JPH0753877Y2 - スピンドル軸の回転異常検知装置 - Google Patents
スピンドル軸の回転異常検知装置Info
- Publication number
- JPH0753877Y2 JPH0753877Y2 JP13124689U JP13124689U JPH0753877Y2 JP H0753877 Y2 JPH0753877 Y2 JP H0753877Y2 JP 13124689 U JP13124689 U JP 13124689U JP 13124689 U JP13124689 U JP 13124689U JP H0753877 Y2 JPH0753877 Y2 JP H0753877Y2
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- Japan
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- spindle shaft
- vibration
- shaft
- spindle
- rotation
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ダイシング装置に用いられるスピンドル軸の
回転異常検知装置に関する。
回転異常検知装置に関する。
従来はダイシング装置において、非加工時に、ダイシン
グブレードを回転保持するスピンドル軸の回転状態が適
正であるか異常であるかを検知する装置は特に無かっ
た。このため、まずワークを加工してみて、加工後のワ
ークがきれいに加工されていなかったり、例えばワーク
に欠けが多かったりその欠けが大きかったり、あるいは
ブレードの摩耗が異常に速かったりすることを発見し
て、初めてスピンドル軸の回転状態を点検するようにし
ていた。スピンドル軸の回転異常の原因としては、空気
軸受の空気吐出孔の目詰まり、スピンドル軸のアンバラ
ンス、あるいはダイシングブレードが偏心したり、傾い
て取付けられること等が考えられる。
グブレードを回転保持するスピンドル軸の回転状態が適
正であるか異常であるかを検知する装置は特に無かっ
た。このため、まずワークを加工してみて、加工後のワ
ークがきれいに加工されていなかったり、例えばワーク
に欠けが多かったりその欠けが大きかったり、あるいは
ブレードの摩耗が異常に速かったりすることを発見し
て、初めてスピンドル軸の回転状態を点検するようにし
ていた。スピンドル軸の回転異常の原因としては、空気
軸受の空気吐出孔の目詰まり、スピンドル軸のアンバラ
ンス、あるいはダイシングブレードが偏心したり、傾い
て取付けられること等が考えられる。
このようにワークを加工した後二次的（間接的）にスピ
ンドル軸の回転状態の異常を発見し、その原因を究明、
除去して修正するようにしていたため、それまでに多く
のワークの加工不良を生じ、適正加工ワークの歩留りを
低下させ、１個当りのコストを上昇させるという問題点
があった。
ンドル軸の回転状態の異常を発見し、その原因を究明、
除去して修正するようにしていたため、それまでに多く
のワークの加工不良を生じ、適正加工ワークの歩留りを
低下させ、１個当りのコストを上昇させるという問題点
があった。
また、振動センサでスピンドル軸の振動を検知する場
合、空気軸受により支持されたスピンドル軸（回転体）
はハウジング（非回転体）と非接触状態のため、スピン
ドル軸の振動は空気を介してハウジングに伝達されるこ
ととなる（空気がダンパの役目をする）。また、ハウジ
ングはスピンドル構造以外の他の装置と連結しており、
他の装置からの振動も拾ってしまうため、ハウジングに
振動センサを取り付けて検出しようとしても正確にスピ
ンドル軸の振動を検出できないという問題点がある。非
接触センサでスピンドル軸の振動を検出する方法もある
が、先に述べたように空気がダンパの役目をするため、
直接接触による検出よりも検出レベルが小さく、スピン
ドル軸の異常が相当大きくなってこないと検出できな
い。
合、空気軸受により支持されたスピンドル軸（回転体）
はハウジング（非回転体）と非接触状態のため、スピン
ドル軸の振動は空気を介してハウジングに伝達されるこ
ととなる（空気がダンパの役目をする）。また、ハウジ
ングはスピンドル構造以外の他の装置と連結しており、
他の装置からの振動も拾ってしまうため、ハウジングに
振動センサを取り付けて検出しようとしても正確にスピ
ンドル軸の振動を検出できないという問題点がある。非
接触センサでスピンドル軸の振動を検出する方法もある
が、先に述べたように空気がダンパの役目をするため、
直接接触による検出よりも検出レベルが小さく、スピン
ドル軸の異常が相当大きくなってこないと検出できな
い。
そこで本考案は上記問題点を解決するため、一端部にダ
イシングブレードを取付け、空気軸受により支持されて
回転するスピンドル軸を備えたダイシング装置におい
て、前記スピンドル軸に接触して振動を直接接触により
検知するように設けられ、回転時のスピンドル軸の振動
を直接検知する振動センサと、この振動センサからの信
号により前記スピンドル軸の回転状態が異常か否かを判
別する異常判別手段とを設けた構成としたものである。
イシングブレードを取付け、空気軸受により支持されて
回転するスピンドル軸を備えたダイシング装置におい
て、前記スピンドル軸に接触して振動を直接接触により
検知するように設けられ、回転時のスピンドル軸の振動
を直接検知する振動センサと、この振動センサからの信
号により前記スピンドル軸の回転状態が異常か否かを判
別する異常判別手段とを設けた構成としたものである。
このような構成のスピンドル軸の回転異常検知装置によ
れば、回転時のスピンドル軸の振動を直接検知する振動
センサからの信号により、スピンドル軸の回転状態が異
常か否かを異常判別手段が判別することにより、非加工
時でもその異常を判別することが可能となり、ワークの
加工不良が多く生ずることを防止して、適正加工ワーク
の加工歩留りを向上させることができる。
れば、回転時のスピンドル軸の振動を直接検知する振動
センサからの信号により、スピンドル軸の回転状態が異
常か否かを異常判別手段が判別することにより、非加工
時でもその異常を判別することが可能となり、ワークの
加工不良が多く生ずることを防止して、適正加工ワーク
の加工歩留りを向上させることができる。
以下、本考案の実施例について、第１図ないし第３図に
示すスピンドル軸の回転異常検知装置基づいて説明す
る。
示すスピンドル軸の回転異常検知装置基づいて説明す
る。
第１図において、10はダイシング装置のスピンドル構造
であり、このスピンドル構造10の軸線部にはスピンドル
軸１が配置されている。スピンドル軸１の図中左端部に
は、チャックテーブル上に載置されたワークＷ、例え
ば、多数の集積回路チップが縦横に揃えて配列して形成
された半導体ウェハーを、各集積回路チップ毎に細かく
切断加工する、ダイヤモンド砥粒等により形成されたダ
イシングブレード２が取付けられる。スピンドル軸１の
周囲には本体３が包囲するよう形成され、スピンドル軸
１と本体３との間にはスピンドル軸１を軸受支持する空
気軸受5,6が設けられている。
であり、このスピンドル構造10の軸線部にはスピンドル
軸１が配置されている。スピンドル軸１の図中左端部に
は、チャックテーブル上に載置されたワークＷ、例え
ば、多数の集積回路チップが縦横に揃えて配列して形成
された半導体ウェハーを、各集積回路チップ毎に細かく
切断加工する、ダイヤモンド砥粒等により形成されたダ
イシングブレード２が取付けられる。スピンドル軸１の
周囲には本体３が包囲するよう形成され、スピンドル軸
１と本体３との間にはスピンドル軸１を軸受支持する空
気軸受5,6が設けられている。
スピンドル軸１の図中右端部にはこのスピンドル軸１を
回転駆動する回転駆動部８が設けられ、この回転駆動部
８は、本体３内に収納されたコイル8aと、スピンドル軸
１に設けられたマグネット8bとから構成されている。本
体３の右端閉止部材3bにはセンサホルダ13がボルト15に
より固定されている。センサホルダ13は、本体３の右端
閉止部材3b、または本体３を支持する機械本体（図示せ
ず）からの振動をカットするために、ベークライトのよ
うな振動吸収体を材料とすることが望ましい。センサホ
ルダ13の内部には、スピンドル軸１の軸線延長上に貫通
孔13aが形成され、この貫通孔13aには振動伝達軸17が嵌
入している。
回転駆動する回転駆動部８が設けられ、この回転駆動部
８は、本体３内に収納されたコイル8aと、スピンドル軸
１に設けられたマグネット8bとから構成されている。本
体３の右端閉止部材3bにはセンサホルダ13がボルト15に
より固定されている。センサホルダ13は、本体３の右端
閉止部材3b、または本体３を支持する機械本体（図示せ
ず）からの振動をカットするために、ベークライトのよ
うな振動吸収体を材料とすることが望ましい。センサホ
ルダ13の内部には、スピンドル軸１の軸線延長上に貫通
孔13aが形成され、この貫通孔13aには振動伝達軸17が嵌
入している。
振動伝達軸17の途中にはフランジ部17aが形成され、こ
のフランジ部17aの右側のセンサホルダ13の内部空間に
はバネ18が、振動伝達軸17をスピンドル軸１側に付勢す
るよう間装されている。振動伝達軸17の左端部はバネ18
に付勢されてスピンドル軸１の右端部の低摩擦ブロック
４に軽く押圧されて接触している。スピンドル軸１の左
端部はフランジ部1aを介して軸方向の移動が規制されて
いるため、バネ18の付勢力により左方向に変位すること
はない。振動伝達軸17の右端部には振動センサ12が収納
保持されており、この振動センサ12は異常判別回路20
（異常判別手段）に信号を出力するようになっている。
のフランジ部17aの右側のセンサホルダ13の内部空間に
はバネ18が、振動伝達軸17をスピンドル軸１側に付勢す
るよう間装されている。振動伝達軸17の左端部はバネ18
に付勢されてスピンドル軸１の右端部の低摩擦ブロック
４に軽く押圧されて接触している。スピンドル軸１の左
端部はフランジ部1aを介して軸方向の移動が規制されて
いるため、バネ18の付勢力により左方向に変位すること
はない。振動伝達軸17の右端部には振動センサ12が収納
保持されており、この振動センサ12は異常判別回路20
（異常判別手段）に信号を出力するようになっている。
このような実施例に係るスピンドル軸の回転異常検知装
置においては、スピンドル軸１は空気軸受5,6により非
接触で軸受支持されている。そして、この実施例によれ
ば、回転駆動部８によりスピンドル軸１が回転すると、
このときの回転状態、特にそのスラスト方向の振動が、
その低摩擦ブロック４に直接接触した振動伝達軸17を介
して、極めて小さい減衰性で振動センサ12に伝達され、
振動センサ12はスピンドル軸１の振動を検知し、その振
動レベルに対応する検知信号を異常判別回路20に入力す
る（第２図のステップP1）。異常判別回路20はその信号
に基づいて、検知した振動レベルが第３図に示すように
所定値を越えるか否かをメモリ値と比較し（第２図のス
テップP2）、所定値を越えたときは（同図のステップP2
におけるYES）スピンドル軸１の回転状態が異常である
と判別し、警報信号を出力するか、あるいはそれと同時
にスピンドル軸１の回転を停止させる（同図のステップ
P3）。この場合、本実施例の全体構成図では、スラスト
方向（軸線方向）での検出実施例を示しているが、スピ
ンドル軸１が回転したときの振動成分としては、当然、
ラジアル方向にも出てくるため、振動センサ12の取り付
け方向をラジアル方向にして、検出しても構わない。
置においては、スピンドル軸１は空気軸受5,6により非
接触で軸受支持されている。そして、この実施例によれ
ば、回転駆動部８によりスピンドル軸１が回転すると、
このときの回転状態、特にそのスラスト方向の振動が、
その低摩擦ブロック４に直接接触した振動伝達軸17を介
して、極めて小さい減衰性で振動センサ12に伝達され、
振動センサ12はスピンドル軸１の振動を検知し、その振
動レベルに対応する検知信号を異常判別回路20に入力す
る（第２図のステップP1）。異常判別回路20はその信号
に基づいて、検知した振動レベルが第３図に示すように
所定値を越えるか否かをメモリ値と比較し（第２図のス
テップP2）、所定値を越えたときは（同図のステップP2
におけるYES）スピンドル軸１の回転状態が異常である
と判別し、警報信号を出力するか、あるいはそれと同時
にスピンドル軸１の回転を停止させる（同図のステップ
P3）。この場合、本実施例の全体構成図では、スラスト
方向（軸線方向）での検出実施例を示しているが、スピ
ンドル軸１が回転したときの振動成分としては、当然、
ラジアル方向にも出てくるため、振動センサ12の取り付
け方向をラジアル方向にして、検出しても構わない。
そしてオペレーターは、空気軸受5,6の空気吐出孔の目
詰まりの点検、あるいはダイシングブレード２の取付状
態の異常を点検する等して、このときの原因を調査、究
明し、スピンドル軸１の回転異常の原因を除去する（第
２図のステップP4）。このように、ワークを加工するこ
となくスピンドル軸１の回転異常を検出できるため、ワ
ークの加工不良が多く生ずることを防止して、適正加工
ワークの加工歩留りを向上させることができる。
詰まりの点検、あるいはダイシングブレード２の取付状
態の異常を点検する等して、このときの原因を調査、究
明し、スピンドル軸１の回転異常の原因を除去する（第
２図のステップP4）。このように、ワークを加工するこ
となくスピンドル軸１の回転異常を検出できるため、ワ
ークの加工不良が多く生ずることを防止して、適正加工
ワークの加工歩留りを向上させることができる。
なお、上記実施例においてはバネ18により振動伝達軸17
を押圧していたが、空気圧等の他の押圧手段を用いても
よい。
を押圧していたが、空気圧等の他の押圧手段を用いても
よい。
また、振動伝達軸17、あるいは振動伝達軸17に当接する
スピンドル軸１の低摩擦ブロック４を交換可能にしても
よい。この場合は、低摩擦ブロック４に当接する振動伝
達軸17の先端部と、振動伝達軸17に当接する低摩擦ブロ
ック４の先端部との、摩耗量の合計を近接スイッチ等で
検出し、所定値以上摩耗した場合は摩耗した振動伝達軸
17あるいは低摩擦ブロック４を交換することにより、ス
ピンドル軸１に当接する振動伝達軸17の先端部と、振動
伝達軸17に当接する低摩擦ブロック４の先端部との接触
不良の発生を防止することができる。
スピンドル軸１の低摩擦ブロック４を交換可能にしても
よい。この場合は、低摩擦ブロック４に当接する振動伝
達軸17の先端部と、振動伝達軸17に当接する低摩擦ブロ
ック４の先端部との、摩耗量の合計を近接スイッチ等で
検出し、所定値以上摩耗した場合は摩耗した振動伝達軸
17あるいは低摩擦ブロック４を交換することにより、ス
ピンドル軸１に当接する振動伝達軸17の先端部と、振動
伝達軸17に当接する低摩擦ブロック４の先端部との接触
不良の発生を防止することができる。
なお、振動伝達軸17および低摩擦ブロック４は、高速度
鋼、超硬セラミックス、またはダイヤモンド等のよう
な、摩擦の少なくかつ摩耗の少ない硬質材料でできてい
る。また、両者の接触面は、平坦な低摩耗の低摩擦面を
有しており、摩擦を少なくするための鏡面仕上げが望ま
しい。
鋼、超硬セラミックス、またはダイヤモンド等のよう
な、摩擦の少なくかつ摩耗の少ない硬質材料でできてい
る。また、両者の接触面は、平坦な低摩耗の低摩擦面を
有しており、摩擦を少なくするための鏡面仕上げが望ま
しい。
以上説明したように本考案によれば、回転時のスピンド
ル軸の振動を直接検知する振動センサからの信号によ
り、スピンドル軸の回転状態が異常か否かを異常判別手
段が判別することにより、非加工時でもそのような判別
をすることが可能となり、ワークの加工不良が多く生ず
ることを防止して、適正加工ワークの加工歩留りを向上
させることによりコストの上昇を防止することができ
る。
ル軸の振動を直接検知する振動センサからの信号によ
り、スピンドル軸の回転状態が異常か否かを異常判別手
段が判別することにより、非加工時でもそのような判別
をすることが可能となり、ワークの加工不良が多く生ず
ることを防止して、適正加工ワークの加工歩留りを向上
させることによりコストの上昇を防止することができ
る。
第１図ないし第３図は本考案によるスピンドル軸の回転
異常検知装置の一実施例を示す図であり、第１図はその
全体構成図、第２図は作動手順を示すフローチャート、
第３図はモニタ波形図である。 １……スピンドル軸、1a……フランジ部 ２……ダイシングブレード、３……本体 ４……低摩擦ブロック、5,6……空気軸受 ８……回転駆動部、8a……コイル 8b……マグネット、10……スピンドル構造 12……振動センサ、13……センサホルダ 13a……貫通孔、15……ボルト 17……振動伝達軸、17a……フランジ部 18……バネ 20……異常判別回路（異常判別手段） Ｗ……ワーク
異常検知装置の一実施例を示す図であり、第１図はその
全体構成図、第２図は作動手順を示すフローチャート、
第３図はモニタ波形図である。 １……スピンドル軸、1a……フランジ部 ２……ダイシングブレード、３……本体 ４……低摩擦ブロック、5,6……空気軸受 ８……回転駆動部、8a……コイル 8b……マグネット、10……スピンドル構造 12……振動センサ、13……センサホルダ 13a……貫通孔、15……ボルト 17……振動伝達軸、17a……フランジ部 18……バネ 20……異常判別回路（異常判別手段） Ｗ……ワーク
Claims (1)
- 【請求項１】一端部にダイシングブレードを取付け、空
気軸受により支持されて回転するスピンドル軸を備えた
ダイシング装置において、前記スピンドル軸に接触して
振動を直接接触により検知するように設けられ、回転時
のスピンドル軸の振動を直接検知する振動センサと、こ
の振動センサからの信号により前記スピンドル軸の回転
状態が異常か否かを判別する異常判別手段とを設けたこ
とを特徴とするスピンドル軸の回転異常検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124689U JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124689U JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371841U JPH0371841U (ja) | 1991-07-19 |
| JPH0753877Y2 true JPH0753877Y2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=31678765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13124689U Expired - Fee Related JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0753877Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08314516A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Fanuc Ltd | Ｃｎｃの軸制御方式 |
| JP4673704B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-04-20 | 旭化成ホームズ株式会社 | レンチソケットとそのアタッチメント、及びこれを用いたボルト・ナットの締結方法 |
| JP6509589B2 (ja) * | 2015-03-04 | 2019-05-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| KR101896089B1 (ko) * | 2017-02-23 | 2018-10-19 | 주식회사 미래컴퍼니 | 글래스 패널 에지 연마장치 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13124689U patent/JPH0753877Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0371841U (ja) | 1991-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |