JPH07169720A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを移動テーブルから取り外すことなく
ブレードの目立てを行うことができるダイシング装置を
提供すること。 【構成】 ウエハ１０を搭載して所定の位置に移動させ
るための移動テーブル２と、移動テーブル２上に搭載さ
れたウエハ１０をストリートに沿って切断するためのブ
レード３と、ブレード３の目立てを行うための目立て手
段とを備えたダイシング装置１で、目立て手段として、
移動テーブル２と隣接して設けられこの移動テーブル２
と連動する保持台２１と、保持台２１上に搭載される目
立て用基板２２とから構成するダイシング装置１でもあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハをストリートに
沿って切断してチップ状に分割するダイシング装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程では、種々の薄膜
形成等を行ってウエハ上に半導体素子を複数形成した
後、ダイシング装置を用いてこのウエハを切断してチッ
プ状に分割するダイシング工程を行っている。ダイシン
グ装置は、主としてウエハを載置した状態で所定の位置
へ移動する移動テーブルと、ウエハをストリートに沿っ
て切断するためのブレードとを備えており、例えばブレ
ードを回転させた状態で移動テーブルを所定方向に移動
させることでウエハの切断処理を行う。

【０００３】ダイシング装置に使用されるブレードは、
例えばダイアモンド砥石にて構成されており、厚さ１０
μｍ〜３０μｍ程度の円板状に形成されたものである。
このブレードを回転させながらウエハに接触させること
でウエハを所定の大きさに切断している。

【０００４】近年では、チップ内素子の高密度化が図ら
れるようになり、ダイシング工程においてウエハを途中
まで切断するいわゆるセミフルカットダイシングでは対
応しにくい状況となり、ウエハを完全に切断するいわゆ
るフルカットダイシングが一般的な切断方法となってい
る。図４は従来例を説明する図で、（ａ）はダイシング
状態を示す断面図、（ｂ）は切断溝を示す平面図であ
る。

【０００５】図４（ａ）では、回転するブレード３を用
いてウエハ１０を完全に切断するいわゆるフルカットダ
イシングを行った状態を示している。ダイシングした
際、分割されたチップが分離しないようウエハ１０は接
着剤１２ａを介して樹脂製のテープ１２に接着されてお
り、この状態で移動テーブル２に載置されている。そし
て、ブレード３を回転させながらウエハ１０に接触させ
るとともに、移動テーブル２を所定方向に移動してウエ
ハ１０とブレード３との相対的な位置を変えてウエハ１
０を順次切断していく。この切断による切断溝１０ａを
格子状に形成することでウエハ１０を四角形のチップに
分割する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
ダイシング工程においてウエハをいわゆるフルカットダ
イシングする場合、図４（ａ）に示すようにウエハ１０
を接着保持するテープ１２の途中まで切り込む必要があ
る。このためブレード３がテープ１２の中程まで入り込
むことになり、ブレード３の表面にテープ１２の接着剤
１２ａが付着して目づまりを起こすことになる。ブレー
ド３が目づまりを起こすとウエハ１０の切断能力が著し
く低下し、図４（ｂ）に示すようなチッピング１０ｂが
発生する。チッピング１０ｂはウエハ１０の切断溝１０
ａに発生するいわゆる欠けであり、特にブレード３の目
づまりが激しい場合にはチッピング１０ｂが大きくなっ
て、ウエハ１０の割れやブレード３自体の破損を招くこ
とになる。

【０００７】このため、ブレード３の目づまりが発生し
た段階でダイシング装置の稼働を一旦停止してブレード
３の目立てを行う必要がある。ブレード３の目立ては、
例えば、ミラーウエハ等の目立て用基板を切断すること
でそのブレード３の再生を施しているため、移動テーブ
ル２にこの目立て用基板を搭載する必要があり、通常の
ダイシングとは異なる切断処理を行わなければならな
い。

【０００８】また、一枚のウエハ１０の切断途中でブレ
ード３の目づまりが発生した場合には、切断途中のウエ
ハ１０を一旦移動テーブル２から外してそこに目立て用
基板を載置しなければならず、再び切断途中のウエハ１
０を移動テーブル２に載置しても、途中まで分割された
ウエハ１０の位置合わせを行うのは非常に困難である。
よって、本発明は切断対象となるウエハを移動テーブル
から取り外すことなくブレードの目立てを行うことがで
きるダイシング装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成されたダイシング装置である。すな
わち、このダイシング装置は、ウエハに形成されたスト
リートに沿ってウエハを切断するダイシング装置であ
り、ウエハを搭載して所定の位置に移動させるための移
動テーブルと、移動テーブル上に搭載されたウエハをス
トリートに沿って切断するためのブレードと、ブレード
の目立てを行うための目立て手段とを備えた構成となっ
ている。また、目立て手段として、移動テーブルと隣接
して設けられこの移動テーブルと連動する保持台と、保
持台上に搭載される目立て用基板とから構成するダイシ
ング装置でもある。

【００１０】

【作用】本発明のダイシング装置は、移動テーブルとブ
レードの他にブレードの目立てを行うための目立て手段
を備えているため、移動テーブルから切断対象のウエハ
を外すことなく目立てを行うことができるようになる。
また、目立て手段を構成する保持台を移動テーブルと隣
接して設け、移動テーブルの移動と連動させることによ
り移動機構を共有できるようになる。しかも、ウエハの
切断途中において、移動テーブルのわずかな移動だけで
目立てのための処理を行うことができるようになる。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明のダイシング装置の実施例を
図に基づいて説明する。図１は本発明のダイシング装置
を説明する図で、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は作業部
内の模式図、また図２は移動テーブルを説明する平面図
である。図１（ａ）に示すように、このダイシング装置
１は、切断対象となるウエハ１０をカセット１１に収納
し、このカセット１１を所定位置に載置した状態でウエ
ハ１０を取り出して作業部１ａ内に導きウエハ１０の切
断処理を行うものである。

【００１２】図１（ｂ）に示すように、作業部１ａ内に
は主としてウエハ１０を載置し所定の位置へ移動させる
ための移動テーブル２と、ウエハ１０を切断するための
ブレード３とが備えられ、さらに移動テーブル２と隣接
する保持台２１および保持台２１上に載置される目立て
用基板２２とが設けられている。また、カセット１１か
ら所定位置のウエハ１０を作業部１ａ内に導くための供
給カセットエレベータ４、ウエハ１０のプリアライメン
トステージ５、ウエハ１０の乾燥等を行うためのスピン
ナ部６、およびウエハ１０の搬送のための搬送アーム７
も設けられている。

【００１３】図２に示すように、このダイシング装置１
の移動テーブル２には、目立て用基板２２を載置するた
めの保持台２１が隣接した状態で設けられており、図示
しない移動機構によって移動する移動テーブル２と連動
して保持台２１も移動できるようになっている。

【００１４】次に、このダイシング装置１を用いたウエ
ハ１０の切断処理を説明する。先ず、図１に示すように
切断対象となるウエハ１０をカセット１１に収納し、供
給カセットエレベータ４上に搭載する。図２に示すよう
に、カセット１１に収納されるウエハ１０は、フレーム
１３にて引っ張られたテープ１２上に接着剤を介して接
着保持された状態となっており、このフレーム１３とと
もにカセット１１内に収納される。

【００１５】次に、供給カセットエレベータ４を駆動し
てカセット１１の高さを制御し、図示しない搬送ベルト
等を用いて所定のウエハ１０をプリアライメントステー
ジ５まで搬送する。すなわち、図１（ｂ）で示すＡの位
置からＢの位置へウエハ１０を搬送する。このプリアラ
イメントステージ５にてウエハ１０の粗位置合わせを行
った後、搬送アーム７を用いてウエハ１０を図１（ｂ）
で示すＣの位置にある移動テーブル２上に配置し、ここ
で正確なアライメントを行う。

【００１６】次に、移動テーブル２を図１（ｂ）で示す
Ｄの位置まで移動し、図示しない画像処理装置を用いて
ウエハ１０上のストリートを自動検出する。そして、こ
の検出結果に基づき例えば移動テーブル２の位置を制御
して、ブレード３とストリートとの相対位置を合わせ
る。この状態でモータ３１の駆動によりブレード３を回
転させ、ブレード３とウエハ１０とを接触させながら移
動テーブル２をＸ方向に移動することで、ウエハ１０を
ストリートに沿って切断していく。

【００１７】また、隣のストリートを切断する場合に
は、ブレード３をＹ方向に所定量移動し、その位置でブ
レード３とウエハ１０とを接触させて切断していく。そ
して、一方向のストリートの切断が完了した後、移動テ
ーブル２をθ方向に９０°回転させ、切断したストリー
トと直交する方向のストリートを切断する。

【００１８】このようにして切断は所定のピッチで格子
状に行われる。切断が終了した後、移動テーブル２を図
１（ｂ）で示すＤの位置からＣの位置まで移動させ、ウ
エハ１０をＣの位置からＥの位置に搬送する。Ｅの位置
はスピンナ部６であり、このスピンナ部６にてウエハ１
０を回転させることによりウエハ１０の洗浄およびスピ
ン乾燥を行う。スピン乾燥を行った後、搬送アーム７に
てウエハ１０をスピンナ部６から図１（ｂ）で示すＢの
位置まで搬送し、さらにＡの位置まで搬送して切断処理
が成されたウエハ１０をカセット１１内に戻す。

【００１９】次に、このような一連の切断処理工程の間
に、ブレード３の目づまりが発生した場合の目立て方法
を説明する。先ず、ブレード３の目づまりが発生したか
どうかを判断するには、例えば、ウエハ１０のストリー
トを検出した際に用いた画像処理装置を使用する。すな
わち、ブレード３によるウエハ１０の切断途中において
ストリートに沿って形成された切断溝１０ａ（図４
（ｂ）参照）の映像を画像処理装置にて取り込む。そし
て、この取り込み画像による検出結果に基づきチッピン
グ１０ｂ（図４（ｂ）参照）の大きさを判定して目立て
が必要か否かの判断を行う。

【００２０】目立てが必要であると判断した場合には、
移動テーブル２をわずかに移動させ隣接する保持台２１
上に搭載された目立て用基板２２とブレード３との相対
位置が合うようにする。そして、例えばミラーウエハか
ら成る目立て用基板２２を切断することでブレード３の
目立てを行う。目立てのための切断は、例えば０．３ｍ
ｍ程度のピッチで行えばよい。なお、目立て用基板２２
が移動テーブル２と隣接して配置されているため、目立
ての際に移動テーブル２からウエハ１０を取り外す必要
はない。また一枚のウエハ１０の切断途中であっても必
要に応じて目立てを行うことができる。

【００２１】ブレード３の目立てを行った後は、例えば
非接触式のセンサー３２を用いてブレード３の高さ検出
を行い、所定の調整を行ってブレード３の先端高さが常
に一定となるようにしておく。これによってブレード３
の目づまりが解消され、ウエハ１０の確実な切断を続行
することができるようになる。

【００２２】先に説明したように、ブレード３の目立て
は目立て用基板２２を例えば０．３ｍｍ程度のピッチで
切断することで行っている。このような細かいピッチの
切断で済むことにより、目立て用基板２２としては必ず
しも大きなものを用いる必要はなく、例えば３〜４イン
チ程度のミラーウエハを用いれば足りる。

【００２３】また、図３は、この目立て用基板２２を搭
載するための保持台２１の構造を説明する部分断面図で
ある。すなわち、この保持台２１には吸引孔２１ａが設
けられており、吸引孔２１ａから空気を引き込むことで
目立て用基板２２を保持台２１上に吸着できるようにな
っている。このため、吸引孔２１ａからの空気の引き込
みの有無によって目立て用基板２２の着脱が自在とな
り、目立て用基板２２の交換作業が容易となる。

【００２４】なお、本実施例においては保持台２１を移
動テーブル２に隣接して設け、移動テーブル２と連動さ
せる例を説明したが、本発明はこれに限定されず移動テ
ーブル２と保持台２１とが独立して移動できるものであ
ってもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のダイシン
グ装置によれば次のような効果がある。すなわち、ウエ
ハの切断途中でブレードに目づまりが発生した場合であ
っても移動テーブルからウエハを取り外すことなくブレ
ードの目立てを行うことが可能となる。しかも、一枚の
ウエハの切断途中であってもブレードの目立てを行うこ
とができるようになる。このため、ウエハ切断の一連の
処理の中で必要に応じて目立てを行うことが可能とな
り、ダイシング工程における生産性向上を図ることが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を説明する図で、（ａ）は外観斜視図、
（ｂ）は作業部内の模式図である。

【図２】移動テーブルを説明する平面図である。

【図３】保持台を説明する部分断面図である。

【図４】従来例を説明する図で、（ａ）はダイシング状
態を示す断面図、（ｂ）は切断溝を示す平面図である。

【符号の説明】

１ ダイシング装置 １ａ 作業部 ２ 移動テーブル ３ ブレード １０ ウエハ １１ カセット ２１ 保持台 ２２ 目立て用基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハに形成されたストリートに沿って
   該ウエハを切断するダイシング装置であって、 前記ウエハを搭載して所定の位置に移動させるための移
   動テーブルと、 前記移動テーブル上に搭載されたウエハを前記ストリー
   トに沿って切断するためのブレードと、 前記ブレードの目立てを行うための目立て手段とを備え
   ていることを特徴とするダイシング装置。
2. 【請求項２】 前記目立て手段は、前記移動テーブルと
   隣接して設けられ該移動テーブルと連動する保持台と、 前記保持台上に搭載される目立て用基板とから成ること
   を特徴とする請求項１記載のダイシング装置。