JPH0683091A - 電子写真感光体及びその製造法 - Google Patents
電子写真感光体及びその製造法Info
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- JPH0683091A JPH0683091A JP4517392A JP4517392A JPH0683091A JP H0683091 A JPH0683091 A JP H0683091A JP 4517392 A JP4517392 A JP 4517392A JP 4517392 A JP4517392 A JP 4517392A JP H0683091 A JPH0683091 A JP H0683091A
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】感光特性を損なうことなく耐摩耗性や耐酸化性
等を改良して、耐久性の優れた電子写真感光体を提供す
る。 【構成】支持体に感光層を形成したのち、少なくともア
ルミニウム又はアルミニウム化合物からなる蒸着源と、
亜鉛又は亜鉛化合物からなる蒸着源とを併用して酸素含
有雰囲気中で同時にプラズマ蒸着を行い、感光層の表面
に少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化物層を形成す
ることによって、少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸
化物層で表面が被覆されている感光層を支持体上に設け
た本発明の電子写真感光体を得る。
等を改良して、耐久性の優れた電子写真感光体を提供す
る。 【構成】支持体に感光層を形成したのち、少なくともア
ルミニウム又はアルミニウム化合物からなる蒸着源と、
亜鉛又は亜鉛化合物からなる蒸着源とを併用して酸素含
有雰囲気中で同時にプラズマ蒸着を行い、感光層の表面
に少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化物層を形成す
ることによって、少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸
化物層で表面が被覆されている感光層を支持体上に設け
た本発明の電子写真感光体を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子写真複写機等に用い
られる感光体及びその製造法に関する。
られる感光体及びその製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子写真用の感光体は、支持体上に例え
ばセレン系、非晶質シリコン系、有機光半導体系等の感
光材料層を設けて形成されることが多い。しかしセレン
系の感光材料はコストの面のみならず環境汚染の恐れが
大きいことから、今後は使用が控えられるものと考えら
れ、また非晶質シリコン系の感光材料はコストが高いこ
とから充分普及するに至っていない。これに対して有機
光半導体系の感光材料を用いた感光体は、セレン系や非
晶質シリコン系に比較して安価であるものの耐摩耗性や
酸化劣化の点で劣り、耐久性が不十分であるという欠点
を有している。
ばセレン系、非晶質シリコン系、有機光半導体系等の感
光材料層を設けて形成されることが多い。しかしセレン
系の感光材料はコストの面のみならず環境汚染の恐れが
大きいことから、今後は使用が控えられるものと考えら
れ、また非晶質シリコン系の感光材料はコストが高いこ
とから充分普及するに至っていない。これに対して有機
光半導体系の感光材料を用いた感光体は、セレン系や非
晶質シリコン系に比較して安価であるものの耐摩耗性や
酸化劣化の点で劣り、耐久性が不十分であるという欠点
を有している。
【０００３】一方、感光体の耐久性などを改良するため
に、感光層の上に保護層を形成しようとする提案がなさ
れており、例えば非晶質シリコン感光層の上にAl2O3 、
Si3N 4 、BN、SiC などから選択した水との接触角が４５
°以上の保護層を設ける技術（特開昭６０−２２１３２
号）や、感光層の上にAl2O3 、SiO2、Si3N4 、BN、SiC
、TiO2などの保護膜を設けるほかにTa2O5 のオーバー
コートを設ける技術（特開昭６１−１８８５４４号）が
あり、更に感光体層の上にシリコーン系又は弗素系樹脂
のプラズマ重合保護膜を形成する技術（特開平１−１９
１８５７号、特開平１−１９１８５８号）もある。
に、感光層の上に保護層を形成しようとする提案がなさ
れており、例えば非晶質シリコン感光層の上にAl2O3 、
Si3N 4 、BN、SiC などから選択した水との接触角が４５
°以上の保護層を設ける技術（特開昭６０−２２１３２
号）や、感光層の上にAl2O3 、SiO2、Si3N4 、BN、SiC
、TiO2などの保護膜を設けるほかにTa2O5 のオーバー
コートを設ける技術（特開昭６１−１８８５４４号）が
あり、更に感光体層の上にシリコーン系又は弗素系樹脂
のプラズマ重合保護膜を形成する技術（特開平１−１９
１８５７号、特開平１−１９１８５８号）もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしこれら各種の保
護膜のうち、有機質の保護膜は一般に軟質であって無機
質の保護膜に比較して耐久性が劣り、また硬質の無機保
護膜は耐久性は良いものの感光層の感光特性が損なわれ
るという問題があった。そこで本発明は、感光特性を損
なうことなく耐摩耗性や耐酸化性等を改良して、耐久性
の優れた電子写真感光体を提供することを目的としたも
のである。
護膜のうち、有機質の保護膜は一般に軟質であって無機
質の保護膜に比較して耐久性が劣り、また硬質の無機保
護膜は耐久性は良いものの感光層の感光特性が損なわれ
るという問題があった。そこで本発明は、感光特性を損
なうことなく耐摩耗性や耐酸化性等を改良して、耐久性
の優れた電子写真感光体を提供することを目的としたも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するこ
とができる本発明の電子写真感光体は、少なくとも亜鉛
を含むアルミニウム酸化物層で表面が被覆されている感
光層を支持体上に設けたものであり、またこのような電
子写真感光体は、支持体に感光層を形成したのち、少な
くともアルミニウム又はアルミニウム化合物からなる蒸
着源と、亜鉛又は亜鉛化合物からなる蒸着源とを併用し
て酸素含有雰囲気中で同時にプラズマ蒸着を行い、感光
層の表面に少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化物層
を形成することによって製造することができる。
とができる本発明の電子写真感光体は、少なくとも亜鉛
を含むアルミニウム酸化物層で表面が被覆されている感
光層を支持体上に設けたものであり、またこのような電
子写真感光体は、支持体に感光層を形成したのち、少な
くともアルミニウム又はアルミニウム化合物からなる蒸
着源と、亜鉛又は亜鉛化合物からなる蒸着源とを併用し
て酸素含有雰囲気中で同時にプラズマ蒸着を行い、感光
層の表面に少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化物層
を形成することによって製造することができる。
【０００６】本発明の電子写真感光体に用いられる支持
体は、従来から電子写真感光体に使用されているものを
利用することができ、例えばアルミニウム製の円筒状の
ものなどであってよいが、特に限定されない。またかか
る支持体上に設けられる感光層は単層型のものであって
もよく、また電荷発生層と電荷移動層とを積層した機能
分離型のものでもよいが、有機系の感光材料で形成され
た感光層を設けた電子写真感光体にあっては、本発明の
方法によって形成された保護膜の保護効果は特に顕著で
ある。
体は、従来から電子写真感光体に使用されているものを
利用することができ、例えばアルミニウム製の円筒状の
ものなどであってよいが、特に限定されない。またかか
る支持体上に設けられる感光層は単層型のものであって
もよく、また電荷発生層と電荷移動層とを積層した機能
分離型のものでもよいが、有機系の感光材料で形成され
た感光層を設けた電子写真感光体にあっては、本発明の
方法によって形成された保護膜の保護効果は特に顕著で
ある。
【０００７】本発明の電子写真感光体を製造するに当た
っては、図１に示すようなプラズマ蒸着装置を用いるこ
とができる。図における装置は、真空槽１内にタングス
テン線で形成された主蒸発源２とモリブデン製のボート
からなる副蒸発源３とを備えており、熱電子発生用のフ
ィラメント４及び網状のグリッド５を間において被蒸着
体を取りつけるための対電極６が対設してある。この対
電極６は、温度が上がり過ぎないように必要に応じて冷
却できるようになっている。この装置を用いて支持体の
表面に感光層と保護膜とを順次蒸着することもできる
が、あらかじめ感光層を設けた支持体をこの装置に取り
つけて、保護膜のみをプラズマ蒸着するようにしてもよ
い。
っては、図１に示すようなプラズマ蒸着装置を用いるこ
とができる。図における装置は、真空槽１内にタングス
テン線で形成された主蒸発源２とモリブデン製のボート
からなる副蒸発源３とを備えており、熱電子発生用のフ
ィラメント４及び網状のグリッド５を間において被蒸着
体を取りつけるための対電極６が対設してある。この対
電極６は、温度が上がり過ぎないように必要に応じて冷
却できるようになっている。この装置を用いて支持体の
表面に感光層と保護膜とを順次蒸着することもできる
が、あらかじめ感光層を設けた支持体をこの装置に取り
つけて、保護膜のみをプラズマ蒸着するようにしてもよ
い。
【０００８】この装置を用いて感光層の表面に保護膜を
形成するには、例えば主蒸発源２にはアルミニウム線を
短く切って懸架し、また副蒸発源３には亜鉛粉末を載
せ、対電極６に保護膜を形成しようとする感光体を取り
つける。そして真空槽１内を１０-4Torr台となるまで排
気した後酸素を含むガスを供給し、フィラメント４を加
熱するとともにフィラメント４とグリッド５とに夫々正
電圧を印加して対電極６との間でプラズマを発生させ
る。その後主蒸発源２と副蒸発源３とを夫々加熱して、
対電極６に取りつけた感光体の温度が５０〜１００℃の
範囲を出ないようにして、金属蒸気と酸素とを反応させ
ながら感光体の表面に金属酸化物を蒸着させる。この際
保護膜中の亜鉛の含有量は主蒸発源２と副蒸発源３との
加熱を制御することにより適宜調整することができる。
形成するには、例えば主蒸発源２にはアルミニウム線を
短く切って懸架し、また副蒸発源３には亜鉛粉末を載
せ、対電極６に保護膜を形成しようとする感光体を取り
つける。そして真空槽１内を１０-4Torr台となるまで排
気した後酸素を含むガスを供給し、フィラメント４を加
熱するとともにフィラメント４とグリッド５とに夫々正
電圧を印加して対電極６との間でプラズマを発生させ
る。その後主蒸発源２と副蒸発源３とを夫々加熱して、
対電極６に取りつけた感光体の温度が５０〜１００℃の
範囲を出ないようにして、金属蒸気と酸素とを反応させ
ながら感光体の表面に金属酸化物を蒸着させる。この際
保護膜中の亜鉛の含有量は主蒸発源２と副蒸発源３との
加熱を制御することにより適宜調整することができる。
【０００９】
【作用】本発明による電子写真感光体の表面に形成され
た保護膜は、酸化アルミニウムを主成分としているため
硬くて耐摩耗性が優れておりながら、亜鉛成分が含まれ
ているために感光層の本来の感光特性を損なわないもの
である。
た保護膜は、酸化アルミニウムを主成分としているため
硬くて耐摩耗性が優れておりながら、亜鉛成分が含まれ
ているために感光層の本来の感光特性を損なわないもの
である。
【００１０】
（第１実施例）厚さ０．５mmのポリエステルフィルムの
上に厚さ１０μｍのアルミニウムの蒸着膜を設けた支持
体に、チタニルフタロシアニンの蒸着膜からなる厚さ
０．６μｍの電荷発生層と、電荷移動剤としてのポリビ
ニルカルバゾール及びトリニトロフルオレノンを２５０
mg／ｇずつ含むパンライトＬ−１２５０樹脂を２０μｍ
の厚さに湿式塗装した電荷移動層とを、順次積層して感
光体Ａを形成した。
上に厚さ１０μｍのアルミニウムの蒸着膜を設けた支持
体に、チタニルフタロシアニンの蒸着膜からなる厚さ
０．６μｍの電荷発生層と、電荷移動剤としてのポリビ
ニルカルバゾール及びトリニトロフルオレノンを２５０
mg／ｇずつ含むパンライトＬ−１２５０樹脂を２０μｍ
の厚さに湿式塗装した電荷移動層とを、順次積層して感
光体Ａを形成した。
【００１１】この感光体Ａを図１に示した装置の対電極
６に取りつけ、主蒸発源２には純度９９．９９％のアル
ミニウム線を１２重量部、また副蒸発源３には純度９
９．９％の亜鉛粉末を６重量部となるような割合でそれ
ぞれ用いて、真空槽１内を１×１０-4Torrまで排気し、
１０-4Torr台を維持するように酸素を供給しながら成膜
速度を６Å／sec 以下に抑えて４０分間プラズマ蒸着を
行い、この間感光体の温度が５０〜１００℃の範囲を出
ないように保って、厚さ約１３００nmの酸化アルミニウ
ムと酸化亜鉛との共蒸着膜を有する本発明の感光体Ｂを
得た。
６に取りつけ、主蒸発源２には純度９９．９９％のアル
ミニウム線を１２重量部、また副蒸発源３には純度９
９．９％の亜鉛粉末を６重量部となるような割合でそれ
ぞれ用いて、真空槽１内を１×１０-4Torrまで排気し、
１０-4Torr台を維持するように酸素を供給しながら成膜
速度を６Å／sec 以下に抑えて４０分間プラズマ蒸着を
行い、この間感光体の温度が５０〜１００℃の範囲を出
ないように保って、厚さ約１３００nmの酸化アルミニウ
ムと酸化亜鉛との共蒸着膜を有する本発明の感光体Ｂを
得た。
【００１２】（第２実施例）第１実施例で用いたと同じ
感光体Ａに対して、主蒸発源２にはアルミニウム線を１
４重量部、副蒸発源３には亜鉛粉末を３重量部となるよ
うな割合でそれぞれ用い、酸素の代わりにアルゴンと酸
素との混合ガスを供給した他は第１実施例と全く同様な
方法でプラズマ蒸着を行い、厚さ約８００nmの酸化アル
ミニウムと酸化亜鉛との共蒸着膜を有する本発明の感光
体Ｃを得た。
感光体Ａに対して、主蒸発源２にはアルミニウム線を１
４重量部、副蒸発源３には亜鉛粉末を３重量部となるよ
うな割合でそれぞれ用い、酸素の代わりにアルゴンと酸
素との混合ガスを供給した他は第１実施例と全く同様な
方法でプラズマ蒸着を行い、厚さ約８００nmの酸化アル
ミニウムと酸化亜鉛との共蒸着膜を有する本発明の感光
体Ｃを得た。
【００１３】以上のようにして亜鉛を含むアルミニウム
酸化物の保護膜を設けた本発明の感光体Ｂ及びＣ、並び
に比較のための保護膜を有しない感光体Ａについて、そ
れらの帯電特性及び感光特性をペーパーアナライザー
（川口電気製、ＳＰ−４２８）を用いて評価した。試験
に際しては、感光体に−５kVで５秒間負帯電させたとき
の表面電位（Ｖs ）を測定し、次いで感光体表面をタン
グステンランプで照度が３５lux となるように照射し
て、表面電位がＶs の１／２となるような露光量(lux・
sec)を求めて半減露光量（Ｅ1/2)とし、更に、３０ lux
・sec の露光量で照射した後の表面電位（Ｖr ）を測定
した。そしてこのような測定を連続して１００回実施
し、１回目の結果と１００回目の結果とを比較して、そ
の結果を表１に示した。
酸化物の保護膜を設けた本発明の感光体Ｂ及びＣ、並び
に比較のための保護膜を有しない感光体Ａについて、そ
れらの帯電特性及び感光特性をペーパーアナライザー
（川口電気製、ＳＰ−４２８）を用いて評価した。試験
に際しては、感光体に−５kVで５秒間負帯電させたとき
の表面電位（Ｖs ）を測定し、次いで感光体表面をタン
グステンランプで照度が３５lux となるように照射し
て、表面電位がＶs の１／２となるような露光量(lux・
sec)を求めて半減露光量（Ｅ1/2)とし、更に、３０ lux
・sec の露光量で照射した後の表面電位（Ｖr ）を測定
した。そしてこのような測定を連続して１００回実施
し、１回目の結果と１００回目の結果とを比較して、そ
の結果を表１に示した。
【００１４】また、これらの感光体の表面の硬さを、Ｊ
ＩＳ Ｋ−５４０１の塗膜用鉛筆引っかき試験の方法に
準じて調べ、その結果を表１に併せて示した。
ＩＳ Ｋ−５４０１の塗膜用鉛筆引っかき試験の方法に
準じて調べ、その結果を表１に併せて示した。
【００１５】
【表１】 表 １ ────────────────────────────────── 感光体 Ａ* Ｂ Ｃ ────────────────────────────────── １回目 100回目 １回目 100回目 １回目 100回目 ────────────────────────────────── Ｖs （Ｖ） -755 -830 -890 -910 -930 -900 Ｅ1/2 (lux・sec) 6.0 9.1 6.4 6.6 6.5 6.8 Ｖr （Ｖ） -3 -40 -3 -7 -5 -10 ────────────────────────────────── 鉛筆引っかき試験 ２Ｈ ９Ｈ以上 ９Ｈ以上 ────────────────────────────────── ＊ ：比較例
【００１６】
【発明の効果】本発明の電子写真感光体は、耐摩耗性が
よくまた酸化劣化も少なくて優れた耐久性を示すばかり
でなく、帯電性が優れ感度も劣らない。そしてその保護
膜の化学組成からみて有機材料を用いた感光層のみなら
ず無機材料を用いた感光層の電子写真感光体であって
も、同様な効果が期待できるものである。
よくまた酸化劣化も少なくて優れた耐久性を示すばかり
でなく、帯電性が優れ感度も劣らない。そしてその保護
膜の化学組成からみて有機材料を用いた感光層のみなら
ず無機材料を用いた感光層の電子写真感光体であって
も、同様な効果が期待できるものである。
【図１】本発明の電子写真感光体の製造法を実施するに
適したプラズマ蒸着装置の例の構成図である。
適したプラズマ蒸着装置の例の構成図である。
１ 真空槽 ２ 主蒸発源 ３ 副蒸発源 ４ フィラメント ５ グリッド ６ 対電極
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化
物層で表面が被覆されている感光層を支持体上に設けた
ことを特徴とする電子写真感光体。 - 【請求項２】 支持体上に感光層を形成したのち、少な
くともアルミニウム又はアルミニウム化合物からなる蒸
着源と、亜鉛又は亜鉛化合物からなる蒸着源とを併用し
て酸素含有雰囲気中で同時にプラズマ蒸着を行い、感光
層の表面に少なくとも亜鉛を含むアルミニウム酸化物層
を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4517392A JPH0683091A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 電子写真感光体及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4517392A JPH0683091A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 電子写真感光体及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0683091A true JPH0683091A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=12711879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4517392A Withdrawn JPH0683091A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 電子写真感光体及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0683091A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006267507A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体、並びに、これを用いたプロセスカートリッジおよび画像形成装置 |
| JP2008076877A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体、画像形成装置およびプロセスカートリッジ |
| JP2010049242A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-03-04 | Canon Inc | 電子写真感光体および電子写真装置 |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4517392A patent/JPH0683091A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006267507A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体、並びに、これを用いたプロセスカートリッジおよび画像形成装置 |
| JP2008076877A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真感光体、画像形成装置およびプロセスカートリッジ |
| JP2010049242A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-03-04 | Canon Inc | 電子写真感光体および電子写真装置 |
| US8173344B2 (en) | 2008-07-25 | 2012-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photosensitive member and electrophotographic apparatus |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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