grindstone is unnecessary, so that a "rotationally asymmetric circumferential shape" is applied to high hardness ceramics (workpiece). The "groove" can be easily processed, and the processing time is greatly reduced. Further, in the case of a grindstone with a shaft, the wear of the grindstone had a great influence on the shape accuracy, but for the same reason (the cross feed motion is unnecessary), it is possible to perform machining without any difference in shape accuracy in terms of location. . In addition, since free abrasive grains are used, there is no clogging, spilling, or crushing of the grindstone that occurs when using the grindstone, so a good processing state can be maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施例を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】 前記実施例で用いたカップ型工具の概略垂直
断面図である。
FIG. 2 is a schematic vertical cross-sectional view of the cup-shaped tool used in the above-mentioned embodiment.

【図3】 小径の軸付き砥石を用いた従来の加工方法を
示す概略斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a conventional processing method using a grindstone with a small diameter shaft.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 超音波加工用工具(カップ型工具) 2 被加工物(セラミックス) 3 円周状の溝 4 振幅拡大ホ
ーン 5a カップ型工具作業面 6 砥粒 7 砥粒(懸濁液)供給ホース 31 軸付き砥石 32 被加工物 (セラミックス) 33 円周状の溝 以上
1 Ultrasonic Processing Tool (Cup Type Tool) 2 Workpiece (Ceramics) 3 Circular Groove 4 Amplitude Enhancing Horn 5a Cup Type Tool Working Surface 6 Abrasive Grain 7 Abrasive Grain (Suspension) Supply Hose 31 With Shaft Whetstone 32 Workpiece (ceramics) 33 Circular groove or more

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 「加工する回転非対称な円周状の溝の形
状に合わせて成形された作業面」を有するカップ状の超
音波加工用工具を、被加工物との間に砥粒を介在させた
状態で、前記工具又は被加工物を超音波振動させなが
ら、前記被加工物に相対的に押し付けることにより、前
記被加工物に「回転非対称な円周状の溝」を加工する加
工方法。
1. A cup-shaped ultrasonic machining tool having a "working surface formed in accordance with the shape of a rotationally asymmetrical circumferential groove to be machined" and abrasive grains interposed between the machined work and the workpiece. In this state, the tool or the workpiece is ultrasonically vibrated while being pressed relatively to the workpiece, thereby processing a "rotationally asymmetric circumferential groove" in the workpiece. .
【請求項2】 「加工する回転非対称な円周状の溝の形
状に合わせて成形された作業面」を有するカップ状の超
音波加工用工具を、被加工物との間に砥粒を介在させた
状態で、前記工具又は被加工物を超音波振動させなが
ら、前記被加工物に相対的に押し付けることにより、前
記被加工物に「回転非対称な円周状の溝」を加工するこ
とを特徴とする溝付き加工物の製法。
2. A cup-shaped ultrasonic machining tool having a "working surface formed in conformity with the shape of a rotationally asymmetrical circumferential groove to be machined" and abrasive grains interposed between the machined work and the cup-shaped ultrasonic machining tool. In this state, the tool or the workpiece is ultrasonically vibrated while being pressed relatively to the workpiece, thereby processing a "rotationally asymmetrical circumferential groove" on the workpiece. The manufacturing method of the featured grooved workpiece.
JP5228722A 1993-09-14 1993-09-14 Assembly jig Pending JPH0780766A (en)

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