JPH07198396A - Vibrating gyro - Google Patents
Vibrating gyroInfo
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- JPH07198396A JPH07198396A JP5353616A JP35361693A JPH07198396A JP H07198396 A JPH07198396 A JP H07198396A JP 5353616 A JP5353616 A JP 5353616A JP 35361693 A JP35361693 A JP 35361693A JP H07198396 A JPH07198396 A JP H07198396A
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特に、圧電振動子を有し、たとえば、回転角速度を検知
することによって移動体の位置を検出して適切な誘導を
行うナビゲーションシステム、または手ぶれなどの外的
振動による回転角速度を検知して適切な制振を行う手ぶ
れ防止装置などの除振システムなどに応用できる振動ジ
ャイロに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro,
In particular, for example, a navigation system that has a piezoelectric vibrator and detects the position of the moving body by detecting the rotation angular velocity to perform appropriate guidance, or detects the rotation angular velocity due to external vibration such as camera shake, and the like. The present invention relates to a vibration gyro that can be applied to a vibration isolation system such as a camera shake prevention device for damping vibration.
【0002】[0002]
【従来の技術】圧電振動子を有する振動ジャイロでは、
圧電振動子から得られる検出信号が温度変化によって変
化するため、その検出信号と同様にその感度も、たとえ
ば図5に示すように、温度変化によって変化してしま
う。2. Description of the Related Art In a vibration gyro having a piezoelectric vibrator,
Since the detection signal obtained from the piezoelectric vibrator changes due to the temperature change, the sensitivity as well as the detection signal also changes due to the temperature change as shown in FIG. 5, for example.
【0003】そのため、従来、圧電振動子を有する振動
ジャイロにおいて、圧電振動子から得られる検出信号あ
るいはその検出信号に関連する信号を増幅するための増
幅回路にサーミスタなどの感温素子を取り付けて、温度
変化による感度の変化を抑えている。Therefore, conventionally, in a vibration gyro having a piezoelectric vibrator, a temperature sensitive element such as a thermistor is attached to an amplifier circuit for amplifying a detection signal obtained from the piezoelectric vibrator or a signal related to the detection signal, It suppresses changes in sensitivity due to temperature changes.
【0004】図6は図5に示す温度−感度特性を有する
振動ジャイロにおける、温度変化による感度の変化を抑
えるための増幅回路の一例を示す回路図である。この増
幅回路1は入力端子2を含み、入力端子2はオペアンプ
3の非反転入力端に接続される。このオペアンプ3の反
転入力端は、抵抗4を介して接地される。また、オペア
ンプ3の反転入力端および出力端の間には、感温素子と
して負特性サーミスタ5が接続される。さらに、オペア
ンプ3の出力端に出力端子6が接続される。したがっ
て、この増幅回路1では、温度上昇にともなって、増幅
度が減少する。FIG. 6 is a circuit diagram showing an example of an amplifier circuit for suppressing a change in sensitivity due to a temperature change in the vibration gyro having the temperature-sensitivity characteristic shown in FIG. The amplifier circuit 1 includes an input terminal 2, and the input terminal 2 is connected to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 3. The inverting input terminal of the operational amplifier 3 is grounded via the resistor 4. Further, a negative characteristic thermistor 5 is connected as a temperature sensitive element between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 3. Further, the output terminal 6 is connected to the output terminal of the operational amplifier 3. Therefore, in the amplifier circuit 1, the amplification degree decreases as the temperature rises.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図5に示す温度−感度
特性を有する振動ジャイロに図6に示す増幅回路1を設
ければ、増幅回路1の増幅度が温度上昇にともなって減
少するので、感度は、図7に示すように、温度−感度特
性が直線状であった25℃付近の領域においてはほぼ一
定の感度に補正されるが、温度−感度特性が曲線状であ
った低温領域および高温領域においてはほぼ一定の感度
に補正されない。そのため、感度が安定しない低温領域
および高温領域では、回転角速度を正確に検知すること
ができない。If the amplifying circuit 1 shown in FIG. 6 is provided in the vibrating gyro having the temperature-sensitivity characteristic shown in FIG. 5, the amplification degree of the amplifying circuit 1 decreases as the temperature rises. As shown in FIG. 7, the sensitivity is corrected to a substantially constant sensitivity in the region near 25 ° C. where the temperature-sensitivity characteristic is linear, but in the low temperature region where the temperature-sensitivity characteristic is curved and The sensitivity is not corrected to a substantially constant value in the high temperature region. Therefore, the rotational angular velocity cannot be accurately detected in the low temperature region and the high temperature region where the sensitivity is not stable.
【0006】それゆえに、この発明の主たる目的は、温
度変化に対して感度が安定である、振動ジャイロを提供
することである。Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyro that is stable in sensitivity to temperature changes.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明は、検出信号が
得られる圧電振動子を有する振動ジャイロにおいて、温
度変化に対する圧電振動子の検出信号の変化に関連した
特性を有する温度補償回路を設けた、振動ジャイロであ
る。According to the present invention, in a vibrating gyroscope having a piezoelectric vibrator capable of obtaining a detection signal, a temperature compensation circuit having a characteristic relating to a change in the detection signal of the piezoelectric vibrator with respect to a temperature change is provided. , Vibrating gyro.
【0008】[0008]
【作用】温度補償回路によって、温度変化に対する圧電
振動子の検出信号の変化がほぼ一定になるように補正さ
れる。そのため、振動ジャイロの感度が温度変化に対し
て安定になる。The temperature compensating circuit corrects the change of the detection signal of the piezoelectric vibrator with respect to the temperature change so that the change becomes substantially constant. Therefore, the sensitivity of the vibration gyro becomes stable against temperature changes.
【0009】[0009]
【発明の効果】この発明によれば、温度変化に対して感
度が安定である振動ジャイロが得られる。そのため、こ
の発明にかかる振動ジャイロを用いれば、低温領域から
高温領域にわたって回転角速度を正確に検知することが
できる。According to the present invention, it is possible to obtain a vibration gyro whose sensitivity is stable against temperature changes. Therefore, by using the vibrating gyroscope according to the present invention, the rotational angular velocity can be accurately detected from the low temperature region to the high temperature region.
【0010】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description of the embodiments below with reference to the drawings.
【0011】[0011]
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示すブロック図
である。この振動ジャイロ10は、圧電振動子12を含
む。1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. The vibrating gyro 10 includes a piezoelectric vibrator 12.
【0012】圧電振動子12は、たとえば金属からなる
正3角柱状の振動体14を含み、振動体14の3つの側
面のほぼ中央には、3つの圧電素子16a,16bおよ
び16cがそれぞれ形成される。これらの圧電素子16
a,16bおよび16cは、それぞれ、圧電体からなる
圧電体層を含み、圧電体層の両主面に電極がそれぞれ形
成され、一方の電極が振動体14の側面に接着され、他
方の電極が信号の入出力のために用いられる。この圧電
振動子12では、無回転時にたとえば2つの圧電素子1
6aおよび16bに同様な駆動信号を印加すれば、振動
体14が圧電素子16cの主面に直交する方向に屈曲振
動する。この状態では、圧電素子16aおよび16bか
ら同様な検出信号が得られる。そして、圧電振動子12
に振動体14の中心軸を中心とする回転角速度を与えれ
ば、コリオリ力によって振動体14の屈曲振動の方向が
変わり、2つの圧電素子16aおよび16bからその回
転角速度に応じた検出信号がそれぞれ得られる。この場
合、その回転角速度に応じて、たとえば、一方の圧電素
子16aからの検出信号の電圧が大きくなり、他方の圧
電素子16bからの検出信号の電圧が小さくなる。した
がって、これらの検出信号の差を検出すれば、振動体1
4に加わった回転角速度を検出することができる。な
お、この実施例では、圧電振動子12の2つ圧電素子1
6aおよび16bから得られる検出信号は、たとえば、
25℃付近の領域においては温度上昇にともなって直線
状に大きくなる特性を有するが、低温領域および高温領
域においては温度変化に対して曲線状に変化する特性を
有する。The piezoelectric vibrator 12 includes a vibrating body 14 made of, for example, a metal in the shape of a regular triangular prism, and three piezoelectric elements 16a, 16b and 16c are formed in substantially the center of three side surfaces of the vibrating body 14. It These piezoelectric elements 16
a, 16b and 16c each include a piezoelectric layer made of a piezoelectric material, electrodes are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer, one electrode is bonded to the side surface of the vibrating body 14, and the other electrode is Used for signal input / output. In this piezoelectric vibrator 12, for example, two piezoelectric elements 1
When a similar drive signal is applied to 6a and 16b, the vibrating body 14 flexurally vibrates in the direction orthogonal to the main surface of the piezoelectric element 16c. In this state, similar detection signals are obtained from the piezoelectric elements 16a and 16b. Then, the piezoelectric vibrator 12
If a rotational angular velocity about the central axis of the vibrating body 14 is given to, the direction of flexural vibration of the vibrating body 14 is changed by the Coriolis force, and detection signals corresponding to the rotational angular velocity are obtained from the two piezoelectric elements 16a and 16b. To be In this case, for example, the voltage of the detection signal from the one piezoelectric element 16a increases and the voltage of the detection signal from the other piezoelectric element 16b decreases according to the rotational angular velocity. Therefore, if the difference between these detection signals is detected, the vibrator 1
The rotational angular velocity added to 4 can be detected. In this embodiment, the two piezoelectric elements 1 of the piezoelectric vibrator 12 are used.
The detection signals obtained from 6a and 16b are, for example,
In the region near 25 ° C., it has a characteristic of linearly increasing as the temperature rises, but in the low temperature region and the high temperature region, it has a characteristic of changing in a curve with respect to the temperature change.
【0013】この圧電振動子12の圧電素子16cは、
たとえば増幅器からなる発振回路18の入力端に接続さ
れる。この発振回路18は、圧電素子16cから得られ
る帰還信号を増幅して、圧電振動子12を駆動するため
の駆動信号を発生するためのものである。The piezoelectric element 16c of the piezoelectric vibrator 12 is
For example, it is connected to the input terminal of the oscillation circuit 18 formed of an amplifier. The oscillation circuit 18 amplifies the feedback signal obtained from the piezoelectric element 16c and generates a drive signal for driving the piezoelectric vibrator 12.
【0014】発振回路18の出力端は、位相補正回路2
0の入力端に接続される。この位相補正回路20は、発
振回路18から発生する帰還信号の位相を圧電振動子1
2を駆動するための駆動信号の最適な位相に補正するた
めのものである。The output end of the oscillation circuit 18 is connected to the phase correction circuit 2
0 is connected to the input terminal. This phase correction circuit 20 determines the phase of the feedback signal generated from the oscillation circuit 18 by the piezoelectric vibrator 1
This is for correcting the optimum phase of the drive signal for driving 2.
【0015】位相補正回路20の出力端は、圧電振動子
12の圧電素子16aおよび16bに接続される。した
がって、圧電振動子12の圧電素子16aおよび16b
には、最適な位相を有する同様な駆動信号がそれぞれ印
加される。The output end of the phase correction circuit 20 is connected to the piezoelectric elements 16a and 16b of the piezoelectric vibrator 12. Therefore, the piezoelectric elements 16a and 16b of the piezoelectric vibrator 12 are
A similar drive signal having an optimum phase is applied to each of the.
【0016】さらに、圧電振動子12の圧電素子16a
および16bは、差動増幅回路22の非反転入力端およ
び反転入力端にそれぞれ接続される。この差動増幅回路
22は、圧電素子16aおよび16bから得られる検出
信号の差の信号を検出するためのものである。Further, the piezoelectric element 16a of the piezoelectric vibrator 12
And 16b are connected to the non-inverting input terminal and the inverting input terminal of the differential amplifier circuit 22, respectively. The differential amplifier circuit 22 is for detecting the difference signal between the detection signals obtained from the piezoelectric elements 16a and 16b.
【0017】差動増幅回路22の出力端は、同期検波回
路24の入力端に接続される。この同期検波回路24の
別の入力端には、位相補正回路20の別の出力端が接続
される。この同期検波回路24は、差動増幅回路22の
出力信号すなわち圧電素子16aおよび16bから得ら
れる検出信号の差の信号を、圧電振動子12の駆動信号
に同期して検波するとともに直流に整流するためのもの
である。The output terminal of the differential amplifier circuit 22 is connected to the input terminal of the synchronous detection circuit 24. Another output terminal of the phase correction circuit 20 is connected to another input terminal of the synchronous detection circuit 24. The synchronous detection circuit 24 detects the output signal of the differential amplifier circuit 22, that is, the signal of the difference between the detection signals obtained from the piezoelectric elements 16a and 16b, in synchronism with the drive signal of the piezoelectric vibrator 12, and rectifies it into direct current. It is for.
【0018】同期検波回路24の出力端は、温度補償回
路26の入力端子26aに接続される。この温度補償回
路26は、圧電振動子12の圧電素子16aおよび16
bから得られる検出信号の温度補償を行うためのもので
ある。温度補償回路26の入力端子26aは、図2に示
すように、抵抗26bおよび感温素子としての負特性サ
ーミスタ26cの直列回路を介して接地される。さら
に、入力端子26aは、感温素子としての負特性サーミ
スタ26dおよび抵抗26eの直列回路を介して接地さ
れる。また、抵抗26bおよび負特性サーミスタ26c
の接続点と負特性サーミスタ26dおよび抵抗26eの
接続点との間には、2つの抵抗26fおよび26gの直
列回路が接続される。そして、2つの抵抗26fおよび
26gの接続点に出力端子26hが接続される。この温
度補償回路26は、温度変化に対する圧電振動子12の
圧電素子16aおよび16bの検出信号の変化とほぼ逆
に、たとえば、25℃付近においては温度上昇にともな
ってゲインが直線状に小さくなりかつ低温領域および高
温領域においては温度変化に対してゲインが曲線状に変
化する温度−ゲイン特性を有するように、抵抗26b,
26e,26fおよび26gの抵抗値と負特性サーミス
タ26cおよび26dの特性とが設定されている。The output terminal of the synchronous detection circuit 24 is connected to the input terminal 26a of the temperature compensation circuit 26. The temperature compensating circuit 26 includes piezoelectric elements 16 a and 16 a of the piezoelectric vibrator 12.
This is for temperature compensation of the detection signal obtained from b. As shown in FIG. 2, the input terminal 26a of the temperature compensation circuit 26 is grounded via a series circuit of a resistor 26b and a negative characteristic thermistor 26c as a temperature sensitive element. Further, the input terminal 26a is grounded via a series circuit of a negative characteristic thermistor 26d as a temperature sensitive element and a resistor 26e. In addition, the resistor 26b and the negative characteristic thermistor 26c
A series circuit of two resistances 26f and 26g is connected between the connection point of 1 and the connection point of the negative characteristic thermistor 26d and the resistance 26e. The output terminal 26h is connected to the connection point of the two resistors 26f and 26g. The temperature compensating circuit 26 has a gain that linearly decreases with temperature rise at approximately 25 ° C., which is almost opposite to the change of the detection signals of the piezoelectric elements 16a and 16b of the piezoelectric vibrator 12 with respect to temperature change. In the low temperature region and the high temperature region, the resistors 26b and 26b have a temperature-gain characteristic in which the gain changes in a curve with respect to the temperature change.
The resistance values of 26e, 26f and 26g and the characteristics of the negative characteristic thermistors 26c and 26d are set.
【0019】温度補償回路26の出力端子26hは、図
1に示すように、直流増幅回路28の入力端に接続され
る。この直流増幅回路28は、温度補償回路26から出
力される直流信号を増幅して振動ジャイロ10の感度を
高めるためのものである。The output terminal 26h of the temperature compensating circuit 26 is connected to the input terminal of the DC amplifying circuit 28, as shown in FIG. The DC amplification circuit 28 is for amplifying the DC signal output from the temperature compensation circuit 26 to increase the sensitivity of the vibration gyro 10.
【0020】この振動ジャイロ10では、発振回路18
および位相補正回路20によって、圧電振動子12の圧
電素子16aおよび16bに最適な位相を有する同様な
駆動信号が印加される。そのため、圧電振動子12に加
わった回転角速度に応じた検出信号が、圧電振動子12
の2つの圧電素子16aおよび16bからそれぞれ得ら
れる。In this vibrating gyro 10, the oscillation circuit 18
The phase correction circuit 20 applies the same drive signal having the optimum phase to the piezoelectric elements 16a and 16b of the piezoelectric vibrator 12. Therefore, the detection signal according to the rotational angular velocity applied to the piezoelectric vibrator 12 is
Are obtained from the two piezoelectric elements 16a and 16b.
【0021】そして、圧電素子16aおよび16bの検
出信号の差の信号が、差動増幅回路22で検出され、次
に同期検波回路24で駆動信号に同期して検波され、か
つ直流に整流される。さらに、同期検波回路24から出
力される直流信号は、温度補償回路26で温度補償さ
れ、直流増幅回路28で増幅される。Then, the signal of the difference between the detection signals of the piezoelectric elements 16a and 16b is detected by the differential amplifier circuit 22, then detected by the synchronous detection circuit 24 in synchronization with the drive signal, and rectified into direct current. . Further, the DC signal output from the synchronous detection circuit 24 is temperature-compensated by the temperature compensation circuit 26 and amplified by the DC amplification circuit 28.
【0022】したがって、この振動ジャイロ10では、
温度補償回路26あるいは直流増幅回路28から出力さ
れる直流信号によって、圧電振動子12に加わった回転
角速度を検知することができる。なお、直流増幅回路2
8から出力される直流信号によって回転角速度を検知す
る場合には、その感度が高く、好ましい。Therefore, in this vibrating gyro 10,
The rotation angular velocity applied to the piezoelectric vibrator 12 can be detected by the DC signal output from the temperature compensation circuit 26 or the DC amplification circuit 28. The DC amplifier circuit 2
When the rotational angular velocity is detected by the DC signal output from 8, the sensitivity is high, which is preferable.
【0023】さらに、この振動ジャイロ10では、温度
補償回路26を有しない場合には、圧電振動子12の圧
電素子16aおよび16bの検出信号と同様に感度が、
図5に示すように、低温領域から高温領域にわたって一
定にならないが、温度補償回路26によって検出信号の
温度補償が行われるため、その感度が、図3に示すよう
に、低温領域から高温領域にわたってほぼ一定になり安
定する。そのため、この振動ジャイロ10では、低温領
域から高温領域にわたって回転角速度を正確に検知する
ことができる。Further, in the vibrating gyroscope 10, when the temperature compensating circuit 26 is not provided, the sensitivity is the same as the detection signals of the piezoelectric elements 16a and 16b of the piezoelectric vibrator 12.
As shown in FIG. 5, although it does not become constant from the low temperature region to the high temperature region, the temperature compensating circuit 26 performs temperature compensation of the detection signal, so that the sensitivity is from the low temperature region to the high temperature region as shown in FIG. It becomes almost constant and stable. Therefore, the vibrating gyroscope 10 can accurately detect the rotational angular velocity from the low temperature region to the high temperature region.
【0024】なお、上述の実施例では、温度補償回路2
6が4つの抵抗と2つの負特性サーミスタで構成されて
いるが、温度補償回路26は、図4に示すように、3つ
の負特性サーミスタで構成されてもよい。さらに、温度
補償回路26には、感温素子としての正特性サーミスタ
などが用いられてもよい。In the above embodiment, the temperature compensating circuit 2 is used.
Although 6 is composed of four resistors and two negative characteristic thermistors, the temperature compensation circuit 26 may be composed of three negative characteristic thermistors as shown in FIG. Further, the temperature compensating circuit 26 may use a positive temperature coefficient thermistor as a temperature sensitive element.
【0025】また、上述の実施例では、温度補償回路2
6が、温度変化に対する圧電振動子12から得られる検
出信号の変化とほぼ逆の特性を有するが、この発明で
は、温度補償回路は、温度変化に対する圧電振動子から
得られる検出信号の変化とほぼ同じ特性を有するように
構成されてもよい。この場合、圧電振動子の検出信号あ
るいは検出信号に関連する信号と、一定レベルの信号を
印加した温度補償回路の出力信号とのレベルを異ならせ
て、それらの信号の差を検出するようにすればよい。す
なわち、この発明では、温度補償回路は、温度変化に対
する圧電振動子の検出信号の変化に関連した特性を有す
るように構成されればよい。In the above embodiment, the temperature compensating circuit 2 is used.
6 has a characteristic almost opposite to the change of the detection signal obtained from the piezoelectric vibrator 12 with respect to the temperature change, but in the present invention, the temperature compensation circuit has almost the same change as the change of the detection signal obtained from the piezoelectric vibrator with respect to the temperature change. It may be configured to have the same characteristics. In this case, the detection signal of the piezoelectric vibrator or a signal related to the detection signal and the output signal of the temperature compensation circuit to which a constant level signal is applied are made to have different levels, and the difference between these signals may be detected. Good. That is, in the present invention, the temperature compensating circuit may be configured to have a characteristic related to the change in the detection signal of the piezoelectric vibrator with respect to the temperature change.
【0026】さらに、上述の実施例では、温度補償回路
26が同期検波回路24と直流増幅回路28との間に設
けられているが、温度補償回路26は、差動増幅回路2
2,同期検波回路24あるいは直流増幅回路28に組み
込まれてもよく、差動増幅回路22と同期検波回路24
との間あるいは直流増幅回路28の後段に設けられても
よい。Further, in the above embodiment, the temperature compensating circuit 26 is provided between the synchronous detection circuit 24 and the DC amplifying circuit 28, but the temperature compensating circuit 26 includes the differential amplifying circuit 2.
2, it may be incorporated in the synchronous detection circuit 24 or the DC amplification circuit 28, and the differential amplification circuit 22 and the synchronous detection circuit 24
It may be provided between and or after the DC amplification circuit 28.
【0027】また、上述の実施例では、圧電振動子12
が正3角柱状の金属からなる振動体14と3つの圧電素
子16a,16bおよび16cとで構成されているが、
この発明では、圧電振動子は、圧電体からなる振動体と
その振動体の側面に形成される複数の電極とで構成され
てもよい。さらに、圧電振動子の振動体は、正3角柱状
に限らず、正4角柱状などの他の多角柱状や円柱状に形
成されてもよい。また、圧電振動子の圧電素子や電極の
数は、任意に変更されてもよい。Further, in the above embodiment, the piezoelectric vibrator 12
Is composed of a vibrating body 14 made of a metal having a regular triangular prism shape and three piezoelectric elements 16a, 16b and 16c.
In the present invention, the piezoelectric vibrator may be composed of a vibrating body made of a piezoelectric body and a plurality of electrodes formed on the side surface of the vibrating body. Further, the vibrating body of the piezoelectric vibrator is not limited to the regular triangular prism shape, but may be formed in other polygonal columnar shapes such as a regular tetragonal prism shape or a cylindrical shape. Further, the number of piezoelectric elements and electrodes of the piezoelectric vibrator may be changed arbitrarily.
【図1】この発明の一実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す実施例に用いられる温度補償回路の
一例を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of a temperature compensation circuit used in the embodiment shown in FIG.
【図3】図1に示す実施例の温度−感度特性を示すグラ
フである。FIG. 3 is a graph showing temperature-sensitivity characteristics of the example shown in FIG.
【図4】図1に示す実施例に用いられる温度補償回路の
他の例を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing another example of a temperature compensation circuit used in the embodiment shown in FIG.
【図5】従来の振動ジャイロの温度−感度特性を示すグ
ラフである。FIG. 5 is a graph showing temperature-sensitivity characteristics of a conventional vibration gyro.
【図6】図5に示す温度−感度特性を有する振動ジャイ
ロの温度変化による感度の変化を抑えるための増幅回路
の一例を示す回路図である。6 is a circuit diagram showing an example of an amplifier circuit for suppressing a change in sensitivity due to a temperature change of a vibration gyro having the temperature-sensitivity characteristic shown in FIG.
【図7】図5に示す温度−感度特性を有する振動ジャイ
ロに図6に示す増幅回路を設けた場合の温度−感度特性
を示すグラフである。7 is a graph showing temperature-sensitivity characteristics when the vibration gyro having the temperature-sensitivity characteristics shown in FIG. 5 is provided with the amplifier circuit shown in FIG.
10 振動ジャイロ 12 圧電振動子 14 振動体 16a,16b,16c 圧電素子 18 発振回路 20 位相補正回路 22 差動増幅回路 24 同期検波回路 26 温度補償回路 28 直流増幅回路 10 Vibration Gyro 12 Piezoelectric vibrator 14 Vibrating body 16a, 16b, 16c Piezoelectric element 18 Oscillation circuit 20 Phase correction circuit 22 Differential amplification circuit 24 Synchronous detection circuit 26 Temperature compensation circuit 28 DC amplification circuit
Claims (1)
振動ジャイロにおいて、 温度変化に対する前記圧電振動子の検出信号の変化に関
連した特性を有する温度補償回路を設けたことを特徴と
する、振動ジャイロ。1. A vibrating gyroscope having a piezoelectric vibrator capable of obtaining a detection signal, wherein a temperature compensation circuit having characteristics relating to a change in the detection signal of the piezoelectric vibrator with respect to a temperature change is provided. gyro.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5353616A JPH07198396A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Vibrating gyro |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5353616A JPH07198396A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Vibrating gyro |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07198396A true JPH07198396A (en) | 1995-08-01 |
Family
ID=18432054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5353616A Pending JPH07198396A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Vibrating gyro |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07198396A (en) |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5353616A patent/JPH07198396A/en active Pending
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