JPH07215774A - セラミック成形体の強化方法 - Google Patents
セラミック成形体の強化方法Info
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- JPH07215774A JPH07215774A JP6026142A JP2614294A JPH07215774A JP H07215774 A JPH07215774 A JP H07215774A JP 6026142 A JP6026142 A JP 6026142A JP 2614294 A JP2614294 A JP 2614294A JP H07215774 A JPH07215774 A JP H07215774A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミック成形体に十分な機械的強度と耐亀
裂性を与えるとともに、焼成して得られるセラミックス
の機械的強度を向上することができるセラミック成形体
の強化方法を提供する。 【構成】 必須成分をSi及びNとし、元素O及びCの
合計含有量を10重量%以下にし、かつ元素Cの含有量
と元素Oの含有量との比を0.08〜2にしたファイバ
ー形態のセラミック成分をマトリックスとなるセラミッ
ク成分に添加してセラミック成形体を強化する方法であ
る。
裂性を与えるとともに、焼成して得られるセラミックス
の機械的強度を向上することができるセラミック成形体
の強化方法を提供する。 【構成】 必須成分をSi及びNとし、元素O及びCの
合計含有量を10重量%以下にし、かつ元素Cの含有量
と元素Oの含有量との比を0.08〜2にしたファイバ
ー形態のセラミック成分をマトリックスとなるセラミッ
ク成分に添加してセラミック成形体を強化する方法であ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックファイバー
を添加することによるセラミック成形体の強化方法に関
し、特に、セラミック成形体の焼成特性に悪影響を与え
ないセラミックファイバーを添加することによるセラミ
ック成形体の強化方法に関する。
を添加することによるセラミック成形体の強化方法に関
し、特に、セラミック成形体の焼成特性に悪影響を与え
ないセラミックファイバーを添加することによるセラミ
ック成形体の強化方法に関する。
【0002】
【従来の技術】セラミック焼結体は一般にセラミック粉
末を一定の形に成形して成形体(グリーン)とした後、
焼結させることにより得られる。セラミックスは一旦焼
結すると加工が困難であるので、焼結前に所望の形状に
成形する。このようなセラミック成形体の製造方法とし
ては、金型を用いてプレスする方法、射出成形法、セラ
ミックの泥漿を石膏型に鋳込むことによるスリップキャ
スト法、ラバープレスによる冷間静水圧プレス法等があ
るが、薄肉のものや複雑な形状の成形体を得るには、セ
ラミックの泥漿(又は樹脂等の混練物)を所定の形状の
型に注入することにより成形するスリップキャスト法、
射出成形法、ドクターブレードによる成形法等が好まし
い。
末を一定の形に成形して成形体(グリーン)とした後、
焼結させることにより得られる。セラミックスは一旦焼
結すると加工が困難であるので、焼結前に所望の形状に
成形する。このようなセラミック成形体の製造方法とし
ては、金型を用いてプレスする方法、射出成形法、セラ
ミックの泥漿を石膏型に鋳込むことによるスリップキャ
スト法、ラバープレスによる冷間静水圧プレス法等があ
るが、薄肉のものや複雑な形状の成形体を得るには、セ
ラミックの泥漿(又は樹脂等の混練物)を所定の形状の
型に注入することにより成形するスリップキャスト法、
射出成形法、ドクターブレードによる成形法等が好まし
い。
【0003】スリップキャスト法においては、セラミッ
ク原料を粉末状にして水に分散させ、得られた泥漿を石
膏型に入れ、水分を吸収透過させる。これによりセラミ
ック粉末が固まった状態の成形体(グリーン)が得られ
る。
ク原料を粉末状にして水に分散させ、得られた泥漿を石
膏型に入れ、水分を吸収透過させる。これによりセラミ
ック粉末が固まった状態の成形体(グリーン)が得られ
る。
【0004】ところで、窒化珪素系セラミックスは耐熱
性に優れ、高強度、高硬度であり、また比較的軽量でも
あるので、金属材料に代わる材料としてクローズアップ
されてきた。この窒化珪素系セラミックスは一般に難焼
結性であるために、窒化珪素粉末にY2 O3 やAl2 O3
等の焼結助剤やその他の添加剤の粉末を加えて上述のス
リップキャスト法等により成形体をまず製造し、これを
焼結していた。
性に優れ、高強度、高硬度であり、また比較的軽量でも
あるので、金属材料に代わる材料としてクローズアップ
されてきた。この窒化珪素系セラミックスは一般に難焼
結性であるために、窒化珪素粉末にY2 O3 やAl2 O3
等の焼結助剤やその他の添加剤の粉末を加えて上述のス
リップキャスト法等により成形体をまず製造し、これを
焼結していた。
【0005】しかしながら、上述のスリップキャスト法
等でセラミック成形体を作った場合、セラミック粉末に
バインダー等を配合してあるとしてもセラミック粉末粒
子間の結合力は必ずしも大きくないので、機械的強度が
大きくなく、破損するおそれが大きい。また石膏型中で
の脱水乾燥によりセラミック成形体は収縮し、亀裂が生
じやすい。このため薄肉成形体や複雑形状の成形体を破
損や亀裂のおそれなく製造することは困難であった。
等でセラミック成形体を作った場合、セラミック粉末に
バインダー等を配合してあるとしてもセラミック粉末粒
子間の結合力は必ずしも大きくないので、機械的強度が
大きくなく、破損するおそれが大きい。また石膏型中で
の脱水乾燥によりセラミック成形体は収縮し、亀裂が生
じやすい。このため薄肉成形体や複雑形状の成形体を破
損や亀裂のおそれなく製造することは困難であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、Si、N、C及びO成分からなるファイバーをポリ
シラザンの熱分解により作成し、これをセラミック原料
に加え、成形体の強度を上げることを提案した(特開平
4−238874号)。しかしながら、わずかなファイ
バーの組成の違いによりセラミックスの焼成中にファイ
バーの一部が消失して、その痕が空隙になる場合のある
ことが分かってきた。特にファイバーを大量に添加した
場合、これらの空隙が多くなり、焼成体の機械的強度を
低下させる問題が出てきた。
は、Si、N、C及びO成分からなるファイバーをポリ
シラザンの熱分解により作成し、これをセラミック原料
に加え、成形体の強度を上げることを提案した(特開平
4−238874号)。しかしながら、わずかなファイ
バーの組成の違いによりセラミックスの焼成中にファイ
バーの一部が消失して、その痕が空隙になる場合のある
ことが分かってきた。特にファイバーを大量に添加した
場合、これらの空隙が多くなり、焼成体の機械的強度を
低下させる問題が出てきた。
【0007】従って、本発明の目的は、かかる問題点を
解消し、セラミック成形体に十分な機械的強度と耐亀裂
性を与えてその破損や亀裂を防止するとともに、焼成し
て得られるセラミックスの機械的強度を向上することが
できるセラミック成形体の強化方法を提供することであ
る。
解消し、セラミック成形体に十分な機械的強度と耐亀裂
性を与えてその破損や亀裂を防止するとともに、焼成し
て得られるセラミックスの機械的強度を向上することが
できるセラミック成形体の強化方法を提供することであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく鋭意研究の結果、焼成に伴うセラミックフ
ァイバーの消失はファイバー中の酸素が炭素、珪素と反
応し、一酸化炭素、一酸化珪素を生成して離脱すること
によるものであり、セラミック成形体を成形する際に、
消失する元素O及びCの含有量を低く抑えた特定の組成
のセラミックファイバーをセラミック原料に加えれば、
得られる成形体の強度が向上するとともに、焼結して得
られるセラミックスの機械強度が向上することを発見
し、本発明に想到した。
を達成すべく鋭意研究の結果、焼成に伴うセラミックフ
ァイバーの消失はファイバー中の酸素が炭素、珪素と反
応し、一酸化炭素、一酸化珪素を生成して離脱すること
によるものであり、セラミック成形体を成形する際に、
消失する元素O及びCの含有量を低く抑えた特定の組成
のセラミックファイバーをセラミック原料に加えれば、
得られる成形体の強度が向上するとともに、焼結して得
られるセラミックスの機械強度が向上することを発見
し、本発明に想到した。
【0009】すなわち、マトリックスとなるセラミック
成分にファイバー形態のセラミック成分を添加してセラ
ミック成形体を強化する本発明の方法は、前記ファイバ
ーの必須成分をSi及びNとし、元素O及びCの合計含
有量を10重量%以下にし、かつ元素Cの含有量と元素
Oの含有量との比を0.08〜2にすることを特徴とす
る。
成分にファイバー形態のセラミック成分を添加してセラ
ミック成形体を強化する本発明の方法は、前記ファイバ
ーの必須成分をSi及びNとし、元素O及びCの合計含
有量を10重量%以下にし、かつ元素Cの含有量と元素
Oの含有量との比を0.08〜2にすることを特徴とす
る。
【0010】本発明を以下に詳細に説明する。本発明は
あらゆるセラミック成形体に適用可能であるが、ここで
は窒化珪素系セラミック成形体を例にとり具体的に説明
する。
あらゆるセラミック成形体に適用可能であるが、ここで
は窒化珪素系セラミック成形体を例にとり具体的に説明
する。
【0011】〔1〕セラミック成形体の原料 窒化珪素を主体とするセラミックスを製造する場合、用
いる窒化珪素粉末としてはα型及びβ型のいずれも使用
することができ、またその製造法としてはSiの直接窒化
法、シリカの還元・窒化法、シリコンジイミドの熱分解
法、SiH4 +NH3 +N2 の気相反応法等がある。窒化珪
素粉末は平均粒径が3〜0.01μmのものが好ましく、よ
り好ましくは1.5 〜0.1 μmである。
いる窒化珪素粉末としてはα型及びβ型のいずれも使用
することができ、またその製造法としてはSiの直接窒化
法、シリカの還元・窒化法、シリコンジイミドの熱分解
法、SiH4 +NH3 +N2 の気相反応法等がある。窒化珪
素粉末は平均粒径が3〜0.01μmのものが好ましく、よ
り好ましくは1.5 〜0.1 μmである。
【0012】なお、この窒化珪素に加えることのできる
セラミック添加剤としては、IIIA族、IIIB族、
IVB族元素の酸化物や窒化物、炭化物が挙げられる。
一般に、アルミナ、イットリア、酸化ハフニウム、マグ
ネシア等の添加剤は窒化珪素系セラミックスにおいては
焼結助剤として作用するものである。
セラミック添加剤としては、IIIA族、IIIB族、
IVB族元素の酸化物や窒化物、炭化物が挙げられる。
一般に、アルミナ、イットリア、酸化ハフニウム、マグ
ネシア等の添加剤は窒化珪素系セラミックスにおいては
焼結助剤として作用するものである。
【0013】先に出願人は焼結助剤成分を繊維状として
添加しグリーン強度を上げる出願を行っているが(特開
平4−238874)、その方法では添加する助剤成分
が限定され、得られる焼結体の特性も制約される等の問
題があった。本発明では、助剤成分を繊維状として添加
し、グリーン強度を上げるのではなく、以下に詳述する
セラミックファイバーを添加してグリーン強度を向上さ
せる。
添加しグリーン強度を上げる出願を行っているが(特開
平4−238874)、その方法では添加する助剤成分
が限定され、得られる焼結体の特性も制約される等の問
題があった。本発明では、助剤成分を繊維状として添加
し、グリーン強度を上げるのではなく、以下に詳述する
セラミックファイバーを添加してグリーン強度を向上さ
せる。
【0014】まずセラミックファイバーとしては、不純
物としてO及びCを含み、必須成分としてSi及びNから
なる組成のアモルファス又は結晶質のセラミックファイ
バーを用いる。このセラミックファイバーにおいて、元
素Cと元素Oの合計含有量は10重量%以下であり、元
素Cの含有量と元素Oの含有量との比が0.08〜2、
好ましくは0.1〜1.5、より好ましくは0.2〜
1.0である。このような組成とすることで、焼結後の
セラミックスの機械的強度及び高温強度を高いものに維
持することができる。一方、この組成を外れるセラミッ
クファイバーを用いると、セラミックスの機械的強度及
び高温強度が低下する。このようなセラミックファイバ
ーとしては、ポリシラザンを溶融紡糸後、熱分解したも
のを好適に使用することができる。
物としてO及びCを含み、必須成分としてSi及びNから
なる組成のアモルファス又は結晶質のセラミックファイ
バーを用いる。このセラミックファイバーにおいて、元
素Cと元素Oの合計含有量は10重量%以下であり、元
素Cの含有量と元素Oの含有量との比が0.08〜2、
好ましくは0.1〜1.5、より好ましくは0.2〜
1.0である。このような組成とすることで、焼結後の
セラミックスの機械的強度及び高温強度を高いものに維
持することができる。一方、この組成を外れるセラミッ
クファイバーを用いると、セラミックスの機械的強度及
び高温強度が低下する。このようなセラミックファイバ
ーとしては、ポリシラザンを溶融紡糸後、熱分解したも
のを好適に使用することができる。
【0015】〔2〕ポリシラザンの製造 ここで、まずこのセラミックファイバーの製造方法につ
いて説明する。本発明に用いるセラミックファイバー
は、上述の通りポリシラザンから製造されるが、このポ
リシラザンは例えば(R2 SiNR)3 等(ここでRはH
又はアルキル基を示す)のシクロシラザンとクロロシラ
ン(Rn SiCl4-n 、ただしn=0,1,2,3、RはH
又はアルキル基)とから合成することができる。以下こ
の方法を例にとり説明するが、本発明はこの方法に限定
されるものではなく、種々の方法で合成が可能である。
いて説明する。本発明に用いるセラミックファイバー
は、上述の通りポリシラザンから製造されるが、このポ
リシラザンは例えば(R2 SiNR)3 等(ここでRはH
又はアルキル基を示す)のシクロシラザンとクロロシラ
ン(Rn SiCl4-n 、ただしn=0,1,2,3、RはH
又はアルキル基)とから合成することができる。以下こ
の方法を例にとり説明するが、本発明はこの方法に限定
されるものではなく、種々の方法で合成が可能である。
【0016】まず、シクロシラザンとしてヘキサメチル
シクロトリシラザン(Me2 SiNH)3を用い、これにクロ
ロシランとしてトリクロロメチルシランを混合する。混
合比は、モル比でヘキサメチルシクロトリシラザン対ト
リクロロメチルシランが1:1〜1:5、好ましくは
1:3程度とする。
シクロトリシラザン(Me2 SiNH)3を用い、これにクロ
ロシランとしてトリクロロメチルシランを混合する。混
合比は、モル比でヘキサメチルシクロトリシラザン対ト
リクロロメチルシランが1:1〜1:5、好ましくは
1:3程度とする。
【0017】上述のヘキサメチルシクロトリシラザンと
トリクロロメチルシランとの混合物を190 〜195 ℃で加
熱還流する。これによってヘキサメチルシクロトリシラ
ザンが開環し、クロロシラザンオリゴマーが生成され
る。なお、ヘキサメチルシクロトリシラザンとトリクロ
ロメチルシランとからクロロシラザンオリゴマーを製造
する工程は12時間程度で完了する。
トリクロロメチルシランとの混合物を190 〜195 ℃で加
熱還流する。これによってヘキサメチルシクロトリシラ
ザンが開環し、クロロシラザンオリゴマーが生成され
る。なお、ヘキサメチルシクロトリシラザンとトリクロ
ロメチルシランとからクロロシラザンオリゴマーを製造
する工程は12時間程度で完了する。
【0018】さらに、この溶液に対してアンモニアガス
を吹き込みアンモノリシスを行う。吹き込むアンモニア
ガスの量は10〜90リットル/時間、好ましくは30
〜60リットル/時間である。このアンモノリシスによ
り、クロロシラザンオリゴマーはアミノシラザンオリゴ
マーとなる。アンモノリシスにより副生する塩化アンモ
ニウムの結晶は吸引ろ過により分離除去する。
を吹き込みアンモノリシスを行う。吹き込むアンモニア
ガスの量は10〜90リットル/時間、好ましくは30
〜60リットル/時間である。このアンモノリシスによ
り、クロロシラザンオリゴマーはアミノシラザンオリゴ
マーとなる。アンモノリシスにより副生する塩化アンモ
ニウムの結晶は吸引ろ過により分離除去する。
【0019】次に、このアミノシラザンオリゴマーを窒
素ガス等の不活性ガス中で、250 〜400 ℃程度に加熱し
ながら脱アンモニア工程を行い、熱可塑性を示す固体状
のポリシラザンを調製する。ポリシラザンの軟化点は加
熱の条件により調整可能であるが、50〜200 ℃程度が好
ましい。
素ガス等の不活性ガス中で、250 〜400 ℃程度に加熱し
ながら脱アンモニア工程を行い、熱可塑性を示す固体状
のポリシラザンを調製する。ポリシラザンの軟化点は加
熱の条件により調整可能であるが、50〜200 ℃程度が好
ましい。
【0020】〔3〕セラミックファイバーの製造 得られたポリシラザンを軟化点以上の温度に保ってこれ
を溶融し、25〜400m/分程度の巻き取り速度で紡
糸する。これによって5〜30μm径のファイバーが得ら
れる。
を溶融し、25〜400m/分程度の巻き取り速度で紡
糸する。これによって5〜30μm径のファイバーが得ら
れる。
【0021】得られたファイバーを窒素ガスでバブリン
グしたクロロシラン、例えばトリクロロメチルシランを
流してファイバーに付加する。付加するクロロシランの
流量はバブリングする窒素ガスの流量として10〜50
0ml/分とするのが好ましい。処理時間については処
理するファイバーの量により適宜調整するが、通常1〜
48時間で終了する。また処理温度はファイバーの軟化
温度以下とする。このクロロシランの付加により、ファ
イバー表面にクロロシランとポリシラザンの架橋反応が
起こる。
グしたクロロシラン、例えばトリクロロメチルシランを
流してファイバーに付加する。付加するクロロシランの
流量はバブリングする窒素ガスの流量として10〜50
0ml/分とするのが好ましい。処理時間については処
理するファイバーの量により適宜調整するが、通常1〜
48時間で終了する。また処理温度はファイバーの軟化
温度以下とする。このクロロシランの付加により、ファ
イバー表面にクロロシランとポリシラザンの架橋反応が
起こる。
【0022】次に、アンモニアガスを流しながら不融化
処理を行う。不融化処理温度は50℃〜ファイバーの軟
化温度とするのが好ましい。また処理時間は、この場合
も処理するファイバー量によって適宜調整する。アンモ
ニアの存在下で不融化処理を行うことにより、ファイバ
ー表面の塩素基及び炭化水素基がアンモニアによって置
換され、ファイバー表面の架橋反応が更に進むため、不
融化が達成される。
処理を行う。不融化処理温度は50℃〜ファイバーの軟
化温度とするのが好ましい。また処理時間は、この場合
も処理するファイバー量によって適宜調整する。アンモ
ニアの存在下で不融化処理を行うことにより、ファイバ
ー表面の塩素基及び炭化水素基がアンモニアによって置
換され、ファイバー表面の架橋反応が更に進むため、不
融化が達成される。
【0023】最後に、ファイバーをアンモニア又は水素
及びこれらと窒素との混合ガス中で、800 〜1400℃で
0.5〜4時間程度焼成することにより、ファイバー中
のC、O含有量を減少させ、上述の組成(SiとNとC、
さらに不純物としてOを含む)のセラミックファイバー
を得る。最終的に得られたセラミックファイバーの径は
1〜20μm程度となる。
及びこれらと窒素との混合ガス中で、800 〜1400℃で
0.5〜4時間程度焼成することにより、ファイバー中
のC、O含有量を減少させ、上述の組成(SiとNとC、
さらに不純物としてOを含む)のセラミックファイバー
を得る。最終的に得られたセラミックファイバーの径は
1〜20μm程度となる。
【0024】なお、セラミック成形体に用いるセラミッ
クファイバーは平均直径が20μm以下、特に3〜10μ
m、繊維長は10〜 500μm、特に 100〜 300μmに調整
することが望ましい。平均直径及びファイバー長が大き
くなりすぎると分散性が低下し、焼結後の成形品に欠陥
が生じるおそれが大きく、また焼結密度が低下する。一
方、平均直径やファイバー長が小さすぎると、セラミッ
クファイバーの添加による補強効果が十分に得られな
い。
クファイバーは平均直径が20μm以下、特に3〜10μ
m、繊維長は10〜 500μm、特に 100〜 300μmに調整
することが望ましい。平均直径及びファイバー長が大き
くなりすぎると分散性が低下し、焼結後の成形品に欠陥
が生じるおそれが大きく、また焼結密度が低下する。一
方、平均直径やファイバー長が小さすぎると、セラミッ
クファイバーの添加による補強効果が十分に得られな
い。
【0025】〔4〕セラミック成形体の製造 上述のセラミックファイバーを、焼結助剤成分と主成分
の窒化珪素とからなるマトリックス成分に添加してセラ
ミック成形体を製造するが、本発明によるセラミック成
形体の強化方法においては、ファイバー中の元素Oの含
有量と前記マトリックス中の元素Oの含有量との比が6
以下、前記ファイバー中の元素Siの含有量と前記マト
リックス中の元素Siの含有量との比が0.8以上、前
記ファイバー中の元素Nの含有量と前記マトリックス中
の元素Nの含有量との比が0.6以上となるように配合
するのが好ましい。このように配合することによって、
セラミック成形体中の分解に関与する酸素含有量を抑え
ることができ、焼成時に消失する炭素、珪素の酸化物の
量を低く抑えることができる。
の窒化珪素とからなるマトリックス成分に添加してセラ
ミック成形体を製造するが、本発明によるセラミック成
形体の強化方法においては、ファイバー中の元素Oの含
有量と前記マトリックス中の元素Oの含有量との比が6
以下、前記ファイバー中の元素Siの含有量と前記マト
リックス中の元素Siの含有量との比が0.8以上、前
記ファイバー中の元素Nの含有量と前記マトリックス中
の元素Nの含有量との比が0.6以上となるように配合
するのが好ましい。このように配合することによって、
セラミック成形体中の分解に関与する酸素含有量を抑え
ることができ、焼成時に消失する炭素、珪素の酸化物の
量を低く抑えることができる。
【0026】なお、窒化珪素粉末は72重量%以上、上
述したポリシラザンから製造されるセラミックファイバ
ーは1〜20重量%の割合とするのがよい。またAl2 O
3 、Y2 O3 、HfO2 等の焼結助剤の配合量は3〜8
重量%とするのがよい。セラミックファイバーの配合量
が上記下限値より少ないと補強作用が十分でなく、セラ
ミック成形体に破損や亀裂が起こりやすくなる。
述したポリシラザンから製造されるセラミックファイバ
ーは1〜20重量%の割合とするのがよい。またAl2 O
3 、Y2 O3 、HfO2 等の焼結助剤の配合量は3〜8
重量%とするのがよい。セラミックファイバーの配合量
が上記下限値より少ないと補強作用が十分でなく、セラ
ミック成形体に破損や亀裂が起こりやすくなる。
【0027】本発明のセラミック成形体は上記成分の他
に、少量のワックスもしくは樹脂等の有機バインダーや
有機物又は金属繊維等を、所望により含有してもよい。
に、少量のワックスもしくは樹脂等の有機バインダーや
有機物又は金属繊維等を、所望により含有してもよい。
【0028】次に本発明のセラミック成形体を製造する
方法について説明する。まず主成分となる窒化珪素粉
末、Al2 O3 、Y2 O3 、HfO2 等の焼結助剤、及び
ポリシラザンから製造されたセラミックファイバーを水
又は有機溶媒からなる分散媒に均一に分散させ、泥漿と
する。この際全てのセラミック原料を同時に配合しても
よいが、まず分散性のよいSi3 N4 粉末と焼結助剤粉末
を配合した後で、ポリシラザンから製造されたセラミッ
クファイバーを配合するのが好ましい。
方法について説明する。まず主成分となる窒化珪素粉
末、Al2 O3 、Y2 O3 、HfO2 等の焼結助剤、及び
ポリシラザンから製造されたセラミックファイバーを水
又は有機溶媒からなる分散媒に均一に分散させ、泥漿と
する。この際全てのセラミック原料を同時に配合しても
よいが、まず分散性のよいSi3 N4 粉末と焼結助剤粉末
を配合した後で、ポリシラザンから製造されたセラミッ
クファイバーを配合するのが好ましい。
【0029】分散媒として水を使用する場合、アンモニ
ア水を加えるのが好ましい。NH4 OHは分散性が良いた
め、高濃度、低粘度のセラミックスラリーを調製するこ
とができ、乾燥後、高密度の成形体を得ることができ
る。また、焼結後の成形品にナトリウム、カルシウム等
の不純物が残らず、高純度の焼結体を得ることができ、
更には粒界のガラス相を減少でき、焼結体の高温強度を
高く保持することができる(粒界のガラス相が増加する
と、焼結体の高温での強度が低下する。)。また分散媒
として、ホルムアミドのような極性の高い有機溶媒を使
用するのも、窒化珪素の酸化を防止し、焼結体の高温強
度を高く保つうえで好適である。本発明において特に制
限はないが、成形性の観点から泥漿の濃度は40〜60体積
%とするのが好ましい。
ア水を加えるのが好ましい。NH4 OHは分散性が良いた
め、高濃度、低粘度のセラミックスラリーを調製するこ
とができ、乾燥後、高密度の成形体を得ることができ
る。また、焼結後の成形品にナトリウム、カルシウム等
の不純物が残らず、高純度の焼結体を得ることができ、
更には粒界のガラス相を減少でき、焼結体の高温強度を
高く保持することができる(粒界のガラス相が増加する
と、焼結体の高温での強度が低下する。)。また分散媒
として、ホルムアミドのような極性の高い有機溶媒を使
用するのも、窒化珪素の酸化を防止し、焼結体の高温強
度を高く保つうえで好適である。本発明において特に制
限はないが、成形性の観点から泥漿の濃度は40〜60体積
%とするのが好ましい。
【0030】本発明において、成形体を成形するには、
射出成形、スリップキャスト成形、ドクターブレードに
よる成形等が適用されるが、特にスリップキャスト成形
の場合に良好な結果が得られる。
射出成形、スリップキャスト成形、ドクターブレードに
よる成形等が適用されるが、特にスリップキャスト成形
の場合に良好な結果が得られる。
【0031】最後に得られた窒化珪素系セラミック成形
体を焼結する。この焼結工程において、成形体中のセラ
ミックファイバーはα及びβ−Si3 N4 へ変化し、も
って均一なセラミックスが形成される。これにより機械
的特性及び耐熱性に良好な焼結体が得られる。
体を焼結する。この焼結工程において、成形体中のセラ
ミックファイバーはα及びβ−Si3 N4 へ変化し、も
って均一なセラミックスが形成される。これにより機械
的特性及び耐熱性に良好な焼結体が得られる。
【0032】
【作用】本発明の方法によれば、セラミック粉末を固め
てなる非常に破損し易い成形体を、セラミックファイバ
ーを補強材として使用することにより補強し、セラミッ
ク成形体の機械的強度、伸び、耐歪性等を大幅に向上さ
せることができる。その上特定組成のセラミックファイ
バーを添加することにより、焼成時におけるセラミック
ファイバーの消失を低減させることができ、焼結体の機
械的強度を向上させることができる。
てなる非常に破損し易い成形体を、セラミックファイバ
ーを補強材として使用することにより補強し、セラミッ
ク成形体の機械的強度、伸び、耐歪性等を大幅に向上さ
せることができる。その上特定組成のセラミックファイ
バーを添加することにより、焼成時におけるセラミック
ファイバーの消失を低減させることができ、焼結体の機
械的強度を向上させることができる。
【0033】
【実施例】本発明を以下の実施例により更に詳細に説明
する。実施例1 〔1〕ポリシラザンの合成 冷却塔及びコンデンサを備え、窒素ガスで十分置換した
500mlの三つ口フラスコに、ヘキサメチルシクロトリシ
ラザン54.8g、トリクロロメチルシラン111g
(ヘキサメチルシクロトリシラザン:トリクロロメチル
シランのモル比は1:3である。)を入れ、マントルヒ
ーターにより加熱して190〜195℃に保った状態で
12時間加熱還流した。室温に冷却した後、副生された
塩化アンモニウムを濾過し、クロロシラザンオリゴマー
136gを得た。
する。実施例1 〔1〕ポリシラザンの合成 冷却塔及びコンデンサを備え、窒素ガスで十分置換した
500mlの三つ口フラスコに、ヘキサメチルシクロトリシ
ラザン54.8g、トリクロロメチルシラン111g
(ヘキサメチルシクロトリシラザン:トリクロロメチル
シランのモル比は1:3である。)を入れ、マントルヒ
ーターにより加熱して190〜195℃に保った状態で
12時間加熱還流した。室温に冷却した後、副生された
塩化アンモニウムを濾過し、クロロシラザンオリゴマー
136gを得た。
【0034】メカニカルスターラー、冷却管及び吹き込
み管を備え、窒素で十分置換した2リットルの三口フラ
スコに得られたクロロシラザンオリゴマー100gを入
れ、約1リットルのシクロヘキサンを溶媒として加え、
氷冷し、攪拌しながらアンモニアガスを約60リットル
/時間の割合で4時間吹き込んでアンモノリシスを行っ
た。その後、副生された塩化アンモニウムを吸引濾過
し、さらに溶媒を除いて無色の粘性液体(アミノシラザ
ンオリゴマー)76gを得た。
み管を備え、窒素で十分置換した2リットルの三口フラ
スコに得られたクロロシラザンオリゴマー100gを入
れ、約1リットルのシクロヘキサンを溶媒として加え、
氷冷し、攪拌しながらアンモニアガスを約60リットル
/時間の割合で4時間吹き込んでアンモノリシスを行っ
た。その後、副生された塩化アンモニウムを吸引濾過
し、さらに溶媒を除いて無色の粘性液体(アミノシラザ
ンオリゴマー)76gを得た。
【0035】得られたアミノシラザンオリゴマー50g
を反応容器に入れ、窒素気流中、350℃の温度で30
分間熱処理を行い、熱可塑性を示す固体ポリシラザン3
2gを得た。ポリシラザンの分子量をゲルパーミエーシ
ョンクロマトグラフィ(GPC)法により求めた結果、
ポリシラザンの数平均分子量は1500であった。ま
た、軟化点を荷重1gのペネトレーション法により測定
した結果、軟化点は86℃であった。
を反応容器に入れ、窒素気流中、350℃の温度で30
分間熱処理を行い、熱可塑性を示す固体ポリシラザン3
2gを得た。ポリシラザンの分子量をゲルパーミエーシ
ョンクロマトグラフィ(GPC)法により求めた結果、
ポリシラザンの数平均分子量は1500であった。ま
た、軟化点を荷重1gのペネトレーション法により測定
した結果、軟化点は86℃であった。
【0036】〔2〕セラミックファイバーの製造 このポリシラザンを銅製の紡糸ノズルに入れ、180℃
に30分間保持して脱気処理を行った後、温度を130
℃まで下げて10分間保持し、圧力0.2kg/cm2
の窒素ガスで溶融したポリシラザンをノズルより押し出
し、直径120mmのボビンに70m/分の速度で巻き
取って紡糸した。得られたゲル状ファイバーの平均直径
は10〜20μmであった。
に30分間保持して脱気処理を行った後、温度を130
℃まで下げて10分間保持し、圧力0.2kg/cm2
の窒素ガスで溶融したポリシラザンをノズルより押し出
し、直径120mmのボビンに70m/分の速度で巻き
取って紡糸した。得られたゲル状ファイバーの平均直径
は10〜20μmであった。
【0037】約100mmにチョッピングしたファイバ
ー50gをガス導入管を備えたアルミナ質管状炉に入
れ、窒素ガスにより置換した後、管内に窒素ガスでバブ
リングしたトリクロロメチルシランを300ml/分の
流量で10時間流した。
ー50gをガス導入管を備えたアルミナ質管状炉に入
れ、窒素ガスにより置換した後、管内に窒素ガスでバブ
リングしたトリクロロメチルシランを300ml/分の
流量で10時間流した。
【0038】炉内温度を5℃/分の速度で80℃まで上
昇し、アンモニアガスを500ml/分の流量で4時間
流し、不融化処理を行った。続いて、アンモニアガスの
流量を100ml/分とし、昇温速度を10℃/分で1
200℃まで昇温し、30分間保持して熱分解処理を行
い、無機セラミックファイバー23gを得た。
昇し、アンモニアガスを500ml/分の流量で4時間
流し、不融化処理を行った。続いて、アンモニアガスの
流量を100ml/分とし、昇温速度を10℃/分で1
200℃まで昇温し、30分間保持して熱分解処理を行
い、無機セラミックファイバー23gを得た。
【0039】得られたセラミックファイバーは、直径8
〜15μmの白色ファイバーであり、成形体の補強に必
要な引張強度のレベル(30kg/mm2 以上)に達してい
た。このセラミックファイバーの元素分析を行い、元素
Si、N、C及びOの含有率を表1に示す。
〜15μmの白色ファイバーであり、成形体の補強に必
要な引張強度のレベル(30kg/mm2 以上)に達してい
た。このセラミックファイバーの元素分析を行い、元素
Si、N、C及びOの含有率を表1に示す。
【0040】〔3〕セラミック成形体の製造 ミキサーにて粉砕したセラミックファイバーのうち、#
600μmのフィルターを通過し、#350μmのフィ
ルターを通過しないものを用いた。これらのファイバー
の長さは400〜600μmである。
600μmのフィルターを通過し、#350μmのフィ
ルターを通過しないものを用いた。これらのファイバー
の長さは400〜600μmである。
【0041】窒化珪素粉末(平均粒径0.5 μm)95.
38重量%と、イットリア粉末(平均粒径0.8 μm)
1.5重量%と、酸化ハフニウム粉末(平均粒径1μ
m)2.5重量%とを混合したスラリーに、上記ファイ
バー0.62重量%を添加し、均一に混合した後、幅3
0mm、高さ6mm、長さ50mmの成形体をスリップ
キャスト法により作製した。
38重量%と、イットリア粉末(平均粒径0.8 μm)
1.5重量%と、酸化ハフニウム粉末(平均粒径1μ
m)2.5重量%とを混合したスラリーに、上記ファイ
バー0.62重量%を添加し、均一に混合した後、幅3
0mm、高さ6mm、長さ50mmの成形体をスリップ
キャスト法により作製した。
【0042】なお、この成形体は取り扱い中に破損した
り、ヒビが入ったりするようなことがなく、また乾燥後
の収縮も小さかった。
り、ヒビが入ったりするようなことがなく、また乾燥後
の収縮も小さかった。
【0043】〔4〕セラミック焼結体の製造 次いで、この成形体を窒素ガス中(圧力9atm)で1
900℃の温度にて4時間焼結した。得られた窒化珪素
焼結体から幅4mm、高さ3mm、長さ40mmの角柱
を切り出して、室温及び1400℃での曲げ強度をJI
S R1601(1981) に準拠して測定した。結果
を表2に示す。また、焼成したセラミックスマトリック
ス中のファイバーの電子顕微鏡写真を図1に示す。
900℃の温度にて4時間焼結した。得られた窒化珪素
焼結体から幅4mm、高さ3mm、長さ40mmの角柱
を切り出して、室温及び1400℃での曲げ強度をJI
S R1601(1981) に準拠して測定した。結果
を表2に示す。また、焼成したセラミックスマトリック
ス中のファイバーの電子顕微鏡写真を図1に示す。
【0044】比較例1 不融化処理の条件と熱分解処理の雰囲気ガス以外は実施
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
窒素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。また、焼成したセラ
ミックスマトリックス中のファイバーの電子顕微鏡写真
を図2に示す。
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
窒素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。また、焼成したセラ
ミックスマトリックス中のファイバーの電子顕微鏡写真
を図2に示す。
【0045】比較例2 不融化処理の条件と熱分解処理の雰囲気ガス以外は実施
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で48時間行い、熱分解処理は
窒素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で48時間行い、熱分解処理は
窒素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
【0046】比較例3 不融化処理の条件と熱分解処理の雰囲気ガス以外は実施
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
水素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
水素ガス雰囲気(圧力1atm)下で行った。得られた
セラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
【0047】比較例4 不融化処理の条件と熱分解処理の雰囲気ガス以外は実施
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
水素ガス雰囲気(圧力10atm)下で行った。得られ
たセラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
例1と同じ方法で行った。不融化処理は、炉内温度40
℃、湿度90%の雰囲気で64時間行い、熱分解処理は
水素ガス雰囲気(圧力10atm)下で行った。得られ
たセラミックファイバーの元素分析を行い、元素Si、
N、C及びOの含有率を表1に示す。得られた窒化珪素
焼結体も実施例1と同様に室温及び1400℃での曲げ
強度を測定し、結果を表2に示す。
【0048】比較例5 不融化処理の条件以外は実施例1と同じ方法で行った。
不融化処理は、炉内温度40℃、湿度90%の雰囲気で
64時間行った。得られたセラミックファイバーの元素
分析を行い、元素Si、N、C及びOの含有率を表1に
示す。得られた窒化珪素焼結体も実施例1と同様に室温
及び1400℃での曲げ強度を測定し、結果を表2に示
す。また、焼成したセラミックスマトリックス中のファ
イバーの電子顕微鏡写真を図3に示す。
不融化処理は、炉内温度40℃、湿度90%の雰囲気で
64時間行った。得られたセラミックファイバーの元素
分析を行い、元素Si、N、C及びOの含有率を表1に
示す。得られた窒化珪素焼結体も実施例1と同様に室温
及び1400℃での曲げ強度を測定し、結果を表2に示
す。また、焼成したセラミックスマトリックス中のファ
イバーの電子顕微鏡写真を図3に示す。
【0049】比較例6 熱分解処理の雰囲気ガス以外は実施例1と同じ方法で行
った。熱分解処理は水素ガス雰囲気(圧力1atm)下
で行った。得られたセラミックファイバーの元素分析を
行い、元素Si、N、C及びOの含有率を表1に示す。
得られた窒化珪素焼結体も実施例1と同様に室温及び1
400℃での曲げ強度を測定し、結果を表2に示す。
った。熱分解処理は水素ガス雰囲気(圧力1atm)下
で行った。得られたセラミックファイバーの元素分析を
行い、元素Si、N、C及びOの含有率を表1に示す。
得られた窒化珪素焼結体も実施例1と同様に室温及び1
400℃での曲げ強度を測定し、結果を表2に示す。
【0050】表1 セラミックファイバーの元素分析 元素含有率(重量%)No. Si O N C 実施例1 58.6 2.8 39.2 0.8 比較例1 50.6 17 17 16 比較例2 51.2 11 20 16 比較例3 56 16 22 7.6 比較例4 54.7 22 16 4.6 比較例5 44.7 29 22 0.3 比較例6 57.3 29.8 2.6 9.8
【0051】表2 セラミック焼結体の曲げ強度 曲げ強度(MPa)No. 室温 1400℃ 実施例1 508 553 比較例1 420 425 比較例2 432 430 比較例3 438 440 比較例4 427 432 比較例5 220 380比較例6 481 479
【0052】表1から分かるように、実施例1で得られ
たセラミックファイバーの元素CとOの合計含有量は1
0重量%以下であり、元素Cと元素Oの含有量の比が
0.29であった。それに対して、比較例1〜6で得ら
れたセラミックファイバーの元素CとOの合計含有量は
いずれも10重量%以上であった。その結果、表2から
明らかなように、実施例1の焼結体の曲げ強度が比較例
1〜6のどれよりも優れている。
たセラミックファイバーの元素CとOの合計含有量は1
0重量%以下であり、元素Cと元素Oの含有量の比が
0.29であった。それに対して、比較例1〜6で得ら
れたセラミックファイバーの元素CとOの合計含有量は
いずれも10重量%以上であった。その結果、表2から
明らかなように、実施例1の焼結体の曲げ強度が比較例
1〜6のどれよりも優れている。
【0053】また、図1から分かるように、実施例1の
焼結体では、マトリックスとファイバーの間に空隙がな
く、均一な組織になっているため、機械的強度が低下し
ない。しかし、比較例1の焼結体では、図2に示すよう
にファイバーが消失して欠陥となり、また比較例5の焼
結体では図3に示すようにファイバーの残留物とマトリ
ックスとの間に空隙が存在し、焼結体の強度を低減させ
る原因となる。
焼結体では、マトリックスとファイバーの間に空隙がな
く、均一な組織になっているため、機械的強度が低下し
ない。しかし、比較例1の焼結体では、図2に示すよう
にファイバーが消失して欠陥となり、また比較例5の焼
結体では図3に示すようにファイバーの残留物とマトリ
ックスとの間に空隙が存在し、焼結体の強度を低減させ
る原因となる。
【0054】
【発明の効果】上記の通り、本発明のセラミック成形体
の強化方法によれば、酸素と炭素の含有量を抑えたセラ
ミックファイバーを添加することにより、セラミック成
形体を強化するとともに、焼結に伴うセラミックスの機
械的強度の低減をなくし、高い機械的強度を有する焼結
体を得ることができる。
の強化方法によれば、酸素と炭素の含有量を抑えたセラ
ミックファイバーを添加することにより、セラミック成
形体を強化するとともに、焼結に伴うセラミックスの機
械的強度の低減をなくし、高い機械的強度を有する焼結
体を得ることができる。
【0055】本発明の方法から得られた焼結体は、良好
な機械的強度及び耐熱性を有し、ターボチャージャのロ
ータブレードのような自動車部品等に使用するのに適す
る。
な機械的強度及び耐熱性を有し、ターボチャージャのロ
ータブレードのような自動車部品等に使用するのに適す
る。
【図1】実施例1において得られたセラミック焼結体の
電子顕微鏡写真である。
電子顕微鏡写真である。
【図2】比較例1において得られたセラミック焼結体の
電子顕微鏡写真である(倍率2000)。
電子顕微鏡写真である(倍率2000)。
【図3】比較例5において得られたセラミック焼結体の
電子顕微鏡写真である(倍率2000)。
電子顕微鏡写真である(倍率2000)。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成7年2月23日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】なお、セラミック成形体に用いるセラミッ
クファイバーは平均直径が20μm以下、特に3〜10
μm、繊維長は10〜600μm、特に100〜300
μmに調整することが望ましい。平均直径及びファイバ
ー長が大きくなりすぎると分散性が低下し、焼結後の成
形品に欠陥が生じるおそれが大きく、また焼結密度が低
下する。一方、平均直径やファイバー長が小さすぎる
と、セラミックファイバーの添加による補強効果が十分
に得られない。
クファイバーは平均直径が20μm以下、特に3〜10
μm、繊維長は10〜600μm、特に100〜300
μmに調整することが望ましい。平均直径及びファイバ
ー長が大きくなりすぎると分散性が低下し、焼結後の成
形品に欠陥が生じるおそれが大きく、また焼結密度が低
下する。一方、平均直径やファイバー長が小さすぎる
と、セラミックファイバーの添加による補強効果が十分
に得られない。
Claims (3)
- 【請求項1】 マトリックスとなるセラミック成分にフ
ァイバー形態のセラミック成分を添加してセラミック成
形体を強化する方法において、前記ファイバーの必須成
分をSi及びNとし、元素O及びCの合計含有量を10
重量%以下にし、かつ元素Cの含有量と元素Oの含有量
との比を0.08〜2にすることを特徴とするセラミッ
ク成形体の強化方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載のセラミック成形体の強
化方法において、前記ファイバー中の元素Oの含有量と
前記マトリックス中の元素Oの含有量との比を6以下に
することを特徴とするセラミック成形体の強化方法。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載のセラミック成形
体の強化方法において、前記ファイバー中の元素Siの
含有量と前記マトリックス中の元素Siの含有量との比
を0.8以上、前記ファイバー中の元素Nの含有量と前
記マトリックス中の元素Nの含有量との比を0.6以上
にすることを特徴とするセラミック成形体の強化方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6026142A JPH07215774A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | セラミック成形体の強化方法 |
DE1995102385 DE19502385C2 (de) | 1994-01-28 | 1995-01-26 | Verfahren zum Verstärken von keramischen Formkörpern und verstärkte keramische Formkörper |
US08/877,953 US5856253A (en) | 1994-01-28 | 1997-06-17 | Method of reinforcing molded body of ceramic and reinforced mold body of ceramic |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6026142A JPH07215774A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | セラミック成形体の強化方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07215774A true JPH07215774A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=12185301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6026142A Pending JPH07215774A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | セラミック成形体の強化方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07215774A (ja) |
DE (1) | DE19502385C2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110894155A (zh) * | 2018-09-12 | 2020-03-20 | 揖斐电株式会社 | 蜂窝结构体的制造方法 |
CN115893985A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-04-04 | 齐鲁工业大学 | 一种基于黄河泥的轻质耐高温、适用于陶瓷绘画的陶瓷材料及制备方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008222469A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Ngk Insulators Ltd | 窒化ケイ素焼結体及びその製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5151390A (en) * | 1986-06-13 | 1992-09-29 | Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha | Silicon nitride-based fibers and composite material reinforced with fibers |
-
1994
- 1994-01-28 JP JP6026142A patent/JPH07215774A/ja active Pending
-
1995
- 1995-01-26 DE DE1995102385 patent/DE19502385C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110894155A (zh) * | 2018-09-12 | 2020-03-20 | 揖斐电株式会社 | 蜂窝结构体的制造方法 |
US11511458B2 (en) | 2018-09-12 | 2022-11-29 | Ibiden Co., Ltd. | Method of producing honeycomb structured body |
CN115893985A (zh) * | 2022-12-19 | 2023-04-04 | 齐鲁工业大学 | 一种基于黄河泥的轻质耐高温、适用于陶瓷绘画的陶瓷材料及制备方法 |
CN115893985B (zh) * | 2022-12-19 | 2024-01-23 | 齐鲁工业大学 | 一种基于黄河泥的轻质耐高温、适用于陶瓷绘画的陶瓷材料及制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19502385A1 (de) | 1995-08-03 |
DE19502385C2 (de) | 1997-05-22 |
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