JPH0728539B2 - 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 - Google Patents
有効吸着域を全面に有する静電吸着板Info
- Publication number
- JPH0728539B2 JPH0728539B2 JP13237588A JP13237588A JPH0728539B2 JP H0728539 B2 JPH0728539 B2 JP H0728539B2 JP 13237588 A JP13237588 A JP 13237588A JP 13237588 A JP13237588 A JP 13237588A JP H0728539 B2 JPH0728539 B2 JP H0728539B2
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- JP
- Japan
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- layer
- attraction
- electrode
- plate
- electrode layer
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、静電吸着板の改良に係り、特に吸着力を吸
着面の最端部においても発揮させ得る有効吸着域を全面
に有する吸着板に関する。
着面の最端部においても発揮させ得る有効吸着域を全面
に有する吸着板に関する。
［従来の技術］ 静電吸着板は正負両電層をサンドイッチ状に吸着層と絶
縁層とにより挾み込み構成されている。そして両層が剥
離せぬように、特にその端部すなわち縁部においては、
電極層を介在させぬ空白域からなるベルトラインを設け
ている。
縁層とにより挾み込み構成されている。そして両層が剥
離せぬように、特にその端部すなわち縁部においては、
電極層を介在させぬ空白域からなるベルトラインを設け
ている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかし、このベルトラインのため、この帯状域において
は吸着力が発生せず、そのためトレーシングペーパ等の
被吸着物はその端部が剥離し、風に揺らぐいわゆるバタ
フライ現象や、被吸着物全体が外れてしまう剥離事故を
生ずる不都合があった。
は吸着力が発生せず、そのためトレーシングペーパ等の
被吸着物はその端部が剥離し、風に揺らぐいわゆるバタ
フライ現象や、被吸着物全体が外れてしまう剥離事故を
生ずる不都合があった。
そこでこの発明の目的は上述不都合を防止改善すること
を目的とする。
を目的とする。
［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するためにこの発明は、正負両極の電極
層を吸着層と絶縁層との間に有する静電吸着板におい
て、吸着力を発生する電極層を静電吸着板の端部まで延
設するとともに、この電極層の少なくとも端部には前記
吸着層と絶縁層との剥離を防止するために電極層の一部
を欠落させて電極層を介在させぬ複数の空白小域を設け
たことを特徴とする。
層を吸着層と絶縁層との間に有する静電吸着板におい
て、吸着力を発生する電極層を静電吸着板の端部まで延
設するとともに、この電極層の少なくとも端部には前記
吸着層と絶縁層との剥離を防止するために電極層の一部
を欠落させて電極層を介在させぬ複数の空白小域を設け
たことを特徴とする。
［発明の実施例］ 以下図面に基づいてこの発明の実施例を説明する。
第１〜３図はこの発明の第１実施例を示し、１は静電保
持装置、２は吸着層、４は絶縁層、そしてこれら両層間
に電極層６が正極６＋、負極６−として互に隣接して交
互に設けられている。
持装置、２は吸着層、４は絶縁層、そしてこれら両層間
に電極層６が正極６＋、負極６−として互に隣接して交
互に設けられている。
なお、静電吸着板８の吸着力10は、第３図に矢印で示す
ようにこの電極層６の上面付近にのみ発生することが、
この出願の発明者により発見された。
ようにこの電極層６の上面付近にのみ発生することが、
この出願の発明者により発見された。
また、トレーシングペーパなどの被吸着物12を静電吸着
板８上に吸着保持させる場合に、必要時間中は当然にこ
の被吸着物12の剥離事故は防止せねばならぬ。
板８上に吸着保持させる場合に、必要時間中は当然にこ
の被吸着物12の剥離事故は防止せねばならぬ。
そして、この剥離事故は、被吸着物12の端部から生ずる
ものである。その為、静電吸着板８の性能としては、特
に端部域における強力な吸着力を確保することが要求さ
れる。
ものである。その為、静電吸着板８の性能としては、特
に端部域における強力な吸着力を確保することが要求さ
れる。
そこで、前記電極層６の形成に際しては、吸着面域14の
縁部近傍、つまり端部16まで、まず電極層６を延設す
る。
縁部近傍、つまり端部16まで、まず電極層６を延設す
る。
そして、この電極層６には特にその外端部18に沿って電
極層６の一部を欠落させて空白小域20を多数形成する。
極層６の一部を欠落させて空白小域20を多数形成する。
これは、電極層６が、吸着層２と絶縁層４間に介在する
ことによる物理的な吸着力の低下を防止するためであ
り、しかし、電極層６の一部として突出した外端部18を
残すことにより、吸着力をこの端部においても発生させ
ておくためでもある。
ことによる物理的な吸着力の低下を防止するためであ
り、しかし、電極層６の一部として突出した外端部18を
残すことにより、吸着力をこの端部においても発生させ
ておくためでもある。
なお第１図において、符号21は電源回路、22は電源部、
24は切換スイッチである。
24は切換スイッチである。
また、第４図は、この発明の第２実施例を示すものであ
り、電極層６の正極６＋と負極６−とを交叉する方向に
指向させて配列し、外端部18に沿って電極層６の一部を
欠落させて円形状の空白小域20を多数形成したものであ
る。
り、電極層６の正極６＋と負極６−とを交叉する方向に
指向させて配列し、外端部18に沿って電極層６の一部を
欠落させて円形状の空白小域20を多数形成したものであ
る。
第５図は、第３実施例を示すものであり、電極層６の正
極６＋と負極６−とを同方向に指向させて交互に配列
し、外端部18に沿って電極層６の一部を欠落させて端部
16側に開口する空白小域20を多数形成したものである。
極６＋と負極６−とを同方向に指向させて交互に配列
し、外端部18に沿って電極層６の一部を欠落させて端部
16側に開口する空白小域20を多数形成したものである。
第６図は、第４実施例を示すものであり、電極層６の正
極６＋と負極６−との長手方向の両側面を凹凸状に形成
するとともに同方向に指向させて交互に配列し、外端部
18に沿って電極層６の一部を欠落させて凹凸状の空白小
域20を多数形成したものである。
極６＋と負極６−との長手方向の両側面を凹凸状に形成
するとともに同方向に指向させて交互に配列し、外端部
18に沿って電極層６の一部を欠落させて凹凸状の空白小
域20を多数形成したものである。
［発明の効果］ この発明は以上のように構成されているので、吸着面の
全面いたる所に吸着力を発生させることができ、特に従
来吸着力が皆無であり剥離事故を惹起する引金となった
り、端部が風に舞い、そのため仕事の能率を低下させる
バタフライ現象を防止することができる。しかも、空白
小域の存在により、吸着層と絶縁層とは介在物なしに密
着することができ、層間の剥離事故を生ずる不都合も無
いという著効を奏するものである。
全面いたる所に吸着力を発生させることができ、特に従
来吸着力が皆無であり剥離事故を惹起する引金となった
り、端部が風に舞い、そのため仕事の能率を低下させる
バタフライ現象を防止することができる。しかも、空白
小域の存在により、吸着層と絶縁層とは介在物なしに密
着することができ、層間の剥離事故を生ずる不都合も無
いという著効を奏するものである。
図面はこの発明の実施例を示し、第１図は吸着板の構成
を示す斜視図である。第２、３図はこの発明の第１実施
例を示し、第２図は第１実施例の部分平面図、第３図は
断面側面図である。第４、５、６図は夫々第２、３、４
実施例を示す部分平面図である。 （符号の説明） 図において、２は吸着層、４は絶縁層、６は電極層、６
＋は正極、６−は負極、８は静電吸着板、12は被吸着
物、14は吸着面域、16は端部、20は空白小域である。
を示す斜視図である。第２、３図はこの発明の第１実施
例を示し、第２図は第１実施例の部分平面図、第３図は
断面側面図である。第４、５、６図は夫々第２、３、４
実施例を示す部分平面図である。 （符号の説明） 図において、２は吸着層、４は絶縁層、６は電極層、６
＋は正極、６−は負極、８は静電吸着板、12は被吸着
物、14は吸着面域、16は端部、20は空白小域である。
Claims (1)
- 【請求項１】正負両極の電極層を吸着層と絶縁層との間
に有する静電吸着板において、吸着力を発生する電極層
を静電吸着板の端部まで延設するとともに、この電極層
の少なくとも端部には前記吸着層と絶縁層との剥離を防
止するために電極層の一部を欠落させて電極層を介在さ
せぬ複数の空白小域を設けたことを特徴とする有効吸着
域を略全面に有する吸着板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13237588A JPH0728539B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13237588A JPH0728539B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01303078A JPH01303078A (ja) | 1989-12-06 |
| JPH0728539B2 true JPH0728539B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=15079903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13237588A Expired - Lifetime JPH0728539B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0728539B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1258256C (zh) * | 2000-06-14 | 2006-05-31 | 赫尔曼·阿莉森 | 一种电吸附设备 |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP13237588A patent/JPH0728539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01303078A (ja) | 1989-12-06 |
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