JPH0674557A - 純水加温装置 - Google Patents
純水加温装置Info
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- JPH0674557A JPH0674557A JP23306492A JP23306492A JPH0674557A JP H0674557 A JPH0674557 A JP H0674557A JP 23306492 A JP23306492 A JP 23306492A JP 23306492 A JP23306492 A JP 23306492A JP H0674557 A JPH0674557 A JP H0674557A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 純水加温装置において、加温中に発生する気
泡をスムーズに流動させ、しかも低価格な純水加温装置
を提供する。 【構成】 円筒状の加温水槽１を下流側に向って上り勾
配を付し、両端部は垂直に切断してあって、この両端部
を端面部材３，４で封着し、この両端面部材３，４に直
交するように複数のヒーター挿入パイプ５を挿設すると
ともに、上流側端面近傍の下部に純水入口管６を、下流
側端面近傍の上部に純水出口管７を設けたことを特徴と
している。
泡をスムーズに流動させ、しかも低価格な純水加温装置
を提供する。 【構成】 円筒状の加温水槽１を下流側に向って上り勾
配を付し、両端部は垂直に切断してあって、この両端部
を端面部材３，４で封着し、この両端面部材３，４に直
交するように複数のヒーター挿入パイプ５を挿設すると
ともに、上流側端面近傍の下部に純水入口管６を、下流
側端面近傍の上部に純水出口管７を設けたことを特徴と
している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工程等に
用いる純水加温装置に関するものである。
用いる純水加温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、純水の加温装置は透明の
石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、原
材料のコストや加工難度等から高価格の装置となってい
る。図７は、従来の純水加温装置の縦断面図であって、
図示のように、加温水槽21のボディー22と、このボディ
ー22内に挿入してある複数のヒーター挿入パイプ23は平
行に配設してあるため、純水加温中に発生する気泡が滞
留することが原因となって温度むらを起こしたり、流路
を気泡が閉塞し流路抵抗が増大して加温水槽を破壊する
こともある。又、図示のように純水入口管24と純水出口
管25をボディー22の周面に設けるため加工がむつかし
く、そして、加温水槽を上下に直列に配設する場合も連
結パイプ26を必要とするためコストが高く、又、コンパ
クトな構造にはなっていない。
石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、原
材料のコストや加工難度等から高価格の装置となってい
る。図７は、従来の純水加温装置の縦断面図であって、
図示のように、加温水槽21のボディー22と、このボディ
ー22内に挿入してある複数のヒーター挿入パイプ23は平
行に配設してあるため、純水加温中に発生する気泡が滞
留することが原因となって温度むらを起こしたり、流路
を気泡が閉塞し流路抵抗が増大して加温水槽を破壊する
こともある。又、図示のように純水入口管24と純水出口
管25をボディー22の周面に設けるため加工がむつかし
く、そして、加温水槽を上下に直列に配設する場合も連
結パイプ26を必要とするためコストが高く、又、コンパ
クトな構造にはなっていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、低コストで気泡の発生にも対処できる純水加
温装置を提供することを目的とするものである。
点に鑑み、低コストで気泡の発生にも対処できる純水加
温装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、円筒
状の加温水槽を下流側に向って上り勾配を付し、両端部
は垂直に切断してあって、この両端部を端面部材で封着
し、この両端面部材に直交するように複数のヒーター挿
入パイプを挿設するとともに、上流側端面近傍の下部に
純水入口管を、下流側端面近傍の上部に純水出口管を設
けたことを特徴とし、請求項２は円筒状の加温水槽を下
流側に向って上り勾配を付し、両端部は垂直に切断して
あって、この両端部を端面部材で封着し、この両端面部
材に直交するように複数のヒーター挿入パイプを挿設し
た加温水槽を上下に配設した構成の純水加温装置におい
て、下部に配設した加温水槽の上流側端面部材の下部に
純水入口管を設け、下流側端面部材の近接位置の周面に
出口孔を形成し、上部に配設した加温水槽の上流側端面
部材の近接位置の周面に入口孔を形成し、下流側端面部
材の上部に純水出口管を設けるとともに、前記出口孔と
前記入口孔とを接合部材を介して連通したことを特徴と
している。
状の加温水槽を下流側に向って上り勾配を付し、両端部
は垂直に切断してあって、この両端部を端面部材で封着
し、この両端面部材に直交するように複数のヒーター挿
入パイプを挿設するとともに、上流側端面近傍の下部に
純水入口管を、下流側端面近傍の上部に純水出口管を設
けたことを特徴とし、請求項２は円筒状の加温水槽を下
流側に向って上り勾配を付し、両端部は垂直に切断して
あって、この両端部を端面部材で封着し、この両端面部
材に直交するように複数のヒーター挿入パイプを挿設し
た加温水槽を上下に配設した構成の純水加温装置におい
て、下部に配設した加温水槽の上流側端面部材の下部に
純水入口管を設け、下流側端面部材の近接位置の周面に
出口孔を形成し、上部に配設した加温水槽の上流側端面
部材の近接位置の周面に入口孔を形成し、下流側端面部
材の上部に純水出口管を設けるとともに、前記出口孔と
前記入口孔とを接合部材を介して連通したことを特徴と
している。
【０００５】
【作用】この発明によれば、加温水槽内で加温された純
水は、下流側端面部材の上部に設けた純水出口管に向っ
て流れるが、下流側の上部は勾配により広くなっている
ので、気泡同志が接触し合体しながら流れる。したがっ
て、加温水槽及び純水出口管内で気泡による支障はな
く、温度むらも発生しない。
水は、下流側端面部材の上部に設けた純水出口管に向っ
て流れるが、下流側の上部は勾配により広くなっている
ので、気泡同志が接触し合体しながら流れる。したがっ
て、加温水槽及び純水出口管内で気泡による支障はな
く、温度むらも発生しない。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明の請求項１の純水加温
装置の加温水槽１の縦断面図、図２は、図１の右側面
図、図３は、図１の左側面図である。図１において、１
は加温水槽であって、円筒のボディー２、上流側端面部
材３、下流側端面部材４及び複数のヒーター挿入パイプ
５並びに純水入口管６と純水出口管７より構成してあ
る。尚、前記純水加温装置は加温水槽のほかに図示省略
の純水供給ライン、取水ライン、貯水タンク、配水ライ
ン、加熱部材等により構成する。
細に説明する。図１は、この発明の請求項１の純水加温
装置の加温水槽１の縦断面図、図２は、図１の右側面
図、図３は、図１の左側面図である。図１において、１
は加温水槽であって、円筒のボディー２、上流側端面部
材３、下流側端面部材４及び複数のヒーター挿入パイプ
５並びに純水入口管６と純水出口管７より構成してあ
る。尚、前記純水加温装置は加温水槽のほかに図示省略
の純水供給ライン、取水ライン、貯水タンク、配水ライ
ン、加熱部材等により構成する。
【０００７】加温水槽１の前記構成部材はすべて透明の
石英ガラスを用いている。前記ボディー２は、円筒線に
対して所定長さに両端を斜めに切断してあって、この両
端面の上流側（図１の左側）に上流側端面部材３を、下
流側（図１の右側）に下流側端面部材４をそれぞれ封着
し、この両端面部材３，４が垂直になるように配設す
る。即ち、ボディー２の円筒線は水平に対し下流側に向
って所定の勾配（この実施例では約１．５°）を付けた
ことになる。そして、前記上流側端面部材３と下流側端
面部材４との間に、図２〜図３に示すように、６本のヒ
ーター挿入パイプ５を両端面部材３，４に対して直交す
るように挿設し、上流側端面部材３の下部に純水入口管
６を、下流側端面部材４の上部に純水出口管７を挿設し
て加温水槽１を形成している。尚、前記純水入口管６及
び純水出口管７は、図１に想像線で示すようにそれぞれ
の端部近傍のボディー２の周面に垂直に挿設することも
できる。
石英ガラスを用いている。前記ボディー２は、円筒線に
対して所定長さに両端を斜めに切断してあって、この両
端面の上流側（図１の左側）に上流側端面部材３を、下
流側（図１の右側）に下流側端面部材４をそれぞれ封着
し、この両端面部材３，４が垂直になるように配設す
る。即ち、ボディー２の円筒線は水平に対し下流側に向
って所定の勾配（この実施例では約１．５°）を付けた
ことになる。そして、前記上流側端面部材３と下流側端
面部材４との間に、図２〜図３に示すように、６本のヒ
ーター挿入パイプ５を両端面部材３，４に対して直交す
るように挿設し、上流側端面部材３の下部に純水入口管
６を、下流側端面部材４の上部に純水出口管７を挿設し
て加温水槽１を形成している。尚、前記純水入口管６及
び純水出口管７は、図１に想像線で示すようにそれぞれ
の端部近傍のボディー２の周面に垂直に挿設することも
できる。
【０００８】次に、この発明の作用について説明する。
図示省略の純水供給ラインより純水入口管６を介して加
温水槽１内に流水した純水は、６本のヒーター挿入パイ
プ５内に挿入した加熱部材（図示省略）例えばハロゲン
ランプ等により加熱され昇温しながら下流側の純水出口
管７に向って流れ、純水出口管７に接続してある取水ラ
インを介して貯水タンク７に流入する。そして、半導体
製造工程等に洗浄水として配水ラインを介して所定温度
の純水を供給する。尚、加温水槽１は、下流側に向って
上り勾配に配設してあるので昇温時に発生する気泡は、
上方に配設したヒーター挿入パイプ５とボディー２との
間に集まり、ボディー２側に浮上する。浮上した気泡
は、ボディー２が上り勾配となっているので上部内壁に
沿ってスムーズに流れる。したがって、加温水槽１内及
び純水出口管７内での気泡による支障はなく、温度むら
も発生しない。
図示省略の純水供給ラインより純水入口管６を介して加
温水槽１内に流水した純水は、６本のヒーター挿入パイ
プ５内に挿入した加熱部材（図示省略）例えばハロゲン
ランプ等により加熱され昇温しながら下流側の純水出口
管７に向って流れ、純水出口管７に接続してある取水ラ
インを介して貯水タンク７に流入する。そして、半導体
製造工程等に洗浄水として配水ラインを介して所定温度
の純水を供給する。尚、加温水槽１は、下流側に向って
上り勾配に配設してあるので昇温時に発生する気泡は、
上方に配設したヒーター挿入パイプ５とボディー２との
間に集まり、ボディー２側に浮上する。浮上した気泡
は、ボディー２が上り勾配となっているので上部内壁に
沿ってスムーズに流れる。したがって、加温水槽１内及
び純水出口管７内での気泡による支障はなく、温度むら
も発生しない。
【０００９】上記実施例にかわる請求項２の実施例を図
面に基づいて詳細に説明する。尚、前記実施例の同一部
材には同一番号を付し、同一構成については説明を省略
する。図４は、２個の加温水槽１を上下に直列配設した
一体型純水加温装置の系統図、図５は、図４の一体型に
形成した加温水槽１の縦断面図、図６は、図５の右側面
図である。図４において、１は加温水槽、12は貯水タン
ク、13は純水供給ライン、14は加温水槽１と貯水タンク
12を接続する取水ライン、15は配水ライン、16は温度セ
ンサである。
面に基づいて詳細に説明する。尚、前記実施例の同一部
材には同一番号を付し、同一構成については説明を省略
する。図４は、２個の加温水槽１を上下に直列配設した
一体型純水加温装置の系統図、図５は、図４の一体型に
形成した加温水槽１の縦断面図、図６は、図５の右側面
図である。図４において、１は加温水槽、12は貯水タン
ク、13は純水供給ライン、14は加温水槽１と貯水タンク
12を接続する取水ライン、15は配水ライン、16は温度セ
ンサである。
【００１０】加温水槽１は、図５〜６に示すように下部
加温水槽１ａと上部加温水槽１ｂからなり、それぞれの
加温水槽１ａ，１ｂは下流側に向って上り勾配に配設し
てある。そして、前記下部加温水槽１ａの上流側端面部
材３ａの下部に純水入口管６を挿設し、下流側端面の近
接位置の周面上部に出口孔８を形成する。一方、上部加
温水槽１ｂの上流側端面の周面下部に、前記下部加温水
槽１ａに形成した出口孔８に相対する入口孔９を形成
し、出口孔８と入口孔９とを接合部材10で上下加温水槽
１ａ，１ｂの両端面が垂直になるように接合する。又、
上部加温水槽１ｂの下流側端面部材４ｂの上部に純水出
口管７を挿設し取水ライン14に連通している。図中11
は、ステー部材で上下加温水槽１ａ，１ｂを固定する。
加温水槽１ａと上部加温水槽１ｂからなり、それぞれの
加温水槽１ａ，１ｂは下流側に向って上り勾配に配設し
てある。そして、前記下部加温水槽１ａの上流側端面部
材３ａの下部に純水入口管６を挿設し、下流側端面の近
接位置の周面上部に出口孔８を形成する。一方、上部加
温水槽１ｂの上流側端面の周面下部に、前記下部加温水
槽１ａに形成した出口孔８に相対する入口孔９を形成
し、出口孔８と入口孔９とを接合部材10で上下加温水槽
１ａ，１ｂの両端面が垂直になるように接合する。又、
上部加温水槽１ｂの下流側端面部材４ｂの上部に純水出
口管７を挿設し取水ライン14に連通している。図中11
は、ステー部材で上下加温水槽１ａ，１ｂを固定する。
【００１１】次に、この実施例の作用について説明す
る。尚前述の請求項１の実施例の作用と重複するところ
は省略する。図４に示すように、純水供給ライン13より
純水入口管６を介して下部加温水槽１ａ内に流入した純
水は、複数のヒーター等により加熱され昇温しながら接
合部材10を介して上部加温水槽１ｂ内へ流入する。そし
て、上部加温水槽１ｂ内でさらに加熱され所定温度（75
℃〜85℃）に加温された純水は、上部加温水槽１ｂに付
設の純水出口管７を介して取水ライン14へ流出し、途中
に挿設した温度センサ16で検温され貯水タンク12内に流
入する。尚、前記上下加温水槽１ａ，１ｂは、それぞれ
下流側に向って上り勾配に配設してあるので、前述の実
施例と同様に気泡による支障はなく、温度むらも発生し
ない。又、前記温度センサ16は、純水が所定温度内に加
温されているかをチェックし、図示しない通信線を介し
て制御器（図示省略）に通報し、前記加熱部材を調整し
て純水が所定温度内になるよう制御する。
る。尚前述の請求項１の実施例の作用と重複するところ
は省略する。図４に示すように、純水供給ライン13より
純水入口管６を介して下部加温水槽１ａ内に流入した純
水は、複数のヒーター等により加熱され昇温しながら接
合部材10を介して上部加温水槽１ｂ内へ流入する。そし
て、上部加温水槽１ｂ内でさらに加熱され所定温度（75
℃〜85℃）に加温された純水は、上部加温水槽１ｂに付
設の純水出口管７を介して取水ライン14へ流出し、途中
に挿設した温度センサ16で検温され貯水タンク12内に流
入する。尚、前記上下加温水槽１ａ，１ｂは、それぞれ
下流側に向って上り勾配に配設してあるので、前述の実
施例と同様に気泡による支障はなく、温度むらも発生し
ない。又、前記温度センサ16は、純水が所定温度内に加
温されているかをチェックし、図示しない通信線を介し
て制御器（図示省略）に通報し、前記加熱部材を調整し
て純水が所定温度内になるよう制御する。
【００１２】
【発明の効果】この発明は、以上のような構成であり、
加温水槽をヒーター挿入パイプに対し下流側に向って上
り勾配に配設したので、気泡の流出が円滑になり温度む
らもなくなりスムーズに純水を所定温度に加温すること
ができる。又、加温水槽を勾配に配設したので、両端面
部材に挿入したヒーター挿入パイプに空間ができ、純水
入口管と純水出口管を端面部材に挿入でき加工が容易と
なる。請求項２の一体型では、上下加温水槽をそれぞれ
下流側に向って上り勾配に配設したので、従来のような
配管構造は不要でコンパクトとなり製造コストも低減す
ることができる。
加温水槽をヒーター挿入パイプに対し下流側に向って上
り勾配に配設したので、気泡の流出が円滑になり温度む
らもなくなりスムーズに純水を所定温度に加温すること
ができる。又、加温水槽を勾配に配設したので、両端面
部材に挿入したヒーター挿入パイプに空間ができ、純水
入口管と純水出口管を端面部材に挿入でき加工が容易と
なる。請求項２の一体型では、上下加温水槽をそれぞれ
下流側に向って上り勾配に配設したので、従来のような
配管構造は不要でコンパクトとなり製造コストも低減す
ることができる。
【図１】この発明を実施した請求項１の加温水槽の縦断
面図である。
面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図１の左側面図である。
【図４】この発明を実施した請求項２の純水加温装置の
系統図である。
系統図である。
【図５】図４の一体型加温水槽の縦断面図である。
【図６】図５の右側面図である。
【図７】従来の加温水槽の縦断面図である。
１．加温水槽 ３．上流側端面部材 ４．下流側端面部材 ５．ヒーター挿入パイプ ６．純水入口管 ７．純水出口管 １ａ．上部加温水槽 １ｂ．下部加温水槽 ３ａ．上流側端面部材 ３ｂ．上流側端面部材 ４ａ．下流側端面部材 ４ｂ．下流側端面部材 ８．出口孔 ９．入口孔 10．接合部材
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒状の加温水槽１を下流側に向って上
り勾配を付し、両端部は垂直に切断してあって、この両
端部を端面部材３，４で封着し、この両端面部材３，４
に直交するように複数のヒーター挿入パイプ５を挿設す
るとともに、上流側端面近傍の下部に純水入口管６を、
下流側端面近傍の上部に純水出口管７を設けたことを特
徴とする純水加温装置。 - 【請求項２】 円筒状の加温水槽１を下流側に向って上
り勾配を付し、両端部は垂直に切断してあって、この両
端部を端面部材３，４で封着し、この両端面部材３，４
に直交するように複数のヒーター挿入パイプ５を挿設し
た加温水槽１を上下に配設した構成の純水加温装置にお
いて、下部に配設した加温水槽１ａの上流側端面部材３
ａの下部に純水入口管６を設け、下流側端面部材４ａの
近接位置の周面に出口孔８を形成し、上部に配設した加
温水槽１ｂの上流側端面部材３ｂの近接位置の周面に入
口孔９を形成し、下流側端面部材４ｂの上部に純水出口
管７を設けるとともに、前記出口孔８と前記入口孔９と
を接合部材10を介して連通したことを特徴とする純水加
温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233064A JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233064A JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674557A true JPH0674557A (ja) | 1994-03-15 |
| JP2868958B2 JP2868958B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16949239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4233064A Expired - Fee Related JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868958B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001087698A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | カーテンコータ用カラー脱泡装置 |
| WO2009123045A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | ニチアス株式会社 | ランプ及び加熱装置 |
| JP2009264646A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Nippon Denka Koki Kk | 液体加熱装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101378812B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2014-03-27 | 오현오 | 온수생성공급장치 |
| KR101739807B1 (ko) * | 2016-07-19 | 2017-05-26 | ㈜디에스에이치 | 유체가열 장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS40712Y1 (ja) * | 1961-11-01 | 1965-01-11 | ||
| JPS6023748A (ja) * | 1983-05-04 | 1985-02-06 | ハイドロ−ウェ−ブ・コ−ポレ−ション | 加熱液体供給方法及び液体加熱装置 |
| JPS6375439A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Toho Kasei Kk | 流体加熱器 |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP4233064A patent/JP2868958B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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| JP2009243760A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nichias Corp | ランプ及び加熱装置 |
| CN101983537A (zh) * | 2008-03-31 | 2011-03-02 | 霓佳斯株式会社 | 灯及加热装置 |
| JP2009264646A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Nippon Denka Koki Kk | 液体加熱装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2868958B2 (ja) | 1999-03-10 |
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