JPH07157884A - Method for plating tungsten alloy - Google Patents
Method for plating tungsten alloyInfo
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- JPH07157884A JPH07157884A JP34266093A JP34266093A JPH07157884A JP H07157884 A JPH07157884 A JP H07157884A JP 34266093 A JP34266093 A JP 34266093A JP 34266093 A JP34266093 A JP 34266093A JP H07157884 A JPH07157884 A JP H07157884A
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、金属、例えばアルミニ
ウム、銅、若しくはこれらの合金、ステンレス鋼等の金
属の表面にタングステンを組成とする合金メッキを行う
ことにより高耐食性合金皮膜を形成する金属等の表面の
タングステン合金のメッキ方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal for forming a highly corrosion-resistant alloy film by performing alloy plating having a composition of tungsten on the surface of a metal such as aluminum, copper, alloys thereof, stainless steel or the like. The present invention relates to a method for plating a tungsten alloy on the surface of the above.
【0002】[0002]
【従来の技術】金属結合半径1.43Å、密度2.70
g/cm3(20℃)、ヤング率68.3×109N/
m2、融点660.4℃のアルミニウムは軽量で柔らか
く、延性、展性に富み、使用上多くのメリットを有する
ため用途の幅が広い。この高純度アルミニウムに不足し
ている機械的性質を強化するために軽合金として最も広
く利用されているアルミニウム合金には、機械的性質強
化を目的としたものとしてジュラルミン、超ジュラルミ
ン、超々ジュラルミン等の高力合金があり、耐食性を目
的としたものとして、Al−Mg系、Al−Mn系、A
l−Mg−Si系があり、鋳物用にはAl−Cu系、A
l−Cu−Si系(ラウタール等)、Al−Si系(シ
ルミン等)、Al−Mg系(ヒドロナトリウム等)、A
l−Cu−Mg−Ni系(Y合金等)が存在する。しか
しながら、アルミニウムは両性金属で、アルカリにも酸
にも浸されるという性質を有しており、金属の表面処理
操作の必要性がある。この金属の表面処理操作として、
表面塗装や、一般にアルマイトと呼ばれているものでア
ルミニウムの表面酸化処理、即わち陽極処理方法例えば
シュウ酸浴、クロム酸浴、硫酸浴等による電解酸化法等
が提案されている。2. Description of the Related Art Metal bond radius 1.43Å, density 2.70.
g / cm 3 (20 ° C.), Young's modulus 68.3 × 10 9 N /
Aluminum having a m 2 and a melting point of 660.4 ° C. is lightweight and soft, has excellent ductility and malleability, and has many advantages in use, and thus has a wide range of applications. Aluminum alloys most widely used as light alloys to strengthen the mechanical properties lacking in this high-purity aluminum include duralumin, super duralumin, ultra super duralumin, etc. for the purpose of strengthening mechanical properties. There are high-strength alloys, and for the purpose of corrosion resistance, Al-Mg type, Al-Mn type, A
There are l-Mg-Si type, Al-Cu type, A for casting
1-Cu-Si system (Lautal etc.), Al-Si system (Silmine etc.), Al-Mg system (Hydrosodium etc.), A
There exists an l-Cu-Mg-Ni system (Y alloy or the like). However, aluminum is an amphoteric metal and has the property of being soaked in both alkali and acid, and thus it is necessary to perform a surface treatment operation on the metal. As the surface treatment operation of this metal,
Surface coating, surface oxidation treatment of aluminum, which is generally called alumite, and immediately anodizing method such as electrolytic oxidation method using oxalic acid bath, chromic acid bath, sulfuric acid bath, etc. have been proposed.
【0003】金属結合半径1.28Å、密度8.96g
/cm3(20℃)、ヤング率110×109N/
m2、融点1083.4℃の銅、若しくはスズとの合金
である青銅、真鍮との合金である黄銅等を例とする銅合
金は特に塩素系、フッ素系環境下に弱く、これらの環境
下においては容易に腐食し、使用に耐えられない。上記
欠点を除去するために、金属の表面に電気メッキにより
ニッケルやニッケルクロムのメッキが行われている。
又、電気メッキにより、極めて一部に金や銀を用いたメ
ッキが行われている。Metal bond radius 1.28Å, density 8.96g
/ Cm 3 (20 ° C.), Young's modulus 110 × 10 9 N /
Copper alloys such as m 2 having a melting point of 1083.4 ° C., bronze that is an alloy with tin, brass that is an alloy with brass, etc. are particularly weak in chlorine-based and fluorine-based environments, and under these environments. Corrodes easily and cannot be used. In order to eliminate the above-mentioned drawbacks, the surface of the metal is plated with nickel or nickel chrome by electroplating.
Further, by electroplating, plating using gold or silver is performed on a very small part.
【0004】ステンレス鋼には、18Crステンレス鋼
と呼ばれるフェライト系、18−8ステンレス鋼と呼ば
れるオーステナイト系、13Crステンレス鋼と呼ばれ
るマルテンサイト系、耐応力腐食割れ性及び耐孔食性を
改善したフェライト/オーステナイト2相混合組織を有
する2相ステンレス鋼、即わち25%Crと5%Niを
基本とし、Mo、Cu、Si等を少量添加したものや、
析出強化を図ったPHステンレス鋼に大別される。12
%以上のクロムを含むステンレス鋼は、優れた耐食性を
有する。組成中のクロムは反応性の高い金属であり、大
気中の特に酸素と顕著に反応し、鋼の表面に酸化皮膜を
形成して不動態化し、それ以上の腐食を停止する。即わ
ち、溶液中や空気中の酸素はステンレス鋼を化学的に保
護し、ステンレス鋼の耐食性を良好にしている。又、近
年、特公昭53−41623号公報、特開昭53−11
131号公報、特開昭53−57138号公報、特公昭
59−10437号公報、特開昭57−31447号公
報、特開昭61−6291号公報、特開昭61−960
96号公報、特開平1−147087号公報、特公平4
−38838号公報、特開平2−258994号公報に
示される合金メッキ方法が提案されている。As the stainless steel, a ferrite system called 18Cr stainless steel, an austenite system called 18-8 stainless steel, a martensite system called 13Cr stainless steel, a ferrite / austenite with improved stress corrosion cracking resistance and pitting corrosion resistance. Two-phase stainless steel having a two-phase mixed structure, that is, 25% Cr and 5% Ni as the base, with a small amount of Mo, Cu, Si, etc. added,
It is roughly classified into PH stainless steel for which precipitation strengthening is intended. 12
Stainless steels containing more than 50% chromium have excellent corrosion resistance. Chromium in the composition is a highly reactive metal and reacts remarkably with oxygen in the atmosphere, forming an oxide film on the surface of the steel to passivate it and stop further corrosion. Immediately, oxygen in the solution or air chemically protects the stainless steel and improves the corrosion resistance of the stainless steel. In addition, in recent years, Japanese Patent Publication No. 53-41623 and Japanese Patent Laid-Open No. 53-11
131, JP-A-53-57138, JP-B-59-10437, JP-A-57-31447, JP-A-61-6291, and JP-A-61-960.
No. 96, Japanese Patent Laid-Open No. 1-147087, and Japanese Patent Publication No. 4
The alloy plating methods disclosed in JP-A-38838 and JP-A-2-258994 have been proposed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の技術で述べたもののうち、アルミニウム若しくはア
ルミニウム合金の表面に耐食性を目的とした表面処理操
作は工業的見地より、その効果がアルミニウムそれ自体
と比較するとはるかに大ではあるものの、シュウ酸浴に
より得られた皮膜が約25μと厚く多孔性ゆえに剥離性
に富み、クロム酸浴により得られた皮膜は緻密平滑な1
0μ以下の皮膜であるため損耗し易く、硫酸浴により得
られた皮膜は硬く透明なため染色可能であるが耐耗性が
小さく、いずれの処理方法により得られたメッキも耐食
性等に対して顕著な効果が見られない。そのため、特に
酸性環境下での耐食性を要求される例えば化学薬品使用
装置、とりわけ半導体製造装置等には殆ど使用されてい
ないという問題点があった。However, among those described in the above-mentioned prior art, the surface treatment operation for the purpose of corrosion resistance on the surface of aluminum or aluminum alloy has the effect compared with aluminum itself from the industrial viewpoint. Then, although it is much larger, the film obtained by the oxalic acid bath has a thickness of about 25 μm and is rich in peelability due to its porosity, and the film obtained by the chromic acid bath is dense and smooth.
Since the film is 0μ or less, it is easily worn, and the film obtained by the sulfuric acid bath is hard and transparent and can be dyed, but the wear resistance is low, and the plating obtained by either treatment method is remarkable in corrosion resistance and the like. No effect is seen. Therefore, there has been a problem that it is rarely used in, for example, a chemical agent using apparatus, especially a semiconductor manufacturing apparatus, which requires corrosion resistance especially in an acidic environment.
【0006】銅若しくは銅合金の耐食性を目的とした表
面処理操作においては、金、銀を使用しているのでコス
ト高であり、顕著な耐食効果も見られず、耐食性メッキ
としては皆無に等しいというのが現状である。In the surface treatment operation for the purpose of anticorrosion of copper or copper alloy, gold and silver are used, so that the cost is high, no remarkable anticorrosion effect is observed, and it is said that there is almost no anticorrosion plating. is the current situation.
【0007】ステンレス鋼は前記従来の技術で述べたよ
うに酸素と反応して不動態化し、腐食を停止するため優
れた耐食性を示す。しかし、ステンレス鋼は、全く錆び
ない鋼という訳ではない。特にフッ素系、塩素系、その
他酸性環境下等の特定環境下においては、局部的な腐
食、例えば孔食、隙間腐食、粒界腐食、応力腐食割れ等
を生じる。そして、これらの腐食はステンレス鋼を劇的
に破壊する結果を招くものである。従来よりステンレス
鋼の表面加工処理に関しては、例えば電着、ガラス状エ
ナメル等の種々の方法が試みられているが、ステンレス
鋼を被覆することは極めて困難である。僅かに装飾を目
的としたものしか存在せず耐食性向上を目的としたもの
は皆無というのが現状である。[0007] As described in the above-mentioned prior art, stainless steel reacts with oxygen to passivate and stop corrosion, so that it exhibits excellent corrosion resistance. However, stainless steel is not a steel that does not rust at all. In particular, in a specific environment such as a fluorine-based, chlorine-based, or other acidic environment, localized corrosion such as pitting corrosion, crevice corrosion, intergranular corrosion, and stress corrosion cracking occurs. And these corrosions result in the dramatic destruction of stainless steel. Conventionally, various methods such as electrodeposition and glassy enamel have been attempted for surface treatment of stainless steel, but it is extremely difficult to coat the stainless steel. The present situation is that there are only a few for decorative purposes, and none for the purpose of improving corrosion resistance.
【0008】又、特公昭53−41623号公報、特開
昭53−11131号公報、特開昭53−57138号
公報、特公昭59−10437号公報、特開昭57−3
1447号公報、特開昭61−6291号公報、特開昭
61−96096号公報、特開平1−147087号公
報、特公平4−38838号公報、特開平2−2589
94号公報に示される合金メッキ方法においては耐摩耗
性には優れているものの、特定の化学環境においては耐
食性が好ましくないという問題点があった。Also, Japanese Patent Publication No. 53-41623, Japanese Patent Publication No. 53-11131, Japanese Patent Publication No. 53-57138, Japanese Patent Publication No. 59-10437 and Japanese Patent Publication No. 57-3.
1447, JP 61-6291, JP 61-96096, JP 1-147087, JP 4-38838, JP 2-2589.
The alloy plating method disclosed in Japanese Patent Publication No. 94 has excellent wear resistance, but has a problem that corrosion resistance is not preferable in a specific chemical environment.
【0009】そこで、本発明は前記従来技術の有する問
題点を解決するために、耐食性の良い金属を中間層と
し、更に仕上げとして耐食性の良いニッケル、タングス
テン、パラジウム合金をメッキすることにより、耐薬品
性を向上せしめ、化学薬品や半導体製造装置等の材料と
して、多目的に使用できる材料を提供することを目的と
する。In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, the present invention uses a metal having good corrosion resistance as an intermediate layer and further coats nickel, tungsten, or palladium alloy having good corrosion resistance as a finish to obtain chemical resistance. It is an object of the present invention to improve the properties and provide a material that can be used for various purposes as a material for chemicals and semiconductor manufacturing equipment.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本出願の第1の発明のタングステン合金のメッキ方法
においては、アルミニウム若しくはアルミニウム合金等
の金属素材を脱脂、酸洗等により前記金属表面を清浄化
すると共に、亜鉛置換皮膜を形成したものに、ニッケ
ル、タングステンの組成より成る合金メッキをして下地
メッキとなし、次にニッケル、タングステンの組成より
成る合金メッキをして中間メッキをしたる後、使用用途
に応じてパラジウム、ニッケル、タングステン、若しく
はニッケル、タングステンのいずれかの組成より成る合
金メッキを仕上げメッキとしている。To achieve the above object, in the method for plating a tungsten alloy of the first invention of the present application, the metal surface such as aluminum or aluminum alloy is degreased, pickled, etc. In addition to cleaning, the zinc-substituted film was plated with an alloy having a composition of nickel and tungsten to form a base plating, and then an alloy plating having a composition of nickel and tungsten was subjected to intermediate plating. After that, finish plating is palladium, nickel, tungsten, or an alloy plating of any composition of nickel and tungsten depending on the intended use.
【0011】本出願の第2の発明のタングステン合金の
メッキ方法においては、銅若しくは銅合金等の金属素材
を脱脂、酸洗等により前記金属表面を洗浄化し、この洗
浄化された金属表面にスズ、ニッケルの組成より成る合
金メッキをしたる後、さらに使用用途に応じてニッケ
ル、タングステン、パラジウム、若しくはニッケル、タ
ングステンのいずれかの組成より成る合金メッキを仕上
げメッキとして施している。In the tungsten alloy plating method of the second invention of the present application, the metal surface is cleaned by degreasing or pickling a metal material such as copper or a copper alloy, and the cleaned metal surface is tinned. After plating with an alloy having a composition of nickel, an alloy plating having a composition of nickel, tungsten, palladium, or nickel or tungsten is further applied as a finish plating depending on the intended use.
【0012】本出願の第3の発明のタングステン合金の
メッキ方法においては、ステンレス鋼素材を脱脂、酸洗
し、ステンレス鋼表面に形成されている不動態皮膜を除
去したる後、スズ、ニッケルの組成より成る合金メッキ
をし、更に使用用途に応じてニッケル、タングステン、
パラジウム若しくはニッケル、タングステンのいずれか
の組成より成る合金メッキを仕上げメッキとして施して
いる。In the tungsten alloy plating method of the third invention of the present application, after degreasing and pickling the stainless steel material to remove the passivation film formed on the stainless steel surface, tin and nickel Alloy plating consisting of composition, nickel, tungsten,
An alloy plating having a composition of palladium, nickel, or tungsten is applied as finish plating.
【0013】[0013]
【作用】脱脂、酸洗、亜鉛置換皮膜の形成は表面を清浄
にし、下地メッキの乗りを良くし、その後行なうメッキ
の剥離を防止し、密着性を高める作用をなす。The functions of degreasing, pickling, and forming a zinc-substituted film have the functions of cleaning the surface, improving the plating of the undercoat, preventing the subsequent peeling of the plating, and enhancing the adhesion.
【0014】下地メッキに1〜10%のタングステンを
含むニッケル、タングステン合金メッキを行い、従来の
ニッケルメッキより湿度に強く、又、例えば酢酸、塩化
水素等の酸性環境での強い耐食性がある事を認められて
いるスズ、ニッケル合金メッキを中間メッキとして素材
と仕上げメッキの中間に用い、その相互作用により耐食
性を向上させるものである。スズ、ニッケル合金メッキ
は、ニッケルメッキと比較して皮膜は柔らかく湿度に強
い性質を有する。強酸性耐食性材料として使用されてい
るタングステンをニッケルと合金せしめて仕上げメッキ
を行うが、タングステン単独ではなくメッキできない性
質ゆえに、例えばニッケル等の他金属と共析させると約
2〜50%の範囲でタングステンが共析する。ニッケ
ル、タングステン合金やニッケル、タングステン、パラ
ジウム合金メッキは特に塩素系或はフッ素系環境におけ
る強い耐食性を示す。このように強酸性耐食性材料であ
るタングステンを合金としてメッキすると、より一層耐
食性の強いパラジウムを共析し、メッキ皮膜に含有し
て、耐食性を強化させる作用をなす。Nickel containing 1% to 10% of tungsten and tungsten alloy plating are applied to the base plating, and it is more resistant to humidity than conventional nickel plating and has strong corrosion resistance in acidic environments such as acetic acid and hydrogen chloride. The accepted tin and nickel alloy plating is used as an intermediate plating between the material and the finish plating, and the interaction improves the corrosion resistance. The tin / nickel alloy plating has a softer film and a higher humidity resistance than nickel plating. Tungsten, which is used as a strong acid corrosion resistant material, is alloyed with nickel for finish plating. However, because of the property that it cannot be plated because it is not tungsten alone, for example, when co-deposited with another metal such as nickel, it is within a range of about 2 to 50%. Tungsten co-deposits. Nickel, tungsten alloy and nickel, tungsten, palladium alloy plating show strong corrosion resistance especially in chlorine or fluorine environment. Thus, when tungsten, which is a strong acid corrosion resistant material, is plated as an alloy, palladium, which has a stronger corrosion resistance, is co-deposited and contained in the plating film, which serves to strengthen the corrosion resistance.
【0015】更に、前述の如く各特性を有するメッキを
積層して、高耐食性を有するメッキ皮膜を形成するもの
である。Further, as described above, the plating having each characteristic is laminated to form a plating film having high corrosion resistance.
【0016】仕上げメッキは金属の用途によりパラジウ
ムの添加の有無を決定し、浴の組成の変化により、メッ
キ皮膜の硬度を調整する。In the finish plating, whether or not palladium is added is determined depending on the use of the metal, and the hardness of the plating film is adjusted by changing the composition of the bath.
【0017】ステンレス鋼表面にメッキ皮膜を形成する
場合において、ストライクメッキを行うのは、不動態皮
膜生成前にメッキを行うと、メッキの密着性が良好とな
るためである。When forming a plated film on the surface of stainless steel, strike plating is performed because if the plating is performed before the formation of the passivation film, the adhesion of the plating becomes good.
【0018】[0018]
【実施例1】以下、本発明の実施例について説明する。Example 1 An example of the present invention will be described below.
【0019】ケイ素(Si)、鉄(Fe)、銅(C
u)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、亜鉛
(Zn)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)を組
成成分とするアルミニウム合金、例えばJIS規格アル
ミニウム合金番号1070に、脱脂、エッチング酸洗い
を行って、表面を清浄ならしめた後、スーパーゼットZ
II(株式会社キザイの商品名)により亜鉛置換を二重
置換行い、下記の表1に示される電解条件で約5分間の
下地メッキを行う。Silicon (Si), iron (Fe), copper (C
u), manganese (Mn), magnesium (Mg), zinc (Zn), titanium (Ti), aluminum (Al) containing aluminum (Al) as a composition component, for example, JIS standard aluminum alloy No. 1070, degreasing, etching pickling Go and clean the surface, then Super Z Z
Double substitution of zinc with II (trade name of Kizai Co., Ltd.) is performed, and base plating is performed for about 5 minutes under the electrolytic conditions shown in Table 1 below.
【0020】[0020]
【表1】 [Table 1]
【0021】前記下地メッキ後、水洗し、下記の表2に
示される電解条件で中間メッキを行う。After the above-mentioned base plating, it is washed with water and intermediate plating is performed under the electrolytic conditions shown in Table 2 below.
【0022】[0022]
【表2】 [Table 2]
【0023】下地メッキの表面に均一なる中間メッキを
行った後、水洗をし、更に下記の表3に示される電解条
件で仕上げメッキをした。仕上げメッキは使用する腐食
環境により、塩化パラジュウムアミンを含まない浴A
と、塩化パラジュウムアミンを含む浴Bとに分けて行わ
れる。After carrying out uniform intermediate plating on the surface of the base plating, it was washed with water and further subjected to finish plating under the electrolytic conditions shown in Table 3 below. Finish plating depends on the corrosive environment used, and bath A containing no palladium amine chloride
And bath B containing paradium amine chloride.
【0024】[0024]
【表3】 [Table 3]
【0025】得られた製品は、メッキの肉厚が20μm
で、上記表3に示される塩化パラジュウムアミンを組成
成分の1つとする浴Bの電解条件で行われた合金メッキ
の組成は、下記の表4に示される通りである。メッキの
肉厚は用途や使用する腐食環境に応じ耐食性限度を鑑み
て、任意の厚みに変化させることができる。The obtained product has a plating thickness of 20 μm.
Then, the composition of the alloy plating carried out under the electrolytic conditions of the bath B containing paradium amine chloride as one of the composition components shown in Table 3 above is as shown in Table 4 below. The thickness of the plating can be changed to any thickness in consideration of the corrosion resistance limit according to the application and the corrosive environment used.
【0026】[0026]
【表4】 [Table 4]
【0027】[0027]
【試験例1】本実施例により得た合金メッキされたアル
ミニウム板を、塩酸1に対し水を2の割合で混合した塩
酸水溶液中に常温環境下で約48時間浸漬した。試験結
果を対比するために、前記条件と同一条件下でアルミニ
ウム板、アルミニウム板に肉厚10μmのニッケルメッ
キをしたもの、前記表1の電解条件下で下地メッキをし
たもの、前記表2の電解条件下で中間メッキをしたもの
も同様に浸漬した。その結果は下記の表5に示す通りで
ある。TEST EXAMPLE 1 The alloy-plated aluminum plate obtained in this example was immersed in a hydrochloric acid aqueous solution prepared by mixing 1 part of hydrochloric acid and 2 parts of water at room temperature for about 48 hours. In order to compare the test results, an aluminum plate under the same conditions as those described above, an aluminum plate plated with nickel having a thickness of 10 μm, a substrate plated under the electrolytic conditions of Table 1 above, and an electrolysis of Table 2 above. Those subjected to intermediate plating under the conditions were also immersed in the same manner. The results are shown in Table 5 below.
【0028】[0028]
【表5】 [Table 5]
【0029】[0029]
【試験例2】本実施例により得た合金メッキされたアル
ミニウム板を、塩素ガスの発生しているデシケーターの
上室内に吊設し、湿度90%以上、常温環境下で約72
時間放置し塩素ガスに当てた。試験結果を対比するため
に、前記条件と同条件下でアルミニウム板、アルミニウ
ム板に肉厚10μmのニッケルメッキをしたもの、前記
表1の電解条件下で下地メッキをしたもの、前記表2の
電解条件下で中間メッキをしたものも同様に吊設した。
その結果は下記の表6に示す通りである。[Test Example 2] The alloy-plated aluminum plate obtained in this example is hung in the upper chamber of a desiccator in which chlorine gas is generated.
It was left for an hour and exposed to chlorine gas. In order to compare the test results, an aluminum plate under the same conditions as those described above, an aluminum plate plated with nickel having a thickness of 10 μm, a substrate plated under the electrolytic conditions of Table 1 above, and an electrolysis of Table 2 above. Those subjected to intermediate plating under the conditions were also suspended in the same manner.
The results are shown in Table 6 below.
【0030】[0030]
【表6】 [Table 6]
【0031】[0031]
【試験例3】本実施例により得られた合金メッキされた
アルミニウム板を48%フッ化水素酸水溶液を底部に入
れた蓋付透明プラスチック容器内に吊設し、容器内の湿
度90%以上、常温環境下で約72時間放置し、フッ化
水素ガスに当てた。試験結果を対比するために、前記条
件と同一条件下でアルミニウム板、アルミニウム板にニ
ッケルメッキをしたもの、前記表1の電解条件下で下地
メッキをしたもの、前記表2の電解条件下で中間メッキ
をしたものも同様に吊設した。その結果は下記の表7に
示す通りである。Test Example 3 The alloy-plated aluminum plate obtained in this example was suspended in a transparent plastic container with a lid having a 48% hydrofluoric acid aqueous solution at the bottom, and the humidity in the container was 90% or more. It was left for about 72 hours in a room temperature environment and exposed to hydrogen fluoride gas. In order to compare the test results, an aluminum plate under the same conditions as above, a nickel plate plated on the aluminum plate, a base plating under the electrolytic conditions of Table 1 above, and an intermediate condition under the electrolytic conditions of Table 2 above. The plated ones were also hung in the same way. The results are shown in Table 7 below.
【0032】[0032]
【表7】 [Table 7]
【0033】[0033]
【実施例2】ケイ素(Si)、鉄(Fe)、銅(C
u)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、クロ
ム(Cr)、亜鉛(Zn)、シルコニウム(Zr)、と
酸化チタン(TiO)の合金、アルミニウム(Al)を
組成成分とするアルミニウム合金、例えばJIS規格ア
ルミニウム合金番号2017を、前述の実施例と全く同
一の過程で脱脂、エッチング、酸洗処理により表面を洗
浄にならしめた後、亜鉛置換を例えばスーパーゼットZ
II(株式会社キザイの商品名)で二重置換処理をし、
表1、表2、表3に示される電解条件で下地メッキ、中
間メッキ、仕上げメッキを順次行ってアルミニウム合金
の表面に合金メッキを行った。Example 2 Silicon (Si), iron (Fe), copper (C
u), manganese (Mn), magnesium (Mg), chromium (Cr), zinc (Zn), silconium (Zr), and an alloy of titanium oxide (TiO), an aluminum alloy containing aluminum (Al) as a composition component, for example, After JIS standard aluminum alloy No. 2017 was cleaned to the surface by degreasing, etching, and pickling treatment in exactly the same process as in the above-mentioned embodiment, zinc substitution was performed, for example, Super Z Z.
Double replacement process with II (trade name of Kizai Co., Ltd.),
Under the electrolytic conditions shown in Tables 1, 2, and 3, base plating, intermediate plating, and finish plating were sequentially performed to perform alloy plating on the surface of the aluminum alloy.
【0034】[0034]
【試験例4】本実施例により得た合金メッキについて、
前記実施例1に示される合金メッキと同様に前記試験例
1〜試験例3に示される耐食性試験を行った。本実施例
においても、前記実施例1と同様に表5、表6、及び表
7と同一の良好な試験結果を得た。[Test Example 4] Regarding the alloy plating obtained in this example,
Similar to the alloy plating shown in Example 1, the corrosion resistance tests shown in Test Examples 1 to 3 were performed. Also in this example, the same good test results as those in Tables 5, 6, and 7 were obtained as in Example 1.
【0035】[0035]
【実施例3】ケイ素(Si)、鉄(Fe)、銅(C
u)、マンガン(Mn)マグネシウム(Mg)、クロム
(Cr)、亜鉛(Zn)、チタン(Ti)、アルミニウ
ム(Al)を組成成分とするアルミニウム合金、例えば
JIS規格アルミニウム合金番号5052も、前述の実
施例1と同様に脱脂、エッチング、酸洗により表面を洗
浄後、亜鉛置換を例えばスーパーゼットZII(株式会
社キザイの商品名)で二重置換処理を行い、表1、表
2、表3に示す電解条件で下地、中間、仕上げメッキを
行った。Example 3 Silicon (Si), iron (Fe), copper (C
u), manganese (Mn) magnesium (Mg), chromium (Cr), zinc (Zn), titanium (Ti), and aluminum (Al) as a compositional component, for example, JIS standard aluminum alloy No. 5052 is also described above. After cleaning the surface by degreasing, etching, and pickling in the same manner as in Example 1, zinc substitution was performed by double substitution treatment with, for example, Super ZET ZII (trade name of Kizai Co., Ltd.). Underlying, intermediate, and finish plating were performed under the electrolytic conditions shown.
【0036】[0036]
【試験例5】本実施例により得た合金メッキについて、
前記実施例1と同様に前記試験例1〜試験例3に示され
る耐食性試験を行った。前記実施例と同様に、表5、表
6及び表7と同一の良好な試験結果を得た。[Test Example 5] Regarding the alloy plating obtained in this example,
The corrosion resistance tests shown in Test Examples 1 to 3 were performed in the same manner as in Example 1. Similar to the above example, the same good test results as in Table 5, Table 6 and Table 7 were obtained.
【0037】[0037]
【実施例4】ケイ素(Si)、鉄(Fe)、銅(C
u)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、クロ
ム(Cr)、亜鉛(Zn)、チタン(Ti)、アルミニ
ウム(Al)を組成成分とするアルミニウム合金、例え
ばJIS規格アルミニウム合金番号6061も、前述の
実施例と全く同様な過程により表面処理操作を行った。Example 4 Silicon (Si), iron (Fe), copper (C
u), manganese (Mn), magnesium (Mg), chromium (Cr), zinc (Zn), titanium (Ti), aluminum alloy having a compositional component, for example, JIS standard aluminum alloy No. 6061 is also described above. The surface treatment operation was performed by the same procedure as in the above example.
【0038】[0038]
【試験例6】本実施例により得た合金メッキについて前
記試験例1〜試験例3に示される耐食試験を行った結
果、表5、表6、及び表7と同一の良好な試験結果を得
た。[Test Example 6] The corrosion resistance test shown in Test Examples 1 to 3 was performed on the alloy plating obtained in this example, and the same good test results as those in Table 5, Table 6 and Table 7 were obtained. It was
【0039】[0039]
【実施例5】ケイ素(Si)、鉄(Fe)、銅(C
u)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、クロ
ム(Cr)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)と酸
化チタン(TiO)の合金、チタン(Ti)、アルミニ
ウム(Al)のアルミニウム合金を心材とし、ケイ素
(Si)と鉄(Fe)の合金、銅(Cu)、マンガン
(Mn)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、アル
ミニウム(Al)より成るアルミニウム合金を皮材とし
た合せ材、例えばJIS規格アルミニウム合金番号70
75を、前述の実施例1と全く同一の過程により表面処
理操作を行った。Example 5 Silicon (Si), iron (Fe), copper (C
u), manganese (Mn), magnesium (Mg), chromium (Cr), zinc (Zn), an alloy of zirconium (Zr) and titanium oxide (TiO), an aluminum alloy of titanium (Ti), and aluminum (Al) is a core material. And a composite material using an aluminum alloy composed of an alloy of silicon (Si) and iron (Fe), copper (Cu), manganese (Mn), magnesium (Mg), zinc (Zn), and aluminum (Al) as a skin material, For example, JIS standard aluminum alloy number 70
75 was subjected to a surface treatment operation by the same procedure as in Example 1 described above.
【0040】[0040]
【試験例7】本実施例により得た合金メッキについて、
前記試験例1〜試験例3に示される耐食試験を行った結
果、表5、表6、及び表7と全く同一の良好な試験結果
を得た。[Test Example 7] Regarding the alloy plating obtained in this example,
As a result of performing the corrosion resistance test shown in the above-mentioned Test Examples 1 to 3, the same good test results as those in Table 5, Table 6 and Table 7 were obtained.
【0041】上記実施例においては、下地メッキ、中間
メッキ処理後、更に仕上げメッキを行って耐食性良好な
メッキ皮膜を得るのであるが、最終段階である仕上げメ
ッキを、表3に示すパラジュムを含む浴Bの電解条件で
行うか、若しくはパラジュムを含まない浴Aの電解条件
で行うか、得られた製品の用途、使用する腐食環境によ
り決定するものである。In the above-mentioned embodiment, after the base plating and the intermediate plating, further finish plating is carried out to obtain a plating film having good corrosion resistance. However, the final stage finish plating is a bath containing the palladium shown in Table 3. It is determined according to the electrolysis condition of B or the electrolysis condition of the bath A containing no paradium, the application of the obtained product, and the corrosive environment to be used.
【0042】[0042]
【実施例6】銅(Cu)素材を脱脂、酸洗を行って表面
を清浄化後、下記の表8に示される電解条件で10分間
のメッキを行い、柔らかさと耐食性の良好なメッキを得
た。[Example 6] A copper (Cu) material was degreased and pickled to clean the surface, and then plated for 10 minutes under the electrolytic conditions shown in Table 8 below to obtain plating with good softness and corrosion resistance. It was
【0043】[0043]
【表8】 [Table 8]
【0044】次に、水洗後、下記の表9に示される電解
条件で仕上げメッキを行った。仕上げメッキは、パラジ
ウムを含まない浴C、パラジウムを含む浴D、パラジウ
ムを含みPHを高めた浴Eとに分けて行われた。例え
ば、浴C及び浴Dは、クエン酸濃度が80〜200g/
lの範囲であるが、これに対して浴Eはクエン酸濃度は
150g/lとしてこれに酒石酸塩を50〜100g/
l添加してPHを高めている。Then, after washing with water, finish plating was performed under the electrolytic conditions shown in Table 9 below. The finish plating was divided into a bath C containing no palladium, a bath D containing palladium, and a bath E containing palladium and having an increased PH. For example, bath C and bath D have a citric acid concentration of 80 to 200 g /
However, in the bath E, the citric acid concentration was 150 g / l, and tartrate was added in an amount of 50 to 100 g / l.
1 is added to increase the PH.
【0045】[0045]
【表9】 [Table 9]
【0046】浴C、浴D、浴Eの各々の浴により得られ
たメッキ皮膜の合金組成は下記の表10に示す通りの範
囲であり、組成比率の点においては大差はなかった。The alloy compositions of the plating films obtained by the baths C, D and E were in the ranges shown in Table 10 below, and there was no great difference in the composition ratio.
【0047】[0047]
【表10】 [Table 10]
【0048】メッキ析出時のメッキ硬度は下記の表11
に示す通り、酒石酸を添加した浴Eが他の浴により得ら
れたメッキのものと比較して著しく柔らかくすることが
でき、メッキ皮膜の厚みも20μmと厚く、耐食性及び
柔軟性を要求される材料として最適なメッキを得ること
ができた。このように、製品の用途に応じて浴を使い分
けることができる。The plating hardness at the time of plating deposition is shown in Table 11 below.
As shown in, a bath E containing tartaric acid can be remarkably softened as compared with a bath obtained by another bath, and the thickness of the plating film is as thick as 20 μm, and a material requiring corrosion resistance and flexibility. As a result, the optimum plating could be obtained. In this way, the bath can be used properly according to the application of the product.
【0049】[0049]
【表11】 [Table 11]
【0050】[0050]
【試験例8】本実施例により得た合金メッキされた銅板
を、塩酸1に対し水を3の割合で混合した塩酸水溶液中
に常温環境下で約72時間浸漬した。試験結果を対比す
るために、前記条件と同一条件下で、銅素地、銅板に1
0μmのニッケルメッキ、浴C、浴D、浴Eの各々で仕
上げメッキをしたものも同様に塩酸水溶液に浸漬した。
その結果は、下記の表12に示す通りであった。Test Example 8 The alloy-plated copper plate obtained in this example was immersed in a hydrochloric acid aqueous solution in which water was mixed at a ratio of 1 to 1 for about 72 hours at room temperature. In order to compare the test results, under the same conditions as above, 1
The 0 μm nickel plating, and the finish plating with each of bath C, bath D and bath E were similarly immersed in the hydrochloric acid aqueous solution.
The results were as shown in Table 12 below.
【0051】[0051]
【表12】 [Table 12]
【0052】[0052]
【試験例9】本実施例により浴C、浴D、浴Eの各々で
得た合金メッキされた銅板を塩素ガスが常時発生し、湿
度40%以上常温環境のデシケーター内に吊設し、塩素
ガスに当てた。試験結果を対比するために前記条件と同
一条件下で銅素地、10μmニッケルメッキされた銅板
も塩素ガスに当てた。その結果は下記の表13に示す通
りであった。[Test Example 9] The alloy-plated copper plates obtained in each of the baths C, D, and E according to this example were hung in a desiccator in a room temperature environment where chlorine gas was constantly generated and humidity was 40% or more, and chlorine was suspended. I hit the gas. In order to compare the test results, a copper substrate and a copper plate plated with 10 μm nickel were also exposed to chlorine gas under the same conditions as described above. The results were as shown in Table 13 below.
【0053】[0053]
【表13】 [Table 13]
【0054】[0054]
【試験例10】本実施例により浴C、浴D、浴Eの各浴
で得た合金メッキされた銅板を48%フッ化水素酸水溶
液を底部に入れた蓋付透明プラスチック容器内に吊設し
た。容器内の湿度は90%以上、常温環境下で、約48
時間同一状態を保持した。試験結果を対比するため銅素
地10μmのニッケルメッキを施された銅板も前記条件
と同一条件でフッ化水素ガスに当てた。その結果は下記
の表14に示す通りであった。[Test Example 10] The alloy-plated copper plates obtained in each of the baths C, D, and E according to this example were suspended in a transparent plastic container with a lid having a 48% hydrofluoric acid aqueous solution at the bottom. did. Humidity in the container is 90% or more, and it is about 48 at room temperature.
The same state was maintained for a time. In order to compare the test results, a nickel-plated copper plate having a copper base material of 10 μm was also exposed to hydrogen fluoride gas under the same conditions as above. The results are shown in Table 14 below.
【0055】[0055]
【表14】 [Table 14]
【0056】[0056]
【実施例7】銅60%に対し亜鉛40%の銅合金、所謂
真鍮板を、前述の実施例6と同一の過程で脱脂、酸活性
を行って表面を洗浄化し、前記表8に示される条件下で
メッキ後、水洗し、さらに前記表9に示される条件下で
メッキした。Example 7 A copper alloy of 60% copper and 40% zinc, a so-called brass plate, was degreased and acid-activated to clean the surface in the same process as in Example 6, and the results are shown in Table 8 above. After plating under the conditions, the plate was washed with water and further plated under the conditions shown in Table 9 above.
【0057】[0057]
【試験例11】本実施例により得た合金メッキを、前述
の試験例8〜試験例10と同様に耐食試験を行った。本
実施例においても前記実施例6と同様に表12〜表14
と同一の良好な試験結果を得た。Test Example 11 The alloy plating obtained in this example was subjected to a corrosion resistance test in the same manner as in Test Examples 8 to 10 above. Also in this example, as in the case of Example 6, Tables 12 to 14 were used.
The same good test result was obtained.
【0058】[0058]
【実施例8】18Cr−8Niステンレス鋼板の表面を
脱脂、酸洗により洗浄化後、下記に示す表15の電解条
件でストライクメッキを約3〜5分行い下地メッキの皮
膜を形成する。この活性化法は必ずしも陰極電解に限定
せず、陽極電解を併用する場合もある。Example 8 The surface of an 18Cr-8Ni stainless steel plate is cleaned by degreasing and pickling, and then strike plating is performed for about 3 to 5 minutes under electrolytic conditions shown in Table 15 below to form a base plating film. This activation method is not necessarily limited to cathodic electrolysis, and anodic electrolysis may be used in combination.
【0059】[0059]
【表15】 [Table 15]
【0060】ストライクメッキ後、水洗し、下記の表1
6に示される電解条件でスズ、ニッケル、合金メッキに
よる中間メッキをした。スズ、ニッケル合金メッキは塩
素系環境下において強い耐食性を示すため、中間メッキ
として使用する。After the strike plating, the plate is washed with water and the following Table 1 is shown.
Under the electrolytic conditions shown in No. 6, intermediate plating by tin, nickel and alloy plating was performed. Tin-nickel alloy plating is used as an intermediate plating because it shows strong corrosion resistance in a chlorine-based environment.
【0061】[0061]
【表16】 [Table 16]
【0062】中間メッキされたものを水洗後、更に下記
の表17に示される電解条件で仕上げメッキをした。仕
上げメッキは使用する環境に応じてパラジウムを含まな
い浴Fとパラジウムを含む浴Gとに分けて行われる。浴
Gによるメッキは、肉厚が20μmのものであった。そ
の合金メッキ組成は表18に示す通りである。The intermediate plated product was washed with water and then subjected to final plating under the electrolytic conditions shown in Table 17 below. The finishing plating is divided into a bath F containing no palladium and a bath G containing palladium according to the environment in which it is used. The plating with the bath G had a wall thickness of 20 μm. The alloy plating composition is shown in Table 18.
【0063】[0063]
【表17】 [Table 17]
【0064】[0064]
【表18】 [Table 18]
【0065】[0065]
【試験例12】表15に示される条件下での下地メッキ
であるストライクメッキしたものについて、3つの密着
試験を行った。第1に高温加熱後折曲げ試験、第2に切
断面をヤスリで擦る試験、第3にバイスにはさみ折曲げ
試験を行ったが、第1のものについては外観に膨脹が見
られたものの剥離しなかった、第2及び第3の試験につ
いては両者とも剥離しなかった。このように破壊試験に
おいて強力な密着力を示した。TEST EXAMPLE 12 Three adhesion tests were carried out on strike-plated undercoating under the conditions shown in Table 15. Firstly, a bending test after heating at high temperature, a second test in which a cut surface was rubbed with a file, and a third scissors bending test in a vise were performed. For the second and third tests, which were not performed, neither peeled off. Thus, the destructive test showed a strong adhesion.
【0066】[0066]
【試験例13】実施例8により得た合金メッキされたス
テンレス鋼板を対比のため18Cr−8Niステンレス
鋼板と18Cr・12Ni−2.5Moステンレス鋼板
と共に常温環境下で濃塩酸水溶液中に148時間浸漬し
た。その結果は下記に示す表19の通りである。[Test Example 13] For comparison, the alloy-plated stainless steel plate obtained in Example 8 was immersed in a concentrated hydrochloric acid aqueous solution for 148 hours together with an 18Cr-8Ni stainless steel plate and an 18Cr.12Ni-2.5Mo stainless steel plate in a room temperature environment. . The results are shown in Table 19 below.
【0067】[0067]
【表19】 [Table 19]
【0068】[0068]
【試験例14】本実施例により得た合金メッキされたス
テンレス鋼板を比較のため18Cr−8Niステンレス
鋼板と18Cr・12Ni−2.5Moステンレス鋼板
と共に常温で塩素ガスの発生している湿度90%以上の
デシケーター内に72時間吊設した。その結果は下記の
表20に示す通りである。[Test Example 14] For comparison, the alloy-plated stainless steel sheets obtained in this Example were used together with 18Cr-8Ni stainless steel sheet and 18Cr.12Ni-2.5Mo stainless steel sheet, and the humidity at which chlorine gas was generated was 90% or more at room temperature. It was hung in the desiccator for 72 hours. The results are shown in Table 20 below.
【0069】[0069]
【試験例15】本実施例により得た合金メッキされたス
テンレス鋼板を比較のため18Cr−8Niステンレス
鋼板と18Cr・12Ni−2.5Moステンレス鋼と
共に48%フッ化水素酸水溶液を底部に入れフッ化水素
ガスの充満している透明プラスチック容器内に72時間
吊設した。その結果は下記の表21に示す通りである。[Test Example 15] For comparison, the alloy-plated stainless steel sheets obtained in this Example were put together with 18Cr-8Ni stainless steel sheet and 18Cr.12Ni-2.5Mo stainless steel, and 48% hydrofluoric acid aqueous solution was added to the bottom thereof to fluorinate. It was hung in a transparent plastic container filled with hydrogen gas for 72 hours. The results are shown in Table 21 below.
【0070】[0070]
【表21】 [Table 21]
【0071】[0071]
【実施例9】18Cr・8Niステンレス鋼板、18C
r・12Ni−2.5Moステンレス鋼板、18Crス
テンレス鋼板も前述の実施例8と同一過程で脱脂、酸洗
し、ストライクメッキ後、中間メッキ、仕上げメッキを
行った。18Cr−8Niステンレス鋼板については肉
厚20μm、18Cr・12Ni−2.5Moステンレ
ス鋼板については肉厚15〜20μm、18Crステン
レス鋼板については肉厚10〜15μmのメッキ被膜を
得た。[Example 9] 18Cr / 8Ni stainless steel plate, 18C
The r.12Ni-2.5Mo stainless steel plate and the 18Cr stainless steel plate were also subjected to degreasing, pickling, strike plating, intermediate plating and finish plating in the same process as in Example 8 described above. A plating film having a wall thickness of 20 μm for the 18Cr-8Ni stainless steel plate, a thickness of 15 to 20 μm for the 18Cr / 12Ni-2.5Mo stainless steel plate, and a thickness of 10 to 15 μm for the 18Cr stainless steel plate was obtained.
【0072】[0072]
【試験例16】実例例9により得た合金メッキについて
も、前述の試験例13〜試験例15に示されている耐食
試験を行った。その結果はこれらの試験例中の浴F、浴
Gと同等の結果を得、塩素系、フッ素系環境に対し良好
な耐食性を示すことが判明した。[Test Example 16] The alloy plating obtained in Example 9 was also subjected to the corrosion resistance test shown in Test Examples 13 to 15 described above. As a result, the same results as in the baths F and G in these test examples were obtained, and it was found that the corrosion resistance was good against chlorine-based and fluorine-based environments.
【0073】[0073]
【発明の効果】請求項1記載の発明は、表面を脱脂、酸
洗により清浄後、亜鉛皮膜を形成するので、メッキがの
りやすく、密着性が向上し、剥離しにくくなるという効
果がある。3層のメッキにより金属に被膜を形成するの
で耐食性の向上を図り得るという効果がある。According to the first aspect of the present invention, the zinc film is formed after cleaning the surface by degreasing and pickling, so that the plating is easily applied, the adhesion is improved, and peeling is difficult. Since the coating is formed on the metal by the three-layer plating, there is an effect that the corrosion resistance can be improved.
【0074】請求項2記載の発明は、仕上げメッキの浴
の組成を少し変えるだけで、メッキを柔らかくさせ、化
学薬品製造装置に用途を限定せず、柔軟性を必要とする
ものにも使用でき、用途の幅が広くなるという効果があ
る。The invention according to claim 2 makes the plating soft by only slightly changing the composition of the bath of the finish plating, and is not limited to the application to the chemical manufacturing equipment, and can be used for those requiring flexibility. The effect is that the range of applications is widened.
【0075】請求項3記載の発明は、従来困難であった
ステンレス表面のメッキを可能にし、ステンレスの孔
食、応力腐食割れ等の腐食を防止し、耐食性の向上を図
るという効果がある。The invention according to claim 3 has the effect of enabling the plating of the stainless steel surface, which has been difficult in the past, to prevent corrosion such as pitting corrosion and stress corrosion cracking of stainless steel, and to improve the corrosion resistance.
【0076】請求項1〜請求項3記載の発明は、耐食性
の良好な合金を多層形成させることにより、耐薬品性を
強く必要とする化学薬品製造装置、材料若しくは半導体
製造装置使用材料として利用できるという効果がある。The inventions according to claims 1 to 3 can be used as a chemical manufacturing apparatus, a material or a material used for a semiconductor manufacturing apparatus that requires strong chemical resistance by forming a multilayer of an alloy having good corrosion resistance. There is an effect.
【表20】 [Table 20]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C25D 5/30 5/36 5/44 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location C25D 5/30 5/36 5/44
Claims (3)
等の金属素材を脱脂、酸洗等により前記金属表面を清浄
化すると共に亜鉛置換皮膜を形成したものに、ニッケ
ル、タングステンの組成より成る合金メッキをして下地
メッキとなし、次にニッケル、タングステンの組成より
成る合金メッキをして中間メッキをしたる後、使用用途
に応じてパラジウム、ニッケル、タングステン、若しく
はニッケル、タングステンのいずれかの組成より成る合
金メッキを仕上げメッキとして施すことを特徴とするタ
ングステン合金のメッキ方法。1. A base material obtained by cleaning a metal material such as aluminum or an aluminum alloy by degreasing and pickling, and forming a zinc substitution film on the metal surface, and then plating the alloy with a composition of nickel and tungsten. After plating, then alloy plating consisting of nickel and tungsten composition is performed and then intermediate plating is performed, and then alloy plating consisting of palladium, nickel, tungsten, or nickel or tungsten composition is applied according to the intended use. A method for plating a tungsten alloy, characterized by being applied as finish plating.
酸洗等により前記金属表面を清浄化し、この清浄化され
た金属表面にスズ、ニッケルの組成より成る合金メッキ
をしたる後、さらに使用用途に応じてニッケル、タング
ステン、パラジウム若しくはニッケル、タングステンの
いずれかの組成より成る合金メッキを仕上げメッキとし
て施すことを特徴とするタングステン合金のメッキ方
法。2. Degreasing a metal material such as copper or copper alloy,
After the metal surface is cleaned by pickling, etc., and after the cleaned metal surface is plated with an alloy having a composition of tin and nickel, either nickel, tungsten, palladium or nickel, or tungsten may be used depending on the intended use. A method for plating a tungsten alloy, which comprises applying an alloy plating having the above composition as a finish plating.
レス鋼表面に形成されている不動態皮膜を除去したる
後、スズ、ニッケルの組成より成る合金メッキをし、更
に、使用用途に応じてニッケル、タングステン、バラジ
ウム若しくはニッケル、タングステンのいずれかの組成
より成る合金メッキを仕上げメッキとして施すことを特
徴とするタングステン合金のメッキ方法。3. A stainless steel material is degreased and pickled to remove a passivation film formed on the surface of the stainless steel, and then plated with an alloy having a composition of tin and nickel, and further, depending on the intended use. A method for plating a tungsten alloy, which comprises performing, as finish plating, an alloy plating having a composition of nickel, tungsten, barium or nickel, tungsten.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34266093A JPH07157884A (en) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Method for plating tungsten alloy |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34266093A JPH07157884A (en) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Method for plating tungsten alloy |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07157884A true JPH07157884A (en) | 1995-06-20 |
Family
ID=18355502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34266093A Pending JPH07157884A (en) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Method for plating tungsten alloy |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07157884A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009064589A (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Univ Of Yamanashi | Metallic separator for fuel cell, manufacturing method of metallic separator for fuel cell, and fuel cell |
WO2009031841A3 (en) * | 2007-09-05 | 2009-05-07 | Jeis Co Ltd | Method of coating metallic material |
EP2587505A4 (en) * | 2010-06-25 | 2016-01-20 | Senju Metal Industry Co | Electrode for electric storage device, method for manufacturing the electrode, and method for connecting the electrode |
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1993
- 1993-12-02 JP JP34266093A patent/JPH07157884A/en active Pending
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US9368249B2 (en) | 2010-06-25 | 2016-06-14 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Method of manufacturing an electrode for an energy storage device |
US10121606B2 (en) | 2010-06-25 | 2018-11-06 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Method of manufacturing an electrode for an energy storage device |
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