JPH0648015U - 炉内温度制御システム - Google Patents
炉内温度制御システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 制御用として指定されている温度センサが故
障したとき、これを早期に検出して炉温の変動を最小に
し、これによってプラントに悪い影響を与えないように
する。 【構成】 制御用として指定された熱電対1の温度検出
信号の値およびその変化率が予め設定されている値以上
となっているとき、故障検出回路6によりこれを検出し
て制御用の熱電対1の代わりに監視用の熱電対2の使用
を開始させるとともに、燃料・空気調節器8によって前
記故障検出回路6で熱電対の切り替えが行われて監視用
として指定された熱電対2の温度検出信号に基づいた温
度制御信号が安定するまでの間、前記温度制御信号の値
を維持して炉の温度を制御する。
障したとき、これを早期に検出して炉温の変動を最小に
し、これによってプラントに悪い影響を与えないように
する。 【構成】 制御用として指定された熱電対1の温度検出
信号の値およびその変化率が予め設定されている値以上
となっているとき、故障検出回路6によりこれを検出し
て制御用の熱電対1の代わりに監視用の熱電対2の使用
を開始させるとともに、燃料・空気調節器8によって前
記故障検出回路6で熱電対の切り替えが行われて監視用
として指定された熱電対2の温度検出信号に基づいた温
度制御信号が安定するまでの間、前記温度制御信号の値
を維持して炉の温度を制御する。
Description
【0001】
本考案は複数の熱電対のいずれかを指定して炉内温度を測定し、この測定結果 に基づいて前記炉内の温度を制御する炉内温度制御システムに関する。
【0002】
プラントを構成する炉内の温度を制御する炉内温度制御システムにおいては、 プラントの種類にもよるが、通常、炉内温度を測定する熱電対が断線し易いため 、炉内に複数の熱電対を配置し、制御用として使用される熱電対が断線したとき 、通常、監視用として使用される熱電対を制御用として用いる事により、制御用 となる熱電対が故障しても温度制御に支障をきたさないようにしている。
【0003】 図3はこのような炉内温度制御システムの一例を示すブロック図である。
【0004】 この図に示す炉内温度制御システムは、複数の熱電対101、102と、複数 のMV/I変換回路103、104と、コントローラ105とを備えており、通 常の状態では、各熱電対101、102のうち、制御用として指定された熱電対 101から出力される熱起電圧をMV/I変換回路103によって1〜5VDC の温度検出信号に変換した後、コントローラ105によってこの温度検出信号に 基づいて燃料操作量信号と、空気操作量信号とを生成して炉(図示は省略する) に供給される燃料の量と、空気の量とを制御し、炉内の温度を指定された温度に する。
【0005】 各熱電対101、102は、各々温度制御対象となる炉に取り付けられており 、炉内の温度に応じた熱起電圧を生成してこれを各MV/I変換回路103、1 04に各々供給する。
【0006】 各MV/I変換回路103、104は、各々対応する熱電対101、102か ら出力される熱起電圧を取り込むとともに、この熱起電圧をMV/I変換して1 〜5VDCの温度検出信号に変換した後、前記コントローラ105に供給する。
【0007】 コントローラ105は、故障検出器106と、切替スイッチ107と、燃料・ 空気調節器108と、燃料調節器109と、乗算器110と、空気調節器111 とを備えており、前記各MV/I変換回路103、104から出力される温度検 出信号を取り込むとともに、各温度検出信号のうち、制御用として指定された熱 電対101側の温度検出信号が正常であれば、この温度検出信号に基づいて燃料 ・空気設定値信号を演算した後、この燃料・空気設定値信号と燃料流量センサ1 13から出力される燃料流量値信号とに基づいて燃料操作量信号を演算して燃料 バルブ112を調整するとともに、前記燃料・空気設定値信号と空気流量センサ 115から出力される空気流量値信号とに基づいて空気操作量信号を演算して空 気バルブ114を調整して炉に供給される燃料の量と、空気の量とを制御し、炉 内の温度を指定された温度にする。
【0008】 故障検出器106は、前記各MV/I変換回路103、104のうち、制御用 のMV/I変換回路103から出力される温度検出信号を取り込んで、この温度 検出信号の値が1〜5VDCの範囲から外れ、6VDC程度のオーバー状態にな っているかどうかをチェックし、前記温度検出信号の値が6VDC程度のオーバ ー状態になっていないときには、前記温度検出信号の値が正しい値であると判定 して制御用を指定する切替信号を生成しこれを切替スイッチ107に供給し、ま た前記温度検出信号の値が6VDC程度のオーバー状態になっているときには、 制御用の熱電対101がオープンになっていると判定して監視用を指定する切替 信号を生成し、これを切替スイッチ107に供給する。
【0009】 切替スイッチ107は、前記故障検出器106から制御用を指定する切替信号 が出力されているときには、制御用のMV/I変換回路103から出力される温 度検出信号を取り込んでこれを燃料・空気調節器108に供給し、また前記故障 検出器106から監視用を指定する切替信号が出力されているときには、監視用 のMV/I変換回路104から出力される温度検出信号を取り込んでこれを燃料 ・空気調節器108に供給する。
【0010】 燃料・空気調節器108は、前記切替スイッチ107から出力される温度検出 信号の値と、予め設定されている燃料・空気設定値とに基づいて予め設定された 演算(例えば、PID演算など)を行って燃料・空気設定値信号を生成し、これ を燃料調節器109と、乗算器110とに供給する。
【0011】 燃料調節器109は、前記燃料・空気調節器108から出力される燃料・空気 設定値信号の値と、前記燃料流量センサ113から出力される燃料流量値信号と に基づいて予め設定された演算(例えば、PID演算など)を行って燃料操作量 信号を生成し、これを燃料バルブ112に供給して炉に供給される燃料の量を制 御し、炉内の温度を指定された温度にする。
【0012】 また、乗算器110は、前記燃料・空気調節器108から出力される燃料・空 気設定値信号と予め設定されている係数とを乗算して燃料・空気設定値信号の値 を補正して空気調節器111に供給する。
【0013】 空気調節器111は、前記乗算器110から出力される燃料・空気設定値信号 の値と、前記空気流量センサ115から出力される空気流量値信号とに基づいて 予め設定された演算(例えば、PID演算など)を行って空気操作量信号を生成 し、これを空気バルブ114に供給して炉に供給される空気の量を制御し、炉内 の温度を指定された温度にする。
【0014】
ところで、上述した従来の炉内温度制御システムにおいては、制御用として指 定されている方の熱電対101が故障したとき、コントローラ105内に設けら れている故障検出器106によってこれを検出して切替スイッチ107を切り替 え、これによって監視用として指定されている方の熱電対102から出力される 熱起電圧に対応する温度検出信号を使用し、炉の温度制御を継続する。
【0015】 しかしながら、この場合、制御用として指定されている方の熱電対101に対 応するMV/I変換回路103がバーンアウト状態になったとき、コントローラ 105内に設けられている故障検出器106によってこれを検出して切替スイッ チ107を切り替えるようにしているので、図4に示す如く制御用として使用さ れている熱電対101が故障しても、これをすぐに検出することができず、これ によって熱電対101が故障してからある期間、故障した熱電対101側のMV /I変換回路103から出力される温度検出信号に基づいて炉の温度制御を行っ て炉の温度を変動させてしまい、プラントに悪い影響を与えてしまうという問題 があった。
【0016】 本考案は上記の事情に鑑み、制御用として指定されている温度センサが故障し たとき、これを早期に検出して炉温の変動を最小にし、これによってプラントに 悪い影響を与えないようにすることができる炉内温度制御システムを提供するこ とを目的としている。
【0017】
上記の目的を達成するために本考案による炉内温度制御システムは、炉に制御 用の熱電対と監視用の熱電対とを設け、制御用の熱電対の検出結果に基づいて炉 の温度を制御する一方、制御用の熱電対が異常になったとき、前記監視用の熱電 対の検出結果に基づいて前記炉の温度を制御する炉内温度制御システムにおいて 、前記制御用の熱電対の温度検出信号の値およびその変化率がそれぞれ予め設定 されている値以上となった場合には、制御用の熱電対に代えて監視用の熱電対の 使用を開始させる故障検出回路と、この故障検出回路によって熱電対の切り替え が行われた場合には監視用の熱電対の温度検出信号に基づいた温度制御信号が安 定するまでの間、該温度制御信号の値を維持して前記炉の温度を制御する温度調 整部とを備えたことを特徴としている。
【0018】
上記の構成において、制御用として指定された熱電対側の温度検出信号の値お よびその変化率がそれぞれ予め設定されている値以上となっているとき、故障検 出回路によりこれを検出して制御用の熱電対の代わりに監視用の熱電対の使用を 開始させるとともに、温度調整部によって前記故障検出回路で熱電対の切り替え が行われて監視用として指定された熱電対側の温度検出信号に基づいた温度制御 信号が安定するまでの間、前記温度制御信号の値を維持して炉の温度を制御する 。
【0019】
図1は本考案による炉内温度制御システムの一実施例を示すブロック図である 。
【0020】 この図に示す炉内温度制御システムは、2つの熱電対1、2と、2つのMV/ I変換回路3、4と、コントローラ5とを備えており、通常の状態では、各熱電 対1、2のうち、制御用として指定された熱電対1から出力される熱起電圧をM V/I変換回路3によって1〜5VDCの温度検出信号に変換した後、コントロ ーラ5によってこの温度検出信号に基づいて燃料操作量信号と、空気操作量信号 とを生成して炉(図示は省略する)に供給される燃料の量と、空気の量とを制御 して炉内の温度を指定された温度にする。
【0021】 各熱電対1、2は、各々温度制御対象となる炉に取り付けられており、炉内の 温度に応じた熱起電圧を生成してこれを各MV/I変換回路3、4に各々供給す る。
【0022】 MV/I変換回路3、4は、各々対応する熱電対1、2から出力される熱起電 圧を取り込むとともに、この熱起電圧をMV/I変換して1〜5VDCの温度検 出信号に変換した後、前記コントローラ5に供給する。
【0023】 コントローラ5は、故障検出回路6と、切替スイッチ7と、燃料・空気調節器 8と、燃料調節器9と、乗算器10と、空気調節器11とを備えており、前記各 MV/I変換回路3、4から出力される温度検出信号を取り込むとともに、各温 度検出信号のうち、制御用として指定された熱電対1側の温度検出信号が正常で あれば、この温度検出信号に基づいて燃料・空気設定値信号を演算した後、この 燃料・空気設定値信号と燃料流量センサ12から出力される燃料流量値信号とに 基づいて燃料操作量信号を演算して燃料バルブ13を調整するとともに、前記燃 料・空気設定値信号と空気流量センサ14から出力される空気流量値信号とに基 づいて空気操作量信号を演算して空気バルブ15を調整して炉に供給される燃料 の量と、空気の量とを制御し、炉内の温度を指定された温度にする。
【0024】 故障検出回路6は、変化率判定回路16と、偏差演算回路17と、偏差判定回 路18と、アンドゲート回路19と、メモリ回路20と、立下り検出回路21と 、立上り検出回路22と、オフディレー回路23とを備えており、前記各MV/ I変換回路3、4のうち、制御用のMV/I変換回路3から出力される温度検出 信号を取り込んで、この温度検出信号の値およびその変化率が予め設定されてい る値以上となっているかどうかをチェックし、これらの条件が満たされていない ときには、前記温度検出信号の値が正しい値であると判定して制御用を指定する 切替信号を生成しこれを切替スイッチ7に供給し、また前記条件が満たされてい るときには、制御用の熱電対1がオープンになっていると判定して監視用を指定 する切替信号を生成し、これを切替スイッチ7に供給するとともに、一定時間だ け出力変化を禁止する切替信号を生成してこれを燃料・空気調節器8に供給する 。
【0025】 変化率判定回路16は、制御用のMV/I変換回路3から出力される温度検出 信号を取り込んで、この温度検出信号の値が予め設定されている変化率以上とな っているとき、これを検出して“1”信号を生成し、これを前記アンドゲート回 路19に供給する。
【0026】 また、偏差演算回路17は、制御用のMV/I変換回路3から出力される温度 検出信号を取り込んで、この温度検出信号の値と、予め設定されている設定値と の偏差を演算し、この演算動作によって得られた偏差信号を偏差判定回路18に 供給する。
【0027】 偏差判定回路18は、前記偏差演算回路17から出力される偏差信号と、予め 設定されているパラメータとを比較し、前記偏差信号の値が前記パラメータの値 を越えているとき、これを検出して“1”信号を生成し、これを前記アンドゲー ト回路19に供給する。
【0028】 アンドゲート回路19は、前記偏差判定回路18から“1”信号が出力される とともに、前記変化率判定回路16から“1”信号が出力されているとき、制御 用のMV/I変換回路3から出力される温度検出信号の値が予め設定されている 値以上になり、かつ予め設定されている変化率以上となっていることを示す“1 ”信号を生成してこれをメモリ回路20と、立上り検出回路22とに供給する。
【0029】 メモリ回路20は、SR型の信号記憶素子によって構成されており、前記アン ドゲート回路19から“1”信号が出力されていないときには、制御用を指定す る切替信号を生成しこれを切替スイッチ7と、データ出力端子24と、立下り検 出回路21とに供給し、また前記アンドゲート回路19から“1”信号が出力さ れたとき、前記立下り検出回路21からリセット信号が供給されるまでの間、監 視用を指定する切替信号を生成し、これを切替スイッチ7と、データ出力端子2 4と、立下り検出回路21とに供給する。
【0030】 立下り検出回路21は、制御用として使用される熱電対1が故障して新たな熱 電対に交換され、これに対応して前記メモリ回路20から出力される切替信号の 値が立ち下げられたとき、これを検出してリセット信号を生成し、これを前記メ モリ回路20を供給してこのメモリ回路20をリセットする。
【0031】 立上り検出回路22は、前記アンドゲート回路19から“1”信号が供給され たとき、この“1”信号の立ち上がりを検出して“1”信号を生成し、これをオ フディレー回路23に供給する。
【0032】 オフディレー回路23は、前記立上り検出回路22から“1”信号が供給され たとき、予め設定されている期間、切替信号(“1”信号)の生成してこれを前 記燃料・空気調節器8に供給する。
【0033】 また、切替スイッチ7は、前記故障検出回路6から制御用を指定する切替信号 が出力されているときには、制御用のMV/I変換回路3から出力される温度検 出信号を取り込んでこれを燃料・空気調節器8に供給し、また前記故障検出回路 6から監視用を指定する切替信号が出力されているときには、監視用のMV/I 変換回路4から出力される温度検出信号を取り込んでこれを燃料・空気調節器8 に供給する。
【0034】 燃料・空気調節器8は、PID制御回路25と、切替スイッチ26と、速度形 /位置形変換回路27とを備えており、前記切替スイッチ7から出力される温度 検出信号の値と、予め設定されている燃料・空気設定値とに基づいて予め設定さ れた演算(例えば、PID演算など)を行って速度形の燃料・空気設定値信号を 生成するとともに、前記故障検出回路6から出力変化を禁止する切替信号が出力 されていないとき、前記速度形の燃料・空気設定値信号を位置形の燃料・空気設 定値信号に変換して、これを燃料調節器9と、乗算器10とに供給する。そして 、前記故障検出回路6から出力変化を禁止する切替信号が出力されたとき、この 切替信号が供給されている間、切替スイッチ26を切り替えてそれまで出力して いる位置形の燃料・空気設定値信号の値を保持する。
【0035】 PID制御回路25は、前記切替スイッチ7から出力される温度検出信号の値 と、予め設定されている燃料・空気設定値とに基づいてPID演算を行って速度 形の燃料・空気設定値信号を生成し、これを切替スイッチ26の一方の端子26 aに供給する。
【0036】 切替スイッチ26は、一方の端子26aによって前記PID制御回路25から 供給される燃料・空気設定値信号を受け、他方の端子26bがオープンにされた スイッチであり、前記故障検出回路6のオフディレー回路23から切替信号が供 給されていないときには、共通端子26cと一方の端子26aとを接続させて前 記PID制御回路25から供給される速度形の燃料・空気設定値信号を取り込ん でこれを速度形/位置形変換回路27に供給し、また前記オフディレー回路23 から切替信号が供給されているとき、共通端子26cと他方の端子26bとを接 続させて前記速度形/位置形変換回路27の入力端子をオープン状態にする。
【0037】 速度形/位置形変換回路27は、前記切替スイッチ26から速度形の燃料・空 気設定値信号が供給されているとき、これを位置形の燃料・空気設定値信号に変 換してこれを燃料調節器9と、乗算器10とに供給し、前記切替スイッチ26か ら速度形の燃料・空気設定値信号が供給されなくなったとき、それまで出力して いる位置形の燃料・空気設定値信号の値を維持する。
【0038】 燃料調節器9は、前記燃料・空気調節器8から出力される燃料・空気設定値信 号の値と、前記燃料流量センサ12から出力される燃料流量値信号とに基づいて 予め設定された演算(例えば、PID演算など)を行って燃料操作量信号を生成 し、これを燃料バルブ13に供給して炉に供給される燃料の量を制御し、これに よって炉内の温度を指定された温度にする。
【0039】 また、乗算器10は、前記燃料・空気調節器8から出力される燃料・空気設定 値信号と予め設定されている係数とを乗算して燃料・空気設定値信号の値を補正 して空気調節器11に供給する。
【0040】 空気調節器11は、前記乗算器10から出力される燃料・空気設定値信号の値 と、前記空気流量センサ14から出力される空気流量値信号とに基づいて予め設 定された演算(例えば、PID演算など)を行って空気操作量信号を生成し、こ れを空気バルブ15に供給して炉に供給される空気の量を制御し、これによって 炉内の温度を指定された温度にする。
【0041】 このようにこの実施例においては、制御用のMV/I変換回路3から出力され る温度検出信号を取り込んで、この温度検出信号の値およびその変化率がそれぞ れ予め設定されている値以上となっているかどうかをチェックし、これらの条件 が満たされていないときには、前記温度検出信号の値が正しい値であると判定し て制御用の熱電対1の出力に基づいて得られる温度検出信号を選択し、前記条件 が満たされているときには、制御用の熱電対1がオープンになっていると判定し て監視用の熱電対2の出力に基づいて得られる温度検出信号を選択するとともに 、これらの切替を行ってから一定の期間、燃料・空気調節器8から出力される位 置形の燃料・空気設定値信号の値が変化しないようにしている。
【0042】 これによって、図2に示す如く制御用の熱電対1がオープン状態になって制御 用のMV/I変換回路3から出力される温度検出信号の値およびその変化率がそ れぞれ予め設定されている値以上となったとき、すなわち制御用のMV/I変換 回路3から出力される温度検出信号の値が6VDCになる前に制御用として指定 されている熱電対1の異常を検出して監視用の熱電対2の使用を開始するととも に、熱電対1、2を切り替える間、燃料・空気調節器8から出力される位置形の 燃料・空気設定値信号の値が変化しないようにすることができる。
【0043】 この結果、制御用として指定されている熱電対1が故障したとき、これを早期 に検出して炉温の変動を最小にし、これによってプラントに悪い影響を与えない ようにすることができる。
【0044】
以上説明したように本考案によれば、制御用として指定されている温度センサ が故障したとき、これを早期に検出して炉温の変動を最小にし、これによってプ ラントに悪い影響を与えないようにすることができる。
【図1】本考案による炉内温度制御システムの一実施例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図2】図1に示す炉内温度制御システムの動作例を示
す波形図である。
す波形図である。
【図3】従来から知られている炉内温度制御システムの
一例を示すブロック図である。
一例を示すブロック図である。
【図4】図3に示す炉内温度制御システムの動作例を示
す波形図である。
す波形図である。
1 制御用の熱電対 2 監視用の熱電対 3 制御用のMV/I変換回路 4 監視用のMV/I変換回路 5 コントローラ 6 故障検出回路 7 切替スイッチ 8 燃料・空気調節器(温度調整部) 9 燃料調節器 10 乗算器 11 空気調節器
Claims (1)
- 【請求項1】 炉に制御用の熱電対と監視用の熱電対と
を設け、制御用の熱電対の検出結果に基づいて炉の温度
を制御する一方、制御用の熱電対が異常になったとき、
前記監視用の熱電対の検出結果に基づいて前記炉の温度
を制御する炉内温度制御システムにおいて、 前記制御用の熱電対の温度検出信号の値およびその変化
率がそれぞれ予め設定されている値以上となった場合に
は、制御用の熱電対に代えて監視用の熱電対の使用を開
始させる故障検出回路と、 この故障検出回路によって熱電対の切り替えが行われた
場合には監視用の熱電対の温度検出信号に基づいた温度
制御信号が安定するまでの間、該温度制御信号の値を維
持して前記炉の温度を制御する温度調整部と、 を備えたことを特徴とする炉内温度制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8044792U JPH0648015U (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 炉内温度制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8044792U JPH0648015U (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 炉内温度制御システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0648015U true JPH0648015U (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=13718520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8044792U Pending JPH0648015U (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 炉内温度制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0648015U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009146346A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Yamatake Corp | 状態監視装置 |
JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
JP2012231145A (ja) * | 2012-05-22 | 2012-11-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法、温度制御装置及び半導体製造装置のコントローラ |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP8044792U patent/JPH0648015U/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
JP2009146346A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Yamatake Corp | 状態監視装置 |
JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
JP2012231145A (ja) * | 2012-05-22 | 2012-11-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法、温度制御装置及び半導体製造装置のコントローラ |
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