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JPH0676226A - Magnetic head and manufacturing method thereof - Google Patents

Magnetic head and manufacturing method thereof

Info

Publication number
JPH0676226A
JPH0676226A JP23093092A JP23093092A JPH0676226A JP H0676226 A JPH0676226 A JP H0676226A JP 23093092 A JP23093092 A JP 23093092A JP 23093092 A JP23093092 A JP 23093092A JP H0676226 A JPH0676226 A JP H0676226A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
ferromagnetic metal
metal film
magnetic head
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23093092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Moichi Otomo
茂一 大友
Yasuhiro Kato
泰裕 加藤
Hidetoshi Moriwaki
英稔 森脇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP23093092A priority Critical patent/JPH0676226A/en
Publication of JPH0676226A publication Critical patent/JPH0676226A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高密度記録に適した記録再生特性、量産性の
優れた磁気ヘッドを提供する。 【構成】 コア基体部10の斜面上に強磁性金属膜11
を被着した磁気コア半体12,12’を、前記強磁性金
属膜同志が一致するようにギャップ材13を介して接合
一体化し、テープ摺動面15上の強磁性金属膜以外の部
分の少なくともギャップ深さまでを非磁性充填材16で
構成する。テープ摺動面の前記非磁性充填材16に隣接
する部分の強磁性金属膜11’の厚さを、コア基体部に
被着された強磁性金属膜11の厚さよりも小さくする。 【効果】 摺動面にフェライトが露出しないためノイズ
が小さく、後部磁気回路の断面積が大きいため記録再生
効率が高く、接合ブロックを形成した後トラック幅加工
を行うため、トラック幅精度が高い。
(57) [Summary] [Purpose] To provide a magnetic head having excellent recording and reproducing characteristics suitable for high-density recording and excellent mass productivity. [Structure] The ferromagnetic metal film 11 is formed on the slope of the core substrate 10.
The magnetic core halves 12 and 12 ′ coated with are bonded and integrated through the gap material 13 so that the ferromagnetic metal films are aligned with each other, and the parts other than the ferromagnetic metal film on the tape sliding surface 15 are integrated. The nonmagnetic filler 16 is formed at least up to the gap depth. The thickness of the ferromagnetic metal film 11 'on the tape sliding surface adjacent to the non-magnetic filler 16 is made smaller than the thickness of the ferromagnetic metal film 11 deposited on the core substrate. [Effect] Since the ferrite is not exposed on the sliding surface, noise is small, and since the cross-sectional area of the rear magnetic circuit is large, the recording / reproducing efficiency is high. Since the track width processing is performed after the joining block is formed, the track width accuracy is high.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドに関し、特に
ノイズが小さく、高密度記録に好適な磁気ヘッドおよび
その製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head which has low noise and is suitable for high density recording, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年高密度磁気記録の進歩は著しく、記
録密度の増加により装置の小型化、高性能化が進んでい
る。高密度磁気記録を実現するためには、媒体を高保磁
力にすることが有利であり、このため近年VTR等で
は、保磁力1200から1500Oeの高保磁力メタル
テープが使用されている。一方磁気ヘッドでは、これら
の高保磁力媒体に充分記録を行うために、飽和磁束密度
の高い非晶質合金やFeAlSi合金等の強磁性金属材
料がコア材料として用いられるようになって来ている。
このような強磁性金属材料を用いた磁気ヘッドの一つと
して、記録再生を行うギャップ近傍を強磁性金属材料で
構成し、後部磁気コアを高透磁率フェライト材料で構成
する、いわゆる複合型磁気ヘッドが用いられている。こ
のようなヘッドの一例として特開昭62−157306
号公報に記載の複合型磁気ヘッドがある。
2. Description of the Related Art In recent years, the progress of high-density magnetic recording has been remarkable, and the increase in recording density has led to the miniaturization and higher performance of devices. In order to realize high-density magnetic recording, it is advantageous to make the medium have a high coercive force. Therefore, in recent years, a VTR or the like uses a high coercive force metal tape having a coercive force of 1200 to 1500 Oe. On the other hand, in magnetic heads, in order to sufficiently perform recording on these high coercive force media, ferromagnetic metal materials such as amorphous alloys and FeAlSi alloys having a high saturation magnetic flux density have come to be used as core materials.
As one of magnetic heads using such a ferromagnetic metal material, a so-called composite magnetic head in which the vicinity of the recording / reproducing gap is made of a ferromagnetic metal material and the rear magnetic core is made of a high-permeability ferrite material Is used. As an example of such a head, Japanese Patent Laid-Open No. 62-157306
There is a composite type magnetic head described in Japanese Patent Publication No.

【0003】このヘッドは、図2に示すように、磁気コ
ア部101、102を高透磁率フェライトで構成し、ギャップ
g近傍に強磁性金属膜103,104を被着して記録再生トラ
ックを構成したものである。
In this head, as shown in FIG. 2, the magnetic core portions 101 and 102 are made of high-permeability ferrite, and the ferromagnetic metal films 103 and 104 are deposited in the vicinity of the gap g to form a recording / reproducing track. Is.

【0004】上記従来のヘッドは、高保磁力テープへの
記録再生特性の優れるという利点があるが、フェライト
がテープ摺動面に露出しているため、テープを摺動した
場合に、フェライト部より摺動ノイズを発生するという
問題がある。とくにこの摺動ノイズはデータ転送速度が
大きく、そのためテープとの相対速度が早い、ディジタ
ルVTR,高精細VTRなどの場合に大きな問題とな
る。
The above conventional head has an advantage of excellent recording / reproducing characteristics for a high coercive force tape, but since ferrite is exposed on the tape sliding surface, when the tape is slid, it slides from the ferrite portion. There is a problem that dynamic noise is generated. In particular, this sliding noise is a serious problem in the case of a digital VTR, a high-definition VTR, etc., which has a high data transfer rate and therefore a high relative speed with the tape.

【0005】このような摺動ノイズを防ぐ手段の1例と
して、図3に示した特開昭60−182507号公報に
記載のヘッドがある。このヘッドでは、テープ摺動面近
傍のコアをノイズを発生しない非磁性材107,108とし、
後部の磁気コア105,106をフェライトとして、ギャップ
近傍には強磁性金属膜109,110を被着して記録再生トラ
ックを構成することにより、テープの摺動によるノイズ
の発生を防ぐ。
As one example of means for preventing such sliding noise, there is a head described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-182507 shown in FIG. In this head, the core near the tape sliding surface is made of non-magnetic material 107, 108 that does not generate noise,
The rear magnetic cores 105 and 106 are made of ferrite, and the ferromagnetic metal films 109 and 110 are deposited in the vicinity of the gaps to form recording / reproducing tracks, thereby preventing noise from being caused by sliding of the tape.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この磁気ヘッ
ドには以下のようなヘッド製造上の問題点がある。図2
に示した磁気ヘッドの製造方法の概略を図4に示した。
この磁気ヘッドでは、(イ)において高透磁率フェライト
からなる基板111の表面に傾いたV字状の溝112を形成
し、(ロ)において溝の斜面上に強磁性金属膜113を被着
形成する。次に(ハ)において、溝112内に非磁性材114を
充填し、基板の表面を平面研削する。さらに(ニ)におい
て、第2の溝115を形成し、基板表面を鏡面研磨を行っ
て、ギャップ形成面とし、磁気コア半体ブロック116を
作製する。また、同様の形状で巻線溝を形成した磁気コ
ア半体117を作製する。次に(ホ)において、上記で形成
した磁気コア半体ブロック116,117同志をギャップ材を
介して、強磁性金属膜の端面が一致するように突合せ
て、ガラスにより溶着するとともに、第2の溝に非磁性
材118を充填して、ブロック119を得る。さらにX-X線お
よびX'-X'線を切断して図2に示した磁気ヘッドを得
る。
However, this magnetic head has the following problems in manufacturing the head. Figure 2
FIG. 4 shows an outline of a method of manufacturing the magnetic head shown in FIG.
In this magnetic head, an inclined V-shaped groove 112 is formed on the surface of a substrate 111 made of high-permeability ferrite in (a), and a ferromagnetic metal film 113 is formed on the inclined surface of the groove in (b). To do. Next, in (c), the groove 112 is filled with a non-magnetic material 114, and the surface of the substrate is ground. Further, in (d), the second groove 115 is formed, the surface of the substrate is mirror-polished to form a gap forming surface, and the magnetic core half block 116 is manufactured. Further, a magnetic core half body 117 having a winding groove formed in a similar shape is manufactured. Next, in (e), the magnetic core half blocks 116 and 117 formed as described above are butted through a gap material so that the end faces of the ferromagnetic metal films are aligned with each other, welded by glass, and formed into a second groove. A block 119 is obtained by filling the non-magnetic material 118. Further, the XX line and the X'-X 'line are cut to obtain the magnetic head shown in FIG.

【0007】一方、図3に示した磁気ヘッドを作製する
には、(イ)において高透磁率フェライト120に耐摩耗性
非磁性材121を接合した複合基板125を作製し、(ロ)にお
いてV字状の溝122を形成し、この上に(ハ)において強
磁性金属膜123を被着形成する。次に(ニ)において複合
基板の上面を研削、研磨し磁気コア半体ブロック126を
作製する。また(ホ)において巻線溝124を形成し、磁気
コア半体ブロック127を作製する。次にこれらの磁気コ
ア半体ブロック126、127同志を、ギャップ材を介して突
合せ、ガラスにより溶着したのち、c,c'線で切断するこ
とにより、図3に示した磁気ヘッドを得る。
On the other hand, in order to manufacture the magnetic head shown in FIG. 3, the composite substrate 125 in which the wear-resistant non-magnetic material 121 is bonded to the high magnetic permeability ferrite 120 is prepared in (a), and V is prepared in (b). The V-shaped groove 122 is formed, and the ferromagnetic metal film 123 is formed thereon in (c). Next, in (d), the upper surface of the composite substrate is ground and polished to produce the magnetic core half block 126. Further, in (e), the winding groove 124 is formed, and the magnetic core half block 127 is manufactured. Next, these magnetic core half blocks 126 and 127 are abutted with each other through a gap material, welded with glass, and then cut along lines c and c'to obtain the magnetic head shown in FIG.

【0008】図4に示した磁気ヘッドの製造方法におい
ては、基板111を大きな形状とし、図4(ニ)において第
2の溝115の方向と垂直方向に切断することにより、磁
気コア半体ブロック116、117を基板111から複数個作製
することができる。これは、磁気ヘッドの量産性を向上
する上で効果がある。しかし、図5に示した磁気ヘッド
の製造方法においては、複合基板125を用いるため、図
5(ニ)において溝122の方向と直角方向に切断して磁気
コア半体ブロック126、127を複数個作製することが出来
ない。従って、複合基板125を用いて作製する、摺動面
が非磁性材で構成される図3に示したような磁気ヘッド
は、図2に示した磁気ヘッドに比較して量産性が劣ると
いう問題がある。
In the method of manufacturing the magnetic head shown in FIG. 4, the substrate 111 has a large shape and is cut in the direction perpendicular to the direction of the second groove 115 in FIG. A plurality of substrates 116 and 117 can be manufactured from the substrate 111. This is effective in improving the mass productivity of the magnetic head. However, since the composite substrate 125 is used in the method of manufacturing the magnetic head shown in FIG. 5, a plurality of magnetic core half blocks 126 and 127 are cut by cutting in the direction perpendicular to the direction of the groove 122 in FIG. It cannot be made. Therefore, the magnetic head shown in FIG. 3 whose sliding surface is made of a non-magnetic material, which is manufactured using the composite substrate 125, is inferior in mass productivity to the magnetic head shown in FIG. There is.

【0009】さらに、図2、図3に示した磁気ヘッドの
もう一つの問題として、以下の点がある。すなわち、こ
れらのヘッドは磁気ヘッドコア半体同志を機械的位置合
わせをおこなって接合するため、図6のテープ摺動面の
ように、トラックずれを生じやすい。これは、高密度記
録に使用する狭トラックヘッドにとって大きな問題とな
る。
Further, another problem of the magnetic head shown in FIGS. 2 and 3 is as follows. That is, in these heads, the magnetic head core halves are mechanically aligned and joined to each other, so that a track deviation is likely to occur as in the tape sliding surface of FIG. This poses a serious problem for a narrow track head used for high density recording.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明では、上記問題を
解決し、記録再生特性、量産性に優れ、摺動ノイズが発
生せず、さらにトラック幅精度の優れた磁気ヘッドを提
供するために、以下の手段を用いる。すなわち、高透磁
率フェライトからなる基板に形成した溝の斜面上に、強
磁性金属膜を所要のトラック幅となる厚さより厚く被着
形成した磁気コア半体ブロックを用意し、強磁性金属膜
の端面が一致するように磁気コア半体ブロック同志を接
合した接合ブロックを作製し、しかるのちに接合ブロッ
クのテープ摺動面上に、強磁性金属膜をトラック幅分残
して、トラック幅と平行に少なくもギャップ深さまでの
溝を形成し、この溝に非磁性充填材を充填して接合ブロ
ックを切断して、磁気ヘッドを得る。この結果、後部磁
気コアが高透磁率フェライト、ギャップ近傍が強磁性金
属膜からなり、強磁性金属膜以外のテープ摺動面が非磁
性材で構成される磁気ヘッドが得られる。
In order to solve the above problems, the present invention provides a magnetic head which is excellent in recording / reproducing characteristics and mass productivity, does not generate sliding noise, and is excellent in track width accuracy. The following means are used. That is, prepare a magnetic core half block in which a ferromagnetic metal film is formed on a slope of a groove formed on a substrate made of high-permeability ferrite so as to have a thickness larger than a required track width. A joining block is produced by joining the magnetic core half blocks together so that the end faces coincide with each other.After that, the ferromagnetic metal film is left on the tape sliding surface of the joining block in parallel with the track width. A groove is formed at least to the depth of the gap, the groove is filled with a non-magnetic filling material, and the joining block is cut to obtain a magnetic head. As a result, it is possible to obtain a magnetic head in which the rear magnetic core has a high magnetic permeability ferrite, the vicinity of the gap is made of a ferromagnetic metal film, and the tape sliding surface other than the ferromagnetic metal film is made of a non-magnetic material.

【0011】本発明の磁気ヘッドに用いられる強磁性金
属膜としては、Fe,Co,Niを磁性元素とし、Z
r,Ta,Nb,Ti,Hf等の金属元素、あるいはS
i,Cなどのメタロイド元素を非晶質化元素とした強磁
性非晶質合金、また、FeAlSi系(センダスト)、
Ni−Fe系(パーマロイ)、Fe−C系結晶質合金、
また、Fe,CoにC,N,Bを含み、さらにZr,T
i,Nb,Ta,Hf等を添加した微結晶合金等が挙げ
られる。これらの強磁性金属膜は、スパッタリング、真
空蒸着などの薄膜形成法により形成される。
The ferromagnetic metal film used in the magnetic head of the present invention has Fe, Co and Ni as magnetic elements and Z.
Metal elements such as r, Ta, Nb, Ti, Hf, or S
A ferromagnetic amorphous alloy containing a metalloid element such as i or C as an amorphizing element, FeAlSi-based (sendust),
Ni-Fe system (permalloy), Fe-C system crystalline alloy,
Further, Fe, Co contain C, N, B, and further Zr, T
Examples thereof include microcrystalline alloys to which i, Nb, Ta, Hf and the like are added. These ferromagnetic metal films are formed by a thin film forming method such as sputtering or vacuum evaporation.

【0012】テープ摺動面上に形成した溝に充填する非
磁性充填材としては、フォルステライト(2MgO−S
iO2),ステアタイト(MgO−SiO2),Al
23,SiO2などの材料を用いることができる。これ
らは、真空蒸着法やスパッタリング法で形成される。ま
た、各種のガラスを溶融充填することにより、上記非磁
性充填材に用いることが出来る。
As a non-magnetic filler for filling the groove formed on the tape sliding surface, forsterite (2MgO-S) is used.
iO 2), steatite (MgO-SiO 2), Al
Materials such as 2 O 3 and SiO 2 can be used. These are formed by a vacuum vapor deposition method or a sputtering method. Further, by melting and filling various kinds of glass, it can be used as the non-magnetic filler.

【0013】[0013]

【作用】上記磁気ヘッドの構成および製造方法におい
て、強磁性金属膜の膜厚をトラック幅よりも大とし、接
合ブロックを作製したのちにテープ摺動面上に溝を形成
する際にトラック幅を規制することにより、従来のヘッ
ドにおける図6に示したトラックずれによるトラック幅
精度の低下を防ぐことが出来る。また、上記溝に非磁性
充填材を充填することにより、ギャップ近傍のテープが
摺接する部分に高透磁率フェライトが露出せず、摺動ノ
イズを防ぐことが出来る。さらに、図5に示した高透磁
率フェライトと非磁性材との複合基板を作製する必要が
なく、このため前述のように、大きい基板から複数の磁
気コア半体ブロックを作製することが出来、量産性に優
れている。また、図5に示した磁気ヘッドの製造方法に
比較して、トラック幅を規制する第2の溝を形成する必
要がなく、このため生産性に優れている。
In the above-described magnetic head structure and manufacturing method, the thickness of the ferromagnetic metal film is made larger than the track width, and the track width is set when the groove is formed on the tape sliding surface after the joining block is manufactured. By restricting it, it is possible to prevent the deterioration of the track width accuracy due to the track deviation shown in FIG. 6 in the conventional head. Further, by filling the groove with a non-magnetic filler, the high-permeability ferrite is not exposed at the portion where the tape is in sliding contact near the gap, and sliding noise can be prevented. Further, it is not necessary to fabricate the composite substrate of the high magnetic permeability ferrite and the non-magnetic material shown in FIG. 5, and therefore, as described above, a plurality of magnetic core half blocks can be fabricated from a large substrate, Excellent mass productivity. Further, as compared with the method of manufacturing the magnetic head shown in FIG. 5, it is not necessary to form the second groove for regulating the track width, and therefore the productivity is excellent.

【0014】本発明の磁気ヘッドでは、高透磁率フェラ
イトを基板として用いる替わりに、耐摩耗性非磁性材を
基板として用いてもよい。この場合、磁気回路は強磁性
金属膜のみが構成する。本磁気ヘッドにおいても、接合
ブロックの摺動面上に溝を形成することにより、トラッ
ク幅の規制を行うことが出来、トラック幅精度を高める
上で効果がある。本磁気ヘッドにおいて用いられる耐摩
耗性非磁性材としては、MnO−NiO系、NiO−T
23系、αFe23、等のセラミックスが用いられ
る。
In the magnetic head of the present invention, a wear resistant non-magnetic material may be used as the substrate instead of using the high magnetic permeability ferrite as the substrate. In this case, the magnetic circuit is composed only of the ferromagnetic metal film. Also in the present magnetic head, the track width can be regulated by forming the groove on the sliding surface of the joining block, which is effective in improving the track width accuracy. As the wear-resistant non-magnetic material used in the magnetic head, MnO-NiO system, NiO-T
Ceramics such as i 2 O 3 series and αFe 2 O 3 are used.

【0015】接合ブロックの摺動面上に溝を形成し、非
磁性充填材を充填してトラック幅を規程するヘッドの例
として、特開平4−30308号公報に記載のヘッドが
ある。このヘッドにおいては、トラック幅規制溝を磁気
ヘッドの側面と平行に設ける。このため、基板に高透磁
率フェライトを用いた場合にはテープ摺動面の強磁性金
属膜に隣接した部分にフェライトが残って、ノイズを発
生するおそれがある。また基板に耐摩耗性非磁性基板を
用いた場合には、テープ摺動面上の強磁性金属膜の長さ
が短くなり、記録再生効率の点で不利となる。
As an example of a head in which a groove is formed on the sliding surface of a joining block and a nonmagnetic filler is filled to regulate the track width, there is a head described in Japanese Patent Laid-Open No. 4-30308. In this head, the track width regulating groove is provided parallel to the side surface of the magnetic head. For this reason, when high-permeability ferrite is used for the substrate, the ferrite may remain in a portion of the tape sliding surface adjacent to the ferromagnetic metal film, which may cause noise. When a wear-resistant non-magnetic substrate is used as the substrate, the length of the ferromagnetic metal film on the tape sliding surface becomes short, which is disadvantageous in terms of recording / reproducing efficiency.

【0016】[0016]

【実施例】次に、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.

【0017】<実施例1>本発明の磁気ヘッドの1実施
例の斜視図を図1(a)に、テープ摺動面を(b),(c)に示し
た。本ヘッドは、高透磁率フェライトからなるコア基体
部10に形成した斜面上に、高飽和磁束密度を有する強
磁性金属膜11を被着した磁気ヘッドコア半体12,1
2’を、ギャップ材13を介して接合材14を用いて一
体化した構造を有する。テープ摺動面15上の強磁性金
属膜部分以外の少なくともギャップ深さまでを、非磁性
充填材16で構成する。テープ摺動面の前記非磁性充填
材16に隣接する部分の強磁性金属膜11’の厚さは、
コア基体部に被着された強磁性金属膜11の厚さよりも
小さい。コア基体部にはコイル巻線窓17を設け、コイ
ルを巻回して記録再生信号を入出する。
<Embodiment 1> A perspective view of an embodiment of the magnetic head of the present invention is shown in FIG. 1 (a), and tape sliding surfaces are shown in (b), (c). In this head, magnetic head core halves 12 and 1 in which a ferromagnetic metal film 11 having a high saturation magnetic flux density is coated on a slope formed on a core substrate 10 made of high-permeability ferrite
2'is integrated with the bonding material 14 via the gap material 13. The nonmagnetic filler 16 constitutes at least the gap depth other than the ferromagnetic metal film portion on the tape sliding surface 15. The thickness of the ferromagnetic metal film 11 ′ on the tape sliding surface adjacent to the non-magnetic filler 16 is
It is smaller than the thickness of the ferromagnetic metal film 11 deposited on the core substrate portion. A coil winding window 17 is provided on the core substrate, and the coil is wound to input / output a recording / reproducing signal.

【0018】本ヘッドの構造により、後部磁気回路は高
透磁率フェライトと強磁性金属磁性膜で構成される。こ
のため後部磁気回路の断面積が大きく、記録再生効率の
高いヘッドが得られる。記録再生トラックを構成する前
部磁気回路は高飽和磁束密度を有する強磁性金属膜で構
成される。このため、高保磁力テープに対して充分な記
録磁界を発生することが出来る。テープ摺動面は強磁性
金属膜と非磁性充填材で構成されるため、フェライトに
よる摺動ノイズを生じない。また、図6に示したよう
な、左右磁気コア半体でのトラックずれを生ぜず、図1
(b)のようにトラック幅精度の高い磁気ヘッドが得ら
れる。
Due to the structure of this head, the rear magnetic circuit is composed of a high-permeability ferrite and a ferromagnetic metal magnetic film. Therefore, a head having high recording / reproducing efficiency can be obtained because the rear magnetic circuit has a large cross-sectional area. The front magnetic circuit constituting the recording / reproducing track is composed of a ferromagnetic metal film having a high saturation magnetic flux density. Therefore, a sufficient recording magnetic field can be generated for the high coercive force tape. Since the tape sliding surface is composed of a ferromagnetic metal film and a non-magnetic filler, sliding noise due to ferrite does not occur. Further, as shown in FIG. 6, no track deviation occurs in the left and right magnetic core halves, and
As shown in (b), a magnetic head with high track width accuracy can be obtained.

【0019】本発明の磁気ヘッドでは、図1(b)に示
したように、強磁性金属膜11’として非磁性絶縁材を
介して積層した多層膜を使用することが出来る。これに
より渦電流を防止し、高周波まで記録再生特性のすぐれ
た磁気ヘッドを得ることが出来る。また、本発明の磁気
ヘッドにおいて、製造方法によって図1(c)に示すよ
うに高透磁率フェライトからなるコア基体部がヘッドの
端部に残ることがある。このような構成の場合でも、テ
ープが主として摺動するのはギャップ近傍であり、ヘッ
ド端部はテープが摺動しないか、テープが摺動してもそ
の接触力は極めて弱いため、ギャップからフェライトま
での距離Lが摺動面の幅Wよりも大きい場合には、摺動
ノイズに影響を与えないと考えられる。
In the magnetic head of the present invention, as shown in FIG. 1B, a multilayer film laminated with a non-magnetic insulating material can be used as the ferromagnetic metal film 11 '. As a result, an eddy current can be prevented and a magnetic head having excellent recording and reproducing characteristics up to high frequencies can be obtained. Further, in the magnetic head of the present invention, a core substrate made of high-permeability ferrite may remain at the end of the head depending on the manufacturing method, as shown in FIG. Even in such a configuration, the tape mainly slides in the vicinity of the gap, and the head end does not slide or the contact force is extremely weak even if the tape slides. If the distance L to is greater than the width W of the sliding surface, it is considered that sliding noise is not affected.

【0020】<実施例2>図7に、本発明のもう一つの
磁気ヘッドの例を示した。本ヘッドは、耐摩耗性非磁性
材からなるコア基体部10に形成した斜面上に、高飽和
磁束密度を有する強磁性金属膜11を被着した磁気ヘッ
ドコア半体12,12’を、ギャップ材13を介して接
合材14を用いて一体化した構造を有する。テープ摺動
面15上の強磁性金属膜部分以外の少なくともギャップ
深さまでを、非磁性充填材16で構成する。テープ摺動
面の前記非磁性充填材16に隣接する部分の強磁性金属
膜11’の厚さは、コア基体部に被着された強磁性金属
膜11の厚さよりも小さくする。コア基体部にはコイル
巻線窓17を設け、コイルを巻回して記録再生信号を入
出する。
<Embodiment 2> FIG. 7 shows another magnetic head of the present invention. In the present head, magnetic head core halves 12 and 12 ′ having a ferromagnetic metal film 11 having a high saturation magnetic flux density deposited on a slope formed on a core base portion 10 made of a wear-resistant non-magnetic material are used as a gap material. It has a structure integrated by using a bonding material 14 via 13. The nonmagnetic filler 16 constitutes at least the gap depth other than the ferromagnetic metal film portion on the tape sliding surface 15. The thickness of the ferromagnetic metal film 11 'on the tape sliding surface adjacent to the non-magnetic filler 16 is smaller than the thickness of the ferromagnetic metal film 11 deposited on the core substrate. A coil winding window 17 is provided on the core substrate, and the coil is wound to input / output a recording / reproducing signal.

【0021】本ヘッドでは、前部および後部磁気回路と
も高飽和磁束密度を有する強磁性金属膜で構成され、高
保磁力テープに対して充分な記録磁界を発生することが
出来る。トラック幅を決めるテープ摺動面の強磁性金属
膜11’の厚さよりも後部磁気コアの強磁性金属膜11
の厚さを大きいく出来るため、後部磁気コアの磁気抵抗
が低く出来、記録再生効率を向上することが出来る。ま
た左右磁気コア半体でのトラックずれが生ぜず、トラッ
ク幅精度の高い磁気ヘッドが得られる。
In this head, both the front and rear magnetic circuits are made of a ferromagnetic metal film having a high saturation magnetic flux density, and a sufficient recording magnetic field can be generated for the high coercive force tape. The thickness of the ferromagnetic metal film 11 'on the tape sliding surface that determines the track width is smaller than the thickness of the ferromagnetic metal film 11' on the rear magnetic core.
Since the thickness of the rear magnetic core can be increased, the magnetic resistance of the rear magnetic core can be reduced, and the recording / reproducing efficiency can be improved. Further, no track shift occurs in the left and right magnetic core halves, and a magnetic head with high track width accuracy can be obtained.

【0022】<実施例3>実施例1に示した磁気ヘッド
を例に、本発明の磁気ヘッドの製造方法を図8,図9,
図10に示した。
<Embodiment 3> Taking the magnetic head shown in Embodiment 1 as an example, a method of manufacturing the magnetic head of the present invention will be described with reference to FIGS.
It is shown in FIG.

【0023】a)図8(イ)に示したように、磁気ヘッ
ドのコア基体部となるべき高透磁率フェライトからなる
基板19に斜面20を有するほぼV字状の溝21を互い
に平行に複数本形成する。
A) As shown in FIG. 8A, a plurality of substantially V-shaped grooves 21 each having a slope 20 are formed in parallel with each other on a substrate 19 made of high-permeability ferrite which is to be a core substrate of a magnetic head. Form a book.

【0024】ここで、高透磁率フェライトは、Mn−Z
nフェライトの単結晶または多結晶材が用いられる。ま
た、Ni−Znフェライトを用いることも出来る。基板
19に溝21を形成するには、ダイヤモンドブレードを
使用し、高速ダイサーにより機械的に加工する。また、
腐食液を用いた化学的エッチング法、電解研磨法、さら
に、イオンミリングなどの薄膜加工法により加工する方
法がある。
Here, the high magnetic permeability ferrite is Mn-Z.
A single crystal or polycrystalline material of n-ferrite is used. In addition, Ni-Zn ferrite can also be used. To form the groove 21 in the substrate 19, a diamond blade is used and mechanical processing is performed by a high speed dicer. Also,
There are a chemical etching method using a corrosive liquid, an electrolytic polishing method, and a method of processing by a thin film processing method such as ion milling.

【0025】b)次に、図8(ロ)に示すように、基板
19の表面全体に強磁性金属磁性膜を被着、形成する。
B) Next, as shown in FIG. 8B, a ferromagnetic metal magnetic film is deposited and formed on the entire surface of the substrate 19.

【0026】強磁性金属磁性膜は、前記のように、Co
NbZr,CoTaZrなどの強磁性非晶質合金、Fe
AlSi系、FeGaSi系等の結晶質磁性合金、また
FeTaC,FeZrC,FeHfC,CoTaC,C
oZrC,FeTaN,FeZrNなどの微結晶磁性合
金が用いられる。これらの膜の形成には、主として2極
スパッタリング法、高速スパッタリング法、イオンビー
ムスパッタリング法等のスパッタリング法を用いる。
As described above, the ferromagnetic metal magnetic film is made of Co.
Ferromagnetic amorphous alloys such as NbZr and CoTaZr, Fe
Crystalline magnetic alloys such as AlSi-based and FeGaSi-based, FeTaC, FeZrC, FeHfC, CoTaC, C
A microcrystalline magnetic alloy such as oZrC, FeTaN, FeZrN is used. To form these films, a sputtering method such as a bipolar sputtering method, a high speed sputtering method or an ion beam sputtering method is mainly used.

【0027】c)次に図8(ハ)に示すように、溝21
に低融点ガラス等の非磁性材23を充填し、基板19の
表面を研削、研磨し、ギャップ形成面24とする。これ
により、磁気コア半体ブロック25を作製する。また、
図9(ニ)に示すように、(ハ)と同様の磁気コア半体
ブロック25’に巻線溝26を形成する。さらにギャッ
プ形成面24、24’のいずれか、あるいは双方にSi
2などのギャップ材をスパッタリング等により被着す
る。
C) Next, as shown in FIG.
Is filled with a non-magnetic material 23 such as low melting point glass, and the surface of the substrate 19 is ground and polished to form a gap forming surface 24. In this way, the magnetic core half block 25 is manufactured. Also,
As shown in FIG. 9D, the winding groove 26 is formed in the magnetic core half block 25 ′ similar to that of FIG. Furthermore, Si is formed on either or both of the gap forming surfaces 24, 24 '.
A gap material such as O 2 is deposited by sputtering or the like.

【0028】本実施例では、1枚の基板19から1個づ
つの磁気コア半体ブロック25、25’を作製するごと
く示したが、前述のように、大きい基板から磁気コア半
体大ブロックを作製し、溝21と垂直方向および平行方
向に切断して、多数の磁気コア半体ブロック25、2
5’を作製することが出来る。これにより、量産性を著
しく向上することが出来る。
In this embodiment, the magnetic core half blocks 25 and 25 'are manufactured one by one from the substrate 19, but as described above, the large magnetic core half blocks are formed from the large substrate. A plurality of magnetic core half blocks 25, 2 are manufactured and cut in a direction perpendicular to and parallel to the groove 21.
5'can be produced. As a result, mass productivity can be significantly improved.

【0029】d)次に図9(ホ)に示すように、磁気コ
ア半体ブロック25,25’の磁性膜端面27、27’
が一致するようにギャップ材を介して、ギャップ形成面
24、24’を突合せ、低融点ガラス23を加熱溶融し
て磁気コア半体ブロック同志を結合して、結合ブロック
28を作製する。
D) Next, as shown in FIG. 9 (e), the magnetic film end faces 27, 27 'of the magnetic core half blocks 25, 25'.
The gap forming surfaces 24 and 24 'are abutted to each other via the gap material so that they coincide with each other, the low melting point glass 23 is heated and melted, and the magnetic core half blocks are bonded to each other to form a bonded block 28.

【0030】磁気コア半体ブロックの結合には、上記の
ように溝21に充填した低融点ガラスを結合材とする方
法の他に、巻線溝26に低融点ガラス棒を挿入して結合
材として用いる方法、巻線溝以外に結合溝を設けて低融
点ガラスを充填して結合する方法、ギャップ面に低融点
ガラスの薄い膜を形成して結合材として用いる方法、こ
れらを併用する方法がある。
In order to bond the magnetic core half blocks, in addition to the method of using the low melting point glass filled in the groove 21 as the bonding material as described above, a low melting point glass rod is inserted in the winding groove 26 to bond the bonding material. , A method of forming a coupling groove other than the winding groove and filling with low melting point glass for coupling, a method of forming a thin film of low melting point glass on the gap surface and using as a binder, a method of using these in combination is there.

【0031】e)次に図9(ヘ)に示すように、結合ブ
ロック28のテープ摺動面に、少なくともギャップデプ
スの深さで、強磁性金属磁性膜22を残して、これと平
行な摺動面溝30を形成する。
E) Next, as shown in FIG. 9F, a ferromagnetic metal magnetic film 22 is left on the tape sliding surface of the coupling block 28 at a depth of at least the gap depth, and a sliding parallel to the ferromagnetic metal magnetic film 22 is left. The moving surface groove 30 is formed.

【0032】この溝の形成にはa)の工程で述べた、ダ
イヤモンドブレードおよび高速ダイサーを使用する機械
加工法が用いられる。また、各種エッチング法やイオン
ミリング法も可能である。
For forming the groove, the machining method using the diamond blade and the high speed dicer described in the step a) is used. Further, various etching methods and ion milling methods are also possible.

【0033】本工程の際には、図10(ト)に示すよう
に、強磁性金属磁性膜22が磁気コア半体ブロック2
5,25’の間でずれていても、両ブロックを通して一
点鎖線のように加工を行うために、最終的なトラック幅
はトラックずれの無い精度の高いものとなる。従って、
本発明の磁気ヘッドは高密度記録用狭トラックヘッドに
適したものとなる。
In this step, as shown in FIG. 10G, the ferromagnetic metal magnetic film 22 is formed into the magnetic core half block 2.
Even if there is a deviation between 5, 25 ', since the processing is performed through both blocks as indicated by the alternate long and short dash line, the final track width is highly accurate with no track deviation. Therefore,
The magnetic head of the present invention is suitable for a narrow track head for high density recording.

【0034】f)次に図10(ト)に示すように、上記
摺動面溝30に、非磁性充填材31を充填し、研削等に
より不要な非磁性材を除去する。
F) Next, as shown in FIG. 10G, the sliding surface groove 30 is filled with a non-magnetic filling material 31, and unnecessary non-magnetic material is removed by grinding or the like.

【0035】本工程において非磁性充填材としては、前
記のようにフォルステライト、ステアタイトなどの酸化
物を用いることが出来る。これらの材料は、真空蒸着法
により、高速で形成することが出来、熱膨張係数もフェ
ライトに近い値を有するため、ヘッド特性を維持し、ま
た内部応力によるクラック等を防止するために有用であ
る。また、スパッタリング法により形成したAl23
SiO2等の酸化物をも用いることが出来る。これらは
硬度が極めて高く耐摩耗性に優れているため、摩耗寿命
の長いヘッドを得ることが出来る。また、上記のように
薄膜形成法により形成した膜を用いる代わりに、低融点
ガラス等を加熱溶融し、摺動面溝に充填して用いること
が出来る。非磁性充填材として低融点ガラスを用いる場
合には、この軟化点が、前記の工程d)で結合ブロック
を作製するために用いた結合材の軟化点より低いことが
必要である。
As the non-magnetic filler in this step, an oxide such as forsterite or steatite can be used as described above. These materials can be formed at a high speed by the vacuum deposition method and have a coefficient of thermal expansion close to that of ferrite, so that they are useful for maintaining head characteristics and preventing cracks due to internal stress. . In addition, Al 2 O 3 formed by the sputtering method,
Oxides such as SiO 2 can also be used. Since these have extremely high hardness and excellent wear resistance, a head having a long wear life can be obtained. Further, instead of using the film formed by the thin film forming method as described above, low melting point glass or the like can be used by heating and melting and filling the groove in the sliding surface. If a low melting point glass is used as the non-magnetic filler, this softening point must be lower than the softening point of the binder used to make the bonded block in step d) above.

【0036】g)次いで、図10(チ)の破線部を切断
し、摺動面を曲面状に加工して、第1図に示した磁気ヘ
ッドが得られる。
G) Next, the broken line portion of FIG. 10C is cut and the sliding surface is processed into a curved surface to obtain the magnetic head shown in FIG.

【0037】VTRに用いられる磁気ヘッドでは、ヘッ
ドの走行方向に対してギャップを5〜20度傾けるアジ
マス角度を付けるのが一般的である。図10(リ)のテ
ープ摺動面に示したように、アジマス角θ傾けて結合ブ
ロック28を切断しヘッドを得る場合、破線aのように
強磁性金属膜22の傾きと同一方向に傾けて切断する方
法と、破線bのように強磁性金属膜22の傾きと逆方向
に傾けて切断する方法がある。これらのうち破線aのよ
うに強磁性金属膜と同一方向に傾ける方が、磁気ヘッド
内の強磁性金属膜22の長さを大きくとれるため記録再
生特性に優れ、また磁気ヘッドの走行方向と金属膜の方
向の傾きが小さいため、走行性にも有利である。
In a magnetic head used for a VTR, it is common to provide an azimuth angle that inclines the gap by 5 to 20 degrees with respect to the traveling direction of the head. As shown in the tape sliding surface of FIG. 10 (i), when the head is obtained by cutting the coupling block 28 by tilting the azimuth angle θ, tilt it in the same direction as the tilt of the ferromagnetic metal film 22 as indicated by the broken line a. There are a method of cutting and a method of cutting by tilting in the direction opposite to the tilt of the ferromagnetic metal film 22 as indicated by a broken line b. Of these, tilting in the same direction as the ferromagnetic metal film as indicated by the broken line a makes the length of the ferromagnetic metal film 22 in the magnetic head larger, which is excellent in recording / reproducing characteristics. Since the inclination of the film in the direction of the film is small, it is also advantageous in running property.

【0038】<実施例4>図11に本発明の磁気ヘッド
の別の例を示した。本実施例では、テープ摺動面15上
の強磁性金属膜11’のギャップ近傍に狭トラック切欠
き部32を設ける。これにより、トラック幅に対して前
部磁気回路においても強磁性金属膜の膜厚がトラック幅
より大となるため前部磁気回路の磁気抵抗が減少し、記
録再生効率の増加を図ることが出来る。狭トラック切欠
き部は、実施例3に示した製造方法の図9(ヘ)におい
て、摺動面溝30を加工した後あるいは同時に、各種エ
ッチング法あるいはイオンミリング法等により形成する
ことが出来る。また、近年フォーカスイオンビーム発生
装置の発展により、ギャップ近傍に局所的に狭トラック
切欠き部を加工することも可能になった。
<Embodiment 4> FIG. 11 shows another example of the magnetic head of the present invention. In this embodiment, a narrow track cutout 32 is provided near the gap of the ferromagnetic metal film 11 'on the tape sliding surface 15. As a result, the film thickness of the ferromagnetic metal film in the front magnetic circuit is larger than the track width in the front magnetic circuit, so that the magnetic resistance of the front magnetic circuit is reduced and the recording / reproducing efficiency can be increased. . The narrow track notch portion can be formed by various etching methods or ion milling methods after or at the same time as processing the sliding surface groove 30 in FIG. 9F of the manufacturing method shown in the third embodiment. Further, with the recent development of the focused ion beam generator, it has become possible to locally form a narrow track notch near the gap.

【0039】図12(イ)、(ロ)に本発明の磁気ヘッ
ドの別の例を示した。(ロ)は(イ)のギャップ付近を
拡大した図である。本実施例では、非磁性充填材16と
強磁性金属膜11’の間にCr,Mo,W,Ta,N
b,Ti,Zrなどの非磁性金属膜33を設ける。この
膜は、非磁性充填材と強磁性金属膜の密着性を改善し、
あるいは両者の間の反応を防止する。
FIGS. 12A and 12B show another example of the magnetic head of the present invention. (B) is an enlarged view of the vicinity of the gap of (A). In this embodiment, Cr, Mo, W, Ta, N are provided between the non-magnetic filler 16 and the ferromagnetic metal film 11 '.
A non-magnetic metal film 33 of b, Ti, Zr or the like is provided. This film improves the adhesion between the non-magnetic filler and the ferromagnetic metal film,
Or prevent the reaction between the two.

【0040】強磁性金属膜11’として渦電流防止のた
めの多層膜を使用している場合には、非磁性金属膜33
を強磁性金属膜に直接被着することにより、左右磁気コ
アの強磁性金属膜が電気的に導通し問題を生ずる場合が
ある。図12(ハ)のように、非磁性金属膜33と強磁
性金属膜11’の間に非磁性絶縁膜34を被着すること
により上記問題を解決出来る。
When a multilayer film for preventing eddy current is used as the ferromagnetic metal film 11 ', the non-magnetic metal film 33 is used.
By directly depositing on the ferromagnetic metal film, the ferromagnetic metal films of the left and right magnetic cores may be electrically conducted and a problem may occur. As shown in FIG. 12C, the above problem can be solved by depositing the nonmagnetic insulating film 34 between the nonmagnetic metal film 33 and the ferromagnetic metal film 11 ′.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上に述べたように、テープ摺動面上で
強磁性金属膜以外のコア基体部を除去し、非磁性充填材
で充填した構造とすることにより、記録再生特性に優
れ、摺動ノイズがなく、量産性が高く、トラック幅精度
の高い磁気ヘッドを提供することが出来た。
As described above, since the core base portion other than the ferromagnetic metal film is removed on the tape sliding surface and the structure is filled with the non-magnetic filler, the recording and reproducing characteristics are excellent. We were able to provide a magnetic head with no sliding noise, high mass productivity, and high track width accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドを示す斜視図および平面
図。
FIG. 1 is a perspective view and a plan view showing a magnetic head of the present invention.

【図2】従来の磁気ヘッドを示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a conventional magnetic head.

【図3】従来の磁気ヘッドを示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a conventional magnetic head.

【図4】従来の磁気ヘッドの製造方法を示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図5】従来の磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図6】従来の磁気ヘッドの問題点を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a problem of a conventional magnetic head.

【図7】本発明の磁気ヘッドの例を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a magnetic head of the present invention.

【図8】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

【図9】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

【図10】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図。
FIG. 10 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

【図11】本発明の磁気ヘッドの例を示す平面図。FIG. 11 is a plan view showing an example of a magnetic head of the present invention.

【図12】本発明の磁気ヘッドの例を示す平面図。FIG. 12 is a plan view showing an example of a magnetic head of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 …コア基体部 11、11’、22 …強磁性金属膜 12、12’ …磁気コア半体 13 …ギャップ材 14 …接合材 15、29 …テープ摺動面 16、31 …非磁性充填材 17 …巻線窓 18 …非磁性絶縁材 19 …基板 20 …斜面 21 …溝 23 …非磁性材 24、24’ …ギャップ形成面 25、25’ …磁気コア半体ブロック 26 …巻線溝 27、27’ …磁性膜端面 28 …結合ブロック 30 …摺動面溝 32 …狭トラック切欠き部 33 …非磁性金属膜 34 …非磁性絶縁膜 10 ... Core substrate part 11, 11 ', 22 ... Ferromagnetic metal film 12, 12' ... Magnetic core half body 13 ... Gap material 14 ... Bonding material 15, 29 ... Tape sliding surface 16, 31 ... Nonmagnetic filler 17 ... Winding window 18 ... Non-magnetic insulating material 19 ... Substrate 20 ... Slope 21 ... Groove 23 ... Non-magnetic material 24, 24 '... Gap forming surface 25, 25' ... Magnetic core half block 26 ... Winding groove 27, 27 '... Magnetic film end surface 28 ... Coupling block 30 ... Sliding surface groove 32 ... Narrow track notch 33 ... Non-magnetic metal film 34 ... Non-magnetic insulating film

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】コア基体部の斜面上に強磁性金属膜を被着
した2個の磁気コア半体を、前記強磁性金属膜同志が一
致するようにギャップ材を介して接合一体化した磁気ヘ
ッドにおいて、強磁性金属膜のみが記録再生トラックを
構成するように、強磁性金属膜と平行で少なくともギャ
ップ深さまでの溝をテープ摺動面に形成して強磁性金属
膜の厚みを減じるとともにコア基体部を除去し、前記摺
動面上の溝に非磁性充填材を充填してなることを特徴と
する磁気ヘッド。
1. A magnetic structure in which two magnetic core halves each having a ferromagnetic metal film deposited on a slope of a core substrate are joined and integrated via a gap material so that the ferromagnetic metal films are aligned with each other. In the head, a groove that is parallel to the ferromagnetic metal film and extends to at least the gap depth up to at least the gap depth is formed on the tape sliding surface so that the ferromagnetic metal film only constitutes a recording / reproducing track, thereby reducing the thickness of the ferromagnetic metal film and reducing the core. A magnetic head, characterized in that a base portion is removed and a groove on the sliding surface is filled with a non-magnetic filling material.
【請求項2】コア基体部が高透磁率フェライトである請
求項1の磁気ヘッド。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the core substrate is a high magnetic permeability ferrite.
【請求項3】コア基体部が耐摩耗性非磁性材である請求
項1の磁気ヘッド。
3. A magnetic head according to claim 1, wherein the core substrate is made of a wear-resistant non-magnetic material.
【請求項4】アジマス角を有する磁気ヘッドにおいて、
ギャップ面に対する上記強磁性金属膜の傾斜の方向と磁
気ヘッド側面の傾斜の方向が同一であることを特徴とし
た請求項1ないし3のうちいずれかに記載の磁気ヘッ
ド。
4. A magnetic head having an azimuth angle,
4. The magnetic head according to claim 1, wherein the direction of inclination of the ferromagnetic metal film with respect to the gap surface and the direction of inclination of the side surface of the magnetic head are the same.
【請求項5】コア基体部の斜面上に強磁性金属膜を被着
した2個の磁気コア半体を、前記強磁性金属膜同志が一
致するようにギャップ材を介して接合一体化した磁気ヘ
ッドの製造方法において、前記コア基体部となるべき基
板に斜面を有する溝を形成する工程、前記斜面上に強磁
性金属膜を被着する工程、前記溝に非磁性材を充填する
工程、前記基板の余分な非磁性材および強磁性金属膜を
研削、研磨により除去してギャップ形成面とし、磁気コ
ア半体ブロックを作製する工程、少なくとも一方の磁気
コア半体ブロックにコイル巻線用の溝を形成する工程、
磁気コア半体ブロックのギャップ形成面にギャップ材を
被着する工程、強磁性金属膜同志が一致するようにギャ
ップ材を介して2個の磁気コア半体ブロックを接合一体
化し、接合ブロックを作製する工程、接合ブロックのテ
ープ摺動面に強磁性金属膜と平行で少なくともギャップ
深さまでの溝を形成する工程、前記摺動面上の溝に非磁
性充填材を充填する工程、余分な非磁性充填材を除去す
る工程、所定のコア幅に接合ブロックを切断し、磁気ヘ
ッドとする工程を有する磁気ヘッドの製造方法。
5. A magnetic structure in which two magnetic core halves each having a ferromagnetic metal film deposited on the slope of a core substrate are joined and integrated via a gap material so that the ferromagnetic metal films are aligned with each other. In the method of manufacturing a head, a step of forming a groove having an inclined surface on a substrate to be the core base portion, a step of depositing a ferromagnetic metal film on the inclined surface, a step of filling the groove with a non-magnetic material, Excessive non-magnetic material and ferromagnetic metal film on the substrate are removed by grinding and polishing to form a gap forming surface, and a magnetic core half block is manufactured. At least one magnetic core half block has a groove for coil winding. The step of forming
The step of depositing a gap material on the gap forming surface of the magnetic core half block, the two magnetic core half blocks are joined and integrated via the gap material so that the ferromagnetic metal films are aligned with each other, and the joined block is manufactured. Forming step, forming a groove on the tape sliding surface of the joining block in parallel with the ferromagnetic metal film up to at least the gap depth, filling the groove on the sliding surface with a non-magnetic filling material, extra non-magnetic A method of manufacturing a magnetic head, comprising a step of removing a filler and a step of cutting a joining block into a predetermined core width to form a magnetic head.
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