[go: up one dir, main page]

JPH0746161B2 - Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element - Google Patents

Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element

Info

Publication number
JPH0746161B2
JPH0746161B2 JP20274686A JP20274686A JPH0746161B2 JP H0746161 B2 JPH0746161 B2 JP H0746161B2 JP 20274686 A JP20274686 A JP 20274686A JP 20274686 A JP20274686 A JP 20274686A JP H0746161 B2 JPH0746161 B2 JP H0746161B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
color filter
ferroelectric liquid
film
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20274686A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6360423A (en
Inventor
英昭 高尾
辰雄 村田
純一郎 神辺
美樹 田村
優 神尾
信行 関村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP20274686A priority Critical patent/JPH0746161B2/en
Priority to US07/090,703 priority patent/US4917471A/en
Publication of JPS6360423A publication Critical patent/JPS6360423A/en
Priority to US07/416,034 priority patent/US5101289A/en
Priority to US08/238,345 priority patent/US5398126A/en
Priority to US08/352,756 priority patent/US5548424A/en
Priority to US08/430,418 priority patent/US5500751A/en
Priority to US08/430,422 priority patent/US5568293A/en
Publication of JPH0746161B2 publication Critical patent/JPH0746161B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、液晶表示素子や液晶−光シャッターアレイ等
に用いるカラーフィルター基板および強誘電性液晶素子
に関し、更に詳しくは、液晶分子の初期配向状態を改善
することにより配向欠陥のない均一なモノドメインの液
晶相を得、表示ならびに駆動特性を改善したカラーフィ
ルターを有するカラーフィルター基板およびそれを用い
た強誘電性液晶素子に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a color filter substrate and a ferroelectric liquid crystal device used for a liquid crystal display device, a liquid crystal-optical shutter array, etc., and more specifically, initial alignment of liquid crystal molecules. The present invention relates to a color filter substrate having a color filter in which a uniform monodomain liquid crystal phase having no alignment defect is obtained by improving the state, and display and driving characteristics are improved, and a ferroelectric liquid crystal device using the same.

[従来の技術] 従来の液晶素子としては、例えばエム・シャット(M.Sc
hadt)とダブリュー・ヘルフリッヒ(W.Helfrich)著
“アプライド・フィジックス・レターズ”(“Applied
Physics Letters")第18巻、第4号(1971年2月15日発
行)、第127頁〜128頁の“ボルテージ・ディペンダント
・オプティカル・アクティビティー・オブ・ア・ツイス
テッド・ネマチック・リキッド・クリスタル(“Voltag
e Dependent Optical Activity of a Twisted Nematic
Liquid Crystal")に示されたツイステッド・ネマチッ
ク(twisted nematic)液晶を用いたものが知られてい
る。このTN液晶は、画素密度を高くしたマトリクス電極
構造を用いた時分割駆動の時、クロストークを発生する
問題点があるため、画素数が制限されていた。
[Prior Art] Examples of conventional liquid crystal elements include M.Sc.
hadt) and W. Helfrich's "Applied Physics Letters"("Applied
Physics Letters ") Volume 4, Issue 4 (Published February 15, 1971), pages 127-128," Voltage Dependant Optical Activity of a Twisted Nematic Liquid Crystal " “Voltag
e Dependent Optical Activity of a Twisted Nematic
Liquid crystal ") is known, which uses twisted nematic liquid crystal. This TN liquid crystal is a crosstalk during time-division driving using a matrix electrode structure with high pixel density. However, the number of pixels is limited because of the problem of occurrence of.

また、各画素に薄膜トランジスタによるスイッチング素
子を接続し、各画素毎をスイッチングする方式の表示素
子が知られているが、基板上に薄膜トランジスタを形成
する工程が極めて煩雑な上、大面積の表示素子を作成す
ることが難しい問題点がある。
In addition, a display element of a type in which a switching element using a thin film transistor is connected to each pixel and switching is performed for each pixel is known, but a step of forming a thin film transistor on a substrate is extremely complicated, and a large area display element is used. There are problems that are difficult to create.

これらの問題点を解決するものとして、クラーク(Clar
k)等により米国特許第4,367,924号明細書で強誘電性液
晶素子が提案されている。
To solve these problems, Clar (Clar
Ferroelectric liquid crystal devices have been proposed in U.S. Pat. No. 4,367,924 by K) et al.

第2図は強誘電性液晶の動作説明のために、セルの例を
模式的に描いたものである。21aと21bは、In2O3、SnO2
やITO(Indium Tin Oxide)等の薄膜からなる透明電極
で被覆された基板(ガラス板)であり、その間に複数の
液晶分子層22がガラス面に垂直になる様に配向したSmC
相またはSmH相の液晶が封入されている。太線で示
した線23が液晶分子を表わしており、この液晶分子23
は、その分子に直交した方向に双極子モーメント
(P)24を有している。基板21aと21b上の電極間に一
定の閾値以上の電圧を印加すると、液晶分子23のらせん
構造がほどけ、双極子モーメント(P)24はすべて電
界方向に向くよう、液晶分子23の配向方向を変えること
ができる。液晶分子23は細長い形状を有しており、その
長軸方向の短軸方向で屈折率異方性を示し、従って例え
ばガラス面の上下に互いにクロスニコルの位置関係に配
置した偏光子を置けば、電圧印加極性によって光学特性
が変わる液晶光学変調素子となることは容易に理解され
る。
FIG. 2 schematically shows an example of a cell for explaining the operation of the ferroelectric liquid crystal. 21a and 21b are In 2 O 3 and SnO 2
A substrate (glass plate) covered with a transparent electrode made of a thin film such as ITO or Indium Tin Oxide (SmC) in which a plurality of liquid crystal molecular layers 22 are aligned so as to be perpendicular to the glass surface.
* Phase or SmH * phase liquid crystal is enclosed. The thick line 23 represents a liquid crystal molecule.
Has a dipole moment (P ) 24 in a direction orthogonal to its molecule. When a voltage above a certain threshold is applied between the electrodes on the substrates 21a and 21b, the helical structure of the liquid crystal molecules 23 is unraveled, and all the dipole moments (P ) 24 are oriented in the electric field direction. Can be changed. The liquid crystal molecules 23 have an elongated shape, and exhibit refractive index anisotropy in the direction of the short axis of the liquid crystal molecules 23. Therefore, for example, if polarizers arranged in a crossed Nicol position above and below the glass surface are placed. It is easily understood that the liquid crystal optical modulation element has optical characteristics that change depending on the polarity of voltage application.

本発明の強誘電性液晶素子で好ましく用いられる液晶セ
ルは、その厚さを充分に薄く(例えば10μ以下)するこ
とができる。このように液晶相が薄くなるにしたがい、
第3図に示すように電界を印加していない状態でも液晶
分子のらせん構造はほどけ、非らせん構造となり、その
双極子モーメントPa又はPbは上向き(34a)又は下向き
(34b)のどちからの状態をとる。このようなセルに、
第3図に示す如く一定の閾値以上の極性の異なる電界Ea
またはEbを付与すると、双極子モーメントは、電界Ea又
はEbの電界ベクトルに対応して上向き34a又は、下向き3
4bと向きを変え、それに応じて液晶分子は第一の安定状
態33a、あるいは第二の安定状態33bの何れか一方に配向
する。
The liquid crystal cell preferably used in the ferroelectric liquid crystal device of the present invention can be made sufficiently thin (for example, 10 μm or less). As the liquid crystal phase becomes thinner like this,
As shown in Fig. 3, even when no electric field is applied, the helical structure of the liquid crystal molecule unwinds and becomes a non-helical structure, and its dipole moment Pa or Pb is either upward (34a) or downward (34b). To take. In a cell like this,
As shown in FIG. 3, electric fields Ea of different polarities and above a certain threshold value
Or, when Eb is applied, the dipole moment changes upward 34a or downward 3a corresponding to the electric field vector of the electric field Ea or Eb.
4b, and the liquid crystal molecules are aligned in either the first stable state 33a or the second stable state 33b accordingly.

このような強誘電性液晶を光学変調素子として用いるこ
との利点は、先に述べたが2つある。その第1は、応答
速度が極めて速いことであり、第2は液晶分子の配向が
双安定性を有することである。第2の点を、例えば第3
図によって更に説明すると、電界Eaを印加すると液晶分
子は第一の安定状態33aに配向するが、この状態は電界
を切っても安定である。又、逆向きの電界Ebを印加する
と、液晶分子は第二の安定状態33bに配向して、その分
子の向きを変えるが、やはり電界を切ってもこの状態に
留っている。また、与える電界Eaが一定の閾値を越えな
い限り、それぞれの配向状態にやはり維持されている。
このような応答速度の速さと、双安定性が有効に実現さ
れるには、セルとしては出来るだけ薄い方が好ましい。
As described above, there are two advantages of using such a ferroelectric liquid crystal as an optical modulation element. The first is that the response speed is extremely fast, and the second is that the alignment of the liquid crystal molecules has bistability. The second point is, for example, the third
Explaining further by the figure, when the electric field Ea is applied, the liquid crystal molecules are aligned in the first stable state 33a, but this state is stable even when the electric field is cut off. When a reverse electric field Eb is applied, the liquid crystal molecules are oriented in the second stable state 33b and the orientation of the molecules is changed. However, even when the electric field is cut off, the liquid crystal molecules remain in this state. Further, as long as the applied electric field Ea does not exceed a certain threshold value, the respective alignment states are maintained.
In order to effectively realize such a high response speed and bistability, it is preferable that the cell is as thin as possible.

この強誘電性液晶素子が所定の駆動特性を発揮するため
には、一対の平行基板間に配置される強誘電性液晶が、
電界の印加状態とは無関係に、上記2つの安定状態の間
での変換が効果的に起こるような分子配列状態にあるこ
とが必要である。例えばカイラルスメクティック相を有
する強誘電性液晶については、カイラルスメクティック
相の液晶分子層が基板面に対して垂直で、したがって液
晶分子軸が基板面にほぼ平行に配列した領域(モノドメ
イン)が形成される必要がある。しかしながら、これま
での強誘電性液晶素子においては、このようなモノドメ
イン構造を有する液晶の配向状態が、必ずしも満足に形
成されなかったために、充分な特性が得られなかった実
情である。
In order for this ferroelectric liquid crystal element to exhibit a predetermined driving characteristic, the ferroelectric liquid crystal disposed between the pair of parallel substrates must be
Regardless of the applied state of the electric field, it is necessary that the molecular arrangement is such that conversion between the two stable states described above effectively occurs. For example, regarding a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic phase, a liquid crystal molecular layer of the chiral smectic phase is perpendicular to the substrate surface, and thus a region (monodomain) in which the liquid crystal molecular axes are aligned substantially parallel to the substrate surface is formed. Need to However, in the conventional ferroelectric liquid crystal device, the alignment state of the liquid crystal having such a monodomain structure was not always formed satisfactorily, and therefore, the actual condition was that sufficient characteristics were not obtained.

第4図は従来の強誘電性液晶素子の断面図を表わし、第
5図は従来の強誘電性液晶素子に現われた配向欠陥の状
態を表わす概略説明図である。
FIG. 4 shows a cross-sectional view of a conventional ferroelectric liquid crystal element, and FIG. 5 is a schematic explanatory view showing a state of alignment defects appearing in the conventional ferroelectric liquid crystal element.

すなわち、第4図に示す従来の強誘電性液晶素子40は、
一対の平行基板41と42を有しており、基板41と42にはそ
れぞれマトリクス電極構造をなすストライプ状の透明電
極43と44が設けられている。
That is, the conventional ferroelectric liquid crystal element 40 shown in FIG.
It has a pair of parallel substrates 41 and 42, and stripe-shaped transparent electrodes 43 and 44 having a matrix electrode structure are provided on the substrates 41 and 42, respectively.

一般に、カラーフィルターは赤(R)、緑(G)、青
(B)の色素またはこれを含む層からなっているが、各
色素層の膜厚はその形成法にかかわらずそれぞれ異なる
ので、2000Å〜1μm程度の段差Aが形成される。この
結果、降温過程を利用して配向制御を行うと、上述の段
差Aが原因となって、その段差Aを境にして強誘電性液
晶47に配向欠陥を生じることになる。また、この段差A
が存在する基板41と42の上にそれぞれ配向制御膜45と46
を設けると、この配向制御膜にも段差Aに応じて形成さ
れた段差Cが画素のほぼ膜厚分で生じ、上述の同様に強
誘電性液晶47に配向欠陥を生じる。
Generally, a color filter is composed of red (R), green (G), and blue (B) dyes or a layer containing the dyes. However, since the film thickness of each dye layer is different regardless of the forming method, 2000Å A step A of about 1 μm is formed. As a result, when the alignment control is performed by utilizing the temperature lowering process, the above-mentioned step A causes the alignment defect in the ferroelectric liquid crystal 47 with the step A as a boundary. Also, this step A
On the substrates 41 and 42 on which the alignment control films 45 and 46 are present, respectively.
By providing the step, a step C formed corresponding to the step A also occurs in this alignment control film in the thickness of almost the pixel, and an alignment defect occurs in the ferroelectric liquid crystal 47 in the same manner as described above.

第5図は、上記強誘電性液晶素子をクロスニコルの偏光
顕微鏡で観察した時のスケッチで、図中の白線51は液晶
素子に使用したスペーサー(図示せず)のラインに対応
し、線52及び53は第4図の基板41上の段差Cに対応して
観察されている。また、図中の部分54は対向電極間には
さまれた強誘電性液晶である。偏光顕微鏡中に多数現出
した刃状線55は強誘電性液晶の配向欠陥を表わしてい
る。
FIG. 5 is a sketch of the ferroelectric liquid crystal device observed with a crossed Nicols polarization microscope. White lines 51 in the drawing correspond to the lines of the spacer (not shown) used for the liquid crystal device, and the line 52 And 53 are observed corresponding to the step C on the substrate 41 in FIG. Further, a portion 54 in the figure is a ferroelectric liquid crystal sandwiched between opposed electrodes. A large number of blade lines 55 appearing in the polarization microscope represent alignment defects of the ferroelectric liquid crystal.

この様に強誘電性液晶の接する面である程度の段差が存
在すると、その段差から配向欠陥を生じ、強誘電性液晶
のモノドメイン形成は阻害される。
If there is a certain level difference on the surface in contact with the ferroelectric liquid crystal as described above, an alignment defect is generated from the level difference and the monodomain formation of the ferroelectric liquid crystal is hindered.

[発明が解決しようとする問題点] 本発明者等は、この様な基板上の段差、特にカラーフィ
ルターを強誘電性液晶素子に内設する場合に、各画素の
間隔が5μmをこえた場合に生じる段差が強誘電性液晶
に対する著しい配向欠陥を発生させる原因となっている
ことを実験により明らかにした。
[Problems to be Solved by the Invention] The present inventors have found that when such a step on a substrate, especially a color filter is internally provided in a ferroelectric liquid crystal element, the interval between pixels exceeds 5 μm. It was clarified by experiments that the step difference generated at the position causes a significant alignment defect with respect to the ferroelectric liquid crystal.

本発明の目的は、上記の配向欠陥の発生を防止し、強誘
電性液晶素子が本来もっている高速応答性とメモリー効
果特性を充分に発揮することのできるカラーフィルター
基板および強誘電性液晶素子を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a color filter substrate and a ferroelectric liquid crystal element capable of preventing the occurrence of the above-mentioned alignment defects and sufficiently exhibiting the high-speed response and the memory effect characteristics originally possessed by the ferroelectric liquid crystal element. To provide.

[問題点を解決するための手段] 本発明者等は、とくに強誘電性液晶が等方相(高温状
態)より液晶相(低温状態)へ移行する降温過程におけ
る初期配向性に着目し、強誘電性液晶の双安定性に基づ
く素子の作動特性と液晶層のモノドメイン性を両立し得
る構造を有する強誘電性液晶素子を見出したものであ
る。
[Means for Solving Problems] The inventors of the present invention have focused on the initial orientation in the temperature decreasing process in which the ferroelectric liquid crystal transitions from the isotropic phase (high temperature state) to the liquid crystal phase (low temperature state). The present inventors have found a ferroelectric liquid crystal device having a structure capable of satisfying both the operating characteristics of the device based on the bistability of the dielectric liquid crystal and the monodomain property of the liquid crystal layer.

本発明の液晶素子は、このような知見に基づくものであ
り、より詳しくは、液晶層と接する面に配向欠陥を誘発
する様な段差がなく、つまり液晶層の膜厚に急激な変化
を生じさせなくすることにより降温過程における初期配
向性を良好な状態とし、配向欠陥のないモノドメインを
形成する点に特徴を有している。
The liquid crystal element of the present invention is based on such knowledge, and more specifically, there is no step that induces an alignment defect on the surface in contact with the liquid crystal layer, that is, the film thickness of the liquid crystal layer changes abruptly. It is characterized in that the initial orientation in the temperature-lowering process is kept in a good state by eliminating it, and a monodomain without orientation defects is formed.

すなわち、本発明は、基板上に、感光性基を分子内に有
するポリアミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹
脂の膜を設け、該膜を露光し硬化させて得たカラーフィ
ルター単位を複数有し、その隣り合うカラーフィルター
単位の間隔をα(μm)とした場合、0≦α≦5μmの
関係からなり、該カラーフィルター単位を複数配置して
形成したカラーフィルター層の上に保護層およびパター
ン形状の透明電極を順次積層してなることを特徴とする
カラーフィルター基板である。
That is, the present invention provides a color filter unit obtained by providing, on a substrate, a film of a colored resin obtained by dispersing a coloring material in a polyamide resin having a photosensitive group in the molecule, and exposing and curing the film. When a plurality of color filter units are provided and the space between the adjacent color filter units is α (μm), the relationship of 0 ≦ α ≦ 5 μm is satisfied, and the protective layer is formed on the color filter layer formed by arranging the plurality of color filter units. And a pattern-shaped transparent electrode which is sequentially laminated.

また、本発明は、透明電極の形成された一対の基板間に
強誘電性液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基
板間に複数のカラーフィルター単位を配置して形成した
カラーフィルター層を有する強誘電性液晶素子におい
て、該カラーフィルター層が感光性基を分子内に有する
ポリアミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂の
膜を設け、該膜を露光し硬化させて形成され、その隣り
合うカラーフィルター単位の間隔をα(μm)とした場
合、0≦α≦5μmの関係からなり、該カラーフィルタ
ー層の上に保護層、パターン形状の透明電極および配向
制御膜を順次積層してなることを特徴とする強誘電性液
晶素子である。
Further, the present invention has a color filter layer formed by sandwiching a ferroelectric liquid crystal between a pair of substrates on which transparent electrodes are formed and arranging a plurality of color filter units between at least one transparent electrode and the substrate. In the ferroelectric liquid crystal element, the color filter layer is formed by providing a film of a colored resin in which a coloring material is dispersed in a polyamide resin having a photosensitive group in the molecule, exposing the film, and curing the film. When the distance between adjacent color filter units is α (μm), the relationship of 0 ≦ α ≦ 5 μm is established, and a protective layer, a patterned transparent electrode and an alignment control film are sequentially laminated on the color filter layer. It is a ferroelectric liquid crystal device characterized by the following.

以下、本発明を図面に基ずき説明する。Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明に係わる強誘電性液晶素子の基本構成を
示す断面図である。第1図において、強誘電性液晶素子
1はガラス板またはプラスチック板などの透明板を用い
た基板2と3を有し、その間には強誘電性液晶4が挟持
されている。各基板2と3にはマトリクス電極構造を形
成するストライプ状のパターン形状の透明電極5と6が
配設され、この透明電極の上には配向制御膜7及び8が
形成されている。R(赤),G(緑),B(青)の各カラー
フィルターは、等しい膜厚にて所望の分光特性となるよ
う、あらかじめ着色材料濃度を設定したものにて形成さ
れている。一方、より平坦化を行なうために、必要に応
じては、各カラーフィルター間の窪みに遮光層10が形成
され、さらにその上に保護膜または平坦化膜9が形成さ
れている。R,G,Bからなる3つのカラーフィルター単位
で1つの画素を構成する。
FIG. 1 is a sectional view showing the basic structure of a ferroelectric liquid crystal device according to the present invention. In FIG. 1, a ferroelectric liquid crystal element 1 has substrates 2 and 3 using transparent plates such as glass plates or plastic plates, and a ferroelectric liquid crystal 4 is sandwiched between them. Striped pattern-shaped transparent electrodes 5 and 6 forming a matrix electrode structure are arranged on each of the substrates 2 and 3, and alignment control films 7 and 8 are formed on the transparent electrodes. Each of the R (red), G (green), and B (blue) color filters is formed with a coloring material concentration set in advance so that desired spectral characteristics can be obtained with the same film thickness. On the other hand, in order to perform more flattening, if necessary, a light shielding layer 10 is formed in the recess between the color filters, and a protective film or a flattening film 9 is further formed thereon. One pixel is composed of three color filter units consisting of R, G, and B.

上記の構成による基板では、カラーフィルターの膜厚が
ほぼ同一に設定されていること及び画素間の間隔を5μ
m以下におさえることにより、その窪みによる段差が補
正されているため、画素上に透明電極、配向制御膜を順
に形成しても、基板面をほぼ平坦に保つことができる。
In the substrate having the above structure, the thickness of the color filter is set to be almost the same, and the interval between pixels is 5 μm.
Since the step difference due to the depression is corrected by controlling the height to m or less, the substrate surface can be kept substantially flat even if the transparent electrode and the alignment control film are sequentially formed on the pixel.

本発明では、前述の平坦化により、カラーフィルター基
板の段差を1000Å以下とすることができるが、好ましく
は500Å以下とするのが望ましい。この段差が1000Åを
こえると、言いかえれば各画素の間隔を5μmをこえる
範囲で設定した非平坦化層を用いた液晶素子は、前述の
第5図で示した刃状線の配向欠陥を生じることになる。
In the present invention, the step of the color filter substrate can be set to 1000 Å or less by the above-mentioned flattening, but it is preferably set to 500 Å or less. If this step exceeds 1000Å, in other words, the liquid crystal element using the non-flattening layer in which the distance between each pixel is set to exceed 5 μm, the alignment defect of the edge line shown in FIG. 5 is generated. It will be.

本発明に適するカラーフィルターとしては、各画素の膜
厚が、ほぼ同一に設定することが可能な方式であればよ
いが、特に本発明としての効果が大きく、かつ簡便な製
造プロセスにより微細パターンを形成することができ、
さらに機械的特性をはじめ、耐熱性、耐光性、耐溶剤性
等の諸特性の優れたカラーフィルターである以下の方式
が好ましい。
The color filter suitable for the present invention may be a method in which the film thickness of each pixel can be set to be substantially the same, but the effect as the present invention is particularly large, and a fine pattern can be formed by a simple manufacturing process. Can be formed,
Further, the following method, which is a color filter excellent in various characteristics such as heat resistance, light resistance, and solvent resistance in addition to mechanical characteristics, is preferable.

すなはち、本発明に最適なカラーフィルターは、感光性
を有する基を分子内に持つ低温硬化型ポリアミド樹脂中
に着色材料を分散してなる着色樹脂のフォトリソ工程の
くり返しにより形成する方法である。
That is, the optimum color filter for the present invention is a method of forming a color resin by repeating a photolithography process of a color resin in which a color material is dispersed in a low temperature curable polyamide resin having a photosensitive group in a molecule. .

さらに詳しくは、カラーフィルターの有する着色樹脂層
を形成する感光性を有する基を分子内に有する低温硬化
型ポリアミド樹脂(以下、感光性ポリアミド樹脂と称
す)としては、200℃以下にて硬化膜の得られるもの、
例えば150℃×30分程度の熱で硬化膜を形成できる、例
えば感光性基をその分子内に持つ芳香族系のポリアミド
樹脂で、特に、可視光波長域(400〜700nm)で特定の光
吸収特性を持たないもの(光透過率で90%程度以上のも
の)が好ましい。この観点からは、特に芳香族系のポリ
アミド樹脂が好ましい。
More specifically, as a low temperature curable polyamide resin having a photosensitive group in its molecule which forms a colored resin layer of a color filter (hereinafter referred to as a photosensitive polyamide resin), What you get,
For example, a cured film can be formed by heat of about 150 ° C x 30 minutes. For example, an aromatic polyamide resin that has a photosensitive group in its molecule, especially for specific light absorption in the visible light wavelength range (400 to 700 nm). Those that do not have the characteristics (light transmittance of about 90% or more) are preferable. From this viewpoint, an aromatic polyamide resin is particularly preferable.

また、本発明における感光性を有する基としては、以下
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 (式中R1はCHX=CY-COO-Z-、Xは−H又は−C6H5、Yは
−H又は−CH3、Zは−又はエチル基又はグリシジル基
を示す) (式中Yは−H又はCH3を示す) (式中R2はCHX=CY-CONH-、CH2=CY-COO-(CH22-OCO
−又はCH2=CY-COO-CH2−を1個以上含むもの、X,Yは前
記意義を示す) (式中R3はH−,アルキル基、アルコシキ基を示す) 等が挙げられる。
Further, the photosensitive group in the present invention may be an aromatic chain having a photosensitive hydrocarbon unsaturated group as shown below, for example, (In the formula, R 1 is CHX = CY-COO-Z-, X is -H or -C 6 H 5 , Y is -H or -CH 3 , Z is-or an ethyl group or a glycidyl group.) (Wherein Y represents -H or CH 3) (In the formula, R 2 is CHX = CY-CONH-, CH 2 = CY-COO- (CH 2 ) 2 -OCO
-Or CH 2 = containing one or more of CY-COO-CH 2- , X and Y have the above meanings) (In the formula, R 3 represents H-, an alkyl group or an alkoxy group) Etc.

これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂の
具体例を示すと、“リソコートPA-1000"(商品名、宇部
興産(株)製)等が挙げられる。
Specific examples of aromatic polyamide resins having these groups in the molecule include "Lisocoat PA-1000" (trade name, manufactured by Ube Industries, Ltd.).

一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはじめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記本発明の感光性ポリアミド樹脂
は、化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系で
あり、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐久
性も非常に良好なものとなる。特に、強誘電性液晶素子
のカラーフィルターとして問題となりうる透明導電膜の
スパッタ形成時の耐熱性および液晶素子組み立て時のイ
ンナースペーサーによるカラーフィルターの破損等に対
して優れた性能を発揮するものである。
Generally, there are few photosensitive resins used in the photolithography process, which have excellent mechanical properties, heat resistance, light resistance, solvent resistance, and the like, although there are differences depending on their chemical structures. On the other hand, the photosensitive polyamide resin of the present invention is a resin system having excellent durability in terms of chemical structure, and the durability of the color filter formed using these is also very good. Become. In particular, it exhibits excellent performance against heat resistance during sputter formation of a transparent conductive film, which may be a problem as a color filter for a ferroelectric liquid crystal element, and damage to the color filter due to an inner spacer during liquid crystal element assembly. .

本発明におけるカラーフィルターの有する着色樹脂層を
形成する着色材料としては、有機顔料、無機顔料、染料
等のうち所望の分光特性を得られるものであれば、特に
限定されるものではない。この場合、各材料を単体で用
いることも、これらのうちのいくつかの混合物として用
いることもできる。ただし、染料を用いた場合には、染
料自体の耐久性により、カラーフィルターの性能が支配
されてしまうが、上記本発明の樹脂系を用いれば、通常
の染色カラーフィルターに比べ性能の優れたものが形成
可能である。従って、カラーフィルターの色特性及び諸
性能から勘案すると有機顔料が着色材料として最も好ま
しい。
The coloring material forming the colored resin layer of the color filter in the present invention is not particularly limited as long as it can obtain desired spectral characteristics among organic pigments, inorganic pigments, dyes and the like. In this case, each material can be used alone or as a mixture of some of them. However, when a dye is used, the performance of the color filter is governed by the durability of the dye itself. However, when the resin system of the present invention is used, the performance is superior to that of an ordinary dyed color filter. Can be formed. Therefore, considering the color characteristics and various performances of the color filter, the organic pigment is most preferable as the coloring material.

有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合ア
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料,
そしてインジゴ系,アントラキノン系,ペリレン系,ペ
リノン系,ジオキサジン系,キナクリドン系,イソイン
ドリノン系,フタロン系,メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
Organic pigments include azo pigments such as soluble azo pigments, insoluble azo pigments and condensed azo pigments, phthalocyanine pigments,
And condensed polycyclic pigments containing indigo, anthraquinone, perylene, perinone, dioxazine, quinacridone, isoindolinone, phthalone, methine / azomethine, other metal complex, or some of these A mixture of these is used.

本発明において、着色樹脂層を形成するために使用する
着色樹脂は、上記感光性ポリアミド樹脂溶液に、各色同
一膜厚にて所望の分光特性を有する上記着色材料をそれ
ぞれ10〜50%程度の任意の割合で配合し、超音波あるい
は三本ロール等により充分に分散させた後、好ましくは
1μm以下のフィルターにて粒径の大きいものを除去し
て調製する。
In the present invention, the colored resin used to form the colored resin layer is the photosensitive polyamide resin solution, and each of the colored materials having desired spectral characteristics at the same film thickness of each color is approximately 10 to 50%. It is blended in a ratio of 1, and is sufficiently dispersed by ultrasonic waves or a three-roll mill, and then, those having a large particle size are preferably removed by a filter having a size of 1 μm or less.

本発明におけるカラーフィルターの有する着色樹脂層
は、前記着色樹脂をスピンナー,ロールコーター等の塗
布装置により基板上に塗布し、フォトリソ工程によりパ
ターン状に形成され、その層厚は所望とする分光特性に
応じて決定されるが、通常は各色同一膜厚で、0.5〜5
μm程度、好ましくは0.5〜1.5μm程度が望ましい。
The colored resin layer of the color filter in the present invention is formed by applying the colored resin on a substrate by a coating device such as a spinner or a roll coater, and forming it in a pattern by a photolithography process, the layer thickness of which has a desired spectral characteristic. Normally, 0.5 to 5 with the same film thickness for each color.
About μm, preferably about 0.5 to 1.5 μm is desirable.

着色樹脂層と下地の基板間との接着性を更に増す必要が
ある場合には、基板上にあらかじめシランカップリング
剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パターンを形成する
か、あるいは、あらかじめ着色樹脂中にシランカップリ
ング剤等を少量添加したものを用いてカラーフィルター
を形成することにより、一層効果的である。
If it is necessary to further increase the adhesiveness between the colored resin layer and the underlying substrate, either apply a thin coating of the silane coupling agent or the like on the substrate beforehand and then form the colored resin pattern, or It is more effective to form the color filter by using a material to which a small amount of a silane coupling agent or the like is added.

なお、本発明におけるカラーフィルターの有する着色樹
脂層は、それ自体充分な耐久性を有する良好な材料で構
成されているが、特に、より各種の環境条件から、着色
樹脂層を保護するため、またはカラーフィルター表面を
平坦化するためには、着色樹脂層表面に、ポリアミド,
ポリイミド,ポリウレタン,ポリカーボネート,シリコ
ン系等の有機樹脂やSi3N4,SiO2,SiO,Al2O3,Ta2O3等の無
機膜をスピンコート,ロールコートの塗布法で、あるい
は蒸着法によって、保護膜または平坦化膜として設ける
ことができる。
The colored resin layer of the color filter of the present invention is composed of a good material having sufficient durability itself, but particularly for protecting the colored resin layer from various environmental conditions, or In order to flatten the color filter surface, polyamide,
Polyimide, polyurethane, polycarbonate, silicon-based organic resins and inorganic films such as Si 3 N 4 , SiO 2 , SiO, Al 2 O 3 , Ta 2 O 3 can be applied by spin coating, roll coating, or vapor deposition. According to this, it can be provided as a protective film or a flattening film.

この場合には、カラーフィルター表面が、より段差のな
い形状になるため、本発明の目的とする強誘電性液晶の
配向欠陥をなくすためにより好適である。また、保護膜
9の膜厚は、強誘電性液晶4の膜厚を決定することがで
きるので、従って液晶材料の種類や要求される応答速度
などにより変化するが、一般的には0.2μm〜20μm、
好適には0.5μm〜10μmの範囲に設定される。
In this case, since the color filter surface has a more stepless shape, it is more suitable for eliminating the alignment defect of the ferroelectric liquid crystal which is the object of the present invention. Further, the film thickness of the protective film 9 can determine the film thickness of the ferroelectric liquid crystal 4, and therefore varies depending on the type of liquid crystal material and the required response speed, but generally 0.2 μm to 20 μm,
It is preferably set in the range of 0.5 μm to 10 μm.

さらに、場合によっては、表示特性を向上させるため、
および各画素の間隙をうめ、画素間から生じる段差をよ
り小さくするために、各画素間に合わせて遮光層をクロ
ム,アルミニウム等の遮光能力を持つ金属薄膜を蒸着法
で、あるいは感光性ポリアミド樹脂中にカーボンブラッ
ク、複合酸化物黒顔料、金属粉等の遮光能力を有する材
料を分散させた遮光樹脂層を塗布法で形成することがで
きる。
Furthermore, in some cases, in order to improve the display characteristics,
In order to fill in the gaps between the pixels and to reduce the step generated between the pixels, a light-shielding layer is formed between the pixels by a metal thin film having a light-shielding ability such as chromium or aluminum by a vapor deposition method or in a photosensitive polyamide resin. A light-shielding resin layer in which a material having a light-shielding ability such as carbon black, a black composite oxide pigment, and metal powder is dispersed can be formed by a coating method.

本発明に用いられる配向制御膜の材料としては、例え
ば、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミドイ
ミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ピリビニルア
セタール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミ
ド、ポリスチレン、セルロース樹脂、メラミン樹脂、ユ
リア樹脂、アクリル樹脂などの樹脂類、あるいは感光性
ポリイミド、感光性ポリアミド、環状ゴム系フォトレジ
スト、フェノールノボラック系フォトレジストあるいは
電子線フォトレジスト(ポリメチルメタクリレート、エ
ポキシ化−1,4−ポリブタジエンなど)などから選択し
て形成することができる。配向制御膜7は、強誘電性液
晶の膜厚にも依存するが、一般的には10Å〜1μm、好
適には100Å〜3000Åの範囲に設定する。
Examples of the material of the orientation control film used in the present invention include polyvinyl alcohol, polyimide, polyamideimide, polyester, polycarbonate, pyrivinylacetal, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polystyrene, cellulose resin, melamine resin, and urea. Resins such as resin and acrylic resin, photosensitive polyimide, photosensitive polyamide, cyclic rubber photoresist, phenol novolac photoresist or electron beam photoresist (polymethylmethacrylate, epoxidized-1,4-polybutadiene, etc.), etc. It can be selected and formed. Although the orientation control film 7 depends on the film thickness of the ferroelectric liquid crystal, it is generally set in the range of 10Å to 1 μm, preferably 100Å to 3000Å.

本発明で用いる液晶材料として、とくに適したものは双
安定性を有する液晶であって、強誘電性を有するもので
ある。具体的にはカイラルスメクティックC相(Sm
C),H相(SmH),I相(SmI),J相(SmJ),K相
(SmK),G相(SmG)またはF相(SmF)の液晶を
用いることができる。
A particularly suitable liquid crystal material for use in the present invention is a liquid crystal having bistability and having ferroelectricity. Specifically, the chiral smectic C phase (Sm
Use C * ), H phase (SmH * ), I phase (SmI * ), J phase (SmJ * ), K phase (SmK * ), G phase (SmG * ) or F phase (SmF * ) liquid crystal You can

この強誘電性液晶については、“ル・ジュールナル・ド
・フィジーク・ルテール”(“LE JOURNAL DE PHYSIQUE
LETTRES")1975年、36(L-69)号、「フェロエレクト
リック・リキッド・クリスタルス」(「Ferroelectric
Liquid Crystals」);“アプライド・フィジックス・
レターズ”(“Applied Physics Letters")1980年、36
(11)号、「サブミクロ・セカンド・バイステイブル・
エレクトロオプチック・スイッチング・イン・リキッド
・クリスタルス」(「Submicro Second Bistable Elect
rooptic Switching in Liquid Crystals」);“固体物
理"1981年16(141)号、「液晶」等に記載されており、
本発明においては、これらに開示された強誘電性液晶を
使用することができる。
About this ferroelectric liquid crystal, "LE JOURNAL DE PHYSIQUE
LETTRES ") 1975, 36 (L-69)," Ferroelectric Liquid Crystals "(" Ferroelectric
Liquid Crystals ”);“ Applied Physics
"Applied Physics Letters" 1980, 36
(11), "Sub-micro second bistable
Electro-Optic Switching In Liquid Crystals "(" Submicro Second Bistable Elect
rooptic Switching in Liquid Crystals ");" Solid State Physics "1981 16 (141)," Liquid Crystals ", etc.,
In the present invention, the ferroelectric liquid crystals disclosed in these can be used.

強誘電性液晶の具体例としては、例えばデシロキシベン
ジリデン−p′−アミノ−2−メチルブチルシンナメー
ト(DOBAMBC)、ヘキシルオキシベンジリデン−p′−
アミノ−2−クロルプロピルシンナメート(HOBACP
C)、4−o−(2−メチル)−ブチルレゾルシリデン
−4′−オクチルアニリン(MBRAS)が挙げられる。
Specific examples of the ferroelectric liquid crystal include, for example, desiloxybenzylidene-p'-amino-2-methylbutyl cinnamate (DOBAMBC), hexyloxybenzylidene-p'-
Amino-2-chloropropyl cinnamate (HOBACP
C), 4-o- (2-methyl) -butylresorcylidene-4'-octylaniline (MBRAS).

これらの材料を用いて素子を構成する場合、液晶化合物
がカイラルスメクティック相となるような温度状態に保
持するため、必要に応じて素子をヒーターが埋め込まれ
たブロック等により支持することができる。
When an element is formed using these materials, since the liquid crystal compound is maintained in a temperature state in which it becomes a chiral smectic phase, the element can be supported by a block or the like in which a heater is embedded, if necessary.

「作用」 本発明のカラーフィルター基板およびそれを用いた強誘
電性液晶素子は各画素のカラーフィルターがほぼ同一の
膜厚に形成され、また隣接する各画素のカラーフィルタ
ーの間隔α(μm)が0≦α≦5μmであるので、基板
の平面性が良好となるために液晶相と接する面に段差が
なく、該平面性のよい基板に挟持された液晶相は等方相
より、液晶相に移行する降温過程において、徐冷するこ
とにより、液晶相領域が次第に広がり均一なモノドメイ
ンの液晶相を形成するようになる。
"Function" In the color filter substrate of the present invention and the ferroelectric liquid crystal element using the same, the color filters of each pixel are formed to have substantially the same film thickness, and the interval α (μm) between the color filters of each adjacent pixel is Since 0 ≦ α ≦ 5 μm, the flatness of the substrate is good, and there is no step on the surface in contact with the liquid crystal phase. By gradually cooling in the temperature decreasing process of transition, the liquid crystal phase region gradually expands to form a uniform monodomain liquid crystal phase.

例えば、液晶として強誘電性液晶相を示す前述のDOBAMB
Cを例にあげて説明すると、DOBAMBCの等方相より徐冷し
ていくとき、約115℃でスメクティックA相(SmA相)に
相転移する。このとき、基板にラビングあるいはSiO2
め蒸着などの配向処理が施されていると、液晶分子の分
子軸が基板に、平行で、かつ一方向に配向したモノドメ
インが形成される。さらに、冷却を進めていくと、液晶
層の厚みに依存する約90〜75℃の間の特定温度でカイラ
ルスメクティックC相(SmC相)に相転移する。ま
た、液晶層の厚みを約2μm以下とした場合は、SmC
相のらせんが解け、双安定性を示す。
For example, the above-mentioned DOBAMB which shows a ferroelectric liquid crystal phase as a liquid crystal.
Explaining with C as an example, when gradually cooling from the isotropic phase of DOBAMBC, it undergoes a phase transition to a smectic A phase (SmA phase) at about 115 ° C. At this time, when the substrate is subjected to an alignment treatment such as rubbing or SiO 2 oblique vapor deposition, a monodomain in which the molecular axes of liquid crystal molecules are parallel to the substrate and aligned in one direction is formed. Further, as the cooling proceeds, a phase transition to a chiral smectic C phase (SmC * phase) occurs at a specific temperature of about 90 to 75 ° C. depending on the thickness of the liquid crystal layer. If the thickness of the liquid crystal layer is about 2 μm or less, SmC *
The phase spiral unravels and exhibits bistability.

[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。[Examples] Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples.

実施例1 第6図(a)〜(f)は、R,G,B3色の色画素の形成工程
を示す工程図である。
Example 1 FIGS. 6A to 6F are process diagrams showing a process of forming color pixels of R, G, and B colors.

まず、コーニング社の#7059ガラス基板61上に、所望の
分光特性を得ることのできる青色着色樹脂材[ヘリオゲ
ン ブルー (Heliogen Blue)L7080(商品名,BASF社
製,C.I.No.74160)を感光性ポリアミド樹脂であるPA-10
00C(商品名,宇部興産社製,ポリマー分=10%、溶剤:
N−メチル−2−ピロリドン、顔料:ポリマー=1:2配
合)に分散させ作製した感光性の着色樹脂材]をスピン
ナー塗布法により、1.5μmの膜厚に塗布して着色樹脂
層62を形成した。(第6図(a)参照) 次に該着色樹脂層62に80℃、30分間のプリベークを行な
った後、形成しようとするパターン形状に対応したフォ
トマスク63を介して高圧水銀灯にて露光した。(第6図
(b)参照) 露光終了後、第6図(c)のごとく、光硬化部分62aを
有する着色樹脂層62の未露光部のみを溶解する専用現像
液(N−メチル−2−ピロリドンを主成分とする現像
液)にて超音波を使用して現像し、専用リンス液(例え
ば、イソプロピルアルコールを主成分とするリンス液)
で処理した後、150℃、30分間のポストベークを行な
い、パターン形状を有する青色のパターン状着色樹脂層
64を形成した。(第6図(d)参照) 続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上
に、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール グリ
ーン(Lionol Green)6YK(商品名,東洋インキ社製,C.
I.No.74265)をPA-1000C(商品名,宇部興産社製,ポリ
マー分=10%、溶剤:N−メチル−2−ピロリドン、顔
料:ポリマー=1:2配合)に分散させ作製した感光性の
着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にして、緑色
のパターン状着色樹脂層65を基板上の所定の位置に青色
着色樹脂層との間隔を5μm以下に設定して形成した。
First, a blue colored resin material [Heliogen Blue L7080 (trade name, manufactured by BASF, CI No. 74160), which can obtain desired spectral characteristics, is formed on a Corning # 7059 glass substrate 61 with a photosensitive polyamide. Resin PA-10
00C (Brand name, Ube Industries, Polymer content = 10%, solvent:
N-methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blended) to prepare a photosensitive colored resin material] and applied to a film thickness of 1.5 μm by a spinner coating method to form a colored resin layer 62. did. (See FIG. 6 (a)) Next, the colored resin layer 62 was prebaked at 80 ° C. for 30 minutes and then exposed with a high pressure mercury lamp through a photomask 63 corresponding to the pattern shape to be formed. . (See FIG. 6 (b)) After the exposure, as shown in FIG. 6 (c), a dedicated developer (N-methyl-2-) that dissolves only the unexposed portion of the colored resin layer 62 having the photo-cured portion 62a. A developing solution containing pyrrolidone as a main component is developed by using ultrasonic waves, and a dedicated rinse liquid (for example, a rinse liquid containing isopropyl alcohol as a main component) is used.
And then post-baked at 150 ° C for 30 minutes to obtain a blue patterned colored resin layer having a pattern shape.
64 formed. (See FIG. 6 (d)) Subsequently, a green colored resin material [Lionol Green 6YK (trade name, manufactured by Toyo Ink Co., Ltd., C .
I.No.74265) is dispersed in PA-1000C (trade name, manufactured by Ube Industries, Ltd., polymer content = 10%, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blended) to form a photosensitive film. In the same manner as described above, except that a colored resin material having a property of “a” is used, a green patterned resin layer 65 is formed at a predetermined position on the substrate with a gap of 5 μm or less from the blue colored resin layer.

さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂材[イ
ルガジン レッド(Irgazin Red)BPT(商品名,チバガ
イギー(Ciba-Geigy)社製,C.I.No.71127)をPA-1000C
(商品名,宇部興産社製,ポリマー分=10%、溶剤:N−
メチル−2−ピロリドン、顔料:ポリマー=1:2配合)
に分散させ作製した感光性の着色樹脂材]を用いる以外
は、上記と同様にして、赤色のパターン状着色樹脂層66
を基板上の所定の位置に青色着色樹脂層および緑色着色
樹脂層との間隔をそれぞれ5μm以下に設定して形成
し、R(赤),G(緑),B(青)の3色ストライプの着色
パターンを得た。(第6図(e)参照) 次に、3色着色パターンの形成されたガラス基板上に、
遮光層として、黒色着色樹脂材[カーボンブラック(C.
I.No.77266)をPA-1000C(ポリマー分=10%、顔料:ポ
リマー=1:4配合)に分散させて作製した感光性の着色
樹脂材]を用い、上記と同様の方法にて各画素間の間隙
に合致させて遮光パターンの遮光層67を形成した。これ
により、各画素間の間隔α(μm)は、0≦α≦5μm
の範囲におさめることができた。
Furthermore, as a third color, a red colored resin material [Irgazin Red BPT (trade name, manufactured by Ciba-Geigy Co., CINo. .71127) to PA-1000C
(Product name, manufactured by Ube Industries, Polymer content = 10%, solvent: N-
Methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blended)
Except that the photosensitive colored resin material prepared by dispersing is prepared in the same manner as described above.
Is formed at a predetermined position on the substrate with a gap between the blue colored resin layer and the green colored resin layer set to 5 μm or less, and a three-color stripe of R (red), G (green), and B (blue) is formed. A colored pattern was obtained. (See FIG. 6 (e)) Next, on the glass substrate on which the three-color coloring pattern is formed,
A black colored resin material [carbon black (C.
I.No.77266) was dispersed in PA-1000C (polymer content = 10%, pigment: polymer = 1: 4 blended) to prepare a photosensitive colored resin material] A light-shielding layer 67 having a light-shielding pattern was formed so as to match the gap between pixels. As a result, the interval α (μm) between each pixel is 0 ≦ α ≦ 5 μm
I was able to reduce it to the range of.

この様にして得られたカラーフィルターパターン上に、
保護膜または平坦化膜68として着色樹脂材に用いたもの
と同様の透明樹脂材[PA-1000C(商品名,宇部興産社
製,ポリマー分=10%、溶剤:N−メチル−2−ピロリド
ン)]をスピンナー塗布方法により約0.5μm厚の膜厚
にて形成した。(第6図(f)参照) 以上により、同一平面化されたカラーフィルター基板を
形成することができた。
On the color filter pattern obtained in this way,
The same transparent resin material used for the colored resin material as the protective film or the flattening film 68 [PA-1000C (trade name, manufactured by Ube Industries, polymer content = 10%, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone) Was formed by a spinner coating method to a film thickness of about 0.5 μm. (See FIG. 6 (f)) As described above, it was possible to form the coplanarized color filter substrate.

次に第1図に示す様に、ITOを500Åの厚さにスパッタリ
ング法により成膜し、透明電極5とした。この上に配向
制御膜7として、ポリイミド形成溶液(日立化成工業
「PIQ」)を3000rpmで回転するスピンナーで塗布し、15
0℃で30分間加熱を行って2000Åのポリイミド被膜を形
成した。しかる後、このポリイミド被膜表面をラビング
処理した。
Next, as shown in FIG. 1, ITO was formed into a film with a thickness of 500 Å by a sputtering method to form a transparent electrode 5. A polyimide forming solution (Hitachi Chemical Industries "PIQ") was applied as an orientation control film 7 on this with a spinner rotating at 3000 rpm.
Heating was performed at 0 ° C. for 30 minutes to form a 2000 Å polyimide film. Then, the surface of this polyimide coating film was rubbed.

このようにして形成したカラーフィルター基板と、対向
する基板3を貼り合せてセル組し、強誘電性液晶を注
入、封口して液晶素子を得た。この液晶素子をクロスニ
コルの偏光顕微鏡で観察したところ、内部の液晶分子は
配向欠陥を生じていないことが確認された。
The color filter substrate thus formed and the opposing substrate 3 were attached to each other to form a cell set, and a ferroelectric liquid crystal was injected and sealed to obtain a liquid crystal element. When this liquid crystal element was observed with a crossed Nicols polarization microscope, it was confirmed that the liquid crystal molecules inside did not have alignment defects.

比較例1 前記実施例1の着色樹脂材に用いた感光性ポリアミド樹
脂を、感光性ポリイミド樹脂である“フォトニース"UR-
3100(商品名,東レ(株)製,固形分=17%,溶剤:N−
メチル−2−ピロリドン/メチルセロソルブ混合系)に
代え、専用現像液(“DV-140")、専用リンス液(イソ
プロピルアルコール)を用いてパターニングし、250
℃、30分間のポストベーク処理を行なう以外は、実施例
1と同様にして、R(赤),G(緑),B(青)の3色スト
ライプカラーフィルターを得た。
Comparative Example 1 The photosensitive polyamide resin used in the colored resin material of Example 1 was replaced with "Photo Nice" UR- which is a photosensitive polyimide resin.
3100 (trade name, manufactured by Toray Industries, Inc., solid content = 17%, solvent: N-
Patterning was performed using a dedicated developer (“DV-140”) and a dedicated rinse (isopropyl alcohol) instead of methyl-2-pyrrolidone / methylcellosolve mixed system.
A three-color striped color filter of R (red), G (green), and B (blue) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the post-baking treatment was performed at 30 ° C. for 30 minutes.

この様にして得られたカラーフィルターは、実施例1の
場合に比べ、樹脂と顔料との親和性が低く、分散状態の
劣る着色樹脂材を用いて形成されているため、表面平坦
性の劣るものであった。
The color filter obtained in this manner has a lower affinity for the resin and the pigment than the case of Example 1, and is formed using a colored resin material in which the dispersion state is inferior, so that the surface flatness is inferior. It was a thing.

また、樹脂の特性より、透明性の劣るカラーフィルター
であった。
Further, the color filter was inferior in transparency due to the characteristics of the resin.

さらに、得られたカラーフィルター基板を用いて、実施
例1と同様の方法で強誘電性液晶素子を形成し、クロス
ニコルの偏光顕微鏡で観察を行なったところ、表面平坦
性の劣る部分から生じる配向不良部が認められ、表示特
性に影響を及ぼし、この時の表示コントラストは前述の
実施例1で得た表示コントラストに対して0.4倍に低下
していた。
Further, using the obtained color filter substrate, a ferroelectric liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 and observed with a crossed Nicols polarization microscope. A defective portion was recognized, which affected the display characteristics, and the display contrast at this time was 0.4 times lower than the display contrast obtained in Example 1 described above.

比較例2 前記実施例1の着色樹脂材に用いた感光性ポリアミド樹
脂を、感光性アクリル樹脂である“フォトレック"RFG-1
0(商品名,積水ファインケミカル(株)製,固形分=1
0%,溶剤:シクロヘキサン)に代え、専用現像液(MEK
を主成分とする現像液)、専用リンス液(MIBKを主成分
とするリンス液)を用いてパターニングし、180℃、30
分間のポストベーク処理を行なう以外は、実施例1と同
様にして、R(赤),G(緑),B(青)の3色ストライプ
カラーフィルターを得た。
Comparative Example 2 The photosensitive polyamide resin used for the colored resin material of Example 1 was replaced with "Photorec" RFG-1 which is a photosensitive acrylic resin.
0 (Brand name, Sekisui Fine Chemical Co., Ltd., solid content = 1)
0%, solvent: cyclohexane) instead of a dedicated developer (MEK
Patterning is performed using a developing solution containing as a main component) and a dedicated rinsing liquid (rinsing liquid containing MIBK as the main component) at 180 ° C, 30 ° C.
A three-color striped color filter of R (red), G (green), and B (blue) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the post-baking treatment was performed for 1 minute.

この様にして得られたカラーフィルターは、実施例1の
場合に比べ、樹脂と顔料との親和性が低く、分散状態の
劣る着色樹脂材を用いて形成されているため、表面平坦
性の劣るものであった。
The color filter obtained in this manner has a lower affinity for the resin and the pigment than the case of Example 1, and is formed using a colored resin material in which the dispersion state is inferior, so that the surface flatness is inferior. It was a thing.

また、樹脂の特性より、耐久性の劣るカラーフィルター
であった。
Further, the color filter was inferior in durability due to the characteristics of the resin.

さらに、得られたカラーフィルター基板を用いて、実施
例1と同様の方法で強誘電性液晶素子を形成し、クロス
ニコルの偏光顕微鏡で観察を行なったところ、表面平坦
性の劣る部分から生じる配向不良部が認められ、表示特
性に影響を及ぼしていた。この時の表示コントラストは
前述の実施例1で得た表示コントラストに対して0.3倍
に低下していた。
Further, using the obtained color filter substrate, a ferroelectric liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 and observed with a crossed Nicols polarization microscope. A defective part was recognized, which affected the display characteristics. The display contrast at this time was 0.3 times lower than the display contrast obtained in Example 1 described above.

比較例3 前記実施例1の着色樹脂材に用いた感光性ポリアミド樹
脂を、遠紫外線用ネガ型レジストである0DUR-110WR(商
品名,東京応化(株)製,溶剤:キシレン)に代え、遠
紫外光による露光後、専用現像液、専用リンス液を用い
てパターニングし、180℃、30分間のポストベーク処理
を行なう以外は、実施例1と同様にして、R(赤),G
(緑),B(青)の3色ストライプカラーフィルターを得
た。
Comparative Example 3 The photosensitive polyamide resin used in the colored resin material of Example 1 was replaced with 0DUR-110WR (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd., solvent: xylene), which is a negative resist for deep ultraviolet rays. After exposure with ultraviolet light, R (red), G (red) and G were obtained in the same manner as in Example 1 except that patterning was performed using a dedicated developing solution and a dedicated rinsing solution, and a post-baking treatment was performed at 180 ° C. for 30 minutes.
A three-color striped color filter of (green) and B (blue) was obtained.

この様にして得られたカラーフィルターは、実施例1の
場合に比べ、樹脂と顔料との親和性が低く、分散状態の
劣る着色樹脂材を用いて形成されているため、表面平坦
性の劣るものであった。
The color filter obtained in this manner has a lower affinity for the resin and the pigment than the case of Example 1, and is formed using a colored resin material in which the dispersion state is inferior, so that the surface flatness is inferior. It was a thing.

また、樹脂の特性より、耐久性の劣るカラーフィルター
であった。
Further, the color filter was inferior in durability due to the characteristics of the resin.

さらに、得られたカラーフィルター基板を用いて、実施
例1と同様の方法で強誘電性液晶素子を形成し、クロス
ニコルの偏光顕微鏡で観察を行なったところ、表面平坦
性の劣る部分から生じる配向不良部が認められ、表示特
性に影響を及ぼしていた。この時の表示コントラストは
前述の実施例1で得た表示コントラストに対して0.4倍
に低下していた。
Further, using the obtained color filter substrate, a ferroelectric liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 and observed with a crossed Nicols polarization microscope. A defective part was recognized, which affected the display characteristics. The display contrast at this time was 0.4 times lower than the display contrast obtained in Example 1 described above.

比較例4 前記実施例1の着色樹脂材に用いた感光性ポリアミド樹
脂を、感光性PVA樹脂であるFR-14(商品名,富士薬品工
業(株)製,溶剤:水)にジアゾ化合物を添加したもの
に代え、水による現像、リンスでパターニングし、120
℃、30分間のポストベーク処理を行なう以外は、実施例
1と同様にして、R(赤),G(緑),B(青)の3色スト
ライプカラーフィルターを得た。
Comparative Example 4 The photosensitive polyamide resin used in the colored resin material of Example 1 was added to the photosensitive PVA resin FR-14 (trade name, manufactured by Fuji Chemical Industry Co., Ltd., solvent: water) with a diazo compound added. Instead of the above, develop with water and pattern with rinse,
A three-color striped color filter of R (red), G (green), and B (blue) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the post-baking treatment was performed at 30 ° C. for 30 minutes.

この様にして得られたカラーフィルターは、実施例1の
場合に比べ、樹脂と顔料との親和性が低く、分散状態の
劣る着色樹脂材を用いて形成されているため、表面平坦
性の劣るものであった。
The color filter obtained in this manner has a lower affinity for the resin and the pigment than the case of Example 1, and is formed using a colored resin material in which the dispersion state is inferior, so that the surface flatness is inferior. It was a thing.

また、樹脂の特性より、耐久性の劣るカラーフィルター
であった。
Further, the color filter was inferior in durability due to the characteristics of the resin.

さらに、得られたカラーフィルター基板を用いて、実施
例1と同様の方法で強誘電性液晶素子を形成し、クロス
ニコルの偏光顕微鏡で観察を行なったところ、表面平坦
性の劣る部分から生じる配向不良部が認められ、表示特
性に影響を及ぼしていた。この時の表示コントラストは
前述の実施例1で得た表示コントラストに対して0.3倍
まで低下していた。
Further, using the obtained color filter substrate, a ferroelectric liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 and observed with a crossed Nicols polarization microscope. A defective part was recognized, which affected the display characteristics. The display contrast at this time was 0.3 times lower than the display contrast obtained in Example 1 described above.

比較例5 実施例1において、感光性の着色ポリアミド樹脂を用い
る代りに、非感光性の着色ポリイミド樹脂を用いて3色
カラーフィルターを形成した。
Comparative Example 5 In Example 1, a three-color color filter was formed by using a non-photosensitive colored polyimide resin instead of using the photosensitive colored polyamide resin.

すなわち、ガラス基板上に青色着色ポリイミド樹脂材
[ヘリオゲン ブルー(Heliogen Blue)L7080(商品
名,BASF社製,C.I.No.74160)をセミコファインSP-910
(商品名,東レ社製,固形分=22%、顔料:ポリマー=
1:2配合)に分散させ作成した着色樹脂材]をスピンナ
ー塗布法により、2.0μmの膜厚に塗布した。次に、該
着色樹脂層を150℃で30分間乾燥した後、200℃で30分間
加熱した。
That is, a blue colored polyimide resin material [Heliogen Blue L7080 (trade name, manufactured by BASF, CI No. 74160)] is applied on a glass substrate by Semicofine SP-910.
(Product name, Toray, solid content = 22%, pigment: polymer =
The colored resin material prepared by dispersing 1: 2) was applied to a film thickness of 2.0 μm by a spinner coating method. Next, the colored resin layer was dried at 150 ° C. for 30 minutes and then heated at 200 ° C. for 30 minutes.

その後、該青色層上にポジ型レジスト[OFPR-2(商品
名,東京応化社製)]をスピンナー塗布し、80℃、20分
間のプリベーク後、形成しようとするパターン形状に対
応したパターンマスクを介して高圧水銀灯にて露光し
た。
After that, a positive resist [OFPR-2 (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.)] is spinner coated on the blue layer, prebaked at 80 ° C. for 20 minutes, and then a pattern mask corresponding to the pattern shape to be formed is formed. Via a high pressure mercury lamp.

露光終了後、アルカリ現像液でレジストを現像するとと
もに、該青色層をエッチングし、続いてアセトンにてレ
ジスト剥離を行い、250℃、30分間の加熱焼成によりパ
ターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
After completion of the exposure, the resist is developed with an alkali developing solution, the blue layer is etched, the resist is then stripped with acetone, and a blue colored resin film having a pattern shape is formed by heating and baking at 250 ° C. for 30 minutes. Formed.

次に、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に、
第2色目として緑色着色ポリイミド樹脂材[リオノール
グリーン(Lionol Green)6YX(商品名,東洋インキ
社製,C.I.No.74265)をセミコファイン(商品名,東レ
社製,固形分=22%、顔料:ポリマー=1:2配合)に分
散させ作成した着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同
様にして、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形
成した。
Next, on the glass substrate on which the blue coloring pattern is formed,
Second color green colored polyimide resin material [Lionol Green 6YX (trade name, manufactured by Toyo Ink, CI No. 74265)] is semicofine (trade name, manufactured by Toray, solid content = 22%, pigment: polymer) = 1: 2 formulation) was used to form a green colored pattern at a predetermined position on the substrate in the same manner as above.

さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第3色目として、赤色着色ポリイミド
樹脂材[イルガジン レッド(Irgazin Red)BPT(商品
名,チバガイギー(Ciba-Geigy)社製,C.I.No.71127)
をセミコファイン(商品名,東レ社製,固形分=22%、
顔料:ポリマー=1:2配合)に分散させ作成した着色樹
脂材]を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パ
ターンを基板上の所定の位置に形成し、R(赤),G
(緑),B(青)の3色ストライプカラーフィルターを得
た。
Further, on the substrate on which the blue and green patterns are formed in this way, as a third color, a red colored polyimide resin material [Irgazin Red BPT (trade name, manufactured by Ciba-Geigy, (CINo.71127)
Semicofine (trade name, manufactured by Toray, solid content = 22%,
Pigment: Polymer = 1: 2 blended), and a red colored pattern is formed at a predetermined position on the substrate in the same manner as above except that a colored resin material prepared by dispersing is used.
A three-color striped color filter of (green) and B (blue) was obtained.

この様にして得られたカラーフィルターは、実施例1の
場合に比べ、樹脂と顔料との親和性が低く、分散状態の
劣る着色樹脂材を用いて形成されているため、表面平坦
性の劣るものであった。
The color filter obtained in this manner has a lower affinity for the resin and the pigment than the case of Example 1, and is formed using a colored resin material in which the dispersion state is inferior, so that the surface flatness is inferior. It was a thing.

また、樹脂の特性より、透明性の劣るカラーフィルター
であった。さらに、パターニング用のレジスト工程が各
色形成毎に必要であるため、非常に煩雑なプロセスであ
り、生産性に劣ったものであった。
Further, the color filter was inferior in transparency due to the characteristics of the resin. Furthermore, since a resist process for patterning is required for each color formation, it is a very complicated process and the productivity is poor.

続いて、得られたカラーフィルター基板を用いて、実施
例1と同様の方法で強誘電性液晶素子を形成し、クロス
ニコルの偏光顕微鏡で観察を行なったところ、表面平坦
性の劣る部分から生じる配向不良部が認められ、表示特
性に影響を及ぼしていた。この時の表示コントラストは
前述の実施例1で得た表示コントラストに対して0.2倍
まで低下していた。
Subsequently, using the obtained color filter substrate, a ferroelectric liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 and observed with a crossed Nicols polarization microscope. Alignment defects were observed, which affected the display characteristics. The display contrast at this time was 0.2 times lower than the display contrast obtained in Example 1 described above.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば基板上のカラーフ
ィルター層の膜厚の差がない上、各画素間隔α(μm)
を0≦α≦5μmの範囲におさえる様に位置させ、さら
に必要に応じて遮光層、保護膜・平坦化膜を設けること
により、カラーフィルター各画素間に生じる微小な段差
をもなくすことが可能となり、配向欠陥の発生を防止す
ることができ、強誘電性液晶の特性を十分に発揮し得る
強誘電性液晶素子を提供することがえきる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, there is no difference in the film thickness of the color filter layer on the substrate, and each pixel interval α (μm)
By arranging so that it falls within the range of 0 ≦ α ≦ 5 μm and further providing a light-shielding layer, a protective film, and a flattening film as necessary, it is possible to eliminate minute steps that occur between each pixel of the color filter. Therefore, it is possible to provide a ferroelectric liquid crystal element which can prevent the occurrence of alignment defects and can sufficiently exhibit the characteristics of the ferroelectric liquid crystal.

さらに、本発明によれば、機械的強度にも優れ、かつ、
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パタ
ーンを有するカラーフィルター部分を、簡便な製造工程
により作製することが可能となり、カラー強誘電性液晶
素子として性能の優れたものを簡便に提供することがで
きる。
Furthermore, according to the present invention, excellent mechanical strength, and
It becomes possible to manufacture a color filter part having a fine pattern with excellent properties such as heat resistance, light resistance, solvent resistance, etc. by a simple manufacturing process. It can be provided easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明に係わる強誘電性液晶素子の基本構成を
示す示す断面図、第2図及び第3図は本発明で用いる強
誘電性液晶を模式的に表わした斜視図、第4図は従来の
強誘電性液晶素子の断面図、第5図は従来の強誘電性液
晶素子に現われた配向欠陥の状態を表わす概略説明図お
よび第6図(a)〜(f)は本発明の色画素の形成工程
を示す工程図である。 1,40……強誘電性液晶素子 2,3,41,42,61……基板 4,47……強誘電性液晶 5,6,43,44……透明電極 7,8,45,46……配向制御膜 9,48,68……保護膜(平坦化膜) 10,67……遮光層
FIG. 1 is a sectional view showing the basic structure of a ferroelectric liquid crystal element according to the present invention, FIGS. 2 and 3 are perspective views schematically showing the ferroelectric liquid crystal used in the present invention, and FIG. Is a cross-sectional view of a conventional ferroelectric liquid crystal device, FIG. 5 is a schematic explanatory view showing a state of alignment defects appearing in a conventional ferroelectric liquid crystal device, and FIGS. 6 (a) to 6 (f) are drawings of the present invention. FIG. 6 is a process diagram illustrating a process of forming color pixels. 1,40 …… Ferroelectric liquid crystal element 2,3,41,42,61 …… Substrate 4,47 …… Ferroelectric liquid crystal 5,6,43,44 …… Transparent electrode 7,8,45,46… Alignment control film 9,48,68 Protective film (flattening film) 10,67 Shield layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 美樹 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 神尾 優 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 関村 信行 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−237403(JP,A) 特開 昭61−260224(JP,A) 特開 昭61−166523(JP,A) 特開 昭60−2725(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Miki Tamura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Yu Kamio 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated (72) Inventor Nobuyuki Sekimura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (56) Reference JP-A-60-237403 (JP, A) JP-A-61-260224 (JP) , A) JP 61-166523 (JP, A) JP 60-2725 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に、感光性基を分子内に有するポリ
アミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂の膜を
設け、該膜を露光し硬化させて得たカラーフィルター単
位を複数有し、その隣り合うカラーフィルター単位の間
隔をα(μm)とした場合、0≦α≦5μmの関係から
なり、該カラーフィルター単位を複数配置して形成した
カラーフィルター層の上に保護層およびパターン形状の
透明電極を順次積層してなることを特徴とするカラーフ
ィルター基板。
1. A plurality of color filter units obtained by providing a film of a colored resin in which a coloring material is dispersed in a polyamide resin having a photosensitive group in a molecule on a substrate, and exposing and curing the film. When the distance between the adjacent color filter units is α (μm), the relationship of 0 ≦ α ≦ 5 μm is satisfied, and a protective layer and a protective layer are formed on the color filter layer formed by arranging a plurality of the color filter units. A color filter substrate, which is formed by sequentially laminating patterned transparent electrodes.
【請求項2】前記ポリアミド樹脂が芳香族基をもつ樹脂
である特許請求の範囲第1項記載のカラーフィルター基
板。
2. The color filter substrate according to claim 1, wherein the polyamide resin is a resin having an aromatic group.
【請求項3】透明電極の形成された一対の基板間に強誘
電性液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間
に複数のカラーフィルター単位を配置して形成したカラ
ーフィルター層を有する強誘電性液晶素子において、該
カラーフィルター層が感光性基を分子内に有するポリア
ミド樹脂中に着色材料を分散してなる着色樹脂の膜を設
け、該膜を露光し硬化させて形成され、その隣り合うカ
ラーフィルター単位の間隔をα(μm)とした場合、0
≦α≦5μmの関係からなり、該カラーフィルター層の
上に保護層、パターン形状の透明電極および配向制御膜
を順次積層してなることを特徴とする強誘電性液晶素
子。
3. A ferroelectric having a color filter layer formed by sandwiching a ferroelectric liquid crystal between a pair of substrates on which transparent electrodes are formed and arranging a plurality of color filter units between at least one transparent electrode and the substrate. In the dielectric liquid crystal device, the color filter layer is formed by providing a film of a coloring resin in which a coloring material is dispersed in a polyamide resin having a photosensitive group in the molecule, exposing the film and curing the film, and adjoining the film. When the interval between the matching color filter units is α (μm), 0
A ferroelectric liquid crystal device having a relationship of ≦ α ≦ 5 μm, which is obtained by sequentially laminating a protective layer, a patterned transparent electrode, and an orientation control film on the color filter layer.
【請求項4】前記ポリアミド樹脂が芳香族基をもつ樹脂
である特許請求の範囲第3項記載の強誘電性液晶素子。
4. The ferroelectric liquid crystal device according to claim 3, wherein the polyamide resin is a resin having an aromatic group.
JP20274686A 1986-08-30 1986-08-30 Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element Expired - Fee Related JPH0746161B2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20274686A JPH0746161B2 (en) 1986-08-30 1986-08-30 Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element
US07/090,703 US4917471A (en) 1986-08-30 1987-08-28 Liquid crystal device
US07/416,034 US5101289A (en) 1986-08-30 1989-10-02 Chiral smectic color display device with interval between color filters: color filter film thickness ratio of 0-5
US08/238,345 US5398126A (en) 1986-08-30 1994-05-05 Ferroelectric color liquid crystal device lacking alignment defects
US08/352,756 US5548424A (en) 1986-08-30 1994-12-05 Liquid crystal device having two resins films formed from solutions of different viscosities
US08/430,418 US5500751A (en) 1986-08-30 1995-04-28 Ferroelectric liquid crystal color filter surrounded by a heat fusible resin
US08/430,422 US5568293A (en) 1986-08-30 1995-04-28 Liquid crystal display having trapezoidal color filters formed from a low-temperature curing polyamino resin having a photosensitive group

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20274686A JPH0746161B2 (en) 1986-08-30 1986-08-30 Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8923492A Division JP2691955B2 (en) 1992-03-16 1992-03-16 Color filter substrate and liquid crystal element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6360423A JPS6360423A (en) 1988-03-16
JPH0746161B2 true JPH0746161B2 (en) 1995-05-17

Family

ID=16462473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20274686A Expired - Fee Related JPH0746161B2 (en) 1986-08-30 1986-08-30 Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0746161B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01237502A (en) * 1988-03-17 1989-09-22 Canon Inc Color filter
JP2691955B2 (en) * 1992-03-16 1997-12-17 キヤノン株式会社 Color filter substrate and liquid crystal element
JP4111281B2 (en) * 1997-04-15 2008-07-02 共同印刷株式会社 Color filter for liquid crystal display

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS606725A (en) * 1983-06-27 1985-01-14 Ube Ind Ltd Photosensitive polyamide soluble in organic solvents
JPS60237403A (en) * 1984-05-10 1985-11-26 Toppan Printing Co Ltd Color filter and its manufacture
JPS61166523A (en) * 1985-01-18 1986-07-28 Canon Inc Image forming device
JPS61260224A (en) * 1985-05-15 1986-11-18 Toppan Printing Co Ltd Electrode plate for color displaying device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6360423A (en) 1988-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2739315B2 (en) Color filters and color liquid crystal devices
US5548424A (en) Liquid crystal device having two resins films formed from solutions of different viscosities
US4712874A (en) Ferroelectric liquid crystal device having color filters on row or column electrodes
TWI291578B (en) Liquid crystal display
TWI457670B (en) Crystal display substrate and crystal display device
JP2991258B2 (en) Ferroelectric liquid crystal element and liquid crystal display device
JPH09258199A (en) Active matrix substrate its production, and liquid crystal display device
JPS6382405A (en) Ferroelectric liquid crystal element
JPH0740097B2 (en) Method for manufacturing chiral smectic liquid crystal device
JPH07113717B2 (en) Color filter substrate and liquid crystal element
JP2530440B2 (en) Method for manufacturing ferroelectric liquid crystal device
JPH0746161B2 (en) Color filter substrate and ferroelectric liquid crystal element
JPS6360426A (en) Ferroelectric liquid crystal element
JPS62150221A (en) Ferroelectric liquid crystal element
JPH05100112A (en) Color filter substrate and liquid crystal element
JPH0740098B2 (en) Method for manufacturing chiral smectic liquid crystal device
JP2587627B2 (en) Chiral smectic liquid crystal device
JP2691955B2 (en) Color filter substrate and liquid crystal element
JPH071355B2 (en) Liquid crystal element
JPH04181219A (en) Ferroelectric liquid crystal element
JPS6392921A (en) Color liquid crystal element
JP2533302B2 (en) Liquid crystal element
JPH05346506A (en) Color filter, its production, color liquid crystal display, and liquid crystal element
JP2533301B2 (en) Liquid crystal element
JP2691955C (en)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees