JPH07270325A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH07270325A JPH07270325A JP5966694A JP5966694A JPH07270325A JP H07270325 A JPH07270325 A JP H07270325A JP 5966694 A JP5966694 A JP 5966694A JP 5966694 A JP5966694 A JP 5966694A JP H07270325 A JPH07270325 A JP H07270325A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- defect
- receiving means
- light source
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 50
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 白色または略白色の欠陥、または、被検物に
発生した偏光状態の変化による欠陥を検出することが可
能な欠陥検出装置を提供することを目的とする。 【構成】光源１から発せられた光を、透明あるいは略透
明の被検物３の透過させて、その透過光を受光手段５で
受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置の、
光源１から受光手段５に至る光路の一部に、受光手段５
が受光する光の波長を調整するフィルター２、または一
組の偏光板対６、７を設けた。
発生した偏光状態の変化による欠陥を検出することが可
能な欠陥検出装置を提供することを目的とする。 【構成】光源１から発せられた光を、透明あるいは略透
明の被検物３の透過させて、その透過光を受光手段５で
受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置の、
光源１から受光手段５に至る光路の一部に、受光手段５
が受光する光の波長を調整するフィルター２、または一
組の偏光板対６、７を設けた。
Description
【０００１】
【産業上利用分野】本発明は、透明、あるいは略透明の
被検物からの透過光を受光手段で受光して、被検物の欠
陥検査を行なう欠陥検査装置に関する。
被検物からの透過光を受光手段で受光して、被検物の欠
陥検査を行なう欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザー等の光源から発射される
光を、透明あるいは略透明の被検物に透過させて、その
透過光を光電変換素子で受光して、その受光量の変化か
ら被検物の欠陥を検出する欠陥検知装置が知られている
（特開昭５９−１１６０３８号参照）。また、光源に蛍
光灯やハロゲンランプ等の白色光を用い、その光源から
発射される光を被検物に透過させて、透過光をＣＣＤカ
メラで撮影して撮影結果を目視、観察することで被検物
の欠陥を検出する欠陥検出装置が知られている。
光を、透明あるいは略透明の被検物に透過させて、その
透過光を光電変換素子で受光して、その受光量の変化か
ら被検物の欠陥を検出する欠陥検知装置が知られている
（特開昭５９−１１６０３８号参照）。また、光源に蛍
光灯やハロゲンランプ等の白色光を用い、その光源から
発射される光を被検物に透過させて、透過光をＣＣＤカ
メラで撮影して撮影結果を目視、観察することで被検物
の欠陥を検出する欠陥検出装置が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検査装置では、被検物の欠陥が白色または略白色で
ある場合、透過光の変化が微弱であるため、欠陥部分と
正常部分の識別が困難であるという問題点があった。さ
らに、従来の欠陥検査装置では、被検物に発生した偏光
状態の変化による欠陥の検出も困難であった。
欠陥検査装置では、被検物の欠陥が白色または略白色で
ある場合、透過光の変化が微弱であるため、欠陥部分と
正常部分の識別が困難であるという問題点があった。さ
らに、従来の欠陥検査装置では、被検物に発生した偏光
状態の変化による欠陥の検出も困難であった。
【０００４】そこで、請求項１に記載の発明は、白色ま
たは略白色の欠陥をも検出することが可能な欠陥検出装
置を提供することを目的とする。また、請求項２に記載
の発明は、被検物に発生した偏光状態の変化による欠陥
の検出を検出可能な欠陥検査装置を提供することを目的
とする。
たは略白色の欠陥をも検出することが可能な欠陥検出装
置を提供することを目的とする。また、請求項２に記載
の発明は、被検物に発生した偏光状態の変化による欠陥
の検出を検出可能な欠陥検査装置を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、上記の課題を解決するために、光源から発せられた
光を、透明あるいは略透明の被検物に透過させて、該透
過光を受光手段で受光して、被検物の欠陥検査を行なう
欠陥検査装置であって、前記光源から前記受光手段に至
る光路の一部に前記受光手段が受光する光の波長を調整
するフィルターを設けたことを特徴とするものである。
は、上記の課題を解決するために、光源から発せられた
光を、透明あるいは略透明の被検物に透過させて、該透
過光を受光手段で受光して、被検物の欠陥検査を行なう
欠陥検査装置であって、前記光源から前記受光手段に至
る光路の一部に前記受光手段が受光する光の波長を調整
するフィルターを設けたことを特徴とするものである。
【０００６】また、請求項２に記載の発明は、上記の課
題を解決するために、光源から発せられた光を、透明あ
るいは略透明の被検物に透過させて、該透過光を受光手
段で受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置
であって、前記光源から前記受光手段に至る光路の一部
に一組の偏光板対を設け、かつ、該偏光板対を構成する
各偏光板の光吸収方向が互いに平行であることを特徴と
することを特徴とするものである。
題を解決するために、光源から発せられた光を、透明あ
るいは略透明の被検物に透過させて、該透過光を受光手
段で受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置
であって、前記光源から前記受光手段に至る光路の一部
に一組の偏光板対を設け、かつ、該偏光板対を構成する
各偏光板の光吸収方向が互いに平行であることを特徴と
することを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】請求項１記載の発明は、光路の一部に受光手段
が受光する光の波長を調整するフィルターを設けたの
で、白色または略白色の欠陥をも検出することが可能な
欠陥検出装置を提供することができる。請求項２記載の
発明では、光路の一部に一組の偏光板対を設け、かつ、
その偏光板対を構成する各偏光板の光吸収方向が互いに
平行であるので、被検物に発生した偏光状態の変化によ
る欠陥をも検出することができる。
が受光する光の波長を調整するフィルターを設けたの
で、白色または略白色の欠陥をも検出することが可能な
欠陥検出装置を提供することができる。請求項２記載の
発明では、光路の一部に一組の偏光板対を設け、かつ、
その偏光板対を構成する各偏光板の光吸収方向が互いに
平行であるので、被検物に発生した偏光状態の変化によ
る欠陥をも検出することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図１は、この発明の第一の実施例を示す構成図である。
この実施例では、被検物３として、樹脂よる成形を行な
った後に色素を塗布した半透明基板を用いている。ま
た、半透明基板に色素を塗布する際に発生することがあ
る白色の点状の欠陥や、色素塗布の不良により発生する
ことがある色むらを検出することを目的として、この実
施例の欠陥検出装置を用いることを想定して説明を行な
う。
図１は、この発明の第一の実施例を示す構成図である。
この実施例では、被検物３として、樹脂よる成形を行な
った後に色素を塗布した半透明基板を用いている。ま
た、半透明基板に色素を塗布する際に発生することがあ
る白色の点状の欠陥や、色素塗布の不良により発生する
ことがある色むらを検出することを目的として、この実
施例の欠陥検出装置を用いることを想定して説明を行な
う。
【０００９】図１において、１は蛍光灯やハロゲンラン
プ等の光源である。光源１から発せられた光は、干渉フ
ィルタ２を通過して被検物３へと至る。フィルタ２は被
検物３へ入射する光の波長を調整する機能を有する。被
検物３は透明または半透明であるため白色または略白色
の欠陥は検出しにくい。ここで、白色または略白色の欠
陥を検出を容易にするためは、被検物３へ入射させる光
の波長を被検物３の吸収度の高い波長とすれば良い。被
検物３へ入射させる光の波長が被検物３の吸収度の高い
波長であると、正常部分（欠陥のない部分）に照射され
た光が吸収されて最終的に黒く出力されるので、白色ま
たは略白色の欠陥部と欠陥部分のコントラストが良くな
り検出が容易になるためである。一方で、あまり吸収度
の高い光を射光させると、正常部分に照射された光が吸
収され黒く出力されるので、黒色の欠陥との正常部分の
判別が困難になり、黒色の欠陥の検出が困難になる。そ
こで、フィルター２は被検物３の光の透過性、色彩、吸
収しやすい光の波長、もしくは検出を所望する欠陥の色
彩等を考慮して、白色の欠陥と黒色の欠陥の双方を検出
できるように、被検物３に入射する光の波長を適宜調整
すべく選択される。
プ等の光源である。光源１から発せられた光は、干渉フ
ィルタ２を通過して被検物３へと至る。フィルタ２は被
検物３へ入射する光の波長を調整する機能を有する。被
検物３は透明または半透明であるため白色または略白色
の欠陥は検出しにくい。ここで、白色または略白色の欠
陥を検出を容易にするためは、被検物３へ入射させる光
の波長を被検物３の吸収度の高い波長とすれば良い。被
検物３へ入射させる光の波長が被検物３の吸収度の高い
波長であると、正常部分（欠陥のない部分）に照射され
た光が吸収されて最終的に黒く出力されるので、白色ま
たは略白色の欠陥部と欠陥部分のコントラストが良くな
り検出が容易になるためである。一方で、あまり吸収度
の高い光を射光させると、正常部分に照射された光が吸
収され黒く出力されるので、黒色の欠陥との正常部分の
判別が困難になり、黒色の欠陥の検出が困難になる。そ
こで、フィルター２は被検物３の光の透過性、色彩、吸
収しやすい光の波長、もしくは検出を所望する欠陥の色
彩等を考慮して、白色の欠陥と黒色の欠陥の双方を検出
できるように、被検物３に入射する光の波長を適宜調整
すべく選択される。
【００１０】フィルター２を通過した光は、レンズ４を
介して受光手段であるＣＣＤカメラ５で受光される。Ｃ
ＣＤカメラ５で受光された信号は、その後、欠陥がより
発見しやすいように画像処理される。尚、以上で説目し
た装置において、色むら等の色素の色素の透過率の欠陥
を検出するに際しては、波長による良否判断基準を設け
ておけば、受光量の違いから容易に検出することが可能
になる。
介して受光手段であるＣＣＤカメラ５で受光される。Ｃ
ＣＤカメラ５で受光された信号は、その後、欠陥がより
発見しやすいように画像処理される。尚、以上で説目し
た装置において、色むら等の色素の色素の透過率の欠陥
を検出するに際しては、波長による良否判断基準を設け
ておけば、受光量の違いから容易に検出することが可能
になる。
【００１１】続いて、本願発明の第二の実施例を説明す
る。図２は本願発明の第二の実施例を示す構成図であ
る。第一の実施例では、フィルタ２を光源１から被検物
３へ至る光路に設けていたが、第二の実施例では光が被
検物３通過してレンズ４へと至る光路にフィルタ２が設
けられている。
る。図２は本願発明の第二の実施例を示す構成図であ
る。第一の実施例では、フィルタ２を光源１から被検物
３へ至る光路に設けていたが、第二の実施例では光が被
検物３通過してレンズ４へと至る光路にフィルタ２が設
けられている。
【００１２】続いて、本願発明の第三の実施例を説目す
る。図３はこの発明の第三の実施例を示す構成図であ
る。この実施例では第一の実施例の構成に加えて、フィ
ルター２から被検物３へ至る光路と、被検物３からレン
ズ４へ至る光路とに、一組の偏光板対として、それぞれ
偏光板６と偏光板７を設けている。ここで、偏光板６と
偏光板７の光の透過方向は平行となっている。偏光板
６、偏光板７を設けることにより第一の実施例で検出可
能な欠陥に加え、第一の実施例では検出ができなかった
偏光状態の変化による欠陥も欠陥部での受光量が減少す
ることも利用して検出することが可能になる。
る。図３はこの発明の第三の実施例を示す構成図であ
る。この実施例では第一の実施例の構成に加えて、フィ
ルター２から被検物３へ至る光路と、被検物３からレン
ズ４へ至る光路とに、一組の偏光板対として、それぞれ
偏光板６と偏光板７を設けている。ここで、偏光板６と
偏光板７の光の透過方向は平行となっている。偏光板
６、偏光板７を設けることにより第一の実施例で検出可
能な欠陥に加え、第一の実施例では検出ができなかった
偏光状態の変化による欠陥も欠陥部での受光量が減少す
ることも利用して検出することが可能になる。
【００１３】続いて、本願発明の第四の実施例を説明す
る。図４はこの発明の第四の実施例を示す構成図であ
る。第三の実施例ではフィルタ２は光源１から偏光板６
へ至る光路に設けられていたが、この実施例ではフィル
タ２は偏光板７からレンズ４へ至る光路に設けられてい
る。
る。図４はこの発明の第四の実施例を示す構成図であ
る。第三の実施例ではフィルタ２は光源１から偏光板６
へ至る光路に設けられていたが、この実施例ではフィル
タ２は偏光板７からレンズ４へ至る光路に設けられてい
る。
【００１４】
【効果】請求項１記載の発明によれば、光路の一部に受
光手段が受光する光の波長を調整するフィルターを設け
たので、白色または略白色の欠陥をも検出することが可
能な欠陥検出装置を提供することができる。請求項２記
載の発明によれば、光路の一部に一組の偏光板対を設
け、かつ、その偏光板対を構成する各偏光板の光吸収方
向が互いに平行であるので、被検物に発生した偏光状態
の変化による欠陥をも検出することができる。
光手段が受光する光の波長を調整するフィルターを設け
たので、白色または略白色の欠陥をも検出することが可
能な欠陥検出装置を提供することができる。請求項２記
載の発明によれば、光路の一部に一組の偏光板対を設
け、かつ、その偏光板対を構成する各偏光板の光吸収方
向が互いに平行であるので、被検物に発生した偏光状態
の変化による欠陥をも検出することができる。
【図１】図１は、この発明の第一の実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】図２は、この発明の第二の実施例を示す構成図
である。
である。
【図３】図３は、この発明の第三の実施例を示す構成図
である。
である。
【図４】図４は、この発明の第四の実施例を示す構成図
である。
である。
１ 光源 ２ フィルタ ３ 被検物 ４ レンズ ５ ＣＣＤカメラ ６ 偏光板 ７ 偏光板
Claims (2)
- 【請求項１】光源から発せられた光を、透明あるいは略
透明の被検物に透過させて、該透過光を受光手段で受光
して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置であっ
て、前記光源から前記受光手段に至る光路の一部に前記
受光手段が受光する光の波長を調整するフィルターを設
けたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項２】光源から発せられた光を、透明あるいは略
透明の被検物に透過させて、該透過光を受光手段で受光
して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置であっ
て、前記光源から前記受光手段に至る光路の一部に一組
の偏光板対を設け、かつ、該偏光板対を構成する各偏光
板の光吸収方向が互いに平行であることを特徴とする欠
陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5966694A JPH07270325A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5966694A JPH07270325A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270325A true JPH07270325A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13119756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5966694A Pending JPH07270325A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07270325A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10300688A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Fujimori Kogyo Kk | 光学式監視装置 |
| JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
| JPH11190699A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Hoya Corp | 透光性物質の不均一性検査方法及びその装置 |
| JP2002098650A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 透明体検出方法およびそのシステム |
| JP2008175565A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Fujifilm Corp | 光透過性部材の欠陥検出装置及び方法 |
| JP2012159487A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | 平板ガラスの異物検査装置及び検査方法 |
| CN103698344A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-02 | 南京金三力橡塑有限公司 | 一种白色透明硅橡胶密封圈的外观检验方法 |
| CN104865272A (zh) * | 2015-05-11 | 2015-08-26 | 天津三瑞塑胶制品有限公司 | 玻璃胶片外观检验仪 |
| JP2017187425A (ja) * | 2016-04-07 | 2017-10-12 | 株式会社カネカ | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP5966694A patent/JPH07270325A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10300688A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Fujimori Kogyo Kk | 光学式監視装置 |
| JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
| JPH11190699A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Hoya Corp | 透光性物質の不均一性検査方法及びその装置 |
| JP2002098650A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 透明体検出方法およびそのシステム |
| JP2008175565A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Fujifilm Corp | 光透過性部材の欠陥検出装置及び方法 |
| JP2012159487A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Samsung Corning Precision Materials Co Ltd | 平板ガラスの異物検査装置及び検査方法 |
| US8803968B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-08-12 | Samsung Corning Precision Material Co., Ltd. | Apparatus for detecting particles in flat glass and detecting method using same |
| CN103698344A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-02 | 南京金三力橡塑有限公司 | 一种白色透明硅橡胶密封圈的外观检验方法 |
| CN104865272A (zh) * | 2015-05-11 | 2015-08-26 | 天津三瑞塑胶制品有限公司 | 玻璃胶片外观检验仪 |
| JP2017187425A (ja) * | 2016-04-07 | 2017-10-12 | 株式会社カネカ | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10123062A (ja) | 透過光及び反射光を用いたエアリアルイメージ測定装置及びこれを用いた測定方法 | |
| JP2002535687A (ja) | 物体のパタン加工表面を光学的に検査する方法および装置 | |
| JPH07270325A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2000097873A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| CA1126854A (en) | Inspection apparatus for defects on patterns | |
| JPH0618445A (ja) | ピンホール検査装置 | |
| KR20100058012A (ko) | 불량 검사를 위한 광학 시스템 | |
| JPH0943097A (ja) | カラーフィルター欠陥検査装置 | |
| JP2000088534A (ja) | 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 | |
| JP3409272B2 (ja) | 露光マスクの異物検査方法 | |
| JP2006105926A (ja) | 検査装置 | |
| JPS6061648A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
| JPH0755720A (ja) | 透明および不透明フィルムの欠点検査装置 | |
| JPH03239954A (ja) | パターン部材の検査方法および検査装置 | |
| JPH10115592A (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置並びに工程管理システム | |
| JPH07146253A (ja) | 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 | |
| WO2019245313A1 (ko) | 디스플레이 유닛의 이물 검사 시스템 | |
| JPH1164233A (ja) | カラーフィルタ検査装置 | |
| JPH09264853A (ja) | 透明物体の欠陥検出方法並びに装置 | |
| JPH07110307A (ja) | カラーフィルタ等の検査装置及びその検査方法 | |
| JPH10170240A (ja) | パターン欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPH04111336A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS608705A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
| JPH0772099A (ja) | 不透明フィルムの欠点検査方法 | |
| JPH10132704A (ja) | 光学検査装置 |