JPH0648508A - 密閉コンテナのガスパージ方法 - Google Patents
密閉コンテナのガスパージ方法Info
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- JPH0648508A JPH0648508A JP20266092A JP20266092A JPH0648508A JP H0648508 A JPH0648508 A JP H0648508A JP 20266092 A JP20266092 A JP 20266092A JP 20266092 A JP20266092 A JP 20266092A JP H0648508 A JPH0648508 A JP H0648508A
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Vacuum Packaging (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージ
する場合に、コンテナを特殊構造にする必要のない密閉
コンテナのガスパージ方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 可搬式密閉コンテナ内１を真空引きしたのち
不活性ガスでガスパージする場合において、配管を通し
て真空源８０と不活性ガス源９０に連絡される密閉ボッ
クス内を壁８０Ａで本体部Ａと当該本体部とは連通孔８
１を通して連通するコンテナ収納部Ｂとに区画し、上記
壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテナの底蓋
２０を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密閉コ
ンテナ内を前記密閉ボックスの本体部内に連通して真空
引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なうことを
特徴とする。
する場合に、コンテナを特殊構造にする必要のない密閉
コンテナのガスパージ方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 可搬式密閉コンテナ内１を真空引きしたのち
不活性ガスでガスパージする場合において、配管を通し
て真空源８０と不活性ガス源９０に連絡される密閉ボッ
クス内を壁８０Ａで本体部Ａと当該本体部とは連通孔８
１を通して連通するコンテナ収納部Ｂとに区画し、上記
壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテナの底蓋
２０を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密閉コ
ンテナ内を前記密閉ボックスの本体部内に連通して真空
引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なうことを
特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに用い
られる可搬式密閉コンテナ等のガスパージ方法に関す
る。
られる可搬式密閉コンテナ等のガスパージ方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を
清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、ク
リーンルーム内での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板等を
収納したウエハカセットを可搬式の密閉コンテナに収納
して行なう。
清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、ク
リーンルーム内での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板等を
収納したウエハカセットを可搬式の密閉コンテナに収納
して行なう。
【０００３】更に、近年、半導体ウエハの自然酸化によ
る酸化膜の成長を防止するために、上記密閉コンテナの
内部雰囲気を窒素Ｎ2 ガスや乾燥空気等のウエハにとっ
て不活性なガスで置換するようにしている。
る酸化膜の成長を防止するために、上記密閉コンテナの
内部雰囲気を窒素Ｎ2 ガスや乾燥空気等のウエハにとっ
て不活性なガスで置換するようにしている。
【０００４】このＮ2 ガスパージ機能を備えた密閉コン
テナの１例を図６に示す。同図において、１０は可搬式
の密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の
開口部１２に設けられたフランジ、１３、１３Ａはシー
ル材、１４は把手、２０は密閉コンテナの蓋、３０は半
導体ウエハＷを収納したウエハカセットである。４０は
半導体の表面処理装置の密閉型のケースであって、図示
しない表面処理用の反応炉や昇降装置を含む搬送機構等
を収納している。４２はウエハカセット出し入れ用の開
口であって、ケース４０の上壁４１の一部に設けられて
いる。この上壁４１には、一端が開口４２の周面に開口
し、他端が不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボン
ベ）５０に接続される給ガス管４４Ａが設けられるとと
もに、一端が開口４２の周面に開口し、他端がボツクス
外に開口する排ガス管４４Ｂが設けられている。４５Ａ
は給気弁、４５Ｂは排気弁である。４６は上記昇降装置
１００の昇降台であって、開口４２内に、当該開口４２
の周面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有し
ている。４０Ａは密閉コンテナ１のフランジ１１を押さ
えるロック機構である。なお、密閉型のケース４０内
は、窒素Ｎ2 ガス雰囲気であり、わずかに大気圧以上に
予圧されている。
テナの１例を図６に示す。同図において、１０は可搬式
の密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の
開口部１２に設けられたフランジ、１３、１３Ａはシー
ル材、１４は把手、２０は密閉コンテナの蓋、３０は半
導体ウエハＷを収納したウエハカセットである。４０は
半導体の表面処理装置の密閉型のケースであって、図示
しない表面処理用の反応炉や昇降装置を含む搬送機構等
を収納している。４２はウエハカセット出し入れ用の開
口であって、ケース４０の上壁４１の一部に設けられて
いる。この上壁４１には、一端が開口４２の周面に開口
し、他端が不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボン
ベ）５０に接続される給ガス管４４Ａが設けられるとと
もに、一端が開口４２の周面に開口し、他端がボツクス
外に開口する排ガス管４４Ｂが設けられている。４５Ａ
は給気弁、４５Ｂは排気弁である。４６は上記昇降装置
１００の昇降台であって、開口４２内に、当該開口４２
の周面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有し
ている。４０Ａは密閉コンテナ１のフランジ１１を押さ
えるロック機構である。なお、密閉型のケース４０内
は、窒素Ｎ2 ガス雰囲気であり、わずかに大気圧以上に
予圧されている。
【０００５】上記密閉コンテナの蓋２０は中空体であっ
て、例えば図７に示すような錠機構を有している。２４
はカムで、２５は板状のロックアームであって、転動子
２５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち
支持されている。２６は支点部材、２７はばねである。
カム軸２８は昇降台４６の上壁中央から蓋２０内に伸
び、昇降台４６上に蓋２０が同心に載置された時にカム
４４とスプライン係合する。昇降台４６はカム軸２８を
所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵してお
り、このカム軸駆動機構２９とカム軸２８は解錠／施錠
機構を構成している。なお、本体１０の開口部１２の内
周面には、ロックアーム２５が係合する凹所１２Ａが形
成されている。
て、例えば図７に示すような錠機構を有している。２４
はカムで、２５は板状のロックアームであって、転動子
２５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち
支持されている。２６は支点部材、２７はばねである。
カム軸２８は昇降台４６の上壁中央から蓋２０内に伸
び、昇降台４６上に蓋２０が同心に載置された時にカム
４４とスプライン係合する。昇降台４６はカム軸２８を
所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵してお
り、このカム軸駆動機構２９とカム軸２８は解錠／施錠
機構を構成している。なお、本体１０の開口部１２の内
周面には、ロックアーム２５が係合する凹所１２Ａが形
成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、近年で
は、窒素Ｎ2 ガスを充満した密閉コンテナに上記ウエハ
カセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密
閉コンテナ内を窒素Ｎ2 ガス等の不活性ガスで置換する
だけでは、当該密閉コンテナの内表面や、ウエハカセッ
ト、このウエハカセットに収納したカセットの表面に付
着したＨ2 ＯやＯ2（以下、吸着・吸蔵気体や液体）を
充分に除去することができないので、時間の経過ととも
にこれらが密閉コンテナ内へ出てきて、密閉コンテナ内
のＨ2 ＯやＯ2 の濃度が上昇し、ウエハに自然酸化によ
る酸化膜の形成が生じ、歩留りが低下する。
は、窒素Ｎ2 ガスを充満した密閉コンテナに上記ウエハ
カセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密
閉コンテナ内を窒素Ｎ2 ガス等の不活性ガスで置換する
だけでは、当該密閉コンテナの内表面や、ウエハカセッ
ト、このウエハカセットに収納したカセットの表面に付
着したＨ2 ＯやＯ2（以下、吸着・吸蔵気体や液体）を
充分に除去することができないので、時間の経過ととも
にこれらが密閉コンテナ内へ出てきて、密閉コンテナ内
のＨ2 ＯやＯ2 の濃度が上昇し、ウエハに自然酸化によ
る酸化膜の形成が生じ、歩留りが低下する。
【０００７】これを防ぐために本発明者等は、可搬式密
閉コンテナ内を真空引きしたのちに不活性ガスでガスパ
ージする方法を提案した。
閉コンテナ内を真空引きしたのちに不活性ガスでガスパ
ージする方法を提案した。
【０００８】すなわち、図４に示すように、配管６８、
６９を通してそれぞれ真空源９０と不活性ガス源５０に
連絡された密閉ボックス６０の上壁６０Ｕ上に密閉コン
テナ１を載置し、底蓋２０を解錠したのち昇降台４６を
例えば鎖線で示す位置まで下げて（底蓋２０も鎖線で示
す位置まで下がる）、密閉コンテナ１内を密閉ボックス
６０内と連通させ、真空引きしたのちに不活性ガスでガ
スパージする。９１、９２は開閉弁である。図４では、
前記ロック機構４０Ａの図示は省いてある。
６９を通してそれぞれ真空源９０と不活性ガス源５０に
連絡された密閉ボックス６０の上壁６０Ｕ上に密閉コン
テナ１を載置し、底蓋２０を解錠したのち昇降台４６を
例えば鎖線で示す位置まで下げて（底蓋２０も鎖線で示
す位置まで下がる）、密閉コンテナ１内を密閉ボックス
６０内と連通させ、真空引きしたのちに不活性ガスでガ
スパージする。９１、９２は開閉弁である。図４では、
前記ロック機構４０Ａの図示は省いてある。
【０００９】この方法では、コンテナ１の内部を、一
旦、真空にするので、コンテナ１や底蓋２０の内表面部
に付着している水分や酸素、コンテナ１内の図示されて
いないウエハやウエハカセットの表面部に付着している
水分や酸素がこれら内表面部や表面部からに蒸発して内
表面や表面から離脱し、外部へ排気され、その後、コン
テナ１はＮ2 ガスで置換されることになる。
旦、真空にするので、コンテナ１や底蓋２０の内表面部
に付着している水分や酸素、コンテナ１内の図示されて
いないウエハやウエハカセットの表面部に付着している
水分や酸素がこれら内表面部や表面部からに蒸発して内
表面や表面から離脱し、外部へ排気され、その後、コン
テナ１はＮ2 ガスで置換されることになる。
【００１０】図５の（ａ）は上記真空引き後にガスパー
ジを行なった後の密閉容器内のＨ2Ｏ濃度の変化を示
し、（ｂ）は前記従来のガスパージを行なった後の密閉
容器内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示す。また、同図の（ｃ）
は上記真空引き後にガスパージを行なった後の密閉容器
内のＯ2 濃度の変化を示し、同図の（ｄ）は前記従来法
によりＯ2 濃度を０ｐｐｍまで下げたのちのＯ2 濃度の
変化を示している。なお、この実験に用いた密閉容器の
容積は５４０リットルで、当該密閉容器内には２５枚入
りのウエハカセットを４箇収納して実験した。
ジを行なった後の密閉容器内のＨ2Ｏ濃度の変化を示
し、（ｂ）は前記従来のガスパージを行なった後の密閉
容器内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示す。また、同図の（ｃ）
は上記真空引き後にガスパージを行なった後の密閉容器
内のＯ2 濃度の変化を示し、同図の（ｄ）は前記従来法
によりＯ2 濃度を０ｐｐｍまで下げたのちのＯ2 濃度の
変化を示している。なお、この実験に用いた密閉容器の
容積は５４０リットルで、当該密閉容器内には２５枚入
りのウエハカセットを４箇収納して実験した。
【００１１】この実験結果から明らかなように、真空引
きしたのち不活性ガスパージを行なった場合には、容器
内表面や、ウエハ、ウエハカセットから出てくるＨ2 Ｏ
やＯ2 の量が従来の場合に比して、著しく低減するか
ら、長期に亘ってコンテナに収納したままでも、自然酸
化膜の成長を抑制することができる。
きしたのち不活性ガスパージを行なった場合には、容器
内表面や、ウエハ、ウエハカセットから出てくるＨ2 Ｏ
やＯ2 の量が従来の場合に比して、著しく低減するか
ら、長期に亘ってコンテナに収納したままでも、自然酸
化膜の成長を抑制することができる。
【００１２】コンテナ内部を真空引きする図４の場合、
コンテナ１の内部と外部との間に圧力差が生じるため、
コンテナ１の本体１０はその圧力差に耐える必要があっ
た。そこで、コンテナを肉厚にして負圧耐力を増加させ
るか、負圧に耐える特殊構造にする必要があるが、これ
らはコストの上昇を招くと同時に重量が増加し持ち運び
し難いという問題がある。
コンテナ１の内部と外部との間に圧力差が生じるため、
コンテナ１の本体１０はその圧力差に耐える必要があっ
た。そこで、コンテナを肉厚にして負圧耐力を増加させ
るか、負圧に耐える特殊構造にする必要があるが、これ
らはコストの上昇を招くと同時に重量が増加し持ち運び
し難いという問題がある。
【００１３】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージ
する場合に、上記圧力差を問題にする必要のない密閉コ
ンテナのガスパージ方法を提供することを目的とする。
たもので、真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージ
する場合に、上記圧力差を問題にする必要のない密閉コ
ンテナのガスパージ方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、密閉コンテナ内を真空引きし
たのちコンテナ収納物にとって不活性ガスでガスパージ
する場合において、配管を通して真空源と不活性ガス源
に連絡される密閉ボックス内を壁で本体部と当該本体部
とは連通孔を通して連通するコンテナ収納部とに区画
し、上記壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテ
ナの底蓋を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密
閉コンテナ内を前記密閉ボックスの本体内に連通して真
空引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なう構成
とした。
するため、請求項１では、密閉コンテナ内を真空引きし
たのちコンテナ収納物にとって不活性ガスでガスパージ
する場合において、配管を通して真空源と不活性ガス源
に連絡される密閉ボックス内を壁で本体部と当該本体部
とは連通孔を通して連通するコンテナ収納部とに区画
し、上記壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテ
ナの底蓋を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密
閉コンテナ内を前記密閉ボックスの本体内に連通して真
空引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なう構成
とした。
【００１５】請求項２では、本体部は箱体であり、コン
テナ収納部はこの箱体上にかぶせられた半球形状のカバ
ー体で当該箱体上に区画される構成とした。
テナ収納部はこの箱体上にかぶせられた半球形状のカバ
ー体で当該箱体上に区画される構成とした。
【００１６】請求項３では、連通孔にはフィルタが設け
られている構成とした。
られている構成とした。
【００１７】請求項４では、連通孔は、孔開閉機構が設
けられ、この孔開閉機構は、真空引きに際して連通孔を
開く構成とした。
けられ、この孔開閉機構は、真空引きに際して連通孔を
開く構成とした。
【００１８】
【作用】本発明では、密閉ボックスの本体部内とコンテ
ナ収納部であるパージ室内およびコンテナ内が全て同圧
になるので、コンテナに前記した内外圧力差が作用しな
い。
ナ収納部であるパージ室内およびコンテナ内が全て同圧
になるので、コンテナに前記した内外圧力差が作用しな
い。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００２０】図１において、密閉ボックス８０は仕切り
壁８０Ａで本体部Ａとコンテナ収納部であるパージ室Ｂ
とに区画されている。８３は密閉ボックス８０の蓋であ
って、図示しないヒンジ機構で開閉可能に取り付けられ
ている。本体部Ａと収納部Ｂとは仕切り壁８０Ａに形成
した通孔（連通孔）８１を通して連通し、この通孔８１
の下端開口はフィルタ８２で覆われている。仕切り壁８
０Ａはコンテナ１が載置される台座として利用され、こ
の仕切り壁８０Ａに開口８２が形成されている。昇降台
４６は、開口８５内に、当該開口８５の周面との間に隙
間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有している。他の構成
は図４のものと同じであるので、同一符号を付してあ
る。
壁８０Ａで本体部Ａとコンテナ収納部であるパージ室Ｂ
とに区画されている。８３は密閉ボックス８０の蓋であ
って、図示しないヒンジ機構で開閉可能に取り付けられ
ている。本体部Ａと収納部Ｂとは仕切り壁８０Ａに形成
した通孔（連通孔）８１を通して連通し、この通孔８１
の下端開口はフィルタ８２で覆われている。仕切り壁８
０Ａはコンテナ１が載置される台座として利用され、こ
の仕切り壁８０Ａに開口８２が形成されている。昇降台
４６は、開口８５内に、当該開口８５の周面との間に隙
間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有している。他の構成
は図４のものと同じであるので、同一符号を付してあ
る。
【００２１】本実施例では、密閉ボックス８０の本体部
Ａ内とコンテナ収納部であるパージ室Ｂ内とが通孔８１
を通して連通するので、本体部Ａ、パージ室Ｂおよびコ
ンテナ１内が全て同圧になる。従って、コンテナ１に前
記した内外圧力差が作用せず、コンテナ１を肉厚にした
り特殊構造にしたりする必要がない。
Ａ内とコンテナ収納部であるパージ室Ｂ内とが通孔８１
を通して連通するので、本体部Ａ、パージ室Ｂおよびコ
ンテナ１内が全て同圧になる。従って、コンテナ１に前
記した内外圧力差が作用せず、コンテナ１を肉厚にした
り特殊構造にしたりする必要がない。
【００２２】また、フィルタ８２がない場合には、コン
テナ１の外周面に塵埃等が付着していた場合、この塵埃
は通孔８１を通って本体部Ａに入り、コンテナ１の本体
１０内に侵入してウエハＷを汚染する恐れがあるが、本
実施例では、通孔８１をフィルタ８２で塞いでいるの
で、この恐れはない。
テナ１の外周面に塵埃等が付着していた場合、この塵埃
は通孔８１を通って本体部Ａに入り、コンテナ１の本体
１０内に侵入してウエハＷを汚染する恐れがあるが、本
実施例では、通孔８１をフィルタ８２で塞いでいるの
で、この恐れはない。
【００２３】また、本実施例では、真空排気用の配管６
８の一端、給ガス用の配管６９の一端ともに密閉ボック
ス８０の本体部Ａに開口しているが、パージ室Ｂに開口
させてもよく、また、例えば、真空排気用の配管６８の
一端はパージ室Ｂに開口させ、給ガス用の配管６９の一
端は本体部Ａに開口させてもよい。
８の一端、給ガス用の配管６９の一端ともに密閉ボック
ス８０の本体部Ａに開口しているが、パージ室Ｂに開口
させてもよく、また、例えば、真空排気用の配管６８の
一端はパージ室Ｂに開口させ、給ガス用の配管６９の一
端は本体部Ａに開口させてもよい。
【００２４】図２は、本発明の他の実施例を示したもの
で、コンテナ収納部であるパージ室Ｂを半球形状のカバ
ー体８４で区画し、半球形状にすることにより、薄肉で
強度を持たせ、簡便にパージ室Ｂを形成し得るようにし
たものである。即ち、本体部は箱体からなり、コンテナ
収納部はこの箱体上にかぶせられた半球形状のカバー体
で当該箱体上に区画されている。
で、コンテナ収納部であるパージ室Ｂを半球形状のカバ
ー体８４で区画し、半球形状にすることにより、薄肉で
強度を持たせ、簡便にパージ室Ｂを形成し得るようにし
たものである。即ち、本体部は箱体からなり、コンテナ
収納部はこの箱体上にかぶせられた半球形状のカバー体
で当該箱体上に区画されている。
【００２５】密閉ボックス８０の本体部Ａとコンテナ収
納部であるパージ室Ｂとは、真空引きを行なう場合に、
互いに連通すればよいので、図３に示すように、孔開閉
機構、例えば、電磁弁８１Ａを有する管８１Ｂを通孔８
１に通し、真空引きを行なっている間だけ、電磁弁８１
Ａを開弁して本体部Ａとパージ室Ｂとが連通するように
してもよい。真空引き後は、コンテナ収納部であるパー
ジ室Ｂは蓋を開けるために常圧に戻すことは勿論であ
る。
納部であるパージ室Ｂとは、真空引きを行なう場合に、
互いに連通すればよいので、図３に示すように、孔開閉
機構、例えば、電磁弁８１Ａを有する管８１Ｂを通孔８
１に通し、真空引きを行なっている間だけ、電磁弁８１
Ａを開弁して本体部Ａとパージ室Ｂとが連通するように
してもよい。真空引き後は、コンテナ収納部であるパー
ジ室Ｂは蓋を開けるために常圧に戻すことは勿論であ
る。
【００２６】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、コンテナの
内外圧力差が無い状態で、真空引きおよびガス置換が行
なわれるから、コンテナとしては従来のままのコンテナ
を使用することができる利点がある。
内外圧力差が無い状態で、真空引きおよびガス置換が行
なわれるから、コンテナとしては従来のままのコンテナ
を使用することができる利点がある。
【図１】本発明の実施例を示す概略縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す概略縦断面図であ
る。
る。
【図３】上記実施例における通孔の他の例を説明するた
めの部分図である。
めの部分図である。
【図４】真空引きしたのちガスパージする方法を説明す
るための概略縦断面図である。
るための概略縦断面図である。
【図５】上記図３と図４の方法によるパージ後の容器内
のＨ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過と、従来のガスパージ後
の容器内のＨ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過とを対比して示
した線図である。
のＨ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過と、従来のガスパージ後
の容器内のＨ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過とを対比して示
した線図である。
【図６】従来の可搬式密閉コンテナを示す図でる。
【図７】上記可搬式密閉コンテナの解錠／施錠機構を示
す図である。
す図である。
１ 密閉コンテナ １０ 密閉コンテナの本体 ２０ 密閉コンテナの底蓋 ３０ ウエハカセット ４６ 昇降台 ５０ 不活性ガスボンベ ８０ 密閉ボックス ８０Ａ 仕切り壁 ８１ 通孔 ８２ フィルタ ８３ 蓋 ８４ カバー体 ８５ 開口 ９０ 真空源 ９１、９２ 開閉弁 １００ 昇降装置 Ｗ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 中村 昭生 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】 電子機器の基板等を収納して搬送する可
搬式密閉コンテナ内を真空引きしたのちコンテナ収納物
にとって不活性なガスでガスパージする場合において、 配管を通して真空源と不活性ガス源に連絡される密閉ボ
ックス内を壁で本体部と当該本体部とは連通孔を通して
連通するコンテナ収納部とに区画し、上記壁上に上記密
閉コンテナを載置し、密閉コンテナの底蓋を上記密閉ボ
ックス内へ開くことにより当該密閉コンテナ内を前記密
閉ボックスの本体内に連通して真空引きおよび不活性ガ
スによるガスパージを行なうことを特徴とする密閉コン
テナのガスパージ方法。 - 【請求項２】 本体部は箱体であり、コンテナ収納部は
この箱体上にかぶせられた半球形状のカバー体で当該箱
体上に区画されていることを特徴とする請求項１記載の
密閉コンテナのガスパージ方法。 - 【請求項３】 連通孔にはフィルタが設けられているこ
とを特徴とする請求項１または２記載の密閉コンテナの
ガスパージ方法。 - 【請求項４】 連通孔は、孔開閉機構が設けられ、この
孔開閉機構は、真空引きに際して連通孔を開くことを特
徴とする請求項１または２または３記載の密閉コンテナ
のガスパージ方法。
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-
1992
- 1992-07-29 JP JP20266092A patent/JP3252456B2/ja not_active Expired - Fee Related
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