JPH07209585A - Scanning type optical microscope - Google Patents
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- JPH07209585A JPH07209585A JP714794A JP714794A JPH07209585A JP H07209585 A JPH07209585 A JP H07209585A JP 714794 A JP714794 A JP 714794A JP 714794 A JP714794 A JP 714794A JP H07209585 A JPH07209585 A JP H07209585A
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光源から発せられた光
で標本上を走査し、この標本からの反射光を光検出器で
検出し前記標本の像を得るようにした走査型光学顕微鏡
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical microscope which scans a sample with light emitted from a light source and detects reflected light from the sample with a photodetector to obtain an image of the sample. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の走査型光学顕微鏡としては、光ビ
ームを、ガルバノミラー，ポリゴンミラー（回転多面
鏡），音響光学素子等により構成された光偏向器を二つ
使用することによって、標本上を光学的に二次元走査さ
せて観察するものが知られている。この際、二つの光偏
向器を光学的に共役に構成することにより、対物レンズ
への入射光が常に対物レンズの瞳を満たすようにするこ
とが可能になるので、視野の周辺部に至るまで解像力を
低下させずに観察できるようになっている（特開昭６１
−２１９９１９号公報に記載の装置等）。2. Description of the Related Art A conventional scanning optical microscope uses a light beam on a sample by using two light deflectors composed of a galvanometer mirror, a polygon mirror (rotating polygon mirror), an acousto-optic device, and the like. It is known to optically observe two-dimensionally. At this time, by configuring the two optical deflectors to be optically conjugate, it becomes possible for the incident light to the objective lens to always fill the pupil of the objective lens, and thus to the peripheral portion of the visual field. It is possible to observe without lowering the resolution (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 61-61).
The device described in JP-A-219919).
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、二つの光偏向器が光学的に共役に構成されて
いるため、瞳伝送光学系を別途に設けることが必要とな
り、その結果、装置全体を構成するレンズ部材の種類が
増えてしまう。これは、製品レベルで考えた場合、部品
の種類が増えると生産コスト増の要因の一つとなるた
め、できるだけ避けたい問題である。However, in the conventional apparatus, since the two optical deflectors are optically conjugate with each other, it is necessary to separately provide the pupil transmission optical system, and as a result, the apparatus is provided. The number of lens members that make up the whole increases. This is a problem that should be avoided as much as possible when considering the product level, since it becomes one of the factors that increase the production cost when the number of types of parts increases.
【０００４】そこで、本発明は上記のような従来技術の
有する問題点に鑑み、使用するレンズ部材の種類を低減
させることによって、低価格の走査型光学顕微鏡を提供
することを目的としている。In view of the above-mentioned problems of the prior art, it is an object of the present invention to provide a low-cost scanning optical microscope by reducing the number of lens members used.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するため、本発明による走査型光学顕微鏡は、光源と、
この光源から発した光を標本上に集光させる対物レンズ
と、その標本上に集光された光点を光学的に走査させる
ために前記光源と対物レンズとの間に配置された二つの
光偏向器と、この二つの光偏向器が光学的に互いに共役
となるようにその二つの光偏向器の間に配置された瞳伝
送光学系と、前記光偏向器内の一方と前記対物レンズの
瞳とが互いに光学的に共役となるようにこれらの間に配
置された瞳投影光学系とを備え、前記瞳投影光学系及び
前記瞳伝送光学系を構成するレンズ内の少なくとも一部
を同種のレンズ部材で構成するようにしたことを特徴と
している。更に、本発明の顕微鏡は、前記投影光学系が
少なくとも一群以上の接合レンズにより構成され、又、
前記瞳光学系のみによって投影される前記光偏向器の開
口倍率βが、条件式｜β｜≧４を満足していることも特
徴としている。In order to achieve the above object, the scanning optical microscope according to the present invention comprises a light source,
An objective lens for condensing the light emitted from the light source on the sample, and two lights arranged between the light source and the objective lens for optically scanning the light spot condensed on the sample. A deflector, a pupil transmission optical system disposed between the two optical deflectors so that the two optical deflectors are optically conjugate with each other, one of the optical deflectors and the objective lens A pupil projection optical system disposed between the pupil and the pupil so as to be optically conjugate with each other, and at least a part of the lenses forming the pupil projection optical system and the pupil transmission optical system are of the same kind. It is characterized in that it is configured by a lens member. Further, in the microscope of the present invention, the projection optical system is composed of at least one group of cemented lenses,
It is also characterized in that the aperture magnification β of the optical deflector projected only by the pupil optical system satisfies the conditional expression | β | ≧ 4.
【０００６】一般に、瞳伝送光学系にはケプラー型のア
フォーカル光学系が用いられており、二つの結像レンズ
を向かい合わせた形で構成されている。この結像レンズ
は瞳投影光学系に使用されているものと使用条件が類似
しているため、これと同タイプの光学系が採用されるこ
とが殆どである。そこで、本発明の走査型光学顕微鏡
は、瞳投影光学系設計時に瞳伝送光学系の結像レンズに
も転用可能なように考慮することにより、当該顕微鏡を
構成するレンズ部材の種類を低減させることができる。
又、本発明の顕微鏡では、投影光学系が少なくとも一群
以上の接合レンズにより構成されているため、複数の光
源を使用した場合でも、色収差を良好に抑えることがで
きる。In general, a Kepler-type afocal optical system is used in the pupil transmission optical system, and is constructed by facing two image forming lenses. Since this imaging lens has similar usage conditions to those used in the pupil projection optical system, an optical system of the same type is used in most cases. Therefore, in the scanning optical microscope of the present invention, when designing the pupil projection optical system, it is possible to divert the same to the imaging lens of the pupil transmission optical system, thereby reducing the number of lens members constituting the microscope. You can
Further, in the microscope of the present invention, since the projection optical system is composed of at least one group of cemented lenses, chromatic aberration can be suppressed well even when a plurality of light sources are used.
【０００７】走査型光学顕微鏡では、瞳投影光学系のみ
によって投影される光偏向器の開口倍率βが、｜β｜＜
４になると、レンズの諸収差を抑制するために瞳投影光
学系を構成するレンズ部材の数及び種類を増やさなくて
はならず、よって、前記瞳投影光学系と構成部材を共通
にする瞳伝送光学系を構成するレンズ部材の数及び種類
も増加することになり、結果として、その顕微鏡全体を
構成するレンズ部材の種類が大幅に増加してしまうこと
になる。しかしながら、本発明の顕微鏡では、光偏向器
の開口倍率βを｜β｜≧４としているため、上記のよう
な弊害を避けることができ、当該顕微鏡を構成するレン
ズ部材の種類を低減することが可能になる。In the scanning optical microscope, the aperture magnification β of the light deflector projected only by the pupil projection optical system is | β | <
When the number becomes 4, the number and types of lens members constituting the pupil projection optical system must be increased in order to suppress various aberrations of the lens. Therefore, pupil transmission in which the pupil projection optical system and the components are common. The number and types of lens members that make up the optical system will also increase, and as a result, the types of lens members that make up the entire microscope will increase significantly. However, in the microscope of the present invention, since the aperture magnification β of the optical deflector is set to | β | ≧ 4, the above-mentioned adverse effects can be avoided and the number of lens members constituting the microscope can be reduced. It will be possible.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、図示した実施例に基づき本発明を詳細
に説明する。図１は、本発明による走査型光学顕微鏡の
概略構成図である。図中、１は光源（通常レーザ光源が
用いられる）、２は二つの正レンズ群２１，２２からな
るケプラー型アフォーカル光学系として構成されたビー
ムエキスパンダ、３はハーフプリズムからなるビームス
プリッタ（分割鏡）、４及び５は光偏向の方向が互いに
交差するように配置された光偏向器、６は二つの正レン
ズ群６１，６２からなるケプラー型アフォーカル光学系
として構成された瞳伝送光学系、７は瞳投影光学系、８
は対物レンズ、９は観察される標本（物体）である。
又、ビームスプリッタ３により分光された光ビームが射
出される方向には光検出装置１０が配置され、更に、こ
の光検出装置１０にはモニタ１１が接続されており、観
察した標本９の像を表示できるようになっている。The present invention will be described in detail below with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanning optical microscope according to the present invention. In the figure, 1 is a light source (usually a laser light source is used), 2 is a beam expander configured as a Kepler-type afocal optical system including two positive lens groups 21 and 22, and 3 is a beam splitter including a half prism ( Split mirrors) 4 and 5 are optical deflectors arranged so that their light deflection directions intersect with each other, and 6 is pupil transmission optics configured as a Keplerian afocal optical system including two positive lens groups 61 and 62. System, 7 is a pupil projection optical system, 8
Is an objective lens, and 9 is a sample (object) to be observed.
Further, a photodetector 10 is arranged in the direction in which the light beam split by the beam splitter 3 is emitted, and a monitor 11 is connected to the photodetector 10 to display an image of the observed specimen 9. It can be displayed.
【０００９】 本実施例では、光偏
向器４，５には、夫々光軸と交わる回転軸を中心にして
往復回転するガルバノミラーからなるものが示されてい
るが、その他にも前述のようなポリゴンミラー，音響光
学素子等からなる種々のものが使用可能である。図では
便宜上二つの光偏向器４，５の回転軸は一見平行である
かの如く描かれているが、実際には一方の光偏向器の回
転軸が他方の光偏向器の回転軸と直交しており、これに
よって二次元的な光走査が可能になっている。又、光偏
向器４，５は瞳伝送光学系６に関し互いに光学的に共役
となるように配置されており、このため光偏向器４によ
る光ビームの進行方向の変化に影響されず、光偏向器５
への入射位置は一定に保たれている。又、光偏向器５と
対物レンズ８の瞳とは、瞳投影光学系７に関して互いに
光学的共役になっているため、光偏向器４及び５による
光ビームの偏向の影響を受けず、その光ビームはケラレ
ることなく標本面に到達できる。In the present embodiment, the optical deflectors 4 and 5 are shown as being composed of galvano mirrors that reciprocally rotate about a rotation axis that intersects with the optical axis, respectively. Various types including polygon mirrors and acousto-optic elements can be used. In the drawing, the rotation axes of the two optical deflectors 4 and 5 are drawn as if they are parallel to each other at first glance, but in reality, the rotation axis of one optical deflector is orthogonal to the rotation axis of the other optical deflector. This allows two-dimensional optical scanning. Further, the optical deflectors 4 and 5 are arranged so as to be optically conjugate with each other with respect to the pupil transmission optical system 6. Therefore, the optical deflectors 4 and 5 are not affected by the change in the traveling direction of the light beam by the optical deflector 4 and the optical deflection is prevented. Bowl 5
The incident position on is kept constant. Further, since the light deflector 5 and the pupil of the objective lens 8 are optically conjugate with each other with respect to the pupil projection optical system 7, the light is not affected by the deflection of the light beam by the light deflectors 4 and 5, and the light thereof is not affected. The beam can reach the sample surface without vignetting.
【００１０】本実施例の顕微鏡はかかる構成により、光
源１を発した略平行な光ビームはビームエキスパンダ２
によりその光束径が拡大され、その一部がビームスプリ
ッタ３を通過して第一の光偏向器４に入射する。その入
射ビームは第一の偏向器４により偏向され、瞳伝送光学
系６を介して第二の光偏向器５に入射する。更に、その
光ビームは第二の光偏向器５で光偏向器４により偏向さ
れた光束の進行方向と直交する方向に偏向された後、瞳
投影光学系７により対物レンズ８の瞳位置に入射する。
この光ビームは対物レンズ８によって標本９上の一点に
集光される。この集光点は光偏向器４及び５の光軸方向
に対する角度を適宜変化させることにより、標本９の面
上を二次元的に移動する。次に、標本９から反射された
光は上記入射ビームの進行経路と同一の経路を逆に辿
り、ビームスプリッタ３でその光の一部が反射されて検
出器１０に入射する。そして、この検出器１０から得ら
れる出力信号に基づき標本を表す画像を合成して、モニ
タ１１に表示される。尚、図では画像合成のための信号
処理部は省略してある。With the configuration of the microscope of this embodiment, the substantially parallel light beam emitted from the light source 1 is converted into the beam expander 2.
As a result, the diameter of the light beam is expanded, and a part of the light beam passes through the beam splitter 3 and enters the first optical deflector 4. The incident beam is deflected by the first deflector 4 and enters the second optical deflector 5 via the pupil transmission optical system 6. Further, the light beam is deflected by the second light deflector 5 in the direction orthogonal to the traveling direction of the light beam deflected by the light deflector 4, and then is incident on the pupil position of the objective lens 8 by the pupil projection optical system 7. To do.
This light beam is condensed by the objective lens 8 at one point on the sample 9. This condensing point moves two-dimensionally on the surface of the sample 9 by appropriately changing the angles of the optical deflectors 4 and 5 with respect to the optical axis direction. Next, the light reflected from the sample 9 follows the same path as the traveling path of the incident beam in the opposite direction, and a part of the light is reflected by the beam splitter 3 and enters the detector 10. Then, based on the output signal obtained from the detector 10, images representing the sample are combined and displayed on the monitor 11. In the figure, the signal processing unit for image synthesis is omitted.
【００１１】本発明による走査型光学顕微鏡の全体構成
は上記の通りであるが、以下では本発明の特徴である顕
微鏡の瞳伝送光学系並びに瞳投影光学系の構成について
説明する。図２（ｂ）は、瞳伝送光学系６の具体的構成
を示した図である。図のように、瞳伝送光学系６は正レ
ンズ群６１，６２からなっている。更に、正レンズ群６
１は、負レンズＬ1 と正レンズＬ2 とを接合した接合正
レンズと、正レンズＬ3 と負レンズＬ4 とを接合した接
合正レンズとの二つのレンズ成分から構成されている。
一方、正レンズ群６２の構成も正レンズ群６１の構成と
同様である。そして、これら正レンズ群６１と正レンズ
群６２とは中間結像位置Ｂを基準に互いに背反した向き
で対称に配置されており、中間結像位置Ｂから正レンズ
群６１の焦点位置Ａまでの距離と、中間結像位置Ｂから
正レンズ群６２の焦点位置Ｃまでの距離とは等しくなっ
ている。このように、瞳伝送光学系６はアフォーカル１
倍の投影光学系として構成されている。更に、第一の偏
向器４は正レンズ群６１の焦点位置Ａに、一方、第二の
光偏向器５は正レンズ群６２の焦点位置Ｃに夫々一致す
るように配置され、テレセントリックな構成になってい
る。The overall structure of the scanning optical microscope according to the present invention is as described above. Below, the structures of the pupil transmission optical system and the pupil projection optical system of the microscope, which are the features of the present invention, will be explained. FIG. 2B is a diagram showing a specific configuration of the pupil transmission optical system 6. As shown, the pupil transmission optical system 6 is composed of positive lens groups 61 and 62. Further, the positive lens group 6
1 is composed of two lens components, a cemented positive lens in which a negative lens L 1 and a positive lens L 2 are cemented, and a cemented positive lens in which a positive lens L 3 and a negative lens L 4 are cemented.
On the other hand, the configuration of the positive lens group 62 is similar to that of the positive lens group 61. The positive lens group 61 and the positive lens group 62 are arranged symmetrically with respect to each other with respect to the intermediate image forming position B, and the intermediate image forming position B to the focal position A of the positive lens group 61. The distance is equal to the distance from the intermediate image forming position B to the focal position C of the positive lens group 62. In this way, the pupil transmission optical system 6 has the afocal 1
It is configured as a double projection optical system. Further, the first deflector 4 is arranged so as to coincide with the focal position A of the positive lens group 61, while the second optical deflector 5 is arranged so as to coincide with the focal position C of the positive lens group 62. Has become.
【００１２】図２（ａ）は、瞳投影光学系７の具体的構
成を示した図である。この光学系には瞳伝送光学系６の
構成要素である正レンズ群６１と同様のレンズ部材が使
用されており、ただその二つの接合レンズの間隔ｄ2aが
図２（ｂ）に示した瞳伝送光学系６における接合レンズ
の間隔ｄ2bよりも若干広く構成されている点が異なって
いる（従って、自ずから各レンズ間隔ｄ1aとｄ1b及びｄ
2aとｄ2bは夫々異なってくる）。そして、この光学系で
は、第二の光偏向器５により偏向された光束は瞳投影光
学系７の射出瞳位置Ｅに投影される。尚、点Ｄは瞳投影
光学系７の像位置を示している。又、図中同一の符号が
付されているものは同一の部材である。FIG. 2A is a diagram showing a specific configuration of the pupil projection optical system 7. A lens member similar to the positive lens group 61 which is a constituent element of the pupil transmission optical system 6 is used in this optical system, and the distance d 2a between the two cemented lenses is the pupil shown in FIG. 2 (b). The difference is that the distance d 2b between the cemented lenses in the transmission optical system 6 is slightly wider (therefore, the lens distances d 1a , d 1b, and d are naturally formed).
2a and d 2b are different from each other). Then, in this optical system, the light beam deflected by the second optical deflector 5 is projected onto the exit pupil position E of the pupil projection optical system 7. The point D indicates the image position of the pupil projection optical system 7. Further, the same reference numerals in the drawings denote the same members.
【００１３】以下、本実施例にかかる瞳投影光学系及び
瞳伝送光学系を構成しているレンズの設計データを示す
（尚、その両者のデータは概ね共通であるが、一部異な
るものにはその旨を示した）。 The design data of the lenses forming the pupil projection optical system and the pupil transmission optical system according to the present embodiment will be shown below (these data are generally common, but some are different). I showed that).
【００１４】ｒ1 ＝∞（光偏向器開口（又は入射瞳）位
置） ｄ1 ＝39.05(瞳投影光学系) ，41.60(瞳伝送光学系) ｒ2 ＝-277.491 ｄ2 ＝4.00 ｎ2 ＝1.72342 ν2 ＝38.0 ｒ3 ＝37.550 ｄ3 ＝6.59 ｎ3 ＝1.51633 ν3 ＝64.1 ｒ4 ＝-37.550 ｄ4 ＝6.34 (瞳投影光学系) ，4.00 (瞳伝送光学系) ｒ5 ＝127.958 ｄ5 ＝7.89 ｎ5 ＝1.58913 ν5 ＝61.2 ｒ6 ＝-21.100 ｄ6 ＝4.00 ｎ6 ＝1.53172 ν6 ＝48.9 ｒ7 ＝-106.537 ｄ7 ＝50.91(瞳投影光学系) ，51.12(瞳伝送光学系) ｒ8 ＝∞（中間像（又は瞳投影光学系による像）位置） 尚、上記数値データにおいて、ｒ1 ，ｒ2 ，・・・・は
各レンズ面の曲率半径、ｎ1 ，ｎ2 ，・・・・は各レン
ズ面の間隔又はその肉厚、ν1 ，ν2 ，・・・・はアッ
ベ数である。R 1 = ∞ (optical deflector aperture (or entrance pupil) position) d 1 = 39.05 (pupil projection optical system), 41.60 (pupil transmission optical system) r 2 = -277.491 d 2 = 4.00 n 2 = 1.72342 v 2 = 38.0 r 3 = 37.550 d 3 = 6.59 n 3 = 1.51633 v 3 = 64.1 r 4 = -37.550 d 4 = 6.34 (pupil projection optical system), 4.00 (pupil transmission optical system) r 5 = 127.958 d 5 = 7.89 n 5 = 1.58913 ν 5 ＝ 61.2 r 6 ＝ -21.100 d 6 ＝ 4.00 n 6 ＝ 1.53172 ν 6 ＝ 48.9 r 7 ＝ -106.537 d 7 ＝ 50.91 (pupil projection optical system), 51.12 (pupil transmission optical system) r 8 = ∞ (intermediate image (or image by the pupil projection optical system) position) In the above numerical data, r 1 , r 2 , ... Are the radius of curvature of each lens surface, n 1 , n 2 ,. .. is the distance between the lens surfaces or the thickness thereof, and ν 1 , ν 2 , ...
【００１５】又、図３は本実施例にかかる顕微鏡の瞳投
影光学系の収差図であり、（ａ）は球面収差，（ｂ）は
非点収差，（ｃ）はコマ収差を夫々示した図である。図
４は本実施例にかかる顕微鏡の瞳伝送光学系（中間結像
位置まで）の収差図であり、（ａ）は球面収差，（ｂ）
は非点収差，（ｃ）はコマ収差を夫々示した図である。FIG. 3 is an aberration diagram of the pupil projection optical system of the microscope according to the present embodiment. (A) shows spherical aberration, (b) shows astigmatism, and (c) shows coma. It is a figure. FIG. 4 is an aberration diagram of the pupil transmission optical system (up to the intermediate image forming position) of the microscope according to the present embodiment, (a) is spherical aberration, and (b) is
6A and 6B are diagrams showing astigmatism and coma, respectively.
【００１６】又、レンズ面への入射角は、Ｘ（若しくは
Ｙ）軸方向のみに偏向された光束を扱う瞳伝送光学系６
と比較して、ＸＹ軸両方向に偏向されより大きく振られ
た光束が入射する瞳投影光学系７の方が大きくなってい
る。瞳投影光学系７のみによる瞳投影倍率βは、本実施
例では｜β｜≒４８（＞４）である。波面収差について
は、波長が４８８ｎｍである場合、光軸外で、瞳投影光
学系７のものが２／１００λＲＭＳ程度，瞳伝送光学系
６の中間像位置までのものが２／１００λＲＭＳ程度で
あり、双方ともマレシャルの定義した７／１００λＲＭ
Ｓ以内に納まっているので問題はない。尚、瞳投影光学
系７と瞳伝送光学系６とを別個のレンズ部材により構成
した場合でも、その両者間の性能の差異は殆どない。Further, the angle of incidence on the lens surface is the pupil transmission optical system 6 which handles a light beam deflected only in the X (or Y) axis direction.
In comparison with the above, the pupil projection optical system 7 on which the light beam deflected in both the XY-axis directions and further shaken is incident is larger. The pupil projection magnification β of only the pupil projection optical system 7 is | β | ≈48 (> 4) in this embodiment. Regarding the wavefront aberration, when the wavelength is 488 nm, off-axis, the pupil projection optical system 7 has about 2 / 100λRMS, and the pupil transmission optical system 6 up to the intermediate image position has about 2 / 100λRMS. Both are Marechal defined 7/100 λRM
Since it is within S, there is no problem. Even when the pupil projection optical system 7 and the pupil transmission optical system 6 are configured by separate lens members, there is almost no difference in performance between them.
【００１７】以上のように、本発明による走査型光学顕
微鏡は、設計時に投影光学系のレンズ部材を瞳伝送光学
系の結像レンズにも転用可能なように考慮しているた
め、同種のレンズ部材により瞳伝送光学系と瞳投影光学
系とを構成することができる。従って、瞳伝送光学系及
び瞳投影光学系を夫々別個のレンズ部材によって構成し
た場合に比べ、使用するレンズ部材の種類を１／３に低
減することができる。又、万一、偏向器の偏向角，開口
の制約等により瞳伝送光学系６を図２（ｂ）に示したよ
うな正レンズ群６１と正レンズ群６２とを等倍に構成で
きない場合であっても、本発明によれば当該顕微鏡のレ
ンズ部材の種類をあまり増やさずに対処することが可能
である。即ち、瞳伝送光学系は中間像位置を境にして、
二つの結像レンズが夫々テレセントリック系として構成
されているため、図２（ｃ）に示すように、前記レンズ
群の一方を同図（ｂ）に示した正レンズ群６２（Ｌ1 〜
Ｌ4 ）を用い、他方を前記偏向器の条件に適合するよう
に構成した正レンズ群６１’（Ｌ5 〜Ｌ8 ）を正レンズ
群６１に代えて用いることにより対処可能になる。As described above, in the scanning optical microscope according to the present invention, the lens member of the projection optical system is designed so that it can be used also as the image forming lens of the pupil transmission optical system at the time of design, and therefore the same kind of lens is used. The member can constitute a pupil transmission optical system and a pupil projection optical system. Therefore, compared to the case where the pupil transmission optical system and the pupil projection optical system are configured by separate lens members, the type of lens members used can be reduced to 1/3. In addition, in the unlikely event that the pupil transmission optical system 6 cannot be configured to have the same magnification as the positive lens group 61 and the positive lens group 62 as shown in FIG. However, according to the present invention, it is possible to deal with the problem without increasing the number of lens members of the microscope. That is, the pupil transmission optical system uses the intermediate image position as a boundary,
Since the two imaging lenses are each configured as a telecentric system, as shown in FIG. 2C, one of the lens groups is a positive lens group 62 (L 1 to
This can be dealt with by using L 4 ), and using the other positive lens group 61 ′ (L 5 to L 8 ) configured to meet the conditions of the deflector instead of the positive lens group 61.
【００１８】[0018]
【発明の効果】上述のように、本発明の走査型光学顕微
鏡は、瞳投影光学系の設計時にそのレンズ部材を瞳伝送
光学系の結像レンズにも転用できるようにすることによ
って、結像特性を低下させることなく当該顕微鏡に使用
されるレンズ部材の種類を低減することができ、装置の
生産コストの削減が可能になるという実用上優れた利点
を有する。As described above, in the scanning optical microscope of the present invention, when the pupil projection optical system is designed, its lens member can be diverted to the imaging lens of the pupil transmission optical system to form an image. This has an advantage in practical use that the number of lens members used in the microscope can be reduced without deteriorating the characteristics and the production cost of the device can be reduced.
【図１】本発明による走査型光学顕微鏡の概略図であ
る。FIG. 1 is a schematic view of a scanning optical microscope according to the present invention.
【図２】本発明の走査型光学顕微鏡を構成している各光
学系の構成図であり、（ａ）は瞳投影光学系の構成図，
（ｂ）は瞳伝送光学系の構成図，（ｃ）は（ｂ）に示し
たものとは別種のレンズ部材によって構成した瞳伝送光
学系の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of each optical system constituting the scanning optical microscope of the present invention, (a) is a configuration diagram of a pupil projection optical system,
(B) is a block diagram of a pupil transmission optical system, (c) is a block diagram of a pupil transmission optical system configured by a lens member of a different type from that shown in (b).
【図３】図２（ｂ）に示した瞳伝送光学系（中間像位置
まで）の収差図であり、（ａ）は球面収差，（ｂ）は非
点収差，（ｃ）はコマ収差を夫々示した図である。3A and 3B are aberration diagrams of the pupil transmission optical system (up to the intermediate image position) shown in FIG. 2B, in which FIG. 3A shows spherical aberration, FIG. 3B shows astigmatism, and FIG. It is the figure shown respectively.
【図４】図２（ａ）に示した瞳投影光学系の収差図であ
り、（ａ）は球面収差，（ｂ）は非点収差，（ｃ）はコ
マ収差を夫々示した図である。4A and 4B are aberration diagrams of the pupil projection optical system shown in FIG. 2A, in which FIG. 4A is a spherical aberration, FIG. 4B is an astigmatism, and FIG. 4C is a coma aberration. .
１ 光源 ２ ビームエキスパンダ ３ ビームスプリッタ ４，５ 光偏向器 ６ 瞳伝送光学系 ７ 瞳投影光学系 ８ 対物レンズ ９ 標本 １０ 光検出器 １１ モニタ ２１，２２，６１，６２ 正レンズ群 1 light source 2 beam expander 3 beam splitter 4,5 optical deflector 6 pupil transmission optical system 7 pupil projection optical system 8 objective lens 9 sample 10 photodetector 11 monitor 21, 22, 61, 62 positive lens group
Claims (3)
集光させる対物レンズと、前記標本上に集光された光点
を光学的に走査させるために前記光源と対物レンズとの
間に配置された二つの光偏向器と、該二つの光偏向器が
光学的に互いに共役となるように該二つの光偏向器の間
に配置された瞳伝送光学系と、前記光偏向器内の一方と
前記対物レンズの瞳とが互いに光学的に共役となるよう
にこれらの間に配置された瞳投影光学系と、を備え、前
記瞳投影光学系及び前記瞳伝送光学系を構成するレンズ
内の少なくとも一部を同種のレンズ部材で構成するよう
にしたことを特徴とする走査型光学顕微鏡。1. A light source, an objective lens for condensing light emitted from the light source on a sample, and the light source and the objective lens for optically scanning a light spot condensed on the sample. Two optical deflectors disposed between the two optical deflectors, a pupil transmission optical system disposed between the two optical deflectors so that the two optical deflectors are optically conjugate with each other, and the optical deflector. And a pupil projection optical system disposed between them so that one of them and the pupil of the objective lens are optically conjugate with each other, and constitute the pupil projection optical system and the pupil transmission optical system. A scanning optical microscope, characterized in that at least a part of the lens is made of the same kind of lens member.
接合レンズにより構成されていることを特徴とする請求
項１に記載の走査型光学顕微鏡。2. The scanning optical microscope according to claim 1, wherein the projection optical system includes at least one group of cemented lenses.
記光偏向器の開口倍率（瞳投影倍率）βが以下の条件式
を満足するようにしたことを特徴とする請求項１に記載
の走査型光学顕微鏡。 ｜β｜≧４3. The scanning according to claim 1, wherein the aperture magnification (pupil projection magnification) β of the optical deflector projected only by the pupil optical system satisfies the following conditional expression. Type optical microscope. │β│ ≧ 4
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP714794A JPH07209585A (en) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | Scanning type optical microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP714794A JPH07209585A (en) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | Scanning type optical microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209585A true JPH07209585A (en) | 1995-08-11 |
Family
ID=11657962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP714794A Withdrawn JPH07209585A (en) | 1994-01-26 | 1994-01-26 | Scanning type optical microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07209585A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006138734A (en) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Yokogawa Electric Corp | Optical spectrum analyzer |
-
1994
- 1994-01-26 JP JP714794A patent/JPH07209585A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006138734A (en) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Yokogawa Electric Corp | Optical spectrum analyzer |
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