JPH071673B2 - Method for manufacturing gas discharge display panel - Google Patents
Method for manufacturing gas discharge display panelInfo
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- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガス放電型表示パネルの製造方法に関し、詳
細には、その陰極の形成方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge type display panel, and more particularly to a method for forming a cathode thereof.
従来のガス放電型表示パネルは２枚の基板間に放電空間
を有し、この放電空間内で対向する電極間にプラズマ放
電を生じさせて表示を行っている。そして、陰極電極
は、Niを主成分とした材料により構成されている。A conventional gas discharge type display panel has a discharge space between two substrates, and a plasma discharge is generated between electrodes facing each other in the discharge space for display. The cathode electrode is made of a material containing Ni as a main component.
しかし、放電発光時の陰極電極に対するスパッタリング
により電極材料が前面ガラスに付着したり、また、電極
材料自体が劣化したりするのを防止するため、放電空間
内に水銀（Hg）を封入しスパッタリングを防ぐ対策が取
られている。この場合、Hgは放電空間内に均一に拡散さ
せなければならないが、均一な拡散は困難であり、加え
て、Hgによる環境汚染の問題があった。このため、融点
は約2300℃と高く、物理的・化学的に安全な化合物であ
り、耐スパッタリング性能に優れた六ホウ化ランタン
（LaB6）を陰極電極として、用いる提案が、特開昭60-2
21928号公報に開示されている。However, in order to prevent the electrode material from adhering to the front glass and the electrode material itself from deteriorating due to sputtering of the cathode electrode during discharge light emission, mercury (Hg) is sealed in the discharge space and sputtering is performed. Measures are taken to prevent it. In this case, Hg must be uniformly diffused in the discharge space, but it is difficult to diffuse it uniformly, and there is a problem of environmental pollution due to Hg. Therefore, the melting point is as high as about 2300 ° C., which is a physically and chemically safe compound, and lanthanum hexaboride (LaB 6 ) having excellent sputtering resistance is used as a cathode electrode. -2
It is disclosed in Japanese Patent No. 21928.
この提案は、ガラス基板上に導電ペーストを塗布し仮乾
燥し、その上にLaB6層を形成し、焼成（高電流ガス放電
を含む）してLaB6陰極を形成するものである。そして、
この製法はガラスバインダーを用いずにLaB6陰極を形成
し、酸化鉛を含む低融点ガラスをガラスバインダーとし
た場合に酸化鉛の還元により生じる金属鉛のスパッタに
よる悪影響がなくしている。In this proposal, a conductive paste is applied on a glass substrate, temporarily dried, a LaB 6 layer is formed thereon, and firing (including high-current gas discharge) is performed to form a LaB 6 cathode. And
This manufacturing method forms a LaB 6 cathode without using a glass binder and eliminates the adverse effect of metallic lead sputtering caused by the reduction of lead oxide when a low-melting glass containing lead oxide is used as the glass binder.
しかしながら、上記従来の方法によるLaB6陰極は、ガラ
スバインダーを含まないので、表面近くでLaB6粒子の固
定されていない部分が生じ、このような部分が欠けた場
合には陰極上において放電に寄与しない部分が生じ、こ
れによる放電の集中化が陰極の劣化を早めるという問題
があった。However, since the LaB 6 cathode by the above-mentioned conventional method does not contain a glass binder, an unfixed portion of LaB 6 particles occurs near the surface, and when such a portion is missing, it contributes to discharge on the cathode. There is a problem that a portion that does not occur occurs, and the concentration of discharge due to this accelerates the deterioration of the cathode.
そこで、本発明は上記した従来技術の課題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、Hgを封
入しなくても放電の集中化を防ぐことができる長寿命で
信頼性の高いガス放電表示パネルの製造方法を提供する
ことにある。Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and the purpose thereof is to prevent discharge concentration without encapsulating Hg. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a high gas discharge display panel.
本発明に係るガス放電型表示パネルの製造方法は、導電
性材料よりなる下地陰極層を備えた絶縁基板上に、上記
下地陰極層を覆うようにLaB6粒子と、焼成により金属酸
化物となる溶液と、ビークルとを含有するペーストを塗
布する工程と、これを乾燥する工程と、これを焼成する
工程とを有することを特徴としている。A method of manufacturing a gas discharge display panel according to the present invention, an insulating substrate having a base cathode layer made of a conductive material, LaB 6 particles so as to cover the base cathode layer, and becomes a metal oxide by firing. The method is characterized by including a step of applying a paste containing a solution and a vehicle, a step of drying the paste, and a step of baking the paste.
本発明においては、下地陰極層を備えた絶縁基板上に、
LaB6粒子と、例えば、金属アルコキシドや有機酸金属塩
等のような焼成により金属酸化物となる溶液と、ビーク
ルとを混合してなるペーストを、絶縁基板上の下地陰極
層を覆うように印刷し、これを乾燥、焼成することによ
り上地陰極層を形成している。このように、本発明にお
いては、焼成により金属酸化物となりバインダーとして
機能する溶液を含む溶液を用いることにより、従来、バ
インダーとして用いられていた低融点ガラスを不要と
し、低融点ガラスに含まれる鉛による悪影響をなくして
いる。In the present invention, on an insulating substrate having a base cathode layer,
Printing a paste prepared by mixing LaB 6 particles, a solution such as a metal alkoxide or an organic acid metal salt that becomes a metal oxide by firing, and a vehicle so as to cover the underlying cathode layer on the insulating substrate. Then, this is dried and fired to form the upper cathode layer. As described above, in the present invention, by using a solution containing a solution that becomes a metal oxide by firing and functions as a binder, the low melting point glass conventionally used as a binder becomes unnecessary, and the lead contained in the low melting point glass is eliminated. Eliminates the adverse effects of.
以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明する。 The present invention will be described below based on the illustrated embodiments.
第２図は本発明に係る製造方法により製造されたガス放
電型表示パネルの構造の一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the structure of a gas discharge type display panel manufactured by the manufacturing method according to the present invention.
同図に示されるように、本実施例により製造された表示
パネルは、複数本の陰極電極２と隔壁３とを有する背面
ガラス１と、複数本の陽極電極５を有する前面ガラス４
とを対向配置させ、隔壁３により区分される放電セルに
おいて陰極電極２と陽極電極５とを対向させて構成され
ている。そして、放電セルには、NeにArを混合した放電
ガスが封入されている。As shown in the figure, the display panel manufactured according to this embodiment has a rear glass 1 having a plurality of cathode electrodes 2 and partition walls 3 and a front glass 4 having a plurality of anode electrodes 5.
And the cathode electrode 2 and the anode electrode 5 are opposed to each other in the discharge cell divided by the partition wall 3. The discharge gas is filled with a discharge gas in which Ne is mixed with Ar.
第１図（ａ）、（ｂ）は第２図の陰極部分を示すもので
あり、同図（ａ）は第２図のI-I線断面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）のＡ部拡大図である。1 (a) and 1 (b) show the cathode portion of FIG. 2, and FIG. 1 (a) is a sectional view taken along line II of FIG. 2 and FIG.
[Fig. 3] is an enlarged view of part A of Fig. 3A.
第１図（ａ）、（ｂ）に基づき本実施例の陰極電極２の
製造方法について説明する。A method of manufacturing the cathode electrode 2 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b).
先ず、背面ガラス１上に導電性ペースト2aを所望のパタ
ーンで厚膜印刷する。ここでは、導電性ペーストとして
厚膜Niペースト（ESL（Electro-Science-Laboratorie
s）社製、商品番号:2554）を用い、膜厚を15〜20μｍ程
度とした。First, the conductive paste 2a is thick-film printed on the rear glass 1 in a desired pattern. Here, a thick film Ni paste (ESL (Electro-Science-Laboratorie
s), product number: 2554), and the film thickness was about 15 to 20 μm.
その後、150℃で約１時間乾燥させ、530℃のピーク保持
を10分間含んだ焼成をして下地陰極2aを形成する。Then, it is dried at 150 ° C. for about 1 hour, and baked for 10 minutes to hold the peak at 530 ° C. to form the base cathode 2a.
次に、上記下地陰極2a上に厚膜ペーストを塗布する。こ
こで、厚膜ペーストとしてはLaB6粒子をボールミルによ
り粉砕し、粒径を１〜３μｍ程度にそろえ、これに粘度
調整用のビークル（ESL社製、商品番号:405）を加え、
さらに焼成によりLaB6粒子のバインダとして機能する金
属酸化物となる金属アルコキシド溶液を加え混合したペ
ーストを用いた。Next, a thick film paste is applied on the base cathode 2a. Here, as the thick film paste, LaB 6 particles are crushed by a ball mill to have a particle size of about 1 to 3 μm, and a vehicle for viscosity adjustment (ESL, product number: 405) is added thereto,
Furthermore, a paste was used in which a metal alkoxide solution that became a metal oxide that functions as a binder for LaB 6 particles by firing was added and mixed.
本実施例においては、LaB6粒子25gに対しビークル（ESL
社製、商品番号:405）10g、アルミニウム−トリ−ｉプ
ロポキシドを10％含有するイソプロパノール溶液1g及び
ジメトキシバリウム、ジメトキシストロンチウムを各々
３％含有するメタノール溶液1gとした。In the present embodiment, the vehicle to LaB 6 particles 25 g (ESL
10 g of the product, 405), 1 g of an isopropanol solution containing 10% aluminum-tri-i-propoxide and 1 g of a methanol solution containing 3% each of dimethoxybarium and dimethoxystrontium.
上記ペーストを印加した後、空気中で400℃程度に加熱
することにより、ビークルは燃焼し、金属アルコキシド
はそれぞれの金属酸化物になり、LaB6粒子は金属酸化物
に固定され、陰極が形成される。After applying the above paste, by heating to about 400 ℃ in air, the vehicle burns, the metal alkoxide becomes each metal oxide, LaB 6 particles are fixed to the metal oxide, the cathode is formed. It
これにより金属アルコキシドはAl2O3及びBaO-SrOとな
り、LaB6等の金属粒子を固定するバインダーとして機能
する。As a result, the metal alkoxide becomes Al 2 O 3 and BaO—SrO, which functions as a binder for fixing metal particles such as LaB 6 .
上記製造工程によれば、陰極を化学的に安定で、耐熱温
度の非常に高い（2000℃程度）Al2O3等の金属酸化物を
バインダーとすることができるので、従来のようにガラ
スバインダーを用いる必要がなく、ガラスバインダーを
含んだ場合のように鉛スパッタによる悪影響はない。ま
た、バインダーを含まない場合のようにLaB6粒子がはが
れ落ちることもなく、放電の集中の問題がなく、よっ
て、寿命特性の向上を図ることができる。According to the above manufacturing process, the cathode is chemically stable, and a metal oxide such as Al 2 O 3 having a very high heat resistance temperature (about 2000 ° C.) can be used as a binder. Does not need to be used, and there is no adverse effect due to lead sputtering as in the case of containing a glass binder. Further, the LaB 6 particles do not peel off as in the case where the binder is not included, and there is no problem of discharge concentration, so that the life characteristics can be improved.
また、BaO-SrOはLaB6よりもさらに仕事関数が低いので
（LaB6は約2.7eV、BaO-SrOは約1.5eV）、BaO-SrOを含有
させることにより放電開始電圧を低くすることができ
る。Further, since BaO-SrO has a work function lower than that of LaB 6 (LaB 6 is about 2.7 eV, BaO-SrO is about 1.5 eV), the discharge start voltage can be lowered by adding BaO-SrO. .
尚、本実施例においては、アルミニウム−トリ−ｉプロ
ポキシドを10％含有するイソプロパノール溶液を1g、ジ
メトキシバリウム、ジメトキシストロンチウムを各々３
％含有するメタノール溶液1g含有した場合について説明
したが、本発明ははこれには限定されず、イソプロパノ
ール溶液は0.5〜5.0gの範囲であればよい。また、ジメ
トキシストロンチウムを各々３％含有するメタノール溶
液についても0.5〜5.0gの範囲内であればよい。但し、
ペーストに適度の粘性をもたせるためにはイソプロパノ
ール溶液とジメトキシストロンチウムを各々３％含有す
るメタノール溶液の合計が0.5〜5.0gの範囲内であるこ
とが好ましい。In this example, 1 g of an isopropanol solution containing 10% aluminum-tri-ipropoxide, 3 parts each of dimethoxybarium and dimethoxystrontium were added.
% Of the methanol solution containing 1% has been described, the present invention is not limited to this, and the isopropanol solution may be in the range of 0.5 to 5.0 g. Further, the methanol solution containing 3% of dimethoxystrontium each may be within the range of 0.5 to 5.0 g. However,
In order to give the paste an appropriate viscosity, the total amount of the isopropanol solution and the methanol solution containing 3% of dimethoxystrontium is preferably in the range of 0.5 to 5.0 g.
また、上記実施例においては、LaB6のバインダーとして
金属アルコキシドを用いた場合について説明したが、本
発明はこれに限定されず、焼成により金属酸化物となる
他の溶液、例えば、オクチル酸バリウムBa(C7H15COO)2
等の有機酸金属塩をメタノールに溶解させたものをペー
ストとして用いてもよい。Further, in the above examples, the case where a metal alkoxide was used as a binder for LaB 6 was described, but the present invention is not limited to this, and another solution that becomes a metal oxide by firing, for example, barium octylate Ba. (C 7 H 15 COO) 2
You may use what melted the organic acid metal salt of these etc. in methanol as a paste.
以上説明したように、本発明により基板上の下地陰極上
に上地電極を形成すれば、LaB6粒子を金属酸化物で固定
できるので、放電の集中化を防ぐことができ、表示パネ
ルの信頼性を向上させることができる。また、LaB6粒子
は金属酸化物で固定されており、従来のようにガラスバ
インダーを用いなくてもよいので、鉛スパッタによる悪
影響はなく、表示パネルの長寿命化を図ることができる
という効果がある。As described above, when the upper electrode is formed on the base cathode on the substrate according to the present invention, the LaB 6 particles can be fixed by the metal oxide, so that the concentration of the discharge can be prevented and the reliability of the display panel can be improved. It is possible to improve the sex. In addition, since the LaB 6 particles are fixed with a metal oxide and it is not necessary to use a glass binder as in the conventional case, there is no adverse effect due to lead sputtering, and there is an effect that the life of the display panel can be extended. is there.
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明に係る製造方法により製
造された陰極部分を示す断面図とそのＡ部拡大図、 第２図は本実施例により製造されたガス放電型表示パネ
ルの構造の一例を示す斜視図である。 １……背面ガラス ２……陰極 2a……下地陰極 2b……上地陰極 ３……隔壁 ４……前面基板 ５……陽極電極 ６……LaB6粒子 ７……金属酸化物1 (a) and 1 (b) are a cross-sectional view showing a cathode portion manufactured by a manufacturing method according to the present invention and an enlarged view of an A portion thereof, and FIG. 2 is a gas discharge type display panel manufactured by this embodiment. 3 is a perspective view showing an example of the structure of FIG. 1 ... Rear glass 2 ... Cathode 2a ... Base cathode 2b ... Ground cathode 3 ... Partition wall 4 ... Front substrate 5 ... Anode electrode 6 ... LaB 6 particles 7 ... Metal oxide
Claims (1)
縁基板上に、上記下地陰極層を覆うようにLaB6粒子と、
焼成により金属酸化物となる溶液と、ビークルとを含有
するペーストを塗布する工程と、 これを乾燥する工程と、 これを焼成する工程と を有することを特徴とするガス放電型表示パネルの製造
方法。1. LaB 6 particles on an insulating substrate having a base cathode layer made of a conductive material so as to cover the base cathode layer,
A method of manufacturing a gas discharge type display panel, comprising: a step of applying a paste containing a solution that becomes a metal oxide by firing and a vehicle; a step of drying the paste; and a step of firing the paste. .
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