JPH07153646A - Manufacture of laminated porcelain capacitor - Google Patents
Manufacture of laminated porcelain capacitorInfo
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- JPH07153646A JPH07153646A JP5301578A JP30157893A JPH07153646A JP H07153646 A JPH07153646 A JP H07153646A JP 5301578 A JP5301578 A JP 5301578A JP 30157893 A JP30157893 A JP 30157893A JP H07153646 A JPH07153646 A JP H07153646A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は積層磁器コンデンサの製
造方法に係り、詳しくは、積層磁器コンデンサの製造の
一工程であるセラミックグリーンシートを形成する際の
セラミックスラリーの混合,分散方法を改良した積層磁
器コンデンサの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, and more particularly, to an improved method of mixing and dispersing ceramic slurry when forming a ceramic green sheet, which is one step of manufacturing a laminated ceramic capacitor. The present invention relates to a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、積層磁器コンデンサは一般に次の
ようにして製造されている。即ち、まず、セラミック誘
電体粉末と有機質バインダー成分とをボールミル等によ
り混合,分散してセラミックスラリーを作成し、このセ
ラミックスラリーをドクターブレード法、リバースコー
ター法等により成形してセラミックグリーンシートを作
成する。次に、このセラミックグリーンシートに、内部
電極として金属電極ペーストを印刷等で付与し、この内
部電極が交互に露出するように複数枚のセラミックグリ
ーンシートを積層圧着した後、チップ状にカットする。
その後、脱バインダー及び焼成して積層磁器コンデンサ
ベアチップを作成する。このベアチップの両端面部に外
部電極を形成して、積層磁器コンデンサが製造される。2. Description of the Related Art Conventionally, a laminated ceramic capacitor is generally manufactured as follows. That is, first, a ceramic dielectric powder and an organic binder component are mixed and dispersed by a ball mill or the like to prepare a ceramic slurry, and this ceramic slurry is molded by a doctor blade method, a reverse coater method or the like to prepare a ceramic green sheet. . Next, a metal electrode paste is applied as an internal electrode to this ceramic green sheet by printing or the like, a plurality of ceramic green sheets are laminated and pressure-bonded so that the internal electrodes are alternately exposed, and then cut into chips.
Then, the binder is removed and fired to produce a laminated ceramic capacitor bare chip. External electrodes are formed on both end surfaces of this bare chip to manufacture a laminated ceramic capacitor.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】積層磁器コンデンサ
は、近年益々小型化、大容量化の傾向をみせており、内
部の誘電体層厚は50〜20μmから10μm以下の領
域へと薄層化されつつある。このように薄層化が進むに
つれ、セラミックグリーンシートは極めて均質に作るこ
とが要求される。即ち、セラミックグリーンシートが相
当に均質なものでないと、薄層のセラミックグリーンシ
ートにボイド(空孔)等の欠陥が生じ易くなるが、この
ような欠陥があると、得られる積層磁器コンデンサの絶
縁抵抗値の低下や耐電圧値の劣化等電気的特性の不具合
を招くことになる。In recent years, multilayer ceramic capacitors have tended to become smaller and larger in capacity, and the thickness of the internal dielectric layer has been reduced from 50 to 20 μm to 10 μm or less. It's starting. As the thickness of the ceramic green sheet is reduced, it is required that the ceramic green sheet be made extremely uniform. That is, if the ceramic green sheet is not substantially homogeneous, defects such as voids (holes) are likely to occur in the thin ceramic green sheet. This leads to a defect in electrical characteristics such as a decrease in resistance value and a deterioration in withstand voltage value.
【0004】一方、均質なセラミックグリーンシートを
作成するためにセラミックスラリーの分散状態を高める
目的で、ボールミル等によるセラミックスラリーの混
合,分散を促進すると、即ち、回転時間や回転数を増加
させると、セラミック粉体の過粉砕化を招き、この結
果、結晶構造の変態により、得られる積層磁器コンデン
サの静電容量温度特性の劣化をひき起こすという問題が
発生する。On the other hand, if the mixing and dispersion of the ceramic slurry by a ball mill or the like is promoted, that is, the rotation time or the number of rotations is increased, in order to enhance the dispersion state of the ceramic slurry in order to produce a homogeneous ceramic green sheet. This causes excessive pulverization of the ceramic powder, which results in a problem that the transformation of the crystal structure causes deterioration of the temperature characteristic of the capacitance of the obtained laminated ceramic capacitor.
【0005】例えば、セラミック粉末としてチタン酸バ
リウムを主成分とするX7R特性(−55〜−125℃
の温度範囲で静電容量変化率±15%以内)の積層磁器
コンデンサにあっては、コアセル構造を形成することに
より、得られる積層磁器コンデンサに高い誘電率と安定
な静電容量温度特性を持たせているが、この場合におい
て、セラミック粉末を過粉砕化すると、コアセル構造が
形成できず、安定な静電容量温度特性が得られ難くな
る。For example, X7R characteristics (-55 to -125 ° C) containing barium titanate as a main component as a ceramic powder.
For a laminated porcelain capacitor whose capacitance change rate is within ± 15% in the temperature range of 1), by forming a core cell structure, the obtained laminated porcelain capacitor has a high dielectric constant and stable temperature characteristic of capacitance. However, in this case, if the ceramic powder is excessively pulverized, the core cell structure cannot be formed, and it becomes difficult to obtain stable capacitance-temperature characteristics.
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決し、積層
磁器コンデンサの製造におけるセラミックスラリーの調
製に当り、セラミック粉末を過粉砕することなく、効率
的な混合,分散を行って、均一なセラミックスラリーを
得ることができる積層磁器コンデンサの製造方法を提供
することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and in the preparation of a ceramic slurry in the production of a laminated ceramic capacitor, the ceramic powder is efficiently mixed and dispersed without being excessively pulverized to obtain a uniform ceramic. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor that can obtain a rally.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1の積層磁器コン
デンサの製造方法は、セラミック粉体と有機質バインダ
ーとを混合,分散してセラミックスラリーを調製する工
程と、該セラミックスラリーを成形してセラミックグリ
ーンシートを得る工程を備える積層磁器コンデンサの製
造方法において、前記セラミックスラリー調製工程は、
ボールミルによる第1次混合,分散工程と、サンドミル
による第2次混合,分散工程とを備えることを特徴とす
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor, which comprises a step of preparing a ceramic slurry by mixing and dispersing ceramic powder and an organic binder, and molding the ceramic slurry to form a ceramic. In the method for manufacturing a laminated ceramic capacitor including a step of obtaining a green sheet, the ceramic slurry preparation step,
It is characterized by including a primary mixing and dispersing step by a ball mill and a secondary mixing and dispersing step by a sand mill.
【0008】請求項2の積層磁器コンデンサの製造方法
は、請求項1の方法において、前記セラミックスラリー
調製工程は、ボールミルによる第1次混合,分散工程
と、サンドミルによる第2次混合,分散工程と、超音波
分散手段による第3次混合,分散工程とを備えることを
特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first aspect, wherein the ceramic slurry preparing step includes a primary mixing and dispersing step by a ball mill and a secondary mixing and dispersing step by a sand mill. And a third mixing and dispersing step by means of ultrasonic dispersing means.
【0009】以下に本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.
【0010】本発明の積層磁器コンデンサの製造方法
は、セラミック粉末と有機質バインダーとを混合,分散
してセラミックスラリーを調製するに当り、混合,分散
をボールミルによる第1次混合,分散工程と、サンドミ
ルによる第2次混合,分散工程と、必要に応じて更に超
音波分散手段による第3次混合,分散工程とを経て行う
ものである。In the method for manufacturing a laminated ceramic capacitor of the present invention, when a ceramic slurry is prepared by mixing and dispersing a ceramic powder and an organic binder, the mixing and dispersion are carried out by a primary mixing and dispersion process using a ball mill, and a sand mill. The second mixing and dispersing step according to the above step and, if necessary, the third mixing and dispersing step by the ultrasonic dispersing means.
【0011】本発明において、第1次混合,分散工程で
用いるボールミルは、円筒状容器内にメディヤとしての
玉石及びセラミック粉末と有機質バインダーを投入し、
密閉して容器を回転して、混合,分散を行う構造のもの
であり、従来から使用されているものである。In the ball mill used in the first mixing and dispersing step in the present invention, boulders and ceramic powder as a media and an organic binder are put into a cylindrical container,
The structure is such that the container is hermetically closed and the container is rotated to perform mixing and dispersion, which has been conventionally used.
【0012】通常の場合、L(長さ)/D(直径)=
2.0〜1.0比、特に、L/D≒1.4程度のナイロ
ン製,アルミナ製,磁器製等のボールミルに、メディヤ
材質として安定化ジルコア,チタニア,天然石(シリカ
質),アルミナ質等で、玉石形状としては球状,円柱状
等のものが使用される。玉石寸法としては5〜25mm
径であり、玉石量はボールミル内容積の40〜60%が
好ましい。以上の要件を適宜組み合せてボールミル処理
条件を設定する。回転数はボールミル形状によって異な
るが、10〜100rpmであり、通常は5〜50時間
程度の回転時間で使用される。In the normal case, L (length) / D (diameter) =
A ball mill made of nylon, alumina, porcelain, etc. with a ratio of 2.0 to 1.0, especially L / D≈1.4, and stabilized zircon core, titania, natural stone (silica), alumina as media material. For example, spherical or columnar boulders are used. The size of the cobblestone is 5 to 25 mm
It is the diameter, and the amount of boulders is preferably 40 to 60% of the internal volume of the ball mill. The ball mill processing conditions are set by appropriately combining the above requirements. The rotation speed varies depending on the shape of the ball mill, but it is 10 to 100 rpm, and it is usually used for a rotation time of about 5 to 50 hours.
【0013】以上のような構成のため、ボールミルによ
る混合,分散方式ではメディヤが比較的大きいために、
超微粉となってきた最近のセラミック粉末の混合,分散
には限界があり、又、長時間処理すると微粉化が進みす
ぎるという問題点がある。Due to the above-mentioned constitution, the media is relatively large in the mixing and dispersion method by the ball mill.
There is a limit to the mixing and dispersion of the recent ceramic powder which has become ultrafine powder, and there is a problem that if it is treated for a long period of time, the powder becomes too fine.
【0014】本発明においては、このようなボールミル
による第1次混合,分散工程の後、サンドミル(又はビ
ーズミルとも言う。)による第2次混合,分散工程、更
に、場合により超音波分散手段による第3次混合,分散
工程を経るため、ボールミルによる第1次混合,分散工
程は、ボールミルのみによる混合,分散のみの従来の方
法に比べて処理条件を緩和でき、第1次混合,分散工程
としては1〜10時間程度で良い。In the present invention, after such a primary mixing and dispersing step using a ball mill, a secondary mixing and dispersing step using a sand mill (also referred to as a bead mill) and, if necessary, an ultrasonic dispersing means. Since the third mixing and dispersing process is performed, the processing conditions of the first mixing and dispersing process by the ball mill can be relaxed as compared with the conventional method of only mixing and dispersing by the ball mill. It takes about 1 to 10 hours.
【0015】第2次混合,分散工程に用いるサンドミル
は、円筒状容器内にメディヤとして小径(0.5〜5.
0mm径程度)の球状のものを内容積の30〜95%投
入し、更に容器内部にメディヤを攪拌する回転機構を備
えている構造のものである。The sand mill used in the secondary mixing and dispersing step has a small diameter (0.5-5.
It has a structure in which a spherical one having a diameter of about 0 mm) is charged in an amount of 30 to 95% of the internal volume, and a rotation mechanism for stirring the media is further provided inside the container.
【0016】本発明は、このようなサンドミルにボール
ミルによる第1次混合,分散工程を経たセラミック粉体
スラリーを通過させて混合,分散を行うものであり、サ
ンド状の小径メディヤによる攪拌状態の中にスラリーを
通過させるので、超微粉の混合,分散を比較的効率良く
行うことができる。According to the present invention, the ceramic powder slurry that has undergone the primary mixing and dispersing steps by a ball mill is passed through such a sand mill to mix and disperse. Since the slurry is passed through, the ultrafine powder can be mixed and dispersed relatively efficiently.
【0017】サンドミルの円筒状容器の容積は0.5〜
250リットル程度、材質としては安定化ジルコニア,
アルミナ,ゴム製等が好ましく、メディヤ材質として安
定化ジルコニウム,アルミナ,ガラスビーズ等が使用で
きる。サンドミルの使用条件としては、回転数300〜
3000rpm,スラリー供給量0.5〜2000ml
/分で1〜数回処理するのが好ましい。The volume of the cylindrical container of the sand mill is 0.5 to
About 250 liters, the material is stabilized zirconia,
Alumina and rubber are preferable, and stabilized media such as stabilized zirconium, alumina and glass beads can be used. The usage conditions of the sand mill are 300 to 300 rpm.
3000 rpm, slurry supply amount 0.5-2000 ml
The treatment is preferably performed once / minute for 1 to several times.
【0018】第3次混合,分散工程で用いる超音波分散
手段としては、セラミックスラリーに万遍なく16〜2
00kHz程度の超音波発振波を与えるものであれば良
く、特に、一定量のスラリーを送りながら超音波室を通
過させる構造が、分散効果を確実に行う点から好まし
い。As the ultrasonic dispersing means used in the third mixing and dispersing step, the ceramic slurry is uniformly used in an amount of 16 to 2
Any structure that gives an ultrasonic oscillating wave of about 00 kHz may be used, and in particular, a structure in which a certain amount of slurry is sent through the ultrasonic chamber is preferable in terms of ensuring the dispersion effect.
【0019】超音波分散機としては、スラリー圧送部、
超音波発振部、超音波処理部及び取り出し回収部を備
え、超音波発振,処理部には冷却機構を備えており、超
音波発振出力が30W〜1kW程度、スラリー処理量1
0〜2000ml/分であることが好ましい。As the ultrasonic disperser, a slurry pumping unit,
An ultrasonic oscillating unit, an ultrasonic processing unit, and a take-out / collecting unit are provided, and an ultrasonic oscillating and processing unit is provided with a cooling mechanism.
It is preferably 0 to 2000 ml / min.
【0020】セラミックスラリーを超音波分散手段を用
いて混合,分散することにより、セラミック粉体と有機
物バインダーの接合、ヌレ性をより一層促進することが
でき、処理後、減圧脱泡を行う際にも発泡は全く生じな
くなる。By mixing and dispersing the ceramic slurry using an ultrasonic dispersing means, it is possible to further promote the bonding and wetting property of the ceramic powder and the organic binder, and when performing degassing under reduced pressure after the treatment. However, foaming does not occur at all.
【0021】本発明の方法においては、セラミックスラ
リーの調製における混合,分散を、上述の如く第1次混
合,分散工程及び第2次混合,分散工程、或いは更に第
3次混合,分散工程で行うこと以外は従来と同様に実施
することができる。In the method of the present invention, the mixing and dispersing in the preparation of the ceramic slurry are carried out in the primary mixing, dispersing step and the secondary mixing, dispersing step, or the third mixing and dispersing step as described above. Other than the above, it can be implemented in the same manner as the conventional one.
【0022】即ち、所定割合のセラミック誘電体粉末と
有機質バインダー成分とを上述の方法で混合,分散した
後、得られるセラミックスラリーをドクターブレード
法、リバースコーター法等により成形してセラミックグ
リーンシートを得る。次に、このセラミックグリーンシ
ートに金属電極ペーストで内部電極を形成した後、複数
枚を積層圧着し、その後、所定の大きさにカットする。
次いで、脱バインダー処理し、1200〜1350℃で
0.5〜3.0時間程度焼成して積層磁器コンデンサベ
アチップを得、このベアチップの両端面に金属電極ペー
ストを塗布、焼き付けして外部電極を形成して積層磁器
コンデンサを得る。That is, a predetermined ratio of the ceramic dielectric powder and the organic binder component are mixed and dispersed by the above-mentioned method, and the obtained ceramic slurry is molded by a doctor blade method, a reverse coater method or the like to obtain a ceramic green sheet. . Next, an internal electrode is formed on the ceramic green sheet with a metal electrode paste, and a plurality of sheets are laminated and pressure-bonded, and then cut into a predetermined size.
Next, a binder removal treatment is performed, and firing is performed at 1200 to 1350 ° C. for about 0.5 to 3.0 hours to obtain a laminated ceramic capacitor bare chip, and metal electrode paste is applied to both end surfaces of the bare chip and baked to form an external electrode. To obtain a laminated ceramic capacitor.
【0023】[0023]
【作用】セラミックスラリーの調製に当り、ボールミル
による混合,分散と、サンドミルによる混合,分散とを
経ることにより、セラミック粉末を過粉砕することな
く、均一分散状態のセラミックスラリーを得ることが可
能とされる。In preparing the ceramic slurry, it is possible to obtain a ceramic slurry in a uniformly dispersed state without over-pulverizing the ceramic powder by mixing and dispersing with a ball mill and mixing and dispersing with a sand mill. It
【0024】更に、超音波分散手段による混合,分散を
付加することにより、より一層良好な均一分散状態が達
成される。Furthermore, by adding mixing and dispersion by means of ultrasonic dispersion means, a more excellent uniform dispersion state can be achieved.
【0025】[0025]
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。なお、説明の便宜上まず比較例を
挙げる。EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples below. For convenience of description, a comparative example will be given first.
【0026】比較例1 下記配合の誘電体組成物を600g秤量し、ナイロン製
ボールミル(L/D=1.4)に投入し、メディヤとし
て安定化ジルコニウム玉石(粒径=10mm)をボール
ミル内容積の1/2量投入し、更にバインダーとしてP
VB(ポリビニルブチラール)樹脂10重量%溶液(溶
媒:トルエン/エタノール=60/40(重量比))4
20g、可塑剤としてジオクチルフタレート(DOP)
28gを各々投入し、ボールミル回転時間を、各々、2
4、48、72時間としてセラミックスラリーを調製し
た。なお、ボールミルの回転数は70rpmとした。Comparative Example 1 600 g of a dielectric composition having the following composition was weighed and put into a nylon ball mill (L / D = 1.4), and stabilized zirconium boulders (particle size = 10 mm) were used as a mediar in the ball mill internal volume. 1/2 of the amount of
VB (polyvinyl butyral) resin 10% by weight solution (solvent: toluene / ethanol = 60/40 (weight ratio)) 4
20 g, dioctyl phthalate (DOP) as a plasticizer
28g each, ball mill rotation time, 2
Ceramic slurries were prepared for 4, 48 and 72 hours. The rotation speed of the ball mill was 70 rpm.
【0027】誘電体組成分配合(重量%) チタン酸バリウム(BaTiO3 ):98.15 五酸化ニオブ(VO5 ) :1.20 酸化亜鉛(ZnO) :0.60 四三酸化コバルト(Co3 O4 ) :0.05 各セラミックスラリーを用いて、グリーンシート成形機
(ドクターブレード方式)により、厚さ25μmのグリ
ーンシートを作成した。このグリーンシートにパラジウ
ム電極ペーストを印刷して内部電極を形成し、この内電
印刷シート11枚、上下に電極のないシート各7枚、合
計25枚重ねて60℃、300kg/cm2 で加熱圧着
した後、カットして2.0×1.25mm×0.6mm
厚さのチップとし、このチップを焼成炉で1280℃、
2時間保持にて焼成した。その後、両端面に銀電極ペー
ストを塗布、焼き付けして外部電極を形成した。 Dielectric composition (wt%) Barium titanate (BaTiO 3 ): 98.15 Niobium pentoxide (VO 5 ): 1.20 Zinc oxide (ZnO): 0.60 Cobalt trioxide (Co 3). O 4 ): 0.05 Using each of the ceramic slurries, a green sheet having a thickness of 25 μm was prepared by a green sheet molding machine (doctor blade system). Palladium electrode paste is printed on this green sheet to form internal electrodes, and 11 sheets of this internal electroprinting sheet and 7 sheets without electrodes on top and bottom, 25 sheets in total, are stacked and heated and pressure-bonded at 60 ° C. and 300 kg / cm 2. After that, cut and 2.0 x 1.25 mm x 0.6 mm
The thickness of the chips is 1280 ° C. in a baking furnace.
It was baked by holding for 2 hours. Then, silver electrode paste was applied to both end faces and baked to form external electrodes.
【0028】このようにして得られた各試料について静
電容量、tanδ、静電容量温度特性(TCC)及び素
子内部のボイド径を測定し、結果を表1にまとめた。The capacitance, tan δ, capacitance-temperature characteristic (TCC) and void diameter inside the device were measured for each of the samples thus obtained, and the results are summarized in Table 1.
【0029】[0029]
【表1】 [Table 1]
【0030】表1より、ボールミル回転時間が増加する
と、内部ボイド径は小さくなる傾向を示すが、反面、T
CCは−5.3から−21.0%と大きく増大し、ま
た、ボールミル処理のみでは、いずれの性能についても
満足のいく値は得られないことが明らかである。From Table 1, it is seen that as the ball mill rotation time increases, the internal void diameter tends to decrease, but on the other hand, T
The CC greatly increases from -5.3% to -21.0%, and it is clear that the ball mill treatment alone does not provide a satisfactory value for any performance.
【0031】実施例1 比較例1において、セラミックスラリーの調製に当り、
混合,分散をボールミル及びサンドミルにより、或いは
更に超音波ホモジナイザーにより行ったこと以外は同様
にして試料を作成し、同様に評価を行って結果を表2に
示した。Example 1 In Comparative Example 1, in preparing the ceramic slurry,
Samples were prepared in the same manner except that the mixing and dispersion were performed by a ball mill and a sand mill, or further by an ultrasonic homogenizer, and the same evaluation was performed. The results are shown in Table 2.
【0032】なお、ボールミルとしては比較例1で用い
たものと同様のものを用い、回転数は70rpmとし
た。回転時間は表2に示す通りである。また、サンドミ
ルとしては安定化ジルコニア質の容器及びメディヤを使
用した。容器は内容積1リットルの円筒状で、メディヤ
は2.0mm径の球状のものを800cc使用した。ス
ラリー送り量は400ml/分、回転数1600rpm
とし、2回処理(2P)とした。A ball mill similar to that used in Comparative Example 1 was used, and the rotation speed was 70 rpm. The rotation time is as shown in Table 2. A stabilized zirconia container and a media were used as the sand mill. The container had a cylindrical shape with an internal volume of 1 liter, and the medium used was a spherical one having a diameter of 2.0 mm and 800 cc. Slurry feed rate is 400 ml / min, rotation speed is 1600 rpm
And treated twice (2P).
【0033】また、超音波分散機((株)エスエムテー
社製「GSD−600型」)は50kHz、出力300
Wのものを使用し、処理量は1リットル/分とし、これ
も2回処理(2P)とした。An ultrasonic disperser ("GSD-600" manufactured by SMT Co., Ltd.) has a frequency of 50 kHz and an output of 300.
W was used, the treatment amount was 1 liter / min, and this was also treated twice (2P).
【0034】[0034]
【表2】 [Table 2]
【0035】表2より明らかなように、セラミックスラ
リーの調製に当り、混合,分散をボールミルによる第1
次混合,分散工程と、サンドミルによる第2次混合,分
散工程とで行うことにより、静電容量温度特性及び内部
のボイドを同時に満足することができる。また、更に、
超音波分散手段を付加することにより、内部ボイドをよ
り一層減少させることができる。As is clear from Table 2, in the preparation of the ceramic slurry, the mixing and dispersion were performed by the ball mill first.
By performing the secondary mixing and dispersing steps and the secondary mixing and dispersing steps by the sand mill, the capacitance temperature characteristic and the internal void can be satisfied at the same time. In addition,
By adding ultrasonic dispersion means, the internal voids can be further reduced.
【0036】[0036]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の積層磁器コ
ンデンサの製造方法によれば、セラミック粉末を過粉砕
することなく、均一分散状態のセラミックスラリーを調
製することができるため、積層磁器コンデンサの誘電体
層の薄層化に十分に対応し得る薄層セラミックグリーン
シートを、内部ボイド等の欠陥の発生を抑えて、極めて
均質なものとして作成することが可能となる。このた
め、本発明によれば、静電容量温度特性等の諸特性に優
れ、しかも、小型、大容量の積層磁器コンデンサの製造
方法を容易かつ効率的に作成することが可能とされる。As described above in detail, according to the method for manufacturing a laminated ceramic capacitor of the present invention, a ceramic slurry in a uniformly dispersed state can be prepared without over-pulverizing the ceramic powder, so that the laminated ceramic capacitor The thin-layer ceramic green sheet that can sufficiently cope with the thinning of the dielectric layer can be produced as an extremely homogeneous sheet while suppressing the occurrence of defects such as internal voids. Therefore, according to the present invention, it is possible to easily and efficiently create a method for manufacturing a small-sized, large-capacity laminated ceramic capacitor which is excellent in various characteristics such as capacitance temperature characteristics.
【0037】請求項2の積層磁器コンデンサの製造方法
によれば、内部ボイド等の欠陥はより一層確実に低減さ
れる。According to the method of manufacturing a laminated ceramic capacitor of the second aspect, defects such as internal voids can be more surely reduced.
Claims (2)
混合,分散してセラミックスラリーを調製する工程と、
該セラミックスラリーを成形してセラミックグリーンシ
ートを得る工程を備える積層磁器コンデンサの製造方法
において、 前記セラミックスラリー調製工程は、ボールミルによる
第1次混合,分散工程と、サンドミルによる第2次混
合,分散工程とを備えることを特徴とする積層磁器コン
デンサの製造方法。1. A step of mixing and dispersing ceramic powder and an organic binder to prepare a ceramic slurry,
In a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, including a step of molding the ceramic slurry to obtain a ceramic green sheet, the ceramic slurry preparing step includes a primary mixing and dispersing step by a ball mill and a secondary mixing and dispersing step by a sand mill. A method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, comprising:
クスラリー調製工程は、ボールミルによる第1次混合,
分散工程と、サンドミルによる第2次混合,分散工程
と、超音波分散手段による第3次混合,分散工程とを備
えることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the ceramic slurry preparing step is a primary mixing by a ball mill,
A method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, comprising: a dispersion step, a secondary mixing and dispersion step by a sand mill, and a third mixing and dispersion step by an ultrasonic dispersion means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05301578A JP3077479B2 (en) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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1993
- 1993-12-01 JP JP05301578A patent/JP3077479B2/en not_active Expired - Lifetime
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CN115093201A (en) * | 2022-07-11 | 2022-09-23 | 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 | Method for preparing ceramic slurry by combining sand mill and ball mill |
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