JPH07301185A - スクロール装置 - Google Patents
スクロール装置Info
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- JPH07301185A JPH07301185A JP7103288A JP10328895A JPH07301185A JP H07301185 A JPH07301185 A JP H07301185A JP 7103288 A JP7103288 A JP 7103288A JP 10328895 A JP10328895 A JP 10328895A JP H07301185 A JPH07301185 A JP H07301185A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/0246—Details concerning the involute wraps or their base, e.g. geometry
- F04C18/0269—Details concerning the involute wraps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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Abstract
せを可能にし、しかも、比較的小さいサイズを達成する
利点をもったスクロールポンプ装置の新しいデザインを
提供することを目的とする。 【構成】 本発明によれば、各々スクロール構造を構成
した第一及び第二スクロール構造要素を有し、それぞれ
のスクロール構造が相互に係合するようにポンプ内に配
置され、第一スクロール構成要素が不動に保持され、第
二スクロール構成要素が一定容積のガスを補足して該容
積をそれぞれのスクロール構造の一端から他端まで押す
ために、第一スクロール構成要素に対して旋回運動する
ようになっている、スクロールタイプの真空ポンプにお
いて、第一及び第二スクロール構成要素が、少なくとも
２つのポンプ吸気口を含む最初の多スタート部分と、ポ
ンプ排気口を含む引き続く単一スタート部分とを有する
相互係合したスクロール構造を構成することを特徴とす
る真空ポンプを提供する。
Description
し、特に、真空ポンプに使用される改良されたスクロー
ル機構に関する。
空ポンプの作動のために知られている。両方の場合、そ
の機構は、各々螺旋（又はスクロール）型構造を構成す
る一様な幅の直立するストリップがある平らな円盤から
なる２つのスクロール構成要素が、実質的に同軸にスク
ロール構成要素を配置することにより相互作用し、そし
て、各々の螺旋型構造が相互係合し、第二構成要素が第
一静止構成要素に対し旋回するという同じ基本原理で作
動する。このような方法で、旋回スクロールと固定スク
ロールとの間に一定容積の空気を捕捉し、各々の螺旋の
一端から他端へ容積を押すことができる。特に真空ポン
プでは、容積は、ポンプ吸気口を経てスクロールのより
大きいチャンバー端部でスクロールの間の空間に入り、
スクロールの中央部でポンプ排気口から出る。スクロー
ル構造の“ターン”の数は、ポンプの“段”の数を決定
する。第二構成要素は、一般的に、これを、モーターに
より駆動される回転ドライブシャフトに偏心的に位置決
めされたベアリングと相互係合させることによって“旋
回”する。第二構成要素は、スクロールの平らな円盤と
ポンプ本体との間に取り付けられた独立運転クランク装
置によって、又は“オールドハム(Oldham)" カップリン
グを含む種々の他の手段によって回転することを抑えら
れる。
に、使用中、高圧縮比につながる高い押しのけ容積の組
合せを達成することを必要とする。一般的に上記記載の
原理に基づいて作動する既知のポンプは、単一の吸気口
又は“スタート”、及び単一の排気口と、単一の吸気口
と単一の排気口との間にあって旋回スクロールにより構
成される単一通路とを有する。これは単一スタートポン
プと称される。しかし、ポンプは、また、２つ又はそれ
以上の吸気口と、対応する数の排気口と、１つの吸気口
と１つの排気口とをつなげる旋回スクロールによって構
成される対応する数の通路とを有することが知られてい
る。これらは、多スタートポンプと称され、そして、一
般的に、単一スタートポンプと比較して比較的高い押し
のけ容積を可能とするが、高い圧縮比を達成することが
できない。単一スタートポンプでは、高い押しのけ容積
の達成は、ポンプの全体サイズをより大きくすることに
よってのみ行われる。多スタートポンプでは、高い所要
の圧縮比の達成は、個々のスクロール構造のターンの
数、それ故にポンプの段の数によってのみ行われるが、
しかし、これは、明らかに、一般的に少なくとも費用面
で望ましくないポンプの全体サイズを増大させることと
なる。
積と高い圧縮比の組合せを可能にし、しかも比較的小さ
いサイズを達成する利点を持ったスクロールポンプ装置
の新しいデザインを提供する。
クロール構造を構成した第一及び第二スクロール構成要
素を有し、それぞれのスクロール構造が相互に係合する
ようにポンプ内に配置され、第一スクロール構成要素が
不動に保持され、第二スクロール構成要素が一定容積の
ガスを捕捉して該容積をそれぞれのスクロール構造の一
端から他端まで押すために、第一スクロール構成要素に
対して旋回運動するようになっている、スクロールタイ
プの真空ポンプにおいて、第一及び第二スクロール構成
要素が、少なくとも２つのポンプ吸気口を含む最初の多
スタート部分と、ポンプ排気口を含む引き続く単一スタ
ート部分とを有する相互係合したスクロール構造を構成
することを特徴とする真空ポンプを提供する。最初の多
スタート部分は、一般的に、スクロール構成要素の最外
部分から形成される。この部分では、スクロール構造
は、ポンプへの少なくとも２つ、好ましくは３つ又はそ
れ以上の吸気口と、その後、使用中、吸気口に入るガス
が、この部分を通過する個々の通路を構成する３つの別
々のスクロール要素とを構成する。
スクロール構成要素の最内部分から形成され、使用中、
ガスを最初の多スタート部分から受け、それをその単一
通路を通過させ、ポンプの中央領域のポンプ排気口に入
るように構成される。好ましくは、ポンプは、最初の部
分と引き続く部分との間に、最初の部分を出るガスが、
引き続く部分に入る前に通過する、充満容積を構成す
る。ポンプは、好ましくは、スクロール構造によって構
成された通路毎に実質的に１つまたは２つのいずれかの
ターンを有する最初の部分を有する。理想的には、最初
の部分は、スクロール構造によって構成された通路毎に
実質的に１つのみのターンを有する。ポンプは、好まし
くは、スクロール構造によって構成された通路について
２つ又はそれ以上のターンを有する引き続く部分を有す
る。本発明を図示するために、今、添付図面を単なる例
示として参照する。
メイン部分２及びクランク端部３を有し、ベアリング４
によりポンプ本体（示せず）に取り付けられるシャフト
１を備える。また、ポンプ本体には中央孔６を有する静
止円盤スクロール部材５が取り付けられ、ベアリング７
がこの中央孔６に位置し、シャフト１は、又、このベア
リング内に収容される。また、旋回可能な円盤形スクロ
ール部材８がポンプ本体に取り付けられる。スクロール
部材８は、“オールドハム(Oldham)”リングのような手
段（示せず）によって主軸線を中心に回転することを抑
えられる。しかし、それは、シャフトの長手方向の軸線
を中心に“旋回”することができる。。ポンプの使用
中、このような旋回は、旋回可能スクロール部材８の孔
１０の面にあるベアリング９内で回転するシャフト１の
クランク端部３によって引き起こされる。スクロール部
材５、８の各々は、他方のスクロール部材に面する円盤
面上に、それぞれが螺旋（又はスクロール）型構造を構
成する直立の金属ストリップ１１、１２を有する。各々
のストリップの高さは、実質的にスクロール部材の間の
距離であり、円盤面から最も遠い各々のスクロール構造
の縁部は、一方のスクロール部材の円盤面に対する密封
を形成する。
てスクロール部材５及び８で構成されるスクロール構造
の特定の形状が示されている。最初の多スタート部分
は、すべてが、使用中、単一源、例えばチャンバー（ポ
ンプにより排気されるどんなものでも）からガスを受け
るように構成された、ポンプへの３つの吸気口２０、２
１、及び２２を含むことを示している。また、この部分
のスクロール構造は、吸気口２０、２１及び２２の各々
から実質的に１つのターンのスクロール部材５、８間に
個々の通路を構成する。これらの個々の通路は各々、充
満容積２３で終わる。しかる後、充満容積からのガス
は、ポンプの引き続く単一スタート部分への吸気口部分
２４を経てその単一スタート部分の中を通ることができ
る。ポンプのこの部分は、使用中、吸気口部分２４と静
止スクロール構成要素５のベースに構成されたポンプ排
気口２５との間のそれぞれのスクロール構成要素のスク
ロール構造の間に構成された単一通路を備える。ポンプ
の使用中、ポンプ送りされ、ポンプの第一部分の３つの
構成要素の吸気口２０、２１及び２２を経てポンプに入
るガスは、第一部分の領域でそれぞれのスクロール構成
要素の間に構成される上述の３つの通路に引き込まれ
る。しかる後、ガスは充満容積２３を通り、吸気口２４
を経て、ポンプの引き続く単一スタート部分に入り、そ
れぞれのスクロール構成要素間に構成される上述の単一
通路を通る。最後に、ガスはポンプ排気口２５を経てポ
ンプから排気される。
プの引き続く単一スタート部分の使用により、高い圧縮
比と共に、特にポンプの第一部分によって高い押しのけ
容積を可能とする。
Claims (8)
- 【請求項１】 各々スクロール構造を構成した第一及び
第二スクロール構造要素を有し、それぞれのスクロール
構造が相互に係合するようにポンプ内に配置され、第一
スクロール構成要素が不動に保持され、第二スクロール
構成要素が一定容積のガスを捕捉して該容積をそれぞれ
のスクロール構造の一端から他端まで押すために、第一
スクロール構成要素に対して旋回運動するようになって
いる、スクロールタイプの真空ポンプにおいて、第一及
び第二スクロール構成要素が、少なくとも２つのポンプ
吸気口を含む最初の多スタート部分と、ポンプ排気口を
含む引き続く単一スタート部分とを有する相互係合した
スクロール構造を構成することを特徴とする真空ポン
プ。 - 【請求項２】 最初の多スタート部分は、スクロール構
成要素の最外部分から形成される請求項１に記載のポン
プ。 - 【請求項３】 最初の多スタート部分は、ポンプへの少
なくとも２つの吸気口と、その後、使用中、吸気口に入
るガスが、この部分を通過する個々の通路を構成する３
つの別々のスクロール要素とを構成するスクロール構造
を有する請求項２に記載のポンプ - 【請求項４】 引き続く単一スタート部分は、一般的に
スクロール構成要素の最内部分から形成され、使用中、
ガスを最初の多スタート部分から受け、それをその単一
通路を通過させ、ポンプの中央領域のポンプ排気口に入
るように構成される前述の請求項のいずれかに記載のポ
ンプ。 - 【請求項５】 ポンプは、最初の部分と引き続く部分と
の間に、最初の部分を出るガスが引き続く部分に入る前
に通過する、充満容積（plenum volume)を構成する前述
の請求項のいずれかに記載のポンプ。 - 【請求項６】 最初の部分は、スクロール構造によって
構成された通路毎に実質的に１つ又は２つのターン（tu
rn) を有する前述の請求項のいずれかに記載のポンプ。 - 【請求項７】 最初の部分は、スクロール構造によって
構成された通路毎に１つのみのターンを有する請求項１
乃至５のいずれかに記載のポンプ。 - 【請求項８】 引き続く部分が、スクロール構造によっ
て構成された通路について２つ又はそれ以上のターンを
有する前述の請求項のいずれかに記載のポンプ。
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Publications (2)
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| GB (1) | GB9408653D0 (ja) |
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1995
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- 1995-04-27 US US08/430,053 patent/US5626469A/en not_active Expired - Lifetime
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