JPH07218468A

JPH07218468A - 限界電流式酸素センサ

Info

Publication number: JPH07218468A
Application number: JP6012984A
Authority: JP
Inventors: Naoji Yadori; 尚次宿利; Takafumi Kajima; 孝文鹿嶋; Katsuaki Nakamura; 克明中村; Atsunari Ishibashi; 功成石橋; Yoshinori Kato; 嘉則加藤
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 1994-02-04
Filing date: 1994-02-04
Publication date: 1995-08-18

Abstract

(57)【要約】【目的】低い電圧で電流が流れ始めると共に電流立ち
上がり部での電流−電圧特性曲線の傾きが大きくて寿命
が長く、比較的低温で動作可能な限界電流式酸素センサ
を提供する。【構成】固体電解質基板１を挟んで、ポーラスなＰｔ
等により構成されたアノード電極３及びカソード電極４
が配設されている。このカソード電極４と固体電解質基
板１との間には、ＢａＴｉＯ₃ 等の誘電体によりポーラ
スな状態に形成されたバッファ層２が介装されている。
このバッファ層２の厚さ（平均厚さ）は０．００５乃至
０．０８μｍである。基板１上にはキャップ５が設けら
れており、キャップ５と基板１とにより囲まれた内部空
間が形成されている。この内部空間は、気体拡散孔５ａ
を介して外部と連通している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体電解質部を挟んで
配設された１対の多孔質電極を有し、限界電流特性を利
用して気体中の酸素濃度を検出する限界電流式酸素セン
サに関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は従来の限界電流式酸素センサの一
例を示す断面図である。この種の限界電流式酸素センサ
においては、安定化ジルコニアからなる固体電解質基板
４１を挟んで、カソード電極４２及びアノード電極４３
が形成されている。これらの電極４２，４３は、いずれ
もポーラス（多孔質）な白金（Ｐｔ）又は銀（Ａｇ）に
より構成されており、その内部を気体が通流可能になっ
ている。そして、固体電解質基板４１のカソード電極４
２側の面には下端が開放した形状のキャップ４４がその
下端縁を基板４１に固定して設けられており、これによ
り、キャップ４４と基板４１とに囲まれた内部空間が形
成される。カソード電極４２はこの内部空間に接し、ア
ノード電極４３は外部雰囲気に接する。

【０００３】キャップ４４には１個又は複数個の微細な
気体拡散孔４４ｂが穿設されており、これにより外部雰
囲気と内部空間とが気体拡散孔４４ｂを介して連通して
いる。また、キャップ４４上にはヒータ４６が設けられ
ており、このヒータ４６に通電することによりヒータ４
６が抵抗発熱して酸素センサが加熱されるようになって
いる。更に、カソード電極４２とアノード電極４３との
間には電源４９が接続され、この電源４９に直列及び並
列に夫々電流計４８及び電圧計４７が接続される。

【０００４】上述した構造を有する限界電流式酸素セン
サにおいては、ヒータ４６に給電して抵抗発熱させるこ
とによりセンサ自体を高温に加熱すると共に、電源４９
によりカソード電極４２とアノード電極４３との間に所
定の電圧（Ｖ）を印加する。そうすると、酸素ポンピン
グ作用により、固体電解質基板４１とキャップ４４とに
囲まれた内部空間に存在する気体中に含有されている酸
素分子（Ｏ₂ ）はカソード電極４２を介して電子を得
て、酸素イオンになり、固体電解質基板４１内に入る。
この酸素イオンは、基板４１内の酸素イオン空孔を介し
て基板４１内をその厚さ方向に移動する。そして、この
酸素イオンはアノード電極４３に到達して電子を放出
し、再び酸素分子となって外部に放出される。この酸素
イオンの移動により、アノード電極４３とカソード電極
４２との間に電流（Ａ）が流れる。

【０００５】ところで、酸素の移動によりセンサの内部
空間は負圧となり、気体拡散孔４４ｂを介して外部から
気体が流入する。このとき、気体の流入量は気体拡散孔
４４ｂにより制限されるため、酸素センサの電流−電圧
特性において、カソード電極４２及びアノード電極４３
間に印加する電圧を上昇させても電流が変化しない所謂
フラット域が観測される。この特性を限界電流特性とい
い、このときの電流を限界電流という。

【０００６】限界電流式酸素センサの限界電流の値は、
気体拡散孔の形状、使用時のセンサの温度及び雰囲気の
圧力が一定であるとすると、雰囲気中の酸素濃度に依存
する。従って、予め、限界電流値と酸素濃度との関係を
求めておけば、限界電流値を測定することにより酸素濃
度未知の雰囲気中の酸素濃度を知ることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
限界電流式酸素センサは必ず劣化し、寿命がくる。即
ち、限界電流式酸素センサを長期間使用すると、電流−
電圧特性曲線の傾きが小さくなる。このような現象が発
生すると、更に高い電圧を印加しないと限界電流特性を
得ることができなくなる。限界電流特性を得るために必
要な最小印加電圧値（以下、単に「最小印加電圧値」と
いう）が監視電圧値を超えると、酸素濃度の検出が不可
能になり、酸素センサとしての寿命が終了する。限界電
流式センサの寿命は、製造直後における最小印加電圧値
に関係し、監視電圧と前記最小印加電圧値との差が大き
いほど寿命は長くなるので、監視電圧は最小印加電圧と
水（Ｈ₂ Ｏ）分解電圧との中間の値にする。なぜなら
ば、水分解電圧以上の電圧を印加すると、Ｈ₂ Ｏ→Ｈ₂
＋１／２Ｏ₂ なる反応により酸素ガス（Ｏ₂ ）が発生す
るからである。従って、監視電圧の上限は水分解電圧に
より制限される。また、前記最小印加電圧値は、イオン
電流の立ち上がり特性に関係する。即ち、酸素イオンに
よる電流が流れ始める電圧が低く、且つ、電流−電圧特
性曲線のイオン電流立ち上がり部での傾きが大きいほ
ど、前記最小印加電圧値は低くなり、センサの寿命が長
くなる。しかし、従来の限界電流式酸素センサは、イオ
ン電流立ち上がり部での傾きが比較的小さく、前記最小
印加電圧値が比較的高いため、寿命が短い。また、従来
の限界電流式酸素センサは、動作温度が高く、高温に加
熱する必要があるという欠点もある。

【０００８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、低い電圧で電流が流れ始めると共に電流立
ち上がり部での電流−電圧特性曲線の傾きが大きくて寿
命が長く、比較的低温で動作可能な限界電流式酸素セン
サを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る限界電流式
酸素センサは、固体電解質部と、この固体電解質部を挟
んで配設された多孔質のアノード電極及びカソード電極
と、前記固体電解質部と前記カソード電極との間に介装
され多孔質の誘電体により構成されたバッファ層とを有
し、前記バッファ層の平均厚さが０．００５乃至０．０
８μｍであることを特徴とする。

【００１０】

【作用】固体電解質部とカソード電極との間に多孔質の
誘電体により構成されるバッファ層を設けると、酸素の
イオン化が活発化する。その理由は以下のように考える
ことができる。つまり、前記バッファ層が設けられた状
態でアノード電極とカソード電極との間に電圧を印加す
ると、このアノード電極とカソード電極との間の電界に
よりバッファ層内で分極が発生し、バッファ層の高電位
側（アノード電極側）の面に表面電荷が生じる。この表
面電荷により、酸素ガスのイオン化が活発化する。

【００１１】本発明に係る限界電流式酸素センサにおい
ては、固体電解質部とカソード電極との間に多孔質の誘
電体により構成されたバッファ層が介装されているた
め、酸素のイオン化が活発になり、低い電圧でイオン電
流が流れ始めると共に、電流−電圧特性曲線の電流の立
ち上がり部での傾きが大きい。従って、本発明に係る限
界電流式酸素センサは、最小印加電圧値が低く、寿命が
長い。また、酸素のイオン化が活発化するので、従来よ
りも低い温度で限界電流特性を得ることができる。

【００１２】但し、バッファ層は誘電体（即ち、絶縁
体）であるので、緻密な組織とすると導電性がなくな
り、酸素イオンがバッファ層を通過できなくなる。この
ため、前記バッファ層は、酸素イオンが通過できる程度
に多孔質な状態であることが必要である。

【００１３】また、バッファ層の厚さ（平均厚さ）は、
０．００５乃至０．０８μｍであることが必要である。
バッファ層の厚さが０．００５μｍ未満の場合は、酸素
のイオン化を活発化する効果を十分に得ることができな
い。また、バッファ層の厚さが０．０８μｍを超える
と、酸素イオンによる電流が流れにくくなり、例えばバ
ッファ層の厚さを０．１μｍ以上とすると、バッファ層
がない場合よりも電流値が低下してしまう。このため、
バッファ層の厚さは０．００５乃至０．０８μｍとす
る。なお、バッファ層のより好ましい範囲は０．０１乃
至０．０５μｍ、更に好ましい範囲は０．０２乃至０．
０４μｍである。

【００１４】バッファ層の材質としては、例えば、Ｂａ
ＴｉＯ₃ （チタン酸バリウム）、ＲｕＯ₂ （酸化ルテニ
ウム）又はＴｉＯ₂ （酸化チタン）等の誘電体を使用す
ることができる。このうち、ＢａＴｉＯ₃ はセンサの動
作温度（約４００℃）における比誘電率が約５００と高
く、酸素ガスのイオン化を活発化する効果が高い。この
ため、前記バッファ層は、ＢａＴｉＯ₃ により構成され
ていることが好ましい。また、前記バッファ層を固体電
解質中に電極材料を分散させた混合物により形成する
と、固体電解質部及びカソード電極に対する接合性が極
めて高く、電極と固体電解質部との結合を強固なものと
することができ、これによりイオン化が促進される。こ
のため、前記バッファ層は固体電解質中に電極材料を分
散させた混合物により形成してもよい。なお、バッファ
層の比誘電率は１００以上であることが好ましい。

【００１５】

【実施例】次に、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。図１は本発明の第１の実施例に係る
限界電流式酸素センサを示す断面図である。固体電解質
基板１は、安定化ジルコニア等の固体電解質物質を焼結
してペレット状にしたものである。この基板１の下面側
にはアノード電極３が形成されており、上面側にはバッ
ファ層２及びカソード電極４がこの順で積層されてい
る。アノード電極３及びカソード電極４はいずれもポー
ラスなＰｔ等により形成されている。また、バッファ層
２は、例えばＢａＴｉＯ₃ 等の誘電体によりポーラスな
状態に形成されており、その厚さは０．００５〜０．０
８μｍに設定されている。

【００１６】この基板１上には、キャップ５がその下端
縁を基板１の縁部に固定して設けられており、キャップ
５と基板１とに囲まれた内部空間が形成されている。こ
の内部空間は、キャップ５に設けられた気体拡散孔５ａ
を介して外部雰囲気に連通している。また、キャップ５
上にはヒータ６が設けられており、このヒータ６に通電
することにより、ヒータ６が抵抗発熱してセンサが加熱
されるようになっている。更に、アノード電極３とカソ
ード電極４との間には、電源８から電圧が印加されるよ
うになっている。

【００１７】なお、アノード電極３及びカソード電極４
は、基板１又はバッファ層２上にＰｔペースト又はＡｇ
ペーストをスクリーン印刷し、その後焼成することによ
り形成できる。また、これらのアノード電極３及びカソ
ード電極４は、スパッタ法又は真空蒸着法等の薄膜形成
技術を利用して形成してもよい。例えば、Ｐｔターゲッ
トを用いたＲＦスパッタ法により、これらの電極３，４
を形成することができる。

【００１８】このように構成された酸素センサにおい
て、ヒータ６に給電して抵抗発熱させると共に、電源８
によりアノード電極３とカソード電極４との間に所定の
電圧を印加する。そうすると、基板１とキャップ５とに
囲まれた内部空間に存在する気体中の酸素分子（酸素ガ
ス）のうちバッファ層近傍の部材に接触又は吸着したも
のがイオン化して酸素イオンになる。このとき、バッフ
ァ層４により酸素分子のイオン化が活発化する。酸素イ
オンは、バッファ層２を通過し、固体電解質基板１をそ
の厚さ方向に移動する。そして、この酸素イオンは、ア
ノード電極３に到達すると電子を放出し、酸素分子にな
って雰囲気中に放出される。この酸素の移動によりセン
サの内部空間が負圧になり、気体拡散孔５ａを介して外
部から気体が流入する。このとき、気体の流入量は気体
拡散孔５ａにより制限されるため、限界電流特性を示
す。

【００１９】本実施例においては、固体電解質基板とカ
ソード電極との間にバッファ層が設けられており、この
バッファ層により酸素ガスのイオン化が活発化するた
め、従来に比して低い電圧でイオン電流が流れ始めると
共に、電流−電圧特性曲線における電流立ち上がり部の
傾きが大きい。このため、限界電流特性を得ることがで
きる最小印加電圧値が低く、寿命が長いと共に、比較的
低温で動作させることが可能である。

【００２０】図２は本発明の第２の実施例に係る限界電
流式酸素センサを示す断面図である。基板１７は多孔質
セラミックスにより形成されおり、その内部を気体が比
較的容易に通流できる。この基板１７の下面側にはヒー
タ１６が形成されている。また、基板１７の上面中央部
には、ポーラスなＰｔ等により構成されたアノード電極
１３が設けられている。更に、基板１７上には、アノー
ド電極１３を被覆するようにして、安定化ジルコニア等
により構成された固体電解質層１１が設けられている。
この固体電解質層１１上には、ＢａＴｉＯ₃ 等の誘電体
からなるバッファ層１２及びポーラスなＰｔ等により構
成されたカソード電極１４がこの順で積層されている。
更にまた、基板１７上には、固体電解質層１１、バッフ
ァ層１２及びカソード電極１４を被覆するようにして、
多孔質セラミックス層１５が設けられている。このセラ
ミックス層１５は、多孔質であるものの通気性が比較的
小さい。更にまた、アノード電極１３とカソード電極１
４との間には、電源１８から電圧が印加されるようにな
っている。なお、アノード電極１３、固体電解質層１１
及びカソード電極１４は、スパッタ法又は真空蒸着法等
の薄膜形成技術を利用して形成することができる。

【００２１】このように構成された本実施例に係る酸素
センサにおいて、ヒータ１６に通電してセンサ自体を加
熱すると共に、アノード電極１３とカソード電極１４と
の間に所定の電圧を印加すると、カソード電極１４で酸
素がイオン化し、この酸素イオンが固体電解質層１１を
アノード電極１３側に移動する。そして、酸素イオンが
アノード電極１３に到達すると、電子を得て酸素分子と
なり、多孔質セラミックス基板１７を通って雰囲気中に
放出される。酸素の移動によりカソード電極１４及びそ
の近傍は負圧になり、多孔質セラミックス層１５を介し
て外部からカソード電極１４に気体が流入する。この場
合に、気体流入量は多孔質セラミック層１５の通気性に
より制限され、限界電流特性が得られる。

【００２２】本実施例においても、固体電解質層１１と
カソード電極１４との間にバッファ層１２が介装されて
いるため、酸素ガスのイオン化が活発化し、第１の実施
例と同様の効果を得ることができる。

【００２３】図３は本発明の第３の実施例に係る限界電
流式酸素センサを示す断面図である。基板２７は、比較
的通気性が低い多孔質セラミックスにより形成されてい
る。この基板２７の下面側にはヒータ２６が設けられて
いる。また、基板２７の上面中央部にはカソード電極２
４及びバッファ層２２がこの順で積層されている。更
に、基板２７上には、カソード電極２４及びバッファ層
２２を被覆するようにして、固体電解質層２１が形成さ
れている。そして、この固体電解質層２１上には、アノ
ード電極２３が設けられている。アノード電極２３及び
カソード電極２４はいずれもポーラスなＰｔ等により構
成されている。また、バッファ層２２はＢａＴｉＯ₃ 等
の誘電体によりポーラスな状態に形成されており、その
厚さは０．００５乃至０．０８μｍに設定されている。
更に、アノード電極２３とカソード電極２４との間に
は、電源２８から電圧が印加されるようになっている。

【００２４】このように構成された本実施例に係る酸素
センサにおいて、ヒータ２６に通電してセンサ自体を加
熱すると共に、アノード電極２３とカソード電極２４と
の間に所定の電圧を印加する。そうすると、カソード電
極２４で酸素ガスがイオン化する。この酸素イオンは、
バッファ層２２を通過し、固体電解質層２１をアノード
電極２３側に移動する。そして、アノード電極２３に到
達すると、酸素分子となって雰囲気中に放出される。こ
の酸素の移動によりカソード電極２４及びその近傍は負
圧になり、多孔質セラミック基板２７を介して外部から
カソード電極２４に気体が流入する。この場合に、気体
流入量は多孔質セラミック基板２７の通気性により制限
され、限界電流特性が得られる。

【００２５】本実施例においても、固体電解質層２１と
カソード電極２４との間にバッファ層２２が介装されて
いるため、酸素のイオン化が活発化し、第１の実施例と
同様の効果を得ることができる。

【００２６】以下、バッファ層の材質が相互に異なる限
界電流式酸素センサを製造し、バッファ層の材質と電流
−電圧特性との関係について調べた結果について説明す
る。なお、これらの酸素センサは、いずれも図３に示す
ように構成されている。

【００２７】先ず、基板として、多孔質のアルミナによ
り構成された基板を用意した。そして、この基板の一方
の面にヒータを形成し、他方の面にポーラスなＰｔによ
りカソード電極を形成した。次に、このカソード電極上
に、下記表１に示す材質のターゲットを用いて、ＲＦス
パッタ法により厚さが約０．０５μｍのバッファ層を形
成した。その後、これらのカソード電極及びバッファ層
を被覆するようにして、安定化ジルコニア（９２重量％
ＺｒＯ₂ −８重量％Ｙ₂Ｏ₃）からなる厚さが約２０μｍ
の固体電解質層を形成し、この固体電解質層上にポーラ
スなＰｔによりアノード電極を形成した。

【００２８】

【表１】

【００２９】このようにして形成した各酸素センサを約
３５０℃に加熱し、大気中において電流−電圧特性を調
べた。図４は、横軸に印加電圧をとり、縦軸にセンサに
流れる電流（イオン電流）をとって、バッファ層の材質
と電流−電圧特性との関係を示すグラフ図である。バッ
ファ層を誘電体（ＢａＴｉＯ₃ 、ＲｕＯ₂ 、ＴｉＯ₂、
Ｂｉ₂Ｏ₃及び混合物）で形成した酸素センサは、バッフ
ァ層が設けられていない酸素センサに比して、イオン電
流が流れ始める電圧が低いと共に、電流の立ち上がり部
での傾きが大きい。即ち、これらのセンサは、バッファ
層により酸素のイオン化が活発化していることが明らか
である。一方、バッファ層をＡｕ及びＣｒで形成した酸
素センサは、バッファ層が設けられていない酸素センサ
に比して、イオン電流が流れ始める電圧が高くなった。
また、バッファ層をＡｇとした場合は、バッファ層がな
い場合と殆ど同一の電流−電圧特性となった。

【００３０】次に、バッファ層の厚さが相互に異なる限
界電流式酸素センサを製造し、バッファ層の厚さと電流
−電圧特性との関係について調べた結果について説明す
る。

【００３１】上述の実施例１と同様にして、バッファ層
（ＢａＴｉＯ₃ ）の厚さが相互に異なる限界電流式酸素
センサを製造した。そして、これらの酸素センサを約４
００℃に加熱し、大気中において電流−電圧特性を調べ
た。図５は、横軸に印加電圧をとり、縦軸に電流値をと
って、バッファ層の厚さと電流−電圧特性との関係を示
すグラフ図、図６は、横軸にバッファ層の厚さをとり、
縦軸に０．８Ｖ印加時の電流値をとって、両者の関係を
示すグラフ図である。なお、図６中の破線は、バッファ
層がない場合の電流値を示す。図５から明らかなよう
に、バッファ層の厚さが０．００５乃至０．０８μｍの
場合は、バッファ層がない場合に比して電流の立ち上が
り部の傾きが大きい。また、図６から明らかなように、
バッファ層の厚さが０．００５乃至０．０８μｍの場合
は、バッファ層がない場合に比して、印加電圧が同じで
あっても電流値が大きい。特に、バッファ層の厚さが
０．０１乃至０．０５μｍの場合は、バッファ層がない
場合に比して約２倍の電流が流れる。

【００３２】なお、バッファ層をＲｕＯ₂ 又はＴｉＯ₂
で形成し、バッファ層の厚さと電流−電圧特性との関係
を調べた。その結果、バッファ層がない場合に比して電
流値が大きくなるバッファ層の厚さの範囲は、上述のＢ
ａＴｉＯ₃ の場合と略同じであった。

【００３３】次に、図２に示す限界電流式酸素センサを
製造し、その限界電流特性をバッファ層が設けられてい
ない比較例と比較した結果について説明する。図７は、
横軸に電圧をとり、縦軸に電流を取って、図２に示す構
造の酸素センサ（実施例６）及びバッファ層が設けられ
ていない以外は実施例６と同一の構造の酸素センサ（比
較例５）の電流−電圧特性を示すグラフ図である。但
し、センサの加熱温度は約３５０℃である。また、バッ
ファ層の材質はＢａＴｉＯ₃ であり、厚さは約０．０３
μｍである。この図７から明らかなように、実施例６の
酸素センサは、比較例５に比して低い電圧で限界電流特
性が得られる。

【００３４】図８は、上述の実施例６及び比較例５の酸
素センサを使用し、加熱温度を約３００℃にして電流−
電圧特性を調べた結果を示すグラフ図である。この図８
から明らかなように、バッファ層が設けられていない比
較例５は、限界電流特性を得ることができず、この温度
では酸素センサとして機能しない。一方、実施例に係る
酸素センサは、この温度でも限界電流特性を得ることが
できる。

【００３５】なお、上述した実施例においては、いずれ
も固体電解質部とカソード電極との間にのみバッファ層
が設けられている場合について説明したが、固体電解質
部とアノード電極との間にもバッファ層を設けることも
できる。これにより、酸素イオンの分子化が活発化す
る。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
固体電解質部とカソード電極との間に所定の厚さの誘電
体からなるバッファ層が設けられているから、酸素のイ
オン化が活発化し、低い電圧で電流が流れ始めると共
に、電流−電圧特性曲線の電流立ち上がり部での傾きが
大きい。従って、本発明に係る限界電流式酸素センサ
は、寿命が長く、比較的低い温度で動作可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る限界電流式酸素セ
ンサを示す断面図である。

【図２】本発明の第２の実施例に係る限界電流式酸素セ
ンサを示す断面図である。

【図３】本発明の第３の実施例に係る限界電流式酸素セ
ンサを示す断面図である。

【図４】バッファ層の材質と電流−電圧特性との関係を
示すグラフ図である。

【図５】バッファ層の厚さと電流−電圧特性との関係を
示すグラフ図である。

【図６】バッファ層の厚さと電流値との関係を示すグラ
フ図である。

【図７】本発明の実施例に係る酸素センサ及び比較例の
酸素センサの温度が約３５０℃における電流−電圧特性
を示すグラフ図である。

【図８】本発明の実施例に係る酸素センサ及び比較例の
酸素センサの温度が約３００℃における電流−電圧特性
を示すグラフ図である。

【図９】従来の限界電流式酸素センサの一例を示す断面
図である。

【符号の説明】

１，４１；固体電解質基板２，１２，２２；バッファ層３，１３，２３，４２；アノード電極４，１４，２４，４３；カソード電極５，４４；キャップ５ａ４４ｂ；気体拡散孔６，１６，２６，４６；ヒータ８，１８，２８，４９；電源１１，２１；固体電解質層１５；多孔質セラミックス層１７，２７；多孔質セラミックス基板

フロントページの続き (72)発明者石橋功成東京都江東区木場１丁目５番１号株式会社フジクラ内 (72)発明者加藤嘉則東京都江東区木場１丁目５番１号株式会社フジクラ内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固体電解質部と、この固体電解質部を挟
んで配設された多孔質のアノード電極及びカソード電極
と、前記固体電解質部と前記カソード電極との間に介装
され多孔質の誘電体により構成されたバッファ層とを有
し、前記バッファ層の平均厚さが０．００５乃至０．０
８μｍであることを特徴とする限界電流式酸素センサ。
【請求項２】前記バッファ層の平均厚さが０．０１乃
至０．０５μｍであることを特徴とする請求項１に記載
の限界電流式酸素センサ。
【請求項３】前記バッファ層はＢａＴｉＯ₃ を主成分
とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の限界電
流式酸素センサ。