JPH0733691A - ジフルオロメタンの製造方法 - Google Patents
ジフルオロメタンの製造方法Info
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- JPH0733691A JPH0733691A JP18042193A JP18042193A JPH0733691A JP H0733691 A JPH0733691 A JP H0733691A JP 18042193 A JP18042193 A JP 18042193A JP 18042193 A JP18042193 A JP 18042193A JP H0733691 A JPH0733691 A JP H0733691A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ジクロロメタンとHFとを反応させて得たジ
フルオロメタンを簡単な装置を用いて効率よく造る。 【構成】 生成物を蒸留塔に導き、塔頂よりHCl、ジ
フルオロメタンを主成分とするサイドカット留分、ジク
ロロメタン、HF等を主成分とするボトム液に分け、ボ
トム液を反応器へ供給する。
フルオロメタンを簡単な装置を用いて効率よく造る。 【構成】 生成物を蒸留塔に導き、塔頂よりHCl、ジ
フルオロメタンを主成分とするサイドカット留分、ジク
ロロメタン、HF等を主成分とするボトム液に分け、ボ
トム液を反応器へ供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ジクロロメタンとHF
とを反応させて得たジフルオロメタン(以下、HFC−
32またはCH2 F2 と記す)を簡単な装置を用いて効
率よく造ることができるHFC−32の製造方法に関す
る。
とを反応させて得たジフルオロメタン(以下、HFC−
32またはCH2 F2 と記す)を簡単な装置を用いて効
率よく造ることができるHFC−32の製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】炭素数1〜4のハロゲン化炭化水素をH
Fによってフッ素化する方法には大別して気相法と液相
法がある。近年、塩素や臭素を分子中に含むフロン、ハ
ロンによるオゾン層破壊の問題がクローズアップされ、
それらの代替物質として分子内に水素を含むハロゲン化
炭化水素(HCFCと略す)や、塩素、臭素を分子内に
含まないフッ化炭化水素(HFCと略す)が提案され、
すでに量産化されているものもある。
Fによってフッ素化する方法には大別して気相法と液相
法がある。近年、塩素や臭素を分子中に含むフロン、ハ
ロンによるオゾン層破壊の問題がクローズアップされ、
それらの代替物質として分子内に水素を含むハロゲン化
炭化水素(HCFCと略す)や、塩素、臭素を分子内に
含まないフッ化炭化水素(HFCと略す)が提案され、
すでに量産化されているものもある。
【0003】これらの内、ジクロロメタンとHFと反応
させるHFC−32の製造法において、気相法としてフ
ッ素化触媒はCr化合物(米国特許(US)−2745
886、US−3235612、US−375547
7、特開昭59−225131)等が提案され、一方、
液相法でハロゲン化アンチモンを触媒としてジクロロメ
タンをフッ素化する手法も開示されている(US−20
05711)が、いずれも触媒に関する提案であり、実
質的な製造方法に関するプロセス提案はなされていな
い。
させるHFC−32の製造法において、気相法としてフ
ッ素化触媒はCr化合物(米国特許(US)−2745
886、US−3235612、US−375547
7、特開昭59−225131)等が提案され、一方、
液相法でハロゲン化アンチモンを触媒としてジクロロメ
タンをフッ素化する手法も開示されている(US−20
05711)が、いずれも触媒に関する提案であり、実
質的な製造方法に関するプロセス提案はなされていな
い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】これまでHFC−32
の実質的な製造方法に関するプロセス提案がなかった理
由として、 フッ素化反応・精製系では系内は酸、有機ハロゲン化
物が混在し、理想系とかけ離れ、複雑な挙動を示す場合
が多く、このため、目的成分と他の成分を効率よく分離
するために、正確な気液平衡データを採取し、最適なプ
ロセスを構築する必要がある。
の実質的な製造方法に関するプロセス提案がなかった理
由として、 フッ素化反応・精製系では系内は酸、有機ハロゲン化
物が混在し、理想系とかけ離れ、複雑な挙動を示す場合
が多く、このため、目的成分と他の成分を効率よく分離
するために、正確な気液平衡データを採取し、最適なプ
ロセスを構築する必要がある。
【0005】HFC−32は主として半導体製造プロ
セスにおけるエッチャントとして使用される程度で大量
に必要とされる物質ではなかった。しかし、最近になっ
てオゾン層を破壊する恐れのないことから、現在、冷蔵
庫やルームエアコン等の冷媒として大量に使用されてい
るHCFC−22(CHClF2 )の代替冷媒として脚
光をあび、効率よく大量に製造するプロセスが必要とさ
れている。本発明が解決しようとする課題は、上記事情
に鑑み、HFC−32の実質的な製造方法に関するプロ
セス提案であり、簡単な装置を用いて効率よく、HFC
−32を大量に製造する方法を提供するものである。
セスにおけるエッチャントとして使用される程度で大量
に必要とされる物質ではなかった。しかし、最近になっ
てオゾン層を破壊する恐れのないことから、現在、冷蔵
庫やルームエアコン等の冷媒として大量に使用されてい
るHCFC−22(CHClF2 )の代替冷媒として脚
光をあび、効率よく大量に製造するプロセスが必要とさ
れている。本発明が解決しようとする課題は、上記事情
に鑑み、HFC−32の実質的な製造方法に関するプロ
セス提案であり、簡単な装置を用いて効率よく、HFC
−32を大量に製造する方法を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明はジクロロメタン
とHFとを反応させるジフルオロメタンの製造方法にお
いて、ジクロロメタンとHFとを反応させて生成する生
成物を一つの蒸留塔に導いて、塔頂よりHClを留出せ
しめ、さらに目的物であるジフルオロメタンを主成分と
するサイドカット留分、ジクロロメタン、クロロフルオ
ロメタンおよびHFを主成分とするボトム液に分け、サ
イドカット留分は別に設けられた精製工程に導いてジフ
ルオロメタンを回収し、ボトム液はジクロロメタン、H
Fを添加して成分割合および量を調整して反応器に供給
して反応せしめるジフルオロメタンの製造方法である。
とHFとを反応させるジフルオロメタンの製造方法にお
いて、ジクロロメタンとHFとを反応させて生成する生
成物を一つの蒸留塔に導いて、塔頂よりHClを留出せ
しめ、さらに目的物であるジフルオロメタンを主成分と
するサイドカット留分、ジクロロメタン、クロロフルオ
ロメタンおよびHFを主成分とするボトム液に分け、サ
イドカット留分は別に設けられた精製工程に導いてジフ
ルオロメタンを回収し、ボトム液はジクロロメタン、H
Fを添加して成分割合および量を調整して反応器に供給
して反応せしめるジフルオロメタンの製造方法である。
【0007】一般にHFC−32の製造方法は、(1)
式に示すように、 CH2 Cl2 + 2HF → CH2 F2 + 2HCl ‥‥‥ (1) ジクロロメタンとHFを反応させることによって行われ
る。この反応は、例えばアルミナ・クロミナ等の触媒の
存在下、ジクロロメタンに対するHFのモル比:2〜1
0、反応温度:150〜400℃、反応圧力:大気圧〜
20kg/cm2 (ゲージ圧)、SV:100〜500
0Hr-1の範囲で行われる。
式に示すように、 CH2 Cl2 + 2HF → CH2 F2 + 2HCl ‥‥‥ (1) ジクロロメタンとHFを反応させることによって行われ
る。この反応は、例えばアルミナ・クロミナ等の触媒の
存在下、ジクロロメタンに対するHFのモル比:2〜1
0、反応温度:150〜400℃、反応圧力:大気圧〜
20kg/cm2 (ゲージ圧)、SV:100〜500
0Hr-1の範囲で行われる。
【0008】反応生成物は、目的物であるHFC−3
2、中間体であるクロロフルオロメタン(CH2 ClF
またはHCFC−31)、未反応原料のジクロロメタン
(CH2 Cl2 )、副生HClおよび未反応原料のHF
の他に、微量不純物として、CHF3 、CH3 F、CH
3 CF3 、CH3 CHF2 、CH3 Cl等が生成し、反
応、精製系では系内は酸、有機ハロゲン化物が混在し、
複雑な挙動を示す。このため、目的成分と他の成分を効
率よく分離するためには、正確な気液平衡データを採取
し、最適なプロセスを構築しなければならない。
2、中間体であるクロロフルオロメタン(CH2 ClF
またはHCFC−31)、未反応原料のジクロロメタン
(CH2 Cl2 )、副生HClおよび未反応原料のHF
の他に、微量不純物として、CHF3 、CH3 F、CH
3 CF3 、CH3 CHF2 、CH3 Cl等が生成し、反
応、精製系では系内は酸、有機ハロゲン化物が混在し、
複雑な挙動を示す。このため、目的成分と他の成分を効
率よく分離するためには、正確な気液平衡データを採取
し、最適なプロセスを構築しなければならない。
【0009】これら対象とする系は、気相会合や共沸を
起こしやすいので解析が複雑な上に、HClのような沸
点が極めて低い成分からジクロロメタンのように沸点が
高い成分まで存在し、通常法では測定が困難である。こ
れらの系を正確に測定する方法として、全圧法(全圧法
は各成分の正確な仕込みのもとに、温度、圧力を測り、
熱力学的理論に基づいて、気液平衡関係を求める方法)
を用いて気液平衡データを採取した。
起こしやすいので解析が複雑な上に、HClのような沸
点が極めて低い成分からジクロロメタンのように沸点が
高い成分まで存在し、通常法では測定が困難である。こ
れらの系を正確に測定する方法として、全圧法(全圧法
は各成分の正確な仕込みのもとに、温度、圧力を測り、
熱力学的理論に基づいて、気液平衡関係を求める方法)
を用いて気液平衡データを採取した。
【0010】例えば、CH2 ClF/HF系は最低共沸
混合物を形成し、1kg/cm2 Gの圧力下では共沸温
度3.7℃、共沸温度における成分割合はCH2 ClF
63mol%、HF37mol%である。また、5kg
/cm2 Gの圧力下では共沸温度37℃、共沸温度にお
ける成分割合はCH2 ClF70mol%、HF30m
ol%である。
混合物を形成し、1kg/cm2 Gの圧力下では共沸温
度3.7℃、共沸温度における成分割合はCH2 ClF
63mol%、HF37mol%である。また、5kg
/cm2 Gの圧力下では共沸温度37℃、共沸温度にお
ける成分割合はCH2 ClF70mol%、HF30m
ol%である。
【0011】また、CH2 Cl2 /HF系も同様に最低
共沸混合物を形成し、1kg/cm2 Gの圧力下では共
沸温度39.6℃、共沸温度における成分割合はCH2
Cl2 6mol%、HF94mol%である。また、5
kg/cm2 Gの圧力下では共沸温度69.5℃、共沸
温度における成分割合はCH2 Cl2 16mol%、H
F84mol%である。
共沸混合物を形成し、1kg/cm2 Gの圧力下では共
沸温度39.6℃、共沸温度における成分割合はCH2
Cl2 6mol%、HF94mol%である。また、5
kg/cm2 Gの圧力下では共沸温度69.5℃、共沸
温度における成分割合はCH2 Cl2 16mol%、H
F84mol%である。
【0012】一方、CH2 F2 /HF系は共沸混合物を
形成しないことを見出した。これらの気液平衡測定結果
に基づき、ジクロロメタンとHFとを反応させて生成し
た生成物を一つの蒸留塔でHFと共沸混合物を形成しな
いHClを塔頂より留出させ、さらにHFおよびHCl
と共沸混合物を形成しないHFC−32をサイドカット
留分として抜き出し、ボトム液は共沸関係にあるCH2
ClF、HFおよびCH2 Cl2 に分離することがで
き、前記ボトム液は新たにCH2 Cl2およびHFを添
加して、成分割合および量を調整して反応器に供給して
反応させる効率的なHFC−32の製造方法である。
形成しないことを見出した。これらの気液平衡測定結果
に基づき、ジクロロメタンとHFとを反応させて生成し
た生成物を一つの蒸留塔でHFと共沸混合物を形成しな
いHClを塔頂より留出させ、さらにHFおよびHCl
と共沸混合物を形成しないHFC−32をサイドカット
留分として抜き出し、ボトム液は共沸関係にあるCH2
ClF、HFおよびCH2 Cl2 に分離することがで
き、前記ボトム液は新たにCH2 Cl2およびHFを添
加して、成分割合および量を調整して反応器に供給して
反応させる効率的なHFC−32の製造方法である。
【0013】図1は本発明に係るHFC−32の製造方
法のフローの実施例を示す図で、符号1は反応器であ
る。好ましい反応条件の目安としては、例えば反応圧
力:2kg/cm2 G、反応温度:220℃、HF/ジ
クロロメタンモル比:6である。反応生成物14は、例
えばポンプで昇圧し、蒸留塔2に導入される。蒸留塔
は、例えば0〜25℃の温度で反応生成物が導入され、
操作圧力5kg/cm2 Gの条件で操作される。
法のフローの実施例を示す図で、符号1は反応器であ
る。好ましい反応条件の目安としては、例えば反応圧
力:2kg/cm2 G、反応温度:220℃、HF/ジ
クロロメタンモル比:6である。反応生成物14は、例
えばポンプで昇圧し、蒸留塔2に導入される。蒸留塔
は、例えば0〜25℃の温度で反応生成物が導入され、
操作圧力5kg/cm2 Gの条件で操作される。
【0014】HFと共沸混合物を形成しないHClを塔
頂より、例えば−45〜−50℃の温度で留出分15と
して留出させ、これは他の用途に使用される。さらにH
FおよびHClと共沸混合物を形成しない目的物である
HFC−32は濃度がその最大値にある塔高に沿った地
点の場所もしくはその近傍から、例えば留出温度−16
〜−21℃でサイドカット留分16として抜き出され、
別に設けられた精製工程3に導かれ、HFC−32が回
収される。その際、含有される他の成分は反応器へリサ
イクルしてもよい。
頂より、例えば−45〜−50℃の温度で留出分15と
して留出させ、これは他の用途に使用される。さらにH
FおよびHClと共沸混合物を形成しない目的物である
HFC−32は濃度がその最大値にある塔高に沿った地
点の場所もしくはその近傍から、例えば留出温度−16
〜−21℃でサイドカット留分16として抜き出され、
別に設けられた精製工程3に導かれ、HFC−32が回
収される。その際、含有される他の成分は反応器へリサ
イクルしてもよい。
【0015】ボトム液は共沸関係にあるCH2 ClF、
HFおよびCH2 Cl2 を例えば留出温度33〜43℃
で留出分17として抜き出し、これは新たにCH2 Cl
2 およびHFを添加して、成分割合および量を調整して
反応原料13として反応器に供給される。実施例の装置
は上記の構成となっているので、反応生成物を一つの蒸
留塔2によって、目的物であるHFC−32、副生HC
l、反応原料の調整に使用できるHF、CH2 Cl2 お
よび中間体のCH2 ClFに分離され、これらと補給原
料となる新しいHFおよびCH2 Cl2 を組み合わせ
て、反応および蒸留分離が行われるので少ない装置によ
って効率よくHFC−32を製造することができる。
HFおよびCH2 Cl2 を例えば留出温度33〜43℃
で留出分17として抜き出し、これは新たにCH2 Cl
2 およびHFを添加して、成分割合および量を調整して
反応原料13として反応器に供給される。実施例の装置
は上記の構成となっているので、反応生成物を一つの蒸
留塔2によって、目的物であるHFC−32、副生HC
l、反応原料の調整に使用できるHF、CH2 Cl2 お
よび中間体のCH2 ClFに分離され、これらと補給原
料となる新しいHFおよびCH2 Cl2 を組み合わせ
て、反応および蒸留分離が行われるので少ない装置によ
って効率よくHFC−32を製造することができる。
【0016】
【実施例】次に本発明を示して本発明を具体的に説明す
る。 実施例1 本発明に係る図1のフローを例として、各部における成
分の重量%および反応生成物14の量を100とした場
合の各部の流量を表1に例示する。
る。 実施例1 本発明に係る図1のフローを例として、各部における成
分の重量%および反応生成物14の量を100とした場
合の各部の流量を表1に例示する。
【0017】
【表1】
【0018】表1より明らかなように、1本の蒸留塔に
よって反応生成物を分離し、これらと補給HFおよびC
H2 Cl2 を組み合わせて、反応器原料が調整されると
共に副生HClが回収され、目的とする製品HFC−3
2が濃縮される。
よって反応生成物を分離し、これらと補給HFおよびC
H2 Cl2 を組み合わせて、反応器原料が調整されると
共に副生HClが回収され、目的とする製品HFC−3
2が濃縮される。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るHF
C−32の製造方法は、1つの蒸留塔によって反応生成
物を分離し、これらと補給HFおよびCH2 Cl2 を組
み合わせて、反応器原料を調整すると共に副生HClが
回収され、目的とするHFC−32が効率よく製造され
る。
C−32の製造方法は、1つの蒸留塔によって反応生成
物を分離し、これらと補給HFおよびCH2 Cl2 を組
み合わせて、反応器原料を調整すると共に副生HClが
回収され、目的とするHFC−32が効率よく製造され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のHFC−32の製造方法の実施例を示
すフロー図である。
すフロー図である。
1 反応器 2 蒸留塔 3 精製工程 11 系内に導入されるジクロロメタン 12 系内に導入されるHF 13 反応器へ導入される原料 14 反応生成物 15 蒸留塔留出分 16 蒸留塔サイドカット留出 17 蒸留塔ボトム液
Claims (1)
- 【請求項1】 ジクロロメタンとHFとを反応させるジ
フルオロメタンの製造方法において、ジクロロメタンと
HFとを反応させて生成する生成物を蒸留塔に導いて、
塔頂よりHClを留出せしめ、ジフルオロメタンを主成
分とするサイドカット留分、ジクロロメタン、クロロフ
ルオロメタンおよびHFを主成分とするボトム液に分
け、前記サイドカット留分は別に設けられた精製工程に
導いてジフルオロメタンを回収し、ボトム液は反応器に
供給するジフルオロメタンの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18042193A JPH0733691A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | ジフルオロメタンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18042193A JPH0733691A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | ジフルオロメタンの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0733691A true JPH0733691A (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=16082973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18042193A Pending JPH0733691A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | ジフルオロメタンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0733691A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997044301A1 (en) * | 1996-05-23 | 1997-11-27 | Alliedsignal Inc. | Process for separating difluoromethane |
US5707497A (en) * | 1994-02-28 | 1998-01-13 | Elf Atochem S.A. | Process for the separation of hydrogen fluoride and of difluoromethane |
WO1999026906A3 (en) * | 1997-11-21 | 1999-09-02 | Allied Signal Inc | Method of producing hydrofluorocarbons |
WO2000024696A1 (en) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Alliedsignal Inc. | Method of producing hydrofluorocarbons |
US6605193B2 (en) * | 2001-04-25 | 2003-08-12 | Atofina Chemicals, Inc. | Recovery of HFC-32 |
US6676809B1 (en) | 1992-02-07 | 2004-01-13 | Daikin Industries Ltd. | Process for removal of hydrogen fluoride |
EP1542949A1 (en) * | 2002-07-10 | 2005-06-22 | Srf Limited | A process for the production of difluoromethane |
JP2007509056A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-04-12 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ヒドロフルオロカーボンの製造方法 |
-
1993
- 1993-07-21 JP JP18042193A patent/JPH0733691A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6676809B1 (en) | 1992-02-07 | 2004-01-13 | Daikin Industries Ltd. | Process for removal of hydrogen fluoride |
US5707497A (en) * | 1994-02-28 | 1998-01-13 | Elf Atochem S.A. | Process for the separation of hydrogen fluoride and of difluoromethane |
WO1997044301A1 (en) * | 1996-05-23 | 1997-11-27 | Alliedsignal Inc. | Process for separating difluoromethane |
WO1999026906A3 (en) * | 1997-11-21 | 1999-09-02 | Allied Signal Inc | Method of producing hydrofluorocarbons |
WO2000024696A1 (en) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Alliedsignal Inc. | Method of producing hydrofluorocarbons |
US6605193B2 (en) * | 2001-04-25 | 2003-08-12 | Atofina Chemicals, Inc. | Recovery of HFC-32 |
EP1542949A1 (en) * | 2002-07-10 | 2005-06-22 | Srf Limited | A process for the production of difluoromethane |
EP1542949A4 (en) * | 2002-07-10 | 2006-05-17 | Srf Ltd | PROCESS FOR PRODUCING DIFLUOROMETHANE |
JP2007509056A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-04-12 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ヒドロフルオロカーボンの製造方法 |
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