JPH0668019U - 微分干渉顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、光分岐部材を簡単な操作で容易に
光軸上の所定位置に移動させることができ、装置の構成
を簡素化して低廉化を図ることと共に、操作の簡易化を
図ることを目的とする。 【構成】 照明光を２分割して被検物側に導くと共に、
被検物よりの２分割光束を結合させる一軸性結晶より成
る光分岐部材を備え、該光分岐部材で結合させた光束に
より微分干渉観察を行う微分干渉顕微鏡において、光分
岐部材（４）を光軸方向の複数の位置に切換移動可能に
保持し、かつ、光分岐部材を光軸に対して垂直方向に移
動可能に保持する分岐部材保持手段（１５）を設けたこ
とを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、干渉色あるいは明暗のコントラストによって被検物表面の微小な凹 凸を観察する微分干渉顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、顕微鏡観察の分野では、被検物表面の微小な凹凸を確認できる微分干渉 観察法が知られている。

【０００３】 この微分干渉観察法は、ポラライザを通り直線偏光された照明光を一軸性の複 屈折物質より成る組合わせプリズムにより二光束に分離して被検物に照射し、被 検物よりの観察光を同様のプリズムにより結合させた後、アナライザで干渉させ ることにより、被検物の微小な凹凸による光路差を光の干渉色として観察する手 法である。また、落射照明による微分干渉観察では、照明光の二光束分割と、観 察光の結合とを一つの組合わせプリズムで行う。

【０００４】 微分干渉観察法として最も一般的なノマルスキー型の微分干渉法では、ノマル スキープリズムを通過した二つの光線が角度を持っており、該光線がある一点で 交わる。この交点はローカライズ面と呼ばれる。また、落射ノマルスキー微分干 渉法では、前述のように照明光を分離したプリズムで観察光を結合させなければ ならないため、ノマルスキープリズムのローカライズ面を対物レンズの後側焦点 面に一致させている。このとき、両者がズレていると干渉色にムラを生じて良好 な観察を行えない。

【０００５】 また、顕微鏡観察では、一般的に倍率によって対物レンズの後側焦点距離が異 なるので、対物レンズを変換する毎にノマルスキープリズムのローカライズ面を 対物レンズの後側焦点面に合わせる必要がある。

【０００６】 このため、実開平４−５９８１５号公報に示されているような構成のものが考 えられている。図８は係る顕微鏡のノマルスキープリズムの駆動機構を示す断面 図である。この駆動機構は、複数の対物レンズ１０１が取り付けられたレボルバ ー１０２の下部に設けられたボックス１０３内に収納されている。ボックス１０ ３はその中央下部にナット１０４が固設されており、当該ナット１０４と螺合す るように下部に雄ネジ１０５ａが形成され、かつ、上部に歯車１０５ｂが固設さ れた保持軸１０５がボックス上部に回転可能に軸支されている。また、下部に歯 車１０６ａを有する調整ノブ１０６がボックス１０３上部に回転可能に軸支され 、歯車１０６ａが保持軸１０５の歯車１０５ｂに噛合されている。

【０００７】 また、さらに保持軸１０５を中心軸として回転可能にターレット盤１０７が設 けられ、かつ、このターレット盤１０７と保持軸１０５との間にミニチュアベア リング１０８を介在させている。ターレット盤１０７は光軸Ｌ上にノマルスキー プリズム１０９を有している。

【０００８】 すなわち、この駆動機構は、調整ノブ１０６の回転により、歯車１０５ｂを介 して歯車１０６ａの回転力が伝達されて保持軸１０５を回転させ、保持軸１０５ の下端の雄ネジ１０５ａがナット１０４に螺合されていることにより、保持軸１ ０５の回転に伴ってターレット盤１０７自体が昇降するように構成されている。

【０００９】 従って、この顕微鏡においては、前述した駆動機構により、ノマルスキープリ ズム１０９を光軸方向に移動可能とし、対物レンズ変換時にノマルスキープリズ ム位置が調整される。

【００１０】 一方、実公昭５１−５１２４２号公報及び実開平４−１０７２１２号公報に示 されるように対物レンズ毎にローカライズ位置を合わせて設計されたノマルスキ ープリズムを使用することも考えられている。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】 しかしながら、実開平４−５９８１５号公報に示されるような微分干渉顕微鏡 では、ノマルスキープリズム位置を調整する場合、操作者が対物レンズ１０１の 変換毎に像を見ながら干渉ムラが無くなるように調整ノブ１０６を回転させなが ら光軸上のノマルスキープリズム位置を微調整しなければならないため、標本の 観察倍率毎に、煩わしい微調整操作を行う問題がある。

【００１２】 また、このように対物レンズ１０１毎に微調整を伴う顕微鏡は、前述した通り に機構が複雑であり、かつ、調整ノブ１０６の回転操作により、歯車１０６ａ， １０５ｂを介してノマルスキープリズム９を昇降させているので、操作性が極め て低いという問題がある。

【００１３】 一方、対物レンズ毎に対応して設計されたノマルスキープリズムを使用する方 式では、微調整の煩わしさは解消されるが、使用する対物レンズ毎にノマルスキ ープリズムを設けるので、何本もの対物レンズを使用する場合には高価なものと なる。

【００１４】 これらの問題を解決するには、倍率によって異なる対物レンズの後側焦点面を 各倍率の対物レンズ間で一致させる必要がある。これにより、対物レンズを変換 し、倍率を変えても一つのノマルスキープリズムが無調整で使用可能となる。 しかし、長作動距離対物レンズでは、レンズ群が一般対物レンズより後方に位 置するので、設計上、後側焦点面が後方に寄る問題がある。

【００１５】 従って、同種の対物レンズ間では、異なる倍率でも後側焦点面が一致可能であ るが、一般対物レンズと長作動対物レンズとの間では後側焦点面が一致不可能で ある。

【００１６】 そのため、一般対物レンズと長作動対物レンズを併用する場合、同種の対物レ ンズ間の倍率変換では一つのノマルスキープリズムを無調整で使用できるが、一 般対物レンズから長作動距離対物レンズへ、あるいはその逆へ変換した場合には 、ノマルスキープリズムのローカライズ面を調整する必要がある。

【００１７】 本考案は上記実情を考慮してなされたもので、光分岐部材を簡単な操作で容易 に光軸上の所定位置に移動させることができ、装置の構成を簡素化して低廉化を 図ることができると共に、操作の簡易化を図ることが可能な微分干渉顕微鏡を提 供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案の微分干渉顕微鏡では、照明光を２分割して 被検物側に導くと共に、被検物よりの２分割光束を結合させる一軸性結晶より成 る光分岐部材を備え、該光分岐部材で結合させた光束により微分干渉観察を行う 微分干渉顕微鏡において、光分岐部材を光軸方向の複数の位置に切換移動可能に 保持する分岐部材保持手段を設けたものである。 ここで、特に上記分岐部材保持手段は、光分岐部材を光軸に対して垂直方向に 移動可能に保持している。

【００１９】

【作用】

従って、本考案の微分干渉顕微鏡においては、光分岐部材保持手段では、光分 岐部材が光軸方向の複数の位置に切換移動可能に保持され、かつ、該光分岐部材 が光軸に対して垂直方向に移動可能に保持される。

【００２０】 これにより、光分岐部材を簡単な操作で容易に光軸上の所定位置に移動させる ことができるので、装置の構成を簡素化して低廉化を図ることができると共に、 操作の簡易化を図ることができる。

【００２１】

【実施例】

以下、本考案の実施例に係るノマルスキー型微分干渉顕微鏡について説明する 。実施例の詳細を説明する前に、図６を参照してノマルスキー型落射照明微分干 渉顕微鏡の基本的な光学系について述べる。このノマルスキー型落射照明微分干 渉顕微鏡においては、光源１で発生する照明光が光軸上に設けられたポラライザ ２によって直線偏光され、かつ、この直線偏光された光線が顕微鏡の観察光軸上 に配置されたハーフミラー３で反射されてノマルスキープリズム４に入射する。

【００２２】 ノマルスキープリズム４は、くさび形の一軸性結晶２枚から形成された光分岐 部材であって、ポラライザ２によって直線偏光された光線を二つの光線に分離し て各々角度を持たせて出射させると共に、該二つの光線をローカライズ面５で交 差させた後に夫々対物レンズ６に入射させる。

【００２３】 ここで、ローカライズ面５が対物レンズの後側焦点面７に一致するようにノマ ルスキープリズム４が配置されるため、対物レンズ６に入射された二つの光線は わずかに横ズレした平行光線となって標本８に照射される。

【００２４】 標本８で反射された二つの光線は再び対物レンズ６を通り、後側焦点面７で交 差して夫々ノマルスキープリズム４に入射される。ノマルスキープリズム４では 前述とは逆に二つの光線が結合されて出射され、該結合された光線はハーフミラ ー３を透過し、ハーフミラー３の後段に配置されたアナライザ９に入射される。 アナライザ９はノマルスキープリズム４によって結合された二つの光線を干渉 させるように作用する。

【００２５】 ここで、標本８の表面に微小な凹凸があると、二つの光線にわずかな光路差を 生じるため、該二つの光線は、アナライザ９で干渉させられると、干渉色のコン トラストを生じる。なお、ノマルスキープリズム４が光軸方向にズレていると、 そのローカライズ面５と対物レンズ６の後側焦点面７とが一致せず、干渉色のコ ントラストにムラが生じて良好な微分干渉像を得ることができない。

【００２６】 また、微分干渉像は良好であるが干渉色を変えたい場合、ノマルスキープリズ ム４を光軸に垂直な方向にズラすことにより、任意に干渉色を変化させることが できる。 次に、このような光学系を用いた微分干渉顕微鏡の詳細を説明する。

【００２７】 図７は本考案の第１の実施例に係る微分干渉顕微鏡の構成を示す外観図である 。この微分干渉顕微鏡は、顕微鏡上部に光源１を内蔵するランプハウス１０が設 けられ、このランプハウス１０に落射照明用投光管１１の一端が連結されている 。落射照明用投光管１１に対し、ポラライザ２を有するポラライザスライダ１２ 、及びアナライザ９を有するアナライザスライダ１３が前述した光学系を構成す るように挿入され、さらに図示しないハーフミラー３が内蔵されている。

【００２８】 また、レボルバユニット１４は、落射照明用投光管１１の下方に配置され、か つ、ノマルスキープリズム４を有する分岐部材保持手段としてのノマルスキーユ ニット１５が光軸に対して垂直に挿入される。また、レボルバユニット１４は、 ノマルスキーユニット１４の下方に回転自在に設けられたレボルバ本体１６を有 し、そのレボルバ本体１６に複数の対物レンズ６が取り付けられている。よって 、レボルバユニット１４は、レボルバ本体１６の回転により、光軸上の各対物レ ンズ６を交換可能としている。 ここで、この微分干渉顕微鏡に光軸に垂直に挿入されるノマルスキーユニット １５について図１乃至図３を用いて詳細に説明する。

【００２９】 図１乃至図３はノマルスキーユニット１５の構成を示す平面図又は側面図であ る。このノマルスキーユニット１５は、ユニット本体１７が長方形に形成され、 かつ、該ユニット本体１７の中央部に光線の透過孔が長方形に形成され、この透 過孔を閉塞しないように枠状に形成されたカムスライダ１８をユニット本体１７ の長手方向に摺動可能に保持している。なお、ユニット本体１７はその長手方向 （以下、スライド方向という）に沿って顕微鏡に挿入されている。また、顕微鏡 の光軸上でユニット本体１７を係止するにあたり、顕微鏡側に図示しないクリッ クを設け、スライド方向に沿って挿入されるユニット本体１７には、光軸挿脱用 クリック溝３５ａ，３５ｂが切られている。

【００３０】 カムスライダ１８は、その上面にカム面を持つカム１９及びこのカム１９の上 下に水平面を持つ水平部２０，２１が各々形成され、かつ、スライド方向手前側 の端部にレバー２２の一端部２２ａが連結され、当該レバー２２の他端をユニッ ト本体１７の外部から進退させることにより、ユニット本体１７の内面に当接し ながら摺動するようになっている。

【００３１】 また、カムスライダ１８は、そのカム１９及び水平部２０，２１とユニット本 体１７の内面との間にプリズム枠２３を有し、スライド方向に進退されることに より、カム１９がこのプリズム枠２３を光軸方向に移動させる。

【００３２】 プリズム枠２３は、その両脇にカムスライダ１８のカム１９及び水平部２０， ２１と当接するように下面にカム面を持つカム２４及び水平面を持つ水平部２５ が形成されている。なお、当該水平部２５はその長さがカムスライダ１８の水平 部２１の長さより短くなるように設計されている。

【００３３】 また、プリズム枠２３は、スライド方向奥側の平面部に上記透過孔を閉塞しな いように枠状のプリズム保持部２６が設けられ、このプリズム保持部２６にノマ ルスキープリズム４が保持されている。プリズム保持部２６にはプリズム下面に 光透過用の略楕円孔２６ａが設けられている。更に、ユニット本体１７には同様 に光透過用の孔１７ａが設けられている。

【００３４】 さらに、プリズム枠２３は、プリズム保持部２６に隣接して嵌合部２７が形成 され、光軸方向の溝２８ａを有するブロック２８を該嵌合部２７が溝２８ａに嵌 合されることによって保持している。また、プリズム枠２３はスライド方向手前 側の端部にブロック２９を有している。 なお、ブロック２８及びブロック２９は、ネジ部を有するガイド溝がプリズム 枠２３のスライド方向に形成されている。

【００３５】 色調整軸３０は、一端にツマミ３１を有し、他端及び中途部にネジ部３２，３ ３が形成され、他端のネジ部３２がスライド方向手前側からユニット本体１７を 貫通するように設けられている。また、色調整軸３０は、他端のネジ部３２がブ ロック２８のガイド溝に係合し、中途部のネジ部３３がブロック２９のガイド溝 に係合している。

【００３６】 また、色調整軸３０の中途部に形成されたネジ部３３の両端に色調整軸３０の 外周部に沿うようにリング３４が取り付けられている。このリング３４は、色調 整軸３０の回転によって移動するブロック２９に衝突し、ブロック２９の移動範 囲を制限する。

【００３７】 なお、このようなユニット本体１７に対し、板バネ３５の一端部３５ａがユニ ット本体１７に固設され、板バネ３５の他端部３５ｂがプリズム枠２３に当接し ている。よって、この板バネ３５がプリズム枠２３をカム１９側に付勢している ことにより、当該プリズム枠２３がカム１９に対してガタ無く動くように構成さ れている。 次に、以上のように構成された微分干渉顕微鏡の動作を説明する。 いま、操作者によるレボルバ本体１６の回転により、対物レンズ６が変換され たとする。

【００３８】 ここで、操作者により、ノマルスキーユニット１５のレバー２２が引き出され ると、レバー２２に連結されているカムスライダ１８がユニット本体１７内をス ライドし、カム１９にならってプリズム枠２３が光軸方向に上がる。逆にレバー ２２を押し込むとプリズム枠２３は光軸方向に下がる。

【００３９】 従って、レバー２２の押引操作でノマルスキープリズム４の位置を光軸方向に 移動させ、２段階に切換えることができ、ワンタッチで光軸上のローカライズ面 ５を切換移動させることができる。

【００４０】 さらに、操作者が色調整軸３０のツマミ３１を回すと、軸先端のネジ３２に螺 合したブロック２８がネジをリードとして色調整軸３０の方向に移動する。従っ て、ブロック２８に嵌合されたプリズム枠２３はカムスライダ１８の水平部２０ あるいは２１上を摺動する。なお、プリズム枠２３が光軸上の下位置にある場合 でも、プリズム枠２３の水平部２５がカムスライダ１８の水平部２１より短く設 計されているため、プリズム枠２３が水平方向に移動しても、プリズム枠２３の 水平部２５がカムスライダ１８の水平部２１上を水平移動するだけなので、プリ ズム枠２３の光軸上の位置が変わらない。

【００４１】 また、この水平移動に応動し、色調整軸３０の中途部のネジ部３３に係合した ブロック２９が軸方向に移動する。この色調整軸３０に設けられたリング３４は ブロック２９の移動範囲を制限するので色調整軸３０の回転が規制される。よっ て、プリズム枠２３の摺動範囲が規制される。従って、ツマミ３１の回転操作に より、ノマルスキープリズム４の光軸上の位置にかかわらず、ノマルスキープリ ズム４を光軸に垂直な方向に移動させることができ、標本８の干渉色を任意に変 化させることができる。

【００４２】 さらに、孔１７ａは、光軸挿脱用クリック溝３５ａにより顕微鏡光軸上に係止 される。また、該孔１７ａは、光軸挿脱用クリック溝３５ａにより顕微鏡光軸上 を外れた位置でも係止される。また、ユニット本体１７は、顕微鏡本体から着脱 可能となっている。

【００４３】 上述したように、第１の実施例においては、レバー２２の進退操作に応動して カムスライダ１８が進退し、カムスライダ１８のカム部１９がプリズム枠２３を 光軸上の所定位置に押上げ又は引下げするので、プリズム枠２３に固設されたノ マルスキープリズム４を、調整ノブの回転操作の場合と比べ、所定位置に短時間 で切換え完了することができる。

【００４４】 また、第１の実施例においては、色調整軸３０のツマミ３１を回転操作するこ とにより、軸先端のネジ部３２が回転して該ネジ部３２に係合されたブロック２ ８を介し、該ブロック２８に係合されたプリズム枠２３をノマルスキーユニット １５のスライド方向に進退させているので、プリズム枠２３に固設されたノマル スキープリズム４を光軸に対して垂直に動かして標本８の干渉色を変化させるこ とができる。

【００４５】 従って、第１の実施例においては、一つのノマルスキープリズムを有するノマ ルスキーユニット１台だけで長作動距離対物レンズを含むすべての対物レンズに 対応できるので、安価に、かつ、簡単な操作で微分干渉観察を行うことができる 。 次に、本考案の第２の実施例について図４乃至図７を用いて説明する。

【００４６】 なお、この第２の実施例は、図７に示す装置のノマルスキーユニット１５を他 の構成により実現した例であるため、図７と同一部分には同一符号を付してその 詳しい説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。

【００４７】 図４及び図５はノマルスキーユニット１５の第２の実施例を示す平面図又は側 面図である。このノマルスキーユニット１５は、ユニット本体４１が長方形に形 成され、該本体４１の中央部に光線の透過孔が長方形に形成されると共に、該本 体４１の長手方向（スライド方向）にスライド台４２が摺動可能に保持されてい る。また、ユニット本体４１はスライド方向手前側の端面に貫通孔４１ａ，４１ ｂを有している。

【００４８】 スライド台４２は中空形状に形成され、スライド方向奥側の内面に本スライド 台４２の半分の厚さのプリズム台４３を光軸方向に移動可能に保持している。ま た、スライド台４２は、スライド方向手前側の内面に光軸方向及びスライド方向 に対して垂直方向に切換支持棒４４が設けられ、かつ、スライド方向手前の端部 に雌ネジ部４５が形成されている。この雌ネジ部４５には色調整軸４６が螺合し ている。

【００４９】 色調整軸４６は、一端にツマミ４６ａを有し、かつ、他端に雄ネジ部４６ｂが 形成され、ユニット本体４１の貫通孔４１ａをスライド方向に貫通するように設 けられている。また、色調整軸４６は、その雄ネジ部４６ｂがスライド台４２の 雌ネジ部４５に螺合されている。よって、色調整軸４６はツマミ４６ａの回転操 作によりスライド台４２をスライド方向に進退可能に摺動させる。また、色調整 軸４６の雄ネジ部４６ｂは、両端にリング４７が取り付けられ、当該リング４７ によってスライド台４２から外れないように動作が制限されている。

【００５０】 プリズム台４３は中央に光線を通過させるための透過孔４３ａを有すると共に 、透過孔４３ａを覆うようにノマルスキープリズム４が接着材等で固定されてい る。プリズム台４３にはプリズム下面に光透過用の略楕円孔４３ａが設けられて いる。更に、ユニット本体４１には同様に光透過用の孔４１ｃが設けられている 。

【００５１】 また、プリズム台４３は、その両脇に光軸方向及びスライド方向に対して垂直に 突起部４３ｂ，４３ｃが設けられ、これら突起部４３ｂ，４３ｃに切換棒４８が 係合されている。

【００５２】 切換棒４８は、ユニット本体４１内に設けられ、一端が二つに分岐してそれぞ れ長孔４８ａ，４８ｂを有し、他端がユニット本体４１の外部に突出している。 また、切換棒４８は、対応する長孔４８ａ，４８ｂにプリズム台４３の突起部４ ３ｂ，４３ｃがそれぞれ遊挿され、かつ、該切換棒４８の中途部が前述したスラ イド台４２の切換支持棒４４に軸支されている。よって、切換棒４８は外部から の上下操作に応動してプリズム台４３を光軸方向に移動させる。

【００５３】 また、ユニット本体４１においては、プリズム台４３よりスライド方向手前側 の内面に本体突起部４９が設けられ、かつ、本体突起部４９とプリズム台４３と の間にバネ５０を介在させ、当該バネ５０の反発力によってプリズム台４３をユ ニット本体４１のスライド方向奥部に押し付けている。

【００５４】 ユニット本体４１の奥部は、その中央部にスライド方向に溝５１が形成され、 当該溝５１にボールクリック５２を有し、このボールクリック５２がプリズム台 ４３を押し返して当該中央部にプリズム台４３を位置させないことにより、当該 プリズム台４３を光軸方向の上位置又は下位置に安定させている。 次に、以上のように構成された微分干渉顕微鏡の動作を説明する。 いま、操作者によるレボルバ本体１６の回転により、対物レンズ６が変換され たとする。

【００５５】 ここで、操作者はユニット本体４１外部の切換棒４８を上に操作すると、切換 棒４８が中途で切換支持棒４４に軸支されていることから、切換棒４８先端の長 孔４８ａ，４８ｂが突起部４３ｂ，４３ｃを介してプリズム台４３を光軸上の下 方向に移動させる。このとき、プリズム台４３はバネ５０及びボールクリック５ １により挟まれているので、光軸上の下位置で安定して位置決めされる。

【００５６】 また、操作者はユニット本体４１外部の切換棒４８を下に操作すると、前述と 同様に切換棒４８先端の長孔４８ａ，４８ｂが突起部４３ｂ，４３ｃを介してプ リズム台４３を光軸上の上方向に移動させ、該プリズム台４３が光軸上の上位置 で安定して位置決めされる。

【００５７】 従って、プリズム台４３に固設されたノマルスキープリズム４は、当該変換さ れた対物レンズ６の後側焦点面７に一致するようなローカライズ面５に配置され る。

【００５８】 また、操作者は標本８の干渉色を変化させる場合、色調整軸４６のツマミ４６ ａを回転させることにより、該色調整軸４６の回転力をその雄ネジ部４６ｂから スライド台４３の雌ネジ部４５に伝達してスライド台４２をスライド方向に進退 移動させる。

【００５９】 これにより、スライド台４２に保持されているプリズム台４３が移動し、プリ ズム台４３に固設されているノマルスキープリズム４が光軸に対して垂直方向に 移動して干渉色を変化させることができる。

【００６０】 上述したように、第２の実施例においては、切換棒４８を上下に切換えるだけ のワンタッチ操作により、調整ノブの回転操作の場合と比べ、極めて短時間でノ マルスキープリズム４を光軸上の所定の上位置又は下位置に切換移動させること ができる。従って、ノマルスキープリズム４の光軸方向の微調整を不要にし、か つ、顕微鏡の操作性を格段に向上させることができる。

【００６１】 また、第２の実施例においては、色調整軸４６のツマミ４６ａを回転操作する ことにより、色調整軸４６の雄ネジ部４６ｂが回転し、プリズム台４３を保持す るスライド台４３をその雌ネジ部４５を介してスライド方向に進退させる。これ により、プリズム台４３に固定されたノマルスキープリズム４を光軸に対して垂 直に動かして標本８の干渉色を変化させることができる。

【００６２】 従って、第２の実施例においては、ノマルスキープリズム４を一つだけ用い、 かつ、切換棒４８及び色調整軸４６の駆動力を直接的に当該ノマルスキープリズ ム４に伝達する如き、比較的単純な機構で実現したので、安価に構成することが できる。

【００６３】 なお、上記第１の実施例では、２箇所の後側焦点面に対応して光軸方向の移動 位置が２箇所である場合について説明したが、これに限らず、対物レンズの設計 上、３箇所以上となる後側焦点面に対応するようにカムスライダ１８を長くして カムを３段以上とした構成としても、本考案を同様に実施して同様の効果を得る ことができる。

【００６４】 また、上記第２の実施例では、ボールクリック５２がプリズム台４３を押し返 すことにより、プリズム台４３を上位置又は下位置に固定させた場合について説 明したが、これに限らず、ボールクリック５２と当接するプリズム台４３の所定 位置に溝を形成して当該溝にボールクリック５２を嵌めてプリズム台４３の固定 位置を増加させた構成、又は厚くしたスライド台４３にボールクリック５２を光 軸方向に複数設けることによりプリズム台４３の固定位置を増加させた構成とし ても、本考案を同様に実施して同様の効果を得ることができる。 その他、本考案はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。

【００６５】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、分岐部材保持手段が、光分岐部材を光軸 方向の複数の所定位置に切換移動可能に保持し、かつ、該光分岐部材を光軸に対 して垂直方向に移動可能に保持するようにしたので、光分岐部材を簡単な操作で 容易に光軸上の所定位置に移動させることができ、装置の構成を簡素化して低廉 化を図ることができると共に、操作の簡易化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施例に係るノマルスキーユニ
ットの構成を示す平面図。

【図２】同実施例におけるノマルスキーユニットの構成
を示す側面図。

【図３】同実施例におけるノマルスキーユニットの構成
を示す側面図。

【図４】第２の実施例におけるノマルスキーユニットの
構成を示す平面図。

【図５】同実施例におけるノマルスキーユニットの構成
を示す側面図。

【図６】第１及び第２の実施例における光学系の構成を
示す図。

【図７】同実施例における顕微鏡の外観図。

【図８】従来のノマルスキープリズムの駆動機構を示す
断面図。

【符号の説明】

４…ノマルスキープリズム、１５…ノマルスキーユニッ
ト、１７…ユニット本体、１８…カムスライダ、１９，
２４…カム、２０，２１，２５…水平部、２２…レバ
ー、２３…プリズム枠、２６…プリズム保持部、２７…
嵌合部、２８，２９…ブロック、２８ａ…溝、３０…色
調整軸、３１…ツマミ、３２、３３…ネジ部、３４…リ
ング、３５…板バネ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 照明光を２分割して被検物側に導くと共
   に、被検物よりの２分割光束を結合させる一軸性結晶よ
   り成る光分岐部材を備え、該光分岐部材で結合させた光
   束により微分干渉観察を行う微分干渉顕微鏡において、 前記光分岐部材を光軸方向の複数の位置に切換移動可能
   に保持する分岐部材保持手段を設けたことを特徴とする
   微分干渉顕微鏡。
2. 【請求項２】 前記分岐部材保持手段は、前記光分岐部
   材を光軸に対して垂直方向に移動可能に保持することを
   特徴とする請求項１記載の微分干渉顕微鏡。