JPH0748574Y2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は物品を非接触で搬送するための搬送装置に関す
るものである。

［従来の技術］ 物品を搬送するための装置としては、従来から種々の方
式が採用されている。

一方近年、半導体ウェアー等の精密部品において、疵の
発生を極度に嫌うものを取り扱う場合が増加しつつあ
る。

［考案が解決しようとする課題］ しかし、上記従来の搬送装置は、一般にいずれも物品を
接触保持した状態で搬送する方式であり、このために物
品に疵を生じさせたり、物品を汚してしまう等の問題を
生じていた。

本考案は、上記従来の問題点に着目してなされたもの
で、搬送物品を非接触で搬送できる搬送装置を提供する
ことを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本考案は上方に向けて略同一平面内で開口し気体を吹き
出す複数の吹出口を有する複数の加圧筒と、上方に向け
て前記吹出口と略同一平面内で開口し気体を吸引する複
数の吸引口を有し、前記複数の加圧筒と混在配置された
複数の減圧筒と、前記複数の加圧筒の夫々に接続した加
圧源と、前記複数の減圧筒の夫々に接続した減圧源と、
前記吹出口のすべてを同方向に同時に傾動するための吹
出口傾動調節装置と、前記吸引口のすべてを同方向に同
時に傾動するための吸引口傾動調節装置と、前記吹出口
の傾動方向と平行に左右側部に配置した案内部とを備
え、物品を前記吹出口から吹き出される流体により浮遊
させ、且つ吸引口からの吸引により引き付けを行って搬
送するようにしたことを特徴とする搬送装置にかかるも
のである。

［作用］ 吹出口を所定の方向に傾動させ、吹出口による流体の吹
出しと吸引口による吸引とを調節した状態においてその
上側に搬送物品を載置すると、搬送物品は吹出口から吹
き出される流体圧によって浮遊状態に支持され、且つ吹
出口から吹き出される流体の流れと吸引口に吸引される
流体の流れによる流体の摩擦力によって安定して搬送さ
れる。また、吹出口と吸引口の傾動角度を変更すること
により、搬送物品にブレーキ力を作用させたり、停止位
置を制御させることができる。

［実施例］ 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明する。

第１、２図は本考案の一実施例を示すものであり、複数
の筒体１が水平且つ平行に軸受架台２に回動可能に支持
されており、且つ前記筒体１の１つ置きが加圧源３に、
又他の筒体１が夫々減圧源４に接続されて加圧筒５と減
圧筒６を構成している。

加圧筒５の外周面には、上方に向けて開口する吹出口７
が所要の間隔で軸方向に複数個一直線に配設されてお
り、又減圧筒６の外周面には、上方に向けて開口する吸
引口８が所要の間隔で軸方向に複数個一直線に配設され
ている。

又、前記各加圧筒５の軸端部の夫々にはリンク９の一端
が固定されており、該各リンク９の他端が押引材10にピ
ン11連結されており、前記押引材10の端部が押し引き作
動を行う吹出口傾動駆動装置12に接続されて吹出口傾動
調節装置13が構成されている。

又、前記減圧筒６の軸端部の夫々にはリンク14の一端が
固定されており、該各リンク14の他端が押引材15にピン
16連結されており、前記押引材15の端部が押し引き作動
を行う傾動駆動装置17に接続されて吸引口傾動調節装置
18が構成されている。図中19は搬送しようとする板状の
搬送物品、20は吹出口７から吹き出される流体、２′は
軸受架台２の上端に形成された案内部を示す。

第１〜３図に示すように、傾動駆動装置12,17を作動さ
せて前記吹出口７と吸引口８が互いに対向する方向にお
いて夫々所要角度上方を向くように傾斜させ、加圧源３
と減圧源４を駆動した状態において、吹出口７及び吸引
口８の上側に搬送物品19を載置する。

すると搬送物品19は、第１図、第３図に示すように吹出
口７から斜め右後方に向って吹き出される流体20の圧力
で浮上された状態に支持されつつ流体20の流れによって
生ずる流体の摩擦力により矢印Ａで示す方向に搬送され
る。

このとき、搬送物品19は、吸引口８に吸引される流体の
流れにより適宜吸引口８に向けての吸引力を受けるので
吹出口７からの吹出流体20により飛ばされるのが防止さ
れ、又左右側に設けられた軸受架台２の上部案内部２′
により左右側を案内されながら正しく移動することにな
る。

搬送物品19の搬送を停止する際は、前記傾動駆動装置1
2,17を作動して、吹出口７及び吸引口８が第４図に示す
ように垂直になるように調節すると、流体の摩擦による
搬送力がなくなって搬送物品19は停止する。又搬送物品
19の搬送にブレーキ力を与える際は、前記吹出口７及び
吸引口８を夫々第３図と逆の方向に傾斜させれば良い。

上記によれば、搬送物品19を浮かせたままで、非接触で
の搬送が可能であり、又、吹出口７による流体20の吹出
しの他に吸引口８による流体の吸引を行っていることに
より、搬送物品19は安定した状態に浮上されて搬送され
ることになる。

尚、上記実施例においては、複数の吹出口７を加圧筒５
に、又複数の吸引口８を減圧筒６に備え、加圧筒５、減
圧筒６を交互に配置する場合について例示したが、吹出
口７と吸引口８の配置、傾動方式等は種々変更すること
ができ、又、流体１に吹出口７、吸引口８を設ける構造
とせず、単に吹出口７、吸引口８となるノズルを配設し
た構造としてもよい。

又、本考案の搬送装置は、上述の実施例にのみ限定され
るものではなく、流体としては空気等の種々の気体を用
い得ること、搬送物品の有無の検出、吹出口及び吸引口
の傾斜角度の調節、気体の吹出量及び吸引量の調節等を
自動的に行わせるようにすること、種々の搬送物品の搬
送に適用できること、その他本考案の要旨を逸脱しない
範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案の搬送装置によれば、非接
触にて搬送物品を搬送することができるので、疵の発生
や汚れを嫌う物品の搬送に有効に対処でき、更に、吹出
口と吸引口の傾動角度を変更することにより、搬送物品
にブレーキ力を作用させたり、搬送物品の停止位置を制
御させることができる優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は第１図の
II-II矢視図、第３図は搬送物品の搬送状態を示す作動
状態図、第４図は搬送物品の停止状態を示す作動状態図
である。 １は筒体、２は軸受架台、２′は案内部、３は加圧源、
４は減圧源、５は加圧筒、６は減圧筒、７は吹出口、８
は吸引口、12は傾動駆動装置、13は吹出口傾動調節装
置、17は傾動駆動装置、18は吸引口傾動調節装置、19は
搬送物品、20は流体を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上方に向けて略同一平面内で開口し気体を
   吹き出す複数の吹出口を有する複数の加圧筒と、上方に
   向けて前記吹出口と略同一平面内で開口し気体を吸引す
   る複数の吸引口を有し、前記複数の加圧筒と混在配置さ
   れた複数の減圧筒と、前記複数の加圧筒の夫々に接続し
   た加圧源と、前記複数の減圧筒の夫々に接続した減圧源
   と、前記吹出口のすべてを同方向に同時に傾動するため
   の吹出口傾動調節装置と、前記吸引口のすべてを同方向
   に同時に傾動するための吸引口傾動調節装置と、前記吹
   出口の傾動方向と平行に左右側部に配置した案内部とを
   備え、物品を前記吹出口から吹き出される流体により浮
   遊させ、且つ吸引口からの吸引により引き付けを行って
   搬送するようにしたことを特徴とする搬送装置。