JPH0731126A - 平面ステップモータの脱調復帰装置と方法 - Google Patents
平面ステップモータの脱調復帰装置と方法Info
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- JPH0731126A JPH0731126A JP5194098A JP19409893A JPH0731126A JP H0731126 A JPH0731126 A JP H0731126A JP 5194098 A JP5194098 A JP 5194098A JP 19409893 A JP19409893 A JP 19409893A JP H0731126 A JPH0731126 A JP H0731126A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 直交する２軸に沿って等ピッチで碁盤目状に
設けた凸極１３を有するステータ１と、凸極１３の面に
空気軸受５により所定の空隙を保って摺動自在に配置さ
れたスライダ２と、凸極１３との間の磁気吸引力の変化
によって直交する２軸の方向にスライダ２を駆動するＸ
軸電磁駆動ユニット３およびＹ軸電磁駆動ユニット４と
を備えた平面ステップモータの脱調復帰装置において、
スライダ２の側面２１にスライダ２の中心に対して偏心
した方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射口６、８
と、噴射口６、８に圧縮空気を供給・停止する制御弁
７、９とを設けたものである。 【効果】 脱調復帰作業に人手を必要とせず、平面ステ
ップモータの無人化運転を可能にする。
設けた凸極１３を有するステータ１と、凸極１３の面に
空気軸受５により所定の空隙を保って摺動自在に配置さ
れたスライダ２と、凸極１３との間の磁気吸引力の変化
によって直交する２軸の方向にスライダ２を駆動するＸ
軸電磁駆動ユニット３およびＹ軸電磁駆動ユニット４と
を備えた平面ステップモータの脱調復帰装置において、
スライダ２の側面２１にスライダ２の中心に対して偏心
した方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射口６、８
と、噴射口６、８に圧縮空気を供給・停止する制御弁
７、９とを設けたものである。 【効果】 脱調復帰作業に人手を必要とせず、平面ステ
ップモータの無人化運転を可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面ステップモータの
移動子の脱調復帰装置および方法に関する。
移動子の脱調復帰装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密機械の組み立て等の設備で、
各種組立作業を行う複数の作業部間を２次元方向に精密
に移動する組み立てロボットが使用されるが、組み立て
ロボットを移動させるため、２次元方向に移動し得る平
面パルスモータを使用するものが開示されている（例え
ば、実開昭５６−１２０７８９号）。この平面パルスモ
ータは、例えば図５に示すように、直交するＸ，Ｙ軸に
それぞれ平行で等間隔に設けたＸ軸溝１１とＹ軸溝１２
に囲まれた碁盤目状の凸極１３を形成したステータ１を
備えてある。また、このステータ１の凸極１３の面に所
定の空隙を保って摺動自在に配置されたスライダ２を備
え、このスライダ２には、所定の対称点を通る直線Ｙ上
に対称に配置され、この直線Ｙと直交するＸ方向にスラ
イダ２を駆動するＸ軸電磁駆動ユニット３と、スライダ
２の対称点を通り直線Ｙと直交する直線Ｘ上に対称に配
置され、この直線Ｘと直交するＹ方向にスライダ２を駆
動するＹ軸電磁駆動ユニット４とを設けてある。スライ
ダ２とステータ１の凸極１３との間を常に一定の空隙に
維持するため、Ｘ軸溝１１およびＹ軸溝１２を樹脂等で
埋めてステータ１を平板状に形成し、外部の圧縮空気源
から供給口５１を介してスライダ２に設けた空気通路５
２を通し、噴出口５３から空隙に圧縮空気を噴出してス
テータ１とスライダ２との間に形成した空気軸受５によ
りスライダ２を支持するようにしてある。Ｘ軸電磁駆動
ユニット３は図６に示すように、二つのＸ軸電磁石３
１、３２を設け、Ｘ軸電磁石３１と３２の間に永久磁石
３３を設けてステータ１とスライダ２とにより磁気回路
を形成している。一方のＸ軸電磁石３１の磁極面には、
ステータ１の凸極１３のピッチの１／２ピッチだけ互い
にＸ軸方向にずらして凸極１３に対向する磁極部３１
ａ、３１ｂを設け、他方のＸ軸電磁石３２の磁極面に
は、一方のＸ軸電磁石３１の磁極部３１ａ、３１ｂから
１／４ピッチずらして磁極部３２ａ、３２ｂを設けてあ
る。同様に、Ｙ軸電磁駆動ユニット４には、二つのＹ軸
電磁石４１、４２を設け、Ｙ軸電磁石４１と４２の間に
永久磁石４３を設けてステータ１とスライダ２とにより
磁気回路を形成している。一方のＹ軸電磁石４１の磁極
面には、ステータ１の凸極１３のピッチの１／２ピッチ
だけ互いにＹ軸方向にずらして凸極１３に対向する磁極
部４１ａ、４１ｂを設け、他方のＹ軸電磁石４２の磁極
面には、一方のＸ軸電磁石４１の磁極部４１ａ、４１ｂ
から１／４ピッチずらして磁極部４２ａ、４２ｂを設け
てある。スライダ２を移動する場合、Ｘ軸電磁駆動ユニ
ット３のＸ軸電磁石３１、３２およびＹ軸電磁駆動ユニ
ット４のＹ軸電磁石４１、４２を励磁することにより、
凸極１３の１／４ピッチごとに移動するが、各磁極部の
うち、凸極１３に対向する面積が大きい磁極部の磁束が
最大になり、磁束の最大になる磁極部から１／４ピッチ
ずれた二つの磁極部の磁束がほぼ均等になるようにるよ
うに各軸電磁石を励磁するように制御する。
各種組立作業を行う複数の作業部間を２次元方向に精密
に移動する組み立てロボットが使用されるが、組み立て
ロボットを移動させるため、２次元方向に移動し得る平
面パルスモータを使用するものが開示されている（例え
ば、実開昭５６−１２０７８９号）。この平面パルスモ
ータは、例えば図５に示すように、直交するＸ，Ｙ軸に
それぞれ平行で等間隔に設けたＸ軸溝１１とＹ軸溝１２
に囲まれた碁盤目状の凸極１３を形成したステータ１を
備えてある。また、このステータ１の凸極１３の面に所
定の空隙を保って摺動自在に配置されたスライダ２を備
え、このスライダ２には、所定の対称点を通る直線Ｙ上
に対称に配置され、この直線Ｙと直交するＸ方向にスラ
イダ２を駆動するＸ軸電磁駆動ユニット３と、スライダ
２の対称点を通り直線Ｙと直交する直線Ｘ上に対称に配
置され、この直線Ｘと直交するＹ方向にスライダ２を駆
動するＹ軸電磁駆動ユニット４とを設けてある。スライ
ダ２とステータ１の凸極１３との間を常に一定の空隙に
維持するため、Ｘ軸溝１１およびＹ軸溝１２を樹脂等で
埋めてステータ１を平板状に形成し、外部の圧縮空気源
から供給口５１を介してスライダ２に設けた空気通路５
２を通し、噴出口５３から空隙に圧縮空気を噴出してス
テータ１とスライダ２との間に形成した空気軸受５によ
りスライダ２を支持するようにしてある。Ｘ軸電磁駆動
ユニット３は図６に示すように、二つのＸ軸電磁石３
１、３２を設け、Ｘ軸電磁石３１と３２の間に永久磁石
３３を設けてステータ１とスライダ２とにより磁気回路
を形成している。一方のＸ軸電磁石３１の磁極面には、
ステータ１の凸極１３のピッチの１／２ピッチだけ互い
にＸ軸方向にずらして凸極１３に対向する磁極部３１
ａ、３１ｂを設け、他方のＸ軸電磁石３２の磁極面に
は、一方のＸ軸電磁石３１の磁極部３１ａ、３１ｂから
１／４ピッチずらして磁極部３２ａ、３２ｂを設けてあ
る。同様に、Ｙ軸電磁駆動ユニット４には、二つのＹ軸
電磁石４１、４２を設け、Ｙ軸電磁石４１と４２の間に
永久磁石４３を設けてステータ１とスライダ２とにより
磁気回路を形成している。一方のＹ軸電磁石４１の磁極
面には、ステータ１の凸極１３のピッチの１／２ピッチ
だけ互いにＹ軸方向にずらして凸極１３に対向する磁極
部４１ａ、４１ｂを設け、他方のＹ軸電磁石４２の磁極
面には、一方のＸ軸電磁石４１の磁極部４１ａ、４１ｂ
から１／４ピッチずらして磁極部４２ａ、４２ｂを設け
てある。スライダ２を移動する場合、Ｘ軸電磁駆動ユニ
ット３のＸ軸電磁石３１、３２およびＹ軸電磁駆動ユニ
ット４のＹ軸電磁石４１、４２を励磁することにより、
凸極１３の１／４ピッチごとに移動するが、各磁極部の
うち、凸極１３に対向する面積が大きい磁極部の磁束が
最大になり、磁束の最大になる磁極部から１／４ピッチ
ずれた二つの磁極部の磁束がほぼ均等になるようにるよ
うに各軸電磁石を励磁するように制御する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、Ｘ軸電磁駆動ユニットまたはＹ軸電磁駆動ユニット
が移動途中に異常な外力が加わった時や、異常に大きい
負荷が加わったまま始動する場合などに、ステータとス
ライダの直交関係がずれて、実際の凸極とそれぞれの磁
極部との間の相対関係が、制御する位置関係からずれて
移動できない、いわゆる脱調状態となる場合がある。こ
の脱調状態になった時は電磁石の励磁を調整しても正常
な状態に復帰できないため、人力でスライダの位置を調
整する必要があるという問題があった。本発明は、平面
ステップモータを自動的に脱調状態から復帰できるよう
にすることを目的とするものである。
は、Ｘ軸電磁駆動ユニットまたはＹ軸電磁駆動ユニット
が移動途中に異常な外力が加わった時や、異常に大きい
負荷が加わったまま始動する場合などに、ステータとス
ライダの直交関係がずれて、実際の凸極とそれぞれの磁
極部との間の相対関係が、制御する位置関係からずれて
移動できない、いわゆる脱調状態となる場合がある。こ
の脱調状態になった時は電磁石の励磁を調整しても正常
な状態に復帰できないため、人力でスライダの位置を調
整する必要があるという問題があった。本発明は、平面
ステップモータを自動的に脱調状態から復帰できるよう
にすることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、直交する２軸に沿って等ピッチで碁盤目
状に設けた凸極を有するステータと、前記凸極の面に空
気軸受により所定の空隙を保って摺動自在に配置された
スライダと、前記凸極との間の磁気吸引力の変化によっ
て前記直交する２軸の方向に前記スライダを駆動するＸ
軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとを備
えた平面ステップモータの脱調復帰装置において、前記
スライダの側面に前記スライダの中心に対して偏心した
方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射口と、前記噴
射口に圧縮空気を供給・停止する制御弁とを設けたもの
である。また、前記平面ステップモータの脱調復帰方法
において、スライダの脱調時に前記制御弁を介して前記
噴射口から圧縮空気を噴射させて前記スライダを回転さ
せ、前記凸極とＸ軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆
動ユニットとの間の磁気吸引力により、前記凸極とＸ軸
電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとの間の
直交関係を保持する方法である。
め、本発明は、直交する２軸に沿って等ピッチで碁盤目
状に設けた凸極を有するステータと、前記凸極の面に空
気軸受により所定の空隙を保って摺動自在に配置された
スライダと、前記凸極との間の磁気吸引力の変化によっ
て前記直交する２軸の方向に前記スライダを駆動するＸ
軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとを備
えた平面ステップモータの脱調復帰装置において、前記
スライダの側面に前記スライダの中心に対して偏心した
方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射口と、前記噴
射口に圧縮空気を供給・停止する制御弁とを設けたもの
である。また、前記平面ステップモータの脱調復帰方法
において、スライダの脱調時に前記制御弁を介して前記
噴射口から圧縮空気を噴射させて前記スライダを回転さ
せ、前記凸極とＸ軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆
動ユニットとの間の磁気吸引力により、前記凸極とＸ軸
電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとの間の
直交関係を保持する方法である。
【０００５】
【作用】上記手段により、スライダが脱調状態になった
時、制御弁を開いて噴出口から圧縮空気を噴射させ、そ
の反力によりスライダを時計回りまたは反時計回りに回
転する回転力が生じる。その回転力によりスライダが回
転し、Ｘ，Ｙ軸に対して直交関係に近付くと、Ｘ軸電磁
駆動ユニットまたはＹ軸電磁駆動ユニットの励磁によっ
て発生するステータの凸極と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石
の磁極部との間の磁気吸引力により、自動的に凸極と各
Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部が合致して自己保持状
態を維持する。一度自己保持状態を維持すると、凸極と
各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部との間の磁気吸引力
は、各噴射口からの圧縮空気の噴射による回転力より大
きいので、スライダの回転が止まり、スライダの脱調状
態を解消する。
時、制御弁を開いて噴出口から圧縮空気を噴射させ、そ
の反力によりスライダを時計回りまたは反時計回りに回
転する回転力が生じる。その回転力によりスライダが回
転し、Ｘ，Ｙ軸に対して直交関係に近付くと、Ｘ軸電磁
駆動ユニットまたはＹ軸電磁駆動ユニットの励磁によっ
て発生するステータの凸極と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石
の磁極部との間の磁気吸引力により、自動的に凸極と各
Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部が合致して自己保持状
態を維持する。一度自己保持状態を維持すると、凸極と
各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部との間の磁気吸引力
は、各噴射口からの圧縮空気の噴射による回転力より大
きいので、スライダの回転が止まり、スライダの脱調状
態を解消する。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例について説明
する。図１は本発明の実施例を示す側断面図、図２はス
ライダの下面図である。図において、スライダ２は２個
のＸ軸電磁駆動ユニット３ａ，３ｂと２個のＹ軸電磁駆
動ユニット４ａ，４ｂを下面に備え、外部の圧縮空気源
から供給口５１を介して空気通路５２を通し、供給され
る圧縮空気をステータ１に対向するスライダ２の下面に
設けた噴出口５３から噴出してステータ１とスライダ２
との間の空隙に空気軸受５を形成しているが、基本的構
成と移動する動作は図１および図２に示した従来例とほ
ぼ同じである。従来と異なる点は次の点である。すなわ
ち、スライダ２の各側面２１（２１ａ，２１ｂ，２１
ｃ，２１ｄ）に対して一定方向に、例えば図３に示すよ
うに反時計回りにそれぞれ鋭角となるある傾斜角θで、
かつほぼ水平方向に空気を噴射する噴射口６（６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ）を設け、各噴射口６は制御弁７を介し
て、スライダ２とステータ１の間に空気軸受５を形成す
るための空気通路５２に連通してある。また、各側面２
１に対して噴射口６と反対方向に、例えば図４に示すよ
うに時計回りに傾斜角θで、かつ水平方向に空気を噴射
する噴射口８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）を設け、各噴
射口６は制御弁９を介して空気通路５２に連通してあ
る。いま、スライダ２に例えば異常な外力が作用してス
ライダ２が、図３または図４に示すように、ステータ１
のＸ，Ｙ軸に対して傾斜した位置に変位した、いわゆる
直交関係がずれた脱調状態になった時、制御弁７または
９を開いて噴出口６または８から圧縮空気を噴射させ、
その反力により時計回りまたは反時計回りの回転力が生
じ、スライダ２が回転する。スライダ２がＸ，Ｙ軸に対
して直交関係に近付くと、Ｘ軸電磁駆動ユニット３ａ，
３ｂまたはＹ軸電磁駆動ユニット４ａ，４ｂの励磁によ
って発生するステータ１の凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ
軸電磁石の磁極部との間の磁気吸引力により、自動的に
凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部が合致し
て自己保持状態を維持する。一度自己保持状態を維持す
ると、凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部と
の間の磁気吸引力は、各噴射口からの圧縮空気の噴射に
よる回転力より大きいので、スライダ２の回転が止ま
り、スライダ２の脱調状態を解消する。なお、上記実施
例では噴射口をスライダの側面に対して鋭角に傾斜させ
た例について説明したが、噴射口の方向は、スライダの
中心に対して偏心した方向に向けて、スライダに回転モ
ーメントを発生させるようにしたものであればよい。ま
た、噴射口に供給する圧縮空気源は空気軸受の圧縮空気
源と共通にするものに限るものではなく、それぞれ独立
させてもよい。
する。図１は本発明の実施例を示す側断面図、図２はス
ライダの下面図である。図において、スライダ２は２個
のＸ軸電磁駆動ユニット３ａ，３ｂと２個のＹ軸電磁駆
動ユニット４ａ，４ｂを下面に備え、外部の圧縮空気源
から供給口５１を介して空気通路５２を通し、供給され
る圧縮空気をステータ１に対向するスライダ２の下面に
設けた噴出口５３から噴出してステータ１とスライダ２
との間の空隙に空気軸受５を形成しているが、基本的構
成と移動する動作は図１および図２に示した従来例とほ
ぼ同じである。従来と異なる点は次の点である。すなわ
ち、スライダ２の各側面２１（２１ａ，２１ｂ，２１
ｃ，２１ｄ）に対して一定方向に、例えば図３に示すよ
うに反時計回りにそれぞれ鋭角となるある傾斜角θで、
かつほぼ水平方向に空気を噴射する噴射口６（６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ）を設け、各噴射口６は制御弁７を介し
て、スライダ２とステータ１の間に空気軸受５を形成す
るための空気通路５２に連通してある。また、各側面２
１に対して噴射口６と反対方向に、例えば図４に示すよ
うに時計回りに傾斜角θで、かつ水平方向に空気を噴射
する噴射口８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）を設け、各噴
射口６は制御弁９を介して空気通路５２に連通してあ
る。いま、スライダ２に例えば異常な外力が作用してス
ライダ２が、図３または図４に示すように、ステータ１
のＸ，Ｙ軸に対して傾斜した位置に変位した、いわゆる
直交関係がずれた脱調状態になった時、制御弁７または
９を開いて噴出口６または８から圧縮空気を噴射させ、
その反力により時計回りまたは反時計回りの回転力が生
じ、スライダ２が回転する。スライダ２がＸ，Ｙ軸に対
して直交関係に近付くと、Ｘ軸電磁駆動ユニット３ａ，
３ｂまたはＹ軸電磁駆動ユニット４ａ，４ｂの励磁によ
って発生するステータ１の凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ
軸電磁石の磁極部との間の磁気吸引力により、自動的に
凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部が合致し
て自己保持状態を維持する。一度自己保持状態を維持す
ると、凸極１３と各Ｘ軸電磁石，Ｙ軸電磁石の磁極部と
の間の磁気吸引力は、各噴射口からの圧縮空気の噴射に
よる回転力より大きいので、スライダ２の回転が止ま
り、スライダ２の脱調状態を解消する。なお、上記実施
例では噴射口をスライダの側面に対して鋭角に傾斜させ
た例について説明したが、噴射口の方向は、スライダの
中心に対して偏心した方向に向けて、スライダに回転モ
ーメントを発生させるようにしたものであればよい。ま
た、噴射口に供給する圧縮空気源は空気軸受の圧縮空気
源と共通にするものに限るものではなく、それぞれ独立
させてもよい。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧
縮空気の噴射によりスライダを回転させて自動的に脱調
状態を解消するので、脱調復帰作業に人手を必要とせ
ず、平面ステップモータの無人化運転を可能にする効果
がある。
縮空気の噴射によりスライダを回転させて自動的に脱調
状態を解消するので、脱調復帰作業に人手を必要とせ
ず、平面ステップモータの無人化運転を可能にする効果
がある。
【図１】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図２】本発明の実施例のスライダのステータと対向す
る面を示す平面図である。
る面を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例の図１のＡ−Ａ断面に沿うを示
す平断面図である。
す平断面図である。
【図４】本発明の実施例の図１のＢ−Ｂ断面に沿うを示
す平断面図である。
す平断面図である。
【図５】従来例を示す斜視図である。
【図６】従来例を示す側断面図である。
１ ステータ、１３ 凸極、２ スライダ、２１（２１
ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ） 側面、３（３ａ，３
Ｂ） Ｘ軸電磁駆動ユニット、４（４ａ，４ｂ）Ｙ軸電
磁駆動ユニット、５ 空気軸受、５１ 供給口、５２
空気通路、５３噴出口、６（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ）
噴射口、７ 制御弁、８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）
噴射口、９ 制御弁
ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ） 側面、３（３ａ，３
Ｂ） Ｘ軸電磁駆動ユニット、４（４ａ，４ｂ）Ｙ軸電
磁駆動ユニット、５ 空気軸受、５１ 供給口、５２
空気通路、５３噴出口、６（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ）
噴射口、７ 制御弁、８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）
噴射口、９ 制御弁
Claims (2)
- 【請求項１】 直交する２軸に沿って等ピッチで碁盤目
状に設けた凸極を有するステータと、前記凸極の面に空
気軸受により所定の空隙を保って摺動自在に配置された
スライダと、前記凸極との間の磁気吸引力の変化によっ
て前記直交する２軸の方向に前記スライダを駆動するＸ
軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとを備
えた平面ステップモータの脱調復帰装置において、前記
スライダの側面に前記スライダの中心に対して偏心した
方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射口と、前記噴
射口に圧縮空気を供給・停止する制御弁とを設けたこと
を特徴とする平面ステップモータの脱調復帰装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の装置を使用する方法に
おいて、前記スライダの側面に前記スライダの中心に対
して偏心した方向で、かつほぼ水平方向に開口する噴射
口と、前記噴射口に圧縮空気を供給・停止する制御弁と
を設け、前記スライダの脱調時に前記制御弁を介して前
記噴射口から圧縮空気を噴射させて前記スライダを回転
させ、前記凸極とＸ軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁
駆動ユニットとの間の磁気吸引力により、前記凸極とＸ
軸電磁駆動ユニットおよびＹ軸電磁駆動ユニットとの間
の直交関係を保持することを特徴とする平面ステップモ
ータの脱調復帰方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5194098A JPH0731126A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 平面ステップモータの脱調復帰装置と方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5194098A JPH0731126A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 平面ステップモータの脱調復帰装置と方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0731126A true JPH0731126A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16318919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5194098A Pending JPH0731126A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 平面ステップモータの脱調復帰装置と方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731126A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000036734A1 (fr) * | 1998-12-16 | 2000-06-22 | Nikon Corporation | Dispositif moteur plat, son procede d'assemblage et d'entrainement, dispositif a etage et procede d'entrainement associe, systeme et procede d'exposition, et dispositif et procede de production associes |
| JP2007214449A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Ushio Inc | ＸＹθ移動ステージ |
| US8154593B2 (en) | 2007-06-19 | 2012-04-10 | Qualicaps Co., Ltd. | Appearance inspection device |
| CN114175476A (zh) * | 2019-07-19 | 2022-03-11 | 雅科贝思私人有限公司 | 具有集成空气静压轴承导向的铁芯直线电机施力装置 |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP5194098A patent/JPH0731126A/ja active Pending
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