JPH06503883A - 電子デバイス試験の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 電子デバイス試験の制御装置 発明の背景 本発明は所定の温度下で電子デバイスを試験する場合に関連してくる環境を制御 する電子デバイス試験の制御装置に関する。ここで「電子デバイス」なる用語は 、半導体デバイスや、集積回路、モジューラがパックされた混成電気回路等を示 し、意味している。

通常、電子デバイスの試験を制御する制御装置には２種類ある。一つは、共通し て「重力移送」によって特徴付けられるものである。この種の制御装置では、電 子デバイスは制御装置を介して重力によって移動される。この種の制御装置には 顕著な２つの欠点がある。一つは、移送の速度が低いため、単位時間当たりにご く僅かの電子デバイスしか扱えず、さらに電子デバイスは「裸の」状態で取り扱 われる、ということである。「裸」なる用語は、電子デバイスがなにものによっ ても覆われていない状態を意味する。即ち、電子デバイスは、いかなる保護的な 媒体によっても覆われていない状態で制御装置を通過し、試験される、というこ とである。

制御装置のもう一つの種類は、「抜き取り及び載置」制御装置として特徴付けら れるものである。この種の制御装置では、電子デバイスは、−ａめにされ、特に トレイに乗せられて制御装置を通過する。纏まりからは、複数の電子デバイスが 抜き取られて載置され、試験用の試験ヘッドコンタクタと接触する。試験の後は 纏まりに戻される。

この種の制御装置は処理量は重力移送のタイプの制御装置に比べて多いか、この 装置もまた、試験の段階において電子デバイスを裸で扱っているのでこれが大き な欠点となっている。この様に扱われる電子デバイスは非常にダメージを受け易 く、例えば、装置の故障やそれぞれの電子デバイスの大きさの違いなどによって ダメージを受けやすい。

本発明は多くの利点を有している。その最初のものは、重力移送を行っていない ので重力移送よりも処理蓋が向上する、ということである。第２の利点は、電子 デバイスは、取り扱われる前に保護媒体内に配設され、トレイ上に乗せられた状 態で移送され、本発明に従った制御装置を通過する。デバイスは試験段階におい ても媒体内に保持されている。さらに、処理量は、複数のトレイ移動作業を同時 に行うことによって増加する。また、通常の大きさのトレイと、このトレイの大 きさに適応するように電子デバイスを保持する媒体とを使用することによって、 本発明に従った制御装置は、部品を安価に交換するだけでいくつもの種類のデバ イスを取り扱うことが可能となる。

この他の利点及び特徴は、これ以降の説明により議論され、明らかとなるであろ う。

発明の概要 本発明による電子デバイス制御装置は、（１）第１のキャリアと少なくとも１個 の第２のキャリアとを有し、第２のキャリアは第１のキャリアによって規定され たシートに第１のキャリアの上方に乗せられ、各々の第２の“キャリアは少な（ とも１個のシートを規定している電子デバイスキャリアユニットであり、電子デ バイスのリードが電子デバイスキャリアユニットの上方から接近容易であるよう に前記シートに電子デバイスが入れられる電子デバイスキャリアユニットと、（ ２）電子デバイスかその中を通り、通過する電子デバイスの温度を変化させる手 段を有する試験前調整室と、（３）キャリアユニットを試験前調整室を介して順 番に移動させ、この移動を、キャリアユニットに載っている電子デバイス内の所 望の温度変化を生じさせるのに適したペースで行う手段と、（４）通路を有しこ の通路に沿って複数のキャリアユニットが移動可能な試験室であって、前記通路 は、キャリアユニットが試験を待つ少なくとも１つの準備位置と、キャリアユニ ット上の電子デバイスが試験されている間にキャリアユニットか休止する試験位 置と、キャリアユニットか試験室からの取り外しを待つ少なくとも１つの取り外 し待機位置とを含み、前記試験室は、前記通路の試験位置の上方に配置され下方 を向いた１夏数のコンタクトを有する試験へラドコンタクタと、キャリアユニッ トを準備位置から試験位置に移動させる手段と、前記第２のキャリア上の電子デ バイスのリードを試験へラドコンタクタに電気的に接触させるために、試験位置 にあるキャリアユニットの第２のキャリアを上昇させる手段と、キャリアユニッ トを試験位置から取り外し待機位置へ移動させる手段とを価えている試験室と、 （５）キャリアユニットを試験前調整室から試験室に入って準備位置に搬送する 手段と、（６）電子デバイスがその中を通り、通過する電子デバイスの温度を、 電子デバイスを周囲の温度に対して露出しても安全となるような温度にまで復帰 させる手段を有する試験後調整室と、（７）キャリアユニットを試験室の取り外 し待機位置から試験後調整室へ搬送する手段と、（８）キャリアユニットを試験 後調整室内で所望の降荷を達成するのに適したベースで移動させる手段と、（９ ）積荷・降荷通路と、（１０）キャリアユニットを試験後調整室の出口から積荷 ・降荷通路に搬送する手段と、（１１）キャリアユニットを積荷・降荷通路から 試験前調整室の入口へ搬送する手段と、（１２）試験前調整室への再挿入のため にキャリアユニットを積荷・降荷通路に沿って試験後調整室の出口から試験前調 整室の入口へ移動させる手段と、（１３）積荷・降荷通路に沿って設けられ、ｍ ｊ記ユニットが前記通路に沿って試験後調整室の出口から試験前調整室に向かっ て移動するに伴って、試験された電子デバイスをキャリアユニットから取り外す 手段と、（１４）積荷・降荷通路に沿って設けられ、取り外された電子デバイス を試験されていない電子デバイスと交換する手段と、を具備している。

本発明は、半導体デバイスの試験を従来のものよりも高い通過比率で行う電子デ バイス制御装置を提供することを目的としている。

本発明は、上記目的を満たすような制御装置であって、かつ、小さな占領するス ペースが従来のシステムよりも小さい制御装置を提供することをも目的としてい る。

本発明は、上記２つの目的を満たすような制御装置であって、デバイスが保護キ ャリア内に入れられていてもデバイスを扱うことができる制御装置を提供するこ とをも目的としている。

本発明は、上述したような制御装置であって、電子デバイスを−纏めにして移動 させて制御装置を通過ることができ、完全な纏まりまたは纏まりのサブセットを 試験ヘッドコンタクタへ同時に渡すことができる電子デバイス制御装置を提供す ることをも目的としている。

本発明は、１セツトまたは−纏まりの電子デバイスを支持する基準サイズのトレ イ内でデバイスを自在に移動させることができる電子デバイス制御装置を提供す ることをも目的としている。基準サイズのトレイと均一に接触する第２のキャリ ア内では、支持される電子デバイスの保護が所定の程度まで行われる。

本発明の他の目的は、明細書の中身によって説明され、あるいはそれを読むこと によって自明である。

図面の簡単な説明 図１は、装置を介してのキャリアユニットの動きと通路とを示す絵画図、 図２は、トレイ形状の１個の第１のキャリアを示す斜視図、図３は、電子デバイ スのローディング・アンローディングとキャリアユニットの前進とを行う機構を 示す正面図、図４は、図３における４−４線の断面図、図５は、図３におけろう 一５線の拡大断面図、図６は、図５における６−６線の断面図、図７は、図５に おける７−７線の断面図、図８は、図７における８−８線の断面図、図９は、図 ８における９−９線の断面図、図１０は、図３における１０−１０線の拡大断面 図、図１１は、図１０における１１−１１線の断面図、図１２は、図３における １２−１２線の拡大断面図、図１３は、図１２における１３−１３線の断面図、 図１４Ａ１図１４Ｂ１図１４Ｃは、第２のキャリアの異なった形状を示す図、そ して、 図１５は、本発明の制御及び動作を示すダイアグラムである。

好ましい実施例の説明 図１及び図２を参照すると、電子デバイス２はシート４内に支持された状態で描 かれている。シート４は、第２のキャリアによって規定された２つのシートのう ちの１個である。

第２のキャリアは、本実施例ではデバイス支持挿入部６である。デバイス支持挿 入部は、これよりもサイズの小さいベース８を何している。このベース８は、境 界ショルダ１ｏを規定している。本実施例において第１のキャリアとなっている トレイ１２は、平坦なフレーム状に形成されており、均一の大キさの４つの開口 １４を規定している。各々の開口１４は、デバイス支持挿入部６のベースに適合 する。この結果、ベースは滑るようにして４つの開口のうちのいずれか１個に挿 入され、ショルダ１０がトレイ上に載置される。この様にして、４つのデバイス 支持挿入部は、水平方向での挿入部の移動が挿入トレイのフレームによって規制 され、かつ、垂直方向での移動が重力によって規制された状態で、挿入トレイに よって規定された４つの開口に載置することができる。

後にさらに説明されるが、デバイス支持挿入部によって規定されるシートは、幾 つもの大きさ及び形状の電子デバイスを収容し得るようにそれぞれ異ならせて形 成しても良い。しかし、すべての挿入部は、均一なサイズのベースを何している 。図１及び図２に示すデバイス支持挿入部は各々２つのデバイスシートを有して いるが、２つではな（それ以上の、例えば４つのシートを有し２ていても良い。

このようにして、挿入トレイは広範囲な種類の電子デバイスを支持することがで きる。

特に図１を参照すると、矢印は試験制御装置１６を通る挿入トレイの通路及び動 作を示している。再び図１を参照すると、符号Ｔで示される矩形の平板は、挿入 部６によって４つの開口１４がすべて満たされた挿入トレイ１２の各々を図式的 に示している。矢印は閉じられた経路を示している。この経路に沿って、トレイ Ｔは試験制御装置１６の典型的な動作の間に移動する。図１に示すように、トレ イＴは前方プラットフォーム３４に沿って右から左に移動する。トレイが、符号 Ｕで示す降荷機構（ｕｎｌｏａｄｉｎｇ　ｍｅｃｈａｎｉｓｍ）の下方を通ると 、デバイス支持挿入部は電子デバイスを降荷する。トレイが、符号して示す積荷 機構（ｌｏａｄｉｎｇ　ｍｅｃｈａｎｉｓｍ）の下方を通ると、トレイには電子 デバイスが再び積荷される。

供給プラットフォーム１８は、通常、所定の手段を描（。

この手段によって、本発明は個々の電子デバイスを、即ち構成要素を受け取る。

この手段、即ち、供給プラットフォームあるいはこれの上方に構成要素を到着さ せる手段は、本発明の一部ではない。積荷機構りは個々の電子デバイスを供給プ ラットフォームから取り上げて、挿入部６が挿入トレイ１２に載置されている状 態で好ましくは取り上げた順にデバイス支持シート４に積荷する。積荷機構は通 常積荷ピックアップヘッド２０を有している。このヘッド２０は支持２４Ａおよ び２４Ｂによって吊り下げられたトラック２２に沿って往復移動する。後に詳細 に説明するが、ピックアップヘッドの基底部には、吸引手段が設けられている。

この吸引手段は、電子デバイスを積荷工程の間に掴持する。作業においては、積 荷ヘッド２０は２つの休止位置を有する。これら休止位置は、トラック２２のほ ぼ反対側に位置している。第１の側では、積荷ヘッド２０は供給プラットフォー ムの上方に位置され、吸引手段（図示せず）が下方に移動し、１個以上の電子デ バイスを掴持し、持ち上げる。そして積荷ヘッドはトラックの反対側に移動し、 空のデバイス支持挿入シートに対する電子デバイスの位置合わせを行い、下方に 移動して吸引手段を解放することによりシートにデバイスを入れる。試験制御装 置の通常の動作の間には、積荷ヘッドは供給プラットフォームからデバイス支持 挿入シートへ連続的に電子デバイスを供給する。

再び図１を参照すると、逆の動作が同様の方法で降荷装置２６によって行われる 。この降荷ヘッド２６は、支持３０Ａ及び３０Ｂの間でトラック２８に沿って所 定ピッチで移動する。この降荷ヘッド２６も同様に、個々の電子デバイスを掴持 する吸引手段を有している。動作時には、降荷ヘッド２６は支持３０Ａ近傍のト ラック２８の一側に移動する。そして下方に移動し１個以上の電子デバイスをデ バイス支持挿入部から引き出す。そして降荷ヘッドはトラック２８の反対側に移 動し、移送プラットフォーム３２上に電子デバイスを落とす。移送プラットフォ ーム３２と、移送プラットフォームから電子デバイスを取り外してチューブまた はその他の支持パッケージに詰め込む手段とは、本発明の一部ではない。動作時 には、降荷機構は、デバイス支持挿入部から連続的にデバイスを降荷し、試験さ れたデバイスの移送プラットフォームへの確実な流れを提供している。

次に図１及び図４を参照する。各々のトレイが、試験されていないデバイスによ って完全に積荷された後、トレイは移動されて上昇コンベア機構３６の入口３５ にアライメントされる。後にさらに詳細に説明され図示されるが、上昇コンベア は棚３７Ａ及び３７Ｂを有している。これら棚３７Ａ及び３７Ｂ上にはトレイが 乗せられて上昇される。上昇コンベアは変温室（ｅｎｖｉｏｎｍｅｎｌａｌ　ｃ ｈａｍｂｅｒ）　３９に配置されている。

この変温室は、試験ヘッドに同かって変温室内を通過するときに電子デバイスの 温度を上昇させるか、或いは下降させる。

トレイはこの変温室に挿入され、押し出し機構３８によって上昇コンベアの棚に 載置される。各々のトレイが上昇装置の上部に来ると、棚で休止して試験通路ま たはトラック（この図には図示しない）に案内されていたトレイは、棚から押し 出される。符号Ｔ１で示されるトレイは、準備位置に位置している。即ち、この 準備位置に位置するトレイＴ１は、試験ヘッド（この図には図示しない）の下方 の試験位置に向かって移動されるのを待っている。この試験ヘッドは、符号Ｔ２ で示すトレイの真上に位置している。符号Ｔ３で示されたトレイは、すでに試験 されており、取り出し待機位置に位置している。即ち、この取り出し待機位置に おいては、トレイＴ３はトレイド降コンベア４０に移動されるのを待っている。

一方、試験トラックには、独立して移動可能な２個のシャトルＳ１及びＳｌが設 置されている。Ｓｌは試験を待っているか或いは試験ヘッドによって試験されて いるトレイを移動させる目的を達成する。第２のシャトルＳ２は、試験されたト レイを試験ヘッドの下方から、下降コンベアへの入口４１（図１３参照）に対し てアライメントされた位置へ移動させる。その位置において存在するトレイは、 空の棚を待っており、次に空の棚に押し出され、続いて室４３（図１２参照）を 介して下降される。この室４３は、電子デバイスが湿るのを防ぐ。即ち、実質的 に周囲の温度に戻す。

第１のシャトルＳ１は、トレイを段階的に移動させる。例えば、一つのトレイに 載置されている全ての電子デバイスに対して、試験ヘッドの十分な数だけのコン タクタが接触していれば、第１のシャトルは、各々のトレイをトレイの長さと同 じ間隔だけ一度に移動させる、即ち各々のトレイの割り出しを行う。しかし、ヘ ッドか１つのトレイ上の全ての電子デバイスに対して接触できない場合には、第 １のシャトルは、ヘッドか扱うことの出来る電子デバイスの数の分の長さだけト レイを移動させる（トレイの割り出しを行う）。一方、第２のシャトルは完全に 試験されたトレイを一度のステップで下降コンベア上に位置させるように移動さ せる。このようにして２個のシャトルは平行して動作させることかでき、また、 試験された全てのデバイスを収容するトレイを待機取り外し位置に向かって移動 することができる一方、トレイを試験位置へ又は試験位置内で移動することがで きる。

図３及び図１０を参照すると、積荷機構がさらに詳細に描かれている。積荷ヘッ ド２０はトラニオン又はキャリアブロック４２を何するように描かれている。こ のトラニオン又はキャリアブロック４２は、所定の手段によってリニアアクチュ エータ４４に取り付けられている。動作時においては、キャリアブロックは、基 本的に、ベルトによって２ストロ一ク移動形式で移動される。一つの動きによっ て、ブロックは、デバイスを取り上げる積荷プラットフォーム１８の上方に移動 され、１回の往復移動によって、前方プラットフォーム３４の中央に位置するト レイ上に電子デバイスを積荷するのにさらに適した位置に移動される。この様な 動きにおいては、キャリアブロックは案内ロッド５ＯＡ及び５０Ｂに案内されて いる。これら案内ロッド５０Ａ及び５０Ｂは、ベルトの動きと平行に延出してお り、キャリアブロックによって規定されている開口部を介して摺動する。キャリ アブロックの下方には、アクチュエータ５４によって上下に往復移動するピック アップヘッド５２が延出している。ピックアップヘッドの底部からは、少なくと も１個の吸引手段が突出している。この吸引手段は、ネック５８に取り付けられ た一対の吸引力・ンプ５６として描かれている。アクチュエータ５４はピックア ップヘッドを２つの位置の間で移動させる。一方の位置では、吸引カップは電気 デバイスに接触してこれを押圧しており、第２の、高い位置においては、電気デ ノくイスは前方プラ・、トフす−ム及び供給プラットフォームの上方に、所定の 間隔だけ離間するように位置している。この所定の間隔は、積荷ヘッドかリニア アクチュエータ４４によって移動されているときにこれらの間に十分なりリアラ ンスを提供し得るだけのものである。

図３．４．５及び１０を参照すると、前方プラ・ノドフオーム３４がさらに詳細 に描かれている。図４は前方プラ・ノドフオームの上方に位置した３つの挿入ト レイを有する前方プラットフォームを示している。各々の挿入トレイは、４つの デバイス支持挿入部を支持している。これらデノくイス支持挿入部は、各々２個 の電子デバイスを載置している。トレイは前方プラットフォームの上部において その右から左への動きを規制されている。外側においては複数のＶ字状の溝を有 する連数のガイド６０Ａ及び６０Ｂによって、内側においては、中央に位置する Ｖ字状のガイド６０Ｃによって案内されている。図４において、内側のＶ字状の ガイド６０Ｃの左側には、ガイドの存在しないギャップが形成されている。この ギヤ・ツブによって、一番左側のトレイが上昇コンベア及び浸透室へ入るのが可 能となる。中央のＶ字状のガイド６０Ｃの右側にもＶ字状のガイドガイドは形成 されておらず、このガイドの不在によって、非浸透室から前方プラットフォーム 上へのトレイの排出を可能にしている。

図４を再び参照すると、図に示すように前方プラットフォーム３４の中央のトレ イは、３つの挿入部６Ａ、６Ｂ、及び６Ｃが収容されている。これら３つの挿入 部６Ａ、６Ｂ、及び６Ｃは降荷されており、換言すればこれらからは電子デバイ スが取り外されている。中央のトレイの一番右側の挿入部は、また降荷されてお らずしかしテストされたデバイスを未だ収容している。図３は積荷ヘッドが電子 デバイスを中央の挿入トレイの一番左側の挿入部へ載置する位置にあるのを示し ており、また、図３は、降荷ヘッドが、中央の挿入トレイの一番右側の挿入部に おけるテストされた残りの２つの電子デバイスを取り去る位置にあるのを示して いる。

図６乃至図９を参照すると、上昇コンベアは非常に詳細に描かれている。２つの 垂直ビーム７０Ａ及び７０Ｂは、変位可能に離間している。各々のビームの内側 面、即ち、他のビームに対向している各々のビームの側面には、複数の水平棚３ ７Ａ及び３７Ｂが配置されている。各々のビーム上に位置する複数の棚は、均一 に離間され、動作時においてはいかなる時においても１つのビームの棚は、対向 するビームの棚とアライメントされている。ビームは移動可能であり少なくとも ４つの別の部分を有している。複数のビームは、水平的に互いに最も近付く位置 を有している。この位置においては、これらのビームは収縮している、といい得 る。このような収縮位置においては、アライメントされた一対の棚の上に位置す るトレイを挿入し得るだけの間隔を保ってビームは互いに近付いている。水平的 には、ビームは拡張位置を有している。

この拡張位置においては、ビームは最も大きい間隔で離間する。この位置におい て、棚の間のギャップは大きいのでトレイは棚の上に置くことができない。ビー ムは垂直方向における高い位置と低い位置とを有している。図８において、搬送 エレベータの右側のビーム７０ｂと共同する複数の矢印は、水平アクチュエータ ７１Ａ及び７１Ｂと垂直アクチュエータ６９とによって駆動されたときの固有の ビームの動きの通路及び方向を示している。搬送エレベータの右側のビームも同 様に移動するが反時計回りに移動する。

図９を参照すると、挿入トレイはビームの棚の長さよりも長い幅を有するように 描かれている。各々のビームのどちらかの側縁に沿って、保持タブ７４を含む回 転可能なポスト（７２Ａ及び７２Ｂ）が配設されている。保持タブビームは垂直 方向及び水平方向において固定されている。保持タブの目的は、棚ビームの拡張 が行われる前に挿入トレイの下方で回転することである。棚による支持が無い状 態において、仮想線で示すように保持タブは棚の代りに挿入トレイを支持する。

続いて棚ビームが収縮して棚による支持が提供されたときには、保持タブは実線 で示すように挿入トレイとは関係の無い位置に回転する。

ると、そのトレイの、搬送コンベアによる上方への移動は以下のように行われる 。第１には、保持タブが挿入トレイの下方で回転して、これに続いて行われる棚 ビームの収縮の代りに、即ち、トレイから棚が引き離される代りに、挿入トレイ を保持する。棚ビームは低い位置に向かって下方に移動し、挿入トレイの下方で 棚を後方に移動させるように収縮する。

そして保持タブは、これらによって挿入トレイが支えられた状態で棚にクリアラ ンスを与え、棚ビームは垂直方向上方に移動して高い位置に位置する。かくして 、上述のステップの間に、コンベア内の各々の挿入トレイは１つの棚の分だけ上 方に移動される。この工程は試験制御装置の動作の間じゅう継続的に繰り返され る。挿入トレイが頂上の棚に辿り着いて棚ビームが高位置に位置したときには、 頂上の挿入トレイは頂上の棚から互いに対向するＶ字形状の溝上へ試験トラック に向かってスライドされるようにアライメントされる。

図１２を参照すると、下降コンベア４０は上昇コンベアと同じ様に挿入トレイを 移動させるが、しかし、棚ビームと保持タブとの動作は実質的に逆である。最も 右側に位置するビームは反時計回りに動作し、ビームが収縮しているとき、即ち 棚か挿入トレイを支持しているときには、棚は高い位置から低い位置へと移動す るか、ビームが拡張されたときには、低い位置から高い位置へと移動する。保持 タブは上昇コンベアに設けられたものと同様に機能する。即ち、棚ビームが拡張 位置にある間、トレイを保持している。図７を参照すると、挿入トレイは搬送エ レベータ３６の頂上の棚の上に位置している。回動アーム８０はフレーム８２を 有している。このフレーム８２は、アームによって規定されたスロット８４と、 スロットライダ８６とによってアーム８０に摺動可能に取り付けられている。回 動アームは、搬送エレベータの頂上の棚の上方の中央部分に設定された第１の位 置と、試験トラ・ツク８１の上方の第２の位置との間で移動可能となっている。

一対の案内ロッド８７Ａ、８７Ｂは、駆動アーム８０の角度運動にかかわらずに フレームの動きをリニアなものにしている。

図８は、フレーム８２の外側の縁に沿ったフランジ８８を示している。このフラ ンジは搬送エレベータの頂上に位置する挿入トレイに接触してこれを内側に押し 得るように下方に延出している。搬送エレベータから試験トラ・ツクまでの動き を直線的に保つために、７字状のガイドレール８９Ａ及び８９Ｂが通路の両側縁 の外側に沿って設けられている。挿入トレイが試験トラックに入ると、Ｖ字状の ガイドは挿入トレイに対して試験トラックに沿って移動するときの横方向の安定 性を与えている。

図１０及び図１１を参照すると、電子デｌくイスを試験へ・ラドコンタクタ９０ と接触させる、個々のデバイス支持挿入部の運動及び機構が示されている。試験 へラドコンタクタは、試験トラックの上方の所定位置に、好ましくは、中央に位 置するトレイが試験されているものとなるように試験トラ・ツクの長さに対して 中央に固定されている。これら図面においては、２つの電気デバイスを同時に試 験する能力の試験へ・ラドコンタクタのみを示している。この様に、たった一つ のデ／くイス支持挿入部の動きは必要であり試験トラックに沿ったトレイの連動 は段階的にデバイス支持挿入部のピッチと等しくされる。挿入部が試験ヘッドコ ンタクタに配設され位置合わせされると、挿入部の下方の上昇プラットフォーム ９２、即ちブツシャは、上方に移動して挿入部を挿入トレイ内のそのソケットか ら持ち上げ、試験へラドコンタクタに接触させる。

試験が完了したときには、上昇プラットフォームは下方に移動してトレイ内のソ ケットに挿入部を位置させる。次にトレイは、次に瞬時に続く挿入部が試験ヘッ ドの下方に位置するまで、前方に即ち図の東方に従った右側に移動される。しが し、一つ以上のブツシャを設けても良い。例えば、４つのブツシャを設けて複数 個の電子デバイスを同時に４つの挿入部に配置して、適当な能力を有する試験ヘ ッドコンタクタに接触させても良い。

図１３を参照すると、試験トラックから下降コンベアの頂上へ挿入トレイを取り 外す機構が描かれている。互いに対向する一対の抽出アーム１００Ａ及び１００ Ｂは、回動される。

回動輪から離れた抽出アームの端部の所には、Ｖローラ１０２Ａ及び１０２Ｂが 夫々のアームに１個づつ設けられている。

■形状のローラは、挿入トレイの対応する側面の溝に係合する。アームが回転さ れると、右側のアームは反時計回りに左側にアームは時計回りに回動して、トレ イは試験トラックがら非浸透室４３に押し出される。各々のトレイが非浸透室内 の底部位置に到着すると、上方に突出したフランジ１０６を有する抽出舌部１０ ４が底部のトレイに引っ掛かり、前方プラットフォーム３４に引き出す。

図３．５．１０．１５を参照すると、トレイを前方プラットフォームに沿って移 動させる機構が図示されている。前方プラットフォームの下方に配置され通常長 手方向中央に位置される摺動可能な前進バー１１０は、垂直方向に突出した複数 のビン１１２を支持している。図示した状態では、この様なビンが４個設けられ ている。これらビンは高い位置および低い位置にそれぞれ押し上げられ押し下げ られる。低い位置においては、これらビンは、挿入トレイから離間しており、挿 入トレイはこれらの上方に位置している。高い位置では、ビンはこれらの上方に 位置する挿入トレイに、切り欠き１１４によって係合している。これら切り欠き １１４は、各々の挿入トレイの外側の縁によって規定されている（図２参照）。

本実施例の挿入トレイの場合には、４つの切り欠きが規定されている。図示され た実施例では、切り欠きはトレイの縁に沿って配設されており、この結果、トレ イは１つのステップで１個のデバイス支持挿入部を飛び越えて前進することがで きる。動作時においては、トレイの前進が必要な時の場所では、前進バーは、こ れの可動範囲の最も右側にまで移動し、ビンを上昇させて１個または２個のトレ イに係合させる。係合するトレイの数は、位置によって決まる。前進バーは次に その可動範囲の最も左側にまで移動してビンを押し下げる。

このように、トレイはすべて前進され、即ち１個のデバイス支持挿入を一度に割 り出す。

図５．７．１０．１１．１２．１３．１５を参照すると、トレイを試験トラック 中で前進させる機構が示されている。

前述したように、個別に移動可能なシャトル１２０Ａ及び１２０Ｂが設けられて いる。これらシャトルは試験トラックに沿ってそれらの夫々の移動範囲内で、対 応するねじ１２２Ａ及び１２２Ｂによって移動する。これらねじは、シャトルに よって規定されたねじと係合する。これらシャトルは開口をも有しており、これ ら開口を介して、ねじ１２２Ａ及び１２２Ｂと平行なガイド１２４Ａ及び１２４ Ｂが夫々のシャトルの案内された連動を提供している。各々のシャトルはヘッド １２６Ａ及び１２６Ｂを支持している。これらヘッドは、ヘッド内に固定された ビン１２８と係合する少なくとも２個のトレイを支持している。シャトルヘッド は２つの位置の間で上下に移動可能である。シャトルヘッドが挿入トレイと離間 した高い位置と、ビンが挿入トレイの内側面に沿ったソケット１３０と係合する 低い位置とである。各々のシャトルにおいては、トレイ係合ビンの間の空間はト レイ上の側近の対のソケット間の間隔と等しい。２個のシャトルの独立した動き 試験ヘッド位置から取り外されるトレイの、比較的独立した取扱いとを提供する 。第１のシャトル１２０Ｂが最終試験位置に移動すると、トレイから解放可能と なり、そしてそのホーム位置、即ち、準備位置においてトレイを掴み得る位置に 復帰する。しかし、第１のシャトル１２０Ｂは、トレイが第２のシャトル１２０ Ｂによって保持されるまでは、試験下においてはトレイを解放しない。この様式 で、試験トラックに沿った複数個のトレイは常にどちらかのシャトルによって制 御されていることになる。試験下での特定のトレイ上の電子デバイスの最後のセ ットが試験を完了したときには、第２のシャトルはトレイを待機取外し位置に移 動させる。その一方では、第１のシャトルはこれに載ったトレイを準備位置から 試験位置に移動している。通常、１個のトレイを試験中には、他のトレイを移動 させることができる。この移動の方向は、試験位置に向かうものか、あるいは待 機取り外し位置にむかうものか、いずれかである。

１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃを参照すると、デバイス支持挿入部の別野形状が示され ている。図１４Ａは１個の大きなデバイス１３４Ａを支持する挿入部１３２Ａを 示している。図１４Ｂは、４個のデバイス１３４Ｂを並列配置して保持する挿入 部１３２Ｂを示している。図１４Ｃは２個のデバイス１３４Ｃを並列配置して保 持する挿入部１３２Ｃを示している。

図１５を参照すると、制御及び継続システムは、取り出しヘッド用のバキュム機 能と、トレイ前進機能と、トレイ係合機能と、トレイ搬送機能と、トレイ操作機 能と、システム用の構成要素操作機能とを有するように図示されている。

国際調査報告 フロントページの続き （７２）発明者　ホークス、マルコルム・ブイアメリカ合衆国、カリフォルニア 州 ９２１２６、サン・ディエゴ、フランダース・ドライブ・ナンバー５８　２８４ （７２）発明者　ツウィッグ、レイ・ジ−アメリカ合衆国、カリフォルニア州 ９２１３１、サン・ディエゴ、フェアープルツク・ロード　１２５９７ （７２）発明者　クルグ、マーク・ダブリュアメリカ合衆国、カリフォルニア州 ９２１３１、サン・ディエゴ、リュ・カネス

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. １．試験を行うテスタに対して電子デバイスを提供する装置であって、 （ａ）複数の電子デバイスを有するセットを各々支持する複数のキャリアと、 （ｂ）積荷ステージと、 （ｃ）試験前の室と、 （ｄ）試験ステージと、 （ｅ）試験後の室と、 （ｆ）降荷ステージと、 （ｇ）キャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリ アに積荷する手段と、（ｈ）キャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デ バイスを各々のキャリアから降荷する手段と、（ｉ）キャリアが試験ステージに あるときに、キャリアによって支持された一組の電子デバイスとテスタとの間の 電気的接触を提供する手段と、 （ｊ）複数のキャリアを閉じられたループで周期的に搬送する手段であって、前 記ループは、積荷ステージから試験前の室を介して、試験前の室から試験ステー ジヘ、試験ステージから試験後の室へ、試験後の室を介して降荷ステージヘ、降 荷ステージから積荷ステージヘと続くものであり、各々のデバイスキャリアは一 組の電子デバイスを積荷するのに十分な時間だけ積荷ステージで停止しており、 各々のキャリアはキャリアによって支持された一組の電子デバイスに対して行わ れる所望の試験に十分な時間だけ試験ステージで停止しており、各々のキャリア は電子デバイスを降荷するのに十分な時間だけ降荷ステージに停止されている搬 送手段と、を具備する装置。
2. ２．前記キャリアは第１のキャリアであり、装置はさらに第２のキャリアを具備 し、各々の第１のキャリアは一組の第２のキャリアを支持し、各々の第２のキャ リアは一組の電子デバイスを支持し、前記一組の電子デバイスを積荷する手段は 前記一組の電子デバイスを前記一組の第２のキャリアに積荷するように動作し、 前記一組の電子デバイスを降荷する手段は、前記降荷ステージにおいて前記一組 の電子デバイスを第１のキャリアの前記一組の第２のキャリアから降荷するよう に動作する、請求項１に記載の装置。
3. ３．各々の第２のキャリアは、その第１のキャリアによって規定されたシート内 に配置され重力によってこのシート内に保持されており、前記キャリアによって 支持された一組の電子デバイスとテスタとの間の電気的接触を提供する手段は、 試験位置の上方に配置され下方を向いたコンタクタを有する試験ヘッドと、試験 位置において第１のキャリアの一組の第２のキャリアを上昇させて、前記一組の 第２のキャリアによって支持された電子デバイスのリードが前記試験ヘッドコン タクタと電気的に接触する点に位置させる手段とを具備する、請求項２に記載の 装置。
4. ４．各々の第２のキャリアシートの底部において第１のキャリアによって規定さ れた貫通孔をさらに具備し、前記試験位置において一組の第２のキャリアを上昇 させる手段は、貫通孔の上に載置された第２のキャリアを各々の貫通孔を介して そのシートから所定の位置に上昇させる手段を具備し、前記所定の位置において は、上昇された第２のキャリアによって支持された一組の電子デバイスのリード は試験ヘッドコンタクタと電気的に接触する、請求項３に記載の装置。
5. ５．前記試験前の室は、入口及び出口を規定し、前記装置はさらに、各々が一つ のキャリアを保持する複数のシートを有する上昇コンベアと、入口を介してキャ リアを積荷ステージから上昇コンベアの底部シート上に移動させる手段と、出口 に向かって上方に前記シートを漸次移動させる手段と、上昇コンベアの頂上のシ ートからキャリアを取り外し、かつ、試験前の室から出口を介してキャリアを取 り外す手段とを具備する、請求項１に記載の装置。
6. ６．前記試験後の室は、入口及び出口を規定し、前記装置はさらに、各々が一つ のキャリアを保持する複数のシートを有する下降コンベアと、入口を介してキャ リアを下降コンベアの頂上のシート上に挿入する手段と、出口に向かって下方に 前記シートを漸次移動させる手段と、下降コンベアの底部シートからキャリアを 取り外し、かつ、試験後の室から出口を介してキャリアを取り外して降荷ステー ジ上に載置する手段とを具備する、請求項１に記載の装置。
7. ７．キャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリア に積荷する手段は、積荷ステージと電気デバイス源との間で往復するように移送 する積荷ヘッドと、積荷ヘッドに付加され、電子デバイス源において１個または それ以上の個々の電子デバイスを取り上げ、積荷ステージで電子デバイスを解放 してキャリア上に載置する手段とを具備する、請求項１に記載の装置。
8. ８．キャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリア から降荷する手段は、降荷ステージと移送プラットフォームとの間で往復するよ うに移動する降荷ヘッドと、この降荷ヘッドに付加され、キャリアから１個また はそれ以上の個々の電子デバイスを取り上げ、取り上げた電子デバイスを移送プ ラットフォームで解放する手段とを具備する、請求項１に記載の装置。
9. ９．試験前の室と試験ステージとの間に配置され、試験ステージが他のキャリア によって占領されていたときに試験前の室に存在するキャリアを停止させ得る試 験前のステージと、試験ステージと試験後の室との間に配置され、試験後の室内 の空のシートを待つ間、試験ステージから試験後の室に搬送されようとしている キャリアを停止させ得る試験後のステージと、試験前のステージから試験ステー ジにキャリアを搬送する手段と、試験ステージから試験後のステージにキャリア を搬送する手段とをさらに具備し、前記２つの搬送手段は、夫々独立して動作可 能である、請求項１に記載の装置。
10. １０．前記試験前の室は入口と出口とを規定しており、前記装置はさらに、各々 が１個の第１のキャリアを保持する複数のシートを有する上昇コンベアと、第１ のキャリアを積荷ステージから入口を介して上昇コンベアの底部シート上に移動 させる手段と、シートを出口に向かって上方に漸次移動させる手段と、第１のキ ャリアを上昇コンベアの頂上のシートから取り外し、かつ、第１のキャリアを試 験前の室から出口を介して取り外す手段とを具備する、請求項２に記載の装置。
11. １１．前記試験後の室は入口と出口とを規定しており、前記装置はさらに、各々 が１個の第１のキャリアを保持する複数のシートを有する下降コンベアと、第１ のキャリアを入口を介して下降コンベアの頂上のシート上に挿入する手段と、シ ートを出口に向かって下方に漸次移動させる手段と、第１のキャリアを下降コン ベアの底部シートから取り外し、かつ、第１のキャリアを試験後の室から出口を 介して取り外して降荷ステージに載置する手段とを具備する、請求項２に記載の 装置。
12. １２．前記第１のキャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各 々の第１のキャリアに積荷する手段は、積荷ステージと電子デバイス源との間で 往復するように移動可能な積荷ヘッドと、この積荷ヘッドに付加され、１個また はそれ以上の個々の電子デバイスを電子デバイス源のところで取り出し、電子デ バイスを積荷ステージのところで解放して第１のキャリア上に載置する手段とを 具備する、請求項２に記載の装置。
13. １３．第１のキャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々の 第１のキャリアから降荷する手段は、降荷ステージと移送プラットフォームとの 間で往復するように移動可能な降荷ヘッドと、この降荷ヘッドに付加され、１個 またはそれ以上の個々の電子デバイスを第１のキャリアから取り出し、取り出さ れたデバイスを移送プラットフォームのところで解放する手段とを具備する、請 求項２に記載の装置。
14. １４．試験前の室と試験ステージとの間に配置され、試験ステージが他のキャリ アによって占領されていたときに試験前の室に存在する第１のキャリアを停止さ せ得る試験前のステージと、試験ステージと試験後の室との間に配置され、試験 後の室内の空のシートを待つ間、試験ステージから試験後の室に搬送されようと している第１のキャリアを停止させ得る試験後のステージと、試験前のステージ から試験ステージに第１のキャリアを搬送する手段と、試験ステージから試験後 のステージに第１のキャリアを搬送する手段とをさらに具備し、前記２つの搬送 手段は、夫々独立して動作可能である、請求項２に記載の装置。