JPH07174601A

JPH07174601A - 振動式測定装置

Info

Publication number: JPH07174601A
Application number: JP5320560A
Authority: JP
Inventors: Hidenori Wakabayashi; 秀則若林; Futoshi Takahashi; 太高橋
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-12-20
Filing date: 1993-12-20
Publication date: 1995-07-14

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は外部振動が被測流体の質量流量又は
密度を測定する測定ユニットに伝播しないよう構成した
振動式測定装置を提供することを目的とする。【構成】質量流量計１３は、被測流体の流量に比例し
たコリオリ力を計測する振動式の測定ユニット２２を有
する。測定ユニット２２は、センサチューブ２５と、ブ
ラケット２３，２４に支持された一対の加振器２６ａ，
２６ｂ，ピックアップ２７ａ，２７ｂを有し、これらが
円筒状の収納ケース２８内に収納されている。収納ケー
ス２８の上部開口には、円盤状の蓋３２が嵌合してい
る。測定ユニット２２は収納ケース２８の上部開口に嵌
合する蓋３２から下方に延在するように吊下される。収
納ケース２８の上部開口２８ａと蓋３２の段部３２ａと
の間には、外部振動を吸収するための振動吸収部材１９
が介在し収納ケース２８から伝播される振動を弾力的に
吸収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特に外部振動が被測流体の質量流量又は密度を測定する
測定ユニットに伝播しないよう構成した振動式測定装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、コンベヤ等により搬送されるワ
ークに塗装を施す塗装ラインにおいては、コンベヤの近
傍に塗装用ロボットが設置され自動的に塗装作業が行わ
れるようになっている。塗装用ロボットは移動装置の台
車に設置され、コンベヤにより搬送されるワークに追従
しながらアーム先端に取付けられた塗装ガンを予めティ
ーチングされた塗装プログラムにしたがって動作させ、
ワーク表面に塗装を施す。

【０００３】このような塗装用ロボットを用いて自動的
に塗装する場合、ワーク表面に吹き付けられる塗料の吐
出量が一定になるように、即ち塗装膜が均一となるよう
に要望されており、塗装ガンへ供給される塗料をより高
精度に制御する必要がある。

【０００４】そのため、塗装用ロボット装置では、塗料
を供給する塗料供給ユニットと塗装用ロボットのアーム
先端に設けられた塗装ガンとを接続する塗料チューブと
の間に塗料供給量を計測する流量計を設け、流量計から
の計測信号に基づいて塗料送出用ポンプを制御して塗装
ガンからの噴霧される塗料の吐出量を調整していた。そ
して、流量計としては例えば計測精度の高い振動式測定
装置であるコリオリ式質量流量計（以下「質量流量計」
と言う）が適用され、塗料の吐出量がより高精度に制御
される構成となっている。

【０００５】この種の質量流量計では、塗料が流れるセ
ンサチューブを振動させたときに生ずるコリオリ力が流
量に比例し、センサチューブの流入側と流出側とでコオ
リオ力の作用方向が逆向きになるため、その位相差より
流量が計測される構成となっている。従って、上記のよ
うな質量流量計では、センサチューブに外部振動が伝播
すると検出信号にノイズが生ずるため、従来はセンサチ
ューブに外部振動が伝わらないように質量流量計を塗装
用ロボットから離れた床面上等に固定して質量流量計の
計測精度を維持していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な塗装用ロボット装置においては、センサチューブがロ
ボット動作に影響されないようにロボットの動作領域外
に質量流量計を設けるため、塗装ガンと質量流量計との
距離が長くなる。

【０００７】しかも、塗装用ロボットは移動装置の台車
に設置されており、ワーク搬送に応じて移動できるよう
になっている。そのため、塗装ガンと質量流量計とを接
続するチューブがロボットの移動を妨げないようにたる
ませた状態で装架されていることになり、それだけチュ
ーブが余分に長くなって色替時の洗浄性が低下する。

【０００８】又、塗装用ロボットを使用した塗装システ
ムでは、塗料の色替が行なわれるため、塗料供給ユニッ
トと質量流量計との間には色替バルブ及びパージユニッ
トが配設されている。従って、塗装ガンと質量流量計と
の間のチューブが長くなると、それだけ色替時にパージ
されるチューブ内の残量塗料が増えしかもチューブ内を
パージするためのシンナーの量も増えることになり、無
駄が多くなる。

【０００９】さらに、チューブが長いため塗装ガンより
実際に噴霧した量と計測値との間に遅れが生ずるため実
流量に対する計測値の応答性が低下して塗料供給量の制
御が遅れてしまう。

【００１０】上記のような各問題を解決するため、質量
流量計を移動装置の台車又は塗装用ロボットのアームに
設けて質量流量計と塗装ガンとの間を接続する上記チュ
ーブ長さを短くしようとすると、台車の移動、停止によ
る振動あるいはアーム動作による振動が質量流量計のセ
ンサチューブに作用してコリオリ力が変動してしまい正
確な流量計測が行なえなくなる。

【００１１】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置の取付構造を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
被測流体が通過するセンサチューブを振動させて被測流
体の質量流量又は密度を測定する測定ユニットと、該測
定ユニットを支持する支持部材と、該支持部材が開口部
に嵌合されて該測定ユニットを収納する収納ケースとを
有してなる振動式測定装置において、前記収納ケースの
開口部と前記支持部材との間に外部振動を吸収する振動
吸収部材を設けてなることを特徴とする。

【００１３】又、請求項２の発明は、被測流体が通過す
るセンサチューブを振動させて被測流体の質量流量又は
密度を測定する測定ユニットと、該測定ユニットを支持
する支持部材と、該支持部材が開口部に嵌合されて該測
定ユニットを収納する収納ケースとを有してなる振動式
測定装置において、前記収納ケースの開口部と前記支持
部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材を設け、
前記収納ケースを合成樹脂により形成してなることを特
徴とする。

【００１４】

【作用】上記請求項１によれば、収納ケースの開口部と
支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材を設
けることにより、センサチューブを振動させて被測流体
の質量流量又は密度を測定する測定ユニットに外部振動
が伝播することを防止することができる。

【００１５】又、請求項２によれば、収納ケースの開口
部と支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材
を設けるとともに、収納ケースを合成樹脂により形成す
ることにより、装置全体の防振性の向上及び軽量化を図
れる。

【００１６】

【実施例】図１乃至図４に本発明になる振動式測定装置
の一実施例が適用された塗装用ロボットシステムを示
す。

【００１７】各図中、塗装用ロボットシステムでは、塗
装用ロボット１が移動装置２の台車３上に設置され、ワ
ーク４がコンベヤ装置５により搬送されて塗装ブースを
通過する間に塗装用ロボット１を台車３とともに移動さ
せながら塗装作業を行うようになっている。

【００１８】尚、コンベヤ装置５はワーク４を一定速度
でＸ方向に搬送しており、移動装置２はこのコンベヤ装
置５に同期して台車３をベース６に沿ってＸ方向に移動
させる。

【００１９】塗装用ロボット１は、台車３上に固定され
た基台７と、基台７上で旋回する旋回ベース８と、旋回
ベース８のブラケット８ａに支持された第１アーム９
と、第１アーム９の上端より水平方向に延在する第２ア
ーム１０と、第２アーム１０先端の手首部１１に設けら
れた塗装ガン１２とよりなる。塗装用ロボット１はワー
ク４の形状に対応する塗装動作が予めティーチングされ
ており、このティーチングデータに基づいて塗装作業を
実行する。

【００２０】又、台車３上には、コリオリ式の質量流量
計１３が設置されている。この質量流量計１３は上部に
流入側塗料チューブ１４と、流出側塗料チューブ１５と
が接続されている。

【００２１】流入側塗料チューブ１４は塗料を供給する
塗料供給ユニットの切替バルブ（共に図示せず）と接続
されている。又、流出側塗料チューブ１５は第２アーム
１０に沿って装架されて塗装ガン１２に接続されてい
る。

【００２２】従って、塗料供給ユニットから圧送された
塗料は、流入側塗料チューブ１４を通過して、質量流量
計１３に供給されて流量計測される。そして、質量流量
計１３より流出した塗料は、流出側塗料チューブ１５を
介して塗装ガン１２に供給され、ワーク４へ噴霧され
る。

【００２３】このように、質量流量計１３が台車３上に
設けられているので、質量流量計１３から塗装ガン１２
までの距離が短く流出側塗料チューブ１５の全長がかな
り短くできる。そのため、流出側塗料チューブ１５内に
残留する塗料が少なくなり、切替時にパージされる塗料
及びシンナーが少量で済み無駄が少なくなっている。
又、実際に塗料が噴霧された吐出量に対し、質量流量計
１３の流量計測の応答性が向上し、流量計測の遅れが小
さくなる。

【００２４】ここで、上記質量流量計１３の構成につい
て説明する。

【００２５】図３，図４に示す如く、質量流量計１３
は、被測流体の流量に比例したコリオリ力を計測する振
動式の測定ユニット２２を有する。

【００２６】図５に示すように、測定ユニット２２は、
センサチューブ２５と、ブラケット２３，２４に支持さ
れた一対の加振器２６ａ，２６ｂ，ピックアップ２７
ａ，２７ｂを有し、これらが円筒状の収納ケース２８内
に収納されている。収納ケース２８の下部開口には、円
盤状の底板２９が嵌合固定されている。

【００２７】底板２９は、上記台車３の取付面３ａに載
置され、収納ケース２８の下端外周に突出するフランジ
３０がボルト３１により取付面３ａに締結される。この
ように、本実施例では、収納ケース２８及び底板２９の
底面が平面であるので、取り付け場所を選ぶことなく直
接取付面３ａに締結できるので、平面状の部分があれば
容易に取り付けることができる。

【００２８】又、収納ケース２８の上部開口には、円盤
状の蓋３２が嵌合している。そして、この蓋３２にセン
サチューブ２５の両端及び加振器２６ａ，２６ｂ，ピッ
クアップ２７ａ，２７ｂを支持する支柱４７の上端部が
固定される。従って、測定ユニット２２は収納ケース２
８の上部開口に嵌合する蓋３２から下方に延在するよう
に吊下される。

【００２９】図３，図４及び図６に示すように、収納ケ
ース２８の上部開口２８ａと蓋３２の段部３２ａとの間
には、外部振動を吸収するための振動吸収部材１９が介
在している。この振動吸収部材１９は、環状に形成され
たゴム製のチューブであり、内部に空気室１９ａを有す
る空気ばね構造になっており、材質自体の弾性とともに
空気室１９ａ内の空気の圧力により収納ケース２８から
伝播される振動を弾力的に吸収する。又、振動吸収部材
１９は、外周に鍔部１９ｂが突出しており、該鍔部１９
ｂが収納ケース２８の上部開口周縁に当接して保持され
る。

【００３０】よって、上記測定ユニット２２は、この振
動吸収部材１９により弾力的に支持されるように吊下さ
れている。

【００３１】又、振動吸収部材１９には、上面及び外周
に正方形状の板状ナット２０が埋設されるようにインサ
ート成形されている。従って、固定用ボルト２１が蓋３
２の鍔部３２ｂに穿設された孔３２ｃ及び収納ケース２
８の外周に穿設された孔２８ｃに挿通されて上記板状ナ
ット２０に螺合して締め付けられることにより、振動吸
収部材１９は収納ケース２８の上部開口２８ａと蓋３２
の段部３２ａとの間で挟持された状態に固定される。

【００３２】このように、収納ケース２８の上部開口２
８ａと蓋３２との間に振動吸収部材１９が介在している
ため、例え収納ケース２８に外部振動が伝播しても、弾
性を有する振動吸収部材１９の空気室１９ａが空気ばね
として機能して外部振動を吸収する。

【００３３】しかるに、本実施例では、測定ユニット２
２の蓋３２が振動吸収部材１９に弾力的に支持される構
成であるので、収納ケース２８に伝播した振動は振動吸
収部材１９により絶縁されて収納ケース２８内に収納さ
れた測定ユニット２２に伝播することが防止される。そ
のため、測定ユニット２２は、後述するように外部振動
の影響を受けることなく正確な流量計測が行える。

【００３４】上記収納ケース２８，底板２９，蓋３２
は、夫々合成樹脂製であり、例えば耐薬品性に優れたポ
リアセタール樹脂などにより成形されている。従って、
測定ユニット２２を収納する収納ケース２８，底板２
９，蓋３２の軽量化が図られている。尚、被測流体が直
接流れるセンサチューブ２５は耐食性に優れたステンレ
ス製である。

【００３５】従って、測定ユニット２２は、合成樹脂製
の収納ケース２８，底板２９，蓋３２により形成された
気密容器内に収納されており、上記振動吸収部材１９が
シール部材としても機能するため、外部と遮断された密
閉された空間内で外部の雰囲気から保護されるととも
に、センサチューブ２５に結露が発生することを防止で
きる。さらに、収納ケース２８の内部には、乾燥した気
体（例えば窒素ガスなど）を封入しておく。これによ
り、収納ケース２８の外部の温度，湿度の変化による影
響を受けることなく正確な流量計測を行える。

【００３６】又、蓋３２の上面には、流入側塗料チュー
ブ１４が接続される流入口３４と流出側塗料チューブ１
５が接続される流出口３５とが穿設されている。この流
入口３４及び流出口３５には、センサチューブ２５の両
端部を固定するための継手３６，３７が嵌合し、且つ各
継手３６，３７と流入口３４，流出口３５との間はシー
ル部材３８，３９によりシールされている。

【００３７】上記センサチューブ２５は、塗装用ロボッ
ト１の後方からみるとＪ字状に形成されており、垂下方
向に平行に延在する流入側の直管部２５ａ，流出側の直
管部２５ｂと、直管部２５ａ，２５ｂの下端よりＵ字状
に湾曲した曲部２５ｃ，２５ｄと、曲部２５ｃ，２５ｄ
とを接続する逆Ｕ字状の接続部２５ｅとよりなる。又、
流入側の直管部２５ａの上端は流入口３４に連通する孔
に嵌合する。流出側の直管部２５ｂは上端が流出口３５
に連通する孔に嵌合する。

【００３８】４３はコネクタボックスで、蓋３２の上面
に固着され、内部には加振器２６ａ，２６ｂ及びピック
アップ２７ａ，２７ｂからの複数のコード４４が引き込
まれている。加振器２６ａ，２６ｂは実質電磁ソレノイ
ドと同様な構成であり、センサチューブ２５の直管部２
５ａ，２５ｂの下端に設けられたマグネット２６ａ₁，
２６ｂ₁と、マグネット２６ａ₁，２６ｂ₁を台車３の
移動方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向に駆動するコイル
２６ａ₂，２６ｂ₂とよりなる。

【００３９】又、ピックアップ２７ａ，２７ｂは加振器
２６ａ，２６ｂと同様な構成であり、直管部２５ａ，２
５ｂの中間部分に設けられた円柱状のマグネット２７ａ
₁，２７ｂ₁と、マグネット２７ａ₁，２７ｂ₁との相
対変位に応じた電圧を発生する筒状のコイル２７ａ₂，
２７ｂ₂とよりなり、直管部２５ａ，２５ｂのＹ方向の
変位を検出する。

【００４０】４５は第１のサポート板で、直管部２５
ａ，２５ｂに上端部分が貫通し、且つろう付け等により
直管部２５ａ，２５ｂ外周に固着されている。４６は第
２のサポート板で、接続部２５ｅと曲部２５ｃ，２５ｄ
との間で装架され接続部２５ｅの両端を保持するよう固
着されている。

【００４１】従って、加振器２６ａ，２６ｂにより直管
部２５ａ，２５ｂの下端が加振されると、直管部２５
ａ，２５ｂは第１のサポート板４５を支点とし、曲部２
５ｃ，２５ｄは第２のサポート板４６を支点としてＹ方
向に振動する。このようにセンサチューブ２５の直管部
２５ａ，２５ｂは上下方向の外部振動に対して直交する
水平方向に振動するため、外部振動の影響を受けにく
い。

【００４２】そして、ピックアップ２７ａ，２７ｂは振
動する直管部２５ａ，２５ｂ内を流れる流量に比例した
コリオリ力による水平方向（Ｙ方向）の変位を検出する
ため、外部振動の上下方向成分を検出せず流量に応じて
直管部２５ａ，２５ｂの変位を正確に検出する。

【００４３】４７は前記センサチューブ２５，加振器２
６ａ，２６ｂ、ピックアップ２７ａ，２７ｂを支持する
支柱で、上端が蓋３２に固定され、下端が垂下方向に延
在するよう設けられている。そして、支柱４７は下端が
底板２９より離間した自由端になっており、底板２９を
介して外部振動が伝播しないようになっている。

【００４４】流量計測時は、前述の如く加振器２６ａ，
２６ｂがセンサチューブ２５の直管部２５ａ，２５ｂを
水平方向（Ｙ方向）に加振し、一対の直管部２５ａ，２
５ｂが互いに近接又は離間するように水平方向（Ｙ方
向）に振動する。被測流体としての塗料はこのように振
動するセンサチューブ２５の直管部２５ａに流入し曲部
２５ｃ，接続部２５ｅ，曲部２５ｄ，直管部２５ｂを通
過して流出口３５より下流側塗料チューブ１５へ流出す
る。直管部２５ａ，２５ｂでは流量に比例した大きさの
コリオリ力が発生し、流入側と流出側では逆向きのコリ
オリ力が発生する。

【００４５】これにより、直管部２５ａと２５ｂとでは
時間的な遅れが生じ、これがピックアップ２７ａの出力
信号と２７ｂの出力信号との位相差となって検出され
る。尚、流量計測の原理についての詳細は同出願人によ
り先に出願された例えば特開昭６３−２６２５２６号の
ものと同じなのでここでは省略する。

【００４６】ところが、上記構成になる質量流量計１３
には、振動が台車３を介して伝播される。

【００４７】しかるに、本実施例では、測定ユニット２
２が上記空気ばね構造の振動吸収部材１９を介して吊下
されているので、台車３からの外部振動は振動吸収部材
１９の空気室１９ａの空気圧及び振動吸収部材１９自体
の弾性により弾力的に吸収される。従って、測定ユニッ
ト２２には、台車３の移動による振動が伝播せず、振動
吸収部材１９により外部振動が良好に絶縁される。

【００４８】しかも、本実施例では、外部振動の上下方
向成分が収納ケース２８，底板２９に伝播しても、セン
サチューブ２５の直管部２５ａ，２５ｂが振動成分と直
交する水平方向に加振され、ピックアップ２７ａ，２７
ｂはＹ方向に発生するコリオリ力による直管部２５ａ，
２５ｂの変位を検出するため、外部振動の影響をほとん
ど受けることなく流量計測することができる。そのた
め、質量流量計１３は移動する台車３上に設置された状
態でも流量を正確に計測できる。

【００４９】さらに、質量流量計１３は台車３がＸ方向
に移動する際、同方向の加速度を受けることになる。し
かるに、前述の如く質量流量計１３のセンサチューブ２
５は台車３の移動方向に対し直交方向であるＹ方向に加
振されるように設けられており、従ってピックアップ２
７ａ，２７ｂは台車３の移動に伴う加速度の影響を受け
ないＹ方向のコリオリ力を検出することになる。

【００５０】そのため、質量流量計１３は移動する台車
３上に塗装用ロボット１とともに設置されても、塗料の
供給量を正確に計測することができる。

【００５１】上記実施例ではセンサチューブ形状がＪ字
状に曲げられた構成の質量流量計１３を一例として説明
したが、センサチューブ形状はこれに限らないのは勿論
である。

【００５２】図６に本発明の変形例を示す。

【００５３】同図中、塗装用ロボット１の第１アーム１
０の上面１０ａには、質量流量計１３が設置されてお
り、質量流量計１３は固定用ベルト５１により第１アー
ム１０に固定されている。

【００５４】質量流量計１３は前述したように収納ケー
ス２８の上部開口２８ａと蓋３２との間に振動吸収部材
１９が介在しているため、例え第１アーム１０の回動動
作による振動が収納ケース２８に伝播しても、弾性を有
する振動吸収部材１９の空気室１９ａが空気ばねとして
機能して外部振動を吸収する。

【００５５】即ち、測定ユニット２２が振動吸収部材１
９を介して吊下された状態に支持されているので、収納
ケース２８の振動は、振動吸収部材１９により絶縁され
て収納ケース２８内に収納された測定ユニット２２に伝
播するこが防止される。そのため、測定ユニット２２
は、第１アーム１０の回動動作に伴う振動の影響を受け
ることなく正確な流量計測が行える。

【００５６】さらに、質量流量計１３から塗装ガン１２
までの距離が上記実施例の構成よりも短いので、質量流
量計１３から引き出され塗装ガン１２との間を接続する
塗料チューブ１５が大幅に短くなり、その分塗装ガン１
２のオン、オフによる塗料の流量変化を応答性良く計測
できる。

【００５７】又、質量流量計１３は、前述したように収
納ケース２８，底板２９，蓋３２は、夫々合成樹脂製で
あり、軽量化が図られているので、第１アーム１０に取
り付けられても第１アーム１０の旋回動作を妨げること
がない。従って、第１アーム１０の強度を補強したり、
あるいは第１アーム１０を駆動する駆動用モータを大型
化する必要もない。

【００５８】尚、上記実施例では、質量流量計を一例と
して説明したが、振動式の密度計として使用することも
できる。

【００５９】又、センサチューブの形状は、上記実施例
の形状に限らず、例えばＵ字状に曲げられた形状あるい
は直線状に延在する形状を採用しても良いのは勿論であ
る。

【００６０】又、上記実施例では、センサチューブが１
本の構成された質量流量計を用いたが、これ以外の例え
ば特開平１−１３６０２６号公報にみられるように一対
のセンサチューブを互いに近接、離間するよう振動させ
る構成にも適用できる。その場合、外部信号をキャンセ
ルできるが、加振方向が台車の移動方向と直交する向き
となるように設けても良いのは勿論である。

【００６１】

【発明の効果】上述の如く、請求項１の発明によれば、
収納ケースの開口部と支持部材との間に外部振動を吸収
する振動吸収部材を設けたため、センサチューブを振動
させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユニ
ットに外部振動が伝播することを防止することができ、
振動の影響を受けることなく正確の計測が可能になる。
又、底面を直接取付面に当接させて取り付けることがで
きるので、取り付け作業が容易に行える。

【００６２】又、請求項２によれば、収納ケースの開口
部と支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材
を設けるとともに、収納ケースを合成樹脂により形成し
たため、装置全体の防振性の向上及び軽量化を図ること
ができ、可動部分に取り付ける際に可動部分を補強した
り駆動部の負荷が増大する必要がないので、設置場所を
選ぶことなく設置することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例が適用
された塗装システムを示す斜視図である。

【図２】塗装用ロボットの背面図である。

【図３】質量流量計の構成を説明するための縦断面図で
ある。

【図４】質量流量計の背面から見た縦断面図である。

【図５】測定ユニットの斜視図である。

【図６】本発明の要部を拡大して示す縦断面図である。

【図７】本発明の変形例の斜視図である。

【符号の説明】

１塗装用ロボット２移動装置３台車４ワーク５コンベヤ装置６ベース１２塗装ガン１３質量流量計１４流入側塗装チューブ１５流出側塗装チューブ１９振動吸収部材２５センサチューブ２６ａ，２６ｂ加振器２７ａ，２７ｂピックアップ２８収納ケース３２蓋４７支柱

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測流体が通過するセンサチューブを振
動させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユ
ニットと、該測定ユニットを支持する支持部材と、該支
持部材が開口部に嵌合されて該測定ユニットを収納する
収納ケースとを有してなる振動式測定装置において、前記収納ケースの開口部と前記支持部材との間に外部振
動を吸収する振動吸収部材を設けてなることを特徴とす
る振動式測定装置。
【請求項２】被測流体が通過するセンサチューブを振
動させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユ
ニットと、該測定ユニットを支持する支持部材と、該支
持部材が開口部に嵌合されて該測定ユニットを収納する
収納ケースとを有してなる振動式測定装置において、前記収納ケースの開口部と前記支持部材との間に外部振
動を吸収する振動吸収部材を設け、前記収納ケースを合成樹脂により形成してなることを特
徴とする振動式測定装置。