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JPH0653631A - Manufacture of printed wiring board - Google Patents

Manufacture of printed wiring board

Info

Publication number
JPH0653631A
JPH0653631A JP19978292A JP19978292A JPH0653631A JP H0653631 A JPH0653631 A JP H0653631A JP 19978292 A JP19978292 A JP 19978292A JP 19978292 A JP19978292 A JP 19978292A JP H0653631 A JPH0653631 A JP H0653631A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resist
pattern
copper foil
ink
resist layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP19978292A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3277388B2 (en
Inventor
Nobuo Komatsu
信夫 小松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP19978292A priority Critical patent/JP3277388B2/en
Publication of JPH0653631A publication Critical patent/JPH0653631A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3277388B2 publication Critical patent/JP3277388B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize a manufacturing method for printed wiring boards by which mass productivity equal to that of prior art screen process printing can be obtained along with making resist patterns much thinner and more accurate. CONSTITUTION:A first resist layer 3a, alkalescent (9<=pH<13) and soluble, is formed over the whole surface of a copper foil 2 clad on an insulating board 1. After a second pattern resist 4 of a specified pattern being a strong base (pH>=13) and soluble is formed on the first resist layer 3a, a first pattern resist 3 is formed by developing the first resist layer 3a with an alkalescent solution using the second pattern resist 4 as a make. The copper foil 2 is etched using these first and second pattern resists 3 and 4 as masks, and a wiring pattern having a specified pattern if formed by removing the first and second pattern resists with a strong base solution.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微細な配線パターンの
形成を可能とするプリント配線基板の製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board which enables formation of a fine wiring pattern.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の配線回路の高密度化、
高精度化に伴い、プリント配線基板においては、より精
細な銅箔回路パターンの形成が要求されるようになって
いる。このプリント配線基板の配線パターンを形成する
方法としては、従来よりスクリーン印刷法が広く用いら
れている。このスクリーン印刷法においては、基板51
上に銅箔52をラミネートした後(図11参照)、マス
キング部分にゾルを保有せしめたメッシュ状のスクリー
ンを用いてスクリーン印刷機により所定の溶剤に可溶な
レジストインクを上記銅箔52上に印刷し、これを硬化
することによって所定のパターンを有するパターンレジ
スト層53を形成している(図12参照)。そして、こ
のパターンレジスト層53をマスクとして上記銅箔52
のエッチングを行った後、所定の溶剤により上記パター
ンレジスト層53を除去することによって所定のパター
ンを有する配線パターン54を形成している(図13参
照)。このスクリーン印刷法は、生産性が高いという利
点を有している。
2. Description of the Related Art In recent years, the density of wiring circuits for electronic devices has been increased,
Along with the increase in precision, printed wiring boards are required to form finer copper foil circuit patterns. As a method of forming a wiring pattern on this printed wiring board, a screen printing method has been widely used. In this screen printing method, the substrate 51
After laminating the copper foil 52 on the top (see FIG. 11), a resist ink soluble in a predetermined solvent is applied on the copper foil 52 by a screen printing machine using a mesh-shaped screen having a sol retained in the masking portion. The pattern resist layer 53 having a predetermined pattern is formed by printing and curing it (see FIG. 12). Then, using the pattern resist layer 53 as a mask, the copper foil 52 is
After the above etching, the pattern resist layer 53 is removed with a predetermined solvent to form a wiring pattern 54 having a predetermined pattern (see FIG. 13). This screen printing method has an advantage of high productivity.

【0003】しかしながら、上記スクリーン印刷法は、
次のような問題点を有しており、本質的に解像度が低い
という欠点がある。即ち、通常、上記銅箔52上にレジ
ストインクを印刷する前処理として、上記銅箔52の表
面を清浄化するために、酸等による化学研磨及び回転ブ
ラシ等を用いた物理研磨等が行われている。
However, the above screen printing method is
It has the following problems and has a drawback that the resolution is essentially low. That is, usually, as a pretreatment for printing the resist ink on the copper foil 52, in order to clean the surface of the copper foil 52, chemical polishing with an acid or the like and physical polishing using a rotating brush or the like are performed. ing.

【0004】ところが、このような回転ブラシによる研
磨を行うことによって上記銅箔52の表面には、深さ1
μm程度のキズ付きが生じてしまう。このため、上記銅
箔52上に上記レジストインクを印刷する際に、インク
内のモノマーや溶剤等の低分子成分が滲み出し(ブリー
ドアウト)、この滲み出したインクが上記回転ブラシに
よって発生したキズに沿って広がり、更にその滲みが隣
接するパターンまで達したりすることにより、この滲ん
だ部分が上記印刷後のエッチング時にあたかもマスクの
ように機能し、この部分の銅箔52がエッチングざれず
に残存してしまう。従って、上記銅箔52を所望のパタ
ーンに形成することができず、ショート等による不良が
発生する虞れが生じてしまう。
However, by performing the polishing with such a rotating brush, the surface of the copper foil 52 has a depth of 1 mm.
Scratches of about μm will occur. Therefore, when the resist ink is printed on the copper foil 52, low-molecular components such as monomers and solvents in the ink bleed out (bleed out), and the bleeding ink causes scratches generated by the rotating brush. As the bleeding reaches the adjacent pattern, the bleeding portion functions as a mask at the time of etching after printing, and the copper foil 52 in this portion remains without being etched. Resulting in. Therefore, the copper foil 52 cannot be formed into a desired pattern, and there is a possibility that a defect such as a short circuit may occur.

【0005】また、このように銅箔52の表面が荒れて
いると、上記レジストインクの印刷時にインクが版の裏
側に廻り込み、インクの滲みやダレといった不都合が生
じてしまう。このように、従来のスクリーン印刷法によ
り配線パターンを形成する方法では、最近のプリント配
線基板における回路パターンの高密度化に十分に対応す
ることが困難となりつつあり、実際に用いられている配
線密度はラインとスペースの比で0.2mm/0.2m
m(=ライン間隔/スペース間隔)が限界とされてい
る。
Further, when the surface of the copper foil 52 is rough as described above, the ink wraps around to the back side of the plate at the time of printing the resist ink, causing problems such as ink bleeding and sagging. As described above, it is becoming difficult to sufficiently cope with the recent increase in the density of the circuit pattern on the printed wiring board by the conventional method of forming the wiring pattern by the screen printing method. Is the line / space ratio of 0.2 mm / 0.2 m
The limit is m (= line spacing / space spacing).

【0006】これに対して、写真法により配線パターン
を形成する方法が知られている。この写真法は、ドライ
フィルムを熱圧着により銅箔に貼り合わせた後、所定の
パターン形状を描画したフィルムを介して露光,現像す
ることによって上述のようなパターンレジスト層を形成
する方法である。
On the other hand, a method of forming a wiring pattern by a photo method is known. This photographic method is a method of forming a pattern resist layer as described above by bonding a dry film to a copper foil by thermocompression bonding, and then exposing and developing the film through a film on which a predetermined pattern shape is drawn.

【0007】この写真法では、スクリーンやローラー等
を使用しないので、インクにパターンのズレや滲みが生
じる虞れがなく、上記スクリーン印刷法に比べて遙かに
高い解像度を得ることができる。
In this photographic method, since no screen, roller or the like is used, there is no fear that the pattern will be misaligned or bleeding in the ink, and a resolution much higher than that of the screen printing method can be obtained.

【0008】ところが、この写真法は、生産性に乏し
く、上記スクリーン印刷法の僅か1/5程度(スクリー
ン印刷法の場合で10枚/分程度であるのに対して、写
真法の場合では2枚/分程度)に過ぎない。従って、こ
の写真法では、生産コストが高く、大量生産を行う場合
には不適当となる。
However, this photographic method is poor in productivity and is only about ⅕ of the screen printing method (about 10 sheets / minute in the case of the screen printing method, whereas it is 2 in the case of the photographic method). Only about one sheet / minute). Therefore, this photographic method has a high production cost and is unsuitable for mass production.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の配
線パターンの形成方法においては、パターンの精密性を
確保しつつ、優れた生産性を得ることは困難であり、配
線回路の高密度化、高精度化には限界がある。そこで、
本発明はかかる従来の実情に鑑みて提案されたものであ
って、レジストパターンの高精細化を図りつつ、従来の
スクリーン印刷法に匹敵する大量生産性を得ることが可
能なプリント配線基板の製造方法を提供することを目的
とする。
As described above, in the conventional method of forming a wiring pattern, it is difficult to obtain the excellent productivity while ensuring the precision of the pattern, and it is possible to increase the density of the wiring circuit. However, there is a limit to high precision. Therefore,
The present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and manufactures a printed wiring board capable of obtaining mass productivity comparable to a conventional screen printing method while achieving high definition of a resist pattern. The purpose is to provide a method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するために提案されたものである。即ち、本発明の
プリント配線基板の製造方法は、絶縁性を有する基板上
に銅箔をラミネートし、この銅箔の全面にpHが9以
上、13未満の弱アルカリ溶液に可溶な第1のレジスト
層を形成し、次いで、この第1のレジスト層上に所定の
パターンでpHが13以上の強アルカリ溶液に可溶な第
2のパターンレジストを形成した後、これら第1のレジ
スト層及び第2のパターンレジストが形成された上記基
板を弱アルカリ溶液に接触せしめ、上記第2のパターン
レジストをマスクとして第1のレジスト層を現像して第
1のパターンレジストを形成し、続いて、これら第1の
パターンレジスト及び第2のパターンレジストをマスク
として上記銅箔をエッチングした後、強アルカリ溶液に
より上記第2のパターンレジスト及び第1のパターンレ
ジストを除去し、所定のパターンを有する配線パターン
を形成することを特徴とするものである。
The present invention has been proposed to achieve the above object. That is, in the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, a copper foil is laminated on an insulating substrate, and the first surface of the copper foil is soluble in a weak alkaline solution having a pH of 9 or more and less than 13. After forming a resist layer, and then forming a second pattern resist soluble in a strong alkaline solution having a pH of 13 or more in a predetermined pattern on the first resist layer, the first resist layer and the first resist layer are formed. The substrate on which the second pattern resist is formed is brought into contact with a weak alkaline solution, and the first resist layer is developed by using the second pattern resist as a mask to form the first pattern resist. After etching the copper foil using the first pattern resist and the second pattern resist as a mask, the second pattern resist and the first pattern resist are etched with a strong alkaline solution. It was removed, and is characterized in that to form wiring patterns with a predetermined pattern.

【0011】[0011]

【作用】基板上にラミネートされた銅箔の表面を覆って
弱アルカリ可溶の第1のレジスト層を形成することによ
り、清浄化のために研磨加工された上記銅箔の表面に存
在するキズ等が上記第1のレジスト層によって吸収さ
れ、平滑な表面が得られる。このため、この第1のレジ
スト層により平坦化された表面上に、配線パターンに応
じた所定のパターンで強アルカリ可溶の第2のパターン
レジストを印刷する際に、インク内の主に低分子成分の
滲み出しや滲みが生じる虞れがない。従って、上記第2
のパターンレジストを高精細なパターンで印刷すること
ができる。
By forming a weakly alkali-soluble first resist layer on the surface of a copper foil laminated on a substrate, scratches present on the surface of the copper foil polished for cleaning are described. Are absorbed by the first resist layer, and a smooth surface is obtained. Therefore, when the strong alkali-soluble second pattern resist is printed on the surface flattened by the first resist layer in a predetermined pattern corresponding to the wiring pattern, mainly low molecular weight molecules in the ink are used. There is no risk of component bleeding or bleeding. Therefore, the second
The pattern resist can be printed with a high-definition pattern.

【0012】また、この第1のレジスト層は、銅箔に比
べて表面張力が極めて低いために、上記第2のパターン
レジストの印刷時においてインクがスクリーンのマスキ
ング用ゾルの下部に廻り込むといった不都合が生じにく
く、連続印刷性に優れている。
Further, since the surface tension of this first resist layer is extremely lower than that of the copper foil, the ink wraps around under the masking sol of the screen when the second pattern resist is printed. Is less likely to occur and excellent in continuous printability.

【0013】そして、これら第2のパターンレジスト及
び第1のレジスト層が形成された上記基板を弱アルカリ
溶液に接触せしめることにより、上記第2のパターンレ
ジストから露出する第1のレジスト層が選択的に現像さ
れ、上記第2のパターンレジストと略同一パターンを有
する第1のパターンレジストが形成される。
By contacting the substrate on which the second pattern resist and the first resist layer are formed with a weak alkaline solution, the first resist layer exposed from the second pattern resist is selectively formed. Is developed to form a first pattern resist having substantially the same pattern as the second pattern resist.

【0014】そして、これら第1のパターンレジスト及
び第2のパターンレジストをマスクとして上記銅箔をエ
ッチングすることにより、上記第1及び第2のパターン
レジストの下部の銅箔のみが残存され、それ以外の銅箔
がエッチング除去される。
Then, by etching the copper foil using the first pattern resist and the second pattern resist as a mask, only the copper foil under the first and second pattern resists remains, and other than that. The copper foil is etched away.

【0015】なお、これら第1のパターンレジスト及び
第2のパターンレジストは、何れも強アルカリ溶液に可
溶であることから、上述のエッチング後に強アルカリ溶
液を用いて上記第1及び第2のパターンレジストを現像
することにより、残存した各パターンレジストが除去さ
れ、所望のパターンを有する配線パターンを得ることが
できる。
Since both the first pattern resist and the second pattern resist are soluble in a strong alkaline solution, the above first and second pattern resists are formed by using a strong alkaline solution after the above etching. By developing the resist, the remaining pattern resists are removed, and a wiring pattern having a desired pattern can be obtained.

【0016】このように、上記第2のパターンレジスト
を印刷法により形成することにより、十分な生産性が確
保される。
Thus, by forming the second pattern resist by the printing method, sufficient productivity can be secured.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明を具体的な実験結果に基づいて
説明するが、本発明がこの実施例に限定されるものでは
ないことは言うまでもない。
EXAMPLES The present invention will be described below based on specific experimental results, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.

【0018】先ず、図1及び図2に示すように、絶縁性
を有する基板1上に銅箔2をラミネートする。上記基板
1としては、表面上に銅箔2が複数層設けられた多層型
基板(商品名:FR−4)、両面に銅箔2がラミネート
されるコンポジット型基板(商品名:CE−M)、片面
のみが使用される基板(商品名:FR−1)等が何れも
使用可能であるが、ここではコンポジット型基板を使用
し、両面に銅箔2がラミネートされた銅張積層板の膜厚
方向に貫通する貫通孔をドリル加工等により形成した
後、該貫通孔を覆って全面にメッキ層を被着形成せしめ
たものを使用した。
First, as shown in FIGS. 1 and 2, a copper foil 2 is laminated on a substrate 1 having an insulating property. As the substrate 1, a multi-layer substrate (trade name: FR-4) having a plurality of copper foils 2 provided on the surface thereof, and a composite type substrate (trade name: CE-M) in which the copper foils 2 are laminated on both surfaces thereof. Although a substrate (brand name: FR-1) or the like, which is used only on one side, can be used, here, a composite type substrate is used, and a film of a copper clad laminate in which copper foil 2 is laminated on both sides. After forming a through hole penetrating in the thickness direction by drilling or the like, a plating layer was formed on the entire surface so as to cover the through hole.

【0019】なお、図1にあっては、この基板1の一方
の面側のみを示した。以下、図3乃至図9に関しても同
様である。また、ここでは便宜上、上記銅箔2の配線パ
ターンをABC文字パターンで表すこととした。
It should be noted that FIG. 1 shows only one surface side of the substrate 1. The same applies to FIGS. 3 to 9 below. Further, here, for convenience, the wiring pattern of the copper foil 2 is represented by an ABC character pattern.

【0020】その後、上記銅箔2の表面の清浄化を行
う。この銅箔2の表面の清浄化を行う方法としては、こ
の種のプリント配線基板の製造工程において通常行われ
ている方法が何れも使用可能であり、一般的には化学研
磨と物理研磨が組み合わせて使用される。
After that, the surface of the copper foil 2 is cleaned. As a method for cleaning the surface of the copper foil 2, any method usually used in the manufacturing process of this type of printed wiring board can be used, and generally, chemical polishing and physical polishing are combined. Used.

【0021】上記化学研磨としては、有機酸又は無機酸
等による表面処理が一般的である。上記有機酸として
は、例えばリンゴ酸、マレイン酸、クエン酸、マロン酸
等が挙げられ、上記無機酸としては、例えばリン酸、塩
酸、硫酸等が挙げられる。また、これら有機酸と無機酸
の混合物や加硫酸アンモニウム、過酸化水素と硫酸等か
らなるソフトエッチング液等も使用可能である。
As the chemical polishing, surface treatment with an organic acid or an inorganic acid is generally used. Examples of the organic acid include malic acid, maleic acid, citric acid, malonic acid, and the like, and examples of the inorganic acid include phosphoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and the like. Further, a mixture of these organic acids and inorganic acids, ammonium sulphate, a soft etching solution containing hydrogen peroxide and sulfuric acid, etc. can also be used.

【0022】一方、上記物理研磨としては、例えば回転
ブラシ等を用いたブラシ研磨〔例えば米国デュポン社製
のタイネックスブラシ、320番(商品名)使用。〕、
スクラブ研磨〔例えば米国デュポン社製のペリーブラ
シ、1000番(商品名)使用。〕、バフ研磨〔例えば
米国デュポン社製のフラップバフ、1000番(商品
名)使用。〕等が一般的である。
On the other hand, as the physical polishing, for example, brush polishing using a rotating brush or the like [for example, Tienex brush No. 320 (trade name) manufactured by DuPont, USA is used. ],
Scrub polishing [For example, use Perry brush manufactured by DuPont, USA, No. 1000 (trade name). ], Buffing [For example, flap buff manufactured by DuPont, USA, No. 1000 (trade name) is used. ] Etc. are general.

【0023】次に、図3及び図4に示すように、この銅
箔2の略全面に第1のレジスト層3aを形成する。この
第1のレジスト層3aは、第1のレジストインクAの塗
膜を指触乾燥(又は硬化)せしめたものからなる。これ
により、上述の清浄化の際に上記銅箔2の表面に生じた
キズ等の存在による凹凸が上記第1のレジストインクA
によって吸収され、上記銅箔2の表面が平坦とされる。
Next, as shown in FIGS. 3 and 4, a first resist layer 3a is formed on substantially the entire surface of the copper foil 2. The first resist layer 3a is formed by touch-drying (or curing) the coating film of the first resist ink A. As a result, unevenness due to the presence of scratches or the like generated on the surface of the copper foil 2 during the above-described cleaning causes the first resist ink A
Is absorbed, and the surface of the copper foil 2 is made flat.

【0024】ここで使用される第1のレジストインクA
としては、熱又は紫外線により指触乾燥又は硬化し、且
つpHが9以上、13未満の弱アルカリ溶液に可溶な材
料が使用される。また、上記銅箔2の表面に対する被覆
性を考慮すると、比較的低粘性のものであることが望ま
しい。
First resist ink A used here
As the material, a material that is dry to the touch or cured by heat or ultraviolet rays and that is soluble in a weak alkaline solution having a pH of 9 or more and less than 13 is used. Further, considering the surface coverage of the copper foil 2, it is desirable that the copper foil 2 has a relatively low viscosity.

【0025】この第1のレジストインクAとしては、市
販品が何れも使用可能であり、特に限定されない。この
うち、熱により指触乾燥(又は硬化)するものとして
は、通常ノボラック型樹脂やビスフェノール型樹脂に酸
無水物を付加した樹脂がベースポリマーとして使用され
る。
As the first resist ink A, any commercially available product can be used and is not particularly limited. Among these, as a material that is dried (or cured) by touch with heat, a resin obtained by adding an acid anhydride to a novolac type resin or a bisphenol type resin is usually used as a base polymer.

【0026】上記酸無水物としては、例えば無水マレイ
ン酸,無水コハク酸,無水フタル酸,無水テトラヒドロ
フタル酸等の二塩基性酸無水物、無水トリメット酸,無
水ピロメット酸等の芳香族多価カルボン酸無水物及びそ
の誘導体〔例えば5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ
フリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−
ジカルボン酸無水物等〕等が挙げられる。
Examples of the acid anhydrides include dibasic acid anhydrides such as maleic anhydride, succinic anhydride, phthalic anhydride and tetrahydrophthalic anhydride, and aromatic polycarboxylic acids such as trimetic anhydride and pyrometic anhydride. Acid anhydrides and their derivatives [eg 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-
Dicarboxylic acid anhydride, etc.] and the like.

【0027】また、この熱硬化型のレジストインクに
は、必要に応じて各種充填材や有機溶剤等が添加されて
も良い。上記充填材としては、従来より公知の材料が何
れも使用可能であり、具体的に例示するならば、エポキ
シ樹脂,フェノール樹脂,メラミン樹脂,ポリエステル
樹脂,EVA,塩化ビニル樹脂等のアルカリ溶液に不溶
な樹脂、或いは硫酸バリウム、タルク、シリカ等が挙げ
られる。
If desired, various fillers, organic solvents, etc. may be added to the thermosetting resist ink. As the filler, any conventionally known material can be used, and if specifically exemplified, it is insoluble in an alkaline solution of epoxy resin, phenol resin, melamine resin, polyester resin, EVA, vinyl chloride resin, or the like. Examples of such resins include barium sulfate, talc, and silica.

【0028】また、上記有機溶剤としても同様に従来公
知の材料が何れも使用可能であり、例えばセロソルブ,
ブチルセロソル等のセロソルブ類、カルビトール,ブチ
ルカルビトール等のカルビトール類及びそのアセテート
類、トルエン,キシレン等の芳香族炭化水素類等が使用
可能である。この他、この種のレジストインクにおいて
使用されている着色顔料、消泡剤、密着付与剤、或いは
レベリング剤等が適宜添加されても良い。
Similarly, any conventionally known material can be used as the above organic solvent. For example, cellosolve,
It is possible to use cellosolves such as butyl cellosol, carbitols such as carbitol and butyl carbitol and acetates thereof, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene. In addition, a color pigment, a defoaming agent, an adhesion-imparting agent, a leveling agent, or the like used in this type of resist ink may be appropriately added.

【0029】このような熱硬化型のレジストインクにお
いては、膜形成後にベースポリマー中のカルボン酸が下
記の(1)式で表される反応によってアルカリ溶液に溶
解する。
In such a thermosetting resist ink, the carboxylic acid in the base polymer is dissolved in the alkaline solution by the reaction represented by the following formula (1) after the film formation.

【0030】[0030]

【化1】 [Chemical 1]

【0031】この熱硬化型のレジストインクとしては、
例えば太陽インキ製造社製のPSR−4000シリー
ズ,PER−20(ともに商品名)、タムラ化研社製の
DSR−2200シリーズ,DSR−2200Zシリー
ズ(ともに商品名)、東洋インキ製造社製のK−100
0(商品名)等が挙げられる。
As this thermosetting resist ink,
For example, PSR-4000 series, PER-20 (both trade names) manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., DSR-2200 series, DSR-2200Z series (both trade names) manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd., K- manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. 100
0 (trade name) and the like.

【0032】一方、紫外線により指触乾燥(又は硬化)
するものとしては、アクリル酸又はメタクリル酸を分子
内に有するノボラック型樹脂やビスフェノール型樹脂に
酸無水物を付加した樹脂がベースポリマーとして使用さ
れる。なお、上記酸無水物としては、上記熱硬化型のレ
ジストインクの場合と同様の化合物が何れも使用可能で
ある。
On the other hand, it is dried (or cured) by touch with ultraviolet rays.
As a base polymer, a novolak type resin having acrylic acid or methacrylic acid in the molecule or a resin obtained by adding an acid anhydride to a bisphenol type resin is used as a base polymer. As the acid anhydride, any of the same compounds as in the case of the thermosetting resist ink can be used.

【0033】また、この紫外線硬化型のレジストインク
には、必要に応じて反応性希釈剤等が添加されても良
い。上記反応性希釈剤としては、従来より公知の材料が
何れも使用可能であり、具体的に例示するならば、2−
ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシプロピ
ルアクリレート,N−ビニルピロリドン,メラミンアク
リレート又は前記アクリレートに対応する各メタクリレ
ート類等の水溶性モノマー、ジエチレングリコールジア
クリレート,トリエチレングリコールジアクリレート,
プロピレングリコールジアクリレート,モノ−或いはジ
アクリレート又はメタクリレート類、多塩基酸とヒドロ
キシアルキル(メタ)アクリレートとのモノ−,ジ−,
トリ−又はそれ以上のポリエステル等の非水溶性モノマ
ー等が挙げられる。
If necessary, a reactive diluent or the like may be added to the ultraviolet curable resist ink. As the reactive diluent, any of conventionally known materials can be used.
Hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, N-vinylpyrrolidone, melamine acrylate or water-soluble monomers such as methacrylates corresponding to the acrylates, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate,
Propylene glycol diacrylate, mono- or diacrylates or methacrylates, mono-, di-, of polybasic acid and hydroxyalkyl (meth) acrylate
Examples include water-insoluble monomers such as tri- or higher polyesters.

【0034】この他、上記熱硬化型のレジストインクの
場合と同様に、必要に応じて着色顔料、消泡剤、密着付
与剤、或いはレベリング剤等が適宜添加されても良い。
この紫外線硬化型のレジストインクとしては、例えば太
陽インキ製造社製のTGR−100シリーズ(商品名)
等が挙げられる。
In addition to the above, as in the case of the thermosetting resist ink, a color pigment, a defoaming agent, an adhesion promoter, a leveling agent, or the like may be added as needed.
Examples of the UV curable resist ink include TGR-100 series (trade name) manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd.
Etc.

【0035】このような第1のレジストインクAの塗布
方法としては、特に限定されず、スクリーン印刷法、ロ
ールコータ法、スプレーコータ法、カーテンコータ法、
浸漬法等から適宜選択されれば良い。
The method of applying the first resist ink A as described above is not particularly limited, and a screen printing method, a roll coater method, a spray coater method, a curtain coater method,
It may be appropriately selected from the dipping method and the like.

【0036】そして、この第1のレジストインクAの塗
布後、該第1のレジストインクAとして熱硬化型のもの
を使用した場合には、箱型炉,ウィケット炉,トンネル
炉等にて加熱を行い、得られた塗膜を指触乾燥(又は硬
化)させる。なお、この加熱に際しては、加熱温度は5
0〜120℃とすることが好ましい。加熱温度が50℃
よりも低いと、タックが残存するとともに、得られた塗
膜を十分に指触乾燥(又は硬化)させることができな
い。逆に、120℃よりも高いと、後述の現像工程にお
いて良好な現像が行えなくなる。
After the application of the first resist ink A, when a thermosetting type is used as the first resist ink A, heating is performed in a box furnace, a wicket furnace, a tunnel furnace or the like. Then, the obtained coating film is dried (or cured) by touch. In this heating, the heating temperature is 5
The temperature is preferably 0 to 120 ° C. Heating temperature is 50 ℃
If it is lower than the above range, tack remains and the obtained coating film cannot be sufficiently dried (or cured) by touch. On the other hand, if the temperature is higher than 120 ° C., good development cannot be performed in the developing step described later.

【0037】一方、上記第1のレジストインクAとして
紫外線硬化型のものを使用した場合では、UVキュア炉
等により紫外線照射を行い、得られた塗膜を指触乾燥
(又は硬化)させる。
On the other hand, when an ultraviolet curable type is used as the first resist ink A, the coating film obtained is subjected to ultraviolet irradiation by a UV curing oven or the like to dry (or cure) the film by touch.

【0038】得られた第1のレジスト層3aは、上述の
ように上記貫通孔内を含め全面に形成されても良いが、
少なくとも後述するエッチングにより第1のパターンレ
ジスト3が形成される領域、即ちレジスト形成パターン
部分(上記貫通孔内を含め配線パターンに応じた部分)
より若干広く形成されれば良い。
The obtained first resist layer 3a may be formed on the entire surface including the inside of the through hole as described above.
At least a region where the first pattern resist 3 is formed by etching described later, that is, a resist formation pattern portion (a portion corresponding to the wiring pattern including the inside of the through hole).
It may be formed slightly wider.

【0039】また、この第1のレジスト層3aの膜厚
は、レジスト膜として一般に要求される5〜50μmの
範囲が適当であり、10〜20μmであることがより好
ましい。この第1のレジスト層3aの膜厚が5μm未満
である場合には、上述の清浄化を行う際に生じた上記銅
箔2表面のキズの存在による凹凸の影響を受けてしま
い、該第1のレジスト層3aの表面を平坦化することが
できない。逆に、50μmより厚くなると、後述の現像
時に見られるアンダーカットが顕著となり、所望の線巾
を安定して得ることができない。
The thickness of the first resist layer 3a is preferably in the range of 5 to 50 μm generally required as a resist film, and more preferably 10 to 20 μm. When the film thickness of the first resist layer 3a is less than 5 μm, the first resist layer 3a is affected by the unevenness due to the presence of scratches on the surface of the copper foil 2 generated during the above cleaning, and the first The surface of the resist layer 3a cannot be flattened. On the other hand, when the thickness is more than 50 μm, the undercut observed during the later-described development becomes remarkable and the desired line width cannot be stably obtained.

【0040】続いて、図5及び図6に示すように、上記
第1のレジスト層3a上にスクリーン印刷法により配線
パターンに応じた所定のパターンでポジ型の第2のパタ
ーンレジスト4を形成する。この時、上述のように銅箔
2の表面が上記第1のレジスト層3aによって平坦化さ
れているので、インクのカスレやピンホール、或いは銅
箔2の表面にキズによる凹凸が存在する場合に見られる
ような滲み等は、極めて発生しにくい。また、このよう
に均一な第1のレジスト層3aの表面に対してインクが
転写されるので、版の裏廻りを起こし難く、連続印刷性
に適している。従って、上記第2のパターンレジスト4
を高精細なパターンで印刷することができる。
Subsequently, as shown in FIGS. 5 and 6, a positive type second pattern resist 4 is formed on the first resist layer 3a by a screen printing method in a predetermined pattern corresponding to the wiring pattern. . At this time, since the surface of the copper foil 2 is flattened by the first resist layer 3a as described above, in the case where ink scrapes or pinholes or unevenness due to scratches on the surface of the copper foil 2 exist. The bleeding that can be seen is extremely unlikely to occur. Further, since the ink is transferred onto the uniform surface of the first resist layer 3a as described above, it is difficult to cause the backing of the plate and is suitable for continuous printing. Therefore, the second pattern resist 4
Can be printed with a high-definition pattern.

【0041】このようなスクリーン印刷を行うに際し、
使用されるスクリーンとしては通常使用されるものが何
れも使用可能である。例えば、紗の材質としては、テト
ロン,ステンレス,ナイロン等が使用可能であり、目の
粗さは100〜325メッシュ程度であることが好適で
あり、200〜300メッシュ程度であることが最適で
ある。目の粗さが100メッシュよりも粗いと、印刷解
像性が悪く、逆に325メッシュよりも細かいと、イン
クが紗を通過しにくく、カスレが生じて不良となる。
When performing such screen printing,
As a screen to be used, any of those usually used can be used. For example, as the material of the gauze, Tetoron, stainless steel, nylon, etc. can be used, and the mesh roughness is preferably about 100 to 325 mesh, and most preferably about 200 to 300 mesh. . If the mesh is coarser than 100 mesh, the print resolution is poor. Conversely, if it is finer than 325 mesh, it is difficult for the ink to pass through the gauze, and blurring occurs, resulting in a defect.

【0042】また、上記第2のパターンレジスト2を構
成してなる第2のレジストインクBとしては、熱又は紫
外線により指触乾燥又は硬化し、且つpHが13以上の
強アルカリ溶液に可溶な材料が使用される。
The second resist ink B, which constitutes the second patterned resist 2, is touch-dry or hardened by heat or ultraviolet rays and is soluble in a strong alkaline solution having a pH of 13 or more. Material is used.

【0043】この第2のレジストインクBとしては、市
販品が何れも使用可能であり、特に限定されない。この
うち、熱により指触乾燥(又は硬化)するものとして
は、例えば山栄化学社製のSER−400シリーズ,S
ER−410シリーズ,SER−420シリーズ,SE
R−423シリーズ(何れも商品名)、サンワ化学工業
社製のDA−110B,DA−180C,DA−200
B,DA−250C,DA−380B,DA−262C
(何れも商品名)、アサヒ化学研究所社製のWR−52
0,WR−70(ともに商品名)等が挙げられる。
As the second resist ink B, any commercially available product can be used and is not particularly limited. Among these, those which are dried (or cured) by touch with heat include, for example, SER-400 series, S manufactured by Sanei Chemical Co.
ER-410 series, SER-420 series, SE
R-423 series (both are trade names), DA-110B, DA-180C, DA-200 manufactured by Sanwa Chemical Industry Co., Ltd.
B, DA-250C, DA-380B, DA-262C
(Both are trade names), WR-52 manufactured by Asahi Chemical Research Institute
0, WR-70 (both are trade names) and the like.

【0044】一方、紫外線により指触乾燥(又は硬化)
するものとしては、例えば山栄化学社製のSER−14
00,SER−1405,SER−1406(何れも商
品名)、太陽インキ製造社製のX−66,X−77,X
−87(何れも商品名)、サンワ化学工業社製のUE−
7000(商品名)等が挙げられる。
On the other hand, it is touch-dried (or cured) by ultraviolet rays.
For example, SER-14 manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd.
00, SER-1405, SER-1406 (both are trade names), Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. X-66, X-77, X
-87 (both are trade names), UE manufactured by Sanwa Chemical Industry Co., Ltd.-
7000 (trade name) and the like.

【0045】そして、上記印刷後、上記第2のレジスト
インクBを所定の方法により指触乾燥(又は硬化)させ
る。なお、指触乾燥(又は硬化)させる手段としては、
該第2のレジストインクBとして熱硬化型のものを使用
した場合、紫外線硬化型のものを使用した場合とも、上
記第1のレジストインクAの場合と同様の装置が何れも
使用可能である。
After the printing, the second resist ink B is touch-dried (or cured) by a predetermined method. In addition, as a means for touch drying (or curing),
When the thermosetting type is used as the second resist ink B or the ultraviolet curing type is used, the same device as in the case of the first resist ink A can be used.

【0046】この第2のパターンレジスト4の膜厚は、
3〜40μmの範囲が適している。この第2のパターン
レジスト4の膜厚が3μmより薄いと、ピンホール等が
発生しやすくなり、良好な塗膜を得ることができない。
逆に、40μmを越えると、印刷の解像性が悪化する虞
れがある。
The film thickness of the second pattern resist 4 is
A range of 3-40 μm is suitable. If the film thickness of the second pattern resist 4 is thinner than 3 μm, pinholes and the like are likely to occur, and a good coating film cannot be obtained.
On the other hand, if it exceeds 40 μm, the resolution of printing may be deteriorated.

【0047】その後、図7及び図8に示すように、上記
第2のパターンレジスト4をマスクとして弱アルカリ溶
液により上記第1のレジスト層3aを現像する。ここ
で、上記第2のパターンレジスト4は、強アルカリ溶液
に可溶であるので、該第2のパターンレジスト4は除去
されず、該第2のパターンレジスト4から露出する上記
第1のレジスト層3aのみが選択的に現像され除去され
る。この結果、上記第2のパターンレジスト4と略同一
のパターンを有する第1のパターンレジスト3が形成さ
れる。
Then, as shown in FIGS. 7 and 8, the first resist layer 3a is developed with a weak alkaline solution using the second pattern resist 4 as a mask. Here, since the second pattern resist 4 is soluble in a strong alkaline solution, the second pattern resist 4 is not removed, and the first resist layer exposed from the second pattern resist 4 is not removed. Only 3a is selectively developed and removed. As a result, the first pattern resist 3 having substantially the same pattern as the second pattern resist 4 is formed.

【0048】この第1のパターンレジスト3の現像に際
し、高精細に形成された上記第2のパターンレジスト4
をマスクとして用いているので、該第2のパターンレジ
スト4から露出する上記第1のレジスト層3aのみが忠
実に現像され、所望のパターンに精度良く上記第1のパ
ターンレジスト3を形成することができる。
When developing the first pattern resist 3, the second pattern resist 4 is formed with high precision.
Since this is used as a mask, only the first resist layer 3a exposed from the second pattern resist 4 is faithfully developed, and the first pattern resist 3 can be accurately formed into a desired pattern. it can.

【0049】この時、上記第2のパターンレジスト4か
ら露出する上記第1のレジスト層3aのみを現像するた
めに、該第1のレジスト層3aのみが可溶とされるべ
く、使用する現像液のpHは9以上、13未満とする必
要がある。現像液のpHが9未満の場合には、上記第1
のレジスト層3aを十分に現像することができず、逆に
pHが13を越える場合では、上記第1のレジスト層3
aのみならず、上記第2のパターンレジスト4までも現
像され除去されてしまうので、後述する銅箔2のパター
ニングを行うためのレジストを形成することができなく
なる。
At this time, in order to develop only the first resist layer 3a exposed from the second pattern resist 4, only the first resist layer 3a is used so that only the first resist layer 3a is soluble. It is necessary to set the pH of the above to 9 or more and less than 13. When the pH of the developer is less than 9, the above first
If the resist layer 3a of No. 1 cannot be sufficiently developed, and conversely the pH exceeds 13, the above first resist layer 3
Not only a, but also the second pattern resist 4 is developed and removed, so that a resist for patterning the copper foil 2 described later cannot be formed.

【0050】このような弱アルカリ溶液としては、写真
現像型インクの現像に通常使用されるものが何れも使用
可能であり、例えば1〜3%Na2 CO3 溶液等が通常
の現像条件にて使用可能である。
As such a weak alkaline solution, any of those usually used for developing a photographic developing ink can be used. For example, a 1 to 3% Na 2 CO 3 solution or the like is used under normal developing conditions. It can be used.

【0051】続いて、これら第1のパターンレジスト3
及び第2のパターンレジスト4をマスクとして上記銅箔
2のエッチングを行う。この結果、上記第2のパターン
レジスト4(及び第1のパターンレジスト3)より露出
する銅箔2のみが選択的に除去され、所定のパターンで
パターニングされる。ここで、高精細に形成された上記
第2のパターンレジスト4及び第1のパターンレジスト
3をレジストとして用いているので、該第2のパターン
レジスト4(或いは第1のパターンレジスト3)から露
出する上記銅箔2のみが忠実に現像され、所望のパター
ンに精度良くパターニングすることができる。
Then, the first pattern resist 3 is formed.
Then, the copper foil 2 is etched using the second pattern resist 4 as a mask. As a result, only the copper foil 2 exposed from the second pattern resist 4 (and the first pattern resist 3) is selectively removed and patterned with a predetermined pattern. Here, since the second pattern resist 4 and the first pattern resist 3 formed with high precision are used as resists, they are exposed from the second pattern resist 4 (or the first pattern resist 3). Only the copper foil 2 is faithfully developed, and a desired pattern can be accurately patterned.

【0052】なお、このエッチングに際しては、通常こ
の種のプリント配線基板の製造時に使用されている方法
が何れも使用可能であり、湿式エッチング、ドライエッ
チング等が使用可能であり、任意に選択すれば良い。但
し、湿式エッチングを行う場合には、エッチング液とし
て、例えば塩化第二銅、塩化第二鉄等の酸性エッチャン
トを選定する必要がある。エッチング液としてアルカリ
性エッチャントを使用すると、上記銅箔2のエッチング
と同時に上記第1のパターンレジスト3及び第2のパタ
ーンレジスト4が溶解してしまい、レジストとしての機
能を発揮できなくなる。
In this etching, any of the methods usually used for manufacturing a printed wiring board of this type can be used, and wet etching, dry etching or the like can be used. good. However, when performing wet etching, it is necessary to select an acidic etchant such as cupric chloride or ferric chloride as an etching solution. When an alkaline etchant is used as the etching liquid, the first pattern resist 3 and the second pattern resist 4 are dissolved at the same time when the copper foil 2 is etched, and the resist function cannot be exhibited.

【0053】その後、強アルカリ溶液を用いて、上記第
1のパターンレジスト3及び第2のパターンレジスト4
を除去する。この結果、図9及び図10に示すように、
上述のようにパターニングされた銅箔2のみが残存し、
上記基板1上に所望のパターンを有する配線パターン5
が形成される。
Then, using a strong alkaline solution, the first pattern resist 3 and the second pattern resist 4 described above are used.
To remove. As a result, as shown in FIG. 9 and FIG.
Only the copper foil 2 patterned as described above remains,
Wiring pattern 5 having a desired pattern on the substrate 1
Is formed.

【0054】この時、上記パターニングされた銅箔2の
みを残存させつつ、上記第2のパターンレジスト4及び
第1のパターンレジスト3を完全に除去するために、使
用する溶液のpHは13以上とする必要がある。溶液の
pHが13未満の場合には、上記第2のパターンレジス
ト4及び第1のパターンレジスト3を十分に除去するこ
とができない。
At this time, in order to completely remove the second pattern resist 4 and the first pattern resist 3 while leaving only the patterned copper foil 2, the pH of the solution used is 13 or more. There is a need to. If the pH of the solution is less than 13, the second pattern resist 4 and the first pattern resist 3 cannot be sufficiently removed.

【0055】このような強アルカリ溶液としては、通常
のパターンレジストの除去において使用されるものが何
れも使用可能であり、例えばNaOH溶液等が通常の現
像条件にて使用可能である。
As such a strong alkaline solution, any of those which are usually used for removing a patterned resist can be used, and for example, a NaOH solution or the like can be used under ordinary developing conditions.

【0056】なお、このようなプリント配線基板の製造
においては、上記第1のパターンレジスト3や第2のパ
ターンレジスト4の形成がスクリーン印刷法により行わ
れているので、従来の印刷法による場合に匹敵する優れ
た生産性を確保することができる。
In the production of such a printed wiring board, the first pattern resist 3 and the second pattern resist 4 are formed by the screen printing method. It is possible to secure comparable excellent productivity.

【0057】以上のようなプリント配線基板の製造方法
に基づき、実際に各種プリント配線基板を作製した。実施例1 本実施例は、コンポジットの銅張積層板上に熱硬化型の
第1のレジストインクを用いてスクリーン印刷法により
第1のレジスト層を形成し、この第1のレジスト層上に
熱硬化型の第2のレジストインクを所定のパターンでス
クリーン印刷した後、銅箔のエッチングを行ってプリン
ト配線基板を作製した例である。
Various printed wiring boards were actually manufactured on the basis of the method for manufacturing a printed wiring board as described above. Example 1 In this example, a first resist layer was formed by a screen printing method using a thermosetting first resist ink on a composite copper-clad laminate, and a heat treatment was performed on the first resist layer. This is an example of producing a printed wiring board by screen-printing a curable second resist ink in a predetermined pattern and then etching a copper foil.

【0058】即ち、先ず市販の紙フェノール銅張積層板
〔日立化成社製のMCL−437F(商品名),板厚
1.6mm、銅箔厚35μm〕を335mm×251m
mに裁断した後、石井表記社製のスクラブ整面機により
銅箔の表面を清浄化した。なお、この清浄化に際して、
5%硫酸により洗浄した後、フラップバフ(1000
番)にてバフ研磨を行い、続いてペリーブラシ(100
0番)にてスクラブ研磨、超音波洗浄を経た後、乾燥し
た。
That is, first, a commercially available paper phenol copper clad laminate [MCL-437F (trade name) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., plate thickness 1.6 mm, copper foil thickness 35 μm] was 335 mm × 251 m.
After cutting into m, the surface of the copper foil was cleaned with a scrubbing surface maker manufactured by Ishii Inscription Company. In addition, in this cleaning,
After washing with 5% sulfuric acid, flap buff (1000
No.) is used for buffing, followed by a perry brush (100
After scrubbing with No. 0) and ultrasonic cleaning, it was dried.

【0059】次に、この銅箔の表面を覆って第1のレジ
ストインクAを印刷機(商品名:ニューロングLS−5
0)によりスクリーン印刷した。なお、上記第1のレジ
ストインクAとしては、タムラ化研社製のDSR−22
00(商品名)を使用した。また、上記印刷機は、版の
仕様がテトロン180メッシュで、乳剤が20μm厚で
形成されてなるものを使用した。また、塗布された第1
のレジストインクAの塗布面積は、330mm×240
mmであった。
Next, the first resist ink A was coated on the surface of the copper foil with a printing machine (trade name: New Long LS-5).
0) screen-printed. The first resist ink A is DSR-22 manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.
00 (trade name) was used. The printing machine used had a plate specification of Tetron 180 mesh and an emulsion of 20 μm thick. Also, the first applied
The coating area of the resist ink A is 330 mm x 240
It was mm.

【0060】その後、箱型炉(商品名:タバイエスペッ
クPHH−200)にて温度80℃で15分間加熱し、
上記第1のレジストインクAを指触乾燥させた。得られ
た第1のレジスト層の膜厚を東京精密社製の表面粗度測
定機(商品名:サーフコム)により測定したところ、1
0μmであった。
Then, it was heated at a temperature of 80 ° C. for 15 minutes in a box furnace (trade name: Tabai Espec PHH-200),
The first resist ink A was touch-dried. The film thickness of the obtained first resist layer was measured by a surface roughness measuring device (trade name: Surfcom) manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
It was 0 μm.

【0061】次いで、この第1のレジスト層上に印刷機
(商品名:ニューロングLS−50)により所定のパタ
ーンで第2のレジストインクBをスクリーン印刷した。
上記第2のレジストインクBとしては、山栄化学社製の
SER−420(商品名)を使用した。また、上記第2
のレジストインクBのパターンは、銅箔回路パターンの
設計基準がライン/スペース=150μm/150μm
のカムコーダ用の製品パターンを使用した。上記印刷機
は、版の仕様がテトロン250メッシュで、乳剤が12
μm厚で形成されてなるものを使用し、200枚連続印
刷を行った。また、上記第1のレジストインクAの塗布
面積は、330mm×240mmとした。
Then, the second resist ink B was screen-printed on the first resist layer in a predetermined pattern by a printing machine (trade name: New Long LS-50).
As the second resist ink B, SER-420 (trade name) manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd. was used. In addition, the second
The resist ink B pattern of No. 1 has a copper foil circuit pattern design standard of line / space = 150 μm / 150 μm
The product pattern for a camcorder of The above-mentioned printing machine has Tetron 250 mesh plate specifications and 12 emulsions.
Using a sheet having a thickness of μm, 200 sheets were continuously printed. The application area of the first resist ink A was 330 mm × 240 mm.

【0062】そして、箱型炉(商品名:タバイエスペッ
クPHH−200)にて温度80℃で10分間加熱し、
上記第2のレジストインクBを指触乾燥させた。得られ
た第2のパターンレジストの膜厚は8μmであった。続
いて、弱アルカリ溶液にて上記第1のレジスト層を現像
し、上記第2のパターンレジストと略同一パターンにパ
ターニングして第1のパターンレジストを形成した。
Then, it was heated at a temperature of 80 ° C. for 10 minutes in a box furnace (trade name: Tabai Espec PHH-200),
The second resist ink B was touch-dried. The film thickness of the obtained second pattern resist was 8 μm. Subsequently, the first resist layer was developed with a weak alkaline solution and patterned into a pattern substantially the same as the second pattern resist to form a first pattern resist.

【0063】この現像に際し、上記弱アルカリ溶液とし
て3%Na2 CO3 溶液を用い、温度30℃、現像時間
80秒間、スプレー圧2.0kg/cm2 なる条件にて
行った。
In this development, a 3% Na 2 CO 3 solution was used as the weak alkaline solution, the temperature was 30 ° C., the development time was 80 seconds, and the spray pressure was 2.0 kg / cm 2 .

【0064】この現像後、スプレーエッチング装置によ
り上記第1及び第2のパターンレジストをレジストとし
て銅箔を選択的にエッチングし、上記第1及び第2のパ
ターンレジストから露出する銅箔をエッチング除去し
た。なお、このエッチングにおいては、塩化第二鉄溶液
をエッチントとして使用した。続いて、剥離装置を用い
て上記第1及び第2のパターンレジストを除去し、上述
のエッチングによりパターニングされた銅箔のみを残存
させて、所望の配線パターン有するプリント配線基板を
得た。なお、上記剥離装置においては、2%NaOH溶
液が使用され、処理時間は2分間とされる。
After this development, the copper foil was selectively etched by the spray etching apparatus using the first and second pattern resists as resists, and the copper foils exposed from the first and second pattern resists were removed by etching. . In this etching, a ferric chloride solution was used as an etchant. Then, the first and second pattern resists were removed by using a peeling device, and only the copper foil patterned by the above etching was left to obtain a printed wiring board having a desired wiring pattern. In the peeling device, a 2% NaOH solution is used and the processing time is 2 minutes.

【0065】実施例2 上記実施例1で使用した第1のレジストインクAを太陽
インキ製造社製のPSR−4000(商品名)に変える
とともに、第2のレジストインクBをサンワ化学工業社
製のDA−180Cに変え、その他は上記実施例1と同
様にしてプリント配線基板を作製した。
Example 2 The first resist ink A used in the above Example 1 was changed to PSR-4000 (trade name) manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd., and the second resist ink B was manufactured by Sanwa Chemical Industry Co., Ltd. A printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that DA-180C was used.

【0066】実施例3 本実施例は、第1のレジストインクとして紫外線硬化型
のものを使用し、第2のレジストインクとして熱硬化型
のものを使用してプリント配線基板を作製した例であ
る。先ず、上記実施例1で使用した銅張積層板と同一の
ものを用い、この銅張積層板を上述のようにして清浄化
した後、銅箔の表面を覆って第1のレジストインクAを
印刷機(商品名:ニューロングLS−50)によりスク
リーン印刷した。この第1のレジストインクAとして
は、太陽インキ製造社製のTGR−100シリーズ(商
品名)を使用した。
Example 3 This example is an example of producing a printed wiring board by using an ultraviolet curable type as the first resist ink and a thermosetting type as the second resist ink. . First, using the same copper-clad laminate as used in Example 1 above, after cleaning the copper-clad laminate as described above, the surface of the copper foil was covered with the first resist ink A. Screen printing was performed using a printing machine (trade name: New Long LS-50). As the first resist ink A, TGR-100 series (trade name) manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. was used.

【0067】その後、オーク社製の高圧水銀灯使用のコ
ンベアUV炉(商品名:HMW−713)にて紫外線照
射を行い、上記第1のレジストインクAを指触乾燥させ
て、第1のレジスト層を形成した。なお、この紫外線照
射時の積算光量は、1000mJ/cm2 とした。
After that, ultraviolet irradiation is carried out in a conveyor UV furnace (trade name: HMW-713) using a high pressure mercury lamp manufactured by Oak Co., and the first resist ink A is touch-dried to give a first resist layer. Was formed. The integrated light quantity at the time of this ultraviolet irradiation was 1000 mJ / cm 2 .

【0068】次いで、この第1のレジスト層上に印刷機
(商品名:ニューロングLS−50)により所定のパタ
ーンで第2のレジストインクBをスクリーン印刷した。
上記第2のレジストインクBとしては、山栄化学社製の
SER−420(商品名)を使用した。そして、箱型炉
(商品名:タバイエスペックPHH−200)にて温度
70℃で10分間加熱し、上記第2のレジストインクB
を指触乾燥させた。
Next, the second resist ink B was screen-printed on the first resist layer by a printing machine (trade name: New Long LS-50) in a predetermined pattern.
As the second resist ink B, SER-420 (trade name) manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd. was used. Then, the second resist ink B is heated in a box furnace (trade name: Tabai Espec PHH-200) at a temperature of 70 ° C. for 10 minutes.
Was touch dried.

【0069】続いて、上記実施例1と同様にして弱アル
カリ溶液にて上記第1のレジスト層を現像し、第1のパ
ターンレジストを形成した後、スプレーエッチング装置
により上記銅箔のエッチングを行い、更に剥離装置を用
いて上記第1のパターンレジスト及び第2のパターンレ
ジストを除去して、所望の配線パターン有するプリント
配線基板を得た。
Subsequently, in the same manner as in Example 1, the first resist layer was developed with a weak alkaline solution to form a first pattern resist, and then the copper foil was etched with a spray etching apparatus. Then, the first pattern resist and the second pattern resist were removed by using a peeling device to obtain a printed wiring board having a desired wiring pattern.

【0070】実施例4 本実施例は、第1のレジストインク及び第2のレジスト
インクとして、ともに紫外線硬化型のものを使用した他
は、基本的には上記実施例3と同様にしてプリント配線
基板を作製した例である。上記実施例3で使用した第2
のレジストインクを山栄化学社製のSER−1405
(商品名)に変え、且つこの第2のレジストインクの指
触乾燥させる際の紫外線照射時の条件を上記実施例3に
おける第1のレジストインクに対する紫外線照射時と同
様にして、その他は上記実施例3と同様にしてプリント
配線基板を作製した。
Example 4 This example is basically the same as Example 3 except that the first resist ink and the second resist ink used are both UV curable. It is an example of manufacturing a substrate. Second used in Example 3 above
SER-1405 manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd.
(Trade name), and the conditions for UV irradiation at the time of touch-drying the second resist ink are the same as those at the time of UV irradiation for the first resist ink in Example 3 described above, and other conditions are the same as described above. A printed wiring board was produced in the same manner as in Example 3.

【0071】実施例5 本実施例は、第1のレジストインク及び第2のレジスト
インクとして、ともに紫外線硬化型のものを使用した他
は、基本的には上記実施例3と同様にしてプリント配線
基板を作製した例である。上記実施例3で使用した第1
のレジストインクを下記のようにして調製されたインク
に変えるとともに、第2のレジストインクを太陽インキ
製造社製のX−87(商品名)に変え、且つこれら第1
及び第2のレジストインクの指触乾燥させる際に使用し
たオーク社製の高圧水銀灯使用のコンベアUV炉(商品
名:HMW−713)の積算光量を1200mJ/cm
2 として、その他は上記実施例3と同様にしてプリント
配線基板を作製した。
Example 5 This example is basically the same as Example 3 except that the first resist ink and the second resist ink used are both ultraviolet curable inks. It is an example of manufacturing a substrate. First used in Example 3 above
The resist ink of No. 1 was changed to the ink prepared as follows, and the second resist ink was changed to X-87 (trade name) manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd.
And the accumulated light amount of the conveyor UV furnace (trade name: HMW-713) using a high pressure mercury lamp manufactured by Oak Co., which was used for touch-drying the second resist ink, was 1200 mJ / cm.
As 2 , the printed wiring board was manufactured in the same manner as in Example 3 except above.

【0072】<第1のレジストインクの調製>スチレン
−マレイン酸系樹脂(ここでは、アーコケミカル社製の
商品名SMA−1440を使用した。)100gを2−
ヒドロキシエチルアクリレート68g、ジメチルアミノ
エチルメタアクリレート12gとともに、エチレングリ
コールジアクリレート40gに溶解してなる溶液Aと、
大日本インキ化学工業社製のクレゾールノボラックエポ
キシ樹脂(商品名:N−695)100gをイソボニル
アクリレート100gに溶解してなる溶液Bを下記の材
料とともに混合分散してレジストインクとした。
<Preparation of First Resist Ink> 100 g of styrene-maleic acid resin (here, SMA-1440, trade name, manufactured by Arco Chemical Co., Ltd.) was used as 2-.
Solution A prepared by dissolving 68 g of hydroxyethyl acrylate and 12 g of dimethylaminoethyl methacrylate in 40 g of ethylene glycol diacrylate,
A solution B prepared by dissolving 100 g of cresol novolac epoxy resin (trade name: N-695) manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. in 100 g of isobornyl acrylate was mixed and dispersed with the following materials to obtain a resist ink.

【0073】 レジストインクの組成 溶液A 33.3重量部 溶液B 33.3重量部 2MZA(四国化成工業社製) 2.9重量部 クレー 20.0重量部 2エチルアントラキン 2.9重量部 CTBN(宇部興産社製) 7.6重量部Composition of resist ink Solution A 33.3 parts by weight Solution B 33.3 parts by weight 2MZA (manufactured by Shikoku Chemicals) 2.9 parts by weight Clay 20.0 parts by weight 2 Ethylanthraquine 2.9 parts by weight CTBN (Made by Ube Industries) 7.6 parts by weight

【0074】比較例 先ず、上記実施例1で使用した銅張積層板と同一のもの
を用い、この銅張積層板上にレジストインクとして山栄
化学社製のSER−1405(商品名)を用いて従来の
スクリーン印刷法により200枚連続印刷した後、上記
実施例3における第1のレジストインクに対する紫外線
照射と同様にして紫外線照射を行い、得られた塗膜を指
触乾燥した。なお、上記レジストインクの印刷時に使用
した印刷機は、上記実施例1における第2のレジストイ
ンクの印刷時に仕様したものと同一のものを使用した。
Comparative Example First, the same copper clad laminate as used in Example 1 was used, and SER-1405 (trade name) manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd. was used as a resist ink on the copper clad laminate. After continuously printing 200 sheets by the conventional screen printing method, UV irradiation was performed in the same manner as the UV irradiation for the first resist ink in Example 3 above, and the obtained coating film was dried by touch. The printing machine used for printing the resist ink was the same as that used for printing the second resist ink in Example 1 above.

【0075】続いて、得られたパターンレジストを用い
て銅箔のエッチングを行い、更にレジスト除去を行って
プリント配線基板を作製した。
Subsequently, the obtained pattern resist was used to etch the copper foil, and the resist was removed to produce a printed wiring board.

【0076】以上のようにして作製された各プリント配
線基板において、得られた配線パターンの精度性を評価
するために、該配線パターンに所定の電圧を印加した際
のショート及び断線の発生状況を調べた。この結果を下
記の表1に示す。
In each printed wiring board manufactured as described above, in order to evaluate the accuracy of the obtained wiring pattern, the occurrence of short circuit and disconnection when a predetermined voltage was applied to the wiring pattern was examined. Examined. The results are shown in Table 1 below.

【0077】[0077]

【表1】 [Table 1]

【0078】表1に示すように、本実施例1〜4では、
第2のレジストインクを200枚連続印刷したところ、
何れも初期(10枚目)から200枚目までインクにカ
スレや滲みが生じることなく、良好な印刷性が維持さ
れ、この結果得られた銅箔回路パターンは、高精細なパ
ターンで形成されていることが判った。
As shown in Table 1, in Examples 1 to 4,
After printing 200 sheets of the second resist ink continuously,
In each case, good printability is maintained from the initial (10th sheet) to the 200th sheet without causing blurring or bleeding of the ink, and the copper foil circuit pattern obtained as a result is formed with a high-definition pattern. I found out that

【0079】これに対して、比較例では、レジストイン
クの印刷時に滲みやブリードが生じてしまい、印刷初期
から線巾が太くなる傾向が見られた。また、印刷開始よ
り150枚目前後のものには、ショートが起こり、良好
な銅箔回路パターンの形成が行えないことが判った。こ
のことから、本実施例を適用した場合では、銅箔回路パ
ターンの設計基準をライン/スペース=150μm/1
50μmとした場合にも、精度良く配線パターンを形成
できることが明らかとなった。
On the other hand, in the comparative example, bleeding and bleeding occurred during printing of the resist ink, and the line width tended to become thick from the beginning of printing. In addition, it was found that a short circuit occurred around the 150th sheet from the start of printing, and a good copper foil circuit pattern could not be formed. From this, in the case of applying this embodiment, the design standard of the copper foil circuit pattern is line / space = 150 μm / 1.
It has been clarified that the wiring pattern can be accurately formed even when the thickness is 50 μm.

【0080】[0080]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、清浄化された銅箔の表面を覆って塗布形
成された第1のレジスト層上に印刷法により所定のパタ
ーンで第2のパターンレジストを形成しているので、イ
ンクのカスレやピンホール、或いは銅箔表面に凹凸が存
在する場合に見られるようなインクの滲み等が極めて発
生し難い。従って、上記第2のパターンレジストを高精
細なパターンで印刷することができる。
As is apparent from the above description, in the present invention, a first pattern is formed by a printing method on the first resist layer formed by coating so as to cover the surface of the cleaned copper foil. Since the pattern resist No. 2 is formed, it is extremely unlikely that ink blurring, pinholes, or ink bleeding, which is seen when unevenness is present on the copper foil surface, occurs. Therefore, the second pattern resist can be printed with a high-definition pattern.

【0081】また、このように精度良く形成された第2
のパターンレジスト(或いはこの第2のパターンレジス
トをマスクとして現像された第1のパターンレジスト)
をマスクとして上記銅箔を選択的にエッチングしている
ので、該銅箔を所望のパターンに忠実にパターニングす
ることができる。従って、本発明によれば、配線パター
ンの高精細化が図られ、信頼性に優れたプリント配線基
板を提供することができる。
In addition, the second portion formed with high precision in this way
Pattern resist (or the first pattern resist developed using this second pattern resist as a mask)
Since the copper foil is selectively etched by using as a mask, the copper foil can be faithfully patterned into a desired pattern. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a printed wiring board having a highly reliable wiring pattern and excellent reliability.

【0082】また、本発明では、上記第2のパターンレ
ジストや第1のパターンレジストの形成方法として基本
的には印刷法を利用しているので、上述のように配線パ
ターンの高精細化を図りつつ、処理速度を向上させるこ
とができ、従来の印刷法に匹敵する大量生産性を実現す
ることが可能である。
Further, in the present invention, since the printing method is basically used as the method for forming the second pattern resist and the first pattern resist, it is possible to realize the high definition of the wiring pattern as described above. At the same time, the processing speed can be improved, and mass productivity comparable to the conventional printing method can be realized.

【0083】[0083]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のプリント配線基板の製造方法を適用し
た一実施例を工程順に説明するための図であり、銅箔ラ
ミネート工程を示す工程断面図である。
FIG. 1 is a view for explaining one embodiment to which a method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention is applied in the order of steps, and is a step sectional view showing a copper foil laminating step.

【図2】銅箔ラミネート工程を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a copper foil laminating step.

【図3】第1のレジスト層形成工程を示す工程断面図で
ある。
FIG. 3 is a process sectional view showing a first resist layer forming process.

【図4】第1のレジスト層形成工程を示す平面図であ
る。
FIG. 4 is a plan view showing a first resist layer forming step.

【図5】第2のパターンレジスト形成工程を示す工程断
面図である。
FIG. 5 is a process sectional view showing a second pattern resist forming process.

【図6】第2のパターンレジスト形成工程を示す平面図
である。
FIG. 6 is a plan view showing a second pattern resist forming step.

【図7】第1のパターンレジストの形成工程を示す工程
断面図である。
FIG. 7 is a process sectional view showing a process of forming a first patterned resist.

【図8】第1のパターンレジストの形成工程を示す平面
図である。
FIG. 8 is a plan view showing a step of forming a first patterned resist.

【図9】銅箔のエッチング工程を示す工程断面図であ
る。
FIG. 9 is a process cross-sectional view showing a copper foil etching process.

【図10】銅箔のエッチング工程を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a copper foil etching step.

【図11】配線パターンの形成工程を示す工程断面図で
ある。
FIG. 11 is a process sectional view showing a process of forming a wiring pattern.

【図12】配線パターンの形成工程を示す平面図であ
る。
FIG. 12 is a plan view showing a step of forming a wiring pattern.

【図13】従来のスクリーン印刷法における銅箔ラミネ
ート工程を示す工程断面図である。
FIG. 13 is a process sectional view showing a copper foil laminating process in a conventional screen printing method.

【図14】従来のスクリーン印刷法によるパターンレジ
スト印刷工程を示す工程断面図である。
FIG. 14 is a process sectional view showing a pattern resist printing process by a conventional screen printing method.

【図15】従来のスクリーン印刷法による配線パターン
形成工程を示す工程断面図である。
FIG. 15 is a process sectional view showing a wiring pattern forming process by a conventional screen printing method.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁性を有する基板上に銅箔をラミネー
トし、 この銅箔の全面にpHが9以上、13未満の弱アルカリ
溶液に可溶な第1のレジスト層を形成し、 次いで、この第1のレジスト層上に所定のパターンでp
Hが13以上の強アルカリ溶液に可溶な第2のパターン
レジストを形成した後、 これら第1のレジスト層及び第2のパターンレジストが
形成された上記基板を弱アルカリ溶液に接触せしめ、上
記第2のパターンレジストをマスクとして第1のレジス
ト層を現像して第1のパターンレジストを形成し、 続いて、これら第1のパターンレジスト及び第2のパタ
ーンレジストをマスクとして上記銅箔をエッチングした
後、強アルカリ溶液により上記第2のパターンレジスト
及び第1のパターンレジストを除去し、所定のパターン
を有する配線パターンを形成することを特徴とするプリ
ント配線基板の製造方法。
1. A copper foil is laminated on an insulating substrate, and a first resist layer soluble in a weak alkaline solution having a pH of 9 or more and less than 13 is formed on the entire surface of the copper foil, and then, P with a predetermined pattern on the first resist layer
After forming a second pattern resist soluble in a strong alkaline solution having H of 13 or more, the substrate on which the first resist layer and the second pattern resist are formed is contacted with a weak alkaline solution, After developing the first pattern resist by using the second pattern resist as a mask to form the first pattern resist, and subsequently etching the copper foil by using the first pattern resist and the second pattern resist as a mask A method for manufacturing a printed wiring board, comprising: removing the second pattern resist and the first pattern resist with a strong alkaline solution to form a wiring pattern having a predetermined pattern.
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