JPH0747676A

JPH0747676A - インクジェット記録ヘッドおよび記録方法

Info

Publication number: JPH0747676A
Application number: JP5197437A
Authority: JP
Inventors: Masayoshi Tachihara; 昌義立原; Makoto Shibata; 誠柴田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-08-09
Filing date: 1993-08-09
Publication date: 1995-02-21

Abstract

(57)【要約】【目的】高デューティー記録時にも低デューティー記
録時と同様に安定した液滴吐出が可能であり、記録の高
速化が可能であり、かつ構成の簡易なインクジェット記
録ヘッドを提供する。【構成】液流路（１２）と、エネルギー発生手段（１
４）と、吐出口（１３）と、記録液を供給するための液
室（１７）とを備えるインクジェット記録ヘッドにおい
て、該液室内に気泡（１９、１９’）を発生させる為の
電気分解用電極（１８、１８’）を有することを特徴と
するインクジェット記録ヘッド、およびその様な電気分
解を行うことを特徴とするインクジェット記録方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エネルギーの作用によ
って記録液を吐出するインクジェット記録ヘッド、およ
びインクジェット記録方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、インクジェット記録ヘッドにおい
ては、吐出口から記録用インクを吐出した後に、吐出し
たインクの体積以上にメニスカスが後退し、インクの表
面張力による作用（毛管力）によってメニスカスが吐出
口まで復帰する。場合によってはメニスカスは吐出口を
通り過ぎ、振動をくり返した後静止する。この静止まで
の時間を、以下、リフィル時間と称す。

【０００３】記録用インクを一定体積だけ安定して吐出
するには、リフィル時間を過ぎた後次の吐出のためのエ
ネルギー付与を行わなければならない。もしこのリフィ
ル時間を過ぎる前に吐出エネルギーを付与すると、液滴
が吐出不能になるか、吐出する液滴の体積が著しく小さ
いかのどちらかの現象、すなわち吐出不良を起こす。従
って、インクジェット記録ヘッドで記録を高速で行うに
は、リフィル時間をできるだけ短くすること、および／
または、吐出口自体の数を増す事が必要である。なお吐
出口の数を増やす場合は、通常インクタンクと各液流路
との間に共通液室が設けられ、各液流路はこの共通液室
に連通する。

【０００４】複数の吐出口を持つインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、高デューティー記録時は低デューティー
記録時に比べ前記吐出不良を起こしやすい。これは次の
理由による。すなわち高デューティー記録時において
は、同時に又は極く短時間の間に多数（ヘッドが持つエ
ネルギー発生手段総数に近い数）の吐出口から液滴が吐
出し、リフィルもほぼ同タイミングで行われる。このた
めリフィル時の流量が低デューティー記録時に比べ大き
くなり、インクタンクから共通液室にかけての圧力損失
も大きくなる。これによりリフィルに要する時間が伸び
る。また、多数のエネルギー発生手段が同時に又は極く
短時間に駆動されるので、これらのエネルギー発生手段
から共通液室やインクタンク方向へのインクの流れが急
になる。この流れの慣性が大きいためリフィル時に必要
なインクタンクから共通液室を通り各液流路への流れが
開始しづらいという理由もある。

【０００５】これらの問題を解決するための従来技術と
しては、１ヘッドが持つエネルギー発生手段をいくつか
のブロックに分割し、各グループ毎に時間をずらして駆
動する方法（以下ブロック駆動と称す）がある。

【０００６】ところが、このブロック駆動を行うと、複
数のブロックのうちより後半に駆動した液流路において
リフィル時間が顕著に長くなるという問題が生じる。す
なわち、より前半に駆動したブロックの液流路において
リフィルが開始すると、そのブロックの液流路へのイン
クの流れが顕著になり共通液室の圧力が低下する。この
状態で後半ブロックのエネルギー発生手段が駆動される
と、液室方向へのインクの流れが前半ブロックのそれよ
りも多くなり、ひいてはメニスカスの後退も大きくな
る。このため後半ブロックのリフィル時間が伸びる。仮
に、後半ブロックのリフィル時間が顕著に伸びるような
問題が無い場合でも、他のブロックの駆動により当該ブ
ロックのノズル内のインクの挙動が影響され吐出体積に
ムラを生じさせる場合が多い。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術にお
ける上述の課題に鑑みなされたものである。すなわち本
発明の目的は、複数の吐出口を持つインクジェット記録
ヘッドにおいて、高デューティー記録時にも低デューテ
ィー記録時と同様に安定した液滴吐出が可能であり、記
録の高速化が可能であり、かつ構成の簡易なインクジェ
ット記録ヘッドおよび記録方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の本発
明により解決できる。

【０００９】複数の液流路と、該液流路のそれぞれに設
けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段
から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出するため
の吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供給す
るための液室とを備えるインクジェット記録ヘッドにお
いて、該液室内に気泡を発生させる為の電気分解用電極
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

【００１０】複数の液流路と、該液流路のそれぞれに設
けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段
から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出するため
の吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供給す
るための液室とを備えるインクジェット記録ヘッドを用
いて記録を行う方法において、該液室内に気泡を発生さ
せる為の電気分解を行う過程を有することを特徴とする
インクジェット記録方法。

【００１１】複数の液流路と、該液流路のそれぞれに設
けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段
から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出するため
の吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供給す
るための液室と、該液室内に気泡を発生させる為の手段
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、該気泡を
液室内に安定に保持するための気泡トラップ構造を有す
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

【００１２】

【作用】本発明においては、液室内に気泡を発生させる
ことにより、共通液室内の圧力変動をおさえ、各液流路
間のリフィル時間のばらつきを少なくできる。これによ
り、高デューティー記録時にも安定した動作が可能にな
る。

【００１３】液室内に気泡を発生させる手段としては、
本発明以外に加熱による手段も考えられる。しかし、加
熱によると、例えば膜沸騰の場合は高圧水蒸気ガスが発
生し瞬時に成長収縮するので、気泡を液室内で安定して
維持し難く、本発明の電気分解による手段よりも劣る。
また、例えば核沸騰の場合はゆっくりと加熱する必要が
あるので、記録ヘッド全体が昇温し液流路構成部材等が
熱により劣化し易く、本発明の電気分解による手段より
も劣る。すなわち本発明においては気泡の発生を電気分
解により行うので、ヘッドを過度に加熱することなく気
泡を発生でき、またその気泡もＯ2 ガス、Ｈ2 ガスなの
で安定に存在するという効果も得られる。

【００１４】本発明において、液室内に気泡を発生させ
る為の電気分解用電極とは、ヘッドの構成部材に新たに
設けた電極だけでなく、例えばオリフィスプレート部
材、インクタンク部材などのヘッド構成部材自身を電極
として使用できる状態にしたものをも含む。また気泡を
発生すべき液室とは、液流路に記録液を供給するための
室部分を意味し、後に詳述する電解液が充填された部分
を有する場合も含む。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
する。

【００１６】＜実施例１＞図１および図２は、本発明の
第１の実施例のヘッドを示す図であり、図１はヘッドの
斜視図、図２は図１のＡ−Ａ’線断面図である。これら
の図において、１１はＳｉ基板、１２は液流路（５００
μｍ長）、１３は吐出口（３０μｍ平方）、１４は各液
流路内に設けられた吐出用エネルギー発生手段（ヒータ
ー、５０μｍ×１００μｍ）、１５は各液流路を隔てる
隔壁、１６は天板、１６’は不図示のインクタンクから
共通液室への供給口、１７は各液流路に連通する共通液
室、１８と１８’は共通液室の床に設けられた白金の電
極（陽極と陰極）、１９と１９’は電気分解により発生
した気泡である。

【００１７】本実施例では、水７０重量％、ジエチレン
グリコール２７重量％、染料３重量％を成分とし、電気
伝導度は約０．００２５ジーメンス／ｃｍのインクを用
いた。電気分解用電極１８と１８’は、それぞれ０．１
ｍｍ×１．０ｍｍの大きさとし、これらの最短距離は
０．５ｍｍとした。

【００１８】ヘッドを駆動するに際して、記録をするた
めの画像信号を受けとる前に不図示の吸引手段により吐
出口１３よりインクを吸引した。これにより液流路１２
および共通液室１７内の不要な気泡を除去する。これら
の気泡を除去しないと、ヘッドの温度上昇により気泡が
成長してインクの供給を妨げ、ひいてはインクの吐出を
不可能にするおそれがある。また、温度上昇が無いにし
ても、吐出による気泡の一部が液室に流入することによ
り液室内の気泡と合体し、やはり吐出を不可能にするお
それもある。この点から電気分解用の電極１８、１８’
の位置は、ヒーター１４から発生した気泡の圧力が電気
分解により発生する気泡１９、１９’に吸収されない程
度に液流路から離れており、かつ吸引手段によって除去
できる位置にするとよい。

【００１９】この吸引動作の後、電極１８、１８’に約
３Ｖの電圧を１０秒間かけた。電極１８は陽極、電極１
８’は陰極とした。これにより、両電極に合わせて０．
２μｌの気泡１９、１９’が発生した。この気泡の体積
は、共通液室１７の体積８μｌの２．５％に相当する。
気泡は、まず相手の電極に最も近い部分に発生した。電
極上で気泡の発生した部分は電流が流れないので、徐々
に相手の電極に遠い部分に気泡が発生し、結果的には電
極全面が気泡に被われた。全てのノズル（液流路）を同
時に駆動した場合、この気泡が安定して存在する限り１
秒間５０００回のインクの吐出が連続して３分以上可能
であった。

【００２０】本実施例によって生じた液室内の気泡１
９、１９’が安定的に存在する場合、ヒーター１４で生
じた気泡の成長によって共通液室に向かって流れるイン
クが液室内気泡１９、１９’を圧縮し、この気泡１９、
１９’の体積が減少し圧力が増加する。これがヒーター
１４で生じた気泡の消滅からルフィルの過程でインクの
吐出方向流れを助長する結果、安定した高速動作を可能
にしている。

【００２１】比較のために、気泡発生手段の無い同型の
ヘッドを用いて駆動したところ、１秒間５０００回の駆
動を行うとインクの供給が間に合わなくなり、駆動開始
後約２秒後に連続吐出不可能になった。

【００２２】本実施例のヘッドにおいては全液流路から
同時に液滴を吐出させるタイプの駆動方法を採用した
が、本発明は何らこれに限定されるものでなく、例えば
全液流路を複数のブロックに分割して異なるブロックで
は異なるタイミングで液滴を吐出させるタイプの駆動方
法も採用できる。この場合も、同様の気泡１９、１９’
の発生手段を変更無く適用できる。本発明によれば、こ
の駆動方法における従来の問題、即ち吐出ブロックで液
滴の吐出不良の問題も解消できる。

【００２３】また本実施例においては、染料を含んだイ
ンクを電気分解するので、陰極側に染料が析出し、電気
分解のために電流をさえぎる場合もある。そこで、一定
時間毎（例えば数秒毎）に電極の極性を逆転することも
有効である。

【００２４】＜実施例２＞図３は、本発明の第２の実施
例のヘッドを示す断面図である。このヘッドは、吐出口
１０１が２列に紙面の垂直方向に配列され、インクを矢
印１１０の方向に吐出させるものであり、Ｓｉ基板１０
０に開けられた長方形の穴１２０を介してインクタンク
１０９から液流路１４０にインクが供給される。この図
において、１０２はＮｉ製のオリフィスプレート、１０
３は吐出用エネルギー発生手段（ＴａＡｌのヒーター
層）、１０４はＡｌの電極層、１０５はＳｉＯ₂ の保護
膜、１０６は感光性樹脂で形成された隔壁（隣接する液
流路とを隔てるための壁）、１０７と１０７’は本発明
の特徴である気泡発生用のＡｕ電極、１０８は絶縁層、
１０９は不図示のインクタンク部である。なお、本発明
においては、このインクタンクも液室である。

【００２５】本実施例においては、インクは実施例１と
同様のものを使用した。電極１０７と１０７’の間の距
離は１ｍｍ、それぞれの電極面積は０．３ｍｍ×５ｍｍ
とした。この電極１０７と１０７’はＳｉ基板１００に
金メッキを施して形成した。この金メッキの際、Ｓｉ基
板１００の表側（ヒーター層１０３側）にはメッキを形
成しない。また、Ｓｉ基板１００に開いた穴の側面のう
ち基板の表側に近い部分１３０もさけてメッキするのが
望ましい。なぜならば、その部分１３０の付近に気泡が
発生するとその気泡が液流路１４０に進入しインク供給
を不可能にするおそれがあるからである。この様な点か
ら、望ましくはその部分１３０には撥水処理を施し、電
極１０７または１０７’で発生した泡をノズルに進入さ
せないようにトラップをするが良い。なお、トラップ機
構に関しては後に詳述する。

【００２６】本実施例においては、ヘッド駆動制御部に
電極１０７と１０７’との間の電気抵抗をモニターする
機能を持ち、この抵抗値がある値以下になったら電気分
解を実行するようにしている。この「ある値」とは電極
１０７と１０７’上にほとんど気泡が接していない時の
電気抵抗値であり、ヘッド製作時に予め測定しておく。

【００２７】実施例１と同様の吸引動作を行った後、電
極１０７、１０７’に約３Ｖの電圧を１．５秒間かけた
ところ、両電極に合わせて約１．２μｌの気泡が発生し
た。この気泡の体積は、共通液室１２０の体積の約３％
に相当する。ノズル（液流路）を同時に駆動したとこ
ろ、気泡が安定して存在する限り１秒間６０００回のイ
ンクの吐出が連続して５分以上可能であった。

【００２８】また比較のために、気泡発生手段の無い同
型のヘッドを用いて駆動したところ、１秒間４０００回
の駆動を行うとインクの供給が間に合わなくなり、駆動
開始後約３秒後に連続吐出不可能になった。

【００２９】本実施例においては、電極１０７と１０
７’を陽極と陰極にして電気分解を行ったが、本発明は
これに限定されず、例えばオリフィスプレート１０２を
一方の電極とし、他方の電極に１０７及び１０７’（電
気分解時これらは同極性とする）を用いる方法がある。
この場合、プレート１０２の電極材としてＮｉそのもの
を用いても良いし、より電気化学的安定化されるには、
プレート１０２の裏側（タンク１０９側、液室１２０に
接する部分）にＡｕメッキを施しても良い。いずれの形
態においても、プレート１０２の裏側と電極１０７、１
０７’の３か所に気泡が発生することになる。この場
合、プレート１０２の裏側に発生する気泡が液流路１４
０をふさぎインクの供給を不可能にする場合がある。そ
こで、ヘッドのセッティングを吐出方向１１０を重力方
向になるようにしておき、プレート１０２の裏側の気泡
をタンク部分に逃がすようにすることが望ましい。

【００３０】本実施例においては、電極１０７と１０
７’を特に設けたが、本発明はこれに限定されず、例え
ばＳｉ基板側１００には特に電極を設けず、オリフィス
プレート１０２を一方の電極とし、インクタンク１０９
を他方の電極として用いる構成も可能である。この場合
はヘッドの構成簡略にできる利点があるが、電極間距離
が長いので数十ボルトの電位差が必要である。

【００３１】また、一方の電極を水素貯蔵合金とするこ
とも有効である。例えば、一方の電極をＮｉオリフィス
プレート１０２、他方の電極として水素貯蔵合金で作ら
れたインクタンク１０９とし、オリフィスプレート１０
２側を陽極、インクタンク１０９側を陰極とすることに
より、陰極で発生した水素を前記水素貯蔵合金が吸収し
て、インクタンク内の気泡により圧力の変動を防ぐこと
ができる。また電極の極性を逆にすることによりインク
タンク側で発生した酸素と貯蔵された水素を反応させて
水に戻すこともできる。

【００３２】＜実施例３＞図４（ａ）、（ｂ）は、本発
明の第３の実施例のヘッドを示す図であり、（ａ）はヘ
ッドの断面図、（ｂ）は斜視図である。本実施例の特徴
は、共通液室を２つの部分２０４と２０５に分け、２０
４を吐出用インクが存在する部分とし、２０５を電気分
解用電解液が存在する部分としたことにある。この図に
おいて、２００は液流路、２０１は吐出用ヒーター、２
０２は隔壁、２０３は吐出口、２０６は電気分解により
発生した気泡、２０７はＳｉ基板である。各液流路２０
０は液室２０４に連通している。電気分解用電極は液室
２０５側の天井裏２０８と、床部の２か所に白金メッキ
により形成されている。

【００３３】本実施例において吐出用インクとしては、（処方例−１） C.I.Solvent Black ３１０重量％カルナバワックス７０重量％ラウリン酸２０重量％及び（処方例−２）カーボンブラック９重量％紺青３重量％ギルソナイト・鉱油ワニス１２重量％石油樹脂ワニス９重量％鉱油６７重量％を用いた。これらのうち前者は常温で固体であるので、
ヘッド内または外で加熱ヒーター（不図示）のヒーター
によって加熱溶融して用いた。

【００３４】液室２０５内の電解液としてはＫＣｌ
０．１％水溶液を用いた。液室２０４内の吐出用インク
と液室２０５内の電解液とは、液室内のＢ部で接する。
どちらの処方の吐出用インクを用いた場合でも、両者の
界面張力は１０ｄｙｎ／ｃｍ以上なので実質上不溶であ
りＢ部で界面を形成する。このＢ部の断面積が広すぎる
場合は、吐出用インクと電解液が交じあうか、電気分解
により生じた気泡が吐出用インク方向に流れ出すおそれ
がある。一方、狭すぎる場合は、吐出用ヒーターによっ
て生じた気泡の圧力によるインクの逆流を吸収しきれな
いおそれがある。そこで本実施例においては、０．５ｍ
ｍ×０．８ｍｍ程度の連通口を４か所設けた。

【００３５】また、液室２０４は供給口２０９と出口２
０９’を持ち、ポンプによる循環によって液室内の不要
な気泡を除去できる。また液室２０５も同様の目的で供
給口２１０と出口２１０’を持つ。

【００３６】実施例１と同様の吸引動作を行った後、電
極に約３Ｖの電圧を５秒間かけたところ、両電極に合わ
せて約０．９μｌの気泡が発生した。この気泡の体積
は、液室２０４および２０５の体積の約４％に相当す
る。このヘッドを駆動したところ、全吐出口から安定し
て液滴を吐出できる周波数は４．５ｋＨｚと高いもので
あった。

【００３７】また比較のために、気泡発生手段の無い同
型のヘッドを用いて駆動したところ、全吐出口から安定
して液滴を吐出できる周波数は３．５ｋＨｚであった。

【００３８】また、本実施例においては、インク自体が
電気分解困難であっても液室内に安定的に気泡を生じさ
せることができる点、及び、電解質に染料は不要である
ので電極に染料が析出するおそれがないという利点もあ
る。

【００３９】以上の各実施例においては吐出エネルギー
発生手段としてヒーターを使用したが、本発明は何らこ
れに限定されず、例えばピエゾ駆動によるインクジェッ
ト記録ヘッドにも同様に適用できる。

【００４０】また、電気分解用の電極の材料としては、
例えば、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウ
ム、銀、イリジウム等の貴金属は広く使用でき、さらに
炭素も利用可能である。

【００４１】また記録液としては、実施例１〜２におけ
る様に記録液自体を電気分解する場合は、それに適する
各種の公知の記録液を、また実施例３における様に記録
液自体は電気分解しない場合は、何ら制限無く各種の公
知の記録液を用いることができる。

【００４２】本発明の様に液室内に気泡を入れて圧力振
動を吸収する場合、気泡を安定して保持し得ることが望
ましい。以下、その様な目的でトラップ構造を設けたヘ
ッドの実施例について説明する。

【００４３】＜実施例４〜１０＞図５は、本発明の実施
例のヘッドを示す図であり、（ａ）は側面側の断面図、
（ｂ）は平面側の断面図である。図中、３０１はＳｉ基
板、３０２は熱発生部（ＨｆＢ₂ ）、３０３は液流路、
３０４はドライフィルム、３０５は天板ガラス、３０６
は液室、３０７はインク供給チューブ、３０８はバッフ
ァー開口部、３０９、３０９’は気泡トラップ構造内の
気泡発生用電極、３１０はワイヤーボンディングパット
部である。

【００４４】図６は、本発明の他の実施例のヘッドを示
す図である。このヘッドにおいては上側にも気泡発生用
電極３１１が設けられている。

【００４５】図７は、本発明のさらに他の実施例のヘッ
ドを示す断面図であり、（ａ）は２室構造、（ｂ）は３
室構造の気泡トラップ構造を例示する。

【００４６】本実施例において、熱発生部３０２はＨｆ
Ｂ₂ から成るものとし、またノズル数２５６本、ノズル
密度３６０ＤＰＩとし、下記表１に示す構成の７種のヘ
ッドを作製した。

【００４７】

【表１】［電極構造］Ａヒーターボード面上に電極３０９、３０９’を形成
（図５（ａ）参照）Ｂ天板ガラス３０５に電極を形成Ｃ天板ガラス３０５とヒーターボード３０９に電極を
形成（図６参照）［電極材料］ＡＰｔ（貴金属）ＢＴａ（耐キャビテーション膜）［トラップ構造］Ａ１室構造（図５（ｂ）参照）Ｂ２室構造（図７（ａ）参照）Ｃ３室構造（図７（ｂ）参照）以上の各ヘッドにおいて電気分解を行ったところ、実施
例１〜３と同様にいずれの場合も問題なく気泡が発生し
た。ただし、電極材料がＴａの場合は、長時間通電する
と膜が変質して電気が流し難くなる傾向にあった。これ
はインクとの電気化学反応によるものと推測される。Ｐ
ｔについては問題無かった。Ｐｔを耐キャビテーション
膜として使用すれば気泡発生のための電極ばかりでなく
ヒーター耐久も良好なため実用的である。ただしＴａは
コスト的に有利である。

【００４８】また本実施例の発泡安定性に対する効果
は、トラップを複数に分離した構造（トラップ構造Ｂ、
Ｃ）にした実施例の方がより顕著になる傾向にある。ま
た気泡とインクの接する部分に近い液流路ほどメニスカ
ス振動は小さく抑えられた。

【００４９】なお、通電時間に関しては、電極上に気泡
が発生すると、電極間が絶縁され、気泡の発生は抑制さ
れるため、基本的には通電しっぱなしでも問題ないが、
時には若干の電流が流れる場合もあるので、必要な時に
通電するのが望ましい。電流が流れ続けると、気泡が成
長してついにはトラップの外まで達し、ノズルに侵入し
て不吐になる場合もある。

【００５０】なお、上述のトラップ構造を設ける本発明
においては、気泡の発生手段は電気分解による手段に限
定されず、加熱による手段も含まれる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、高デューティかつ高速記録を低デューティ時と同程
度に安定させてインクジェット記録が行える。さらに本
発明のヘッドの構成も、従来のインクジェットヘッドに
比較してわずかな構成変化に収めることができ、低コス
トなインクジェット記録ヘッドを提供できる。また、加
熱による気泡発生と比較して、気泡の維持、構成部材の
耐久性に優れる。

【００５２】また、液室内の任意の位置に気泡を安定的
に保持しうる気泡トラップ構造を形成することによっ
て、液室内に気泡を安定的に保持することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のヘッドを示す斜視図で
ある。

【図２】図１のＡ−Ａ’線断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例のヘッドを示す断面図で
ある。

【図４】本発明の第３の実施例のヘッドを示す図であ
り、（ａ）はヘッドの断面図、（ｂ）は斜視図である。
本実

【図５】本発明のトラップ構造を有する実施例のヘッド
を示す図であり、（ａ）は側面側の断面図、（ｂ）は平
面側の断面図である。

【図６】本発明のトラップ構造を有する他の実施例のヘ
ッドを示す側面側の断面図である。

【図７】本発明のトラップ構造を有する他の実施例のヘ
ッドを示す平面側の断面図であり、（ａ）は２室構造、
（ｂ）は３室構造の気泡トラップ構造を示す。

【符号の説明】

１１Ｓｉ基板１２液流路１３吐出口１４ヒーター１５隔壁１６天板１６’ 供給口１７共通液室１８、１８’ 電極１９、１９’ 電気分解により発生した気泡１００Ｓｉ基板１０１吐出口１０２オリフィスプレート１０３ヒーター層１０４電極層１０５保護膜１０６隔壁１０７、１０７’ 電極１０８絶縁層１０９インクタンク部１２０穴１４０液流路２００液流路２０１ヒーター２０２隔壁２０３吐出口２０４液室２０５液室２０６気泡２０７Ｓｉ基板２０８液室側の天井裏側（気泡発生用電極側）２０９、２１０供給口２０９’２１０’ 出口２１１電極３０１Ｓｉ基板３０２熱発生部３０３液流路３０４ドライフィルム３０５天板ガラス３０６液室３０７インク供給チューブ３０８バッファー開口部３０９、３０９’ 気泡発生用電極３１０ワイヤーボンディングパット部３１１電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の液流路と、該液流路のそれぞれに
設けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手
段から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出するた
めの吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供給
するための液室とを備えるインクジェット記録ヘッドに
おいて、該液室内に気泡を発生させる為の電気分解用電
極を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
【請求項２】電気分解用電極は、貴金属または炭素か
ら成る請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】記録液は水を主成分として成る請求項１
または２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】電気分解用電極の一方の極が記録ヘッド
本体である請求項１〜３の何れかの項に記載のインクジ
ェット記録ヘッド。
【請求項５】電気分解用電極の一方の極が水素貯蔵合
金から成る請求項１〜４の何れかの項に記載のインクジ
ェット記録ヘッド。
【請求項６】液室が、電気分解用の電解液を含む部分
と記録液を含む部分を有する請求項１〜５の何れかの項
に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】複数の液流路と、該液流路のそれぞれに
設けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手
段から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出するた
めの吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供給
するための液室とを備えるインクジェット記録ヘッドを
用いて記録を行う方法において、該液室内に気泡を発生
させる為の電気分解を行う過程を有することを特徴とす
るインクジェット記録方法。
【請求項８】電気分解する前に液室内の気泡を除去す
る請求項７記載のインクジェット記録方法。
【請求項９】電気分解する際に電極の極性を一定時間
毎に逆転させる請求項７または８に記載のインクジェッ
ト記録方法。
【請求項１０】複数の液流路と、該液流路のそれぞれ
に設けられたエネルギー発生手段と、該エネルギー発生
手段から生じるエネルギーによって記録液滴を吐出する
ための吐出口と、該複数の液流路に連通する記録液を供
給するための液室と、該液室内に気泡を発生させる為の
手段を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、該気
泡を液室内に安定に保持するための気泡トラップ構造を
有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】液室内に気泡を発生させる為の手段
は、電気分解用電極である請求項１０記載のインクジェ
ット記録ヘッド。