[go: up one dir, main page]

JPH0689075A - Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor - Google Patents

Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor

Info

Publication number
JPH0689075A
JPH0689075A JP4240317A JP24031792A JPH0689075A JP H0689075 A JPH0689075 A JP H0689075A JP 4240317 A JP4240317 A JP 4240317A JP 24031792 A JP24031792 A JP 24031792A JP H0689075 A JPH0689075 A JP H0689075A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultraviolet light
ultraviolet
display device
screen
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4240317A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Okajima
道生 岡嶋
Takao Toda
隆夫 任田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4240317A priority Critical patent/JPH0689075A/en
Priority to EP19930114426 priority patent/EP0587145A3/en
Publication of JPH0689075A publication Critical patent/JPH0689075A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Illuminated Signs And Luminous Advertising (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表示品位の高い、高輝度、低消費電力の大画
面ディスプレイを実現する。 【構成】 蛍光面に光共振器を設けた紫外レーザー面光
源の陰極線管51〜53から放射される紫外励起光の光束に
より、蛍光スクリーン2上に配設されたR、G、B可視
発光蛍光体ドットを励起する。また、その光路に複数の
紫外光透過部を設けた光遮蔽板50を配設する。
(57) [Abstract] [Purpose] To realize a large-screen display with high display quality, high brightness, and low power consumption. [Structure] R, G, B visible light emission fluorescent light disposed on a fluorescent screen 2 by a luminous flux of ultraviolet excitation light emitted from cathode ray tubes 51 to 53 of an ultraviolet laser surface light source having an optical resonator on a fluorescent surface. Exciting body dots. Further, a light shielding plate 50 having a plurality of ultraviolet light transmitting portions provided on its optical path is arranged.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は表示装置に関するもの
で、特に投射型画像表示装置等のディスプレイ分野への
応用が関連深い。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device, and is particularly relevant to application to a display field such as a projection type image display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、表示品位の高いディスプレイとし
て最も多く用いられているものはCRTである。しか
し、大画面、とりわけ40インチ程度以上の大きさのC
RTは、奥行きが深く、重量が重く、また高輝度が得ら
れにくい課題があった。しかも、CRT作製時の歩留ま
りが低い等の原因により、中小サイズのCRTに比べ
て、コストが飛躍的に高い課題もあった。
2. Description of the Related Art Currently, the CRT is most often used as a display with high display quality. However, a large screen, especially a C with a size of 40 inches or more
The RT has problems that it is deep and heavy, and it is difficult to obtain high brightness. In addition, there is also a problem that the cost is dramatically higher than that of a small-to-medium-sized CRT because of a low yield in manufacturing a CRT.

【0003】近年、これらの課題を解決すべく、CRT
に替わる高品位大画面ディスプレイとして種々の方式が
提案され、例えばプラズマディスプレイ、ELディスプ
レイ、液晶ディスプレイ、カラーフラットパネル(エス
・アイ・ディー85年ダイジェスト第185〜第186
頁(SID '85 Digest 185p-186p, Apr.1985)等で発表)等
のフラットパネルディスプレイ、例えばCRT投射型デ
ィスプレイ、液晶投射型ディスプレイ等の投射型ディス
プレイが研究されている。
In recent years, in order to solve these problems, CRTs have been proposed.
Various methods have been proposed as high-definition large-screen displays, which are used in place of, for example, plasma displays, EL displays, liquid crystal displays, and color flat panels (S.I.D. 1985 digest No. 185-186).
Page (announced in SID '85 Digest 185p-186p, Apr.1985) and the like, flat panel displays such as CRT projection type displays and liquid crystal projection type displays are being studied.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のフラッ
トパネルディスプレイおよび投射型ディスプレイの大画
面ディスプレイの方式には、各々下記のような課題があ
った。
However, the conventional large-screen display systems of the flat panel display and the projection type display have the following problems, respectively.

【0005】(1)フラットパネルディスプレイの課題 ○プラズマディスプレイは、効率が低く消費電力が大き
い ○ELディスプレイは、高輝度フルカラー化に必要な特
に赤色、青色の高効率蛍光体がまだ得られていない ○液晶ディスプレイは、大面積化に伴って、配線抵抗や
寄生容量等による信号遅延の問題や、複雑なプロセスや
歩留まり低下等によるコストが高い ○カラーフラットパネルは、複雑な構造に起因した表示
品位の低下や経時劣化、重量増、コスト増等 の課題がある。即ち、低コスト、低消費電力で、高輝度
大画面フラットパネルディスプレイを実現することは今
のところ極めて難しいという課題があった。
(1) Problems of flat panel display ○ Plasma display has low efficiency and large power consumption ○ EL display has not yet obtained high-efficiency phosphors, especially red and blue, which are necessary for high brightness full colorization. ○ Liquid crystal displays are high in cost due to problems such as signal delay due to wiring resistance and parasitic capacitance due to the increase in area, and complicated processes and reduced yields. ○ Color flat panels display quality due to their complicated structure. There are problems such as deterioration of temperature, deterioration over time, weight increase, and cost increase. That is, it is extremely difficult to realize a high-brightness large-screen flat panel display with low cost and low power consumption.

【0006】(2)投射型ディスプレイの課題 ○CRT投射型ディスプレイは、レンズ系の集光効率が
低いため高輝度が得られにくい ○液晶投射型ディスプレイは、液晶パネルの開口率や偏
光板透過率あるいはレンズ系集光率が低いため、高輝度
を得るには高出力のバックライトを用いる必要があり、
偏光板や液晶の耐光性や消費電力が高い という課題がある。
(2) Problems of projection type display ○ CRT projection type display is difficult to obtain high brightness because of low light condensing efficiency of lens system. ○ Liquid crystal projection type display has aperture ratio and polarizing plate transmittance of liquid crystal panel. Or because the lens system has a low light collection rate, it is necessary to use a high-output backlight to obtain high brightness.
There is a problem that the light resistance and power consumption of the polarizing plate and liquid crystal are high.

【0007】また、これらの投射型ディスプレイは、C
RTやフラットパネルディスプレイと比較して、大画面
化は比較的容易なものの、それらと異なりスクリーン自
体が発光するいわゆる直視型ではなく、光源からの光を
スクリーンの前面から、あるいはその背面から投射して
その像を観る装置である。従って、直視型のディスプレ
イと比べてコントラスト等表示品位が劣る。また、スク
リーンにレンチキュラーレンズを設けて、真正面方向の
輝度を向上させている。このことが逆に斜めから観る場
合の輝度を落とすことになり、視野角を狭くしている。
Further, these projection-type displays have C
Although it is relatively easy to increase the screen size compared to RTs and flat panel displays, unlike them it is not a so-called direct-view type in which the screen itself emits light, and the light from the light source is projected from the front of the screen or from the back. It is a device to watch the image. Therefore, the display quality such as contrast is inferior to that of the direct-view display. In addition, a lenticular lens is provided on the screen to improve the brightness in the front direction. This, on the other hand, reduces the brightness when viewing from an angle and narrows the viewing angle.

【0008】本発明は、軽量、コンパクトで低コスト、
低消費電力であって、なおかつ表示品位の高い大画面デ
ィスプレイが実現できる表示装置と、この表示装置に用
いる蛍光スクリーンの製造方法を提供することを目的と
する。
The present invention is lightweight, compact and low cost,
An object of the present invention is to provide a display device which can realize a large-screen display with low power consumption and high display quality, and a method for manufacturing a fluorescent screen used in this display device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、紫外光を面状
で発する紫外線源、この紫外線源から発する紫外光の通
過方向に配置した投射レンズ、この投射レンズを通過し
た紫外光が照射し可視光を発する可視発光蛍光体を含む
蛍光体層を備えた蛍光スクリーンを具備した表示装置で
上記課題を解決した。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is directed to an ultraviolet light source that emits ultraviolet light in a plane, a projection lens arranged in the passage direction of the ultraviolet light emitted from this ultraviolet light source, and an ultraviolet light that has passed through this projection lens is irradiated. The above problem is solved by a display device including a phosphor screen having a phosphor layer containing a visible light emitting phosphor that emits visible light.

【0010】また、本発明の好ましい表示装置の形態
は、紫外光を面状で発する紫外線源、この紫外線源から
発する紫外光の通過方向に配置した投射レンズ、この投
射レンズを通過した紫外光が照射し可視光を発する可視
発光蛍光体を含む蛍光体層をスクリーンに具備した蛍光
スクリーン、及びこの投射レンズとこの蛍光スクリーン
との間に投射レンズを通過した紫外光が通過する部分を
有した光遮蔽板を具備した表示装置であり、この本発明
の好ましい表示装置の蛍光スクリーンの製造方法として
は、投射レンズを介した紫外線源から発した紫外線が、
蛍光スクリーン上に照射する照射領域に対応する位置に
パタ−ン露光光源を設置し、光遮蔽板をマスクとし、可
視発光蛍光体を含むネガレジストを塗布したスクリーン
に照射露光する露光工程、しかる後ネガレジストを現像
し、スクリーンに可視発光蛍光体のパタ−ンを作成する
工程を含む蛍光スクリーンの製造方法である。
Further, a preferred embodiment of the display device of the present invention is that an ultraviolet light source that emits ultraviolet light in a planar shape, a projection lens arranged in the passing direction of the ultraviolet light emitted from this ultraviolet light source, and an ultraviolet light that has passed through this projection lens are A fluorescent screen provided with a phosphor layer containing a visible light-emitting phosphor that emits visible light upon irradiation, and light having a portion through which the ultraviolet light passing through the projection lens passes between the projection lens and the fluorescent screen. A display device having a shielding plate, as a method of manufacturing a fluorescent screen of the preferred display device of the present invention, the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet source through the projection lens,
A pattern exposure light source is installed at a position corresponding to the irradiation area on the fluorescent screen, and the light shielding plate is used as a mask, and the screen is coated with a negative resist containing a visible light emitting phosphor. It is a method for manufacturing a fluorescent screen, which includes a step of developing a negative resist and forming a pattern of a visible light emitting phosphor on the screen.

【0011】[0011]

【作用】本発明の表示装置は、面状の紫外線源、投影レ
ンズ、および蛍光スクリーンを主な構成要素とする。紫
外線源から発した紫外光は投影レンズにより拡大され、
蛍光スクリーンの可視発光蛍光体を励起し可視光が発す
る。
The display device of the present invention mainly comprises a planar ultraviolet light source, a projection lens, and a fluorescent screen. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet source is magnified by the projection lens,
Visible light is emitted by exciting the visible light-emitting phosphor of the fluorescent screen.

【0012】本発明の表示装置は、蛍光スクリーンに含
まれる可視発光蛍光体が、面状の紫外線源から投影レン
ズを介して発光してくる紫外線で励起され、所望の可視
光を発光してスクリーン上に表示する直視型である。
In the display device of the present invention, the visible light-emitting phosphor contained in the fluorescent screen is excited by the ultraviolet light emitted from the planar ultraviolet light source through the projection lens, and emits the desired visible light to produce the screen. It is a direct view type displayed on the top.

【0013】即ち、本発明の表示装置は、面状の紫外線
源から発する紫外光を投影レンズでそのまま直接拡大
し、蛍光スクリーンに含まれる可視発光蛍光体によって
紫外光から可視光へ直接変換する。本発明で言う面状の
紫外線源とは、紫外発光蛍光体を走査する領域が面状で
ある紫外発光陰極線管、または、紫外発光領域が各画素
を面状に配置することによって構成されている電界発光
素子の何れかのことである。
That is, in the display device of the present invention, the ultraviolet light emitted from the planar ultraviolet source is directly magnified by the projection lens and is directly converted from the ultraviolet light into the visible light by the visible light emitting phosphor contained in the fluorescent screen. The planar ultraviolet light source referred to in the present invention is an ultraviolet light emitting cathode ray tube in which the area for scanning the ultraviolet light emitting phosphor is planar, or the ultraviolet light emitting area is configured by arranging each pixel in a planar shape. It is any one of electroluminescent devices.

【0014】また、本発明の表示装置の投影レンズと蛍
光スクリーンとの間に、紫外光を透過する部分を有した
光遮蔽板を設けると、紫外線源から発光し投影レンズを
介した紫外光を、蛍光スクリーンに含まれる可視発光蛍
光体に励起光として制御良く照射できる。即ち、紫外線
源から放射された紫外光は、投射レンズにより平行光束
化後拡大される。紫外光の光束は蛍光スクリーン面から
所定の距離をおいて配設された光遮蔽板に設けられた紫
外光透過部を透過して、その透過光だけが所定の位置に
対応した可視発光蛍光体を照射し蛍光を発する。光遮蔽
板の紫外光透過部は、投射レンズと紫外光透過部とを透
過した紫外線源からの紫外光の光束が、所定の可視発光
蛍光体にのみ照射されるような相対位置に設置されてい
るので、紫外線源からの特定の光束は、必ずその光束に
対応した特定の可視発光蛍光体を励起する。
If a light shielding plate having a portion that transmits ultraviolet light is provided between the projection lens and the fluorescent screen of the display device of the present invention, the ultraviolet light is emitted from the ultraviolet source and the ultraviolet light is transmitted through the projection lens. It is possible to irradiate the visible light-emitting phosphor contained in the fluorescent screen as excitation light with good control. That is, the ultraviolet light emitted from the ultraviolet source is expanded by the projection lens after being converted into a parallel light flux. A luminous flux of ultraviolet light passes through an ultraviolet light transmitting portion provided on a light shielding plate disposed at a predetermined distance from the fluorescent screen surface, and only the transmitted light is a visible light emitting phosphor corresponding to a predetermined position. And emits fluorescence. The ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate is installed at a relative position such that the light flux of the ultraviolet light from the ultraviolet light source that has passed through the projection lens and the ultraviolet light transmitting portion is irradiated only on a predetermined visible light emitting phosphor. Therefore, the specific luminous flux from the ultraviolet source always excites the specific visible light-emitting phosphor corresponding to the luminous flux.

【0015】[0015]

【実施例】本発明の表示装置の紫外線源は、電子線励起
で紫外光を発する紫外発光蛍光体を具備した陰極線管、
または、電界発光で紫外線を発する紫外蛍光体を含む電
界発光素子の何れでも適応できる。
The ultraviolet source of the display device of the present invention is a cathode ray tube equipped with an ultraviolet light emitting phosphor that emits ultraviolet light when excited by an electron beam,
Alternatively, any electroluminescent device including an ultraviolet fluorescent substance that emits ultraviolet rays by electroluminescence can be applied.

【0016】本発明の表示装置の構成は、面状の紫外線
源から発した紫外光を蛍光スクリーンに直接拡大し直接
発光像を表示する、すなわち紫外線による画像情報を可
視像に顕像化するいわば間接直視型である。このため、
本発明の表示装置は、直視型表示でありながら従来のC
RTに比べると勿論のこと、従来の投射型同等以上に、
軽量でコンパクトにすることができる。また、フラット
パネルディスプレイに比べると、低コストの大画面表示
装置を提供できる。
According to the constitution of the display device of the present invention, the ultraviolet light emitted from the planar ultraviolet light source is directly expanded on the fluorescent screen to directly display the light emission image, that is, the image information by the ultraviolet light is visualized as a visible image. It is, so to speak, an indirect direct view type. For this reason,
The display device of the present invention is a conventional C
Compared to RT, of course, more than the conventional projection type,
It can be lightweight and compact. Further, it is possible to provide a large-screen display device that is lower in cost than a flat panel display.

【0017】本発明の紫外線源が陰極線管の場合の作用
を説明する。陰極線管を動作させると電子銃から放出さ
れた電子ビームが紫外発光蛍光体を励起し、紫外光をフ
ェースプレートの外側に放つ。このようにして発生した
紫外線を可視発光蛍光体の励起光として、陰極線管の前
面に配置した投射レンズにより平行光束化後拡大し、前
面に配置した可視発光蛍光体を具備した蛍光スクリーン
に照射される。蛍光スクリーン上には単数あるいは複数
種類の可視発光蛍光体を含む蛍光層が配設されており、
投影レンズを介して所望の可視発光蛍光体を励起し、所
定の色の可視光を発する。従って、前記陰極線管に所定
の画像信号を入力することで、前記蛍光スクリーンにモ
ノクロあるいはフルカラーの画像が表示される。
The operation when the ultraviolet ray source of the present invention is a cathode ray tube will be described. When the cathode ray tube is operated, the electron beam emitted from the electron gun excites the ultraviolet light emitting phosphor and emits ultraviolet light to the outside of the face plate. The ultraviolet light thus generated is used as excitation light for the visible light-emitting phosphor, and after being converted into a parallel light flux by a projection lens arranged in front of the cathode ray tube, it is expanded and irradiated on a fluorescent screen equipped with the visible light-emitting phosphor arranged in front. It On the fluorescent screen, a fluorescent layer containing a single or multiple types of visible light-emitting phosphors is arranged,
A desired visible light-emitting phosphor is excited through a projection lens to emit visible light of a predetermined color. Therefore, a monochrome or full-color image is displayed on the fluorescent screen by inputting a predetermined image signal to the cathode ray tube.

【0018】即ち、本発明は陰極線管からの励起光を拡
大、投射する点で低コストで大画面化が可能となる。且
つまた、励起光によりスクリーン自体が発光する直視型
となるので表示品位が高い。即ち、本発明により、軽
量、コンパクトで低コストの高品位大画面ディスプレイ
を実現できる。
That is, according to the present invention, it is possible to enlarge the screen at low cost in terms of expanding and projecting the excitation light from the cathode ray tube. In addition, the display quality is high because the screen itself is a direct-view type in which excitation light emits light. That is, according to the present invention, a lightweight, compact, low-cost, high-quality large-screen display can be realized.

【0019】特に本発明の紫外線源が陰極線管で、しか
も発光層の上下にそれを挟むように対向して設けられた
反射鏡対より成る光共振器で構成された蛍光面に電子ビ
ームを照射すると、発光層が励起されて紫外光を発す
る。この光が前記反射鏡対間で反射を繰り返し、前記発
光層に紫外光の誘導放出を起こさせる。電子ビームのパ
ワーをある閾値以上にすると、レーザー発振が起こるた
め好ましい。閾値は光共振器、紫外蛍光体材料等によっ
て決定できる。
In particular, the ultraviolet ray source of the present invention is a cathode ray tube, and an electron beam is applied to a fluorescent surface formed of an optical resonator composed of a pair of reflecting mirrors provided above and below a light emitting layer so as to sandwich it. Then, the light emitting layer is excited to emit ultraviolet light. This light is repeatedly reflected between the pair of reflecting mirrors to cause stimulated emission of ultraviolet light in the light emitting layer. It is preferable that the power of the electron beam is equal to or higher than a certain threshold because laser oscillation occurs. The threshold value can be determined by an optical resonator, an ultraviolet phosphor material, or the like.

【0020】レーザー光は半透明な反射鏡を透過し、外
部に放射される。レーザー光は、主にその発光波長と発
光部の面積で決まる狭い出射角で、反射鏡に鉛直な方向
に放射される。レーザー光の出射角が狭いので、光はレ
ンズ系を介して効率よく蛍光スクリーンに照射される。
蛍光スクリーンの可視発光蛍光体が、この紫外レーザー
光により励起され、所定の色の可視域の自然放出光を発
する。即ち、本発明は、軽量、コンパクト、低コスト、
高品位であって、且つ高輝度、低消費電力の大画面ディ
スプレイを実現できる。
The laser light passes through the semitransparent reflecting mirror and is emitted to the outside. Laser light is emitted in a direction perpendicular to the reflecting mirror with a narrow emission angle which is mainly determined by the emission wavelength and the area of the light emitting portion. Since the emission angle of the laser light is narrow, the light is efficiently applied to the fluorescent screen through the lens system.
The visible light-emitting phosphor of the fluorescent screen is excited by this ultraviolet laser light and emits spontaneous emission light of a predetermined color in the visible region. That is, the present invention is lightweight, compact, low cost,
It is possible to realize a high-quality, large-screen display with high brightness and low power consumption.

【0021】本発明の紫外線源が電界発光素子の場合の
作用を説明する。電界発光素子の電極対間に所定の交流
電界を印加すると、紫外発光層内で電界発光の作用によ
り紫外光が発光する。これらの紫外励起光は、透明ある
いは半透明の電極を透過して電界発光素子の外側に放た
れる。このようにして発生した紫外線を可視発光蛍光体
の励起光として、電界発光素子の前面に配置した投射レ
ンズにより平行光束化後拡大され、それらの前面に配置
した蛍光スクリーンに照射される。蛍光スクリーン上に
は単数あるいは複数種類の可視発光蛍光体を含む蛍光層
が配設されており、投影レンズを介して所望の可視発光
蛍光体を励起し、所定の色の可視光を発する。従って、
前記薄膜電界発光素子に所定の画像信号を入力すること
で、前記蛍光スクリーンにモノクロあるいはフルカラー
の画像が表示される。
The operation when the ultraviolet light source of the present invention is an electroluminescent device will be described. When a predetermined AC electric field is applied between the pair of electrodes of the electroluminescent device, ultraviolet light is emitted due to the action of electroluminescence in the ultraviolet light emitting layer. These ultraviolet excitation lights pass through a transparent or semitransparent electrode and are emitted to the outside of the electroluminescent device. The ultraviolet light thus generated is used as excitation light for the visible light-emitting phosphor, is converted into a parallel light flux by a projection lens arranged on the front surface of the electroluminescent element, is expanded, and is irradiated on the fluorescent screen arranged on the front surface. A fluorescent layer containing one or more kinds of visible light emitting phosphors is disposed on the fluorescent screen, and a desired visible light emitting phosphor is excited through a projection lens to emit visible light of a predetermined color. Therefore,
By inputting a predetermined image signal to the thin film electroluminescent device, a monochrome or full-color image is displayed on the fluorescent screen.

【0022】本発明に適用できる紫外発光蛍光体として
は、ダイヤモンド、炭化シリコン、例えばGaN、Al
N、BN等のIII−V族化合物半導体、例えばZnO、Z
nSe、ZnS、CdS等のIIb−VI族化合物半導体、
例えばMgS、CaS、SrS、BaS等のIIa−VI族
化合物半導体、例えばCuAlS2等のカルコパイライ
ト化合物、例えばMnTe、MnSe、MnS等のマン
ガンカルコゲナイド化合物、もしくはこれらを含有する
多元化合物または必要に応じてこれらの材料に発光性の
ドナー性不純物あるいはアクセプター性不純物を添加し
た材料であってもよい。特にドナー性不純物あるいはア
クセプター性不純物を添加すると、発光効率が向上する
ため好ましい。
Ultraviolet light emitting phosphors applicable to the present invention include diamond and silicon carbide, such as GaN and Al.
III-V group compound semiconductors such as N and BN, for example, ZnO and Z
IIb-VI group compound semiconductors such as nSe, ZnS, and CdS,
For example, IIa-VI group compound semiconductors such as MgS, CaS, SrS, and BaS, chalcopyrite compounds such as CuAlS 2 , manganese chalcogenide compounds such as MnTe, MnSe, and MnS, or multicomponent compounds containing these or, if necessary, A material obtained by adding a light-emitting donor impurity or an acceptor impurity to these materials may be used. In particular, it is preferable to add a donor impurity or an acceptor impurity because emission efficiency is improved.

【0023】また、本発明に適応できる紫外発光蛍光体
は、例えばCa3(PO42:Tl+等の燐酸塩蛍光体、
例えばBaSi25:Pb2+、(Ba、Sr、Mg)3
Si27:Pb2+、Ca2MgSi27:Ce3+、Zn2
SiO4:Ti等の珪酸塩蛍光体、例えばSrB4
7F:Eu2+等の蛍光体のいわゆる発光中心イオン含有
蛍光体、酸化イットリウム化合物、酸化タングステン化
合物、酸化アルミニウム化合物、希土類酸化物、IIa−
VII2化合物、IIb−VII2化合物、またはハロゲン化アル
カリ等も挙げられる。
Further, the ultraviolet light emitting phosphor applicable to the present invention is, for example, a phosphate phosphor such as Ca 3 (PO 4 ) 2 : Tl + ,
For example, BaSi 2 O 5 : Pb 2+ , (Ba, Sr, Mg) 3
Si 2 O 7 : Pb 2+ , Ca 2 MgSi 2 O 7 : Ce 3+ , Zn 2
SiO 4: silicate phosphor such as Ti, for example, SrB 4 O
7 F: so-called emission center ion-containing phosphor of phosphor such as Eu 2+ , yttrium oxide compound, tungsten oxide compound, aluminum oxide compound, rare earth oxide, IIa-
VII2 compounds, IIb-VII2 compounds, alkali halides and the like are also included.

【0024】このような紫外発光蛍光体の中でも、発光
中心不純物が不完全f電子殻を有するランタノイドイオ
ンもしくはアクチノイドイオンであると、発光効率が高
くなる、あるいは、レ−ザ発振し易くなるため好まし
い。
Among such ultraviolet light emitting phosphors, it is preferable that the luminescent center impurity is a lanthanoid ion or an actinide ion having an incomplete f-electron shell because the luminous efficiency becomes high or laser oscillation easily occurs. .

【0025】特に、発光中心不純物はガドリニウムイオ
ンが好ましい。即ち、ガドリニウムイオンのエネルギー
準位において、基底準位(87/2)と第1励起準位(6
7/2)の間の電気双極子遷移は、他のランタノイドイ
オンと同様にf−f遷移で元来は禁制であるが、結晶母
体中では結晶場の影響を受けて許容となる。また87/2
67/2の間のエネルギーギャップは紫外域の波長に相
当する。しかも母体材料は67/287/2の遷移に伴う
蛍光に対して透明あるいは半透明である。従って、陰極
線管や薄膜電界発光素子の蛍光体材料の発光中心として
ガドリニウムイオンを用いると、効率よく母体中のガド
リニウムイオンの67/287/2の遷移に伴う紫外域の
蛍光を発することができる。従って、300nm程度の
紫外光のレ−ザを発振させることができる。
Particularly, the gadolinium ion is preferable as the emission center impurity. That is, in the energy level of the gadolinium ion, the ground level ( 8 S 7/2 ) and the first excitation level ( 6
The electric dipole transition between P 7/2 ) is originally a ff transition which is forbidden like the other lanthanoid ions, but is allowed under the influence of the crystal field in the crystal matrix. Also 8 S 7/2
The energy gap between and 6 P 7/2 corresponds to the wavelength in the ultraviolet region. Moreover, the host material is transparent or semitransparent to the fluorescence associated with the transition of 6 P 7/28 S 7/2 . Therefore, when gadolinium ions are used as the emission center of the phosphor material of a cathode ray tube or a thin film electroluminescent device, the fluorescence of the ultraviolet region accompanying the transition of 6 P 7/28 S 7/2 of gadolinium ions in the matrix is efficiently obtained. Can be issued. Therefore, a laser of ultraviolet light of about 300 nm can be oscillated.

【0026】発光中心不純物には不完全f電子殻を有す
るもの以外にも、例えば不完全d電子殻を有する遷移金
属イオンでも適応できる。
As the emission center impurity, not only those having an incomplete f-electron shell but also transition metal ions having an incomplete d-electron shell can be applied.

【0027】これらの紫外線発光蛍光体の室温でのバン
ドギャップは、3.1eV以上であると、400nm以
下の紫外線が発光できるため好ましい。
The bandgap of these ultraviolet-emitting phosphors at room temperature is preferably 3.1 eV or more, because ultraviolet rays of 400 nm or less can be emitted.

【0028】本発明の表示装置は可視発光蛍光体を紫外
線で励起するため、紫外線カットフィルターを蛍光スク
リーンの蛍光体層の投影レンズと反対面側に設置する
と、紫外線の漏洩が防げるため好ましい。また、紫外光
反射鏡を蛍光スクリーンの蛍光体層の投影レンズと反対
面に設置すると、蛍光スクリーンから外側に出る紫外線
を反射でき、可視発光蛍光体を再励起でき発光効率を向
上できるため好ましい。なお、紫外線カットフィルター
と紫外光反射鏡とを同時に設置してもよく、この場合に
は、紫外線カットフィルターは紫外光反射鏡の外側に設
置すること勿論である。
Since the display device of the present invention excites the visible light-emitting phosphor with ultraviolet rays, it is preferable to install an ultraviolet ray cut filter on the side of the fluorescent layer of the fluorescent screen opposite to the projection lens, because leakage of ultraviolet rays can be prevented. Further, it is preferable to install an ultraviolet light reflecting mirror on the surface of the phosphor screen opposite to the projection lens of the phosphor layer, because it can reflect the ultraviolet rays emitted from the phosphor screen to the outside and re-excite the visible light-emitting phosphor to improve the luminous efficiency. The ultraviolet cut filter and the ultraviolet light reflecting mirror may be installed at the same time. In this case, it goes without saying that the ultraviolet light cut filter is installed outside the ultraviolet light reflecting mirror.

【0029】さらに、本発明の表示装置の蛍光スクリー
ンと投影レンズとの間に可視光反射鏡を設置すると、可
視発光蛍光体から発光する可視光の内投影レンズ側に戻
る可視光を反射でき、表示の輝度を向上できるため好ま
しい。
Further, when a visible light reflector is installed between the fluorescent screen and the projection lens of the display device of the present invention, visible light emitted from the visible light-emitting phosphor can be reflected back to the inner projection lens side, This is preferable because the display brightness can be improved.

【0030】また、本発明の表示装置は、複数色にも対
応できる。複数色に対応するには、発光する色に対応し
た複数の紫外線源、複数の紫外線源に対応した投影レン
ズ、および複数の可視発光蛍光体を有した蛍光スクリー
ンとを具備すればよい。特に複数色に表示する場合に
は、投影レンズと蛍光スクリーンとの間に紫外光を透過
する部分を有した光遮蔽板を設けると、紫外線源から投
影レンズを介して入射した紫外光を、所定の蛍光スクリ
ーンに含まれる可視発光蛍光体に制御良く照射励起でき
るため好ましい。即ち、複数の紫外線源から発生した紫
外光は、それらの前面に配置した投射レンズにより平行
光束化後拡大される。投射レンズを通過した紫外光の光
束は、蛍光スクリーン面から所定の距離をおいて配設さ
れた光遮蔽板に設けられた紫外光透過部を透過して、そ
の透過光だけが各々の紫外線源に対応した発光色の蛍光
体ドットに照射され蛍光を発する。各紫外光透過部には
面状の各紫外線源の所定の発光点から放射された光束が
到達し、紫外光透過部を透過後もその光路を直進し蛍光
スクリーン面に到達するが、各紫外線源は異なる位置に
設置されているので、ある紫外光透過部に到達する光束
の入射方向と角度はそれぞれ異なる。従って各光束の蛍
光スクリーンの各可視蛍光体への到達位置も各々異な
る。光遮蔽板の紫外光透過部は、透過した各々の紫外線
源からの紫外光の光束が、各々所定の一種類の蛍光体ド
ットにのみ照射されるような相対位置に設置されている
ので、ある紫外線源からの光束は必ずある決まった発光
色の可視発光蛍光体ドットを励起する。即ち、色ずれの
ない複数色の表示装置を提供できる。
The display device of the present invention is also compatible with a plurality of colors. In order to support a plurality of colors, a plurality of ultraviolet light sources corresponding to the colors that emit light, a projection lens corresponding to a plurality of ultraviolet light sources, and a fluorescent screen having a plurality of visible light emitting phosphors may be provided. Especially when displaying in a plurality of colors, if a light shielding plate having a portion that transmits ultraviolet light is provided between the projection lens and the fluorescent screen, the ultraviolet light incident from the ultraviolet source through the projection lens can be given a predetermined amount. It is preferable because the visible light-emitting phosphor contained in the fluorescent screen can be irradiated and excited with good control. That is, the ultraviolet light generated from a plurality of ultraviolet light sources is expanded after being made into a parallel light flux by the projection lens arranged in front of them. The light flux of the ultraviolet light that has passed through the projection lens passes through the ultraviolet light transmitting portion provided on the light shielding plate arranged at a predetermined distance from the fluorescent screen surface, and only the transmitted light is the respective ultraviolet light source. The phosphor dots of the emission color corresponding to are emitted to emit fluorescence. A light beam emitted from a predetermined light emitting point of each planar ultraviolet light source reaches each ultraviolet light transmitting portion, and even after passing through the ultraviolet light transmitting portion, the optical path goes straight on and reaches the fluorescent screen surface. Since the sources are installed at different positions, the incident direction and angle of the light flux that reaches a certain ultraviolet light transmitting portion are different. Therefore, the position where each light flux reaches each visible phosphor of the fluorescent screen also differs. Since the ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate is arranged at a relative position such that the luminous flux of the ultraviolet light transmitted from each of the ultraviolet light sources is irradiated to only one predetermined type of phosphor dot, respectively. The luminous flux from the ultraviolet light source excites the visible light emitting phosphor dots of a certain emission color. That is, it is possible to provide a display device of a plurality of colors with no color shift.

【0031】本発明の光遮蔽板を具備した表示装置の蛍
光スクリーンは、以下のようにして製造できる。蛍光ス
クリーンとなるスクリーン、投射レンズおよび光遮蔽板
を本発明の表示装置の位置に設置し、本発明の表示装置
の紫外線源から投影レンズを介して蛍光スクリーン上に
照射する照射領域に対応した位置を照射する場所に、面
状のパタ−ン露光光源を設置したパタ−ン露光装置を用
いる。このような構成を有するパタ−ン露光装置を用い
て、複数の紫外光透過部が設けられた光遮蔽板自体を露
光マスクとして用い、可視発光蛍光体を含むネガレジス
トを塗布したスクリーンに、パタ−ン露光光源から露光
し、ネガレジストを感光させ現像し可視発光蛍光体のパ
タ−ンをスクリーン上に作成する。
The fluorescent screen of the display device provided with the light shielding plate of the present invention can be manufactured as follows. A screen serving as a fluorescent screen, a projection lens, and a light shielding plate are installed at the position of the display device of the present invention, and a position corresponding to an irradiation area irradiated from the ultraviolet source of the display device of the present invention onto the fluorescent screen through the projection lens. A pattern exposure apparatus is used in which a planar pattern exposure light source is installed in the place where the irradiation is performed. Using the pattern exposure apparatus having such a configuration, the light shielding plate itself provided with a plurality of ultraviolet light transmitting portions is used as an exposure mask, and the pattern is applied to the screen coated with the negative resist containing the visible light emitting phosphor. -Exposure from a light source, exposing the negative resist to light, and developing to form a pattern of visible light-emitting phosphor on the screen.

【0032】具体的には、所望の波長の蛍光を発する可
視発光蛍光体を混在したネガレジストを、スクリーンに
塗布する。次に、露光光源を発光させる。露光光源から
発した光は、投影レンズを通り平行光束後拡大される。
この光束は光遮蔽板を照射し光遮蔽板の紫外光透過部を
透過し、スクリーン上に紫外光透過部と相似形の形状に
照射する。スクリーン上に照射した光束は、可視発光蛍
光体を含むネガレジストを感光し、スクリーン上に可視
発光蛍光体のパターンを固着する。露光後スクリーンを
洗浄することで、照射部以外のネガレジストが可視発光
蛍光体と共に除去され、蛍光スクリーンが作製できる。
なお、スクリーン上にパターンが照射される位置は、光
束の入射方向、入射角、蛍光スクリーンと光遮蔽板との
距離で決定する。
Specifically, a negative resist mixed with a visible light-emitting phosphor that emits fluorescence of a desired wavelength is applied to the screen. Next, the exposure light source is made to emit light. The light emitted from the exposure light source passes through the projection lens and is expanded after being collimated.
This light beam illuminates the light shielding plate, transmits the ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate, and irradiates the screen with a shape similar to the ultraviolet light transmitting portion. The light flux irradiated on the screen sensitizes the negative resist containing the visible light emitting phosphor, and fixes the pattern of the visible light emitting phosphor on the screen. By washing the screen after the exposure, the negative resist other than the irradiated portion is removed together with the visible light emitting phosphor, and the fluorescent screen can be manufactured.
The position where the pattern is irradiated on the screen is determined by the incident direction of the light beam, the incident angle, and the distance between the fluorescent screen and the light shielding plate.

【0033】本発明の蛍光スクリーンの製造方法は、複
数色表示の場合に特に効果を発揮する。複数色表示する
場合と単色表示の場合との蛍光スクリーンの製造方法の
相違点は、露光光源の数が表示色の数だけ必要な点と、
表示色に対応した蛍光を発光する可視発光蛍光体の種類
が必要な点とだけであり、後は基本的には同様にして作
製できる。
The method of manufacturing a fluorescent screen of the present invention is particularly effective in displaying a plurality of colors. The difference in the manufacturing method of the fluorescent screen between the case of displaying in multiple colors and the case of displaying in single color is that the number of exposure light sources is the same as the number of display colors,
The only difference is that the type of visible light-emitting phosphor that emits fluorescence corresponding to the display color is required, and the rest can be basically manufactured in the same manner.

【0034】まず、所定の発光色の可視発光蛍光体粉末
Aを混在させたネガレジストを蛍光スクリーン上に塗布
する。次に、可視発光蛍光体Aに対応した紫外線源と等
価な露光光源aを発光させる。露光光源aから放射され
た光は投射レンズを通り平行光束化後拡大される。この
光束は光遮蔽板を照射し光遮蔽板の紫外光透過部を透過
し、スクリーン上に紫外光透過部と相似形の形状に照射
する。スクリーン上に照射した光束は可視発光蛍光体A
を含むネガレジストを感光し、スクリーン上に可視発光
蛍光体Aのパターンαを固着する。なお、可視発光蛍光
体Aのパターンαの位置は、上述した単色の場合と同様
に光束の入射方向、入射角、蛍光スクリーン面と紫外光
透過部との距離で決まる。露光後スクリーンを洗浄する
ことで、照射部以外のネガレジストが可視発光蛍光体A
と共に除去され、可視発光蛍光体Aのパターンαが作製
できる。
First, a negative resist containing a mixture of visible light emitting phosphor powder A of a predetermined light emitting color is applied on a phosphor screen. Next, the exposure light source a equivalent to the ultraviolet light source corresponding to the visible light emitting phosphor A is caused to emit light. The light emitted from the exposure light source a passes through the projection lens and is converted into a parallel light flux, and then expanded. This light beam illuminates the light shielding plate, transmits the ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate, and irradiates the screen with a shape similar to the ultraviolet light transmitting portion. The luminous flux irradiated on the screen is a visible light-emitting phosphor A.
The negative resist containing the is exposed to light to fix the pattern α of the visible light emitting phosphor A on the screen. The position of the pattern α of the visible light-emitting phosphor A is determined by the incident direction of the light flux, the incident angle, and the distance between the fluorescent screen surface and the ultraviolet light transmitting portion, as in the case of the above-described single color. After the exposure, the screen is washed so that the negative resist other than the irradiation part is exposed to the visible light emitting phosphor A.
Along with this, the pattern α of the visible light emitting phosphor A can be produced.

【0035】次に、可視発光蛍光体Aと異なる発光色の
可視発光蛍光体粉末Bを混在させた感光性ネガレジスト
を、蛍光スクリーン上に塗布する。可視発光蛍光体Bに
対応した紫外線源と等価な露光光源bを発光させる。こ
れによって可視発光蛍光体Aの場合と同様、露光光源b
から放射された光は、投射レンズを介し平行光束化後拡
大され、光遮蔽板を照射し光遮蔽板の紫外光透過部を透
過し、スクリーン上に紫外光透過部と相似形の形状に照
射し、照射した光束は、可視発光蛍光体bを含むネガレ
ジストを感光し、スクリーン上に可視発光蛍光体Bのパ
タ−ンを固着し、スクリーンを洗浄することで照射部分
以外のネガレジストが可視発光蛍光体Bと共に除去さ
れ、可視発光蛍光体AとBとを有した蛍光スクリーンが
形成できる。
Next, a photosensitive negative resist in which the visible light emitting phosphor A and the visible light emitting phosphor powder B having a different emission color are mixed is coated on the fluorescent screen. An exposure light source b equivalent to an ultraviolet ray source corresponding to the visible light emitting phosphor B is caused to emit light. As a result, as in the case of the visible light emitting phosphor A, the exposure light source b
The light emitted from the light is expanded through a projection lens after being converted into a parallel light flux, which is then irradiated onto the light shielding plate and transmitted through the ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate, and then is irradiated onto the screen in a shape similar to the ultraviolet light transmitting portion. Then, the irradiated light flux sensitizes the negative resist containing the visible light emitting phosphor b, fixes the pattern of the visible light emitting phosphor B on the screen, and cleans the screen so that the negative resist other than the irradiated portion is visible. A fluorescent screen having visible light emitting phosphors A and B, which is removed together with the light emitting phosphor B, can be formed.

【0036】露光光源aと露光光源bとは所定の距離を
おいて配設されているので、光遮蔽板の同一の紫外光透
過部に入射してくる各露光光源からの光束の入射方向、
入射角は異なる。即ち露光光源bからの光束が蛍光スク
リーン上に投影される位置は、露光光源aからのものと
異なる。従って露光光源bからの光束による露光で形成
される可視発光蛍光体Bのパタ−ンβの位置は、可視発
光蛍光体Aのパタ−ンαの位置と異なる。以上のプロセ
スを表示色に対応した露光光源毎に行い、各発光色の可
視発光蛍光体のパタ−ンを設けることができる。
Since the exposure light source a and the exposure light source b are disposed at a predetermined distance, the incident direction of the light flux from each exposure light source entering the same ultraviolet light transmitting portion of the light shield plate,
The angle of incidence is different. That is, the position where the light flux from the exposure light source b is projected on the fluorescent screen is different from that from the exposure light source a. Therefore, the position of the pattern β of the visible light emitting phosphor B formed by the exposure with the light flux from the exposure light source b is different from the position of the pattern α of the visible light emitting phosphor A. The above process can be performed for each exposure light source corresponding to the display color to provide a pattern of visible light emitting phosphors of each emission color.

【0037】このようにスクリーン上に形成した可視発
光蛍光体のパタ−ンは本発明の表示装置と同一の紫外光
の光路であり、紫外線源から投射レンズを介して発生す
る紫外光で可視発光蛍光体を励起する効率が高い効果が
ある。なお、パタ−ン露光光源に本発明の紫外線源自体
を用いると、表示装置そのものの構成がパタ−ン露光装
置となるため好ましい。
The pattern of the visible light emitting phosphor thus formed on the screen is the same optical path of the ultraviolet light as in the display device of the present invention, and the visible light is emitted by the ultraviolet light generated from the ultraviolet light source through the projection lens. There is an effect that the efficiency of exciting the phosphor is high. It is preferable to use the ultraviolet light source of the present invention as the pattern exposure light source because the structure of the display device itself becomes a pattern exposure device.

【0038】なお、特に複数色表示の蛍光スクリーンの
場合、各可視発光蛍光体パタ−ンの境界を黒色の筋で囲
む手段を施すいわゆるブラックマトリクス層を形成する
と、コントラストが向上するため好ましい。
Particularly, in the case of a fluorescent screen for displaying a plurality of colors, it is preferable to form a so-called black matrix layer in which means for surrounding the boundary of each visible light emitting phosphor pattern with a black streak is formed because the contrast is improved.

【0039】このブラックマトリクス層を備えた蛍光ス
クリーンは、例えばカーボン粉末等の黒色の着色剤を感
光性ポジレジストに混在させて、必要な数の可視発光蛍
光体パタ−ンを作成した蛍光スクリーン上に塗布する。
黒色の着色剤を含有したポジレジストを塗工した蛍光ス
クリーン上に、全部の露光光源を駆動させ、すべての可
視発光蛍光体パタ−ンの位置に紫外線を照射する。その
後蛍光スクリーンを洗浄し、各蛍光体ドットの上に覆わ
れていた黒色着色剤を含むポジレジストを除去する。以
上の作業により、各可視発光蛍光体パタ−ン以外の場所
にブラックマトリクス層を形成することができる。
The fluorescent screen provided with this black matrix layer is prepared by mixing a black colorant such as carbon powder with a photosensitive positive resist to prepare a required number of visible light emitting phosphor patterns. Apply to.
All exposure light sources are driven on a fluorescent screen coated with a positive resist containing a black colorant to irradiate all visible light emitting phosphor pattern positions with ultraviolet rays. Then, the phosphor screen is washed to remove the positive resist containing the black colorant, which was covered on each phosphor dot. By the above work, the black matrix layer can be formed in a place other than each visible light emitting phosphor pattern.

【0040】次に、本発明の表示装置の具体的実施例を
挙げて、本発明をさらに詳細に説明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the display device of the present invention.

【0041】(実施例1)本発明の表示装置の一実施例
の断面図を図1に示す。容器1の前面に蛍光スクリーン
2が、また容器1の内部の所定の位置に陰極線管3が設
けられている。また、陰極線管3から前面に放射された
光が拡大され、蛍光スクリーン2に投射されるような位
置に、投射レンズ4、及び反射鏡5、6が設けられてい
る。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the display device of the present invention. A fluorescent screen 2 is provided on the front surface of the container 1, and a cathode ray tube 3 is provided at a predetermined position inside the container 1. Further, the projection lens 4 and the reflecting mirrors 5 and 6 are provided at positions where the light emitted from the cathode ray tube 3 to the front surface is enlarged and projected on the fluorescent screen 2.

【0042】図2に本実施例に用いた陰極線管3の断面
図を示す。陰極線管3は、おもに紫外発光蛍光体面11
以外は、通常のCRTと同様の構造である。内部が高真
空に保たれたガラスバルブ12のネック部13に、カソ
ード14と電子レンズ15からなる電子銃16が設けら
れている。フェースプレート17の内面には紫外発光蛍
光体面11が設けられており、ガラスバルブ12の内表
面の所定の領域を導電処理した内部導電膜18と導通
し、アノードボタン19を介して外部から所定の電圧を
印加できるようになっている。また、ネック部13の際
には、偏向ヨーク20が設けられている。ガラスバルブ
12は、必要に応じて部分的に金属などを用いてもよ
い。
FIG. 2 shows a sectional view of the cathode ray tube 3 used in this embodiment. The cathode ray tube 3 is mainly composed of an ultraviolet light emitting phosphor surface 11
Other than that, the structure is similar to that of a normal CRT. An electron gun 16 including a cathode 14 and an electron lens 15 is provided on a neck portion 13 of a glass bulb 12 whose inside is kept in a high vacuum. An ultraviolet light emitting phosphor surface 11 is provided on the inner surface of the face plate 17, and the surface of the glass bulb 12 is electrically connected to an inner conductive film 18 that has been subjected to a conductive treatment on a predetermined area of the inner surface of the glass bulb 12, and a predetermined area is externally provided via an anode button 19. A voltage can be applied. A deflection yoke 20 is provided at the neck portion 13. The glass bulb 12 may partially use metal or the like, if necessary.

【0043】紫外発光蛍光体面11は、膜厚が100n
m〜100μm程度の紫外発光蛍光体層21と、そのフ
ェースプレート側に設けられた総膜厚が100nm〜1
00μm程度の多層膜反射鏡22と、同じく電子銃側に
設けられた膜厚数10〜数100nm程度の金属反射鏡
23とで構成されている。金属反射鏡23は、内部導電
膜18と導通している。
The thickness of the ultraviolet light emitting phosphor surface 11 is 100 n.
The ultraviolet light emitting phosphor layer 21 having a thickness of about m to 100 μm and the total film thickness provided on the face plate side thereof is 100 nm to 1
It is composed of a multilayer film reflecting mirror 22 having a thickness of about 00 μm and a metal reflecting mirror 23 having a film thickness of several tens to several hundreds nm, which is also provided on the electron gun side. The metal reflecting mirror 23 is electrically connected to the internal conductive film 18.

【0044】一実施例として、紫外蛍光層21には硫化
亜鉛の単結晶膜を用い、多層膜反射鏡22には、SiO
2薄膜とTiO2薄膜よりなる複合膜が数周期〜数10周
期積層された多層膜を用いた場合を説明する。各々の誘
電体膜の膜厚は、それらの中における発光波長の1/4
の奇数倍に近い値に設定した。また、金属反射鏡23に
はアルミニウムの蒸着膜を用いた。フェースプレート1
7には、蛍光面11から放射される紫外光をよく透過す
る組成のガラスを用いた。
As one example, a single crystal film of zinc sulfide is used for the ultraviolet fluorescent layer 21, and SiO 2 is used for the multilayer film reflecting mirror 22.
It will be described the case of using 2 thin film and multilayer film TiO 2 made of thin film composite membranes have been several cycles to several tens period stacking. The thickness of each dielectric film is 1/4 of the emission wavelength in them.
It was set to a value close to an odd multiple of. Further, a vapor deposition film of aluminum was used for the metal reflecting mirror 23. Face plate 1
A glass having a composition that well transmits the ultraviolet light emitted from the phosphor screen 11 was used for 7.

【0045】図3に本発明の表示装置の一実施例として
カラー表示装置を取り上げ、表示装置に用いた蛍光スク
リーンの斜視図を示す。本実施例の蛍光スクリーンの大
きさは、対角40インチ以上の大画面スクリーンであ
る。蛍光スクリーンは、スクリーン基体31と、その容
器内面側に所定の間隙を開けて周期的に形成した帯状の
可視発光蛍光体ストライプ32と、可視発光蛍光体スト
ライプ32の間隙に形成したブラックマトリクス33と
で構成されている。
FIG. 3 shows a perspective view of a fluorescent screen used in a display device, taking a color display device as an embodiment of the display device of the present invention. The size of the fluorescent screen of this embodiment is a large screen with a diagonal size of 40 inches or more. The fluorescent screen includes a screen substrate 31, a band-shaped visible light emitting phosphor stripe 32 which is periodically formed on the inner surface side of the container, and a black matrix 33 which is formed in the space between the visible light emitting phosphor stripes 32. It is composed of.

【0046】可視発光蛍光体ストライプ32は、例えば
赤色発光蛍光体(R)、緑色発光蛍光体(G)、青色発
光蛍光体(B)、赤色発光蛍光体(R)、・・・・の順
番に配列してある。スクリーン基体31には、これらの
可視光に対して透明な樹脂板やガラス板等が適用でき、
本実施例ではガラスを用いた。
The visible light emitting phosphor stripe 32 is, for example, a red light emitting phosphor (R), a green light emitting phosphor (G), a blue light emitting phosphor (B), a red light emitting phosphor (R), ... It is arranged in. For the screen base 31, a resin plate or a glass plate that is transparent to these visible lights can be applied,
In this example, glass was used.

【0047】赤色、緑色、青色の可視発光蛍光体ストラ
イプ32には、それぞれZn0.2Cd0.8S:Ag、Zn
0.6Cd0.4S:Ag、(Sr、Ca)10(PO46Cl
2:Euの可視発光蛍光体粉末を用いた。なお、可視発
光蛍光体には、各々赤色、緑色、青色を発する蛍光体で
あればよく、材料は特に選ばない。
Zn 0.2 Cd 0.8 S: Ag and Zn are provided on the red, green and blue visible light emitting phosphor stripes 32, respectively.
0.6 Cd 0.4 S: Ag, (Sr, Ca) 10 (PO 4 ) 6 Cl
2 : A visible light emitting phosphor powder of Eu was used. Note that the visible light-emitting phosphor may be any phosphor that emits red, green, and blue, and the material is not particularly selected.

【0048】ブラックマトリクス33の黒色着色剤に
は、カーボン粉末を用いた。これも耐光性のある他の黒
色あるいはそれに類する材料を用いてもよい。
Carbon powder was used as the black colorant of the black matrix 33. This may also be made of another light-resistant black material or the like.

【0049】図1〜3に記載した本実施例の作用を以下
に説明する。カソード14の電位に対して蛍光面11に
数kV〜100kV程度の正電圧を印加し、電子銃16
から打ち出された電子ビームを所定のビーム径に集束
し、加速して、蛍光面11に打ち込む。電子ビームは、
偏向ヨーク20で偏向され所定の周期で蛍光面上を走査
される。所定の画像信号を電子銃16と偏向ヨーク20
とに入力する。
The operation of this embodiment shown in FIGS. 1 to 3 will be described below. A positive voltage of about several kV to 100 kV is applied to the phosphor screen 11 with respect to the potential of the cathode 14, and the electron gun 16
The electron beam ejected from is focused on a predetermined beam diameter, accelerated, and impinged on the phosphor screen 11. Electron beam
It is deflected by the deflection yoke 20 and scanned on the phosphor screen at a predetermined cycle. A predetermined image signal is transmitted to the electron gun 16 and the deflection yoke 20.
And enter.

【0050】電子ビームは、金属反射鏡23を透過して
紫外蛍光層21中に打ち込まれ、硫化亜鉛の母体を励起
する。硫化亜鉛は、励起子やバンドギャップ間の遷移に
相当する例えば340nm程度の波長の紫外光を発生す
る。
The electron beam is transmitted through the metal reflecting mirror 23 and is injected into the ultraviolet fluorescent layer 21 to excite the zinc sulfide matrix. Zinc sulfide emits ultraviolet light having a wavelength of, for example, about 340 nm, which corresponds to transition between excitons and band gaps.

【0051】紫外発光蛍光体層21には、効率よく発光
させるために格子欠陥など非発光中心の少ない高品質の
単結晶膜を用いることが好ましい。
For the ultraviolet light emitting phosphor layer 21, it is preferable to use a high quality single crystal film having few non-emission centers such as lattice defects in order to efficiently emit light.

【0052】紫外発光蛍光体層21の両側に紫外発光蛍
光体層21を挟むように対向して設けられた多層膜反射
鏡22と金属反射鏡23とは、紫外発光蛍光体層21の
発光に対して高い反射率を有し、発光に対して光共振器
の作用を果たす。即ち、発光に際しては反射鏡22と2
3との間で反射を繰り返し、紫外発光蛍光体層21にほ
ぼ同一波長の誘導放出を起こさせる。ここで、電子ビー
ムのパワー密度をある閾値以上にするとレーザー発振が
起こる。レーザー光は半透明な多層膜反射鏡22を透過
し、外部に放射される。レーザー光は、主にその発光波
長と発光部の面積で決まる狭い発散角で、反射鏡に鉛直
な方向に平行性良く放射される。レーザー光は、フェー
スプレート17を透過して陰極線管3の前方に出射され
る。
The multilayer reflecting mirror 22 and the metal reflecting mirror 23, which are provided on both sides of the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 so as to face each other with the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 interposed therebetween, serve to emit light from the ultraviolet light emitting phosphor layer 21. In contrast, it has a high reflectance and acts as an optical resonator for light emission. That is, when emitting light, the reflecting mirrors 22 and 2
Reflection is repeated between 3 and 3, and the ultraviolet emission phosphor layer 21 causes stimulated emission of substantially the same wavelength. Here, laser oscillation occurs when the power density of the electron beam exceeds a certain threshold value. The laser light passes through the semitransparent multilayer-film reflective mirror 22 and is emitted to the outside. The laser light is emitted with a narrow divergence angle mainly determined by the emission wavelength and the area of the light emitting portion, with good parallelism in the vertical direction to the reflecting mirror. The laser light passes through the face plate 17 and is emitted in front of the cathode ray tube 3.

【0053】紫外発光蛍光体層21の膜厚は、所定の駆
動条件で入力からレーザー光出力へのエネルギー変換効
率が最も高くなるように設定することが望ましい。具体
的には、電子ビームの侵入深さに対して電子ビームのエ
ネルギーをできるだけ効率よく紫外発光蛍光体層21で
吸収でき、且つ光共振器における反射や吸収等に伴う損
失ができるだけ低くなる膜厚に設定する。金属反射鏡2
3の膜厚は、紫外蛍光層21の発光に対する反射率が十
分高く、且つ電子ビームをできるだけ透過できる最適値
に設定することが望ましい。本実施例では、金属反射鏡
23の発光に対する反射率は80%程度以上であった。
また、多層膜反射鏡22の積層数を、発光に対する反射
率が90%程度以上になるように設定した。レーザー発
振の閾値パワー密度を低減するには、低損失の高品質単
結晶膜を紫外発光蛍光体層21に用いることと共に、両
反射鏡の反射率をできるだけ高くすることが望ましい。
The thickness of the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 is preferably set so that the energy conversion efficiency from the input to the laser light output is maximized under a predetermined driving condition. Specifically, a film thickness that allows the energy of the electron beam to be absorbed by the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 as efficiently as possible with respect to the penetration depth of the electron beam, and the loss due to reflection and absorption in the optical resonator is minimized. Set to. Metal reflector 2
It is desirable that the film thickness of 3 is set to an optimum value in which the reflectance of the ultraviolet fluorescent layer 21 for light emission is sufficiently high and the electron beam can be transmitted as much as possible. In this example, the reflectance of the metal reflecting mirror 23 for light emission was about 80% or more.
Moreover, the number of laminated layers of the multilayer-film reflective mirror 22 was set so that the reflectance for light emission was about 90% or more. In order to reduce the threshold power density of laser oscillation, it is desirable to use a high quality single crystal film with low loss for the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 and to maximize the reflectance of both reflecting mirrors.

【0054】陰極線管3から出射したレーザー光は、図
1に示すように投射レンズ4、反射鏡5、反射鏡6を介
して、効率よく蛍光スクリーン2に拡大、投射される。
The laser light emitted from the cathode ray tube 3 is efficiently enlarged and projected on the fluorescent screen 2 via the projection lens 4, the reflecting mirror 5 and the reflecting mirror 6 as shown in FIG.

【0055】蛍光スクリーン2に投射された紫外レーザ
ー光は、可視発光蛍光体ストライプ32の可視発光蛍光
体を励起し、それぞれの色の可視光を効率よく発光す
る。これらの可視光はスクリーン基体31を透過して、
スクリーン前面に拡散的に放射される。
The ultraviolet laser light projected on the fluorescent screen 2 excites the visible light emitting phosphors of the visible light emitting phosphor stripe 32, and efficiently emits the visible light of each color. These visible lights pass through the screen substrate 31,
It is radiated diffusely to the front of the screen.

【0056】蛍光体ストライプ32の可視発光蛍光体粉
末の層厚は、紫外レーザー光を効率よく吸収し、且つ効
率よく前面に放射できる最適な厚みに設定される。
The layer thickness of the visible light emitting phosphor powder of the phosphor stripe 32 is set to an optimum thickness capable of efficiently absorbing the ultraviolet laser light and radiating it to the front surface efficiently.

【0057】紫外レーザー光は、蛍光スクリーン2上を
走査しながら赤色、緑色、青色の可視発光蛍光体ストラ
イプを順次励起していく。陰極線管3には、順次R、
G、Bの輝度信号に応じた出力の紫外レーザー光が放射
されるように画像信号が入力される。つまり、紫外レー
ザー光は、例えばR信号に応じた光出力のレーザー光が
出射されているときに、丁度赤色蛍光体にそれが照射さ
れるように、同期して走査される。
The ultraviolet laser light scans the fluorescent screen 2 and sequentially excites the red, green and blue visible light emitting phosphor stripes. In the cathode ray tube 3, R,
The image signal is input so that an ultraviolet laser beam having an output corresponding to the G and B luminance signals is emitted. That is, the ultraviolet laser light is synchronously scanned so that, for example, when the laser light having an optical output corresponding to the R signal is emitted, it is just irradiated on the red phosphor.

【0058】蛍光スクリーン2での表示画像に要求され
る輝度、分解能等を満たすように、陰極線管3の電子ビ
ームが蛍光面11を走査する面積、電子ビームのスポッ
ト径、入射パワーを設定した。
The area where the electron beam of the cathode ray tube 3 scans the phosphor screen 11, the spot diameter of the electron beam, and the incident power are set so that the brightness, resolution, etc. required for the display image on the fluorescent screen 2 are satisfied.

【0059】以上のような本実施例の表示装置を、所定
の条件で駆動したところ、蛍光スクリーン2自体が発光
するため、コントラスト等高い表示品位が得られた。
When the display device of the present embodiment as described above was driven under predetermined conditions, the fluorescent screen 2 itself emitted light, so that high display quality such as contrast was obtained.

【0060】また、陰極線管3から放射されるレーザー
光の発散角は狭いので、投射レンズ4は80%程度以上
の高い集光率で陰極線管3からの光を集光し、投射でき
る。即ち、従来の蛍光面を用いた投射管では、その発光
は自然発光で蛍光面から拡散的に放射されるので、最適
な投射レンズを用いて集光してもその集光率は10%程
度と低かったことと比べて、本発明の表示装置ははるか
に集光率が高い。つまり、蛍光スクリーン2での紫外光
から可視光へのエネルギー変換時のロスを差し引いて
も、より効率よく高輝度の表示ができる。従って、従来
の投射型ディスプレイで、スクリーンの真正面方向の輝
度を上げるためにスクリーンに設けていたレンチキュラ
ーレンズを設けなくても十分高い輝度が得られる。この
ように従来の投射型ディスプレイと異なり、本発明の表
示装置の表示光は、スクリーンから拡散的にその前面に
放射されるため、視野角の広い表示装置が実現できた。
Further, since the divergence angle of the laser light emitted from the cathode ray tube 3 is narrow, the projection lens 4 can collect and project the light from the cathode ray tube 3 at a high light collecting rate of about 80% or more. That is, in a conventional projection tube using a fluorescent screen, the emitted light is spontaneous emission and is diffusely emitted from the fluorescent screen. Therefore, even if an optimal projection lens is used to collect light, the light collection rate is about 10%. Compared with the low value, the display device of the present invention has a much higher light collection rate. That is, even if the loss at the time of energy conversion from ultraviolet light to visible light on the fluorescent screen 2 is subtracted, it is possible to more efficiently display with high brightness. Therefore, in the conventional projection display, sufficiently high brightness can be obtained without providing the lenticular lens provided on the screen in order to increase the brightness in the front direction of the screen. Thus, unlike the conventional projection display, the display light of the display device of the present invention is diffusely emitted from the screen to the front surface thereof, so that a display device having a wide viewing angle can be realized.

【0061】以上の様に、本実施例に示した発明によ
り、軽量、コンパクト、低コストで、とりわけ画像品位
の高い、高輝度、低消費電力の大画面ディスプレイを実
現することができた。
As described above, according to the invention shown in this embodiment, it is possible to realize a large-screen display which is lightweight, compact, low in cost, particularly high in image quality, high in brightness and low in power consumption.

【0062】次に、本実施例の表示装置の蛍光面11の
製造方法を以下に示す。まず、GaAs単結晶基板(1
00)表面上に、分子ビームエピタキシャル成長法を用
いてZnS単結晶エピタキシャル膜を所定の膜厚だけ成
長させ、紫外発光蛍光体層21を作製した。蒸発源には
高純度ZnS多結晶粒を用いた。所定の膜厚以上で十分
結晶性のよい膜が得られた。
Next, a method of manufacturing the phosphor screen 11 of the display device of this embodiment will be described below. First, GaAs single crystal substrate (1
(00) On the surface, a ZnS single crystal epitaxial film was grown to a predetermined thickness using the molecular beam epitaxial growth method to form the ultraviolet light emitting phosphor layer 21. High-purity ZnS polycrystalline grains were used as the evaporation source. A film having a sufficient crystallinity was obtained at a predetermined film thickness or more.

【0063】次に、その上にSiO2層とTiO2層と
を、各々が所定の膜厚になるように電子ビーム蒸着法を
用いて交互に蒸着し、多層膜反射鏡22を完成させた。
Next, an SiO 2 layer and a TiO 2 layer were alternately deposited thereon by an electron beam evaporation method so that each had a predetermined film thickness, and the multilayer film reflecting mirror 22 was completed. .

【0064】表面に紫外蛍光層21及び多層膜反射鏡2
2が形成されたGaAs基板を、フェースプレート17
に多層膜反射鏡22側が接するように接着した。紫外光
に対して透明な例えばポリイミド系樹脂を平滑なフェー
スプレート上に均一に薄く塗布し、前記基板を張り付け
た後加熱することで接着した。
The ultraviolet fluorescent layer 21 and the multilayer reflecting mirror 2 are provided on the surface.
2 is formed on the GaAs substrate by the face plate 17
Was adhered so that the multilayer film reflecting mirror 22 side was in contact. For example, a polyimide resin transparent to ultraviolet light was uniformly and thinly applied on a smooth face plate, and the substrate was attached and then heated to adhere.

【0065】次にこれらをGaAs基板のみエッチング
されるエッチング液中に所定の時間浸し、GaAs基板
を除去した。エッチング液には、例えば過酸化水素水と
アンモニア水との混合液などを用いた。GaAs基板が
除去され紫外蛍光層21が露出した表面に真空蒸着法を
用いてアルミニウムを所定の膜厚蒸着して金属反射鏡2
3を作製した。以上のようにして蛍光面11を完成させ
た。
Next, these were immersed in an etching solution for etching only the GaAs substrate for a predetermined time to remove the GaAs substrate. As the etching liquid, for example, a mixed liquid of hydrogen peroxide water and ammonia water was used. On the surface where the GaAs substrate is removed and the ultraviolet fluorescent layer 21 is exposed, aluminum is vapor-deposited to a predetermined thickness by using a vacuum vapor deposition method, and the metal reflector 2
3 was produced. The phosphor screen 11 was completed as described above.

【0066】蛍光体ストライプ32の作成には印刷法を
用いた。即ち、陰極線からの紫外光を吸収しにくいバイ
ンダーを混ぜた蛍光体粉末を、スクリーン基体31上に
各色毎に印刷して作成した。この他にも例えばスクリー
ン基体31にガラス等の耐熱性の材料を用い、蛍光スク
リーン2を加熱しバインダーを除去してもよい。
A printing method was used to form the phosphor stripe 32. That is, a phosphor powder mixed with a binder that does not easily absorb the ultraviolet light from the cathode ray was printed on the screen base 31 for each color. In addition to this, for example, a heat-resistant material such as glass may be used for the screen base 31, and the fluorescent screen 2 may be heated to remove the binder.

【0067】紫外発光蛍光体面11の製造方法の他の実
施例を以下に示す。ZnS単結晶基板を台座に接着し、
それが所定の厚さになるように表面を研磨した後、その
上にSiO2層とTiO2層とよりなる多層膜反射鏡22
を、前述した実施例同様の成膜方法で完成させた。次に
これを、フェースプレート17に多層膜反射鏡22側が
接するように接着した。次に前記台座をZnS単結晶基
板から剥した。紫外発光蛍光体層21が露出した表面
に、アルミニウムを所定の膜厚蒸着して金属反射鏡23
を作製した。
Another embodiment of the method for manufacturing the ultraviolet light emitting phosphor surface 11 is shown below. Bond the ZnS single crystal substrate to the pedestal,
After polishing the surface so that it has a predetermined thickness, a multilayer-film reflective mirror 22 composed of a SiO 2 layer and a TiO 2 layer is formed on the surface.
Was completed by the film forming method similar to the above-mentioned embodiment. Next, this was adhered to the face plate 17 so that the multilayer film reflection mirror 22 side was in contact. Next, the pedestal was peeled from the ZnS single crystal substrate. On the surface where the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 is exposed, aluminum is vapor-deposited to a predetermined thickness to form a metal reflector 23
Was produced.

【0068】なお、本実施例では、紫外発光蛍光体層2
1の材料としてZnSを用いたが、室温でのバンドギャ
ップが3.1eV以上で、電子ビームの照射により効率
よく紫外光を発する材料であれば他のものを用いてもよ
い。具体的には、紫外発光蛍光体層21として、ダイヤ
モンド、SiC、あるいはGaN、AlN、BN等のII
I-V族化合物、あるいはZnO等のIIb-VI族化合物、あ
るいはMgS、CaS、SrS、BaS等のIIa-VI族化
合物、あるいはCuAlS2 等のカルコパイライト化合
物、あるいはMnTe、MnSe、MnS等のマンガン
カルコゲナイド化合物、あるいは少なくともこれらを含
有する多元化合物を用いてもよい。また、必要に応じて
これらの材料に、発光性のドナー性不純物あるいはアク
セプター性不純物を添加したものを用いてもよい。
In this embodiment, the ultraviolet light emitting phosphor layer 2 is used.
Although ZnS was used as the material of No. 1, any other material may be used as long as it has a bandgap of 3.1 eV or more at room temperature and efficiently emits ultraviolet light when irradiated with an electron beam. Specifically, as the ultraviolet light emitting phosphor layer 21, II, such as diamond, SiC, GaN, AlN, or BN, is used.
Group IV compounds, IIb-VI compounds such as ZnO, IIa-VI compounds such as MgS, CaS, SrS and BaS, chalcopyrite compounds such as CuAlS 2 and manganese such as MnTe, MnSe and MnS. A chalcogenide compound or a multi-component compound containing at least these may be used. Moreover, you may use what added the luminescent donor property impurity or acceptor property impurity to these materials as needed.

【0069】また、Ca3(PO42:Tl+等の燐酸塩
蛍光体、あるいはBaSi25:Pb2+、(Ba、S
r、Mg)3Si27:Pb2+、Ca2MgSi27:C
3+、Zn2SiO4:Ti等の珪酸塩蛍光体、あるいは
SrB47F:Eu2+等の蛍光体といったいわゆる発光
中心イオン含有型の紫外蛍光体を用いてもよい。
Further, a phosphate phosphor such as Ca 3 (PO 4 ) 2 : Tl + , or BaSi 2 O 5 : Pb 2+ , (Ba, S
r, Mg) 3 Si 2 O 7 : Pb 2+ , Ca 2 MgSi 2 O 7 : C
A so-called luminescent center ion-containing ultraviolet phosphor such as a silicate phosphor such as e 3+ , Zn 2 SiO 4 : Ti, or a phosphor such as SrB 4 O 7 F: Eu 2+ may be used.

【0070】その母体材料には、その他にも、酸化イッ
トリウム化合物あるいは酸化タングステン化合物、ある
いは酸化アルミニウム化合物、あるいは希土類酸化物、
あるいはIIa-VII2化合物、あるいはIIb-VII2化合物、あ
るいはハロゲン化アルカリ等を用いてもよい。
Other base materials include yttrium oxide compounds, tungsten oxide compounds, aluminum oxide compounds, rare earth oxides,
Alternatively, a IIa-VII 2 compound, a IIb-VII 2 compound, an alkali halide or the like may be used.

【0071】また、その発光中心イオンには、不完全f
電子殻を有するランタノイドあるいはアクチノイドイオ
ン、あるいは不完全d電子殻を有する遷移金属イオンの
内で、母体材料中で効率よく紫外域の蛍光を発する所定
のイオンを採用する。特に、発光中心イオンとしてGd
3+を用い、例えばZnF2の母体結晶中に所定の濃度で
分散させた紫外発光蛍光体層21を用いた陰極線管3を
駆動させたところ、電子ビームの励起により蛍光面11
において波長310nm付近の紫外光のレーザー発振を
させることができた。その際、多層膜反射鏡等他の部分
もこの波長に最適な設計とした。本陰極線管を前記表示
装置に用いることで、上述した実施例同様の機能を有す
る高品位大画面ディスプレイを実現することができた。
In addition, in the emission center ion, incomplete f
Of the lanthanoid or actinide ion having an electron shell or the transition metal ion having an incomplete d electron shell, a predetermined ion that efficiently fluoresces in the ultraviolet region in the base material is adopted. In particular, Gd as the emission center ion
When 3+ was used to drive the cathode ray tube 3 using, for example, an ultraviolet light emitting phosphor layer 21 dispersed in a host crystal of ZnF 2 at a predetermined concentration, the phosphor screen 11 was excited by an electron beam.
In, it was possible to cause laser oscillation of ultraviolet light having a wavelength of around 310 nm. At that time, other parts such as the multilayer film reflecting mirror were also designed to be optimal for this wavelength. By using this cathode ray tube in the display device, it was possible to realize a high-quality large-screen display having the same function as that of the above-mentioned embodiment.

【0072】この紫外発光蛍光体層21の作製方法は以
下のようにおこなった。まず、GaAs単結晶基板(1
00)表面上に、分子ビームエピタキシャル成長法を用
いてZnF2:Gd3+膜を成長させた。 蒸発源としては
ZnF2粒及びGdF3粒を用いた。多層膜反射鏡22及
び金属反射鏡23は、前述した実施例と同様の方法で作
製した。
The method for producing the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 was as follows. First, GaAs single crystal substrate (1
A ZnF 2 : Gd 3+ film was grown on the (00) surface using the molecular beam epitaxial growth method. ZnF 2 grains and GdF 3 grains were used as evaporation sources. The multilayer-film reflective mirror 22 and the metal reflective mirror 23 were manufactured by the same method as in the above-described embodiment.

【0073】なお、上記実施例では、多層膜反射鏡22
としてSiO2層とTiO2層よりなる誘電体多層膜を用
いたが、お互いに屈折率が異なり、紫外蛍光層からの発
光に対して透明、あるいは半透明な材料であれば、他の
誘電体膜の組合せを用いてもよい。例えば、高屈折率膜
材料としてCeO2等、低屈折率膜材料としてCaF2
LiF、MgF2等を用いてもよい。また上記の条件を
満たせば、所定の半導体多層膜を用いてもよい。あるい
は誘電体膜と半導体膜とで形成される多層膜を用いても
よい。
In the above embodiment, the multilayer film reflecting mirror 22 is used.
As the dielectric multi-layered film composed of the SiO 2 layer and the TiO 2 layer was used as the material, other dielectric materials can be used as long as the materials have different refractive indexes and are transparent or semitransparent to the light emitted from the ultraviolet fluorescent layer. Membrane combinations may also be used. For example, CeO 2 or the like as the high refractive index film material, CaF 2 as the low refractive index film material,
LiF, MgF 2 or the like may be used. A predetermined semiconductor multilayer film may be used as long as the above conditions are satisfied. Alternatively, a multilayer film formed of a dielectric film and a semiconductor film may be used.

【0074】また、多層膜反射鏡22の代わりに、例え
ば膜厚数10nmのAu薄膜等で構成された半透明な金
属膜反射鏡を用いてもよい。
Instead of the multilayer film reflecting mirror 22, a semitransparent metal film reflecting mirror made of, for example, an Au thin film having a film thickness of several 10 nm may be used.

【0075】また、場合によっては、多層膜反射鏡22
は設けなくてもよい。その場合、紫外蛍光層21のレー
ザー光出射側界面あるいはそれに相当する界面における
レーザー光の反射率は、できるだけ高いことが望まし
い。
In some cases, the multilayer-film reflective mirror 22
Need not be provided. In that case, it is desirable that the reflectance of the laser light at the laser light emission side interface of the ultraviolet fluorescent layer 21 or the interface corresponding thereto is as high as possible.

【0076】また、必要に応じて金属反射鏡23の代わ
りに上記のような多層膜反射鏡22を流用してもよい。
その際、多層膜反射鏡に導電性のない材料を使う場合に
は、その表面に導電層を設けることが好ましい。
If necessary, the multilayer reflecting mirror 22 may be used instead of the metal reflecting mirror 23.
At that time, when a material having no conductivity is used for the multilayer film reflecting mirror, it is preferable to provide a conductive layer on the surface thereof.

【0077】(実施例2)本発明の表示装置の第2実施
例を以下に示す。第2の実施例が第1の実施例と異なる
点は、紫外発光蛍光体面11の構成と、その製法であ
る。図4は本第2の実施例に用いた陰極線管の断面図で
ある。サファイヤ単結晶よりなる透明基板40上に、異
なる組成比のZnMnSSe膜を、それらの中における
発光波長の1/4の奇数倍に近い値の膜厚づつ、数周期
〜数10周期交互に積層した半導体多層膜反射鏡41が
形成されており、その上に所定の膜厚のZnSSe単結
晶膜よりなる紫外発光蛍光体層21が形成されている。
その上にSiO2 よりなる誘電体薄膜42と、Alより
なる金属薄膜43とで構成される背面反射鏡43が設け
られている。紫外発光蛍光体層21を形成するZnSS
eの組成比は、そのバンドギャップが3.1eV 以上に
なるように設定した。半導体多層膜反射鏡41を構成す
るZnMnSSe混晶の組成比は、そのバンドギャップ
が紫外発光蛍光体層21のバンドギャップより大きくな
るような比に設定した。半導体多層膜反射鏡41の別の
構成材料として、例えばZnMgSSe混晶薄膜等を用
いてもよい。
(Second Embodiment) A second embodiment of the display device of the present invention will be described below. The second embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the ultraviolet light emitting phosphor surface 11 and the manufacturing method thereof. FIG. 4 is a sectional view of a cathode ray tube used in the second embodiment. On a transparent substrate 40 made of sapphire single crystal, ZnMnSSe films having different composition ratios were alternately laminated for several cycles to several tens cycles with film thicknesses close to odd multiples of 1/4 of the emission wavelength among them. A semiconductor multilayer film reflecting mirror 41 is formed, and an ultraviolet light emitting phosphor layer 21 made of a ZnSSe single crystal film having a predetermined film thickness is formed thereon.
A rear reflecting mirror 43 composed of a dielectric thin film 42 made of SiO 2 and a metal thin film 43 made of Al is provided thereon. ZnSS forming the ultraviolet light emitting phosphor layer 21
The composition ratio of e was set so that the band gap was 3.1 eV or more. The composition ratio of the ZnMnSSe mixed crystal forming the semiconductor multilayer film reflecting mirror 41 was set to such a ratio that the band gap thereof was larger than the band gap of the ultraviolet light emitting phosphor layer 21. As another constituent material of the semiconductor multilayer film reflecting mirror 41, for example, a ZnMgSSe mixed crystal thin film or the like may be used.

【0078】本実施例の作用は実施例1と同様である。
電子銃16から打ち出された電子ビームは加速され、紫
外発光蛍光体面11に打ち込まれる。電子ビームは、背
面反射鏡42を透過して紫外発光蛍光体層21中に打ち
込まれ、ZnSSeを励起する。ZnSSeはそのバン
ドギャップに対応した340〜400nmの紫外光を発
する。半導体多層膜反射鏡41と背面反射鏡43は、紫
外発光蛍光体層21の発光に対して高い反射率を有し、
発光に対して光共振器の役割を果たす。即ち、発光は両
反射鏡41と43との間で反射を繰り返し、紫外発光蛍
光体層21にほぼ同じ波長のレーザー発振を生じさせ
る。レーザー光は、半透明な半導体多層膜反射鏡41及
び透明基板40を透過して陰極線管3の前方に出射され
る。このレーザー光が、蛍光スクリーン2上を走査しな
がら、その可視発光蛍光体ストライプ32を順次励起す
る。蛍光体ストライプ32からR、G、Bの可視蛍光が
前面に放射される。
The operation of this embodiment is similar to that of the first embodiment.
The electron beam emitted from the electron gun 16 is accelerated and strikes the ultraviolet light emitting phosphor surface 11. The electron beam passes through the back reflecting mirror 42 and is injected into the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 to excite ZnSSe. ZnSSe emits ultraviolet light of 340 to 400 nm corresponding to the band gap. The semiconductor multilayer film reflection mirror 41 and the back reflection mirror 43 have high reflectance with respect to the light emission of the ultraviolet light emitting phosphor layer 21,
It plays the role of an optical resonator for light emission. That is, the emitted light is repeatedly reflected between the two reflecting mirrors 41 and 43 to cause the ultraviolet light emitting phosphor layer 21 to oscillate at substantially the same wavelength. The laser light passes through the semitransparent semiconductor multilayer film reflecting mirror 41 and the transparent substrate 40 and is emitted in front of the cathode ray tube 3. This laser light sequentially excites the visible light emitting phosphor stripes 32 while scanning the phosphor screen 2. The fluorescent stripes 32 emit R, G, and B visible fluorescence to the front surface.

【0079】本実施例の表示装置を所定の条件で駆動し
たところ、実施例1と同様、高い表示品位と高輝度が得
られた。
When the display device of this embodiment was driven under predetermined conditions, high display quality and high brightness were obtained as in the first embodiment.

【0080】次に本実施例の蛍光面11の製造方法を以
下に示す。まず、サファイヤ単結晶基板上に、分子ビー
ムエピタキシャル成長法を用いて、互いに異なる組成比
のZnMnSSe薄膜を、各々が所定の膜厚になるよう
に交互に成長させた。その際、それらの組成比を、いず
れも紫外蛍光層21からの発光波長に相当するエネルギ
ーよりもそれらのバンドギャップが広く、且つお互いの
屈折率差ができるだけ大きくなるように設定した。さら
にそれらの格子定数が、紫外発光蛍光体層21を構成す
るZnSSeの格子定数とできるだけ近くなるように、
組成比を設定することが好ましい。所定の条件で、前記
ZnMnSSe膜を前記サファイヤ基板上に単結晶エピ
タキシャル成長させることができた。これらのZnMn
SSe薄膜を所定の周期交互に積層し、半導体多層膜反
射鏡41を完成した。
Next, a method for manufacturing the phosphor screen 11 of this embodiment will be described below. First, a ZnMnSSe thin film having a different composition ratio was alternately grown on a sapphire single crystal substrate by a molecular beam epitaxial growth method so as to have a predetermined film thickness. At that time, their composition ratios were set so that their band gaps were wider than the energy corresponding to the emission wavelength from the ultraviolet fluorescent layer 21 and the difference in refractive index between them was as large as possible. Furthermore, their lattice constants should be as close as possible to the lattice constant of ZnSSe forming the ultraviolet light emitting phosphor layer 21,
It is preferable to set the composition ratio. The ZnMnSSe film could be epitaxially grown as a single crystal on the sapphire substrate under predetermined conditions. These ZnMn
The SSe thin films were alternately laminated in a predetermined cycle to complete the semiconductor multilayer film reflecting mirror 41.

【0081】その上に、所定の膜厚のZnSSe単結晶
エピタキシャル膜を、同じく分子ビームエピタキシャル
成長法を用いて形成した。
A ZnSSe single crystal epitaxial film having a predetermined film thickness was formed thereon by the same molecular beam epitaxial growth method.

【0082】その上にSiO2 膜を電子ビーム蒸着法を
用いて蒸着し、続いてAl薄膜を蒸着し背面反射鏡43
を完成した。
A SiO 2 film is vapor-deposited thereon using an electron beam vapor deposition method, and then an Al thin film is vapor-deposited thereon to form a back reflector 43.
Was completed.

【0083】表面に紫外発光蛍光体面11を作製したサ
ファイヤ単結晶基板を、紫外発光蛍光体面11を内側に
してガラスバルブ12に接着し、封止して陰極線管3を
完成した。
A sapphire single crystal substrate having an ultraviolet light emitting phosphor surface 11 formed on the surface thereof was adhered to a glass bulb 12 with the ultraviolet light emitting phosphor surface 11 inside, and sealed to complete the cathode ray tube 3.

【0084】(実施例3)次に、本発明の表示装置の第
3の実施例を以下に示す。実施例1および2ではすべて
光共振器を配したレーザー構造の紫外発光蛍光体面を設
けた陰極線管を使用したが、本実施例では従来構成の陰
極線管を用いた。即ち、図2あるいは図4において紫外
発光蛍光体面11の代わりに、電子線励起により効率よ
く紫外線を発する紫外発光蛍光体粉末層を使った。適宜
その上にメタルバック層を設けた。
(Embodiment 3) Next, a third embodiment of the display device of the present invention will be described below. In each of Examples 1 and 2, a cathode ray tube provided with an ultraviolet light emitting phosphor surface of a laser structure having an optical resonator was used, but in this Example, a cathode ray tube having a conventional structure was used. That is, in place of the ultraviolet light emitting phosphor surface 11 in FIG. 2 or 4, an ultraviolet light emitting phosphor powder layer that efficiently emits ultraviolet light by electron beam excitation was used. A metal back layer was provided on it as appropriate.

【0085】紫外発光蛍光体粉末には、例えばCa
3(PO42:Tl+、BaSi25:Pb2+、(Ba、
Sr、Mg)3Si27:Pb2+、Ca2MgSi27
Ce3+、Zn2SiO4:Ti、SrB47F:Eu2+
が挙げられ、本実施例ではCa3(PO42:Tl+を用
いた。また、メタルバック層にはAl薄膜を用いた。
The ultraviolet light emitting phosphor powder may be, for example, Ca.
3 (PO 4 ) 2 : Tl + , BaSi 2 O 5 : Pb 2+ , (Ba,
Sr, Mg) 3 Si 2 O 7 : Pb 2+ , Ca 2 MgSi 2 O 7 :
Ce 3+ , Zn 2 SiO 4 : Ti, SrB 4 O 7 F: Eu 2+ and the like can be mentioned. In this example, Ca 3 (PO 4 ) 2 : Tl + was used. An Al thin film was used for the metal back layer.

【0086】電子銃16から打ち出された電子ビームは
加速され、紫外発光蛍光体粉末層に打ち込まれる。紫外
発光蛍光体粉末層からは、所定の波長の紫外光を発す
る。この紫外光は自然放出光で、陰極線管3の前方に拡
散的に出射される。その光は投射レンズで集光、平行光
束化後拡大され、反射鏡5、6を介して、蛍光スクリー
ン2に投射される。この紫外光が、蛍光スクリーン2上
を走査しながら、その蛍光体ストライプ32を順次励起
する。蛍光体ストライプ32からR、G、Bの可視蛍光
が前面に放射される。
The electron beam emitted from the electron gun 16 is accelerated and injected into the ultraviolet light emitting phosphor powder layer. The ultraviolet light emitting phosphor powder layer emits ultraviolet light having a predetermined wavelength. This ultraviolet light is spontaneous emission light and is diffusely emitted in front of the cathode ray tube 3. The light is condensed by a projection lens, converted into a parallel light flux, expanded, and projected onto the fluorescent screen 2 via the reflecting mirrors 5 and 6. This ultraviolet light sequentially excites the phosphor stripes 32 while scanning the phosphor screen 2. The fluorescent stripes 32 emit R, G, and B visible fluorescence to the front surface.

【0087】本実施例の表示装置を所定の条件で駆動し
たところ、直視型の大画面表示ができた。但し、輝度は
実施例1および2には及ばなかった。
When the display device of the present example was driven under predetermined conditions, a direct-viewing type large screen display was possible. However, the brightness did not reach that of Examples 1 and 2.

【0088】(実施例4)次に、本願発明の表示装置の
第4の実施例を以下に示す。本実施例では、陰極線管の
代わりに、マトリックス駆動型の薄膜EL素子を用い
た。図5は本実施例の1画素部分の断面図である。ガラ
ス基板44上に厚さ200nm程度のITO製の透明導
電膜45が蒸着されており、その上に厚さ300nm程
度のBaTa 26製の絶縁膜46がrfスパッタ法によ
り蒸着されている。その上に、発光中心としてGd3+
数モル%含有させた、厚さ800nm程度のZnF2
GdFxよりなる紫外発光蛍光体層47が電子ビーム蒸
着法により設けられており、その上に再び厚さ300n
m程度のBaTa26製の絶縁膜48と、厚さ200n
m程度のAl製の対向電極49とが設けられている。
(Embodiment 4) Next, the display device of the present invention will be described.
A fourth embodiment will be shown below. In this embodiment, the cathode ray tube
Instead, use matrix-driven thin film EL devices
It was FIG. 5 is a sectional view of one pixel portion of this embodiment. Gala
A transparent conductive film made of ITO with a thickness of about 200 nm on the substrate 44.
Electrolytic film 45 is vapor-deposited, and the thickness is about 300 nm.
Degree BaTa 2O6The insulating film 46 made by the rf sputtering method
It is vapor-deposited. On top of that, Gd is used as the emission center.3+To
ZnF with a thickness of about 800 nm containing several mol%2:
GdFxThe ultraviolet light emitting phosphor layer 47 made of
It is provided by the deposition method, and the thickness of 300n is again provided on it.
BaTa of about m2O6Made insulating film 48 and thickness 200n
A counter electrode 49 made of Al and having a size of about m is provided.

【0089】このEL素子を所定の条件で駆動したとこ
ろ、紫外発光蛍光体層47から効率よく310nm付近
の紫外光を発した。この紫外光は、ガラス基板44を透
過して、その前面に配置した投射レンズで集光、平行光
束化後拡大され、反射鏡5、6を介して、蛍光スクリー
ン2に投射された。
When this EL device was driven under predetermined conditions, the ultraviolet light emitting phosphor layer 47 efficiently emitted ultraviolet light in the vicinity of 310 nm. This ultraviolet light was transmitted through the glass substrate 44, condensed by a projection lens arranged in front of the glass substrate 44, converted into a parallel light flux, expanded, and projected onto the fluorescent screen 2 via the reflecting mirrors 5 and 6.

【0090】紫外光が、蛍光スクリーン2上を走査しな
がら、その可視発光蛍光体ストライプ32を順次励起し
た。可視発光蛍光体ストライプ32からR、G、Bの可
視蛍光が前面に放射された。
Ultraviolet light sequentially excited the visible light emitting phosphor stripes 32 while scanning the phosphor screen 2. Visible fluorescence of R, G, B was radiated to the front from the visible light emitting phosphor stripe 32.

【0091】以上の実施例はすべて背面から蛍光スクリ
ーンに紫外光を照射し発光させる構成例を示したが、陰
極線管、薄膜EL素子等の紫外光放射源を蛍光スクリー
ンの前面に配し、前面から蛍光スクリーンの蛍光体を励
起する構成をとってもよい。
In all of the above embodiments, the fluorescent screen is irradiated with ultraviolet light from the rear surface to emit light. However, an ultraviolet light source such as a cathode ray tube or a thin film EL element is arranged on the front surface of the fluorescent screen, May excite the phosphor of the fluorescent screen.

【0092】(実施例5)次に、本願発明の表示装置の
第5の実施例を以下に示す。図6は本実施例の表示装置
の断面図である。本実施例の構成で前述した実施例と異
なる主な点は、蛍光スクリーン2の紫外励起光照射側の
所定の位置に、光遮蔽板50が設けられていることと、
R、G、B各々の発光色に対応して紫外光を放つ3本の
陰極線管51、52、53が水平に設けられていること
である。
(Fifth Embodiment) Next, a fifth embodiment of the display device of the present invention will be described below. FIG. 6 is a sectional view of the display device of this embodiment. The main difference of the configuration of the present embodiment from the above-described embodiments is that the light shielding plate 50 is provided at a predetermined position on the ultraviolet excitation light irradiation side of the fluorescent screen 2.
That is, three cathode ray tubes 51, 52, 53 that emit ultraviolet light corresponding to the respective R, G, B emission colors are provided horizontally.

【0093】図7に光遮蔽板50及びスクリーン2付近
の拡大図を示す。光遮蔽板50には所定の間隔で複数の
紫外光透過部54が設けられている。また、蛍光スクリ
ーン2には、R、G、B3種類の可視発光蛍光体ドット
55、56、57が、各々の紫外光透過部54毎に一組
づつ対応して設けられている。
FIG. 7 shows an enlarged view of the vicinity of the light shielding plate 50 and the screen 2. The light shielding plate 50 is provided with a plurality of ultraviolet light transmitting portions 54 at predetermined intervals. Further, the fluorescent screen 2 is provided with R, G, and B types of visible light emitting phosphor dots 55, 56, and 57, one set for each ultraviolet light transmitting portion 54.

【0094】本実施例では、光遮蔽板50の基体材料と
して陰極線管からの紫外光を透過するガラス板を用い
た。その上に紫外光に対して耐光性のある黒色塗料を、
紫外光透過部54を除いた場所に印刷して光遮蔽板50
を完成した。
In this embodiment, a glass plate which transmits the ultraviolet light from the cathode ray tube is used as the base material of the light shielding plate 50. On top of that, a black paint that is resistant to ultraviolet light,
The light shielding plate 50 is printed by printing in a place excluding the ultraviolet light transmitting portion 54.
Was completed.

【0095】蛍光体ドット55、56、57を形成する
蛍光体材料には、実施例1と同じものを用いた。これら
の作成には、実施例1と同様に印刷法を用いた。
The same phosphor material as that used in Example 1 was used for forming the phosphor dots 55, 56 and 57. The printing method was used in the same manner as in Example 1 to create these.

【0096】紫外光透過部の適切な相対位置に所定の蛍
光体ドットを形成するため、光遮蔽板50及び蛍光体ド
ットの版下を作成する際、コンピュータを用いて各陰極
線管からの光束の光路を計算して最適設計を行った。
In order to form a predetermined phosphor dot at an appropriate relative position of the ultraviolet light transmitting portion, a computer is used to prepare the light flux from each cathode ray tube when the light shield plate 50 and the phosphor dot are prepared. The optical path was calculated and the optimum design was performed.

【0097】陰極線管51、52、53には、各々R、
G、Bの輝度信号に応じた出力の紫外レーザー光が放射
されるような画像信号が入力される。
The cathode ray tubes 51, 52 and 53 respectively have R,
An image signal that emits an ultraviolet laser beam having an output corresponding to the G and B luminance signals is input.

【0098】各陰極線管51、52、53から放射され
た励起光は、それらの前面に配置した投射レンズにより
拡大される。励起光の光束は光遮蔽板に設けられた紫外
光透過部の場所のみこれを透過して、各々の陰極線管5
1〜53に対応した発光色の可視発光蛍光体ドット55
〜57に投射され蛍光を発する。光遮蔽板の各紫外光透
過部には各陰極線管のフェースプレート上の所定の発光
点から放射された光束が到達し、紫外光透過部を透過後
もその光路を直進し蛍光スクリーン面に到達するが、各
陰極線管は異なる位置に設置されているので、ある紫外
光透過部に到達する各光束の入射方向と角度はそれぞれ
異なる。従って各光束の蛍光スクリーン面到達位置も各
々異なる。可視発光蛍光体ドット55、56、57は、
各々R、G、B用陰極線管51、52、53からの励起
光の光束58、59、60のみが照射されるような相対
位置に設置されているので、例えばR用陰極線管51か
らの紫外励起光の光束58はR発光蛍光体ドット55だ
けを選択的に照射し、G発光蛍光体ドット56およびB
発光蛍光体ドット57に照射されることはない。
The excitation light emitted from each cathode ray tube 51, 52, 53 is magnified by the projection lens arranged in front of them. The luminous flux of the excitation light is transmitted through only the ultraviolet light transmitting portion provided on the light shielding plate, and each of the cathode ray tubes 5
Visible luminescent phosphor dots 55 of luminescent colors corresponding to 1 to 53
It is projected to ~ 57 and emits fluorescence. The light flux emitted from a predetermined light emitting point on the face plate of each cathode ray tube reaches each ultraviolet light transmitting portion of the light shielding plate, and after passing through the ultraviolet light transmitting portion, goes straight along its optical path and reaches the fluorescent screen surface. However, since each cathode ray tube is installed at a different position, the incident direction and angle of each light flux reaching a certain ultraviolet light transmitting portion are different. Therefore, the position where each light flux reaches the fluorescent screen surface also differs. The visible light emitting phosphor dots 55, 56, 57 are
Since the R, G, and B cathode ray tubes 51, 52, and 53 are installed at relative positions so that only the luminous fluxes 58, 59, and 60 of the excitation light are emitted, for example, ultraviolet rays from the R cathode ray tube 51 are used. The luminous flux 58 of the excitation light selectively irradiates only the R light emitting phosphor dots 55, and the G light emitting phosphor dots 56 and B are emitted.
The light emitting phosphor dots 57 are not irradiated.

【0099】上述した実施例1〜4では、例えば熱ドリ
フト等の原因により励起光の光束の照射位置が経時的に
変化し、例えば赤色信号に対応した励起光が青色蛍光体
ストライプに照射されてしまうなどといったいわゆる色
ずれをおこす可能性もあったが、本実施例の表示装置で
は、例えばR陰極線管51からの励起光は必ずR蛍光体
ドット55にしか照射されないので、そういった心配が
ない。即ち、本実施例により、さらに色ずれのない蛍光
スクリーンを得ることができる。
In the first to fourth embodiments described above, the irradiation position of the luminous flux of the excitation light changes with time due to, for example, the thermal drift, and the blue phosphor stripe is irradiated with the excitation light corresponding to the red signal, for example. There is a possibility of causing a so-called color shift such as being lost, but in the display device of the present embodiment, for example, the excitation light from the R cathode ray tube 51 always irradiates only the R phosphor dot 55, so there is no such concern. That is, according to the present embodiment, it is possible to obtain a fluorescent screen having no further color shift.

【0100】本実施例の表示装置を所定の条件で駆動し
たところ、前記実施例同様、高品位、高輝度であって、
さらには経時的な色ずれのない大画面ディスプレイを実
現することができた。
When the display device of this example was driven under predetermined conditions, it was of high quality and high brightness as in the above examples.
Furthermore, we were able to realize a large-screen display with no color shift over time.

【0101】なお、本実施例では、励起光の放射源とし
て陰極線管をR、G、Bに対応してそれぞれ1本づつ計
3本設けたが、例えばさらに輝度を上げたい場合など、
各色毎に複数本、例えば2本づつ計6本の陰極線管を設
けてもよい。
In the present embodiment, three cathode ray tubes, one for each of R, G, and B, are provided as a radiation source of the excitation light, but a total of three cathode ray tubes are provided.
A plurality of cathode ray tubes, for example, two cathode ray tubes in total, may be provided for each color, that is, a total of six cathode ray tubes.

【0102】また、光遮蔽版50の材料として、上記実
施例以外に、例えば金属板に所定の間隔で孔を開けたも
の等であってもよい。
Further, as the material of the light shielding plate 50, other than the above-mentioned embodiment, for example, a metal plate having holes at predetermined intervals may be used.

【0103】また、本実施例では陰極線管は水平一列に
配したが、必用に応じて例えば3角形状等他の配列にし
てもよい。
Further, although the cathode ray tubes are arranged in one horizontal line in this embodiment, they may be arranged in another arrangement such as a triangular shape if necessary.

【0104】次に、本実施例の表示装置に用いた蛍光ス
クリーン2の製造方法について説明する。光遮蔽板自体
あるいはそれに相当するマスクを、蛍光スクリーン面か
ら所定の位置に露光マスクとして設置した。この露光マ
スクと蛍光スクリーンとの相対位置は、本実施例の表示
装置において蛍光スクリーンと光遮蔽板がなす相対位置
と等しい。
Next, a method of manufacturing the fluorescent screen 2 used in the display device of this embodiment will be described. The light shield plate itself or a mask corresponding thereto was placed as an exposure mask at a predetermined position from the fluorescent screen surface. The relative position between the exposure mask and the fluorescent screen is equal to the relative position between the fluorescent screen and the light shielding plate in the display device of this embodiment.

【0105】蛍光スクリーンの各色可視発光蛍光体ドッ
トの露光光源として、紫外線源自体、あるいは、同等の
光束を蛍光スクリーンに照射する光源を、所定の投射レ
ンズと共にそれぞれ所定の位置に設置した。即ち、各々
の露光光源からの光束の、少なくとも露光用マスクの紫
外光透過部を経て蛍光スクリーンに至るまでの光跡が、
完成した表示装置における光跡と同じ相対位置を通るよ
うに、露光光源の位置を決めた。
As an exposure light source for the visible light emitting phosphor dots of each color of the fluorescent screen, an ultraviolet light source itself or a light source for irradiating the fluorescent screen with an equivalent light flux was set at a predetermined position together with a predetermined projection lens. That is, the light trace of the light flux from each exposure light source to at least the fluorescent screen through the ultraviolet light transmitting portion of the exposure mask,
The position of the exposure light source was determined so as to pass through the same relative position as the light trace in the completed display device.

【0106】まず、R用可視発光蛍光体の粉末Rを混在
させた感光性ネガレジストを蛍光スクリーン上に塗布し
た。次にR用の露光光源rを駆動し、露光光源rから紫
外光を放射させた。前記紫外光は投射レンズにより拡大
され、その光束は、光遮蔽板に設けられた紫外光透過部
に照射され、紫外光透過部の領域のみ透過して蛍光スク
リーン面に紫外光透過部と同じ形の光束として投影され
る。紫外光が投影された場所のみ感光性ネガレジストが
感光し、蛍光スクリーン上に紫外光透過部と同じ形の可
視発光蛍光体ドットrが固着された。その後蛍光スクリ
ーンを洗浄し、それ以外の場所に付着していた可視発光
蛍光体粉末Rを除去した。
First, a photosensitive negative resist in which the powder R of the visible light emitting phosphor for R was mixed was applied on the fluorescent screen. Next, the exposure light source r for R was driven to emit ultraviolet light from the exposure light source r. The ultraviolet light is expanded by the projection lens, the light flux is irradiated to the ultraviolet light transmitting portion provided in the light shielding plate, only the region of the ultraviolet light transmitting portion is transmitted and the fluorescent screen surface has the same shape as the ultraviolet light transmitting portion. Is projected as a luminous flux of. The photosensitive negative resist was exposed only at the place where the ultraviolet light was projected, and the visible light emitting phosphor dots r having the same shape as the ultraviolet light transmitting portion were fixed on the fluorescent screen. After that, the fluorescent screen was washed to remove the visible light emitting phosphor powder R attached to other places.

【0107】次にG用可視発光蛍光体の粉末Gを混在さ
せた感光性ネガレジストを、上記蛍光スクリーン上に塗
布し、異なる露光光源gを発光させた。紫外光は投射レ
ンズにより拡大され、その光束は、光遮蔽板に設けられ
た紫外光透過部に照射され、紫外光透過部の領域のみ透
過して、蛍光スクリーン面の可視発光蛍光体ドットrと
は異なる場所に、紫外光透過部と同じ形の光束として投
影される。紫外光が投影された場所のみ感光性ネガレジ
ストが感光し、紫外光透過部と同じ形の可視発光蛍光体
ドットgが固着された。その後蛍光スクリーンを洗浄
し、それ以外の場所に付着していた可視発光蛍光体粉末
Gを除去した。
Next, a photosensitive negative resist in which the powder G of the visible light emitting phosphor for G was mixed was coated on the above fluorescent screen, and different exposure light sources g were caused to emit light. The ultraviolet light is expanded by the projection lens, and its light flux is applied to the ultraviolet light transmitting portion provided on the light shielding plate and is transmitted only to the ultraviolet light transmitting portion area, and the visible light emitting phosphor dots r on the fluorescent screen surface are formed. Is projected as a light beam having the same shape as that of the ultraviolet light transmitting portion on a different place. The photosensitive negative resist was exposed only at the place where the ultraviolet light was projected, and the visible light emitting phosphor dots g having the same shape as the ultraviolet light transmitting portion were fixed. After that, the fluorescent screen was washed to remove the visible light emitting phosphor powder G attached to other places.

【0108】同様のプロセスをB用可視発光蛍光体粉末
に対しても行い、可視発光蛍光体ドットbを作製した。
The same process was carried out on the visible-light-emitting phosphor powder for B to prepare visible-light-emitting phosphor dots b.

【0109】次に、カーボン粉末を混在させた感光性ポ
ジレジストを、蛍光スクリーン上に塗布した。全部の露
光光源を駆動させ、すべての可視発光蛍光体ドットr、
g、bの位置に紫外線を照射した。その後蛍光スクリー
ンを洗浄し、各可視発光蛍光体ドットの上に覆われてい
たカーボン粉末を除去し、各蛍光体ドット以外の場所に
ブラックマトリクス層を形成することができた。以上の
方法で蛍光スクリーンを完成した。
Next, a photosensitive positive resist mixed with carbon powder was applied on the fluorescent screen. Driving all exposure light sources, all visible light emitting phosphor dots r,
Ultraviolet rays were irradiated to the positions of g and b. After that, the fluorescent screen was washed to remove the carbon powder covered on each visible light emitting phosphor dot, and the black matrix layer could be formed at a place other than each phosphor dot. The fluorescent screen was completed by the above method.

【0110】なお上記工程を経た後、必要に応じて加熱
法等所定の方法で、蛍光体ドット、ブラックマトリクス
中に残存する樹脂成分を取り除いてもよい。
After the above steps, the resin component remaining in the phosphor dots and the black matrix may be removed by a predetermined method such as a heating method, if necessary.

【0111】(実施例6)次に本願発明の第6の実施例
を示す。図8は本実施例の蛍光スクリーンの断面図であ
る。スクリーン基体31の背面側に耐光性のある紫外カ
ットフィルター61が設けられている。紫外カットフィ
ルター材料としては、適当な無機あるいは有機の何れの
材料でも適応できる。その上に、可視発光蛍光体ドット
62とブラックマトリクス33が設けられている。さら
にその上に可視光反射層63が設けられている。
(Sixth Embodiment) Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a cross-sectional view of the fluorescent screen of this example. An ultraviolet cut filter 61 having light resistance is provided on the back side of the screen base 31. As the ultraviolet cut filter material, any suitable inorganic or organic material can be applied. The visible light emitting phosphor dots 62 and the black matrix 33 are provided thereon. Further, a visible light reflection layer 63 is provided on it.

【0112】紫外カットフィルター61には、可視発光
蛍光体ドット62の可視発光64は透過し、紫外線源か
らの紫外励起光65は吸収する材料を用いた。また、可
視光反射鏡は63には、紫外励起光65に対して透明な
ガラス基板上に、紫外励起光65は透過するが、R、
G、Bの各可視発光64は反射する所定の誘電体多層膜
を蒸着したものを用いた。
The ultraviolet cut filter 61 is made of a material that transmits the visible light emission 64 of the visible light emitting phosphor dots 62 and absorbs the ultraviolet excitation light 65 from the ultraviolet light source. Further, the visible light reflecting mirror 63 transmits the ultraviolet excitation light 65 on a glass substrate transparent to the ultraviolet excitation light 65, but R,
The visible light emission 64 of G and B was obtained by depositing a predetermined dielectric multilayer film that reflects light.

【0113】本実施例により以下の効果を得ることがで
きた。即ち、紫外カットフィルターは紫外励起光65を
遮るので、蛍光スクリーン前面に有害な紫外光が漏洩す
ることがなくなった。また、可視光反射層63が蛍光体
ドット62の可視発光64を前面に反射するため、輝度
が向上した。
The following effects can be obtained by this embodiment. That is, since the ultraviolet cut filter blocks the ultraviolet excitation light 65, harmful ultraviolet light does not leak to the front surface of the fluorescent screen. Further, since the visible light reflection layer 63 reflects the visible light emission 64 of the phosphor dots 62 to the front surface, the brightness is improved.

【0114】なお、紫外カットフィルター61を設ける
代わりに、スクリーン基体31自体、紫外光を透過しな
い材料を用いてもよい。また、紫外カットフィルター6
1の代わりに、R、G、Bの各可視発光64は透過する
が、紫外励起光65は反射する所定の誘電体多層膜製の
紫外光反射鏡を用いてもよい。本紫外光反射鏡63は、
蛍光スクリーン前面に紫外光を漏洩させないと同時に、
蛍光層あるいは蛍光体ドットで吸収しきれなかった紫外
光を反射して再びそれに入射させるため、輝度が向上す
る。
Instead of providing the ultraviolet cut filter 61, the screen substrate 31 itself may be made of a material that does not transmit ultraviolet light. Also, UV cut filter 6
Instead of 1, an ultraviolet light reflecting mirror made of a predetermined dielectric multilayer film that transmits each visible light emission 64 of R, G, B but reflects the ultraviolet excitation light 65 may be used. The ultraviolet light reflecting mirror 63 is
At the same time do not let the ultraviolet light leak to the front of the fluorescent screen,
The ultraviolet light, which is not completely absorbed by the fluorescent layer or the fluorescent dots, is reflected and made incident on the ultraviolet light again, so that the brightness is improved.

【0115】[0115]

【発明の効果】本願発明は、紫外光を面状で発する紫外
線源、前記紫外線源から発する前記紫外光の通過方向に
配置した投射レンズ、前記投射レンズを通過した前記紫
外光が照射し可視光を発する可視発光蛍光体を含む蛍光
体層を備えた蛍光スクリーンを具備した表示装置である
ため、低コストで大画面化が容易なうえに、スクリーン
自体が発光するため表示品位が高い。また、紫外励起光
の放射源からの紫外光を効率よく蛍光スクリーンに照射
できるため、あるいは前記紫外光を効率よく可視発光に
変換できるため、高輝度、低消費電力の大画面ディスプ
レイが実現できた。併せて、本願発明により経時的な色
ずれのない蛍光スクリーンを得ることができた。また、
容易に色ずれの無い蛍光スクリーンを製造することがで
きた。また、有害な紫外光は表示装置の外部に漏洩しな
い。
Industrial Applicability The present invention is directed to an ultraviolet light source that emits ultraviolet light in the form of a plane, a projection lens that is arranged in the passage direction of the ultraviolet light that is emitted from the ultraviolet light source, and the visible light that is irradiated by the ultraviolet light that has passed through the projection lens. Since it is a display device including a phosphor screen having a phosphor layer containing a visible light emitting phosphor that emits light, it is easy to increase the screen size at low cost, and the screen itself emits light, so that the display quality is high. In addition, since a fluorescent screen can be efficiently irradiated with ultraviolet light from a radiation source of ultraviolet excitation light, or the ultraviolet light can be efficiently converted into visible light emission, a large-screen display with high brightness and low power consumption can be realized. . In addition, according to the invention of the present application, it was possible to obtain a fluorescent screen having no color shift with time. Also,
It was possible to easily manufacture a fluorescent screen without color shift. In addition, harmful ultraviolet light does not leak to the outside of the display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の表示装置の一実施例の構成を説明する
断面図
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an embodiment of a display device of the present invention.

【図2】本発明の表示装置の一実施例に用いた陰極線管
の断面図
FIG. 2 is a sectional view of a cathode ray tube used in an embodiment of the display device of the present invention.

【図3】本発明の表示装置の一実施例に用いた蛍光スク
リーンの斜視図
FIG. 3 is a perspective view of a fluorescent screen used in an embodiment of the display device of the present invention.

【図4】本発明の表示装置の別の実施例に用いた陰極線
管の断面図
FIG. 4 is a sectional view of a cathode ray tube used in another embodiment of the display device of the present invention.

【図5】本発明の表示装置の他の実施例に用いた薄膜E
L素子の断面図
FIG. 5 is a thin film E used in another embodiment of the display device of the present invention.
Sectional view of L element

【図6】本発明の表示装置の一実施例の構成を説明する
断面図
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the configuration of an embodiment of a display device of the present invention.

【図7】本発明の表示装置の別の実施例に用いた光遮蔽
板及び蛍光スクリーン付近の拡大図
FIG. 7 is an enlarged view of the vicinity of a light shielding plate and a fluorescent screen used in another embodiment of the display device of the present invention.

【図8】本発明の表示装置の他の実施例に用いた蛍光ス
クリーンの断面図
FIG. 8 is a sectional view of a fluorescent screen used in another embodiment of the display device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 蛍光スクリーン 3、51、52、53 陰極線管 4 投射レンズ 5、6 反射鏡 11 紫外発光蛍光体面 17 フェースプレート 21 紫外発光蛍光体層 22 多層膜反射鏡 23 金属反射鏡 31 スクリーン基体 32 可視発光蛍光体ストライプ 33 ブラックマトリクス 40 透明基板 41 半導体多層膜反射鏡 43 背面反射鏡 45 透明導電膜 46、48 絶縁膜 47 紫外発光蛍光体層 49 対向電極 50 光遮蔽板 54 紫外光透過部 55、56、57、62 可視発光蛍光体ドット 58、59、60 光束 61 紫外カットフィルター 63 可視光反射鏡 64 可視発光 65 紫外励起光 2 Fluorescent Screen 3, 51, 52, 53 Cathode Ray Tube 4 Projection Lens 5, 6 Reflector 11 UV Emitting Phosphor Surface 17 Face Plate 21 UV Emitting Phosphor Layer 22 Multilayer Reflector 23 Metal Reflector 31 Screen Base 32 Visible Fluorescent Body stripe 33 Black matrix 40 Transparent substrate 41 Semiconductor multilayer film reflecting mirror 43 Back reflecting mirror 45 Transparent conductive film 46, 48 Insulating film 47 Ultraviolet light emitting phosphor layer 49 Counter electrode 50 Light shielding plate 54 Ultraviolet light transmitting part 55, 56, 57 , 62 visible light emitting phosphor dots 58, 59, 60 luminous flux 61 ultraviolet cut filter 63 visible light reflecting mirror 64 visible light emission 65 ultraviolet excitation light

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】紫外光を面状で発する紫外線源、前記紫外
線源から発する前記紫外光の通過方向に配置した投射レ
ンズ、前記投射レンズを通過した前記紫外光が照射し可
視光を発する可視発光蛍光体を含む蛍光体層を備えた蛍
光スクリーンを具備したことを特徴とする表示装置。
1. An ultraviolet light source that emits ultraviolet light in a planar form, a projection lens that is arranged in the passage direction of the ultraviolet light that is emitted from the ultraviolet light source, and a visible light emission that emits visible light when the ultraviolet light that has passed through the projection lens is irradiated. A display device comprising a phosphor screen having a phosphor layer containing a phosphor.
【請求項2】投射レンズと蛍光スクリーンとの間に、紫
外光を透過する部分を有した光遮蔽板を設けたことを特
徴とする、請求項1記載の表示装置。
2. The display device according to claim 1, further comprising a light shielding plate having a portion that transmits ultraviolet light, provided between the projection lens and the fluorescent screen.
【請求項3】蛍光スクリーンの蛍光体層の投射レンズ側
の反対面に、紫外カットフィルターまたは紫外光反射鏡
を設置したことを特徴とする、請求項1または2何れか
に記載の表示装置。
3. The display device according to claim 1, wherein an ultraviolet cut filter or an ultraviolet light reflecting mirror is provided on the surface of the phosphor layer of the fluorescent screen opposite to the projection lens side.
【請求項4】蛍光スクリーンと投射レンズとの間に、可
視光反射鏡を設置したことを特徴とする、請求項1〜3
何れかに記載の表示装置。
4. A visible light reflecting mirror is installed between the fluorescent screen and the projection lens.
The display device according to any one of claims.
【請求項5】紫外線源が、電子線励起で紫外光を発する
紫外発光蛍光体を面状に具備した陰極線管であることを
特徴とする、請求項1記載の表示装置。
5. The display device according to claim 1, wherein the ultraviolet ray source is a cathode ray tube having an ultraviolet light emitting phosphor which emits ultraviolet light when excited by an electron beam, in a planar manner.
【請求項6】陰極線管が、紫外発光蛍光体を具備した面
状発光層と、前記発光層の少なくとも一方の面に配設し
た反射鏡を有することを特徴とする、請求項5記載の表
示装置。
6. The display according to claim 5, wherein the cathode ray tube has a planar light emitting layer having an ultraviolet light emitting phosphor and a reflecting mirror disposed on at least one surface of the light emitting layer. apparatus.
【請求項7】紫外線源が、紫外線を電界発光で発する紫
外発光蛍光体を含む紫外発光層と、前記紫外発光層の少
なくとも一方の面に備えた誘電体層と、前記紫外発光層
及び前記誘電体層を介して対向した電極対を具備し、前
記電極対の少なくとも何れか一方が透明または半透明で
ある電界発光素子であることを特徴とする、請求項1記
載の表示装置。
7. An ultraviolet light source, wherein the ultraviolet light source includes an ultraviolet light emitting phosphor that emits ultraviolet light by electroluminescence, a dielectric layer provided on at least one surface of the ultraviolet light emitting layer, the ultraviolet light emitting layer and the dielectric layer. 2. The display device according to claim 1, comprising an electrode pair facing each other with a body layer interposed therebetween, and at least one of the electrode pair being a transparent or semitransparent electroluminescent element.
【請求項8】紫外発光蛍光体が、ダイヤモンド、炭化シ
リコン、III−V族化合物半導体、IIb−VI族化合物半導
体、IIa−VI族化合物半導体、カルコパイライト化合物
及びマンガンカルコゲナイト化合物の群から選ばれる少
なくとも1種類であることを特徴とする、請求項5〜7
何れかに記載の表示装置。
8. The ultraviolet light emitting phosphor is selected from the group consisting of diamond, silicon carbide, III-V group compound semiconductors, IIb-VI group compound semiconductors, IIa-VI group compound semiconductors, chalcopyrite compounds and manganese chalcogenite compounds. It is at least 1 type which is characterized by the above-mentioned.
The display device according to any one of claims.
【請求項9】紫外発光蛍光体が、ドナー性不純物または
アクセプター性不純物を含有することを特徴とする、請
求項8記載の表示装置。
9. The display device according to claim 8, wherein the ultraviolet light emitting phosphor contains a donor impurity or an acceptor impurity.
【請求項10】紫外発光蛍光体が、燐酸塩化合物、珪酸
塩化合物、酸化イットリウム化合物、酸化タングステン
化合物、酸化アルミニウム化合物、希土類酸化物、IIa
−VII2化合物、IIb−VII2化合物及びハロゲン化アルカ
リの群から選ばれる少なくとも1種類であることを特徴
とする、請求項5〜7何れかに記載の表示装置。
10. An ultraviolet light emitting phosphor comprising a phosphate compound, a silicate compound, a yttrium oxide compound, a tungsten oxide compound, an aluminum oxide compound, a rare earth oxide, IIa.
The display device according to claim 5, wherein the display device is at least one selected from the group consisting of —VII 2 compounds, IIb-VII 2 compounds, and alkali halides.
【請求項11】紫外発光蛍光体が、f電子殻を有するラ
ンタノイドイオンまたはアクチノイドイオンの何れかの
発光中心不純物を含有することを特徴とする、請求項8
または10何れかに記載の表示装置。
11. The ultraviolet-emitting phosphor contains an emission center impurity of either a lanthanoid ion having an f-electron shell or an actinide ion.
Or the display device according to any one of 10.
【請求項12】発光中心不純物がガドリニウムイオンで
あることを特徴とする、請求項11記載の表示装置。
12. The display device according to claim 11, wherein the emission center impurities are gadolinium ions.
【請求項13】紫外光を面状で発する紫外線源、前記紫
外線源から発する前記紫外光の通過方向に配置した投射
レンズ、前記投射レンズを通過した前記紫外光が照射し
可視光を発する可視発光蛍光体を含む蛍光体層をスクリ
ーンに具備した蛍光スクリーン、及び前記投射レンズと
前記蛍光スクリーンとの間に前記投射レンズを通過した
前記紫外光が通過する部分を有した光遮蔽板を具備した
表示装置の前記蛍光スクリーンであって、 前記投射レンズを介した前記紫外線源から発した前記紫
外線が、前記蛍光スクリーン上に照射する照射領域に対
応する位置にパタ−ン露光光源を設置し、 前記光遮蔽板をマスクとし、 前記可視発光蛍光体を含むネガレジストを塗布した前記
スクリーンに照射露光する露光工程、 前記露光工程後前記ネガレジストを現像し、前記スクリ
ーンに前記可視発光蛍光体のパタ−ンを作成する工程を
含むことを特徴とする、表示装置に用いる蛍光スクリー
ンの製造方法。
13. An ultraviolet light source that emits ultraviolet light in a planar shape, a projection lens that is arranged in a passage direction of the ultraviolet light that is emitted from the ultraviolet light source, and a visible light emission that emits visible light when the ultraviolet light that has passed through the projection lens is irradiated A display comprising a phosphor screen having a phosphor layer containing a phosphor on the screen, and a light shielding plate having a portion between the projection lens and the phosphor screen, through which the ultraviolet light passing through the projection lens passes. The fluorescent screen of the apparatus, wherein the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source through the projection lens is provided with a pattern exposure light source at a position corresponding to an irradiation area on the fluorescent screen, An exposure step of irradiating and exposing the screen coated with the negative resist containing the visible light emitting phosphor using the shielding plate as a mask, and the negative resist after the exposure step. And a step of developing a pattern of the visible light-emitting phosphor on the screen, and manufacturing the phosphor screen for use in a display device.
【請求項14】露光光源が、紫外線源であることを特徴
とする、請求項14記載の表示装置に用いる蛍光スクリ
ーンの製造方法。
14. The method for manufacturing a fluorescent screen used in a display device according to claim 14, wherein the exposure light source is an ultraviolet light source.
JP4240317A 1992-09-09 1992-09-09 Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor Pending JPH0689075A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4240317A JPH0689075A (en) 1992-09-09 1992-09-09 Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor
EP19930114426 EP0587145A3 (en) 1992-09-09 1993-09-08 Display apparatus and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4240317A JPH0689075A (en) 1992-09-09 1992-09-09 Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0689075A true JPH0689075A (en) 1994-03-29

Family

ID=17057672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4240317A Pending JPH0689075A (en) 1992-09-09 1992-09-09 Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0689075A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09279140A (en) * 1996-04-09 1997-10-28 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> Phosphor for low-speed electron beam excitation and method for reducing resistance of the phosphor
KR100496278B1 (en) * 1998-09-30 2005-09-09 삼성에스디아이 주식회사 Target for laser CRT
JP2006079873A (en) * 2004-09-08 2006-03-23 National Institute For Materials Science Deep UV solid state light emitting device
US7126975B2 (en) 2000-03-03 2006-10-24 Canon Kabushiki Kaisha Electron-beam excitation laser
JP2009098620A (en) * 2007-09-28 2009-05-07 Bekku Kk Laminated body and light emitting structure
WO2011027881A1 (en) * 2009-09-07 2011-03-10 国立大学法人名古屋工業大学 Device for emitting vacuum ultraviolet light
US8017037B2 (en) 2007-03-26 2011-09-13 Nec Lighting, Ltd Fluorescent substance and light emitting device using the same
US9255693B2 (en) 2011-01-31 2016-02-09 Nec Corporation Fluorescent screen and image display device comprising same
CN113035054A (en) * 2021-04-13 2021-06-25 深圳市传光显示技术有限公司 Outdoor low-power consumption display screen with intelligent lighting system

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09279140A (en) * 1996-04-09 1997-10-28 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> Phosphor for low-speed electron beam excitation and method for reducing resistance of the phosphor
KR100496278B1 (en) * 1998-09-30 2005-09-09 삼성에스디아이 주식회사 Target for laser CRT
US7126975B2 (en) 2000-03-03 2006-10-24 Canon Kabushiki Kaisha Electron-beam excitation laser
JP2006079873A (en) * 2004-09-08 2006-03-23 National Institute For Materials Science Deep UV solid state light emitting device
US8017037B2 (en) 2007-03-26 2011-09-13 Nec Lighting, Ltd Fluorescent substance and light emitting device using the same
JP2009098620A (en) * 2007-09-28 2009-05-07 Bekku Kk Laminated body and light emitting structure
WO2011027881A1 (en) * 2009-09-07 2011-03-10 国立大学法人名古屋工業大学 Device for emitting vacuum ultraviolet light
JPWO2011027881A1 (en) * 2009-09-07 2013-02-04 国立大学法人 名古屋工業大学 Vacuum ultraviolet light emitting device
US9255693B2 (en) 2011-01-31 2016-02-09 Nec Corporation Fluorescent screen and image display device comprising same
CN113035054A (en) * 2021-04-13 2021-06-25 深圳市传光显示技术有限公司 Outdoor low-power consumption display screen with intelligent lighting system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5473396A (en) Display apparatus and method of making the same
JP3531546B2 (en) Photoluminescence display device and control method of luminescence matrix
US5418377A (en) Pixelized phosphor
JPS5950195B2 (en) luminous screen
US5302423A (en) Method for fabricating pixelized phosphors
WO1997048138A2 (en) Visible light emitting devices including uv-light emitting diode and uv-excitable, visible light emitting phosphor, and method of producing such devices
JP2001185764A (en) Light-emitting diode device that generates white light by converting all of the primary radiation emitted from the light-emitting structure of the light-emitting diode device into fluorescent light
CN1321432C (en) Display device
KR20080063104A (en) Backlighting unit including fluorescent film structure
JPH09501004A (en) Resonant microcavity display
JP2002208355A (en) Plasma display panel
JPH0689075A (en) Display device and method of manufacturing fluorescent screen used therefor
EP0587145A2 (en) Display apparatus and method of manufacturing the same
US3280358A (en) Color cathode ray tube with radiation-emitting index stripes
EP0178024B1 (en) Direct luminescent cathode ray device with improved color filtering system
JP2002232010A (en) Display device and method of manufacturing the same
JPH06303625A (en) Display device and manufacture of fluorescent screen
US7315114B2 (en) Display apparatus provided with a light-emitting glass face panel having an inner surface coated with a phosphor layer
CN217689757U (en) Light source assembly and projection device
JP2751413B2 (en) Phosphor screen for cathode ray tube
JPH08293272A (en) Image display device
JP2000195672A (en) Image display device
JPH05299175A (en) El luminescence element
JPH08222143A (en) Cathode ray tube, method of manufacturing cathode ray tube and laser display
KR100709253B1 (en) Composite fluorescent film and display device having same