JPH07218602A - Semiconductor tester - Google Patents
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- JPH07218602A JPH07218602A JP6034189A JP3418994A JPH07218602A JP H07218602 A JPH07218602 A JP H07218602A JP 6034189 A JP6034189 A JP 6034189A JP 3418994 A JP3418994 A JP 3418994A JP H07218602 A JPH07218602 A JP H07218602A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、同一モデルのデバイス
を多数繰り返し試験する場合、試験条件設定の時間を短
縮する半導体試験装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor test apparatus which shortens the test condition setting time when a large number of devices of the same model are repeatedly tested.
【0002】[0002]
【従来の技術】図3に従来の試験条件設定の回路ブロッ
クを示す。この回路ブロックは、試験条件データなどを
記憶するディスク装置15と、試験条件データを転送す
る試験条件命令を、ユニット間バスを介して、命令解析
回路13へ転送する試験制御ユニット10と、命令解析
回路13で命令を解析し、レジスタ12へ試験条件デー
タを書き込む命令解析ユニット11と、試験項目毎に試
験条件データを書き換えるレジスタ12で構成される。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows a conventional circuit block for setting test conditions. This circuit block includes a disk device 15 for storing test condition data and the like, a test control unit 10 for transferring a test condition instruction for transferring the test condition data to an instruction analysis circuit 13 via an inter-unit bus, and an instruction analysis unit. The circuit 13 includes an instruction analysis unit 11 that analyzes an instruction and writes test condition data to the register 12, and a register 12 that rewrites the test condition data for each test item.
【0003】図4に示すように、レジスタ12に書き込
まれた試験条件データは、半導体試験装置からテストヘ
ッドに転送する、セット信号、リセット信号、ドライブ
イネーブル信号、ストローブH信号、ストローブL信号
の相対的な時間関係を調整するために使用され、各信号
に組み込まれた信号遅延可変回路16を制御する。As shown in FIG. 4, the test condition data written in the register 12 is relative to the set signal, the reset signal, the drive enable signal, the strobe H signal, and the strobe L signal transferred from the semiconductor test apparatus to the test head. It is used for adjusting the time relation between the signals, and controls the signal delay variable circuit 16 incorporated in each signal.
【0004】従来の回路では、同一モデルのデバイスを
多数繰り返し試験する場合、その都度、試験制御ユニッ
ト10より試験項目毎に試験条件命令を転送し、レジス
タ12の試験条件データを書き換える必要があり、同一
モデルのデバイスの繰り返し試験でありながら、異種モ
デルのデバイスを試験するのと同じ時間を必要としてい
る。また、試験条件データは、試験制御ユニット10に
接続されたディスク装置15に記憶されており、試験条
件命令を命令解析ユニット11に転送するたびに、ディ
スクからの読みだしを必要としている。このため、ディ
スクからの読みだしに多くの時間を要している。In the conventional circuit, when a large number of devices of the same model are repeatedly tested, it is necessary to transfer a test condition instruction for each test item from the test control unit 10 and rewrite the test condition data in the register 12 each time. Repeated testing of devices of the same model requires the same amount of time as testing devices of different models. Moreover, the test condition data is stored in the disk device 15 connected to the test control unit 10, and it is necessary to read the test condition data from the disk each time the test condition command is transferred to the command analysis unit 11. Therefore, it takes a lot of time to read from the disc.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、同一モ
デルのデバイスの繰り返し試験でありながら試験時間が
短縮されない欠点があった。本発明は、同一モデルのデ
バイスを多数繰り返し試験する場合において、試験条件
設定の時間を短縮することを目的としている。As described above, there is a drawback in that the test time is not shortened even though it is a repeated test of devices of the same model. It is an object of the present invention to shorten the test condition setting time when a large number of devices of the same model are repeatedly tested.
【0006】[0006]
(請求項1の解決手段)半導体試験装置本体からテスト
ヘッドに転送する複数の信号の相対的時間関係を信号遅
延可変回路で調整するため、遅延時間を設定する試験条
件データをセットする試験条件設定回路において、命令
解析ユニット11内にメモリ14を設ける。そして、ま
だ試験条件設定されていない試験条件設定命令が、試験
制御ユニット10から命令解析回路13に転送される
と、命令解析回路13は、レジスタ12へ試験条件デー
タを書き込み、それと同時に、メモリ14に、同じ試験
条件データを試験条件ナンバを付加して記憶する。同一
モデルのデバイスを試験する場合は、既に、メモリ14
に試験条件ナンバとそれに対応する試験条件データが書
き込まれているため、試験制御ユニット10は、「試験
条件nにて試験する」という命令を命令解析回路13に
転送すればよい。命令解析回路13は、命令を解析し、
メモリ14に試験条件ナンバを指定して試験条件データ
を読みだし、レジスタ12に書き込む。レジスタ12の
出力データである試験条件データは、信号遅延可変回路
16を制御する。(Solution of claim 1) The test condition setting for setting the test condition data for setting the delay time is performed in order to adjust the relative time relationship of a plurality of signals transferred from the semiconductor test apparatus body to the test head by the signal delay variable circuit. In the circuit, a memory 14 is provided in the instruction analysis unit 11. Then, when a test condition setting instruction for which the test condition has not been set is transferred from the test control unit 10 to the instruction analysis circuit 13, the instruction analysis circuit 13 writes the test condition data in the register 12, and at the same time, the memory 14 Then, the same test condition data is stored with the test condition number added. When testing devices of the same model, the memory 14
Since the test condition number and the test condition data corresponding thereto are written in, the test control unit 10 may transfer the instruction “test under test condition n” to the instruction analysis circuit 13. The instruction analysis circuit 13 analyzes the instruction,
The test condition number is specified in the memory 14 to read the test condition data, and the test condition data is written in the register 12. The test condition data output from the register 12 controls the variable signal delay circuit 16.
【0007】(請求項2の解決手段)半導体試験装置本
体からテストヘッドに転送する複数の信号の相対的時間
関係を信号遅延可変回路で調整するため、遅延時間を設
定する試験条件データをセットする試験条件設定回路に
おいて、レジスタ12をメモリ14に置き換える。そし
て、まだ試験条件設定されていない試験条件設定命令
が、試験制御ユニット10から命令解析回路13に転送
されると、命令解析回路13は、メモリ14に、試験条
件ナンバと、それに対応した試験条件データを書き込
む。同一モデルのデバイスを試験する場合は、既に、メ
モリ14に試験条件ナンバとそれに対応する試験条件デ
ータが書き込まれているため、試験制御ユニット10
は、「試験条件nにて試験する」という命令を命令解析
回路13に転送すればよい。命令解析回路13は、命令
を解析し、メモリ14に試験条件ナンバを指定して試験
条件データを読みだす。メモリ14の出力データである
試験条件データは、信号遅延可変回路16を直接制御す
る。(Solution to Claim 2) Since the relative time relationship of a plurality of signals transferred from the semiconductor test apparatus main body to the test head is adjusted by the signal delay variable circuit, test condition data for setting the delay time is set. In the test condition setting circuit, the register 12 is replaced with the memory 14. Then, when a test condition setting command that has not been set as the test condition is transferred from the test control unit 10 to the command analysis circuit 13, the command analysis circuit 13 causes the memory 14 to store the test condition number and the test condition corresponding thereto. Write the data. When testing devices of the same model, since the test condition number and the test condition data corresponding thereto are already written in the memory 14, the test control unit 10
May transfer the instruction “test under test condition n” to the instruction analysis circuit 13. The instruction analysis circuit 13 analyzes the instruction, specifies the test condition number in the memory 14, and reads the test condition data. The test condition data output from the memory 14 directly controls the variable signal delay circuit 16.
【0008】[0008]
【作用】上記のように構成された試験条件設定回路は、
ディスク装置とのデータ読みだし、書き込みの回数を減
少させ、試験制御ユニットから命令解析ユニットへの命
令発生の回数を減少させるため、システム全体を試験条
件設定以外の目的に、より多く使用でき、全体としてシ
ステム効率を改善する作用がある。The test condition setting circuit configured as described above is
It reduces the number of times data is read from and written to the disk device, and the number of times commands are issued from the test control unit to the instruction analysis unit, so the entire system can be used more for purposes other than setting test conditions. Has the effect of improving system efficiency.
【0009】[0009]
(実施例1)図1により、同一モデルのデバイスを多数
繰り返し試験する場合において、試験条件設定時間を短
縮する一実施例を説明する。この実施例では、命令解析
ユニット11内に、レジスタ12に転送する試験条件デ
ータと同じ試験条件データを記憶するメモリ14が追加
されている。そして、その動作は次のように行われる。 試験制御ユニット10より試験項目1の試験条件命
令をユニット間バスを介して命令解析回路13へ転送す
る。命令解析回路13は、レジスタ12へ試験条件デー
タ1を書き込むと同時に、メモリ14にも書き込み信
号、試験条件番号1を送り、試験条件番号とそれに対応
した試験条件データを書き込む。試験項目がn個ある場
合には、同様の処理を行い、メモリ14には、試験条件
1、試験条件2、・・・試験条件nと、それに対応した
試験条件データを書き込む。 同一モデルのデバイスを試験する場合、でメモリ
14に試験条件番号とそれに対応した試験条件データを
書き込んであるため、試験制御ユニット10は、「試験
条件nにて試験する」という命令のみを、ユニット間バ
スを介して、命令解析回路13へ転送する。命令解析回
路13は、メモリ14ヘ読みだし信号と試験条件番号を
送り、同時にレジスタ12に書き込み信号を送ることに
より、レジスタ12に試験条件nの試験条件データを書
き込む。(Embodiment 1) Referring to FIG. 1, an embodiment will be described in which the test condition setting time is shortened when a large number of devices of the same model are repeatedly tested. In this embodiment, a memory 14 for storing the same test condition data as the test condition data transferred to the register 12 is added in the instruction analysis unit 11. Then, the operation is performed as follows. The test control unit 10 transfers the test condition instruction of the test item 1 to the instruction analysis circuit 13 via the inter-unit bus. The instruction analysis circuit 13 writes the test condition data 1 to the register 12 and at the same time, sends a write signal and test condition number 1 to the memory 14 to write the test condition number and the test condition data corresponding thereto. When there are n test items, the same processing is performed, and the test condition 1, test condition 2, ... Test condition n and the test condition data corresponding thereto are written in the memory 14. When testing devices of the same model, since the test condition number and the test condition data corresponding thereto are written in the memory 14, the test control unit 10 only issues the command “test under test condition n” to the unit. Transfer to the instruction analysis circuit 13 via the inter-bus. The instruction analysis circuit 13 sends the read signal and the test condition number to the memory 14, and at the same time, sends the write signal to the register 12 to write the test condition data of the test condition n to the register 12.
【0010】以上のように、同一モデルのデバイスの2
回目以降の試験では、試験制御ユニット10に接続され
ているディスク装置15から、ユニット間バスを介し
て、命令解析回路13へ、試験条件データが転送される
ことは無く、試験条件データは、命令解析回路13の制
御により、命令解析ユニット11内のメモリ14からレ
ジスタ12へ直接転送される。このため、レジスタ12
への試験条件設定の時間は短縮され、同一モデルのデバ
イスを多数繰り返して試験する場合において、試験時間
を短縮することができる。As described above, two devices of the same model
In the subsequent tests, the test condition data is not transferred from the disk device 15 connected to the test control unit 10 to the instruction analysis circuit 13 via the inter-unit bus, and the test condition data is Under the control of the analysis circuit 13, the data is directly transferred from the memory 14 in the instruction analysis unit 11 to the register 12. Therefore, the register 12
The test condition setting time is shortened, and the test time can be shortened when a large number of devices of the same model are tested repeatedly.
【0011】(実施例2)図2に、同一モデルのデバイ
スを多数繰り返し試験する場合において、試験条件設定
時間を短縮するもう一つの実施例を示す。この実施例で
は、レジスタ12をメモリ14で置き換えたものであ
る。この場合、その動作は次のように行われる。 試験制御ユニット10より試験項目1の試験条件命
令をユニット間バスを介して命令解析回路13へ転送す
る。命令解析回路13は、メモリ14に書き込み信号と
試験条件番号1を送り、試験条件番号とそれに対応した
試験条件データを書き込む。試験項目がn個ある場合に
は、同様の処理を行い、メモリ14には、試験条件1、
試験条件2、・・・試験条件nと、それに対応した試験
条件データを書き込む。 同一モデルのデバイスを試験する場合、でメモリ
14に試験条件番号とそれに対応した試験条件データを
書き込んであるため、試験制御ユニット10は、「試験
条件nにて試験する」という命令のみを、ユニット間バ
スを介して、命令解析回路13へ転送する。命令解析回
路13は、メモリ14へ読みだし信号と試験条件番号を
送り、試験条件nのデータを選択する。(Embodiment 2) FIG. 2 shows another embodiment for shortening the test condition setting time when a large number of devices of the same model are repeatedly tested. In this embodiment, the register 12 is replaced with the memory 14. In this case, the operation is performed as follows. The test control unit 10 transfers the test condition instruction of the test item 1 to the instruction analysis circuit 13 via the inter-unit bus. The instruction analysis circuit 13 sends a write signal and test condition number 1 to the memory 14, and writes the test condition number and the test condition data corresponding thereto. When there are n test items, the same processing is performed, and the test condition 1,
Test condition 2, ... Test condition n and test condition data corresponding thereto are written. When testing devices of the same model, since the test condition number and the test condition data corresponding thereto are written in the memory 14, the test control unit 10 issues only the command “test under test condition n” to the unit. Transfer to the instruction analysis circuit 13 via the inter-bus. The instruction analysis circuit 13 sends a read signal and a test condition number to the memory 14 and selects data of the test condition n.
【0012】以上のように、同一モデルのデバイスの2
回目以降の試験では、試験制御ユニット10に接続され
ているディスク装置15から、ユニット間バスを介し
て、命令解析回路13へ、試験条件データが転送される
ことは無く、試験条件データは、命令解析回路13の制
御により、メモリ14の試験条件番号の指定だけで設定
される。このため、レジスタ12への試験条件設定は無
く、メモリ14の試験条件番号の設定のみで試験条件デ
ータが指定され、その値で信号遅延可変回路16を制御
し、同一モデルのデバイスを多数繰り返して試験する場
合において、試験時間を短縮することができる。As described above, two devices of the same model
In the subsequent tests, the test condition data is not transferred from the disk device 15 connected to the test control unit 10 to the instruction analysis circuit 13 via the inter-unit bus, and the test condition data is Under the control of the analysis circuit 13, it is set only by designating the test condition number of the memory 14. Therefore, the test condition is not set in the register 12, the test condition data is specified only by setting the test condition number of the memory 14, the signal delay variable circuit 16 is controlled by the value, and a large number of devices of the same model are repeated. When testing, the test time can be shortened.
【0013】[0013]
【発明の効果】以上説明したように、同一モデルのデバ
イスを多数繰り返して試験する場合、2回目以降に、デ
ィスクから試験条件データを読み出すことは無く、短い
時間で、信号遅延可変回路に試験条件データを設定で
き、試験条件設定の時間を短縮する有効な発明である。As described above, when a large number of devices of the same model are repeatedly tested, the test condition data is not read from the disk after the second time, and the test condition is set in the variable signal delay circuit in a short time. This is an effective invention that can set data and shorten the time for setting test conditions.
【図1】本発明の試験条件設定の回路ブロック図であ
る。FIG. 1 is a circuit block diagram of test condition setting according to the present invention.
【図2】本発明の試験条件設定のもう一つの回路ブロッ
ク図である。FIG. 2 is another circuit block diagram for setting test conditions according to the present invention.
【図3】従来の試験条件設定の回路ブロック図である。FIG. 3 is a circuit block diagram of conventional test condition setting.
【図4】レジスタで信号遅延可変回路を制御する1テス
トピン分の回路ブロック図である。FIG. 4 is a circuit block diagram for one test pin that controls a variable signal delay circuit with a register.
10 試験制御ユニット 11 命令解析ユニット 12 レジスタ 13 命令解析回路 14 メモリ 15 ディスク装置 16 信号遅延可変回路 10 Test Control Unit 11 Instruction Analysis Unit 12 Register 13 Instruction Analysis Circuit 14 Memory 15 Disk Device 16 Signal Delay Variable Circuit
Claims (2)
転送する複数の信号の相対的時間関係を信号遅延可変回
路で調整するため、遅延時間を設定する試験条件データ
をセットする試験条件設定回路において、 試験条件設定命令を発生する試験制御ユニット(10)
と、 試験制御ユニット(10)から転送された命令を解析
し、レジスタ(12)への試験条件データの書き込み、
メモリ(14)への試験条件ナンバとそれに対応する試
験条件データの書き込み、及び、読みだしを制御する命
令解析回路(13)と、 命令解析回路(13)により転送される、試験条件ナン
バと、それに対応した試験条件データを記憶し、既に記
憶されている試験条件ナンバと同一ナンバの試験におい
て、その試験条件ナンバの試験条件データを読みだし、
レジスタ(12)へ転送するメモリ(14)と、 テストヘッドに与える信号の遅延量を決める信号遅延可
変回路(16)に、遅延量を設定する試験条件データを
出力するレジスタ(12)と、 以上を具備していることを特徴とする半導体試験装置。1. A test condition setting circuit for setting test condition data for setting a delay time in order to adjust a relative time relationship of a plurality of signals transferred from a semiconductor test apparatus body to a test head by a signal delay variable circuit, Test control unit for generating test condition setting command (10)
And analyzing the instruction transferred from the test control unit (10) and writing the test condition data to the register (12),
An instruction analysis circuit (13) for controlling writing and reading of the test condition number and the corresponding test condition data to the memory (14); and a test condition number transferred by the instruction analysis circuit (13), The test condition data corresponding to it is stored, and the test condition data of the test condition number is read out in the test of the same number as the already stored test condition number.
A memory (14) for transferring to a register (12), a register (12) for outputting test condition data for setting a delay amount to a signal delay variable circuit (16) for determining a delay amount of a signal given to a test head, and above. A semiconductor test apparatus comprising:
転送する複数の信号の相対的時間関係を信号遅延可変回
路で調整するため、遅延時間を設定する試験条件データ
をセットする試験条件設定回路において、 試験条件設定命令を発生する試験制御ユニット(10)
と、 試験制御ユニット(10)から転送された命令を解析
し、メモリ(14)への試験条件ナンバとそれに対応す
る試験条件データの書き込み、及び読みだしを制御する
命令解析回路(13)と、 命令解析回路(13)により転送される、試験条件ナン
バと、それに対応した試験条件データを記憶し、既に記
憶されている試験条件ナンバと同一ナンバの試験におい
て、その試験条件ナンバの試験条件データを、テストヘ
ッドに与える信号の遅延量を決める信号遅延可変回路
(16)に与えるメモリ(14)と、 以上を具備していることを特徴とする半導体試験装置。2. A test condition setting circuit for setting test condition data for setting a delay time for adjusting a relative time relationship of a plurality of signals transferred from a semiconductor test apparatus body to a test head by a signal delay variable circuit, Test control unit for generating test condition setting command (10)
And an instruction analysis circuit (13) which analyzes the instruction transferred from the test control unit (10) and controls writing and reading of the test condition number and the corresponding test condition data to the memory (14), The test condition number transferred by the instruction analysis circuit (13) and the test condition data corresponding thereto are stored, and the test condition data of the test condition number is stored in the test of the same number as the already stored test condition number. A semiconductor test apparatus comprising: a memory (14) provided to a signal delay variable circuit (16) that determines a delay amount of a signal provided to a test head; and the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6034189A JPH07218602A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Semiconductor tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6034189A JPH07218602A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Semiconductor tester |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07218602A true JPH07218602A (en) | 1995-08-18 |
Family
ID=12407248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6034189A Pending JPH07218602A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Semiconductor tester |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07218602A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7107172B2 (en) | 2003-03-19 | 2006-09-12 | Advantest Corporation | Test apparatus and setting method therefor |
JP2008538045A (en) * | 2005-03-18 | 2008-10-02 | イナパック テクノロジー インコーポレイテッド | Integrated circuit test module |
US9116210B2 (en) | 2001-09-28 | 2015-08-25 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP6034189A patent/JPH07218602A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9116210B2 (en) | 2001-09-28 | 2015-08-25 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
US10114073B2 (en) | 2001-09-28 | 2018-10-30 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing |
US7107172B2 (en) | 2003-03-19 | 2006-09-12 | Advantest Corporation | Test apparatus and setting method therefor |
JP2008538045A (en) * | 2005-03-18 | 2008-10-02 | イナパック テクノロジー インコーポレイテッド | Integrated circuit test module |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030422 |