JPH0683011B2 - 水晶振動子 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜本発明の目的＞ ［産業上の利用分野］ 本発明は、エッチング加工の水晶振動子の温度特性にお
けるゆらぎを解決した高安定水晶振動子に関する。

［従来の技術］ 従来より、厚みすべり振動、とりわけ広く利用されてい
るATカット水晶振動子の外形を形成するのにフォトエッ
チングして加工するものがあった。そして振動部周辺を
囲う枠部を設けていたが、枠と振動部を接続する接続部
は結晶軸で、Ｚ−Ｚ′軸方向の２個所設けることによ
り、温度特性に影響が少なくなることは知られている
が、Ｚ−Ｚ′軸方向にそれぞれ１辺に１個所ずつ接続部
を設け、励振電極を施し気密容器に封じて周波数温度特
性を測定すると、第２図のように素直な曲線Ａを点線で
描いた特性とすると、実線で描かれた曲線Ｂのように、
僅かなゆらぎが生じ目標とする特性が得られない場合が
ある。この第２図の特性は、本発明の振動子が高温仕様
で恒温槽を用いて高温に加熱し、広い温度範囲をカバー
する目的で作られたものであり、ATカット水晶振動子の
本来３次曲線の内の高温側のみを表しており、実際に使
用する温度範囲のみを示している。

［発明が解決しようとする課題］ そこでこのゆらぎを防止するために、１つ原因としてサ
ポートの影響であり、振動子と支持具の固着のバラツキ
が考えられる。これは振動が接続部を会して枠部に漏れ
るために生じるか、振動部の寸法のアンバランスによっ
て振動が漏れる事によるものと考えられる。

［本発明の目的］ 本発明の目的は、周波数温度特性のゆらぎを無くした水
晶振動子を提供することにある。

＜本発明の構成＞ ［課題を解決する手段］ そこで本発明では、振動部と枠部の間の接続部を複数個
所に分けて接続している。

［作用］ 本発明の振動子では、振動部と枠部の接続をする接続部
を複数個所にすることにより、枠部に漏れる振動を分散
し、適当な間隔で設けることにより、漏れ振動が枠部で
打ち消し合い、サポートの影響が少なくなる。

［実施例］ 第１図は、本発明の実施例を示す正面図であり、励振電
極１を設けた振動部２と振動部２の周辺を囲う枠部３
と、枠部３と振動部２とを接続する接続部４とからなっ
ている。接続部は、実施例ではATカット水晶振動子を用
いており、軸方向がＺ−Ｚ′軸方向に１辺につき各３個
所接続している。励振電極から引出した引出し電極５は
接続部を経て枠部に導出し、本実施例ではＸ軸方向で導
電性接着剤６等で支持具と固着している。なお本図では
支持具は省略している。

本発明によって、第２図の点線で表したグラフの周波数
温度特性となり、ゆらぎのない水晶振動子が得られる。

本発明では、振動部と枠部との接続は１辺について３個
所設けた例を挙げたが、１辺につき３個所以上であって
も、ゆらぎを防止することが可能である。これは接続個
所を細かく分けることによって、応力が分散されるの
と、漏れ振動の打ち消し合いが行われるためである。

＜本発明の効果＞ 本発明により、高温仕様の厚みすべり水晶振動子をフォ
トエッチングで加工した際における振動部と枠部との接
続をする接続部を各個所複数個にしたため、枠部への漏
れ振動が打ち消され、振動漏れがなくなり、周波数温度
特性のゆらぎのない安定した特性の振動子を実現出来
た。

また１辺に３個所以上の接続部となるため、振動・衝撃
により、振動子が破損することも無くなり、機械的にも
強い、安定な振動子となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す正面図、第２図は、周
波数温度特性を示すグラフである。 ２……振動部、 ３……枠部、 ４……接続部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】厚みすべり振動し、フォトエッチング加工
   により成形される水晶振動子において、振動部を囲う枠
   部と該振動部との接続部が、一辺で３個所以上に分けて
   設けられていることを特徴とする水晶振動子。