JPH0757224A - Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic head - Google Patents
Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic headInfo
- Publication number
- JPH0757224A JPH0757224A JP20416193A JP20416193A JPH0757224A JP H0757224 A JPH0757224 A JP H0757224A JP 20416193 A JP20416193 A JP 20416193A JP 20416193 A JP20416193 A JP 20416193A JP H0757224 A JPH0757224 A JP H0757224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- thin film
- magnetic core
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して再生するのに好適な磁気抵抗効果型磁気ヘッド
及び記録再生するのに好適な複合型磁気ヘッドに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetoresistive effect type magnetic head suitable for reproduction on, for example, a hard disk and a composite type magnetic head suitable for recording / reproduction.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば、ハードディスク・ドライブ装置
の記録再生用磁気ヘッドは、誘導型磁気ヘッド(以下、
インダクティブヘッドと称する。)による記録用磁気ヘ
ッドと、短波長感度に優れた磁気抵抗効果型磁気ヘッド
(以下、MRヘッドと称する。)による再生ヘッドとの
複合型とされるのが一般的である。2. Description of the Related Art For example, a recording / reproducing magnetic head of a hard disk drive device is an induction type magnetic head (hereinafter, referred to as
It is called an inductive head. The magnetic head for recording according to (4) and the reproducing head based on a magnetoresistive effect type magnetic head (hereinafter referred to as MR head) having excellent short wavelength sensitivity are generally of a composite type.
【0003】かかる複合型磁気ヘッドとしては、例えば
図12に示すように構成されたものが知られている。こ
の磁気ヘッドは、例えばAl2 O3 −TiC等よりなる
スライダーと称される基板51上に、ハードディスクと
の対接面、すなわちABS(エア・ベアリング・サーフ
ェス)面52に臨んで再生用磁気ギャップg1 を構成す
るMRヘッドと、記録用磁気ギャップg2 を構成するイ
ンダクティブヘッドが積層された構成となっている。As such a composite type magnetic head, for example, one having a structure as shown in FIG. 12 is known. This magnetic head is provided with a reproducing magnetic gap on a substrate 51 called a slider made of, for example, Al 2 O 3 —TiC, facing a hard disk contact surface, that is, an ABS (air bearing surface) surface 52. The MR head forming g 1 and the inductive head forming the recording magnetic gap g 2 are laminated.
【0004】MRヘッドは、先端部と後端部にそれぞれ
電極53,54を積層した磁気抵抗効果素子(以下、M
R素子と称する。)55と、このMR素子55に所定の
向きの磁化状態を与えるバイアス導体56よりなるMR
感磁部64を有し、上記MR感磁部64を絶縁層57を
介して軟磁性材料よりなる一対の薄膜磁気コア58,5
9により挟み込んで形成されている。すなわち、上記M
Rヘッドにおいては、図13に示すようにMR感磁部6
4のMR素子55(図中では電極53,54及びバイア
ス導体56を省略する。)を薄膜磁気コア58,59に
よって挟み込むことにより、磁気記録媒体63より印加
される記録磁界H4 ,H5 ,H6 のうち、不要な記録磁
界H5 ,H6 を薄膜磁気コア58,59によりシールド
し、目的とする記録磁界H4 のみをMR素子55に印加
させるようにしている。The MR head has a magnetoresistive effect element (hereinafter, referred to as an M element) in which electrodes 53 and 54 are laminated on a front end portion and a rear end portion, respectively.
It is called an R element. ) 55 and a bias conductor 56 that gives the MR element 55 a magnetized state in a predetermined direction.
A pair of thin-film magnetic cores 58, 5 having a magnetic sensitive portion 64, the MR magnetic sensitive portion 64 being made of a soft magnetic material via an insulating layer 57.
It is formed by being sandwiched by nine. That is, the above M
In the R head, as shown in FIG.
By sandwiching the MR element 55 of No. 4 (the electrodes 53 and 54 and the bias conductor 56 are omitted in the figure) between the thin film magnetic cores 58 and 59, recording magnetic fields H 4 , H 5 applied from the magnetic recording medium 63, Of the H 6 , unnecessary recording magnetic fields H 5 and H 6 are shielded by the thin film magnetic cores 58 and 59, and only the desired recording magnetic field H 4 is applied to the MR element 55.
【0005】一方、インダクティブヘッドは、MR感磁
部64をシールドする上層の薄膜磁気コア59を、閉磁
路を構成する構成する一方の薄膜磁気コアとし、この薄
膜磁気コア59に対向して積層される他方の薄膜磁気コ
ア60とによってABS面52に臨んで記録用磁気ギャ
ップg2 を構成するようになっている。すなわち、MR
感磁部64をシールドする上層の薄膜磁気コア59に対
向して積層される薄膜磁気コア60は、上記ABS面5
2に臨む前方端部でシールドとして機能する薄膜磁気コ
ア59側に屈曲され、その間隙が狭くなされた対向部分
に記録用磁気ギャップg2 を構成するようになされてい
る。On the other hand, in the inductive head, the upper layer thin-film magnetic core 59 that shields the MR magnetic sensing section 64 is used as one thin-film magnetic core forming a closed magnetic circuit, and is laminated facing the thin-film magnetic core 59. The other thin film magnetic core 60 forms a recording magnetic gap g 2 facing the ABS surface 52. That is, MR
The thin film magnetic core 60, which is laminated so as to face the upper thin film magnetic core 59 that shields the magnetically sensitive portion 64, has the ABS surface 5 described above.
The recording magnetic gap g 2 is formed in the facing portion where the front end portion facing 2 is bent toward the thin film magnetic core 59 that functions as a shield and the gap is narrowed.
【0006】また、上記薄膜磁気コア60は、バック側
で上記MR感磁部64をシールドする上層の薄膜磁気コ
ア59と接続し、当該シールドとして機能する薄膜磁気
コア59とによって閉磁路を構成するようになってい
る。そしてさらに、これら薄膜磁気コア59,60に記
録情報に基づく磁界を印加するための記録用コイル61
が、上記薄膜磁気コア59,60の接続部である磁気的
接合部62を取り囲むようにしてスパイラル状に設けら
れている。なお、記録用コイル61は、上記薄膜磁気コ
ア59,60と電気的に絶縁するために、絶縁層57に
よって埋め込まれている。The thin-film magnetic core 60 is connected to the upper-layer thin-film magnetic core 59 that shields the MR magnetic sensing section 64 on the back side, and the thin-film magnetic core 59 that functions as the shield forms a closed magnetic path. It is like this. Further, a recording coil 61 for applying a magnetic field based on recording information to the thin film magnetic cores 59 and 60.
Is provided in a spiral shape so as to surround the magnetic joint portion 62 which is a connecting portion of the thin film magnetic cores 59 and 60. The recording coil 61 is embedded with an insulating layer 57 in order to electrically insulate it from the thin film magnetic cores 59 and 60.
【0007】すなわち、上記構成の複合型磁気ヘッド
は、MR感磁部64を挟む一対の薄膜磁気コア58,5
9を磁気シールドとしたいわゆるシールド型構成のMR
ヘッドと、その一方の薄膜磁気コア59を磁路を構成す
るコアとして用い、他方の薄膜磁気コア60とによって
閉磁路を構成するインダクティブヘッドとが同一の基板
51上に積層された、いわゆる2ギャップタイプのヘッ
ド構成となっている。この複合型磁気ヘッドにおける記
録は、記録用コイル61より引き出される端子部に交流
電流を供給し、上記ABS面52に臨む記録用磁気ギャ
ップg2 より記録情報に基づく磁束を発生させる。一
方、再生は、MR素子55の先端部と後端部に積層され
る先端電極53と後端電極54よりそれぞれ引き出され
た端子部より直流電流を供給してMR素子55にセンス
電流を流すとともに、バイアス導体56の端子部に直流
電流を流して上記MR素子55に所要の向きの磁化状態
を与えて感度を向上させて行い、再生用磁気ギャップg
1 よりMR素子55に入り込む記録磁界の磁束の量に対
するMR素子55の電気抵抗の変化を検出して行う。That is, in the composite magnetic head having the above-mentioned structure, the pair of thin film magnetic cores 58, 5 sandwiching the MR magnetic sensing portion 64 are provided.
MR of the so-called shield type configuration in which 9 is a magnetic shield
A so-called 2-gap in which a head and an inductive head that uses one of the thin film magnetic cores 59 as a core forming a magnetic path and the other thin film magnetic core 60 forms a closed magnetic path are stacked on the same substrate 51. It has a type head configuration. For recording in this composite type magnetic head, an alternating current is supplied to the terminal portion drawn out from the recording coil 61, and a magnetic flux based on the recording information is generated from the recording magnetic gap g 2 facing the ABS surface 52. On the other hand, for reproduction, a direct current is supplied from the terminal portions drawn out from the front end electrode 53 and the rear end electrode 54 stacked on the front end portion and the rear end portion of the MR element 55, and a sense current is passed to the MR element 55. , A direct current is applied to the terminal portion of the bias conductor 56 to give the MR element 55 a magnetized state in a desired direction to improve the sensitivity.
From 1, the change in the electric resistance of the MR element 55 with respect to the amount of magnetic flux of the recording magnetic field entering the MR element 55 is detected.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な複合型磁気ヘッドにおいては、MRヘッドのバルクハ
ウゼンノイズと出力変動が大きな課題となっている。こ
れは、以下のような理由による。However, Barkhausen noise and output fluctuation of the MR head are major problems in the composite magnetic head as described above. This is for the following reasons.
【0009】例えば、上記MRヘッドにおいては、MR
素子55及びバイアス導体56を挟み込むようにして配
されて軟磁性材料よりなる薄膜磁気コア58,59は、
不要な記録磁界をシールドするとともにバイアス導体5
6より発するバイアス磁界の磁路としても機能してい
る。しかしながら、このような薄膜磁気コア58,59
に、上記のような記録磁界,バイアス磁界を印加した場
合、その磁化は不連続なものとなり易く、これがバルク
ハウゼンノイズとしてMR素子55に検出される。For example, in the above MR head, the MR
The thin film magnetic cores 58 and 59 made of a soft magnetic material and arranged so as to sandwich the element 55 and the bias conductor 56,
Shields unnecessary recording magnetic field and bias conductor 5
It also functions as the magnetic path of the bias magnetic field generated from the magnetic field detector 6. However, such thin film magnetic cores 58, 59
In addition, when the recording magnetic field and the bias magnetic field as described above are applied, the magnetization is likely to be discontinuous, and this is detected by the MR element 55 as Barkhausen noise.
【0010】すなわち、上記薄膜磁気コア58,59を
構成する軟磁性薄膜には、例えば図14に示すような磁
壁エネルギーと異方性エネルギーと静磁エネルギーの和
が最小となるように決定される面内環流磁区が生じてお
り、磁化の際の磁壁の移動が該軟磁性薄膜中の不純物や
表面の凹凸により不連続なものとなり易いため、薄膜磁
気コア58,59の磁化も不連続なものとなり易く、バ
ルクハウゼンノイズが検出される。なお、図14中矢印
は磁化の向きを示している。That is, for the soft magnetic thin film forming the thin film magnetic cores 58 and 59, for example, the sum of the domain wall energy, anisotropic energy and magnetostatic energy as shown in FIG. 14 is determined to be the minimum. In-plane reflux magnetic domains are generated, and the movement of the domain wall during magnetization is likely to be discontinuous due to impurities in the soft magnetic thin film and surface irregularities, so that the magnetizations of the thin film magnetic cores 58 and 59 are also discontinuous. And Barkhausen noise is detected. The arrow in FIG. 14 indicates the direction of magnetization.
【0011】また、上記複合型磁気ヘッドを構成するイ
ンダクティブヘッドによって記録を行う際、記録磁束が
流れる度に、薄膜磁気コア59,60を構成する軟磁性
薄膜の磁区構造が変化するが、上記のように磁化の際の
磁壁の移動が不連続であるために、磁壁移動に伴うエネ
ルギーの変化が不規則的であり、このことから磁化と磁
区構造の間に再現性がなく、磁区構造にバラツキが生じ
る。このとき、上記薄膜磁気コア59はインダクティブ
ヘッド及びMRヘッドの磁気コアとして兼用されてお
り、上記のように薄膜磁気コア59の磁区構造にバラツ
キが生じると、MRヘッドの出力変動が生じる。Further, when recording is performed by the inductive head constituting the composite magnetic head, the magnetic domain structure of the soft magnetic thin film constituting the thin film magnetic cores 59 and 60 changes each time the recording magnetic flux flows. As described above, the movement of the domain wall during magnetization is discontinuous, so the energy change accompanying the domain wall movement is irregular.Therefore, there is no reproducibility between the magnetization and the domain structure, and there is variation in the domain structure. Occurs. At this time, the thin film magnetic core 59 is also used as a magnetic core of the inductive head and the MR head. If the magnetic domain structure of the thin film magnetic core 59 varies as described above, the output of the MR head fluctuates.
【0012】そこで、これまで薄膜磁気コアを構成する
軟磁性薄膜の磁気異方性や磁歪を制御することにより磁
区構造の安定化を行ってきたが、高密度記録化に伴う磁
気ヘッドの小型化が進むにつれて、この手法だけでは出
力を十分に安定させることが困難となってきた。Therefore, the magnetic domain structure has been stabilized by controlling the magnetic anisotropy and magnetostriction of the soft magnetic thin film that constitutes the thin film magnetic core. With the progress of, it became difficult to stabilize the output sufficiently by this method alone.
【0013】そこで本発明は従来の実情に鑑みて提案さ
れたものであり、薄膜磁気コアを構成する軟磁性薄膜の
面内還流磁区の形成を抑え、バルクハウゼンノイズが抑
えられ、出力が安定化されたMRヘッド及び複合型磁気
ヘッドを提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the conventional circumstances, and suppresses the formation of in-plane return magnetic domains in the soft magnetic thin film forming the thin film magnetic core, suppresses Barkhausen noise, and stabilizes the output. It is an object of the present invention to provide an MR head and a composite type magnetic head.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明者等が鋭意検討した結果、軟磁性薄膜を非磁
性薄膜を介して積層することにより上記軟磁性薄膜の面
内環流磁区の形成を抑えることが可能であることを見い
出した。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies made by the present inventors in order to achieve the above-mentioned object, as a result of laminating soft magnetic thin films via non-magnetic thin films, the in-plane reflux magnetic domain of the soft magnetic thin films is laminated. It has been found that it is possible to suppress the formation of.
【0015】すなわち、本発明は、第1の薄膜磁気コア
と第2の薄膜磁気コア間に、磁気抵抗効果素子と該磁気
抵抗効果素子にバイアス磁界を印加する手段よりなる磁
気抵抗効果感磁部が配され、磁気記録媒体との対接面に
臨んで磁気ギャップを構成してなる磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにおいて、少なくともバイアス磁界を印加する手
段側に配される第2の薄膜磁気コアが、軟磁性層が非磁
性層を挟んで少なくとも2層以上に積層された積層膜で
あり、上記非磁性層の厚さTがT≦100nmであるこ
とを特徴とするものである。That is, according to the present invention, a magnetoresistive effect magnetic sensing unit comprising a magnetoresistive effect element and a means for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive effect element between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core. In a magnetoresistive effect type magnetic head having a magnetic gap facing the contact surface with the magnetic recording medium, the second thin film magnetic core disposed at least on the bias magnetic field applying side is The soft magnetic layer is a laminated film in which at least two layers are laminated with a nonmagnetic layer interposed therebetween, and the thickness T of the nonmagnetic layer is T ≦ 100 nm.
【0016】また、本発明は上記のような磁気抵抗効果
型磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子に印加される
センス電流の方向が、磁気記録媒体対接面に対して垂直
な方向であることを特徴とするものである。According to the present invention, in the magnetoresistive effect type magnetic head as described above, the direction of the sense current applied to the magnetoresistive effect element is perpendicular to the contact surface of the magnetic recording medium. It is a feature.
【0017】さらに本発明の複合型磁気ヘッドは、上記
のような磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、該磁気抵抗効果
型磁気ヘッドの第2の薄膜磁気コアとによって閉磁路を
構成する第3の薄膜磁気コアがこの第2の薄膜磁気コア
上に積層され、これらの間に記録用コイルが配され、こ
れら薄膜磁気コアの前方端部間に磁気記録媒体との対接
面に臨んで磁気ギャップを構成する誘導型磁気ヘッドと
が積層されてなることを特徴とするものである。The composite magnetic head of the present invention further comprises a third thin film forming a closed magnetic circuit by the magnetoresistive effect magnetic head as described above and the second thin film magnetic core of the magnetoresistive effect magnetic head. A magnetic core is laminated on the second thin film magnetic core, a recording coil is arranged between them, and a magnetic gap is formed between the front end portions of these thin film magnetic cores so as to face the contact surface with the magnetic recording medium. It is characterized by being laminated with an inductive magnetic head constituting the same.
【0018】また本発明の複合型磁気ヘッドは、上記の
ような磁気抵抗効果型磁気ヘッドの磁気抵抗効果感磁部
と第2の薄膜磁気コア間に誘導型磁気ヘッドの記録用コ
イルが配され、第1の薄膜磁気コアと第2の薄膜磁気コ
ア間に磁気記録媒体との対接面に臨んで形成される磁気
ギャップが、磁気抵抗効果型磁気ヘッドと誘導型磁気ヘ
ッドの磁気ギャップとして兼用されることを特徴とする
ものである。In the composite magnetic head of the present invention, the recording coil of the inductive magnetic head is arranged between the magnetoresistive effect magnetic sensitive section of the magnetoresistive effect magnetic head and the second thin film magnetic core. , The magnetic gap formed between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core facing the contact surface with the magnetic recording medium is also used as the magnetic gap of the magnetoresistive effect magnetic head and the induction magnetic head. It is characterized by being done.
【0019】[0019]
【作用】本発明においては、薄膜磁気コアが、軟磁性層
が非磁性層を挟んで少なくとも2層以上に積層された積
層膜であり、上記非磁性層の厚さTがT≦100nmで
あるため、薄膜磁気コア内に面内環流磁区が形成されな
い。In the present invention, the thin film magnetic core is a laminated film in which at least two soft magnetic layers are laminated with the nonmagnetic layer sandwiched therebetween, and the thickness T of the nonmagnetic layer is T≤100 nm. Therefore, no in-plane reflux magnetic domain is formed in the thin film magnetic core.
【0020】すなわち、図5に示すように、非磁性層1
3を介して軟磁性層11,12が積層された薄膜磁気コ
ア10の軟磁性層11,12には、静磁気的相互作用に
より、図中矢印B1 ,B2 で示すような逆向きの磁化が
生じ、これらの間には図中矢印H1 で示す膜厚方向の還
流磁界が生じ、面内還流磁区を生じて磁壁エネルギーと
異方性エネルギーを大きくすることなしに静磁エネルギ
ーを小さくすることができる。その結果、軟磁性層1
1,12の面内還流磁区をなくし、単磁区化することが
できる。従って、上記軟磁性膜11,12によって構成
される薄膜磁気コア10には、面内還流磁区は生じな
い。That is, as shown in FIG. 5, the non-magnetic layer 1
The soft magnetic layers 11 and 12 of the thin-film magnetic core 10 in which the soft magnetic layers 11 and 12 are laminated via the magnetic field 3 have opposite directions as indicated by arrows B 1 and B 2 in the figure due to magnetostatic interaction. Magnetization occurs, and a reflux magnetic field in the film thickness direction indicated by an arrow H 1 in the figure is generated between them, and an in-plane reflux magnetic domain is generated to reduce the magnetostatic energy without increasing the domain wall energy and the anisotropic energy. can do. As a result, the soft magnetic layer 1
The in-plane return magnetic domains of 1 and 12 can be eliminated to form a single magnetic domain. Therefore, the thin film magnetic core 10 composed of the soft magnetic films 11 and 12 does not have an in-plane return magnetic domain.
【0021】そして、上記薄膜磁気コア10をMRヘッ
ドのシールド膜,インダクティブヘッドの磁気コアとし
て兼用して用いた複合型磁気ヘッドにおいては、MRヘ
ッドとして再生を行う際に薄膜磁気コア10に記録磁
界,バイアス磁界が印加されても、薄膜磁気コア10に
面内還流磁区が生じていないことから磁化に伴う不連続
な磁壁の移動がなく、バルクハウゼンノイズが発生しな
い。また、インダクティブヘッドとして記録を行う際、
薄膜磁気コア10を構成する軟磁性薄膜11,12が単
磁区であることから、記録磁束によってこれらの磁区構
造が変化することはなく、薄膜磁気コア10の磁区構造
にバラツキが生じることもなく、MRヘッドの出力も安
定化される。In the composite magnetic head in which the thin film magnetic core 10 is also used as the shield film of the MR head and the magnetic core of the inductive head, the recording magnetic field is recorded on the thin film magnetic core 10 when reproducing as the MR head. Even when a bias magnetic field is applied, since no in-plane return magnetic domain is generated in the thin film magnetic core 10, there is no discontinuous movement of the magnetic domain wall due to magnetization, and Barkhausen noise does not occur. Also, when recording as an inductive head,
Since the soft magnetic thin films 11 and 12 constituting the thin film magnetic core 10 are single magnetic domains, the magnetic domain structure of these does not change due to the recording magnetic flux, and the magnetic domain structure of the thin film magnetic core 10 does not vary. The output of the MR head is also stabilized.
【0022】[0022]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings.
【0023】本実施例の磁気ヘッドについて説明する前
に、軟磁性層を非磁性層を介して積層した場合の非磁性
層の厚さと軟磁性層の面内に形成される磁区との関係に
ついて述べる。すなわち、軟磁性層として1.7μm厚
のパーマロイ薄膜を用い、非磁性層として膜厚100,
50,10nmのTi薄膜を用い、上記パーマロイ薄膜
にて各Ti薄膜を挟み込んで2層の積層膜とした場合の
パーマロイ薄膜の面内に形成される磁区を調査した。非
磁性層の厚さが100nmである積層膜の軟磁性層の面
内磁区を図1に示し、非磁性層の厚さが50nmである
積層膜の軟磁性層の面内磁区を図2に示し、非磁性層の
厚さが10nmである積層膜の軟磁性層の面内磁区を図
3に示す。これらを前述の軟磁性薄膜の面内磁区と比較
すると、著しく減少しており、非磁性層の厚さが10n
mである積層膜においては、単磁区化していることが確
認された。すなわち、膜厚100nm以下の非磁性層を
軟磁性層によって挟み込んだ積層膜においては、面内還
流磁区の形成が抑制されていることが確認された。Before describing the magnetic head of the present embodiment, the relationship between the thickness of the nonmagnetic layer and the magnetic domains formed in the plane of the soft magnetic layer when the soft magnetic layers are laminated via the nonmagnetic layer. Describe. That is, a 1.7 μm thick permalloy thin film was used as the soft magnetic layer, and a film thickness of 100 μm was used as the non-magnetic layer.
The magnetic domains formed in the plane of the permalloy thin film were investigated when a Ti thin film of 50 and 10 nm was used and the Ti thin films were sandwiched by the above permalloy thin films to form a two-layer laminated film. The in-plane magnetic domain of the soft magnetic layer of the laminated film having a non-magnetic layer thickness of 100 nm is shown in FIG. 1, and the in-plane magnetic domain of the soft magnetic layer of the laminated film having a non-magnetic layer thickness of 50 nm is shown in FIG. 3 shows the in-plane magnetic domain of the soft magnetic layer of the laminated film in which the thickness of the nonmagnetic layer is 10 nm. Comparing these with the in-plane magnetic domain of the soft magnetic thin film described above, it is remarkably reduced, and the thickness of the nonmagnetic layer is 10 n.
It was confirmed that the laminated film of m had a single magnetic domain. That is, it was confirmed that the formation of the in-plane return magnetic domain was suppressed in the laminated film in which the non-magnetic layer having a film thickness of 100 nm or less was sandwiched by the soft magnetic layers.
【0024】実施例 1 次に、本発明を適用した実施例として、MR感磁部を挟
み込むようにして配される一対の薄膜磁気コアの少なく
とも一方の薄膜磁気コアが軟磁性層を非磁性層を介して
積層した積層膜とされたMRヘッドと、上記の積層膜よ
りなる薄膜磁気コア上にさらに薄膜磁気コアを形成し、
これらの間に記録用コイルを形成したインダクティブヘ
ッドよりなる複合型磁気ヘッドの実施例について説明す
る。 Embodiment 1 Next, as an embodiment to which the present invention is applied, at least one thin film magnetic core of a pair of thin film magnetic cores arranged so as to sandwich the MR magnetic sensitive portion has a soft magnetic layer and a nonmagnetic layer. An MR head formed into a laminated film laminated via the above, and a thin film magnetic core further formed on the thin film magnetic core formed of the above laminated film,
An embodiment of a composite magnetic head including an inductive head in which a recording coil is formed between them will be described.
【0025】本実施例の複合型磁気ヘッドは、図4に示
すように、ハードディスクとの対接面となるABS面1
に再生用磁気ギャップg1 を臨ませるMRヘッドと、こ
のABS面1に記録用磁気ギャップg2 を臨ませるイン
ダクティブヘッドをAl2 O 3 −TiC基板等からなる
スライダー2に一側面上に積層形成した、いわゆる2ギ
ャップタイプの記録再生ヘッドとされている。The composite magnetic head of this embodiment is shown in FIG.
ABS surface 1 which is the contact surface with the hard disk
Playback magnetic gap g1 MR head
The magnetic gap g for recording on the ABS 1 of2 Inn that faces
The ductive head is Al2 O 3 -It consists of TiC substrate
So-called 2 gigs, which are laminated on one side of the slider 2.
It is said to be a cap-type recording / playback head.
【0026】MRヘッドは、先端部と後端部にそれぞれ
図示しない定電流源からのセンス電流を通ずるための一
対の電極3a,3b(以下、ABS面1側に設けられる
電極3aを先端電極3a,後端電極側に設けられる電極
3bを後端電極3bと称する。)が積層されたMR素子
4と該MR素子4に所定の向きの磁界状態を与えるバイ
アス導体5とからなる磁気抵抗効果感磁部6(以下、M
R感磁部6と称する。)が軟磁性材料よりなる薄膜磁気
コア9,10によって挟み込まれて形成されている。The MR head has a pair of electrodes 3a and 3b (hereinafter, referred to as an electrode 3a provided on the ABS surface 1 side) for passing a sense current from a constant current source (not shown) to the front end portion and the rear end portion, respectively. , The electrode 3b provided on the rear end electrode side is referred to as a rear end electrode 3b), and a magnetoresistive effect sense composed of an MR element 4 and a bias conductor 5 for applying a magnetic field state in a predetermined direction to the MR element 4. Magnetic part 6 (hereinafter M
It is referred to as an R magnetic field sensing unit 6. ) Is sandwiched between thin film magnetic cores 9 and 10 made of a soft magnetic material.
【0027】上記MR素子4は、インダクティブヘッド
の記録用磁気ギャップg2 のトラック幅よりも若干幅狭
の長方形パターンとして形成され、その長手方向が上記
ABS面1に対する直交方向となるように設けられると
ともに、その一端縁が上記ABS面1に臨むようになっ
ている。また、上記MR素子4は、非磁性の絶縁層を介
して静磁的に結合する一対のMR薄膜を積層した構成と
され、バルクハウゼンノイズの発生が回避されるように
なっている。なお、MR薄膜は、強磁性薄膜からなり、
その膜厚は数百オングストローム程度とされる。The MR element 4 is formed as a rectangular pattern slightly narrower than the track width of the recording magnetic gap g 2 of the inductive head, and is provided such that its longitudinal direction is orthogonal to the ABS surface 1. At the same time, one end of the ABS faces the ABS surface 1. The MR element 4 has a structure in which a pair of MR thin films that are magnetostatically coupled via a non-magnetic insulating layer are laminated to avoid generation of Barkhausen noise. The MR thin film is a ferromagnetic thin film,
The film thickness is about several hundred angstroms.
【0028】一方、上記バイアス導体は、平面長方形状
の細長い配線パターンとして形成され、上記MR素子4
上に絶縁層8を介して所定の距離を隔てて積層されてい
る。また、このバイアス導体5は、上記MR素子4に対
して略直交する方向、つまりMR素子4を横切る形で設
けられている。そして、このバイアス導体5には長手方
向に直流電流であるバイアス電流が供給され、ABS面
1と直交する方向にバイアス磁界がMR素子4に印加さ
れる。On the other hand, the bias conductor is formed as an elongated wiring pattern having a rectangular shape in a plan view, and the MR element 4 is formed.
The insulating layer 8 is laminated on the upper side with a predetermined distance. Further, the bias conductor 5 is provided in a direction substantially orthogonal to the MR element 4, that is, in a form crossing the MR element 4. A bias current, which is a direct current, is supplied to the bias conductor 5 in the longitudinal direction, and a bias magnetic field is applied to the MR element 4 in a direction orthogonal to the ABS surface 1.
【0029】そして、上述のように、上記MRヘッド
は、上記MR素子4とバイアス導体5よりなるMR感磁
部6は絶縁層8を介してパーマロイ等の軟磁性材料から
なる第1の薄膜磁気コア9と第2の薄膜磁気コア10と
で挟み込まれ、いわゆるシールド型構成となっている。
なお、上記軟磁性材料としては、パーマロイ等が挙げら
れ、結晶,非結晶材料のいずれでも良い。As described above, in the MR head, the MR magnetic sensitive portion 6 composed of the MR element 4 and the bias conductor 5 is made of the first thin film magnetic material made of a soft magnetic material such as permalloy via the insulating layer 8. It is sandwiched between the core 9 and the second thin film magnetic core 10 to form a so-called shield type structure.
The soft magnetic material may be permalloy or the like, and may be a crystalline material or an amorphous material.
【0030】MR素子4の下側に設けられる薄膜磁気コ
ア9は、上記スライダー1との間に絶縁層8を介して上
記ABS面にその一端を臨ませるようにしてこのABS
面1に対して略直交する方向に延在して設けられてい
る。The thin film magnetic core 9 provided on the lower side of the MR element 4 is made so that one end thereof faces the ABS surface via the insulating layer 8 with the slider 1.
It is provided so as to extend in a direction substantially orthogonal to the surface 1.
【0031】一方、これに対向して設けられる他方の薄
膜磁気コア10は、先の薄膜磁気コア9と同様に上記A
BS面1にその一端を臨ませるようにしてこのABS面
1に対して略直交する方向に延在して設けられる。そし
て、特に本実施例では、上記薄膜磁気コア10は、非磁
性層13を間に挟み込むようにして一対の軟磁性層1
1,12が積層された構成とされている。なお、上記軟
磁性層の厚さは3.5μmとされ、非磁性層13の厚さ
は10nmとされる。また、上記軟磁性層11,12を
構成する材料は上述の通りであり、これら軟磁性層1
1,12を構成する材料は同一或いは異なるものとして
も良く、非磁性層13を構成する非磁性材料としては、
Ti等が挙げられ、導電,非導電材料のいずれも使用で
きる。On the other hand, the other thin film magnetic core 10 provided so as to face the thin film magnetic core 10 is the same as the thin film magnetic core 9 described above.
It is provided so as to extend in a direction substantially orthogonal to the ABS surface 1 with one end thereof facing the BS surface 1. In particular, in this embodiment, the thin-film magnetic core 10 has a pair of soft magnetic layers 1 with the non-magnetic layer 13 sandwiched therebetween.
1 and 12 are laminated. The soft magnetic layer has a thickness of 3.5 μm, and the nonmagnetic layer 13 has a thickness of 10 nm. The materials forming the soft magnetic layers 11 and 12 are as described above.
The materials forming 1, 2 may be the same or different, and as the non-magnetic material forming the non-magnetic layer 13,
Ti or the like can be used, and both conductive and non-conductive materials can be used.
【0032】一方、インダクティブヘッドにおいては、
上記の積層膜である薄膜磁気コア10を閉磁路を構成す
る他方の薄膜磁気コアとし、この薄膜磁気コア10に対
向して積層される第3の薄膜磁気コア14とによって上
記ABS面1に臨んでその前方端部間に記録用磁気ギャ
ップg2 を構成するようになっている。なお、第3の薄
膜磁気コア14は、後方端部で上記薄膜磁気コア10に
磁気的に接触してバックギャップを構成するようになっ
ている。On the other hand, in the inductive head,
The thin film magnetic core 10 which is the above laminated film is used as the other thin film magnetic core forming a closed magnetic path, and the ABS surface 1 is faced by the third thin film magnetic core 14 which is laminated facing the thin film magnetic core 10. Thus, a recording magnetic gap g 2 is formed between the front ends thereof. The third thin film magnetic core 14 magnetically contacts the thin film magnetic core 10 at its rear end to form a back gap.
【0033】そして、上記第3の薄膜磁気コア14と薄
膜磁気コア10の接続部である磁気的結合部15には、
この磁気的結合部15を取り囲むようにしてスパイラル
状の記録用コイル16が設けられている。記録用コイル
16は、第3の薄膜磁気コア14と薄膜磁気コア10と
の間の絶縁性を確保するために、絶縁層8によって埋め
込まれている。なお、第3の薄膜磁気コア14上にもス
ライダー2上に積層されるMRヘッドとインダクティブ
ヘッドを保護するための保護膜として機能する絶縁層8
が設けられている。Then, in the magnetic coupling portion 15 which is a connecting portion between the third thin film magnetic core 14 and the thin film magnetic core 10,
A spiral recording coil 16 is provided so as to surround the magnetic coupling portion 15. The recording coil 16 is embedded with an insulating layer 8 in order to ensure insulation between the third thin film magnetic core 14 and the thin film magnetic core 10. The insulating layer 8 also functions as a protective film for protecting the MR head and the inductive head laminated on the slider 2 also on the third thin film magnetic core 14.
Is provided.
【0034】上述のように、本実施例の複合型磁気ヘッ
ドにおいては、MRヘッド及びインダクティブヘッドの
磁気コアとして兼用される薄膜磁気コア10を軟磁性層
11,12を非磁性層13を介して積層した積層膜とし
ている。従って、上記薄膜磁気コア10には、面内還流
磁区が生じない。As described above, in the composite magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic core 10 which is also used as the magnetic core of the MR head and the inductive head has the soft magnetic layers 11 and 12 and the non-magnetic layer 13 interposed therebetween. It is a laminated film. Therefore, no in-plane return magnetic domain is generated in the thin film magnetic core 10.
【0035】すなわち、図5に示すように、薄膜磁気コ
ア10を構成する軟磁性層11,12には、静磁気的相
互作用により、図中矢印B1 ,B2 で示すような逆向き
の磁化が生じ、これらの間には図中矢印H1 で示す膜厚
方向の還流磁界が生じ、面内還流磁区を生じて磁壁エネ
ルギーと異方性エネルギーを大きくすることなしに静磁
エネルギーを小さくすることができる。その結果、軟磁
性層11,12の面内還流磁区をなくし、単磁区化する
ことができる。従って、上記軟磁性膜11,12によっ
て構成される薄膜磁気コア10には、面内還流磁区は生
じない。That is, as shown in FIG. 5, the soft magnetic layers 11 and 12 constituting the thin film magnetic core 10 have opposite directions as indicated by arrows B 1 and B 2 in the figure due to magnetostatic interaction. Magnetization occurs, and a reflux magnetic field in the film thickness direction indicated by an arrow H 1 in the figure is generated between them, and an in-plane reflux magnetic domain is generated to reduce the magnetostatic energy without increasing the domain wall energy and the anisotropic energy. can do. As a result, the in-plane return magnetic domain of the soft magnetic layers 11 and 12 can be eliminated and a single magnetic domain can be formed. Therefore, the thin film magnetic core 10 composed of the soft magnetic films 11 and 12 does not have an in-plane return magnetic domain.
【0036】そして、MRヘッドによって再生を行う
際、薄膜磁気コア10に記録磁界,バイアス磁界が印加
されても、薄膜磁気コア10に面内還流磁区が生じてい
ないことから磁化に伴う不連続な磁壁の移動がなく、バ
ルクハウゼンノイズが発生しない。When reproducing with the MR head, even if a recording magnetic field and a bias magnetic field are applied to the thin film magnetic core 10, no in-plane return magnetic domain is generated in the thin film magnetic core 10, so that there is a discontinuity associated with the magnetization. Barkhausen noise does not occur because the domain wall does not move.
【0037】また、インダクティブヘッドによって記録
を行う際、薄膜磁気コア10を構成する軟磁性薄膜1
1,12が単磁区であることから、記録磁束によってこ
れらの磁区構造が変化することはなく、薄膜磁気コア1
0の磁区構造にバラツキが生じることもなく、MRヘッ
ドの出力も安定化される。これらのことから、磁気ヘッ
ドの小型高性能化が可能となる。Further, when recording is performed by the inductive head, the soft magnetic thin film 1 constituting the thin film magnetic core 10 is formed.
Since 1 and 12 are single magnetic domains, the magnetic domain structure does not change due to the recording magnetic flux.
There is no variation in the magnetic domain structure of 0, and the output of the MR head is stabilized. For these reasons, the magnetic head can be made smaller and have higher performance.
【0038】そこで、本実施例の磁気ヘッドの効果を確
認すべく、本実施例の磁気ヘッドのMRヘッドの出力と
従来の磁気ヘッドのMRヘッドの出力の比較を行った。
すなわち、本実施例の磁気ヘッドの薄膜磁気コア10を
構成する軟磁性層11,12として3.5μm厚のパー
マロイ薄膜を用い、非磁性層13として膜厚10nmの
Ti薄膜を用い、該磁気ヘッドのMRヘッドの出力を測
定し、一方、図12に示す従来の磁気ヘッドの薄膜磁気
コア59を上記実施例の薄膜磁気コア10の厚さと同じ
厚さを有するパーマロイ薄膜とし、該磁気ヘッドのMR
ヘッドの出力を測定した。結果を表1に示す。Therefore, in order to confirm the effect of the magnetic head of this embodiment, the output of the MR head of the magnetic head of this embodiment and the output of the MR head of the conventional magnetic head were compared.
That is, the soft magnetic layers 11 and 12 constituting the thin film magnetic core 10 of the magnetic head of the present embodiment are made of a 3.5 μm thick permalloy thin film, and the nonmagnetic layer 13 is made of a Ti thin film having a thickness of 10 nm. The output of the MR head is measured, and the thin-film magnetic core 59 of the conventional magnetic head shown in FIG. 12 is a permalloy thin film having the same thickness as that of the thin-film magnetic core 10 of the above-mentioned embodiment.
The output of the head was measured. The results are shown in Table 1.
【0039】[0039]
【表1】 [Table 1]
【0040】表1の結果を見てわかるように、本実施例
の磁気ヘッドにおいては、出力変動が抑えられ、従来の
磁気ヘッドにおいては、出力変動が大きくなっている。
この結果から、上述のように、本実施例の磁気ヘッドに
おいては、面内還流磁区の発生が抑えられているために
出力変動が抑えられ、従来の磁気ヘッドにおいては薄膜
磁気コア59の面内還流磁区が生じているために出力変
動が大きくなっていることが確認された。As can be seen from the results in Table 1, the magnetic head of the present embodiment suppresses the output fluctuation, while the conventional magnetic head has a large output fluctuation.
From this result, as described above, in the magnetic head of the present embodiment, the output fluctuation is suppressed because the occurrence of the in-plane return magnetic domain is suppressed, and in the conventional magnetic head, the in-plane of the thin film magnetic core 59 is suppressed. It was confirmed that the output fluctuation was large due to the occurrence of the reflux magnetic domain.
【0041】これまで、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、MR素子に印加されるセンス電流の向きが磁気記録
媒体対接面に対して垂直方向となる、いわゆる垂直型M
Rヘッドを用いた複合型磁気ヘッドについて述べてきた
が、本発明は、MR素子に印加されるセンス電流の向き
が磁気記録媒体対接面に対して水平方向となる、いわゆ
る水平型MRヘッドを用いた複合型磁気ヘッドに対して
も適用可能である。Up to now, in the magnetic head of this embodiment, the sense current applied to the MR element has a so-called vertical type M in which the direction of the sense current is perpendicular to the contact surface of the magnetic recording medium.
Although the composite magnetic head using the R head has been described, the present invention provides a so-called horizontal MR head in which the direction of the sense current applied to the MR element is horizontal to the contact surface of the magnetic recording medium. It is also applicable to the used composite type magnetic head.
【0042】また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、
MR素子にバイアス磁界を印加する手段としてバイアス
導体を用いたものについて述べたが、バイアス磁界は、
例えば図6に示すようにバイアス導体の代わりに電磁石
25を配し、これに直流電流を印加してバイアス磁界h
3 を発生させてもよく、図7に示すようにバイアス導体
の代わりに永久磁石26を配してバイアス磁界h4 を発
生させても良い。また、上述のように、水平型MRヘッ
ドを用いた場合においては、薄膜磁気コア27,28間
に配されるMR素子29上に接するようにバイアス導体
30を配し、該バイアス導体30に直流電流を印加して
バイアス磁界h5 を発生させても良く、図9に示すよう
に薄膜磁気コア31,32間に配されるMR素子33近
傍に磁性膜34を配し、該磁性膜34をMR素子33の
センス電流によって磁化し、バイアス磁界h6 を発生さ
せても良い。In the magnetic head of this embodiment,
The bias magnetic field is used as the means for applying the bias magnetic field to the MR element.
For example, as shown in FIG. 6, an electromagnet 25 is arranged instead of the bias conductor, and a DC current is applied to the electromagnet 25 to apply a bias magnetic field h.
3 may be generated, or the bias magnetic field h 4 may be generated by disposing the permanent magnet 26 instead of the bias conductor as shown in FIG. 7. Further, as described above, when the horizontal MR head is used, the bias conductor 30 is arranged so as to be in contact with the MR element 29 arranged between the thin film magnetic cores 27 and 28, and the direct current is applied to the bias conductor 30. A bias magnetic field h 5 may be generated by applying a current. As shown in FIG. 9, a magnetic film 34 is arranged in the vicinity of the MR element 33 arranged between the thin film magnetic cores 31 and 32, and the magnetic film 34 is The MR element 33 may be magnetized by the sense current to generate the bias magnetic field h 6 .
【0043】さらに、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、MRヘッドとインダクティブヘッドの薄膜磁気コア
として兼用される薄膜磁気コアを非磁性層を介して軟磁
性層を2層重ねた積層膜としたが、薄膜磁気コアを図1
0に示すような2層以上の多層積層膜としても、図中に
示すように軟磁性層35a,35b間、35b,35c
間といった隣接する軟磁性層35間に膜厚方向の還流磁
界が生じ、各軟磁性層35には面内還流磁区が生じない
ことから、これを用いた磁気ヘッドにおいても本実施例
の磁気ヘッドと同様の効果が期待される。Further, in the magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic core which is also used as the thin film magnetic core of the MR head and the inductive head is a laminated film in which two soft magnetic layers are stacked with the nonmagnetic layer interposed therebetween. Figure 1 shows a thin film magnetic core
As shown in the figure, between the soft magnetic layers 35a and 35b, 35b and 35c, even if a multilayer laminated film of two or more layers as shown in FIG.
A return magnetic field in the film thickness direction is generated between the adjacent soft magnetic layers 35 such as a space, and no in-plane return magnetic domain is generated in each soft magnetic layer 35. Therefore, the magnetic head using the same also has the magnetic head of this embodiment. The same effect as is expected.
【0044】実施例 2 本実施例においては、MR感磁部を挟み込むようにして
配される一対の薄膜磁気コアの少なくとも一方の薄膜磁
気コアが軟磁性層を非磁性層を介して積層した積層膜と
されたMRヘッドのMR感磁部と上記の積層膜よりなる
薄膜磁気コア間にインダクティブヘッドの記録用コイル
が配され、上記一対の薄膜磁気コア間に磁気記録媒体と
の対接面に臨んで形成される磁気ギャップがMRヘッド
とインダクティブヘッドの磁気ギャップとして兼用され
る複合型磁気ヘッドの実施例について説明する。 Embodiment 2 In this embodiment, at least one thin film magnetic core of a pair of thin film magnetic cores arranged so as to sandwich the MR magnetic sensitive portion has a soft magnetic layer laminated via a nonmagnetic layer. The recording coil of the inductive head is arranged between the MR magnetic sensing part of the MR head and the thin film magnetic core composed of the above-mentioned laminated film, and the recording coil of the inductive head is provided between the pair of thin film magnetic cores on the contact surface with the magnetic recording medium. An embodiment of a composite type magnetic head in which the magnetic gap formed so as to face is also used as the magnetic gap of the MR head and the inductive head will be described.
【0045】本実施例の磁気ヘッドは、図11に示すよ
うに、ハードディスクとの対接面となるABS面41に
記録再生用磁気ギャップg3 を臨ませるように軟磁性材
料よりなる薄膜磁気コア49,50が配され、これらの
間にMR感磁部46と記録用コイル56が配されてお
り、これらがスライダー42の一側面上に積層形成され
て、いわゆる単磁極の記録再生ヘッドとして構成されて
いる。As shown in FIG. 11, the magnetic head of this embodiment has a thin film magnetic core made of a soft magnetic material so that the ABS surface 41, which is the contact surface with the hard disk, faces the recording / reproducing magnetic gap g 3. 49 and 50 are arranged, and the MR magnetic sensing section 46 and the recording coil 56 are arranged between them, and these are laminated on one side surface of the slider 42 to form a so-called single-pole recording / reproducing head. Has been done.
【0046】このとき、特に本実施例の磁気ヘッドにお
いては、記録用コイル56側に配される薄膜磁気コア5
0が、非磁性層53を間に挟み込むようにして一対の軟
磁性層51,52が積層された構成とされている。な
お、上記非磁性層53の厚さは100μm以下とされ、
これを構成する材料としては、Ti等が挙げられ、導
電,非導電材料のいずれでも良く、軟磁性層51,52
を構成する材料としては、パーマロイ等が挙げられ、結
晶,非結晶材料のいずれでも良く、これら軟磁性層5
1,52を構成する材料は、同一或いは異なる材料とし
ても良い。そして、上記薄膜磁気コア50は後方端部で
上記薄膜磁気コア49に磁気的結合部55にて接触して
バックギャップを構成するようになっている。At this time, especially in the magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic core 5 arranged on the recording coil 56 side.
No. 0 has a structure in which a pair of soft magnetic layers 51 and 52 are laminated so as to sandwich the non-magnetic layer 53 therebetween. The thickness of the nonmagnetic layer 53 is 100 μm or less,
Examples of the material constituting this include Ti and the like, which may be conductive or non-conductive materials.
Examples of the material forming the magnetic layer include permalloy and the like, and any of crystalline and amorphous materials may be used.
The materials forming 1, 52 may be the same or different materials. The thin film magnetic core 50 contacts the thin film magnetic core 49 at the rear end thereof at the magnetic coupling portion 55 to form a back gap.
【0047】また、本実施例の磁気ヘッドにおいても、
実施例1の磁気ヘッドと同様にMR感磁部46は、セン
ス電流を通ずるための先端電極43a,後端電極43b
が積層されたMR素子44と該MR素子44に所要の向
きの磁界状態を与えるバイアス導体45からなる。な
お、上記MR素子44及びバイアス導体45は、実施例
1の磁気ヘッドのMR素子4及びバイアス導体5と同様
の形状,構成,機能を有する。Further, also in the magnetic head of this embodiment,
Similar to the magnetic head of the first embodiment, the MR magnetic sensing unit 46 has a front electrode 43a and a rear electrode 43b for passing a sense current.
Of the MR element 44 and a bias conductor 45 which gives the MR element 44 a magnetic field in a desired direction. The MR element 44 and the bias conductor 45 have the same shape, configuration and function as the MR element 4 and the bias conductor 5 of the magnetic head of the first embodiment.
【0048】そして、記録用コイル56は、上記薄膜磁
気コア49,50の磁気的結合部55を取り囲むように
してスパイラル状に設けられている。なお、MR素子4
4、バイアス導体45、記録用コイル56、薄膜磁気コ
ア49,50間に絶縁層48が介在していることは言う
までもない。The recording coil 56 is provided in a spiral shape so as to surround the magnetic coupling portion 55 of the thin film magnetic cores 49 and 50. The MR element 4
It goes without saying that the insulating layer 48 is interposed between the 4, the bias conductor 45, the recording coil 56, and the thin film magnetic cores 49 and 50.
【0049】従って、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、薄膜磁気コア49,50が、MR感磁部46のシー
ルドとして機能して該MR感磁部46とMRヘッドを構
成するとともに、磁気コアとして機能して記録用コイル
56とインダクティブヘッドを構成している。Therefore, in the magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic cores 49 and 50 function as a shield of the MR magnetic sensing part 46 to form the MR magnetic sensing part 46 and the MR head, and also as a magnetic core. It functions and constitutes the recording coil 56 and the inductive head.
【0050】そして、本実施例の磁気ヘッドにおいて
も、上記薄膜磁気コア49,50及びMR感磁部46,
記録用コイル56は、絶縁層48を介してスライダー4
2上に形成され、また薄膜磁気コア50上にもこれらを
保護するために絶縁層48が形成されている。Also in the magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic cores 49, 50 and the MR magnetic sensing section 46,
The recording coil 56 is provided on the slider 4 via the insulating layer 48.
2, and an insulating layer 48 is also formed on the thin film magnetic core 50 to protect them.
【0051】本実施例の磁気ヘッドにおいては、薄膜磁
気コア50を非磁性層53を介して軟磁性層51,52
を積層した積層膜としており、薄膜磁気コア50に面内
還流磁区が発生しないため、該磁気ヘッドをインダクテ
ィブヘッドとして機能させ、記録用コイル56に電流を
供給して記録磁界を発生させても、薄膜磁気コアの磁区
構造にバラツキが生じることがない。従って、上記のよ
うに薄膜磁気コア49,50をインダクティブヘッドの
磁気コア及びMRヘッドのシールドとして兼用しても、
MRヘッドの出力に影響を及ぼすことがない。なお、こ
のことから磁気ヘッドの小型化も達成される。In the magnetic head of this embodiment, the thin film magnetic core 50 is provided with the non-magnetic layer 53 and the soft magnetic layers 51 and 52.
Since the in-plane return magnetic domain is not generated in the thin film magnetic core 50, even if the magnetic head is made to function as an inductive head and a current is supplied to the recording coil 56 to generate a recording magnetic field, There is no variation in the magnetic domain structure of the thin film magnetic core. Therefore, even if the thin film magnetic cores 49 and 50 are used as the magnetic core of the inductive head and the shield of the MR head as described above,
It does not affect the output of the MR head. From this, the miniaturization of the magnetic head is also achieved.
【0052】また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、
実施例1の磁気ヘッドと同様、バルクハウゼンノイズの
発生も抑えられる。さらに、本実施例の磁気ヘッドにお
いては、薄膜磁気コア50を構成する軟磁性層52,5
3の厚さが従来の磁気ヘッドよりも薄くなるため、高周
波記録磁界を薄膜磁気コア50に印加したときの電流損
失が低減され、該薄膜磁気コア50の透磁率が向上し、
記録電流を小さくすることができ、ヘッドの小電力化が
達成される。また、これらのことから、磁気ヘッドの小
型高性能化が達成される。In the magnetic head of this embodiment,
As with the magnetic head of the first embodiment, generation of Barkhausen noise can be suppressed. Further, in the magnetic head of the present embodiment, the soft magnetic layers 52, 5 which compose the thin film magnetic core 50.
Since the thickness of 3 is thinner than that of the conventional magnetic head, the current loss when a high frequency recording magnetic field is applied to the thin film magnetic core 50 is reduced, and the magnetic permeability of the thin film magnetic core 50 is improved.
The recording current can be reduced, and the power consumption of the head can be reduced. Further, from the above, the miniaturization and high performance of the magnetic head can be achieved.
【0053】[0053]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
においては、第1の薄膜磁気コアと第2の薄膜磁気コア
間に、磁気抵抗効果素子と該磁気抵抗効果素子にバイア
ス磁界を印加する手段よりなる磁気抵抗効果感磁部が配
され、磁気記録媒体との対接面に臨んで磁気ギャップを
構成してなる磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、少な
くともバイアス磁界を印加する手段側に配される第2の
薄膜磁気コアが、軟磁性層が非磁性層を挟んで少なくと
も2層以上に積層された積層膜であり、上記非磁性層の
厚さTがT≦100nmであることから、上記第2の薄
膜磁気コアに面内還流磁界が発生することがなく、該第
2の薄膜磁気コアに記録磁界,バイアス磁界が印加され
ても、磁化に伴う不連続な磁壁の移動がなく、バルクハ
ウゼンノイズの発生が抑えられる。その結果、磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの高性能化及び小型化が可能となる。As is apparent from the above description, in the present invention, a magnetoresistive effect element and a bias magnetic field are applied to the magnetoresistive effect element between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core. Of the magnetoresistive effect magnetic field sensing section, and a magnetic resistance effect type magnetic head having a magnetic gap facing the contact surface with the magnetic recording medium is disposed at least on the bias magnetic field applying side. The second thin film magnetic core is a laminated film in which at least two soft magnetic layers are laminated with a nonmagnetic layer sandwiched therebetween, and the thickness T of the nonmagnetic layer is T ≦ 100 nm. An in-plane reflux magnetic field is not generated in the second thin film magnetic core, and even if a recording magnetic field or a bias magnetic field is applied to the second thin film magnetic core, there is no discontinuous movement of the domain wall due to magnetization, Generation of Barkhausen noise It is suppressed. As a result, it is possible to improve the performance and downsize the magnetoresistive head.
【0054】また、本発明の複合型磁気ヘッドは、上記
のような磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、該磁気抵抗効果
型磁気ヘッドの第2の薄膜磁気コアとによって閉磁路を
構成する第3の薄膜磁気コアがこの第2の薄膜磁気コア
上に積層され、これらの間に記録用コイルが配され、こ
れら薄膜磁気コアの前方端部間に磁気記録媒体との対接
面に臨んで磁気ギャップを構成する誘導型磁気ヘッドと
が積層されており、第2の薄膜磁気コアに面内還流磁区
が発生していないため、記録時に第2の薄膜磁気コアの
磁区構造のバラツキが生じず、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの出力が安定化される。その結果、複合型磁気ヘッド
の高性能化及び小型化が可能となる。In the composite magnetic head of the present invention, the magnetoresistive effect type magnetic head as described above and the second thin film magnetic core of the magnetoresistive effect type magnetic head constitute a third magnetic path. A thin film magnetic core is laminated on the second thin film magnetic core, a recording coil is arranged between them, and a magnetic gap is formed between the front end portions of these thin film magnetic cores so as to face the contact surface with the magnetic recording medium. Since the in-plane magnetic flux return domain is not generated in the second thin film magnetic core, the magnetic domain structure of the second thin film magnetic core does not vary during recording, and The output of the resistance effect type magnetic head is stabilized. As a result, it is possible to improve the performance and downsize the composite magnetic head.
【0055】さらに、本発明の複合型磁気ヘッドは、上
記のような磁気抵抗効果型磁気ヘッドの磁気抵抗効果感
磁部と第2の薄膜磁気コア間に誘導型磁気ヘッドの記録
用コイルが配され、第1の薄膜磁気コアと第2の薄膜磁
気コア間に磁気記録媒体との対接面に臨んで形成される
磁気ギャップが、磁気抵抗効果型磁気ヘッドと誘導型磁
気ヘッドの磁気ギャップとして兼用されることから、高
性能化及び小型化が達成される。また、第2の薄膜磁気
コアの透磁率が高くなることから、記録電流を低減で
き、複合型磁気ヘッドの小電力化が可能となる。Further, in the composite type magnetic head of the present invention, the recording coil of the induction type magnetic head is arranged between the magnetoresistive effect magnetic sensitive section of the magnetoresistive effect type magnetic head as described above and the second thin film magnetic core. The magnetic gap formed between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core facing the contact surface with the magnetic recording medium serves as the magnetic gap between the magnetoresistive effect magnetic head and the inductive magnetic head. Since they are also used, high performance and miniaturization are achieved. Further, since the magnetic permeability of the second thin film magnetic core is increased, the recording current can be reduced and the electric power of the composite magnetic head can be reduced.
【図1】非磁性層の厚さが100nmである積層膜の軟
磁性層の面内磁区を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing an in-plane magnetic domain of a soft magnetic layer of a laminated film having a nonmagnetic layer thickness of 100 nm.
【図2】非磁性層の厚さが50nmである積層膜の軟磁
性層の面内磁区を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing in-plane magnetic domains of a soft magnetic layer of a laminated film having a nonmagnetic layer thickness of 50 nm.
【図3】非磁性層の厚さが10nmである積層膜の軟磁
性層の面内磁区を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing in-plane magnetic domains of a soft magnetic layer of a laminated film having a nonmagnetic layer thickness of 10 nm.
【図4】実施例1の磁気ヘッドを示す要部概略断面図で
ある。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of essential parts showing a magnetic head of Example 1.
【図5】実施例1の磁気ヘッドの薄膜磁気コア中の磁
化,磁界の様子を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing the states of magnetization and magnetic field in the thin film magnetic core of the magnetic head of Example 1.
【図6】バイアス磁界を印加する手段の一例を模式的に
示す要部概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a main part schematically showing an example of means for applying a bias magnetic field.
【図7】バイアス磁界を印加する手段の他の例を模式的
に示す要部概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a main part schematically showing another example of a means for applying a bias magnetic field.
【図8】バイアス磁界を印加する手段のさらに他の例を
模式的に示す要部概略断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a main part, which schematically shows still another example of a means for applying a bias magnetic field.
【図9】バイアス磁界を印加する手段のさらに他の例を
模式的に示す要部概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a main part schematically showing still another example of the means for applying a bias magnetic field.
【図10】薄膜磁気コアを多層積層膜とした場合の薄膜
磁気コア中の磁界の様子を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a state of a magnetic field in a thin film magnetic core when the thin film magnetic core is a multilayer laminated film.
【図11】実施例2の磁気ヘッドを示す要部概略断面図
である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of essential parts showing a magnetic head of Example 2.
【図12】従来の複合型磁気ヘッドを示す要部概略断面
図である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of an essential part showing a conventional composite magnetic head.
【図13】従来の複合型磁気ヘッドのMR感磁部近傍を
示す模式図である。FIG. 13 is a schematic view showing the vicinity of an MR magnetic sensing part of a conventional composite magnetic head.
【図14】従来の複合型磁気ヘッドの薄膜磁気コアを構
成する軟磁性薄膜の面内還流磁界を示す模式図である。FIG. 14 is a schematic diagram showing an in-plane reflux magnetic field of a soft magnetic thin film forming a thin film magnetic core of a conventional composite magnetic head.
1,41・・・ABS面 3a,43a・・・先端電極 3b,43b・・・後端電極 4,44・・・MR素子 5,45・・・バイアス導体 6,46・・・MR感磁部 9,10,14,49,50・・・薄膜磁気コア 11,12,51,52・・・軟磁性層 13,53・・・非磁性層 16,56・・・記録用コイル g1 ・・・再生用磁気ギャップ g2 ・・・記録用磁気ギャップ g3 ・・・記録再生用磁気ギャップ1, 41 ... ABS surface 3a, 43a ... Front electrode 3b, 43b ... Rear electrode 4,44 ... MR element 5, 45 ... Bias conductor 6, 46 ... MR magnetic sensitivity Part 9, 10, 14, 49, 50 ... Thin film magnetic core 11, 12, 51, 52 ... Soft magnetic layer 13, 53 ... Non-magnetic layer 16, 56 ... Recording coil g 1. ... reproducing magnetic gap g 2 ··· recording magnetic gap g 3 ··· recording and reproducing magnetic gap
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 照井 聡 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Satoshi Terui 6-735 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation
Claims (4)
ア間に、磁気抵抗効果素子と該磁気抵抗効果素子にバイ
アス磁界を印加する手段よりなる磁気抵抗効果感磁部が
配され、磁気記録媒体との対接面に臨んで磁気ギャップ
を構成してなる磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、 少なくともバイアス磁界を印加する手段側に配される第
2の薄膜磁気コアが、軟磁性層が非磁性層を挟んで少な
くとも2層以上に積層された積層膜であり、上記非磁性
層の厚さTがT≦100nmであることを特徴とする磁
気抵抗効果型磁気ヘッド。1. A magnetoresistive effect magnetic sensing section comprising a magnetoresistive effect element and a means for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive effect element is arranged between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core, In a magnetoresistive effect magnetic head having a magnetic gap facing a surface facing a magnetic recording medium, at least a second thin-film magnetic core arranged on a bias magnetic field applying side has a soft magnetic layer. A magnetoresistive effect magnetic head, which is a laminated film in which at least two layers are laminated with a nonmagnetic layer interposed therebetween, and the thickness T of the nonmagnetic layer is T ≦ 100 nm.
流の方向が、磁気記録媒体対接面に対して垂直な方向で
あることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果型磁
気ヘッド。2. The magnetoresistive effect type magnetic head according to claim 1, wherein the direction of the sense current applied to the magnetoresistive effect element is a direction perpendicular to the contact surface of the magnetic recording medium.
ドと、該磁気抵抗効果型磁気ヘッドの第2の薄膜磁気コ
アとによって閉磁路を構成する第3の薄膜磁気コアがこ
の第2の薄膜磁気コア上に積層され、これらの間に記録
用コイルが配され、これら薄膜磁気コアの前方端部間に
磁気記録媒体との対接面に臨んで磁気ギャップを構成す
る誘導型磁気ヘッドとが積層されてなることを特徴とす
る複合型磁気ヘッド。3. A third thin-film magnetic core forming a closed magnetic path by the magnetoresistive magnetic head according to claim 1 and a second thin-film magnetic core of the magnetoresistive magnetic head. An induction type magnetic head that is laminated on a thin film magnetic core, and a recording coil is arranged between them, and forms a magnetic gap between the front end portions of these thin film magnetic cores facing the contact surface with the magnetic recording medium; A composite type magnetic head comprising:
ドの磁気抵抗効果感磁部と第2の薄膜磁気コア間に誘導
型磁気ヘッドの記録用コイルが配され、第1の薄膜磁気
コアと第2の薄膜磁気コア間に磁気記録媒体との対接面
に臨んで形成される磁気ギャップが、磁気抵抗効果型磁
気ヘッドと誘導型磁気ヘッドの磁気ギャップとして兼用
されることを特徴とする複合型磁気ヘッド。4. The first thin film magnetic core, wherein the recording coil of the inductive magnetic head is arranged between the magnetoresistive effect magnetic sensing part of the magnetoresistive effect magnetic head according to claim 1 and the second thin film magnetic core. The magnetic gap formed between the first thin film magnetic core and the second thin film magnetic core facing the contact surface with the magnetic recording medium is also used as the magnetic gap of the magnetoresistive effect type magnetic head and the induction type magnetic head. Composite magnetic head.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20416193A JPH0757224A (en) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20416193A JPH0757224A (en) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0757224A true JPH0757224A (en) | 1995-03-03 |
Family
ID=16485850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20416193A Pending JPH0757224A (en) | 1993-08-18 | 1993-08-18 | Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0757224A (en) |
-
1993
- 1993-08-18 JP JP20416193A patent/JPH0757224A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0221540B1 (en) | Magnetic transducer head utilizing magnetoresistance effect | |
US5705926A (en) | Magnetic sensor and magnetic field sensing method of using same based on impedance changes of a high frequency supplied conductor | |
US5808843A (en) | Magnetoresistance effect reproduction head | |
JP2731506B2 (en) | Magnetoresistive magnetic head and method of manufacturing the same | |
JPH07192227A (en) | Magneto-resistance effect type magnetic head | |
JP3294742B2 (en) | Magnetoresistive head | |
JPH087229A (en) | Magnetoresistance effect type magnetic head | |
US5959809A (en) | Magnetoresistive head and method of manufacturing the same and magnetic recording apparatus | |
JPH10149513A (en) | Magneto-resistive composite head | |
JPH07201021A (en) | Composite magnetic head | |
JPH0757224A (en) | Magneto-resistance effect type magnetic head and combined magnetic head | |
JPH07244822A (en) | Magnetoresistance effect type magnetic head | |
JP2001256617A (en) | Thin-film magnetic head and method of manufacture | |
JP2927240B2 (en) | Magnetoresistance and inductive combined thin film magnetic head | |
JPH0836715A (en) | Magnetoresistance effect-type magnetic head | |
JP2001084531A (en) | Magnetoresistance effect type thin film magnetic head | |
JP3210139B2 (en) | Magnetoresistive magnetic head | |
JP3529668B2 (en) | Magnetic reproducing element, magnetic head using the same, and method of manufacturing the same | |
JPH0572642B2 (en) | ||
JPS622363B2 (en) | ||
JPS6371914A (en) | Reproducing head | |
JPH0896330A (en) | Magnetoresistive effect magnetic head and combined magnetic head | |
JPS62159318A (en) | Magneto-resistance effect type magnetic sensor | |
JPH07210826A (en) | Magnetoresistance effect magnetic head | |
JP2000182221A (en) | Magneto-resistance element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030610 |