JPH07169825A - Electrostatic attracting apparatus - Google Patents
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- JPH07169825A JPH07169825A JP34303193A JP34303193A JPH07169825A JP H07169825 A JPH07169825 A JP H07169825A JP 34303193 A JP34303193 A JP 34303193A JP 34303193 A JP34303193 A JP 34303193A JP H07169825 A JPH07169825 A JP H07169825A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 31
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 156
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、静電吸着装置に関し、
詳しくはＨｅガスの流量を検出し、被処理基板の吸着力
を一定に保つ静電吸着装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic attraction device,
Specifically, the present invention relates to an electrostatic adsorption device that detects the flow rate of He gas and keeps the adsorption force of a substrate to be processed constant.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、減圧ガス雰囲気下において蒸
着、エッチング等の加工処理を行う際に、ウェーハを保
持する静電吸着装置が使用されてきた。この静電吸着装
置の一例を図５に示す。この図において、真空室１３の
上部にはプロセスガスを供給するプロセスガス導入管１
２が設けられ、真空室１３の側部には真空排気配管１５
が設けられている。真空排気配管１５は圧力調整バルブ
１６を介して真空ポンプ１７に接続されている。2. Description of the Related Art Heretofore, an electrostatic adsorption device for holding a wafer has been used when processing such as vapor deposition and etching in a reduced pressure gas atmosphere. An example of this electrostatic adsorption device is shown in FIG. In this figure, a process gas introduction pipe 1 for supplying a process gas is provided above the vacuum chamber 13.
2 is provided, and a vacuum exhaust pipe 15 is provided on the side of the vacuum chamber 13.
Is provided. The vacuum exhaust pipe 15 is connected to a vacuum pump 17 via a pressure adjusting valve 16.
【０００３】真空室１３の内部には、ＧＮＤに接地され
た上部電極１４と、上部電極１４に対向したステージ２
とが設けられている。半導体ウェーハ等の被処理基板１
が載置されたステージ２の内部には、被処理基板１を静
電吸着するための電極３が設けられている。この電極３
には、静電吸着用の直流電源１０およびプラズマ処理用
の高周波電源９が接続されている。電極３に直流電源１
０を印加し、電極３を帯電させることにより、被処理基
板１はステージ２表面に密着する構成となっている。一
方、ステージ２は図示されていないヒータまたは冷却装
置等により一定温度に保たれている。よって、被処理基
板１をステージ２に密着させることにより、被処理基板
１はエッチング等の処理に適した温度に保たれる。Inside the vacuum chamber 13, an upper electrode 14 grounded to GND and a stage 2 facing the upper electrode 14 are provided.
And are provided. Substrates to be processed 1 such as semiconductor wafers
An electrode 3 for electrostatically attracting the substrate 1 to be processed is provided inside the stage 2 on which is mounted. This electrode 3
A DC power supply 10 for electrostatic attraction and a high frequency power supply 9 for plasma processing are connected to the. DC power supply 1 for electrode 3
By applying 0 and charging the electrode 3, the substrate 1 to be processed is in close contact with the surface of the stage 2. On the other hand, the stage 2 is kept at a constant temperature by a heater, a cooling device or the like (not shown). Therefore, by bringing the substrate 1 to be processed into close contact with the stage 2, the substrate 1 to be processed is kept at a temperature suitable for a process such as etching.
【０００４】しかしながら、被処理基板１およびステー
ジ２のそれぞれの表面は必ずしも平坦ではないため、被
処理基板１とステージ２とに間隙が生じ、被処理基板１
の温度分布が不均一となってしまう。そこで、ステージ
２の上部にＨｅ供給ライン４からＨｅ（ヘリウム）ガス
を供給し、被処理基板１とステージ２との間隙に熱伝導
体としてＨｅガスを充填している。これにより、被処理
基板１とステージ２との間で熱伝導を行われ、被処理基
板１の温度分布は均一になる。Ｈｅ供給ライン４に設け
られた圧力計５および圧力制御装置７は、被処理基板１
とステージ２との間のＨｅガスの圧力を一定にし、Ｈｅ
ガスによる熱伝導を一定に保とうとするものである。す
なわち、圧力制御装置７は、圧力計５によって検出され
たＨｅガスの圧力に従い、Ｈｅの流量を制御することに
より供給ライン４における圧力を一定に保っている。However, since the respective surfaces of the substrate 1 to be processed and the stage 2 are not necessarily flat, a gap is generated between the substrate 1 to be processed and the stage 2 and the substrate 1 to be processed 1
The temperature distribution of is not uniform. Therefore, He (helium) gas is supplied to the upper part of the stage 2 from the He supply line 4, and the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 is filled with He gas as a heat conductor. Thereby, heat is conducted between the substrate 1 to be processed and the stage 2, and the temperature distribution of the substrate 1 to be processed becomes uniform. The pressure gauge 5 and the pressure control device 7 provided on the He supply line 4 are the substrate 1 to be processed.
The pressure of He gas between the stage 2 and the stage 2,
It is intended to keep the heat conduction by the gas constant. That is, the pressure control device 7 keeps the pressure in the supply line 4 constant by controlling the flow rate of He according to the pressure of He gas detected by the pressure gauge 5.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の静電吸着装置にあっては、Ｈｅガスの圧力を検出し、
Ｈｅガスの圧力が一定となるような制御を行っていた。
しかしながら、このような静電吸着装置にあっては、以
下のような問題が生じていた。As described above, in the conventional electrostatic adsorption device, the pressure of He gas is detected,
The control was performed so that the pressure of He gas was constant.
However, in such an electrostatic adsorption device, the following problems have occurred.
【０００６】上述した静電吸着装置においては、直流電
源１０の印加電圧は一定に保たれている。本来、印加電
圧が一定であれば吸着力も一定のはずであるが、実際に
は真空室１３内のプロセスガスの種類、流量、圧力、お
よび、高周波電源９の印加電圧等に起因して、吸着力が
変動する。このため、被処理基板１の端部とステージ２
との間に隙間が生じ、この隙間からＨｅガスが真空室１
３へと流出する。真空室１３に流出したＨｅガスは、真
空室１３内に生じるプラズマガスの組成を変化させ、こ
の結果、被処理基板に対して所望の処理を行うことがで
きなくなってしまう。In the electrostatic attraction device described above, the voltage applied to the DC power supply 10 is kept constant. Originally, if the applied voltage is constant, the adsorption force should also be constant, but in reality, due to the type of process gas in the vacuum chamber 13, the flow rate, the pressure, the applied voltage of the high-frequency power source 9, and the like, the adsorption force is increased. Power fluctuates. Therefore, the edge of the substrate 1 to be processed and the stage 2 are
A gap is created between the He gas and the vacuum chamber 1.
It flows to 3. The He gas flowing into the vacuum chamber 13 changes the composition of the plasma gas generated in the vacuum chamber 13, and as a result, the desired processing cannot be performed on the target substrate.
【０００７】また、被処理基板１とステージ２との間か
らＨｅガスが流出することにより、両者の間隙において
Ｈｅガスの流れが生じ、間隙内におけるガスの圧力が均
一でなくなる。よって、Ｈｅガスによる熱伝導が不均一
となり、被処理基板に対して所望の処理を行うことが不
可能となる。Further, the He gas flowing out from between the substrate 1 to be processed and the stage 2 causes the He gas to flow in the gap between the two, so that the gas pressure in the gap is not uniform. Therefore, heat conduction due to He gas becomes non-uniform, and it becomes impossible to perform desired processing on the substrate to be processed.
【０００８】なお、隙間の圧力変化を吸着力の変化とみ
なし、吸着力の変化により生ずる被処理基板の温度変化
（冷却状態の変化等）に対応したプロセス制御を行う静
電吸着装置が案出されている（特開平４−３５９５３９
号公報）。ところが、プロセスの各パラメータ（真空室
圧力、高周波電極等）を変更してしまうと、被処理基板
の最適処理条件を満足することができなくなる。An electrostatic adsorption device is devised which regards the pressure change in the gap as a change in the adsorption force and performs process control corresponding to the temperature change (change in cooling state, etc.) of the substrate to be processed caused by the change in the adsorption force. (Japanese Patent Laid-Open No. 4-359539)
Issue). However, if each parameter of the process (vacuum chamber pressure, high frequency electrode, etc.) is changed, it becomes impossible to satisfy the optimum processing conditions for the substrate to be processed.
【０００９】これらの静電吸着装置は、いずれも吸着力
を一定に制御するものではない。このため、被処理基板
１とステージ２との隙間が増大したとしても、隙間から
はＨｅガスが漏れた状態のままとなる。漏れたＨｅガス
は、真空室内１３のプラズマガスに混入し、加工処理に
悪影響を与える。また、被処理基板１とステージ２との
間にＨｅガスが流れ、被処理基板の温度が不均一とな
る。さらには、被処理基板１に対して最適な加工処理
（スパッタリング、エッチング等）を行うことができな
くなり、製造された半導体の品質の低下を招いていた。None of these electrostatic attraction devices controls the attraction force to be constant. Therefore, even if the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 increases, the He gas remains leaked from the gap. The leaked He gas mixes with the plasma gas in the vacuum chamber 13 and adversely affects the processing. Further, He gas flows between the substrate 1 to be processed and the stage 2, and the temperature of the substrate to be processed becomes non-uniform. Furthermore, it becomes impossible to perform optimal processing (sputtering, etching, etc.) on the substrate 1 to be processed, resulting in deterioration of the quality of the manufactured semiconductor.
【００１０】そこで、本発明は、静電吸着装置におい
て、Ｈｅガスの流量に基づき電極への印加電圧を変化さ
せ、吸着力を一定に保つことにより、上記問題を回避す
ることを目的としている。Therefore, an object of the present invention is to avoid the above problem in an electrostatic adsorption device by changing the voltage applied to the electrode based on the flow rate of He gas and keeping the adsorption force constant.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被処理基板が載置されるステージと、電圧を印加される
ことにより帯電し、被処理基板をステージに吸着させる
静電吸着部と、被処理基板およびステージの間隙に熱伝
導ガスを供給するガス供給部と、上記間隙に供給される
熱伝導ガスの流量を検出するガス流量検出部と、ガス流
量検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基づき上
記静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部とを備え
たことを特徴とする静電吸着装置である。The invention according to claim 1 is
A stage on which the substrate to be processed is placed, an electrostatic attraction portion that is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage, and a gas that supplies a heat transfer gas to the gap between the substrate and the stage to be processed. A supply unit, a gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat conduction gas supplied to the gap, and a voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat conduction gas detected by the gas flow rate detection unit. And a control unit for controlling the electrostatic attraction device.
【００１２】請求項２記載の発明は、被処理基板が載置
されるステージと、電圧を印加されることにより帯電
し、被処理基板をステージに吸着させる静電吸着部と、
被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、上記間隙における熱伝導ガスの圧力を
検出する圧力検出部と、検出された圧力に基づき上記間
隙に供給する熱伝導ガスの圧力を制御する圧力制御装置
と、上記間隙に供給される熱伝導ガスの流量を検出する
ガス流量検出部と、ガス流量検出部により検出された熱
伝導ガスの流量に基づき上記静電吸着部に印加する電圧
を制御する制御部とを備えたことを特徴とする静電吸着
装置である。According to a second aspect of the present invention, there is provided a stage on which the substrate to be processed is placed, and an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage to attract the substrate to be processed to the stage.
A gas supply unit that supplies a heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage, a pressure detection unit that detects the pressure of the heat transfer gas in the gap, and a heat transfer gas that is supplied to the gap based on the detected pressure. A pressure control device that controls the pressure, a gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat transfer gas supplied to the gap, and the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas detected by the gas flow rate detection unit. The electrostatic attraction device is provided with a control unit that controls a voltage to be applied.
【００１３】請求項３記載の発明は、被処理基板が載置
されるステージと、電圧を印加されることにより帯電
し、被処理基板をステージに吸着させる静電吸着部と、
被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、上記間隙に供給された熱伝導ガスの一
部を排出するガス排出部と、上記間隙から排出される熱
伝導ガスの流量を検出するガス流量検出部と、ガス流量
検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基づき上記
静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部とを備えた
ことを特徴とする静電吸着装置である。According to a third aspect of the present invention, there is provided a stage on which the substrate to be processed is placed, and an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage.
A gas supply unit for supplying a heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage, a gas discharge unit for discharging a part of the heat transfer gas supplied to the gap, and a flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap. Electrostatic adsorption, comprising: a gas flow rate detection unit for detecting the flow rate; and a control unit for controlling the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas detected by the gas flow rate detection unit. It is a device.
【００１４】請求項４記載の発明は、被処理基板が載置
されるステージと、電圧を印加されることにより帯電
し、被処理基板をステージに吸着させる静電吸着部と、
被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、上記間隙に供給された熱伝導ガスの一
部を排出するガス排出部と、上記間隙における熱伝導ガ
スの圧力を検出する圧力検出部と、検出された圧力に基
づき上記間隙に供給する熱伝導ガスの圧力を制御する圧
力制御装置と、上記間隙から排出される熱伝導ガスの流
量を検出するガス流量検出部と、ガス流量検出部により
検出された熱伝導ガスの流量に基づき上記静電吸着部に
印加する電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴と
する静電吸着装置である。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a stage on which the substrate to be processed is placed, and an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage.
A gas supply unit for supplying a heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage, a gas discharge unit for discharging a part of the heat transfer gas supplied to the gap, and a pressure of the heat transfer gas in the gap is detected. A pressure detection unit, a pressure control device that controls the pressure of the heat transfer gas supplied to the gap based on the detected pressure, a gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap, and a gas An electrostatic adsorption device, comprising: a control unit that controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas detected by the flow rate detection unit.
【００１５】[0015]
【作用】請求項１記載の発明において、静電吸着部は電
圧を印加されることにより帯電し、被処理基板をステー
ジに吸着させる。ガス供給部は、被処理基板およびステ
ージの間隙に熱伝導ガスを供給する。この熱伝導ガスに
より、ステージおよび被処理基板間の熱伝導が行われ
る。ガス流量検出部は、上記間隙に供給される熱伝導ガ
スの流量を検出し、制御部は熱伝導ガスの流量に基づき
静電吸着部に印加する電圧を制御し、吸着力を一定に保
つ。According to the first aspect of the invention, the electrostatic attraction portion is charged by applying a voltage, and the substrate to be processed is attracted to the stage. The gas supply unit supplies the heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage. The heat transfer gas conducts heat between the stage and the substrate to be processed. The gas flow rate detection unit detects the flow rate of the heat conduction gas supplied to the gap, and the control unit controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat conduction gas to keep the adsorption force constant.
【００１６】例えば、吸着力が低下したとすると、被処
理基板とステージの間の間隙が大きくなり、この間隙か
ら熱伝導ガスの一部が流出する。これにより、供給され
る熱伝導ガスの量は増加し、この増加量はガス流量検出
部によって検出される。制御部は、熱伝導ガスの流量の
増加分に応じて静電吸着部に印加する電圧を増加させ
る。この結果、吸着力が増加し、全体として吸着力は一
定に保たれる。For example, if the adsorption force decreases, the gap between the substrate to be processed and the stage becomes large, and a part of the heat transfer gas flows out from this gap. As a result, the amount of the heat transfer gas supplied increases, and this increase amount is detected by the gas flow rate detection unit. The control unit increases the voltage applied to the electrostatic adsorption unit according to the increase in the flow rate of the heat transfer gas. As a result, the suction force is increased, and the suction force is kept constant as a whole.
【００１７】したがって、吸着力を一定に保つことによ
り、被処理基板とステージとの間隙を小さくできる。こ
のため、被処理基板とステージとの間から漏れる熱伝導
ガスの量を低減でき、漏れた熱伝導ガスによるプラズマ
ガスの組成変化を防止できる。また、被処理基板とステ
ージとの間に熱伝導ガスが流れることもなく、均一な熱
伝導が行われるため被処理基板の温度分布を均一にする
ことができる。よって、本発明によれば、被処理基板の
加工処理に悪影響を与えることなく、被処理基板に対し
て最適な条件での加工処理を行うことができる。Therefore, by keeping the adsorption force constant, the gap between the substrate to be processed and the stage can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the amount of the heat conducting gas leaking between the substrate to be processed and the stage, and it is possible to prevent the composition change of the plasma gas due to the leaking heat conducting gas. Further, since heat conduction gas does not flow between the substrate to be processed and the stage and uniform heat conduction is performed, the temperature distribution of the substrate to be processed can be made uniform. Therefore, according to the present invention, it is possible to perform the processing under the optimum conditions on the substrate to be processed without adversely affecting the processing of the substrate to be processed.
【００１８】請求項２記載の発明において、静電吸着部
は電圧を印加されることにより帯電し、被処理基板をス
テージに吸着させる。ガス供給部は、被処理基板および
ステージの間隙に熱伝導ガスを供給する。この熱伝導ガ
スにより、ステージおよび被処理基板間の熱伝導が行わ
れる。ガス流量検出部は、上記間隙に供給される熱伝導
ガスの流量を検出し、制御部は熱伝導ガスの流量に基づ
き静電吸着部に印加する電圧を制御する。吸着力が一定
となるよう制御されるため、間隙からの熱伝導ガスの漏
れ等を回避できる。よって、本発明によれば、被処理基
板の加工処理に悪影響を与えることなく、被処理基板に
対して最適な条件での加工処理を行うことができる。ま
た、圧力検出部および圧力制御部により、被処理基板と
ステージとの間隙における圧力を一定にできるため、均
一な熱伝導を行うことが可能となる。According to the second aspect of the invention, the electrostatic attraction portion is charged by applying a voltage, and the substrate to be processed is attracted to the stage. The gas supply unit supplies the heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage. The heat transfer gas conducts heat between the stage and the substrate to be processed. The gas flow rate detection unit detects the flow rate of the heat conduction gas supplied to the gap, and the control unit controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat conduction gas. Since the adsorption force is controlled to be constant, it is possible to avoid leakage of the heat transfer gas from the gap. Therefore, according to the present invention, it is possible to perform the processing under the optimum conditions on the substrate to be processed without adversely affecting the processing of the substrate to be processed. Further, since the pressure in the gap between the substrate to be processed and the stage can be made constant by the pressure detection unit and the pressure control unit, uniform heat conduction can be performed.
【００１９】請求項３記載の発明において、静電吸着部
は電圧を印加されることにより帯電し、被処理基板をス
テージに吸着させる。ガス供給部は、被処理基板および
ステージの間隙に熱伝導ガスを供給する。この熱伝導ガ
スにより、ステージおよび被処理基板間の熱伝導が行わ
れる。ガス排出部は、間隙に供給された熱伝導ガスの一
部を排出し、ガス流量検出部は間隙から排出される熱伝
導ガスの流量を検出する。制御部は熱伝導ガスの流量に
基づき静電吸着部に印加する電圧を制御することによ
り、静電吸着部の吸着力を一定に保つ。したがって、熱
伝導ガスが間隙から漏れるのを防止でき、被処理基板に
対する加工処理に悪影響を与えることを回避することが
可能となる。According to the third aspect of the invention, the electrostatic attraction portion is charged by applying a voltage, and the substrate to be processed is attracted to the stage. The gas supply unit supplies the heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage. The heat transfer gas conducts heat between the stage and the substrate to be processed. The gas discharge part discharges part of the heat transfer gas supplied to the gap, and the gas flow rate detection part detects the flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap. The control unit controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas, thereby keeping the adsorption force of the electrostatic adsorption unit constant. Therefore, it is possible to prevent the heat conductive gas from leaking from the gap, and avoid adversely affecting the processing of the substrate to be processed.
【００２０】請求項４記載の発明において、静電吸着部
は電圧が印加されることにより帯電し、被処理基板をス
テージに吸着させる。ガス供給部は、被処理基板および
ステージの間隙に熱伝導ガスを供給する。この熱伝導ガ
スにより、ステージおよび被処理基板間の熱伝導が行わ
れる。ガス排出部は、間隙に供給された熱伝導ガスの一
部を排出し、ガス流量検出部は間隙から排出される熱伝
導ガスの流量を検出する。制御部は熱伝導ガスの流量に
基づき静電吸着部に印加する電圧を制御することによ
り、静電吸着部の吸着力を一定に保つ。よって、熱伝導
ガスが間隙から漏れるのを防止でき、被処理基板に対す
る加工処理に悪影響を与えることを回避することが可能
となる。また、圧力検出部および圧力制御部により、被
処理基板とステージとの間隙における圧力を一定にでき
るため、均一な熱伝導を行うことが可能となる。In the invention according to claim 4, the electrostatic attraction portion is charged by applying a voltage, and the substrate to be processed is attracted to the stage. The gas supply unit supplies the heat transfer gas to the gap between the substrate to be processed and the stage. The heat transfer gas conducts heat between the stage and the substrate to be processed. The gas discharge part discharges part of the heat transfer gas supplied to the gap, and the gas flow rate detection part detects the flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap. The control unit controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas, thereby keeping the adsorption force of the electrostatic adsorption unit constant. Therefore, it is possible to prevent the heat conductive gas from leaking from the gap, and it is possible to avoid adversely affecting the processing of the substrate to be processed. Further, since the pressure in the gap between the substrate to be processed and the stage can be made constant by the pressure detection unit and the pressure control unit, uniform heat conduction can be performed.
【００２１】[0021]
【実施例】以下に、本発明の実施例に係る静電吸着装置
を図面を参照しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An electrostatic attraction device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２２】図１は、本発明の第１実施例に係る静電吸
着装置を表す図である。この図において、真空室１３の
上部にはプロセスガスを供給するプロセスガス導入管１
２が設けられ、真空室１３の側部には真空排気配管１５
が設けられている。真空排気配管１５は圧力調整バルブ
１６を介して真空ポンプ１７に接続されている。圧力調
整バルブ１６は、真空室１３内の真空度を一定値に保つ
ためのものである。FIG. 1 is a diagram showing an electrostatic attraction device according to a first embodiment of the present invention. In this figure, a process gas introduction pipe 1 for supplying a process gas is provided above the vacuum chamber 13.
2 is provided, and a vacuum exhaust pipe 15 is provided on the side of the vacuum chamber 13.
Is provided. The vacuum exhaust pipe 15 is connected to a vacuum pump 17 via a pressure adjusting valve 16. The pressure adjusting valve 16 is for keeping the degree of vacuum in the vacuum chamber 13 at a constant value.
【００２３】真空室１３の内部には、ＧＮＤに接地され
た上部電極１４と、上部電極１４に対向したステージ２
とが設けられている。半導体ウェーハ等の被処理基板１
が載置されたステージ２の内部には、被処理基板１を静
電吸着するための電極３が設けられている。この電極３
には、静電吸着用の直流電源１０およびプラズマ処理用
の高周波電源９が接続されている。電極３に、ブロッキ
ングコンデンサを介して高周波電源９の電圧を印加する
ことにより、真空室内１３内のプロセスガスが活性化さ
れ、プラズマが生じる。Inside the vacuum chamber 13, the upper electrode 14 grounded to the GND and the stage 2 facing the upper electrode 14 are provided.
And are provided. Substrates to be processed 1 such as semiconductor wafers
An electrode 3 for electrostatically attracting the substrate 1 to be processed is provided inside the stage 2 on which is mounted. This electrode 3
A DC power supply 10 for electrostatic attraction and a high frequency power supply 9 for plasma processing are connected to the. By applying the voltage of the high frequency power supply 9 to the electrode 3 via the blocking capacitor, the process gas in the vacuum chamber 13 is activated and plasma is generated.
【００２４】直流電源１０は、高域減衰用のフィルタを
介して電極３の配線８に接続されている。電極３に直流
電源１０を印加すると、電極３は帯電し、帯電した電極
３は被処理基板１をステージ２表面に吸着する。一般
に、直流電源１０の印加電圧を変化させることにより、
被処理基板１の吸着力は変動する。直流電源１０の印加
電圧は、制御回路１１により変更可能である。The DC power supply 10 is connected to the wiring 8 of the electrode 3 via a filter for high frequency attenuation. When the DC power supply 10 is applied to the electrode 3, the electrode 3 is charged, and the charged electrode 3 adsorbs the substrate 1 to be processed on the surface of the stage 2. Generally, by changing the applied voltage of the DC power supply 10,
The suction force of the substrate 1 to be processed varies. The applied voltage of the DC power supply 10 can be changed by the control circuit 11.
【００２５】ステージ２の上部には開口部が設けられ、
この開口部にはＨｅ供給ライン４の一端が接続されてい
る。供給ライン４から供給されたＨｅガスは、被処理基
板１とステージ２との間隙に熱伝導体として充填され
る。Ｈｅ供給ライン４には、圧力計５、マスフローメー
タ６、圧力制御装置７が配設されている。圧力計５は、
Ｈｅ供給ライン４におけるガス圧力を検出し、検出結果
を圧力制御装置７にフィードバックしている。圧力制御
装置７は、Ｈｅ供給ライン４のガス圧力が一定となるよ
うＨｅの流量を制御するものである。これにより、被処
理基板１とステージ２との間隙における圧力を一定にで
き、熱伝導を均一に行うことができる。マスフローメー
タ６は、Ｈｅ供給ライン４を流れるＨｅガスの流量を検
出し、制御回路１１にフィードバックしている。An opening is provided in the upper part of the stage 2,
One end of the He supply line 4 is connected to this opening. The He gas supplied from the supply line 4 fills the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 as a heat conductor. The He supply line 4 is provided with a pressure gauge 5, a mass flow meter 6, and a pressure control device 7. The pressure gauge 5
The gas pressure in the He supply line 4 is detected, and the detection result is fed back to the pressure control device 7. The pressure control device 7 controls the flow rate of He so that the gas pressure in the He supply line 4 is constant. Thereby, the pressure in the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 can be made constant, and heat conduction can be performed uniformly. The mass flow meter 6 detects the flow rate of He gas flowing through the He supply line 4 and feeds it back to the control circuit 11.
【００２６】上述したように、直流電源１０の印加電圧
を一定にしたとしても、真空室１３内のプロセスガスの
種類、流量、圧力、および、高周波電源９の印加電圧等
に起因して、被処理基板１の吸着力が大きく変動する。
例えば、吸着力が低下した場合には、被処理基板１とス
テージ２との間の隙間が大きくなるため真空室１３内に
漏れるＨｅガスの量が増加する。この結果、Ｈｅ供給ラ
イン４を流れるＨｅガスの量は増加する。一方、吸着力
が増加した場合には、被処理基板１とステージ２との間
の隙間が小さくなり、真空室１３内に漏れるガスの量は
減少する。よって、Ｈｅ供給ライン４を流れるガスの量
は減少する。すなわち、Ｈｅガスの流量をマスフローメ
ータ６を用いて検出することにより、吸着力の強さを判
断することが可能となる。As described above, even if the voltage applied to the DC power source 10 is kept constant, due to the type of process gas, the flow rate, the pressure in the vacuum chamber 13, the voltage applied to the high frequency power source 9, etc. The suction force of the processing substrate 1 greatly changes.
For example, when the adsorption force decreases, the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 increases, and the amount of He gas leaking into the vacuum chamber 13 increases. As a result, the amount of He gas flowing through the He supply line 4 increases. On the other hand, when the suction force is increased, the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 is reduced, and the amount of gas leaking into the vacuum chamber 13 is reduced. Therefore, the amount of gas flowing through the He supply line 4 decreases. That is, by detecting the flow rate of He gas using the mass flow meter 6, it is possible to determine the strength of the adsorption force.
【００２７】制御回路１１は、マスフローメータ６によ
り検出されたＨｅガスの流量値に基づき直流電源１０の
印加電圧を制御するものである。この制御回路１１は、
ＰＩＤ制御を行う演算増幅器、またはマイクロコンピュ
ータ等を用いて構成することが可能である。The control circuit 11 controls the voltage applied to the DC power source 10 based on the He gas flow rate value detected by the mass flow meter 6. This control circuit 11
It can be configured using an operational amplifier that performs PID control, a microcomputer, or the like.
【００２８】このようにして構成された静電吸着装置に
おいて、例えば、吸着力が低下したとすると、被処理基
板１とステージ２との間の隙間が大きくなるため真空室
１３内に漏れるＨｅガスの量が増加する。この結果、Ｈ
ｅ供給ライン４を流れるＨｅガスの量は増加する。ガス
増加量はマスフローメータ６により検出され、流量を表
す信号として制御回路１１に入力される。制御回路１１
は、Ｈｅガスの流量の増加分に応じて直流電源１０の印
加電圧を増加させる。この結果、電極３と被処理基板１
との間の吸着力が増加し、吸着力は一定に保たれる。な
お、吸着力が増加しすぎた場合には、Ｈｅガスの流量が
減少し、制御回路１１は直流電源１０の印加電圧を低下
させることも可能である。In the electrostatic chucking device constructed as described above, for example, if the chucking force is lowered, the He gas leaking into the vacuum chamber 13 due to the large gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2. Increase the amount of. As a result, H
The amount of He gas flowing through the e supply line 4 increases. The gas increase amount is detected by the mass flow meter 6 and is input to the control circuit 11 as a signal indicating the flow rate. Control circuit 11
Causes the applied voltage of the DC power supply 10 to increase in accordance with the increase in the flow rate of He gas. As a result, the electrode 3 and the substrate 1 to be processed
The attraction force between and increases and the attraction force is kept constant. In addition, when the adsorption force is excessively increased, the flow rate of He gas is decreased, and the control circuit 11 can decrease the voltage applied to the DC power supply 10.
【００２９】続いて、第１実施例に係る静電吸着装置の
作用を図２のフローチャートを参照しながら説明する。
先ず、真空室１３内部にプロセスガス導入管１２からプ
ロセスガスを導入し、真空ポンプ１７および圧力調整バ
ルブ１６により真空室１３内を所定を真空度にする（Ｓ
２０１）。高周波電源９からブロッキングコンデンサを
介して電極３に高周波電圧を印加する（Ｓ２０２）。こ
れにより、真空室１３内のプロセスガスはプラズマ化さ
れる。続いて、制御回路１１は、直流電源１０から電極
３に印加する電圧を初期値電圧Ｖ0に設定する（Ｓ２０
３）。Next, the operation of the electrostatic attraction device according to the first embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, a process gas is introduced into the vacuum chamber 13 from the process gas introduction pipe 12, and the inside of the vacuum chamber 13 is brought to a predetermined vacuum degree by the vacuum pump 17 and the pressure adjusting valve 16 (S
201). A high frequency voltage is applied to the electrode 3 from the high frequency power supply 9 through the blocking capacitor (S202). As a result, the process gas in the vacuum chamber 13 is turned into plasma. Subsequently, the control circuit 11 sets the voltage applied from the DC power supply 10 to the electrode 3 to the initial value voltage V 0 (S20).
3).
【００３０】この後、圧力制御装置７はＨｅガスを被処
理基板１と電極３との間に供給する（Ｓ２０４）。圧力
計５はＨｅ供給ライン４におけるガス圧力Ｐを検出し、
圧力制御装置７はガス圧力Ｐが初期値Ｐ0となるようガ
スの流量を制御する（Ｓ２０５）。Thereafter, the pressure control device 7 supplies He gas between the substrate 1 to be processed and the electrode 3 (S204). The pressure gauge 5 detects the gas pressure P in the He supply line 4,
The pressure control device 7 controls the flow rate of the gas so that the gas pressure P becomes the initial value P 0 (S205).
【００３１】Ｈｅ供給ラインを流れるＨｅガスの流量
は、マスフローメータ６によって検出される。制御回路
１１は、Ｈｅガスの流量が基準値Ｆ0となるよう直流電
源１０の印加電圧を制御する。例えば、吸着力が低下
し、Ｈｅ供給ライン４を流れるＨｅガスの量が増加した
とする（Ｓ２０６でＮＯ）。この場合、Ｈｅガスの流量
が初期値Ｆ0となるまで（Ｓ２０６でＹＥＳ）、制御回
路１１はＨｅガスの流量の増加量に応じて直流電源１０
の印加電圧を増加する（Ｓ２０７）。これにより、電極
３と被処理基板１との吸着力は一定に保たれ、Ｈｅガス
の漏れ等を防止することができる。上述したＳ２０６〜
Ｓ２０７の処理は、所定時間が経過するまで（タイマＴ
が初期値Ｔ0になるまで）続けられる。以上により、本
実施例に係る静電吸着装置の処理が終了する（Ｓ２０
９）。なお、フローチャート中のＶ0、Ｐ0、Ｆ0は経験
的に求められた値である。The flow rate of He gas flowing through the He supply line is detected by the mass flow meter 6. The control circuit 11 controls the applied voltage of the DC power supply 10 so that the flow rate of He gas becomes the reference value F0. For example, it is assumed that the adsorption force is decreased and the amount of He gas flowing through the He supply line 4 is increased (NO in S206). In this case, until the He gas flow rate reaches the initial value F0 (YES in S206), the control circuit 11 controls the DC power supply 10 according to the increase amount of the He gas flow rate.
The applied voltage is increased (S207). As a result, the adsorption force between the electrode 3 and the substrate 1 to be processed is kept constant, and leakage of He gas or the like can be prevented. From S206 above
The process of S207 is performed until the predetermined time elapses (timer T
Until the initial value T 0 is reached). With the above, the process of the electrostatic adsorption device according to the present embodiment ends (S20).
9). In addition, V 0 , P 0 , and F 0 in the flowchart are values empirically obtained.
【００３２】続いて、本発明の第２実施例に係る静電吸
着装置を説明する。Next, an electrostatic attraction device according to the second embodiment of the present invention will be described.
【００３３】図３は、第２実施例に係る静電吸着装置を
表す図である。この図において、ステージ２には、Ｈｅ
排出ライン１８が配設されている。このＨｅ排出ライン
１８は、被処理基板１とステージ２との隙間のＨｅガス
の一部を排出し、隙間のガス圧力を一定に保つためのも
のである。Ｈｅ排出ライン１８には、圧力計５、圧力制
御装置７、マスフローメータ６、真空ポンプ１７が接続
されている。圧力計５はＨｅ排出ライン１８の圧力を検
出し、検出結果を圧力制御装置７にフィードバックして
いる。圧力制御装置７は、Ｈｅ排出ライン１８のガス圧
力が一定となるようＨｅの排出量を制御するものであ
る。マスフローメータ６は、Ｈｅ排出ライン１８を流れ
るＨｅガスの流量を検出し、制御回路１１にフィードバ
ックしている。FIG. 3 is a diagram showing an electrostatic chucking device according to the second embodiment. In this figure, the stage 2 has He
A discharge line 18 is provided. The He discharge line 18 is for discharging a part of He gas in the gap between the substrate 1 to be processed and the stage 2 to keep the gas pressure in the gap constant. A pressure gauge 5, a pressure controller 7, a mass flow meter 6, and a vacuum pump 17 are connected to the He discharge line 18. The pressure gauge 5 detects the pressure of the He discharge line 18 and feeds back the detection result to the pressure control device 7. The pressure control device 7 controls the discharge amount of He so that the gas pressure in the He discharge line 18 becomes constant. The mass flow meter 6 detects the flow rate of He gas flowing through the He discharge line 18 and feeds it back to the control circuit 11.
【００３４】一方、Ｈｅ供給ライン４には、Ｈｅガスの
供給量を制御するマスフローコントローラ１９が設けら
れている。Ｈｅ供給ライン４は、第１実施例と異なり、
単に一定量のＨｅガスを供給するにすぎない。すなわ
ち、本実施例に係る静電吸着装置は、被処理基板１とス
テージ２との間のガス圧力をＨｅ排出ライン１８により
制御している点において、第１実施例に係る静電吸着装
置と異なっている。他の構成については、第１実施例に
係る静電吸着装置と同様である。On the other hand, the He supply line 4 is provided with a mass flow controller 19 for controlling the supply amount of He gas. The He supply line 4 is different from the first embodiment,
It merely supplies a constant amount of He gas. That is, the electrostatic adsorption device according to the present embodiment is different from the electrostatic adsorption device according to the first embodiment in that the gas pressure between the substrate 1 to be processed and the stage 2 is controlled by the He discharge line 18. Is different. Other configurations are the same as those of the electrostatic attraction device according to the first embodiment.
【００３５】Ｈｅ排出ライン１８に設けられたマスフロ
ーメータ６からの流量信号は、制御回路１１に入力され
ている。制御回路１１は、Ｈｅ排出ライン１８から排出
されるＨｅガスの流量を検出し、直流電源１０の印加電
圧を制御することにより、吸着力を一定に保っている。The flow rate signal from the mass flow meter 6 provided in the He discharge line 18 is input to the control circuit 11. The control circuit 11 detects the flow rate of the He gas discharged from the He discharge line 18 and controls the applied voltage of the DC power supply 10 to keep the adsorption force constant.
【００３６】続いて、第２実施例に係る静電吸着装置の
作用を図４のフローチャートを参照しながら説明する。
先ず、真空室１３内部にプロセスガス導入管１２からプ
ロセスガスを導入し、真空ポンプ１７および圧力調整バ
ルブ１６により真空室１３内を所定を真空度にする（Ｓ
４０１）。そして、高周波電源９からブロッキングコン
デンサを介して電極３に高周波電圧を印加し（Ｓ４０
２）、真空室１３内のプロセスガスをプラズマ化させ
る。続いて、制御回路１１は、直流電源１０から電極３
に直流電圧Ｖ0を印加する（Ｓ４０３）。これにより、
被処理基板１はステージ２に吸着される。Next, the operation of the electrostatic attraction device according to the second embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, a process gas is introduced into the vacuum chamber 13 from the process gas introduction pipe 12, and the inside of the vacuum chamber 13 is brought to a predetermined vacuum degree by the vacuum pump 17 and the pressure adjusting valve 16 (S
401). Then, a high frequency voltage is applied to the electrode 3 from the high frequency power source 9 through the blocking capacitor (S40).
2), plasma the process gas in the vacuum chamber 13. Then, the control circuit 11 controls the electrodes 3 from the DC power supply 10.
A DC voltage V 0 is applied to (S403). This allows
The substrate 1 to be processed is attracted to the stage 2.
【００３７】この後、Ｈｅ供給ライン４からＨｅガスを
被処理基板１と電極３との間に供給する。一方、Ｈｅ排
出ライン１９においては、マスフローメータ６によりＨ
ｅガス排出量を検出し、Ｈｅガス排出量が初期値Ｆ'0に
達するまで、Ｈｅ供給ライン４からＨｅガスを供給する
（Ｓ４０４）。圧力計５はＨｅ排出ライン１８における
ガス圧力を検出し、圧力信号を圧力制御装置７に出力す
る。圧力制御装置７は検出された圧力値が初期値Ｐ0と
なるよう、Ｈｅガス排出量を制御する（Ｓ４０５、Ｓ４
０６）。After that, He gas is supplied from the He supply line 4 between the substrate 1 to be processed and the electrode 3. On the other hand, in the He discharge line 19, the mass flow meter 6
The e gas discharge amount is detected, and the He gas is supplied from the He supply line 4 until the He gas discharge amount reaches the initial value F′0 (S404). The pressure gauge 5 detects the gas pressure in the He discharge line 18 and outputs a pressure signal to the pressure control device 7. The pressure control device 7 controls the He gas discharge amount so that the detected pressure value becomes the initial value P 0 (S405, S4).
06).
【００３８】続いて、制御回路１１は、マスフローメー
タ６からの信号に基づきガス排出量を検出する。例え
ば、吸着力が低下し、Ｈｅ排出ライン４を流れるＨｅガ
スの量が増加したとする（Ｓ４０７でＮＯ）。この場
合、Ｈｅガスの流量が初期値Ｆ0となるまで（Ｓ４０７
でＹＥＳ）、制御回路１１はＨｅガスの流量の増加量に
応じて直流電源１０の印加電圧を増加する。これによ
り、電極３と被処理基板１との吸着力は一定に保たれ
る。上述したＳ４０６〜Ｓ４０９の処理は、所定時間が
経過するまで（タイマＴが初期値Ｔ0になるまで）続け
られる。以上により、本実施例に係る静電吸着装置の処
理が終了する（Ｓ４１０）。なお、フローチャート中の
Ｖ0、Ｆ'0、Ｐ0、Ｆ0は経験的に求められた値である。Subsequently, the control circuit 11 detects the gas discharge amount based on the signal from the mass flow meter 6. For example, it is assumed that the adsorption force is reduced and the amount of He gas flowing through the He discharge line 4 is increased (NO in S407). In this case, until the He gas flow rate reaches the initial value F 0 (S407
YES), the control circuit 11 increases the applied voltage of the DC power supply 10 according to the increase amount of the He gas flow rate. As a result, the adsorption force between the electrode 3 and the substrate 1 to be processed is kept constant. The above-described processing of S406 to S409 is continued until a predetermined time elapses (until the timer T reaches the initial value T 0 ). With the above, the process of the electrostatic adsorption device according to the present embodiment is completed (S410). It should be noted that V 0 , F ′ 0 , P 0 , and F 0 in the flowchart are empirically obtained values.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明にあっ
ては、Ｈｅガスの流量変化に基づき吸着力の変化（低
下）を検出し、直流電源の印加電圧を制御するることに
より、吸着力を一定に保っている。As described above, according to the present invention, a change (decrease) in the adsorption force is detected based on a change in the He gas flow rate, and the applied voltage of the DC power supply is controlled to thereby cause adsorption. I keep my power constant.
【００４０】したがって、被処理基板とステージとの間
から漏れるＨｅガスの量を低減でき、漏れたＨｅガスに
よるプラズマガスの組成変化を防止できる。また、被処
理基板とステージとの間にＨｅガスが流れることもな
く、均一な熱伝導が行われるため被処理基板の温度分布
を均一にすることができる。よって、本発明によれば、
被処理基板の加工処理に悪影響を与えることなく、被処
理基板に対して最適な条件での加工処理を行うことがで
きる。Therefore, the amount of He gas leaking between the substrate to be processed and the stage can be reduced, and the composition change of the plasma gas due to the leaking He gas can be prevented. Further, He gas does not flow between the substrate to be processed and the stage, and uniform heat conduction is performed, so that the temperature distribution of the substrate to be processed can be made uniform. Therefore, according to the present invention,
It is possible to perform the processing on the substrate to be processed under optimum conditions without adversely affecting the processing of the substrate to be processed.
【図１】本発明の第１実施例に係る静電吸着装置の構成
をを表す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an electrostatic attraction device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１実施例に係る静電吸着装置の作用
を表すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the electrostatic attraction device according to the first exemplary embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２実施例に係る静電吸着装置の構成
を表す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of an electrostatic attraction device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第２実施例に係る静電吸着装置の作用
を表すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the electrostatic attraction device according to the second embodiment of the present invention.
【図５】従来の静電吸着装置の構成を表す図である。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a conventional electrostatic attraction device.
１・・・被処理基板、 ２・・・ステージ、 ３・・・電極（静電吸着部）、 ４・・・Ｈｅ供給ライン（ガス供給部）、 ５・・・圧力計（圧力検出部）、 ６・・・マスフローメータ（ガス流量検出部）、 ７・・・圧力制御装置（圧力制御部）、 １０・・・直流電源（静電吸着部）、 １１・・・制御回路（制御部）、 １８・・・Ｈｅ排出ライン（ガス排出部） 1 ... Substrate to be processed, 2 ... Stage, 3 ... Electrode (electrostatic adsorption part), 4 ... He supply line (gas supply part), 5 ... Pressure gauge (pressure detection part) , 6 ... Mass flow meter (gas flow rate detection unit), 7 ... Pressure control device (pressure control unit), 10 ... DC power supply (electrostatic adsorption unit), 11 ... Control circuit (control unit) , 18 ... He discharge line (gas discharge part)
Claims (4)
ージに吸着させる静電吸着部と、 被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、 上記間隙に供給される熱伝導ガスの流量を検出するガス
流量検出部と、 ガス流量検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基
づき上記静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする静電吸着装置。1. A stage on which a substrate to be processed is placed, an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage, and heat conduction to a gap between the substrate to be processed and the stage. A gas supply unit that supplies gas, a gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat conduction gas that is supplied to the gap, and the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat conduction gas that is detected by the gas flow rate detection unit. An electrostatic adsorption device, comprising: a control unit that controls an applied voltage.
ージに吸着させる静電吸着部と、 被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、 上記間隙における熱伝導ガスの圧力を検出する圧力検出
部と、 検出された圧力に基づき上記間隙に供給する熱伝導ガス
の圧力を制御する圧力制御装置と、 上記間隙に供給される熱伝導ガスの流量を検出するガス
流量検出部と、 ガス流量検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基
づき上記静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする静電吸着装置。2. A stage on which a substrate to be processed is placed, an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage, and heat conduction to a gap between the substrate to be processed and the stage. A gas supply unit that supplies gas, a pressure detection unit that detects the pressure of the heat transfer gas in the gap, a pressure control device that controls the pressure of the heat transfer gas that is supplied to the gap based on the detected pressure, A gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat conduction gas supplied to the gap, and a control unit that controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat conduction gas detected by the gas flow rate detection unit. An electrostatic adsorption device characterized by being provided.
ージに吸着させる静電吸着部と、 被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、 上記間隙に供給された熱伝導ガスの一部を排出するガス
排出部と、 上記間隙から排出される熱伝導ガスの流量を検出するガ
ス流量検出部と、 ガス流量検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基
づき上記静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする静電吸着装置。3. A stage on which a substrate to be processed is placed, an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage, and heat conduction to a gap between the substrate to be processed and the stage. A gas supply unit for supplying gas, a gas discharge unit for discharging a part of the heat transfer gas supplied to the gap, a gas flow rate detection unit for detecting a flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap, An electrostatic adsorption device comprising: a control unit that controls the voltage applied to the electrostatic adsorption unit based on the flow rate of the heat transfer gas detected by the flow rate detection unit.
ージに吸着させる静電吸着部と、 被処理基板およびステージの間隙に熱伝導ガスを供給す
るガス供給部と、 上記間隙に供給された熱伝導ガスの一部を排出するガス
排出部と、 上記間隙における熱伝導ガスの圧力を検出する圧力検出
部と、 検出された圧力に基づき上記間隙に供給する熱伝導ガス
の圧力を制御する圧力制御装置と、 上記間隙から排出される熱伝導ガスの流量を検出するガ
ス流量検出部と、 ガス流量検出部により検出された熱伝導ガスの流量に基
づき上記静電吸着部に印加する電圧を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする静電吸着装置。4. A stage on which a substrate to be processed is placed, an electrostatic attraction portion which is charged by applying a voltage and attracts the substrate to be processed to the stage, and heat conduction to a gap between the substrate to be processed and the stage. A gas supply section for supplying gas, a gas discharge section for discharging a part of the heat transfer gas supplied to the gap, a pressure detection section for detecting the pressure of the heat transfer gas in the gap, and a detected pressure. A pressure control device that controls the pressure of the heat transfer gas supplied to the gap based on the above, a gas flow rate detection unit that detects the flow rate of the heat transfer gas discharged from the gap, and the heat transfer gas detected by the gas flow rate detection unit. And a control unit that controls the voltage applied to the electrostatic attraction unit based on the flow rate of the electrostatic attraction device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34303193A JP2626539B2 (en) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | Electrostatic suction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34303193A JP2626539B2 (en) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | Electrostatic suction device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169825A true JPH07169825A (en) | 1995-07-04 |
| JP2626539B2 JP2626539B2 (en) | 1997-07-02 |
Family
ID=18358406
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34303193A Expired - Fee Related JP2626539B2 (en) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | Electrostatic suction device |
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| Country | Link |
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