JPH0768469A - ガラス板用研削加工シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】平均粒径が３μ以下の粒度のダイヤモンド粉を
含有した硬質シート３の裏面にダイヤモンドを含有しな
い硬質シート１と更に軟質シート１を貼合わせたガラス
板用研削加工シート。 【効果】本発明により従来より大幅に少ない研磨加工量
でうねりが少なく、かつ傷やマイクロクラックが浅く少
ないガラス板表面が作り出せた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用ガ
ラス基板やＣＲＴ用ガラスパネル等の表面を研削するた
めのガラス板用研削加工シートに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ用ガラス基板等の火造
り面、あるいはＣＲＴ用ガラスパネル等のプレス成型面
は完全な平滑面ではなく、多少のうねりやマイクロコル
ゲーション、凹凸を有している。そのため、これらのガ
ラスは研磨により平滑な鏡面に加工されている。しか
し、これらの製品に占める研磨加工コストの割合は大き
く、その削減のために、フロート法板ガラス成形法にお
けるマイクロコルゲーションの低減策、ウネリ変形の少
ないフュージョン法の開発、高い表面品質の得られる精
密プレス成型法等が提案され、開発されてきたが、研磨
行程を省略できる迄には至っておらず、依然として研磨
コストの比率は高い。

【０００３】研磨コストが大きくなる一つの原因は、ガ
ラス板表面を除去したい凹凸の高低差の何倍も研磨除去
しなくてはならないためである。例えば、振幅が０．４
μｍで周期が１０ｍｍである緩やかなうねりを０．１μ
ｍに迄減らすには、セリアを含浸した硬質発泡ウレタン
パッドとセリアを含む研磨液を用いて研磨を行った場
合、表面層を平均５μｍも研磨して除去しなければなら
なかった。また鋳鉄定盤と＃１５００番のカーボランダ
ムを含む研磨液を用いた研磨では、平均２μｍの研磨除
去と、カーボランダム粉によって形成されたマイクロク
ラックを除去するため、再度のセリアによる研磨が必要
であり、セリアによる４μｍの研磨も含め合計６μｍの
研磨除去が必要であった。このように、比較的に緩やか
なうねりについては、効率的に僅かの研磨量で除去する
ことは難しかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術が有していた前述の欠点を解消しようとするもので
ある。すなわち、少ない研磨量で周期３〜３０ｍｍ程度
の表面のうねり、凹凸を効率的に除去するためのガラス
板用研削加工シートを新規に提供することを目的とする
ものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決すべくなされたものであり、研磨のための表面層と
して平均粒径が３μｍ以下の粒度を有するダイヤモンド
粉を含有した有機レジンからなる研削用硬質シートと、
裏面の層としてクッション性を有する軟質シートとの少
なくとも２層により積層体状に構成されていることを特
徴とするガラス板用研削加工シートを提供するものであ
る。

【０００６】以下、図面に従って本発明のガラス板用研
削加工シートについて説明する。

【０００７】図１において、１は軟質シート、２は粘着
層、３はダイヤモンド粉を含有した有機レジンから成る
研削用硬質シートである。また、図２において、１は軟
質シート、２は粘着層、３はダイヤモンド粉を含有した
有機レジンから成る研削用硬質シート、４は硬質プラス
チックシート、５は接着樹脂層である。

【０００８】本発明をさらに詳細に説明すると、本発明
の構成要素であるダイヤモンド粉としては平均粒径が３
μｍ以下の細かい粒径のものが使用できる。平均粒径が
４μｍ以上のものを用いるとガラス板表面に深さ１μｍ
以上のマイクロクラックが生じやすくなり、これを除去
するために更に数μｍの研削が必要となるために好まし
くない。加工除去速度を大きくし、かつマイクロクラッ
ク深さを深くなりにくくするために、０．１〜２μｍの
粒径がより好ましい。

【０００９】なお、微細なダイヤモンド粒では複数の粉
末粒子が凝集し塊になりやすいが、この塊は大きなマイ
クロクラックの原因となりやすいため、解砕してレジン
中に均質に分散させることが必要である。

【００１０】本発明の構成要素である有機レジンとして
は、フェノール樹脂が使用できるが、ポリイミド系レジ
ン、エポキシ系レジンなども使用できる。本発明の構成
要素である軟質シートとしては精密研磨用パッドとして
使われる軟質の発泡ウレタン、不繊布あるいは発泡ポリ
エチレンなどのクッション性を有するものが使用でき
る。本発明の請求項２の構成要素である硬質プラスチッ
クシートとしては硬質塩化ビニル樹脂、ポリプロピレン
樹脂などが使用でき、厚さは柔軟性と剛性とのバランス
などの点で０．１〜１ｍｍが好ましい。本発明の構成要
素である軟質シート、硬質プラスチックシート、ダイヤ
モンド粒を含む有機レジンシートの３者間の接着は市販
の両面接着テープまたは接着剤が使用できる。本発明の
構成要素であるダイヤモンドを含む有機レジンシートと
硬質プラスチックシートとを合わせた厚さは、柔軟性と
剛性とのバランスなどの点で１〜４ｍｍ程度が望まし
い。

【００１１】

【作用】ガラス板表面を平滑に加工する場合、問題とな
る表面の凹凸はその、凹凸の周期から３通りに分類でき
る。一つ目は周期１ｍｍ以下のいわゆる表面粗さと呼ば
れるもの、二つ目は周期３〜３０ｍｍ程度のうねりと呼
ばれるもの、最後は周期５０ｍｍ以上の反りや肉厚偏差
と呼ばれるものなどである。ウレタンなどの研磨パッド
を用いる従来のポリッシュにおいては、表面粗さを小さ
くすることができ、鋳鉄定盤などを用いる従来のラッピ
ングにおいては、反りや肉厚偏差を改善させることがで
きる。

【００１２】そして、本発明のガラス板用研削加工シー
トによる加工方法では、うねりを効率的に取除くことが
できるが、それは本発明のガラス板用研削加工シートの
構成要素である裏面の層としての軟質シートが、周期５
０ｍｍ以上のうねりを吸収して凹凸の形状に応じて変形
するため、周期５０ｍｍ以上の凸部に過度の加工力が働
かないこと、しかも、周期３〜３０ｍｍ程度のうねりに
対しては表面層としての平均粒径が３μ以下の粒度を有
するダイヤモンド粉を含有した有機レジンからなる硬質
シートがうねりの凹凸の形状に応じて変形せずに、周期
３〜３０ｍｍ程度のうねりの凸部に積極的に加工力が働
いて、ガラス板が加工されるためである。

【００１３】

【実施例】次に実施例によってこの発明をさらに具体的
に説明する。

【００１４】実施例１ 平均粒径１μｍの合成ダイヤモンド粉を混合機に入れ、
レゾルシノールレジンと撹拌混合した後、ノボラックレ
ジンとグラファイト粉を入れて更に撹拌した。その後、
ロール成型機にて厚さ１．２ｍｍ，縦横寸法１０ｃｍ角
のシート状に成型し、研磨用硬質シートを得た。各々の
混合比は重量比でダイヤモンド粉４０％，レゾルシノー
ルレジン３％，ノボラックレジン９％，，ボロンナイト
ライド粉４８％とした。シート成型は加圧５０Ｋｇ／ｃ
ｍ² ，加熱１８５℃・６時間で行った。

【００１５】図１に示すように、前記手順で作製した研
磨用硬質シート３を直径８０ｃｍ，厚さ１ｍｍの発泡ポ
リエチレンシートからなる軟質シート１を両面粘着テー
プ２を用いて貼付けて、それぞれが積層されたガラス板
用研削加工シートを得た。次に、これを研磨用硬質シー
ト３が表側になるようにしてオスカー式研磨機の下定盤
に貼付けた。

【００１６】このようにして得られたガラス板用研削加
工シートを仕上げ加工のため、オスカー式研磨機の上定
盤に１０００番のカーボランダム粉を固めた砥石を固定
し、この砥石で下定盤上の研磨加工シート表面を加工
し、継ぎ目の段差あるいはシート厚の差による高さのむ
らを均一化した。このようにして、本発明のガラス板用
研削加工シートを作製した。

【００１７】その後、フロート法板ガラス成型法により
得られる１．１ｍｍ厚みのソーダライムシリカガラスよ
り切出した縦横寸法３００ｍｍ角のガラス板を研削加工
するため上定盤にウレタン製テーブルパッドを介して固
定し、面圧１００ｇ／ｃｍ²で加圧しながらクーラント
として水を供給して平均厚さ０．５μｍだけ加工除去し
た。加工前のガラス板表面には高低差０．４μｍ，周期
１０ｍｍ前後のうねりが存在していたが、この加工後に
はうねりの高低差は０．１μｍを下回る値となり、しか
も、良好な表面であった。

【００１８】なお、続いてガラス板を鏡面研磨すること
を目的として、他のオスカー式研磨機にてセリア研磨液
と発泡ウレタンパッドを用いて平均厚さ１μｍだけ研磨
したところ、うねりの高低差が０．１μｍを下回り、傷
やマイクロクラックも認められないきわめて良好な表面
を得た。

【００１９】実施例２ 平均粒径１μｍの合成ダイヤモンド粉を混合機に入れ、
レゾルシノールレジンと撹拌混合したのち、ノボラック
レジンとグラファイト粉を入れて更に撹拌した。その
後、ロール成型機にて厚さ０．９ｍｍ，縦横寸法１０ｃ
ｍ角のシート状に成型し、研磨用硬質シートを得た。各
々の混合比は重量比でダイヤモンド粉４０％，レゾルシ
ノールレジン３％，ノボラックレジン９％，，ボロンナ
イトライド粉４８％とした。シート成型は加圧５０Ｋｇ
／ｃｍ² ，加熱１８５℃・６時間で行った。

【００２０】図２に示すように、前記手順で作製した研
磨用硬質シート３を直径８０ｃｍ，厚さ０．５ｍｍの硬
質の透明な塩化ビニール樹脂シートからなる硬質プラス
チックシート４にモザイク状に接着樹脂層５を用いて貼
付けた。更に、硬質プラスチックシート４の裏面に厚さ
１ｍｍの発泡ポリエチレンシートからなる軟質シート１
を両面粘着テープ２を用いて貼付けて、それぞれが積層
されたガラス板用研削加工シートを得た。次に、これを
研磨用硬質シート３が表側になるようにしてオスカー式
研磨機の下定盤に貼付けた。

【００２１】このようにして得られたガラス板用研削加
工シートを仕上げ加工のため、オスカー式研磨機の上定
盤に１０００番のカーボランダム粉を固めた砥石を固定
し、この砥石で下定盤上の研磨加工シート表面を加工
し、継ぎ目の段差あるいはシート厚の差による高さのむ
らを均一化した。このようにして、本発明のガラス板用
研削加工シートを作製した。

【００２２】その後、フロート法板ガラス成型法により
得られる１．１ｍｍ厚みのソーダライムシリカガラスよ
り切出した縦横寸法３００ｍｍ角のガラス板を研削加工
するため上定盤にウレタン製テーブルパッドを介して固
定し、面圧１００ｇ／ｃｍ²で加圧しながらクーラント
として水を供給して平均厚さ０．５μｍだけ加工除去し
た。加工前のガラス板表面には高低差０．４μｍ，周期
１０ｍｍ前後のうねりが存在していたが、この加工後に
はうねりの高低差は０．１μｍを下回る値となり、しか
も、良好な表面であった。

【００２３】なお、続いてガラス板を鏡面研磨すること
を目的として、他のオスカー式研磨機にてセリア研磨液
と発泡ウレタンパッドを用いて平均厚さ１μｍだけ研磨
したところ、うねりの高低差が０．１μｍを下回り、傷
やマイクロクラックも認められないきわめて良好な表面
を得た。

【００２４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明により少な
い研磨加工量でうねりが少なく、かつ傷やマイクロクラ
ックが浅く少ないガラス板表面が作り出せ、しかも加工
時間が大幅に短縮でき、品質向上、生産量増大とコスト
削減が実現できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガラス板研削加工シートの１例の斜視
図。

【図２】本発明のガラス板研削加工シートの他の例の斜
視図。

【符号の説明】

１：軟質シート ２：粘着層 ３：ダイヤモンド粉を含有した有機レジンから成る研削
用硬質シート ４：硬質プラスチックシート ５：接着樹脂層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】研磨のための表面層として平均粒径が３μ
   ｍ以下の粒度を有するダイヤモンド粉を含有した有機レ
   ジンからなる研削用硬質シートと、裏面の層としてクッ
   ション性を有する軟質シートとの少なくとも２層により
   積層体状に構成されていることを特徴とするガラス板用
   研削加工シート。
2. 【請求項２】ダイヤモンド粉を含有した有機レジンから
   なる研削用硬質シートの裏面側に、ダイヤモンド粉を含
   有しない硬質プラスチックシートを積層したことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項のガラス板用研削加工シー
   ト。