JPH0710527B2 - Hole punching machine for green sheets for multilayer boards - Google Patents
Hole punching machine for green sheets for multilayer boardsInfo
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- JPH0710527B2 JPH0710527B2 JP2406535A JP40653590A JPH0710527B2 JP H0710527 B2 JPH0710527 B2 JP H0710527B2 JP 2406535 A JP2406535 A JP 2406535A JP 40653590 A JP40653590 A JP 40653590A JP H0710527 B2 JPH0710527 B2 JP H0710527B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- pattern
- green sheet
- punch
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック多層基板用
グリーンシートの微細スルーホール用穴抜加工装置に関
するものである。The present invention relates are those relating <br/> fine through-hole hole disconnect processing apparatus of the green sheet for a ceramic multilayer substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】図1は25チップ用セラミック多層基板
の一例を示している。この多層基板は通常以下の3種類
の層から構成されている。図1の1〜5に示すのはその
うち表面層とよばれるものである。この表面層は通常枚
数であるが、各層にはたとえばA1〜A25,D1〜D
25で示されている領域に、それぞれ図2のAn,図3
のDnで示すようなパターンの穴があけられている。な
おこのパターンは各層で異なっている。図1の6〜17
に示すのは中間層と呼ばれるもので、この10数枚のシ
ートの穴パターンは同一であり、それぞれ表面に縦横等
ピッチで均一に穴明けされている。図1の18は、端子
接続層であり、穴パターン中間層とは異なり、またピッ
チも広い。2. Description of the Related Art FIG. 1 shows an example of a ceramic multilayer substrate for 25 chips. This multilayer substrate is usually composed of the following three types of layers. The ones shown in FIGS. 1 to 5 are called surface layers. This surface layer is usually a number, but each layer has, for example, A1 to A25, D1 to D
In the areas indicated by 25, An in FIG. 2 and FIG.
A hole having a pattern as shown by Dn is punched. This pattern is different for each layer. 6 to 17 in FIG.
What is shown in FIG. 4 is called an intermediate layer, and the hole patterns of these ten or more sheets are the same, and the holes are evenly formed on the surface at equal pitches in the vertical and horizontal directions. Reference numeral 18 in FIG. 1 denotes a terminal connection layer, which is different from the hole pattern intermediate layer and has a wide pitch.
【0003】このように多層基板にはいろいろなパター
ンの非常に多数のスルーホール穴が必要である。この穴
明けはセラミック焼成前のグリーンシートの状態で行わ
れるべきであるが、その加工方法としては従来ドリルに
よる切削加工,電子ビーム加工、およびパンチとダイに
よる抜き加工の3方法が考えられ、試みられている。As described above, a multilayer substrate requires a large number of through-hole holes having various patterns. This drilling should be done in the state of the green sheet before firing the ceramics, but as the processing method, there are three possible methods: cutting using a conventional drill, electron beam processing, and punching using a punch and die. Has been.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、第1のドリル
による切削加工は、加工速度が遅いこと、また工具寿命
が短いという問題があった。However, the cutting work by the first drill has problems that the working speed is slow and the tool life is short.
【0005】また、電子ビーム加工は、装置が極めて高
価であるという欠点があった。パンチとダイによる抜き
加工方式としては先ず図1に示すパターンのポンチとダ
イを組合わせた型を作成し、1工程で抜く方法が考えら
れるが、表面層の各層毎に異なるパターンの型を製作す
る必要があること、また、穴間かくがせまい場合、型の
製作が困難であるという欠点があった。Further, electron beam processing has a drawback that the apparatus is extremely expensive. As a punching method using a punch and a die, first, a die in which a punch and a die having the pattern shown in Fig. 1 are combined and punched in one step is considered, but a die with a different pattern is produced for each surface layer. However, there is a drawback in that it is difficult to manufacture the mold when it is difficult to cover the holes.
【0006】パンチとダイによる抜き加工方式としては
もう1つ,1組のパンチとダイを縦,横に動かせて図1
に示すすべてのパターンを加工する方法も考えられる
が、加工速度が遅いという問題がある。Another punching method using punches and dies is that one set of punches and dies can be moved vertically and horizontally.
Although a method of processing all the patterns shown in (1) can be considered, there is a problem that the processing speed is slow.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、上記し
た従来技術の欠点をなくし、安価で生産性の良い多層基
板用セラミックグリーンシートの穴抜加工装置を提供す
るにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a punching device for a ceramic green sheet for a multilayer substrate, which is inexpensive and has good productivity, without the above-mentioned drawbacks of the prior art.
【0008】即ち本発明は多層基板の穴パターンが特に
表面層については表面層の基板の上部に搭載されるLS
Iチップ毎のくり返しパターンであることに着目し、L
SIチップ1個に対し、1組のパンチとダイを割り当て
る構造の型を採用することを特徴とする。That is, according to the present invention, the LS in which the hole pattern of the multilayer substrate is mounted on the upper surface of the substrate of the surface layer, particularly for the surface layer.
Paying attention to the repeated pattern for each I chip, L
A feature is that a die having a structure in which one set of punch and die is assigned to one SI chip is adopted.
【0009】[0009]
【作用】上記構成により、多数の穴抜きを同時に行なう
ので、2〜3種類の型で全ての層の穴明けを高能率で加
工することが可能となった。With the above structure, since a large number of holes are punched simultaneously, it becomes possible to process holes in all layers with a high efficiency by a few types of dies.
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明を図4〜図7に示す一実施例に
もとづいて詳細に説明する。 図4は加工装置の全体
図、図5は下型の概要図、図6は上型の概要図、図7は
グリーンシートの保持および送給状態を示す概要図であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to an embodiment shown in FIGS. FIG. 4 is an overall view of the processing apparatus, FIG. 5 is a schematic view of the lower mold, FIG. 6 is a schematic view of the upper mold, and FIG. 7 is a schematic view showing a state of holding and feeding the green sheet.
【0011】図3ないし図7において19はダイ駒であ
り、そのダイ穴20の数は基板に搭載するチップ数に等
しく、またそのピッチは表面層のくり返しパターンのピ
ッチ(図1におけるPL)に等しくとっている。[0011] 19 in FIGS. 3 to 7 are die piece, the number of die holes 20 is equal to the number of chips mounted on the substrate and repeating the pattern pitch of the pitch surface layer (P L in FIG. 1) Equal to.
【0012】また図6(a),(b)に示すように21
はポンチであり、ダイ駒19に形成されたダイ穴20と
同一数同一ピッチで配列されている。33は上ダイセッ
トプレート、34はストリッパプレート、36はストリ
ッパプレート34をガイドするサブガイドポスト、37
はバッキングプレート38と共にポンチ21を支持する
ポンチプレートであり、39はダイセットのガイドポス
ト35を嵌入するガイド穴、40はストリッパプレート
34を押付けるスプリングである。Further, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), 21
Is a punch, and is arranged in the same number and the same pitch as the die holes 20 formed in the die piece 19. 33 is an upper die set plate, 34 is a stripper plate, 36 is a sub-guide post for guiding the stripper plate 34, 37
Is a punch plate that supports the punch 21 together with the backing plate 38, 39 is a guide hole into which the guide post 35 of the die set is inserted, and 40 is a spring that presses the stripper plate 34.
【0013】図7(a),(b)に示すようにグリーン
シート22は額縁状の保持具23に接着剤などによって
固定され、その保持具23はピン24によってアーム2
5に位置決めされている。このアーム25はX−Y駆動
装置26に連結され、NCテープなどによって指令され
た位置に位置決め可能である。As shown in FIGS. 7A and 7B, the green sheet 22 is fixed to a frame-shaped holder 23 with an adhesive or the like, and the holder 23 is fixed to the arm 2 by a pin 24.
It is positioned at 5. The arm 25 is connected to an XY drive device 26 and can be positioned at a position instructed by an NC tape or the like.
【0014】さらに、図5(a),(b)に示すように
ダイ駒19はダイプレート27にはめ込まれているが、
ダイ面30とダイプレート面29とには保持具23の額
縁の厚さをtP、アーム25の厚さをtAとしたとき、t
P+tAの段差がつけてあり、アーム25がダイプレート
面29を摺動する際、グリーンシート22がダイ面29
上をなめらかに移動可能としている。ダイプレート27
は下ダイセットプレート28に位置決めされて締着され
ている。Further, as shown in FIGS. 5A and 5B, the die piece 19 is fitted in the die plate 27,
When the thickness of the frame of the holder 23 is t P and the thickness of the arm 25 is t A on the die surface 30 and the die plate surface 29, t
There is a step difference of P + t A , and when the arm 25 slides on the die plate surface 29, the green sheet 22 moves to the die surface 29.
The upper part can be moved smoothly. Die plate 27
Are positioned and fastened to the lower die set plate 28.
【0015】そして下ダイセットプレート28はプレス
のボルスタ31に固定され、上ダイセットプレート33
はラム32に固定されている。The lower die set plate 28 is fixed to the bolster 31 of the press, and the upper die set plate 33.
Is fixed to the ram 32.
【0016】以上の構成において、グリーンシート22
を額縁23、アーム25を介してX−Y駆動装置26で
動かし、たとえばポンチ21−1とダイの穴20−1を
用いて図1の表面層1のパターンA1を加工すると、同
時にたとえばポンチ21−8ダイ穴20−8によってパ
ターンA8も加工することができる。さらに他の表面層
についても同じ型のポンチ21−1とダイ穴20−1を
用いてパターンB1〜E1が加工できるようにグリーン
シートを位置決めするだけで、同様のパターンBn〜E
nが加工できる。In the above structure, the green sheet 22
Is moved by the XY driving device 26 via the frame 23 and the arm 25, and the pattern A1 of the surface layer 1 of FIG. 1 is processed using, for example, the punch 21-1 and the hole 20-1 of the die. The pattern A8 can also be processed by the -8 die hole 20-8. With respect to the other surface layers, the same pattern Bn to E can be obtained by just positioning the green sheet so that the patterns B1 to E1 can be processed using the punch 21-1 and the die hole 20-1 of the same type.
n can be processed.
【0017】中間層については、通常ポンチとダイとの
組のピッチPLが中間層の穴ピッチPH(図示せず)の整
数倍であるため同じ型を用いて同様の方法で加工でき
る。The intermediate layer can be processed by the same method using the same die because the pitch P L of the punch / die pair is usually an integral multiple of the hole pitch P H (not shown) of the intermediate layer.
【0018】端子接続層についても中間層と条件が同じ
である。The conditions for the terminal connection layer are the same as those for the intermediate layer.
【0019】なお、セラミック多層基板の穴径は必ずし
も一種類のみではないが表面層のパターンAおよびパタ
ーンB〜Eの芯部(図3のdi)、パターンB〜Eの外
郭部(図3のdo)および中間層さらに端子接続層とで
せいぜい2〜3種類である。したがって型としては穴径
の種類分だけ用意すればこのような多様なパターンの多
層基板の穴明けを高能率に行うことができる。The hole diameter of the ceramic multilayer substrate is not limited to one type, but the core portions of pattern A and patterns B to E (di in FIG. 3) of the surface layer and the outer peripheral portions of patterns B to E (in FIG. 3). do), the intermediate layer, and the terminal connecting layer are at most 2 to 3 types. Therefore, it is possible to efficiently perform the drilling of the multi-layer substrate having such various patterns by preparing as many molds as the types of hole diameters.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、チ
ップ数に応じて多数の穴抜部(ポンチとダイによる穴加
工部)を型内に納めることが可能であるため、プレスの
1ストロークに対する加工穴数が大となり、プレスの毎
分あたりのストローク数をそれほど高速にすることな
く、多数の穴明けが可能となると共に1チップに対して
1本のポンチとダイ穴を対応させていることにより、ポ
ンチ間,ダイ間のピッチに余裕があり、型製作も容易で
あり、しかも基板の層によって異なる穴パターンに対し
てもグリーンシートのX−Y駆動によって対応させるこ
とが可能となり、加工能率の大幅な向上と設備の簡略化
が得られる効果を奏する。As described above, according to the present invention, it is possible to accommodate a large number of punched parts (holes formed by punches and dies) in a mold according to the number of chips, so that the press The number of holes to be machined per stroke is large, making it possible to make a large number of holes without making the number of strokes per minute of the press so high, and to correspond one punch and die hole to one chip. By doing so, there is a margin in the pitch between punches and between the dies, the die manufacturing is easy, and it is possible to deal with different hole patterns depending on the substrate layers by XY driving of the green sheet. The effect of greatly improving the processing efficiency and simplifying the equipment is achieved.
【図1】本発明で加工する製品の概要図。FIG. 1 is a schematic view of a product processed by the present invention.
【図2】図1に示す各部分の拡大図。FIG. 2 is an enlarged view of each part shown in FIG.
【図3】図1に示す各部分の拡大図。FIG. 3 is an enlarged view of each part shown in FIG.
【図4】本発明の多層基板用グリーンシートの穴抜加工
装置の一実施例を示す概略構成図。[Figure 4] hole抜加Engineering of the green sheet for the multi-layer substrate present invention
Schematic block diagram showing one embodiment of the equipment.
【図5】(a)は図4に示す下型の平面図。(b)は図
5(a)の側面図。5A is a plan view of the lower mold shown in FIG. FIG. 5B is a side view of FIG.
【図6】(a)は図4に示す上型の平面図。(b)は図
6(a)の側面図。FIG. 6A is a plan view of the upper mold shown in FIG. FIG. 6B is a side view of FIG.
【図7】(a)は図4に示すグリーンシートの保持装置
を示す平面図。(b)は図7(a)の側面図である。7A is a plan view showing the green sheet holding device shown in FIG. 4. FIG. FIG. 7B is a side view of FIG.
1〜18.セラミック基板 19.ダイ 21.ポンチ 22.グリーンシート 23.保持具 25.アーム 26.X−Y駆動装置 1-18. Ceramic substrate 19. Die 21. Punch 22. Green sheet 23. Holder 25. Arm 26. XY drive
Claims (1)
パターンを縦横平行関係に配列した多層基板用グリーン
シートの穴抜加工装置において、上記複数の単位パター
ン各々に対応して単位パターン内では全単位パターンを
通じて同位置に位置するように複数のポンチを設けた上
型と、 該上型の各ポンチに対応して複数のダイ穴を設け
た下型と、 上記上型と下型との間に配置され、上記グリ
ーンシートを固定するための保持具と、 該保持具を移動
せしめるX−Y駆動装置であって、上記ポンチと上記ダ
イ穴とによる全単位パターン同時の穴明け加工が、上記
穴抜きパターンが得られるまで行われるように、上記穴
抜きパターンに応じて保持具を移動せしめるX−Y駆動
装置とを備えてなる多層基板用グリーンシートの穴抜加
工装置。1. A hole disconnect processing apparatus of the green sheet for a multilayer board the unit patterns of the multiple arranged in rows and columns parallel relationship that have a same piercing pattern, single position corresponding to the plurality of unit patterns each an upper mold having a punch of multiple as in the pattern located at the same position throughout the unit pattern, and in correspondence with the punch of the upper mold lower die having a plurality of die holes, the upper mold and A holder arranged between the lower die and the green sheet for fixing the green sheet , and moving the holder.
An XY drive device , comprising: the punch and the duck.
B) Drilling at the same time for all unit patterns by using holes
Continue until the hole pattern is obtained,
XY drive that moves the holder according to the removal pattern
An apparatus for punching a green sheet for a multilayer substrate, which comprises a device .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2406535A JPH0710527B2 (en) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | Hole punching machine for green sheets for multilayer boards |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2406535A JPH0710527B2 (en) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | Hole punching machine for green sheets for multilayer boards |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9995880A Division JPS5726499A (en) | 1980-07-23 | 1980-07-23 | Method of drilling green sheet for multilayer board |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05169424A JPH05169424A (en) | 1993-07-09 |
JPH0710527B2 true JPH0710527B2 (en) | 1995-02-08 |
Family
ID=18516157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2406535A Expired - Lifetime JPH0710527B2 (en) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | Hole punching machine for green sheets for multilayer boards |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0710527B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4421410Y1 (en) * | 1968-12-13 | 1969-09-10 | ||
JPS5038062A (en) * | 1973-08-10 | 1975-04-09 | ||
JPS5162483A (en) * | 1974-11-28 | 1976-05-31 | Nissan Motor | Usuita mataha heitanbuo jusuru usuitaseikeibuzaino heitanbuni tasuno anao akeru hoho oyobi sonosochi |
US4835414A (en) * | 1988-03-14 | 1989-05-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Flexible, reconfigurable terminal pin |
-
1990
- 1990-12-26 JP JP2406535A patent/JPH0710527B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05169424A (en) | 1993-07-09 |
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