JPH07314672A

JPH07314672A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JPH07314672A
Application number: JP11148294A
Authority: JP
Inventors: Kenji Abe; 健次安部
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1994-05-25
Filing date: 1994-05-25
Publication date: 1995-12-05

Abstract

(57)【要約】【目的】各圧電アクチュエータ間、つまり各振動子間
の相互干渉を抑制し、しかもヘッド系全体を振動に対し
て高安定とし、高密度で高印字品質のインクジェット記
録ヘッドを提供する。【構成】圧電アクチュエータ１のすべての合計の質量
に対して、支持台１５と圧電アクチュエータ基部２の合
計の質量が十分に大きく、好ましくは１０倍以上にした
構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータを
利用して、インク室からインク液滴を吐出させて、記録
紙にインクドットを形成させるインクジェット記録ヘッ
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電材料と導電材料を層状に交互に積層
した圧電板を、所定の幅で切断して、一定間隔で圧電素
子を配列して、一端を基台に固定し、他端を自由端とし
てノズルプレートのノズル開口に対向させて配置し、前
記自由端と前記ノズル開口の間にインク溜を形成したイ
ンクジェット記録ヘッドとして特開平４ー１０５２号公
報に開示されている。この印字ヘッドは低い電圧で、高
いエネルギ効率で、インク液滴を吐出させることを可能
とした。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記に示す従来技術に
より、低い電圧で高いエネルギ効率でインク液滴を吐出
させることが可能となった。このため、ノズル間のピッ
チを短く、圧電素子間の間隔を小さくすることにより、
高密度の印字をさせて、上記の従来技術の効果を益々発
揮させたいのであるが、このためには圧電素子で形成さ
れた振動子間の間隔を小さく、しかも多数の振動子から
成る振動子列で形成しなければならないのである。この
ような構成をした場合には、次に示す課題が発生する。
例えば一本の振動子を駆動して、一つのノズルから、一
つのインク液滴を吐出したとき、一本の振動子から基台
に漏洩する振動波が基台の端面で反射し、再び振動子列
に戻り各振動子に不要な振動を起こす。さらに複数本の
振動子を駆動させた場合は、複数本の振動子から基台に
漏洩する振動波は、互いに干渉し、さらに端面で反射し
て再度振動子列に戻り各振動子に不要な振動を起こす。
さらに各振動子の不要な振動は、各インク室の容積の増
減を起こし、吐出してはならないノズルからのインク液
滴の吐出を起こしたり、吐出しなければならないノズル
からのインク液滴の吐出を起こさなかったり、またイン
ク液滴のサイズの不揃いの原因となって、印字品質の劣
化を招く。本発明は、このような課題を解決し、高密度
高印字品質のインクジェット記録ヘッドを提供すること
を目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、圧電アクチュエータ基部は
下部で支持台と結合し、インク室列と圧電アクチュエー
タ基部との間には、圧電アクチュエータから成る振動子
列を配置し、各振動子は一端を各インク室の弾性壁に接
続させ、他端は圧電アクチュエータ基部に固定し、支持
台及び圧電アクチュエータ基部の合計の質量をＭ_sと
し、圧電アクチュエータから成る振動子列の質量をＭ_p
とするとき、質量Ｍ_pに対して、質量Ｍ_sを十分に大き
く、Ｍ_s／Ｍ_p≧１０なる条件が成立するようにした。

【０００５】さらに、本発明においては、インク室列、
及び圧電アクチュエータから成る厚み辷り振動子列は、
下部で支持台と結合し、各厚み辷り振動子は一端を各イ
ンク室の弾性壁に接続させるようにした。

【０００６】

【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。

【０００７】図１、図２は、それぞれ本発明の第１実施
例を示す斜視図、断面図である。支持台１５の上部の面
で、複数の圧電アクチュエータ基部２と接合し、各圧電
アクチュエータ基部２と連結する圧電アクチュエータ１
から形成され、両側に２本の電極用素子３が設置されて
いる。

【０００８】図３は加工前の支持台１５の構造を示し、
図４は加工前の圧電アクチュエータ板１ａと圧電アクチ
ュエータ基部板２ａの構造を示す。

【０００９】図４で、圧電アクチュエータ板１ａは、導
電層５と導電層６とが、圧電材料層４を介して交互に積
層された構成であり、圧電アクチュエータ板１ａの複数
の導電層５が、露出している先端部に導電塗料を塗布し
た集電層７を形成する。集電層７は圧電アクチュエータ
基部板２ａの下部にまで達している。また圧電アクチュ
エータ基部板２ａの複数の導電層６が露出している端部
には導電塗料を塗布した集電層８を形成する。

【００１０】図４の圧電アクチュエータ基部板２ａの下
部の集電層７と、図３の支持台１５の最上層の電極層１
２との間を導電性接着剤で固定し、一定間隔でダイヤモ
ンドカッター等で切り込み、この際圧電アクチュエータ
板１ａ、圧電アクチュエータ基部板２ａ及び支持台１５
の電極層１２を完全に切断する。切り込みは圧電アクチ
ュエータ支持部材１３まで行い、基台１４は切断しない
か、また場合によっては基台１４まで切断することも可
能である。図１には、圧電アクチュエータ支持部材１３
の途中まで切断し、基台１４には切り込まない例を示
す。

【００１１】各圧電アクチュエータ１の集電層７は、下
部の電極層１２を介して各圧電アクチュエータの電極端
子１０に至る。また各圧電アクチュエータ１の集電層８
は、共通の電極部材を介して、複数の圧電アクチュエー
タ１の両側の電極用素子３の集電層７に導通し、共通電
極端子１１に至る。

【００１２】したがって、電極用素子３には電圧を印加
することができず、電極用素子３を変位させることはで
きない。

【００１３】各圧電アクチュエータ１は、各圧電アクチ
ュエータの電極端子１０と共通電極端子１１との間に電
圧を印加すると、集電層７と集電層８との間に、つま
り、導電層５と導電層６との間の圧電材料層４に電圧を
印加することになり、ここでは圧電横効果を利用して、
導電層５または導電層６に平行な方向に変位する。これ
より、各圧電アクチュエータ１は、印加する電圧に応じ
て、長軸方向に伸縮する。圧電材料層４は圧電セラミッ
クスで、例えばチタン酸・ジルコン酸鉛系のセラミック
スを用いるのが好ましい。

【００１４】圧電アクチュエータ列１が導電層と圧電材
料層４とを層状に交互に積層した積層型圧電材を採用し
たことにより低電圧で、高効率のインク吐出を可能とす
る。

【００１５】図１に示す圧電アクチュエータ支持部材１
３の途中まで切り込みを入れた場合には、圧電アクチュ
エータ支持部材は絶縁材料でなければならない。基台１
４を絶縁材料にする必要はない。さらにダイヤモンドカ
ッター等による切り込みに対して圧電アクチュエータ支
持部材１３は、快削性材料にすることが好ましい。

【００１６】１本の圧電アクチュエータ１に電圧を印加
して、長軸方向に変位を起こさせると、図５に示す圧電
アクチュエータの先端突起部２６と連結するインク室の
弾性壁２５を振動させて、ノズル２３よりインク液滴を
吐出させる。この時、圧電アクチュエータ１は縦振動を
起こすが、この振動が漏洩して他の圧電アクチュエータ
１に影響を及ぼすことになり、各圧電アクチュエータ１
間に振動の相互干渉を起こすこととなる。

【００１７】本発明では以下に示すような構造で、振動
の相互干渉の低減を図るものである。圧電アクチュエー
タ１と圧電アクチュエータ基部２は、その断面図は、図
２に示すようなＬ字型であるので、圧電アクチュエータ
１で発生した縦振動は圧電アクチュエータ基部２へと水
平に漏洩して行くが、圧電アクチュエータ基部２で漏洩
振動の流れは直角に方向を変え、垂直下方に流れて行く
こと、及び圧電アクチュエータ基部減衰部４ａを設定し
たことの両者により振動減衰効果を起こすことができ
る。圧電アクチュエータ１と圧電アクチュエータ基部２
の断面形状としてＬ字型を採用したことにより、振動の
相互干渉を低減させ得る。さらにダイヤモンドカッター
等による切り込みのある位置まで、振動の漏洩は垂直下
方へと流れるが、ここまでは他の圧電アクチュエータ１
に影響を及ぼすことがないため、各圧電アクチュエータ
１間には振動の相互干渉は起こらない。しかし、切り込
みが終わった位置から下部では振動の漏洩は支持台１５
の全体に拡散して行き、他の圧電アクチュエータ１にも
流れて行くこととなり、振動の相互干渉の発生原因とな
る。ここで圧電アクチュエータ１の列の全部の質量Ｍ_p
に対して、支持台１５と圧電アクチュエータ基部２の合
計の質量Ｍ_sが十分に大きく、好ましくは１０倍以上に
する構造を採用することにより、支持台１５の内部での
漏洩振動の減衰を十分に大きくすることができる。さら
に支持台１５の材料密度を大きくすることにより、漏洩
振動を効果的に減衰できる。

【００１８】基台１４の材料は、好ましくは材料密度が
大きなタングステン、金、白金、またはタングステン、
金、白金を含む合金を使用する。これにより各圧電アク
チュエータ１間、即ち各振動子間の相互干渉を著しく低
減することが可能となる。

【００１９】圧電アクチュエータ支持部材１３の体積よ
り、基台１４の体積を大きい構造を採用し基台１４の材
料密度をできるだけ大きくすることが好ましい。さらに
支持台１５、特に基台１４の弾性率が大きい材料を採用
することにより基台１４の内部での漏洩振動の振幅を小
さくすることができることから、各振動子間の相互干渉
が低減される。さらに、漏洩振動の振幅を小さすること
ができるということは、支持台１５が外乱の影響を受け
にくい構造を有するということであり、インクジェット
記録ヘッド系全体を安定化させることができる。

【００２０】即ち本発明は、インク液滴の理想的な吐出
を可能とするインクジェット記録ヘッドを提供せんとす
るものである。

【００２１】さらに支持台１５は、圧電アクチュエータ
支持部材１３と基台１４との間の接合面は接着または溶
接または圧着などの強固な接合とする。緩い接合面から
は、漏洩振動が乱反射して有害な振動が発生するので、
これを防ぐためである。

【００２２】以上に述べたように、各圧電アクチュエー
タ１間に振動の相互干渉の原因となる漏洩振動を極力小
さくすることができたため、図２に示す基台１４を支持
する構造は相当にroughな構造であってもよい。つまり
基台１４と、比較的簡単な接着層１８によって、プラス
チックなどの合成樹脂または天然樹脂から成る基板１９
と接合した構造であってもよい。基板１９は製作が容易
な部材、例えば射出成形が可能な材料、または加熱によ
り軟化させ、要求される形状に容易に成形できる材料、
即ちプラスチックなどの合成樹脂または天然樹脂が利用
される。また接着層１８は、接着層の厚さは１０μｍ〜
５０μｍ程度であっても充分である。

【００２３】圧電アクチュエータ１列の全部の質量Ｍ_p
に対する、支持台１５と圧電アクチュエータ基部２の合
計の質量Ｍ_sの比Ｒ（＝Ｍ_s／Ｍ_p）は、あまり小さくて
は本発明の目的は達成されない。この比Ｒが、７ないし
８程度ならば、各圧電アクチュエータ１間、即ち各振動
子間の相互干渉が大きくなり、振動が干渉強調されて振
動子が不要な振動をし、吐出してはならないインク液滴
を吐出させたり、逆に必要な振動が干渉消去されて、吐
出すべきインク液滴の不発を起こすことも頻度は低いけ
れども起こるが、これは、印字品質の低下となって現れ
てくる。したがって、この比Ｒは、できることなら９以
上、本発明では確実に、このようなインク液滴の吐出の
誤動作の起きない範囲として、１０以上を採用する。

【００２４】図６には、本発明による第２実施例の断面
図を示す。第２実施例の諸寸法を、図１と図６に示す符
号を参考にして以下に示す。圧電アクチュエータ１の寸
法は長さｌ₁＝５．５ｍｍ，幅ｗ₁＝０．０８ｍｍ，厚さ
ｈ₁＝０．５ｍｍであり、圧電アクチュエータ基部２の
寸法は長さｌ₂＝３．０ｍｍ，幅ｗ₁＝０．０８ｍｍ，厚
さｈ₂＝０．９３ｍｍであり、また切込み幅はｗ₂＝０．
０６１ｍｍで、圧電アクチュエータ支持部材１３の厚さ
はｈ₃＝０．１５ｍｍで、基部１４の厚さはｈ₄＝１．３
５ｍｍであり、支持台１５の底面の二辺の大きさはｄ
＝８．４ｍｍ，ｅ＝８．４ｍｍであり、圧電アクチュエ
ータ基部２の位置はｌ₃＝２．７７５ｍｍ, ｌ₄＝２．
６２５ｍｍにより決められる。圧電アクチュエータ１は
３２本で、電極用素子３は２本である。２本の電極用素
子３の両端間の幅はｗ＝４．７３３ｍｍである。

【００２５】ここで圧電アクチュエータ１の全部の体積
Ｖ_p，と支持台１５と圧電アクチュエータ基部２の合計
の体積Ｖ_sを求める。

【００２６】

【数１】

【００２７】体積比はＶ_s／Ｖ_p＝１６．０５である。

【００２８】また材料密度は圧電アクチュエータ１と圧
電アクチュエータ基部２は７．８５ｇ／ｃｍ³，圧電ア
クチュエータ支持部材１３は快削性セラミック材で２．
６ｇ／ｃｍ³であり、基台１４は鋼材で７．８２ｇ／ｃ
ｍ³を採用すると

【００２９】

【数２】

【００３０】質量比はＭ_s／Ｍ_p＝１４．９９である。

【００３１】ここまでは、圧電アクチュエータ支持部材
１３への切込み量については考慮しなかった。切込み幅
ｗ₂は上記の通りであるが、切込み深さが０．１０ｍｍ
である場合は、Ｍ_sは４．３９６ｍｇの減少となり、質
量比Ｍ_s／Ｍ_pは１４．９１となる。本発明による第２実
施例は、質量比Ｍ_s／Ｍ_pは１０を大きく越えているの
で、より一層、高安定なインクジェット記録ヘッドであ
る。

【００３２】図７、図８には、本発明による第３実施例
の断面図を示す。第３実施例は、第１、第２実施例と少
し異なる構造で、圧電アクチュエータ基部減衰部４ａ及
び圧電アクチュエータ支持部材１３を持たない構造であ
る。電極構成は図８に示す通り、集電層８に各圧電アク
チュエータの電極端子１０を接続し、集電層７より共通
電極を取り出す構成である。第３実施例は上記の第２実
施例よりも、各振動子間の相互干渉は大きくなる。第３
実施例の諸寸法を、図１と図７に示す符号を参考にして
以下に示す。圧電アクチュエータ１の寸法は、長さｌ₁
＝５．５ｍｍ，幅ｗ₁＝０．０８ｍｍ，厚さｈ₁＝０．５
ｍｍであり、圧電アクチュエータ基部２の寸法は長さｌ
₂＝３．０ｍｍ，幅ｗ₁＝０．０８ｍｍ，厚さｈ₂＝０．
５ｍｍであり、また切込み幅はｗ₂＝０．０６１ｍｍ
で、基台１４の厚さはｈ₄＝１．５ｍｍであり、支持台
１５の底面の二辺の大きさはｄ＝８．４ｍｍ，ｅ＝
８．４ｍｍであり、圧電アクチュエータ１は３２本で、
電極用素子３は２本である。２本の電極用素子３の両端
間の幅はｗ＝４．７３３ｍｍである。

【００３３】ここで圧電アクチュエータ１の全部の体積
Ｖ_p，と支持台１５と圧電アクチュエータ基部２の合計
の体積Ｖ_sを求める。

【００３４】

【数３】

【００３５】体積比はＶ_s／Ｖ_p＝１５．５８である。

【００３６】圧電アクチュエータ１と圧電アクチュエー
タ基部２と基台１４の材料密度は、上記の第２実施例と
同じとして

【００３７】

【数４】

【００３８】質量比はＭ_s／Ｍ_p＝１５．５２である。第
３実施例は、性能面では第２実施例に及ばないが、製造
面での容易さを採用したものである。質量比で第２実施
例より改良を施した例である。

【００３９】本発明による第４実施例を図９、図１０に
より説明する。支持台１５の上部に積層型圧電材が図１
０に示されており、加工前の図である。積層型圧電材１
６は導電層５と導電層６とが圧電材料層４を介して交互
に積層された構成であり、複数の導電層５が、露出して
いる先端部及び上部に導電塗料を塗布した集電層７を形
成する。また複数の導電層６が露出している端部及び支
持台との境界面は導電塗料による集電層８を形成する。
ダイヤモンドカッター等で切り込みをいれたものが図９
である。各圧電アクチュエータ１ｂの集電層７に電極端
子１０を準備し、さらに集電層８は支持台１５の最上部
の電極層１２と導通させて、共通電極端子１１を準備す
る。

【００４０】圧電アクチュエータに電圧を印加して、長
軸方向に厚み辷り振動を起こす圧電材料方位を選ぶ。厚
み辷り振動子は、強いエネルギ閉じ込め効果を有するた
め支持台１５への振動の漏洩は極めて少ない。このため
各厚み辷り振動子間の振動の相互干渉は著しく低減す
る。

【００４１】図１１には、厚み辷り振動を行う圧電アク
チュエータ１６の先端の上部で部材２７を介してインク
室２１の弾性壁２５と接続している。

【００４２】本発明による第５実施例を図１２により説
明する。インク室２１の弾性壁２５と圧電アクチュエー
タ１６の上部の面との間に部材２８が設置されている。
効果的に弾性壁を駆動するために圧電アクチュエータ１
６の上部の面の位置を選ぶことが大切である。適切な位
置に対応するように、部材２８の長さを決定する。さら
に効果的に弾性壁を駆動するために、部材１６の弾性常
数を選定する。場合によっては剛体とすることも可能で
ある。

【００４３】なお図示しないが第４、第５実施例におい
ても支持台１５の支持構造はroughな構造であっても良
く、プラスチックなどの合成樹脂または天然樹脂などか
ら成る基板に接着剤などで接合した構造で充分である。

【００４４】

【発明の効果】本発明により、各圧電アクチュエータ
間、つまり各振動子間の振動の相互干渉が著しく低減さ
れるため、しかもヘッド系全体が振動に対して高安定と
なるため高密度で高印字品質のインクジェット記録ヘッ
ドが提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第１実施例の斜視図。

【図２】本発明による第１実施例の各圧電アクチュエー
タ１の断面を含む断面図。

【図３】本発明による第１実施例の加工前の支持台を示
す図。

【図４】本発明による第１実施例の加工前の圧電アクチ
ュエータ板及び圧電アクチュエータ基部板を示す図。

【図５】本発明による第１実施例のノズル室付近及び圧
電アクチュエータとノズル室との連結部分を示す断面
図。

【図６】本発明による第２実施例の各圧電アクチュエー
タの断面を含む断面図。

【図７】本発明による第３実施例の各圧電アクチュエー
タの断面を含む断面図。

【図８】本発明による第３実施例の各圧電アクチュエー
タの断面を含む部分断面図。

【図９】本発明による第４実施例で、厚み辷り振動を行
う圧電アクチュエータ列と支持台を示す図。

【図１０】本発明による第４実施例の加工前の積層型圧
電材と支持台を示す図。

【図１１】本発明による第４実施例のノズル室付近及び
厚み辷り振動を行う圧電アクチュエータとノズル室との
連結部分を示す断面図。

【図１２】本発明による第５実施例のノズル室付近及び
厚み辷り振動を行う圧電アクチュエータとノズル室との
連結部分を示す断面図。

【符号の説明】

１：圧電アクチュエータ１ａ：圧電アクチュエータ板２：圧電アクチュエータ基部２ａ：圧電アクチュエータ基部板３：電極用素子４：圧電材料層４ａ：圧電アクチュエータ基部減衰部５：導電層６：導電層７：集電層８：集電層９：共通電極部材１０：各圧電アクチュエータの電極端子１１：共通電極端子１２：電極層１３：圧電アクチュエータ支持部材１４：基台１５：支持台（上記１２と１３と１４を合わせた部
材）１６：厚み辷り振動を行う圧電アクチュエータ１７：積層型圧電材１８：接着層１９：基板２１：ノズル室２２：ノズルプレート２３：ノズル２４：弾性板２５：弾性壁２６：圧電アクチュエータ先端突起部２７：圧電アクチュエータ先端部材２８：圧電アクチュエータと弾性壁との間の部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルを備えたインク室、該インク室は
弾性壁を有し、該弾性壁には圧電アクチュエータを連結
させ、印加する電圧に応じて該圧電アクチュエータを変
位させ、前記弾性壁を連動させ、前記インク室の内容積
を増減させることにより前記ノズルよりインク液滴を吐
出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク室及び前記圧電アクチュエータを一定間隔で
配列したインク室列及び前記圧電アクチュエータ列から
構成され、該圧電アクチュエータ列は圧電アクチュエー
タ基部に連結し、該圧電アクチュエータ基部は支持台に
設置され、さらに該支持台及び前記圧電アクチュエータ
基部の合計の質量をＭ_sとし、前記圧電アクチュエータ
列の質量をＭ_pとするとき、質量Ｍ_pと質量Ｍ_sがＭ_s／Ｍ_p≧１０なる条件を満たすことを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。
【請求項２】前記圧電アクチュエータと前記圧電アク
チュエータ基部の断面構造はＬ字形状であって、前記圧
電アクチュエータ基部が圧電アクチュエータ基部減衰部
を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト記録ヘッド。
【請求項３】前記支持台は、基台と、該基台の上部の
絶縁材料から成る圧電アクチュエータ支持部材より構成
され、該圧電アクチュエータ支持部材と前記基台との間
は、接着または溶接または圧着により接合されたことを
特徴とする請求項１または２記載のインクジェット記録
ヘッド。
【請求項４】前記支持台は、前記基台と、該基台の上
部の快削性材料から成る圧電アクチュエータ支持部材よ
り構成され、該圧電アクチュエータ支持部材と前記基台
との間は、接着または溶接または圧着により接合された
ことを特徴とする請求項１乃至３記載のインクジェット
記録ヘッド。
【請求項５】前記圧電アクチュエータ基部と前記圧電
アクチュエータ支持部材との間の固着面には電極層が形
成されていることを特徴とする請求項３または４記載の
インクジェット記録ヘッド。
【請求項６】前記基台は、前記圧電アクチュエータ支
持部材より材料密度が大きい材料であることを特徴とす
る請求項３乃至５記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】前記基台は、前記圧電アクチュエータ支
持部材より弾性率の大きな材料であることを特徴とする
請求項３乃至６記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】前記圧電アクチュエータ列は各々積層型
圧電材で形成され、各々印加する電圧に応じて長軸方向
に伸縮振動を可能とする縦振動子であり、該縦振動子の
先端は、前記インク室の弾性壁に接続したことを特徴と
する請求項１乃至７記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】前記支持台はプラスチックなどの合成樹
脂または天然樹脂などから形成された基板に接着剤によ
り接合されたことを特徴とする請求項１乃至８記載のイ
ンクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】ノズルを備えたインク室と、前記イン
ク室の内容積を増減させ得る、圧電アクチュエータを備
えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク室
及び前記圧電アクチュエータを一定間隔で配列したイン
ク室列及び圧電アクチュエータ列から構成され、前記圧
電アクチュエータ列は、各々は印加する電圧に応じて厚
み辷り振動を可能とする厚み辷り振動子であり、該厚み
辷り振動子列は支持台に設置されたことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】前記厚み辷り振動を可能とする圧電ア
クチュエータは、積層型圧電材で形成されたことを特徴
とする請求項１０記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】前記厚み辷り振動子列の一方の面は、
前記支持台に設置され、他方の端子列の、各端子の先端
の上部でインク室の弾性壁に接続したことを特徴とする
請求項１０または１１記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
【請求項１３】前記厚み辷り振動子列の一方の面は、
前記支持台に設置され、他方の端子列の、各端子の上部
の面とインク室の弾性壁との間に弾性部材または剛性部
材を配置したことを特徴とする請求項１０または１１記
載のインクジェット記録ヘッド。