JPH0691733B2 - 磁気駆動装置 - Google Patents
磁気駆動装置Info
- Publication number
- JPH0691733B2 JPH0691733B2 JP59025583A JP2558384A JPH0691733B2 JP H0691733 B2 JPH0691733 B2 JP H0691733B2 JP 59025583 A JP59025583 A JP 59025583A JP 2558384 A JP2558384 A JP 2558384A JP H0691733 B2 JPH0691733 B2 JP H0691733B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- magnetic
- section
- cross
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
- H02K49/10—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the permanent-magnet type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Description
本発明は、磁力を利用して非接触的な駆動を行なう磁気
駆動装置の改良に関する。
駆動装置の改良に関する。
近時の半導体産業においては、多くの製造工程で真空応
用機器が使われている。真空はそのほか、磁気記録、光
記録、表示素子などに利用され、また真空炉や蒸着にも
真空技術は必要である。 これらの真空応用誤差やその研究開発における、種々の
試験、検査そのほかの操作を実施する機構は、外気と遮
断された真空容器内で、高真空度を損うことのないよう
な条件で動作するものでなければならず、従って非接触
的な駆動装置が必要である。 磁気を利用して非接触的な駆動を行なう装置において、
ある軸に沿う直線的な前進および後退と、その軸を中心
とする回転とを個別に、または同時に行なうことがで
き、かつその駆動のコントロールが精密であることが望
まれる。
用機器が使われている。真空はそのほか、磁気記録、光
記録、表示素子などに利用され、また真空炉や蒸着にも
真空技術は必要である。 これらの真空応用誤差やその研究開発における、種々の
試験、検査そのほかの操作を実施する機構は、外気と遮
断された真空容器内で、高真空度を損うことのないよう
な条件で動作するものでなければならず、従って非接触
的な駆動装置が必要である。 磁気を利用して非接触的な駆動を行なう装置において、
ある軸に沿う直線的な前進および後退と、その軸を中心
とする回転とを個別に、または同時に行なうことがで
き、かつその駆動のコントロールが精密であることが望
まれる。
本発明の目的は、このように要望にこたえて、ある軸を
中心とする回転運動と軸に沿う前進後退運動とを別個に
または独立に、精度よく行なえるようにした磁気駆動装
置を提供することにある。
中心とする回転運動と軸に沿う前進後退運動とを別個に
または独立に、精度よく行なえるようにした磁気駆動装
置を提供することにある。
本発明の磁気駆動装置の第一の態様は、非磁性材料の円
筒の内部に強磁性体芯を運動可能に内包するとともに円
筒の外部に磁気構体を置き、この外部磁気構体を円筒表
面に沿って円筒の軸を中心とする回転運動および円筒の
軸に平行な直進運動をさせることにより強磁性体芯を運
動させるように構成した磁気駆動装置において、強磁性
体芯を、モータのロータ鉄心の形状をもつ部品を２個以
上、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性材料で磁
気的に接続して構成し、外部磁気構体がこれに対応する
モータのステータ鉄心の形状をもつ部品を上記ロータ鉄
心形状の部品と同じ個数用意し、それぞれの間にリング
状の磁石を配置して一体化して構成し、円筒の半径方向
断面および軸方向断面に関して２以上に分割され円筒を
隔てて互いに対応する位置にある磁極の組を形成し、そ
れによって、半径方向断面においても軸方向断面におい
ても隣接する複数のループ状磁気回路を発生させ、回転
力および推力の精密なコントロールを行なえるようにし
たことを特徴とする。 本発明の第二の態様は、非磁性材料の円筒の内部に強磁
性体芯を運動可能に内包するとともに円筒の外部に磁気
構体を置き、この外部磁気構体を円筒表面に沿って円筒
の軸を中心とする回転運動および円筒の軸に平行な直進
運動をさせることにより強磁性体芯を運動させるように
構成した磁気駆動装置において、強磁性体芯の一部分
を、円板の形状をもつ部品の２個以上、それぞれの間を
軸の周囲においては強磁性材料で磁気的に接続して構成
し、外部磁気構体の一部分を、これに対応する円環形状
をもつ部品を上記円板形状の部品と同じ個数用意し、そ
れぞれの間にリング状の磁石を配置して一体化して構成
し、円筒の軸方向断面に関して分割され円筒を隔てて互
いに対応する位置にある磁極の組を形成し、それによっ
て軸方向断面において無数のループ状磁気回路を発生さ
せるとともに、強磁性体芯の残りの部分を、モーターの
ロータ鉄心の断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構
成し、前記の一部分との間にスペーサを介して置き、外
部磁気構体の残りの部分をこれに対応するモータのステ
ータ鉄心の断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構成
し、前記の一部分との間にスペーサを介して置き、円筒
の半径方向断面に関して２以上に分割され円筒を隔てて
互いに対応する位置にある磁極の組を形成し、それによ
って半径方向断面において無数のループ状磁気回路を発
生させ、回転力および推力の精密なコントロールを行な
えるようにしたことを特徴とする。 強磁性体芯の材料は、常用されている鉄またはその合金
とくに電磁軟鋼を使用すればよく、スペーサは、ステン
レス鋼、真鍮などの非磁性金属または合金でつくればよ
い。磁石および磁極の材料も任意であって、アルニコ、
希土類合金そのほかの強磁性合金、あるいは各種のフェ
ライトから選択することができる。
筒の内部に強磁性体芯を運動可能に内包するとともに円
筒の外部に磁気構体を置き、この外部磁気構体を円筒表
面に沿って円筒の軸を中心とする回転運動および円筒の
軸に平行な直進運動をさせることにより強磁性体芯を運
動させるように構成した磁気駆動装置において、強磁性
体芯を、モータのロータ鉄心の形状をもつ部品を２個以
上、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性材料で磁
気的に接続して構成し、外部磁気構体がこれに対応する
モータのステータ鉄心の形状をもつ部品を上記ロータ鉄
心形状の部品と同じ個数用意し、それぞれの間にリング
状の磁石を配置して一体化して構成し、円筒の半径方向
断面および軸方向断面に関して２以上に分割され円筒を
隔てて互いに対応する位置にある磁極の組を形成し、そ
れによって、半径方向断面においても軸方向断面におい
ても隣接する複数のループ状磁気回路を発生させ、回転
力および推力の精密なコントロールを行なえるようにし
たことを特徴とする。 本発明の第二の態様は、非磁性材料の円筒の内部に強磁
性体芯を運動可能に内包するとともに円筒の外部に磁気
構体を置き、この外部磁気構体を円筒表面に沿って円筒
の軸を中心とする回転運動および円筒の軸に平行な直進
運動をさせることにより強磁性体芯を運動させるように
構成した磁気駆動装置において、強磁性体芯の一部分
を、円板の形状をもつ部品の２個以上、それぞれの間を
軸の周囲においては強磁性材料で磁気的に接続して構成
し、外部磁気構体の一部分を、これに対応する円環形状
をもつ部品を上記円板形状の部品と同じ個数用意し、そ
れぞれの間にリング状の磁石を配置して一体化して構成
し、円筒の軸方向断面に関して分割され円筒を隔てて互
いに対応する位置にある磁極の組を形成し、それによっ
て軸方向断面において無数のループ状磁気回路を発生さ
せるとともに、強磁性体芯の残りの部分を、モーターの
ロータ鉄心の断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構
成し、前記の一部分との間にスペーサを介して置き、外
部磁気構体の残りの部分をこれに対応するモータのステ
ータ鉄心の断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構成
し、前記の一部分との間にスペーサを介して置き、円筒
の半径方向断面に関して２以上に分割され円筒を隔てて
互いに対応する位置にある磁極の組を形成し、それによ
って半径方向断面において無数のループ状磁気回路を発
生させ、回転力および推力の精密なコントロールを行な
えるようにしたことを特徴とする。 強磁性体芯の材料は、常用されている鉄またはその合金
とくに電磁軟鋼を使用すればよく、スペーサは、ステン
レス鋼、真鍮などの非磁性金属または合金でつくればよ
い。磁石および磁極の材料も任意であって、アルニコ、
希土類合金そのほかの強磁性合金、あるいは各種のフェ
ライトから選択することができる。
上記した第一の態様を図面を参照して説明すれば、第１
図ないし第３図に示すように、非磁性材料で製作した円
筒１をへだてて、外部に磁気構体３があり、内部に強磁
性体芯２があって、その中心には操作レバー４が固定さ
れている。 強磁性体芯２は、適宜の極数（図では６極）のモータの
ロータ鉄心の形状をもつ部分21を２個以上（図では７
個）、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性体で磁
気的に接続してなる。これはもちろん、一体の材料から
機械加工により製作すればよい。 一方、外部磁気構体３は、上記の強磁性体芯２に対応す
る極数のステータ鉄心形状をもつ磁極31を上記部分21と
同じ個数用意し、それぞれの間にリング状の磁石33を配
置して一体化してなる。これらの磁石の着磁の方向は、
第３図Ａに例示したパターンに従えばよい。７は、外部
磁気構体を一体に形成するためのケースである。 上記の構成をもつ装置の動作について説明すれば、外部
磁気構体３により強磁性体芯２との間に第４図Ａおよび
Ｂに示すような磁束が形成され、それらは軸方向断面に
おいて、互いに隣接した多数のループ状磁気回路とな
る。このような磁気回路の形成により磁気駆動力が強化
され、円筒を隔てて内外から対向する磁極の間に軸方向
にせよ半径方向にせよわずかなズレが生じたときには、
ズレをなくす強い力がはたらく。 このようにして、外部磁気構体３を軸方向に運動させる
ときには円筒内部で強磁性体芯２の軸方向に分割されて
配置された極がそれに追従して運動し、前進後退が意の
ままであり、一方、外部磁気構体を回転させるときは、
強磁性体芯の円周方向に分割された極がそれに追従して
運動し、どの方向の回転も意のままになる。前進後退と
正逆回転を同時に行なうことも、もちろん任意である。 前記した本発明の第二の態様は、第５図ないし第８図に
示すように、強磁性体芯５は、円周方向に分割されてい
ない円板の形状をもつ部分51を２個以上（図では４
個）、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性材料で
磁気的に接続してなる推力発生部分5A、および軸方向に
伸びるモータのロータ鉄心の形状を有する強磁性体55で
ある、回転力発生部分5Bからなる。非磁性材料の円筒を
へだててこれを駆動する外部磁気構体６は、強磁性体芯
５の形状に適合して、上記円板形状に対応する円環形状
の磁極61を円板と同じ個数用意し、それぞれの間にリン
グ状の磁石63を配置して一体化してなる推力発生部分6
A、および上記ロータ鉄心形状に対応する数の軸方向に
伸びる磁極65を用意して、それぞれの間に円筒を分割し
た形状の磁石66を配置して一体化した、回転力発生部分
6Bからなる。 強磁性体芯５も外部磁気構体６も、推力発生部分5Aおよ
び6Aと、回転力発生部分5Bおよび6Bとの間に、非磁性材
料のスペーサ5Cおよび6Cをおいて適宜の間隔を与え、相
互の干渉を防ぐ。 この装置と前記した態様との差異は、回転力だけを担う
部分と推力だけを担う部分とを別々に設けたことにあ
る。これによって、前進後退および回転の２種の運動
が、いずれもより精密にコントロールできる。 その理由は、まず推力についてみると、円板形状の強磁
性体51と円環形状の磁極61とが、全円周にわたって近接
して対応しているため、高い密度の磁束を円周方向に関
しては平均に集束することができ、大きな駆動力と短い
応答時間とが保障される。しかもこの磁束は回転による
影響を全く受けないから、回転を伴う運動においても、
上記の効果は確保される。 回転に関しては、第８図に示す磁束を第４図Ｂと比較す
ればわかるように、いっそう有利である。 ロータ鉄心形状の強磁性体51とその極に対応する軸方向
に長い磁極61とが、軸方向において分割されることなく
長い距離で近接して対応しているため、ここでも高い密
度の磁束を軸方向に関して平均に集束することができ、
やはり大きな駆動力と短い応答時間とが保障される。回
転を駆動する磁束が前進後退による影響を全く受けない
ことも、推力を与える磁束が回転により影響されないこ
とと同様である。 本発明の装置の駆動力は、当然に、利用できる磁束の大
小や、強磁性体芯と外部磁気構体との距離などの因子に
よって決定される。従って、上記第一および第二のいず
れの態様においても、所望の推力および回転力が得られ
るよう、とくに推力と回転力とで要求される駆動力の大
きさが異なる場合はそれに応じて、強磁性体芯と外部磁
気構体の形状および大きさをえらんで設計すべきことに
なる。 この設計および製作に関しても、推力と回転力とを別個
に与える第二の態様は有利であって、単純に推力発生部
分および回転力発生部分のそれぞれの軸方向の長さを調
節するだけで、所望の推力と回転力の組み合わせが容易
に実現する。
図ないし第３図に示すように、非磁性材料で製作した円
筒１をへだてて、外部に磁気構体３があり、内部に強磁
性体芯２があって、その中心には操作レバー４が固定さ
れている。 強磁性体芯２は、適宜の極数（図では６極）のモータの
ロータ鉄心の形状をもつ部分21を２個以上（図では７
個）、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性体で磁
気的に接続してなる。これはもちろん、一体の材料から
機械加工により製作すればよい。 一方、外部磁気構体３は、上記の強磁性体芯２に対応す
る極数のステータ鉄心形状をもつ磁極31を上記部分21と
同じ個数用意し、それぞれの間にリング状の磁石33を配
置して一体化してなる。これらの磁石の着磁の方向は、
第３図Ａに例示したパターンに従えばよい。７は、外部
磁気構体を一体に形成するためのケースである。 上記の構成をもつ装置の動作について説明すれば、外部
磁気構体３により強磁性体芯２との間に第４図Ａおよび
Ｂに示すような磁束が形成され、それらは軸方向断面に
おいて、互いに隣接した多数のループ状磁気回路とな
る。このような磁気回路の形成により磁気駆動力が強化
され、円筒を隔てて内外から対向する磁極の間に軸方向
にせよ半径方向にせよわずかなズレが生じたときには、
ズレをなくす強い力がはたらく。 このようにして、外部磁気構体３を軸方向に運動させる
ときには円筒内部で強磁性体芯２の軸方向に分割されて
配置された極がそれに追従して運動し、前進後退が意の
ままであり、一方、外部磁気構体を回転させるときは、
強磁性体芯の円周方向に分割された極がそれに追従して
運動し、どの方向の回転も意のままになる。前進後退と
正逆回転を同時に行なうことも、もちろん任意である。 前記した本発明の第二の態様は、第５図ないし第８図に
示すように、強磁性体芯５は、円周方向に分割されてい
ない円板の形状をもつ部分51を２個以上（図では４
個）、それぞれの間を軸の周囲においては強磁性材料で
磁気的に接続してなる推力発生部分5A、および軸方向に
伸びるモータのロータ鉄心の形状を有する強磁性体55で
ある、回転力発生部分5Bからなる。非磁性材料の円筒を
へだててこれを駆動する外部磁気構体６は、強磁性体芯
５の形状に適合して、上記円板形状に対応する円環形状
の磁極61を円板と同じ個数用意し、それぞれの間にリン
グ状の磁石63を配置して一体化してなる推力発生部分6
A、および上記ロータ鉄心形状に対応する数の軸方向に
伸びる磁極65を用意して、それぞれの間に円筒を分割し
た形状の磁石66を配置して一体化した、回転力発生部分
6Bからなる。 強磁性体芯５も外部磁気構体６も、推力発生部分5Aおよ
び6Aと、回転力発生部分5Bおよび6Bとの間に、非磁性材
料のスペーサ5Cおよび6Cをおいて適宜の間隔を与え、相
互の干渉を防ぐ。 この装置と前記した態様との差異は、回転力だけを担う
部分と推力だけを担う部分とを別々に設けたことにあ
る。これによって、前進後退および回転の２種の運動
が、いずれもより精密にコントロールできる。 その理由は、まず推力についてみると、円板形状の強磁
性体51と円環形状の磁極61とが、全円周にわたって近接
して対応しているため、高い密度の磁束を円周方向に関
しては平均に集束することができ、大きな駆動力と短い
応答時間とが保障される。しかもこの磁束は回転による
影響を全く受けないから、回転を伴う運動においても、
上記の効果は確保される。 回転に関しては、第８図に示す磁束を第４図Ｂと比較す
ればわかるように、いっそう有利である。 ロータ鉄心形状の強磁性体51とその極に対応する軸方向
に長い磁極61とが、軸方向において分割されることなく
長い距離で近接して対応しているため、ここでも高い密
度の磁束を軸方向に関して平均に集束することができ、
やはり大きな駆動力と短い応答時間とが保障される。回
転を駆動する磁束が前進後退による影響を全く受けない
ことも、推力を与える磁束が回転により影響されないこ
とと同様である。 本発明の装置の駆動力は、当然に、利用できる磁束の大
小や、強磁性体芯と外部磁気構体との距離などの因子に
よって決定される。従って、上記第一および第二のいず
れの態様においても、所望の推力および回転力が得られ
るよう、とくに推力と回転力とで要求される駆動力の大
きさが異なる場合はそれに応じて、強磁性体芯と外部磁
気構体の形状および大きさをえらんで設計すべきことに
なる。 この設計および製作に関しても、推力と回転力とを別個
に与える第二の態様は有利であって、単純に推力発生部
分および回転力発生部分のそれぞれの軸方向の長さを調
節するだけで、所望の推力と回転力の組み合わせが容易
に実現する。
本発明の磁気駆動装置は、上述の作用機構により、軸を
中心とする回転力および軸方向の推力の両方において強
い駆動力が得られ、かつ回転および前進後退のコントロ
ールを短い追従時間で精密に行なうことができる。第二
の態様においては、回転も前進後退も、駆動を相互の影
響なく行なうことができる。 以上の説明は真空機器内で用いる非接触的駆動機構に焦
点を当ててきたが、本発明はこれに限定されるわけでな
く、たとえば放射性の液体や有害な液体の流路に使用す
るバルブその他の、漏洩を極度にきらう機器の駆動機構
としても使用できるなど、適用場面は広い。
中心とする回転力および軸方向の推力の両方において強
い駆動力が得られ、かつ回転および前進後退のコントロ
ールを短い追従時間で精密に行なうことができる。第二
の態様においては、回転も前進後退も、駆動を相互の影
響なく行なうことができる。 以上の説明は真空機器内で用いる非接触的駆動機構に焦
点を当ててきたが、本発明はこれに限定されるわけでな
く、たとえば放射性の液体や有害な液体の流路に使用す
るバルブその他の、漏洩を極度にきらう機器の駆動機構
としても使用できるなど、適用場面は広い。
第１図ないし第４図は本発明の装置の第一の例を示すも
のであって、第１図は第２図のＩ−Ｉ位置における横断
面図であり、第２図は第１図のII−II位置における縦断
面図であり、第３図ＡおよびＢは装置の主要部の展開斜
視図であり、第４図ＡおよびＢは、装置の動作原理を説
明する拡大断面図である。 第５図ないし第８図は本発明の装置の第二の例を示すも
のであって、第５図Ａは第６図のVA−VA位置における横
断面図であり、第５図Ｂは同じくVB−VB位置における横
断面図であり、第６図は第５図ＡおよびＢのVI−VI位置
における縦断面図であり、第７図ＡおよびＢは装置の主
要部の展開斜視図であり、第８図は、装置の動作原理を
説明する、第４図Ｂに対応する拡大断面図である。 １……非磁性材料の円筒 ２……強磁性体芯 21……強磁性体 ３……外部磁気構体 31……磁極、33……磁石 ４……操作レバー ５……強磁性体芯 5A……推力発生部分、5B……回転力発生部分 ６……外部磁気構体 6A……推力発生部分、6B……回転力発生部分 5C,6C……スペーサ ７……外部磁気構体ケース
のであって、第１図は第２図のＩ−Ｉ位置における横断
面図であり、第２図は第１図のII−II位置における縦断
面図であり、第３図ＡおよびＢは装置の主要部の展開斜
視図であり、第４図ＡおよびＢは、装置の動作原理を説
明する拡大断面図である。 第５図ないし第８図は本発明の装置の第二の例を示すも
のであって、第５図Ａは第６図のVA−VA位置における横
断面図であり、第５図Ｂは同じくVB−VB位置における横
断面図であり、第６図は第５図ＡおよびＢのVI−VI位置
における縦断面図であり、第７図ＡおよびＢは装置の主
要部の展開斜視図であり、第８図は、装置の動作原理を
説明する、第４図Ｂに対応する拡大断面図である。 １……非磁性材料の円筒 ２……強磁性体芯 21……強磁性体 ３……外部磁気構体 31……磁極、33……磁石 ４……操作レバー ５……強磁性体芯 5A……推力発生部分、5B……回転力発生部分 ６……外部磁気構体 6A……推力発生部分、6B……回転力発生部分 5C,6C……スペーサ ７……外部磁気構体ケース
Claims (4)
- 【請求項１】非磁性材料の円筒の内部に強磁性体芯を運
動可能に内包するとともに円筒の外部に磁気構体を置
き、この外部磁気構体を円筒表面に沿って円筒の軸を中
心とする回転運動および円筒の軸に平行な直進運動をさ
せることにより強磁性体芯を運動させるように構成した
磁気駆動装置において、強磁性体芯を、モータのロータ
鉄心の形状をもつ部品を２個以上、それぞれの間を軸の
周囲においては強磁性材料で磁気的に接続して構成し、
外部磁気構体がこれに対応するモータのステータ鉄心の
形状をもつ部品を上記ロータ鉄心形状の部品と同じ個数
用意し、それぞれの間にリング状の磁石を配置して一体
化して構成し、円筒の半径方向断面および軸方向断面に
関して２以上に分割され円筒を隔てて互いに対応する位
置にある磁極の組を形成し、それによって、軸方向断面
において隣接する複数のループ状磁気回路を発生させ、
回転力および推力の精密なコントロールを行なえるよう
にしたことを特徴とする装置。 - 【請求項２】非磁性材料の円筒の内部を真空にした、特
許請求の範囲第１項の磁気駆動装置。 - 【請求項３】非磁性材料の円筒の内部に強磁性体芯を運
動可能に内包するとともに円筒の外部に磁気構体を置
き、この外部磁気構体を円筒表面に沿って円筒の軸を中
心とする回転運動および円筒の軸に平行な直進運動をさ
せることにより強磁性体芯を運動させるように構成した
磁気駆動装置において、強磁性体芯の一部分を、円板の
形状をもつ部品の２個以上、それぞれの間を軸の周囲に
おいては強磁性材料で磁気的に接続して構成し、外部磁
気構体の一部分を、これに対応する円環形状をもつ部品
を上記円板形状の部品と同じ個数用意し、それぞれの間
にリング状の磁石を配置して一体化して構成し、円筒の
軸方向断面に関して分割され円筒を隔てて互いに対応す
る位置にある磁極の組を形成し、それによって軸方向断
面において無数のループ状磁気回路を発生させるととも
に、強磁性体芯の残りの部分を、モーターのロータ鉄心
の断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構成し、前記
の一部分との間にスペーサを介して置き、外部磁気構体
の残りの部分をこれに対応するモータのステータ鉄心の
断面をもち軸方向に伸びる形状の部品で構成し、前記の
一部分とスペーサを介して置き、円筒の半径方向断面に
関して２以上に分割され円筒を隔てて互いに対応する位
置にある磁極の組を形成し、それによって半径方向断面
において無数のループ状磁気回路を発生させ、回転力お
よび推力の精密なコントロールを行なえるようにしたこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項４】非磁性材料の円筒の内部を真空にした、特
許請求の範囲第３項の磁気駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59025583A JPH0691733B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 磁気駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59025583A JPH0691733B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 磁気駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60170476A JPS60170476A (ja) | 1985-09-03 |
| JPH0691733B2 true JPH0691733B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=12169935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59025583A Expired - Lifetime JPH0691733B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 磁気駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691733B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1845259B1 (en) * | 2006-04-12 | 2011-03-16 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Magnetic drive pump |
| JP5281464B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-09-04 | 株式会社プロスパイン | クラッチ装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5631555A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-30 | Anelva Corp | Equipment for introducing straight and rotational movement |
-
1984
- 1984-02-14 JP JP59025583A patent/JPH0691733B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60170476A (ja) | 1985-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |