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JPH0643642A - Photopolymerizable composition - Google Patents

Photopolymerizable composition

Info

Publication number
JPH0643642A
JPH0643642A JP5027022A JP2702293A JPH0643642A JP H0643642 A JPH0643642 A JP H0643642A JP 5027022 A JP5027022 A JP 5027022A JP 2702293 A JP2702293 A JP 2702293A JP H0643642 A JPH0643642 A JP H0643642A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dye
group
visible light
photopolymerizable composition
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5027022A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Kushi
憲治 串
Chiho Tokuhara
千穂 徳原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP5027022A priority Critical patent/JPH0643642A/en
Priority to US08/045,250 priority patent/US5322762A/en
Priority to EP93302841A priority patent/EP0566353B1/en
Priority to DE69320397T priority patent/DE69320397T2/en
Publication of JPH0643642A publication Critical patent/JPH0643642A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a photopolymerizable composition having high photosensitivity particularly to visible ray, polymerizable by visible ray laser such as argon ion laser, capable of giving excellent contrast between non-irradiating part and a substrate in red light and giving excellent contrast between a irradiated part and non-irradiated part with laser and excellent in stability. CONSTITUTION:This photopolymerizable composition is made by blending 100 pts.wt. visible ray setting resin to which light of 400-700nm visible ray region is applied as main irradiation energy, 0.02-0.5 pts.wt. dye of at least one kind selected from a dye group having max. absorption wave length in 550-700nm such as victoria pure blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye, phthalocyanine dye, 0.1-5 pts.wt. 4,4'-(phenylmethylene)-bis(N,N-diethylbenzen amine) and 0.1-5 pts.wt. tribromo-methyl phenyl sulfone.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光重合性組成物に関
し、特に可視光線に対して高い感光性を有し、可視光レ
ーザー、例えばアルゴンイオンレーザーにより硬化可能
で、赤色灯下において非照射部分と基板の間に良好なコ
ントラストを与え、しかもレーザーの照射部分と非照射
部分の間に、良好なコントラストを与える、安定性に優
れた光重合性組成物に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photopolymerizable composition, which has a high photosensitivity to visible light, can be cured by a visible light laser such as an argon ion laser, and is not irradiated under a red light. The present invention relates to a photopolymerizable composition having excellent stability, which provides good contrast between a portion and a substrate and good contrast between a laser-irradiated portion and a non-irradiated portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、紫外線硬化型のドライフィルムフ
ォトレジスト等の光重合性組成物においては、非照射部
分と基板の間に良好なコントラストを与え、かつ黄色灯
下でも紫外線の照射部分と非照射部分の間に良好なコン
トラストを与えるために、各種の染料が配合されてき
た。例えば、特開昭59−107344号公報にはトリ
ブロモメチルフェニルスルフォンと、ロイコクリスタル
バイオレットとマラカイトグリーンからなる系が記載さ
れている。しかしながら、これらの染料系では、可視光
線硬化型樹脂には必要な赤色灯下での視認性は不良であ
り、可視光線照射部分と非照射部分とを明確に見分ける
ことはできなかった。さらにまた、染料を添加しない系
に比較して感度が低くなる欠点があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a photopolymerizable composition such as a UV-curable dry film photoresist, a good contrast is provided between a non-irradiated portion and a substrate, and a UV-irradiated portion is not exposed even under a yellow light. Various dyes have been incorporated to provide good contrast between the illuminated areas. For example, JP-A-59-107344 describes a system comprising tribromomethylphenyl sulfone, leuco crystal violet and malachite green. However, these dye systems have poor visibility under a red light, which is necessary for a visible light curable resin, and it is not possible to clearly distinguish between a visible light irradiation portion and a non-irradiation portion. Furthermore, there is a drawback that the sensitivity becomes low as compared with the system in which no dye is added.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】近年、レーザー走査露
光技術の進歩にともない、アルゴンレーザーのような、
可視レーザーの発信波長に対して高い感光性を有する光
重合性組成物の開発が望まれており、このような感光性
樹脂及び開始剤化合物が種々提案されている。本発明者
らも、下記の一般式(1)で示されるチタノセン系の化
合物
In recent years, with the progress of laser scanning exposure technology, such as argon laser,
The development of a photopolymerizable composition having high photosensitivity to the emission wavelength of visible laser is desired, and various such photosensitive resins and initiator compounds have been proposed. The inventors of the present invention also have a titanocene-based compound represented by the following general formula (1).

【0004】[0004]

【化4】 [式中、R1はそれぞれ独立して、非置換のまたはC1
6アルキルまたはC1〜C6アルコキシ置換のシクロペ
ンタジエニル-、インデニル-、または4,5,6,7,テト
ラヒドロインデニル-であるか、または連結して式
(2)
[Chemical 4] [In the formula, each R 1 is independently an unsubstituted or C 1 to
C 6 alkyl or C 1 -C 6 alkoxy-substituted cyclopentadienyl -, indenyl -, or 4,5,6,7, tetrahydroindenyl - can be either, or linked to Equation (2)

【0005】[0005]

【化5】 (式中、R4及びR5はそれぞれ独立して水素またはメチ
ルである。)で示される基である。R2は、6員の炭素
環状芳香族環または5員または6員の複素環状芳香族環
であって、金属−炭素結合の2つのオルト位の少なくと
も一方が、弗素原子または−CF2R基(式中、Rは弗
素原子またはメチルである。)で置換されているもので
ある。R3は、R2と同様であるか、またはさらにハロゲ
ン原子、−OR6または−OR7(式中R6は水素、C1
6アルキル、フェニル、アセチルまたはトリフルオロ
アセチルであり、R7はC1〜C6アルキルまたはフェニ
ルである。)であり、またはR2とR3が連結して式
(3) −Q−Y−Q− ・・・(3) (式中、Qは、6員の炭素環状芳香族基、または5員ま
たは6員の複素環状芳香族基であり、2つの結合の各々
がYに対してオルト位にあり、しかもYに対して各々メ
タ位が1個の弗素原子または1個の−CF2R基で置換
されているものであり、Yは直接結合、−O−,−S
−,−SO2−,−CO−,−CH2−または−C(CH
32−である。)で示される基であってもよい。]と、
ある特定の構造のクマリン化合物を合わせて用いること
で、感度が改善されることを見いだし、特願平2−37
741号を出願した。
[Chemical 5] (In the formula, R 4 and R 5 are each independently hydrogen or methyl.). R 2 is a 6-membered carbocyclic aromatic ring or a 5- or 6-membered heterocyclic aromatic ring, wherein at least one of the two ortho positions of the metal-carbon bond is a fluorine atom or a —CF 2 R group. (In the formula, R is a fluorine atom or methyl.). R 3 is the same as R 2 , or is a halogen atom, —OR 6 or —OR 7 (wherein R 6 is hydrogen, C 1 to
C 6 alkyl, phenyl, acetyl or trifluoroacetyl, R 7 is C 1 -C 6 alkyl or phenyl. ), Or R 2 and R 3 are linked to each other to form formula (3) -Q-Y-Q -... (3) (wherein, Q is a 6-membered carbocyclic aromatic group, or 5-membered). Or a 6-membered heterocyclic aromatic group in which each of the two bonds is in the ortho position with respect to Y, and each meta position with respect to Y has one fluorine atom or one —CF 2 R group. And Y is a direct bond, -O-, -S.
-, - SO 2 -, - CO -, - CH 2 - or -C (CH
3 ) 2- . ) May be a group represented by ]When,
It was found that the sensitivity can be improved by using a coumarin compound having a specific structure together.
No. 741 was filed.

【0006】しかし、かかる光重合性組成物を利用する
場合、例えばプリント配線板などの作成時には、赤色灯
下で、基板上のレジストの有無が確認できることが望ま
れ、しかも露光、未露光部分を判別するため、または、
重複露光を防ぐために、レーザーの照射部分と非照射部
分の間に、良好なコントラストを与える事が望まれてい
た。
However, when using such a photopolymerizable composition, it is desired that the presence or absence of the resist on the substrate can be confirmed under a red lamp when, for example, producing a printed wiring board, and the exposed and unexposed parts are not visible. To determine, or
In order to prevent double exposure, it has been desired to provide good contrast between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、光重
合性組成物に関し、特に可視光線に対して高い感光性を
有し、可視光レーザー、例えばアルゴンイオンレーザー
により硬化可能で、赤色灯下において非照射部分と基板
の間に良好なコントラストを与え、しかもレーザーの照
射部分と非照射部分の間に、良好なコントラストを与え
る、安定性に優れた光重合性組成物を提供することにあ
る。
The object of the present invention relates to a photopolymerizable composition, in particular having a high photosensitivity to visible light, curable by a visible light laser, for example an argon ion laser, a red light. To provide a photopolymerizable composition having excellent stability, which gives good contrast between a non-irradiated portion and a substrate, and yet gives good contrast between a laser-irradiated portion and a non-irradiated portion. is there.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく鋭意検討した結果、 (a)400nmから700nmの可視光領域の光線を
主たる照射エネルギーとする可視光線硬化型樹脂を10
0重量部、 (b)550〜700nmに最大吸収波長を有する、ビ
クトリアピュアブルー、アントラキノン染料、モノアゾ
染料、メロシアニン染料、フタロシアニン染料の染料群
から選ばれる少なくとも一種の染料を0.02〜0.5重
量部、 (c)4,4'−(フェニルメチレン)ビス[N,N−ジ
エチルベンゼンアミン]を0.1〜5重量部、 (d)トリブロモメチルフェニルスルフォンを0.1〜
5重量部、 を配合してなる光重合性組成物が、可視光線に対して高
い感光性を有し、可視光レーザー、例えばアルゴンイオ
ンレーザーにより硬化可能で、赤色灯下において非照射
部分と基板の間に良好なコントラストを与え、しかもレ
ーザーの照射部分と非照射部分の間に、良好なコントラ
ストを与えることを見い出し、本発明を完成するに至っ
た。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that (a) a visible light curable resin whose main irradiation energy is light in the visible light region of 400 nm to 700 nm. 10
0 parts by weight, (b) 0.02 to 0.5 of at least one dye selected from the group consisting of Victoria Pure Blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye, and phthalocyanine dye having a maximum absorption wavelength of 550 to 700 nm. Parts by weight, 0.1 to 5 parts by weight of (c) 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine], and 0.1 to 5 parts of (d) tribromomethylphenylsulfone.
5 parts by weight of the photopolymerizable composition has high photosensitivity to visible light and can be cured by a visible light laser such as an argon ion laser. It was found that a good contrast is provided between the laser irradiation area and the non-irradiation area of the laser, and the present invention has been completed.

【0009】また、可視光線硬化型樹脂が、光重合開始
剤として、 (e)下記の一般式(1)で表される化合物 (f)下記の一般式(4)で表わされる化合物 を含む光重合性組成物がさらに高い感光性を有し、良好
なコントラストを与えることを見出した。
The visible light curable resin contains, as a photopolymerization initiator, (e) a compound represented by the following general formula (1) (f) a compound represented by the following general formula (4) It was found that the polymerizable composition has higher photosensitivity and gives good contrast.

【0010】[0010]

【化6】 [式中、R1はそれぞれ独立して、非置換のまたはC1
6アルキルまたはC1〜C6アルコキシ置換のシクロペ
ンタジエニル-、インデニル-、または4,5,6,7,テト
ラヒドロインデニル-であるか、または連結して式
(2)
[Chemical 6] [In the formula, each R 1 is independently an unsubstituted or C 1 to
C 6 alkyl or C 1 -C 6 alkoxy-substituted cyclopentadienyl -, indenyl -, or 4,5,6,7, tetrahydroindenyl - can be either, or linked to Equation (2)

【0011】[0011]

【化7】 (式中、R4及びR5はそれぞれ独立して水素またはメチ
ルである。)で示される基である。R2は6員の炭素環
状芳香族環または5員または6員の複素環状芳香族環で
あって、金属−炭素結合の2つのオルト位の少なくとも
一方が、弗素原子または−CF2R基(式中、Rは弗素
原子またはメチルである。)で置換されているものであ
る。R3は、R2と同様であるか、またはさらにハロゲン
原子、−OR6または−OR7(式中、R6は水素、C1
6アルキル、フェニル、アセチルまたはトリフルオロ
アセチルであり、R7はC1〜C6アルキルまたはフェニ
ルである。)であり、またはR2とR3が連結して式
(3) −Q−Y−Q− ・・・(3) (式中、Qは、6員の炭素環状芳香族基、または5員ま
たは6員の複素環状芳香族基であり、2つの結合の各々
がYに対してオルト位にあり、しかもYに対して各々メ
タ位が1個の弗素原子または1個の−CF2R基で置換
されているものであり、Yは直接結合、−O−,−S
−,−SO2−,−CO−,−CH2−または−C(CH
32−である。)で示される基であってもよい。]
[Chemical 7] (In the formula, R 4 and R 5 are each independently hydrogen or methyl.). R 2 is a 6-membered carbocyclic aromatic ring or a 5- or 6-membered heterocyclic aromatic ring, and at least one of the two ortho positions of the metal-carbon bond is a fluorine atom or a —CF 2 R group ( In the formula, R is a fluorine atom or methyl). R 3 is the same as R 2 or further a halogen atom, —OR 6 or —OR 7 (wherein R 6 is hydrogen, C 1 to
C 6 alkyl, phenyl, acetyl or trifluoroacetyl, R 7 is C 1 -C 6 alkyl or phenyl. ), Or R 2 and R 3 are linked to each other to form formula (3) -Q-Y-Q -... (3) (wherein, Q is a 6-membered carbocyclic aromatic group, or 5-membered Or a 6-membered heterocyclic aromatic group in which each of the two bonds is in the ortho position with respect to Y, and each meta position with respect to Y has one fluorine atom or one —CF 2 R group. And Y is a direct bond, -O-, -S.
-, - SO 2 -, - CO -, - CH 2 - or -C (CH
3 ) 2- . ) May be a group represented by ]

【0012】[0012]

【化8】 [式中、R8,R9,R10は各々独立して、水素原子、ク
ロル原子、低級アルコキシ基、低級ジアルキルアミノ
基、低級ジアルケニルアミノ基または、脂環式アミノ基
を表すか、または、連結して、置換または非置換の脂環
式アミノ基を表す。Xは、炭素及びヘテロ原子の総数が
5〜9個の置換または非置換の複素環基を表す。Zは、
水素原子またはアミノ基を表す。]
[Chemical 8] [Wherein R 8 , R 9 and R 10 each independently represent a hydrogen atom, a chloro atom, a lower alkoxy group, a lower dialkylamino group, a lower dialkenylamino group or an alicyclic amino group, or , And represents a substituted or unsubstituted alicyclic amino group. X represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 5 to 9 total carbon and hetero atoms. Z is
Represents a hydrogen atom or an amino group. ]

【0013】以下、本発明に関して詳しく説明する。可
視光線硬化型樹脂としては、光架橋性ポリマーと可視光
増感剤とからなる組成物、カチオン重合可能な化合物と
可視光線感光性光カチオン重合開始剤とからなる組成
物、エチレン性不飽和結合を有する付加重合可能な化合
物を少なくとも一種有する感光性樹脂と可視光線感光性
光重合開始剤からなる組成物等を挙げることが出来る。
中でも、硬化速度の点で、エチレン性不飽和結合を有す
る付加重合可能な化合物を少なくとも一種有する感光性
樹脂と可視光線感光性光重合開始剤からなる組成物が好
ましい。
The present invention will be described in detail below. As the visible light curable resin, a composition comprising a photocrosslinkable polymer and a visible light sensitizer, a composition comprising a cationically polymerizable compound and a visible light sensitive photocationic polymerization initiator, an ethylenically unsaturated bond Examples thereof include a composition comprising a photosensitive resin having at least one addition-polymerizable compound having a and a visible light-sensitive photopolymerization initiator.
Among them, a composition comprising a photosensitive resin having at least one addition-polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and a visible light-sensitive photopolymerization initiator is preferable from the viewpoint of curing rate.

【0014】エチレン性不飽和結合を有する付加重合可
能な化合物を少なくとも一種有する感光性樹脂として
は、エチレン性不飽和結合を有する付加重合可能な化合
物のみから構成されていても良いし、これらの化合物と
ポリマーなどのバインダー樹脂から構成されていてもよ
い。
The photosensitive resin having at least one addition-polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond may be composed of only an addition-polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, or these compounds may be used. And a binder resin such as a polymer.

【0015】エチレン性不飽和結合を有する付加重合可
能な化合物としては、光重合開始剤の作用により、付加
重合をもたらすようなエチレン性不飽和結合を有するモ
ノマー、オリゴマー、またはプレポリマーであればよい
が、高い重合反応性の点においては、アクリロイルオキ
シ基あるいはメタクリロイルオキシ基(以下、(メタ)
アクリロイルオキシ基と略記する)を有するものが特に
好ましい。
The addition-polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond may be a monomer, an oligomer, or a prepolymer having an ethylenically unsaturated bond that causes addition polymerization by the action of a photopolymerization initiator. However, in terms of high polymerization reactivity, an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group (hereinafter referred to as (meth)
Those having an acryloyloxy group) are particularly preferable.

【0016】前記(メタ)アクリロイルオキシ基を有す
るモノマーの例としては、ポリエーテルアクリレートも
しくはポリエーテルメタクリレート系、(以下、「アク
リレートもしくはメタクリレート」を単に「(メタ)ア
クリレート」と略記する。)、ポリエステル(メタ)ア
クリレート系、ポリオール(メタ)アクリレート系、エ
ポキシ(メタ)アクリレート系、アミドウレタン(メ
タ)アクリレート系、ウレタン(メタ)アクリレート
系、スピロアセタール(メタ)アクリレート系及びポリ
ブタジエン(メタ)アクリレート系等のモノマー、オリ
ゴマーを挙げることができる。
Examples of the monomer having a (meth) acryloyloxy group are polyether acrylate or polyether methacrylate type (hereinafter, "acrylate or methacrylate" is simply abbreviated as "(meth) acrylate"), polyester. (Meth) acrylate-based, polyol (meth) acrylate-based, epoxy (meth) acrylate-based, amidourethane (meth) acrylate-based, urethane (meth) acrylate-based, spiroacetal (meth) acrylate-based, polybutadiene (meth) acrylate-based, etc. The monomers and oligomers of can be mentioned.

【0017】このようなモノマーもしくはオリゴマーの
具体的例としては、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、ヘキサプロピレングリコールジアクリレート、あ
るいは、1,2,6−ヘキサントリオール/プロピレンオ
キシド/アクリル酸、トリメチロールプロパン/プロピ
レンオキシド/アクリル酸等から合成されたポリエーテ
ル(メタ)アクリレート;アジピン酸/1,6−ヘキサ
ンジオール/アクリル酸、コハク酸/トリメチロールエ
タン/アクリル酸等から合成されたポリエステル(メ
タ)アクリレート;ネオペンチルグリコールジアクリレ
ート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、2−
エチルヘキシルアクリレート、テトラヒドロフルフリル
アクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、
エチルカルビトールアクリレート、トリメチルロールプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、
2,2−ビス(4−アクリロイルオキシジエトキシフェ
ニル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロイルオキ
シプロポキシフェニル)プロパン等の(メタ)アクリレ
ートまたはポリオール(メタ)アクリレート;ジグリシ
ジルエーテル化ビスフェノールA/アクリル酸、ジグリ
シジルエーテル化ポリビスフェノールA/アクリル酸、
トリグリシジルエーテル化グリセリン/アクリル酸等か
ら合成されたエポキシ(メタ)アクリレート;γ−ブチ
ロラクトン/N−メチルエタノールアミン/ビス(4−
イソシアネートシクロヘキシル)メタン/2−ヒドロキ
シエチルアクリレート、γ−ブチロラクトン/N−メチ
ルエタノールアミン/2,6−トリレンジイソシアネー
ト/テトラエチレングリコール/2−ヒドロキシエチル
アクリレート等から合成されたアミドウレタン(メタ)
アクリレート;2,6−トリレンジイソシアネートジア
クリレート、イソホロンジイソシアネートジアクリレー
ト、ヘキサメチレンジイソシアネートジアクリレート等
のウレタンアクリレート;ジアリリデンペンタエリスリ
トール/2−ヒドロキシエチルアクリレートから合成さ
れたスピロアセタールアクリレート;エポキシ化ブタジ
エン/2−ヒドロキシエチルアクリレートから合成され
たアクリル化ポリブタジエン等が挙げられ、これらのモ
ノマー及びオリゴマーは単独または2種以上の組合せで
使用される。
Specific examples of such a monomer or oligomer include triethylene glycol diacrylate, hexapropylene glycol diacrylate, or 1,2,6-hexanetriol / propylene oxide / acrylic acid, trimethylolpropane / propylene. Polyether (meth) acrylate synthesized from oxide / acrylic acid, etc .; Polyester (meth) acrylate synthesized from adipic acid / 1,6-hexanediol / acrylic acid, succinic acid / trimethylolethane / acrylic acid; Neo Pentyl glycol diacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 2-
Ethylhexyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate,
Ethyl carbitol acrylate, trimethyl roll propane triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate,
2,2-bis (4-acryloyloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloyloxypropoxyphenyl) propane and other (meth) acrylates or polyol (meth) acrylates; diglycidyl etherified bisphenol A / Acrylic acid, diglycidyl etherified polybisphenol A / acrylic acid,
Epoxy (meth) acrylate synthesized from triglycidyl etherified glycerin / acrylic acid; γ-butyrolactone / N-methylethanolamine / bis (4-
Isocyanate cyclohexyl) methane / 2-hydroxyethyl acrylate, γ-butyrolactone / N-methylethanolamine / 2,6-tolylene diisocyanate / tetraethylene glycol / 2-hydroxyethyl acrylate, etc. amidourethane (meth)
Acrylate; urethane acrylate such as 2,6-tolylene diisocyanate diacrylate, isophorone diisocyanate diacrylate, hexamethylene diisocyanate diacrylate; spiro acetal acrylate synthesized from diallylidene pentaerythritol / 2-hydroxyethyl acrylate; epoxidized butadiene / Examples thereof include acrylated polybutadiene synthesized from 2-hydroxyethyl acrylate, and these monomers and oligomers may be used alone or in combination of two or more.

【0018】また、これらのモノマー及びオリゴマーと
併用して用いられるバインダー樹脂は、現像性、基板と
の接着性、柔軟性などの種々の機能付与を目的とするも
のであり、その目的に応じて適宜選択すれば良い。例え
ば、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、
(メタ)アクリル酸エステル・(メタ)アクリル酸共重
合体、スチレン・(メタ)アクリル酸共重合体、スチレ
ン・マレイン酸共重合体、(メタ)アクリル酸エステル
・(メタ)アクリルアミド共重合体等を用いることがで
きる。これらの重合体の1種を用いても良いが、2種以
上を適当な比で混合して用いることもできる。例えば、
アルカリ水溶液で未露光部を現像、除去するアルカリ現
像型の可視光線硬化型樹脂の場合、3〜15個の炭素原
子を含むα,β−不飽和カルボキシル基含有単量体を共
重合成分として含むアクリル樹脂が好ましく、最も好ま
しいのは、アクリル酸、メタクリル酸である。
The binder resin used in combination with these monomers and oligomers is for the purpose of imparting various functions such as developability, adhesiveness with a substrate and flexibility, and depending on the purpose. It may be selected appropriately. For example, polyvinylpyrrolidone, polyvinyl alcohol,
(Meth) acrylic acid ester / (meth) acrylic acid copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, styrene / maleic acid copolymer, (meth) acrylic acid ester / (meth) acrylamide copolymer, etc. Can be used. One kind of these polymers may be used, or two or more kinds may be mixed and used at an appropriate ratio. For example,
In the case of an alkali developing type visible light curable resin that develops and removes the unexposed area with an aqueous alkaline solution, it contains an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer containing 3 to 15 carbon atoms as a copolymerization component. Acrylic resins are preferred, and acrylic acid and methacrylic acid are most preferred.

【0019】次に、本発明の可視光線硬化型樹脂に用い
られる光重合開始剤について説明する。本発明の可視光
線硬化型樹脂では、光重合開始剤として、例えば化合物
(e)及び化合物(f)の2成分が合わせて用いられ
る。化合物(e)は下記の一般式(1)で表される化合
物である。
Next, the photopolymerization initiator used in the visible light curable resin of the present invention will be described. In the visible light curable resin of the present invention, for example, two components of compound (e) and compound (f) are used together as a photopolymerization initiator. The compound (e) is a compound represented by the following general formula (1).

【0020】[0020]

【化9】 [式中、R1はそれぞれ独立して、非置換のまたはC1
6アルキルまたはC1〜C6アルコキシ置換のシクロペ
ンタジエニル-、インデニル-、または4,5,6,7,テト
ラヒドロインデニル-であるか、または連結して式
(2)
[Chemical 9] [In the formula, each R 1 is independently an unsubstituted or C 1 to
C 6 alkyl or C 1 -C 6 alkoxy-substituted cyclopentadienyl -, indenyl -, or 4,5,6,7, tetrahydroindenyl - can be either, or linked to Equation (2)

【0021】[0021]

【化10】 (式中、R4及びR5はそれぞれ独立して水素またはメチ
ルである。)で示される基である。R2は6員の炭素環
状芳香族環または5員または6員の複素環状芳香族環で
あって、金属−炭素結合の2つのオルト位の少なくとも
一方が、弗素原子または−CF2R基(式中、Rは弗素
原子またはメチルである。)で置換されているものであ
る。R3は、R2と同様であるか、またはさらにハロゲン
原子、−OR6または−OR7(式中R6は水素、C1〜C
6アルキル、フェニル、アセチルまたはトリフルオロア
セチルであり、R7はC1〜C6アルキルまたはフェニル
である。)であり、またはR2とR3が連結して式(3) −Q−Y−Q− ・・・(3) (式中、Qは、6員の炭素環状芳香族基、または5員ま
たは6員の複素環状芳香族基であり、2つの結合の各々
がYに対してオルト位にあり、しかもYに対して各々メ
タ位が1個の弗素原子または1個の−CF2R基で置換
されているものであり、Yは直接結合、−O−,−S
−,−SO2−,−CO−,−CH2−または−C(CH
32−である。)で示される基であってもよい。]ま
た、化合物(f)は下記の一般式(4)で表される化合
物である。
[Chemical 10] (In the formula, R 4 and R 5 are each independently hydrogen or methyl.). R 2 is a 6-membered carbocyclic aromatic ring or a 5- or 6-membered heterocyclic aromatic ring, and at least one of the two ortho positions of the metal-carbon bond is a fluorine atom or a —CF 2 R group ( In the formula, R is a fluorine atom or methyl). R 3 is the same as R 2 or is further a halogen atom, —OR 6 or —OR 7 (wherein R 6 is hydrogen, C 1 to C
6 alkyl, phenyl, acetyl or trifluoroacetyl and R 7 is C 1 -C 6 alkyl or phenyl. ), Or R 2 and R 3 are linked to each other to form formula (3) -Q-Y-Q -... (3) (wherein, Q is a 6-membered carbocyclic aromatic group, or 5-membered Or a 6-membered heterocyclic aromatic group in which each of the two bonds is in the ortho position with respect to Y, and each meta position with respect to Y has one fluorine atom or one —CF 2 R group. And Y is a direct bond, -O-, -S.
-, - SO 2 -, - CO -, - CH 2 - or -C (CH
3 ) 2- . ) May be a group represented by The compound (f) is a compound represented by the following general formula (4).

【0022】[0022]

【化11】 [式中、R8,R9,R10は、各々独立して、水素原子、
クロル原子、低級アルコキシ基、低級ジアルキルアミノ
基、低級ジアルケニルアミノ基または、脂環式アミノ基
を表すか、または、連結して、置換または非置換の脂環
式アミノ基を表す。Xは、炭素及びヘテロ原子の総数が
5〜9個の置換または非置換の複素環基を表す。Zは、
水素原子またはアミノ基を表す。]かかる化合物として
特に好ましいのは、
[Chemical 11] [Wherein R 8 , R 9 and R 10 are each independently a hydrogen atom,
It represents a chlorine atom, a lower alkoxy group, a lower dialkylamino group, a lower dialkenylamino group or an alicyclic amino group, or represents a substituted or unsubstituted alicyclic amino group. X represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 5 to 9 total carbon and hetero atoms. Z is
Represents a hydrogen atom or an amino group. ] Particularly preferred as such a compound is

【0023】[0023]

【化12】 [Chemical 12]

【0024】[0024]

【化13】 [Chemical 13]

【0025】であり、これらのうち最も好ましいのは、And most preferred of these are:

【0026】[0026]

【化14】 [Chemical 14]

【0027】である。It is

【0028】本発明の可視光線硬化型樹脂における光重
合開始剤(e)と(f)の配合量は、可視光線硬化型樹
脂(a)100重量%のうち、光重合開始剤(e)と
(f)を合わせて10〜0.1重量%であることが望ま
しい。この2成分の使用割合が、前記範囲の下限よりも
少ないと感光性が低下し、上限よりも多くなっても感光
性の向上は望まれず、逆に樹脂の物理的特性が低下す
る。また、化合物(e)と化合物(f)の配合比(重量
比)は、(f)/(e)=1〜0.01の範囲に設定さ
れることが好ましい。この2成分の配合比が、0.01
よりも少ないと感光性が低下する。一方、1よりも大き
くなっても、感光性の向上は望めない。
The blending amount of the photopolymerization initiators (e) and (f) in the visible light curable resin of the present invention is the same as that of the photopolymerization initiator (e) in 100% by weight of the visible light curable resin (a). It is desirable that the total amount of (f) is 10 to 0.1% by weight. If the ratio of the two components used is less than the lower limit of the above range, the photosensitivity is lowered, and if it is more than the upper limit, improvement of the photosensitivity is not desired, and conversely the physical properties of the resin are lowered. In addition, the compounding ratio (weight ratio) of the compound (e) and the compound (f) is preferably set in the range of (f) / (e) = 1 to 0.01. The mixing ratio of these two components is 0.01
If it is less than the above range, the photosensitivity is lowered. On the other hand, even if it becomes larger than 1, improvement in photosensitivity cannot be expected.

【0029】次に本発明に用いられる染料、ロイコ染
料、ラジカル発生剤について説明する。染料は、赤色灯
下において非照射部分と基板の間にコントラストを与え
るために添加されるが、そのためには、赤色灯の放射波
長である500〜700nmの間に吸収があることが必
要であり、550〜700nmに最大吸収波長を有する
ことが必要である。なおかつレーザーの照射部分と非照
射部分の間に、コントラストを与えるためには、次に述
べるロイコ染料の発色後の吸収波長との差が大きいこと
が望ましい。又、可視光線硬化型樹脂と混合した場合
に、消色やゲル化が生じない、安定性に優れた染料でな
ければならない。また、可視光に対する感光性を低下さ
せないためには、露光に用いる可視光レーザーの発振波
長に対して吸収がないことが必要である。
Next, the dye, leuco dye and radical generator used in the present invention will be explained. The dye is added to give a contrast between the non-irradiated portion and the substrate under a red lamp, but for that purpose, it is necessary that the dye has absorption between 500 to 700 nm which is the emission wavelength of the red lamp. , It is necessary to have a maximum absorption wavelength at 550 to 700 nm. Further, in order to provide contrast between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion, it is desirable that the difference between the absorption wavelength of the leuco dye described below after color development is large. Further, it must be a dye having excellent stability that does not cause decolorization or gelation when mixed with a visible light curable resin. Further, in order not to reduce the sensitivity to visible light, it is necessary that there is no absorption for the oscillation wavelength of the visible light laser used for exposure.

【0030】ロイコ染料は、レーザーの照射部分と非照
射部分の間に、コントラストを与えるために添加され
る。そのためには、レーザー照射により高感度に発色
し、吸収波長が、先に述べた染料の吸収波長との差が大
きいことが望ましい。又、可視光線硬化型樹脂と混合し
た場合に、発色やゲル化が生じない、安定性に優れた染
料でなければならない。なおかつ、重合性組成物の感光
性を低下させないことも必要である。
The leuco dye is added to provide contrast between the irradiated and non-irradiated portions of the laser. For that purpose, it is desirable that a color is developed with high sensitivity by laser irradiation and the absorption wavelength has a large difference from the absorption wavelength of the dye described above. Further, it should be a dye having excellent stability, which does not cause coloration or gelation when mixed with a visible light curable resin. Moreover, it is also necessary not to reduce the photosensitivity of the polymerizable composition.

【0031】本発明者らは、このような、染料、ロイコ
染料、ラジカル発生剤として、次の各染料、ロイコ染
料、ラジカル発生剤の組合せが好ましいことを新規に見
い出した。 ・染料:550〜700nmに最大吸収波長を有する、
ビクトリアピュアブルー、アントラキノン染料、モノア
ゾ染料、メロシアニン染料、フタロシアニン染料。 ・ロイコ染料:4,4'−(フェニルメチレン)ビス
[N,N−ジエチルベンゼンアミン](Basic Green1、
C.I.42040のロイコ体)。 ・ラジカル発生剤:トリブロモメチルフェニルスルフォ
ン。
The inventors of the present invention have newly found that as such dyes, leuco dyes and radical generators, the following combinations of dyes, leuco dyes and radical generators are preferable.・ Dye: having a maximum absorption wavelength at 550 to 700 nm,
Victoria pure blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye, phthalocyanine dye. Leuco dye: 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine] (Basic Green 1,
CI 42040 leuco body). -Radical generator: tribromomethylphenyl sulfone.

【0032】550から700nmに最大吸収波長を有
するアントラキノン染料としては、ソルベントブルー6
3、ディスパースブルー35、ディスパースブルー6
0、ディスパースブルー73、ディスパースブルー5
6、ソルベントブルー83、ソルベントブルー14、ソ
ルベントブルー111等が挙げられる。モノアゾ染料と
しては、例えば、ソルベントブルー266、ディスパー
スブルー36、ソルベントブルー268等が挙げられ
る。メロシアニン染料としては、ディスパースブルー3
54等が挙げられる。フタロシアニン染料としては、例
えば、ソルベントブルー117等が挙げられる。
Solvent Blue 6 is an anthraquinone dye having a maximum absorption wavelength from 550 to 700 nm.
3, Disperse Blue 35, Disperse Blue 6
0, Disperse Blue 73, Disperse Blue 5
6, Solvent Blue 83, Solvent Blue 14, Solvent Blue 111, and the like. Examples of the monoazo dye include Solvent Blue 266, Disperse Blue 36, Solvent Blue 268 and the like. As a merocyanine dye, Disperse Blue 3
54 and the like. Examples of the phthalocyanine dye include Solvent Blue 117 and the like.

【0033】ラジカル発生剤の働きは、紫外線により硬
化可能な重合性組成物に添加された系では、一般的に、
紫外線照射によって解離して、ラジカルを発生し、その
ラジカルの働きによりロイコ染料の発色が促進されると
言われている。しかし、本発明の光重合性組成物にラジ
カル発生剤として添加されるトリブロモメチルフェニル
スルフォンは、可視光レーザー、例えばアルゴンイオン
レーザーの可視の発信波長には、吸収を持たず、単独で
は、照射に対して不活性である。ところが、トリブロモ
メチルフェニルスルフォンを特に、ロイコダイアモンド
グリーンと可視光線硬化型樹脂と同時に用いると、ビク
トリアピュアブルー及び、ロイコダイアモンドグリーン
と可視光線硬化型樹脂のみの場合に比べ、ロイコダイア
モンドグリーンの発色がより促進され、レーザーの照射
部分と非照射部分の間に、良好なコントラストを与え、
かつ安定性にも優れる事を見いだした。
The function of the radical generator is generally, in a system added to a polymerizable composition curable by ultraviolet rays,
It is said that it is dissociated by ultraviolet irradiation to generate radicals, and the action of the radicals accelerates the color development of the leuco dye. However, tribromomethylphenyl sulfone added as a radical generator to the photopolymerizable composition of the present invention has no absorption at a visible emission wavelength of a visible light laser, for example, an argon ion laser, and is irradiated by itself. Inactive against. However, especially when tribromomethylphenyl sulfone is used at the same time as leuco diamond green and visible light curable resin, Victoria Pure Blue and leuco diamond green and visible light curable resin alone produce leuco diamond green in color. It is more accelerated and gives good contrast between the irradiated and non-irradiated parts of the laser,
We also found that it is also excellent in stability.

【0034】本発明の光重合性組成物における染料の配
合量は、可視光線硬化型樹脂100重量部に対して、
0.02〜0.5重量部であることが望ましい。使用割合
が、上限よりも多くなるとレーザーの照射部分と非照射
部分の間に、良好なコントラストが得られず、前記範囲
の下限よりも少ないと非照射部分と基板の間に良好なコ
ントラストが得られない。
The amount of the dye compounded in the photopolymerizable composition of the present invention is 100 parts by weight of the visible light curable resin.
It is preferably 0.02 to 0.5 parts by weight. When the use ratio is higher than the upper limit, good contrast cannot be obtained between the laser-irradiated part and the non-irradiated part, and when it is lower than the lower limit of the above range, good contrast is obtained between the non-irradiated part and the substrate. I can't.

【0035】本発明の光重合性組成物における4,4'−
(フェニルメチレン)ビス[N,N−ジエチルベンゼン
アミン]の配合量は、可視光線硬化型樹脂100重量部
に対して、0.1〜5重量部であることが望ましい。前
記範囲の上限より多くなっても、レーザーの照射部分と
非照射部分の間のコントラストの向上は得られず、経済
的観点から好ましくないだけでなく、貯蔵安定性や、硬
化後の物性の低下が起こる場合もある。前記範囲の下限
よりも少ないとレーザーの照射部分と非照射部分の間
に、良好なコントラストが得られない。
4,4'- in the photopolymerizable composition of the present invention
The compounding amount of (phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine] is preferably 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the visible light curable resin. Even if it exceeds the upper limit of the above range, the contrast between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion cannot be improved, which is not preferable from an economical point of view, and also storage stability and deterioration of physical properties after curing. May occur. If it is less than the lower limit of the above range, good contrast cannot be obtained between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion.

【0036】本発明の光重合性組成物におけるトリブロ
モメチルフェニルスルフォンの配合量は、可視光線硬化
型樹脂100重量部に対して、0.1〜5重量部である
ことが望ましい。前記範囲の上限より多くなっても、レ
ーザーの照射部分と非照射部分の間のコントラストの向
上は得られず、経済的観点から好ましくないだけでな
く、貯蔵安定性や、硬化後の物性の低下が起こる場合も
ある。前記範囲の下限よりも少ないとレーザーの照射部
分と非照射部分の間に、良好なコントラストが得られな
い。
The blending amount of tribromomethylphenyl sulfone in the photopolymerizable composition of the present invention is preferably 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the visible light curable resin. Even if it exceeds the upper limit of the above range, the contrast between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion cannot be improved, which is not preferable from an economical point of view, and also storage stability and deterioration of physical properties after curing. May occur. If it is less than the lower limit of the above range, good contrast cannot be obtained between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion.

【0037】本発明の光重合性組成物は、以上に述べ
た、可視光線硬化型樹脂、550〜700nmに最大吸
収波長を有する、ビクトリアピュアブルー、アントラキ
ノン染料、モノアゾ染料、メロシアニン染料、フタロシ
アニン染料の染料群から選ばれる少なくとも一種の染
料、4,4'−(フェニルメチレン)ビス[N,N−ジエ
チルベンゼンアミン]、トリブロモメチルフェニルスル
フォンを必須成分とするが、さらに必要に応じて、熱重
合禁止剤、密着促進剤、充填剤、可塑剤などの種々の添
加剤を含むことができる。
The photopolymerizable composition of the present invention comprises the above-mentioned visible light curable resin, Victoria Pure Blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye, and phthalocyanine dye having a maximum absorption wavelength of 550 to 700 nm. At least one dye selected from the dye group, 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine] and tribromomethylphenylsulfone are essential components, but if necessary, thermal polymerization is prohibited. Various additives such as agents, adhesion promoters, fillers and plasticizers can be included.

【0038】本発明の光重合性組成物は、印刷版、フォ
トレジスト等の用途に用いることができるが、特に有利
なのは、製版材料、フォトレジストなどの感光性画像形
成材料である。これらの用途においては、一般に本発明
の光重合性組成物を、溶媒に溶解した後、支持体に塗
布、乾燥して、皮膜を形成した後露光、硬化させて用い
られる。
The photopolymerizable composition of the present invention can be used for printing plates, photoresists and the like, and particularly advantageous are plate-making materials and photosensitive image forming materials such as photoresists. In these applications, the photopolymerizable composition of the present invention is generally used by dissolving it in a solvent, coating it on a support and drying it to form a film, then exposing and curing it.

【0039】本発明の光重合性組成物は、そのままでも
感光性を示すが、高い感度が要求される場合には、酸素
による重合阻害を防ぐために、真空脱気または窒素置換
下で露光するか、ポリビニルアルコールなどの皮膜を光
重合性組成物上に形成するか、または酸素透過性の低い
プラスチックフィルムを表面にラミネートして露光する
とよい。
The photopolymerizable composition of the present invention exhibits photosensitivity as it is, but when high sensitivity is required, it is exposed to vacuum deaeration or nitrogen substitution in order to prevent polymerization inhibition by oxygen. A film of polyvinyl alcohol or the like may be formed on the photopolymerizable composition, or a plastic film having low oxygen permeability may be laminated on the surface and exposed.

【0040】本発明の光重合性組成物は、波長約220
nmから550nmまで広がる分光感度分布を示すの
で、従来用いられてきた高圧水銀灯、キセノンランプ、
メタルハライドランプなどの光源で硬化させることが可
能である。但し、本発明の最大の特徴は、可視光レーザ
ー、例えばアルゴンイオンレーザーの発信波長に高い感
光性を有し、可視光レーザー、例えばアルゴンイオンレ
ーザーにより硬化可能で、しかもレーザーの照射部分と
非照射部分の間に、良好なコントラストを与える事にあ
るので、走査露光にあたっては、アルゴンイオンレーザ
ー等の可視光レーザーを用いるとよい。
The photopolymerizable composition of the present invention has a wavelength of about 220.
Since it exhibits a spectral sensitivity distribution that extends from nm to 550 nm, it has been used for high pressure mercury lamps, xenon lamps,
It can be cured with a light source such as a metal halide lamp. However, the greatest feature of the present invention is that it has a high photosensitivity to the emission wavelength of a visible light laser, for example, an argon ion laser, can be cured by a visible light laser, for example, an argon ion laser, and can be irradiated with a laser and not irradiated. Since a good contrast is given between the portions, a visible light laser such as an argon ion laser may be used for scanning exposure.

【0041】[0041]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。 (I)感光層(試験板)の作成 表1〜4に示す各組成からなる実施例1〜16の光重合
性組成物溶液を調合した。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below based on examples. (I) Preparation of photosensitive layer (test plate) The photopolymerizable composition solutions of Examples 1 to 16 having the respective compositions shown in Tables 1 to 4 were prepared.

【0042】[0042]

【表1】 [Table 1]

【0043】[0043]

【表2】 [Table 2]

【0044】[0044]

【表3】 [Table 3]

【0045】[0045]

【表4】 [Table 4]

【0046】尚、表中、架橋性単量体1〜4は以下に示
すものである。 ・架橋性単量体1・・・ポリエチレングリコールジアクリ
レート ・架橋性単量体2・・・ポリエチレングリコールジメタク
リレート ・架橋性単量体3・・・トリメチロールプロパントリエト
キシトリアクリエート ・架橋性単量体4・・・プロピレングリコールジグリシジ
ルエーテルジアクリレート
In the table, the crosslinkable monomers 1 to 4 are shown below. -Crosslinkable monomer 1 ... Polyethylene glycol diacrylate-Crosslinkable monomer 2 ... Polyethyleneglycol dimethacrylate-Crosslinkable monomer 3 ... Trimethylolpropane triethoxytriacrylate-Crosslinkable monomer Body 4: Propylene glycol diglycidyl ether diacrylate

【0047】表中、バインダー樹脂A,Bの重合単量体
組成(重量比)は次に示す通りである。 ・バインダー樹脂A・・・メタクリル酸/スチレン/メチ
ルアクリレート/メチルメタクリレート=20/10/
25/45 ・バインダー樹脂B・・・メタクリル酸/スチレン/メチ
ルアクリレート/メチルメタクリレート=20/0/2
0/60.0
In the table, the composition (weight ratio) of the polymerized monomers of the binder resins A and B is as shown below. Binder resin A ... Methacrylic acid / styrene / methyl acrylate / methyl methacrylate = 20/10 /
25/45 ・ Binder resin B ... Methacrylic acid / styrene / methyl acrylate / methyl methacrylate = 20/0/2
0 / 60.0

【0048】表2中、光重合開始剤である化合物Aは、In Table 2, Compound A, which is a photopolymerization initiator, is

【化15】 [Chemical 15]

【0049】化合物Bは、Compound B is

【化16】 [Chemical 16]

【0050】化合物Cは、Compound C is

【化17】 である。[Chemical 17] Is.

【0051】表中、染料1〜18は以下に示す通りであ
る。 ・染料1 ・・・ソルベントブルー 63 ・染料2 ・・・ソルベントブルー 266 ・染料3 ・・・ソルベントブルー 268 ・染料4 ・・・ディスパースブルー 354 ・染料5 ・・・ディスパースブルー 35 ・染料6 ・・・ディスパースブルー 36 ・染料7 ・・・ディスパースブルー 60 ・染料8 ・・・ディスパースブルー 73 ・染料9 ・・・ディスパースブルー 56 ・染料10・・・ソルベントブルー 83 ・染料11・・・ソルベントブルー 25 ・染料12・・・ソルベントブルー 14 ・染料13・・・ソルベントブルー 117 ・染料14・・・ソルベントブルー 111 ・染料15・・・ビクトリアピュアブルー ・染料16・・・マラカイトグリーン ・染料17・・・クリスタルバイオレット ・染料18・・・メチレンブルー
In the table, dyes 1 to 18 are as shown below.・ Dye 1 ・ ・ ・ Solvent Blue 63 ・ Dye 2 ・ ・ ・ Solvent Blue 266 ・ Dye 3 ・ ・ ・ Solvent Blue 268 ・ Dye 4 ・ ・ ・ Disperse Blue 354 ・ Dye 5 ・ ・ ・ Disperse Blue 35 ・ Dye 6・ ・ ・ Disperse Blue 36 ・ Dye 7 ・ ・ ・ Disperse Blue 60 ・ Dye 8 ・ ・ ・ Disperse Blue 73 ・ Dye 9 ・ ・ ・ Disperse Blue 56 ・ Dye 10 ・ ・ ・ Solvent Blue 83 ・ Dye 11 ・・ ・ Solvent Blue 25 ・ Dye 12 ・ ・ ・ Solvent Blue 14 ・ Dye 13 ・ ・ ・ Solvent Blue 117 ・ Dye 14 ・ ・ ・ Solvent Blue 111 ・ Dye 15 ・ ・ ・ Victoria Pure Blue ・ Dye 16 ・ ・ ・ Malachite Green ・Dye 17 ・ ・ ・ Crystal Violet ・ Dye 18 ・ ・ ・ Methyle Blue

【0052】表中、ロイコ染料1〜5は次に示すもので
ある。 ・ロイコ染料1・・・4,4'−(フェニルメチレン)ビス
[N,N−ジエチルベンゼンアミン] ・ロイコ染料2・・・ロイコクリスタルバイオレット ・ロイコ染料3・・・ロイコミリンググリーン ・ロイコ染料4・・・ロイコベイシックシアニン ・ロイコ染料5・・・ロイコマラカイトグリーン
In the table, leuco dyes 1 to 5 are as follows.・ Leuco dye 1 ・ ・ ・ 4,4 '-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzeneamine] ・ Leuco dye 2 ・ ・ ・ Leuco crystal violet ・ Leuco dye 3 ・ ・ ・ Leuco milling green ・ Leuco dye 4 ・..Leuco basic cyanine Leuco dye 5 ... Leucomara kite green

【0053】表中、ラジカル発生剤である化合物Dはト
リブロモメチルフェニルスルフォン、化合物Eは2,2'
−ビス(オルトクロロフェニル)4,5,4',5'−テト
ラフェニルビイミダゾールである。
In the table, compound D, which is a radical generator, is tribromomethylphenyl sulfone, and compound E is 2,2 '.
-Bis (orthochlorophenyl) 4,5,4 ', 5'-tetraphenylbiimidazole.

【0054】得られた組成物を、アプリケーターによ
り、25μmのポリエステルフイルム上に塗布した。つ
いで、60℃の乾燥器中で30分乾燥して、厚さ50μ
mの光重合性組成物層を得た。得られた光重合性組成物
層を、ポリエステルフィルム面を上にして銅張積層板上
に熱ラミネートし、試験板とした。
The obtained composition was applied onto a 25 μm polyester film by an applicator. Then, dry in a dryer at 60 ° C for 30 minutes to obtain a thickness of 50μ.
m photopolymerizable composition layer was obtained. The photopolymerizable composition layer thus obtained was heat-laminated on a copper clad laminate with the polyester film side facing up to obtain a test plate.

【0055】〔比較例〕実施例と同様にして、表5〜8
に示す各組成からなる比較例1〜11の光重合性組成物
を得て、試験板とした。
[Comparative Example] In the same manner as in Examples, Tables 5 to 8
The photopolymerizable compositions of Comparative Examples 1 to 11 having the respective compositions shown in Table 1 were obtained and used as test plates.

【0056】[0056]

【表5】 [Table 5]

【0057】[0057]

【表6】 [Table 6]

【0058】[0058]

【表7】 [Table 7]

【0059】[0059]

【表8】 [Table 8]

【0060】(II)走査露光感度の測定 日本電気製アルゴンレーザー(GLG3028)の48
8nmの出力を光源として、光学系を通してビーム径を
35μmに集光したレーザー光を、試験板上に走査露光
して、200μmのラインアンドスペースのパターンを
描画した。次いで、露光後30分間放置した後、ポリエ
ステルフィルムを剥離し、次に1%炭酸ナトリウム水溶
液を用いて、未硬化部分を溶解除去し、走査露光パター
ンを得た。スプレー圧、1.4kg/cm2、スプレーと
基板の距離、10cmとし、温度30℃の条件で40秒
間処理した。走査露光スピードを順次変化させて、走査
パターンの硬化部分の線幅を測定し、走査ライン幅と同
じ線幅の得られた走査露光スピードから、そのときの単
位面積当りの照射エネルギーを算出して、感度とした。
その結果を表9,10に示す。
(II) Measurement of Scanning Exposure Sensitivity 48 of NEC Argon Laser (GLG3028)
A laser beam having a beam diameter of 35 μm condensed through an optical system using an output of 8 nm as a light source was scan-exposed on a test plate to draw a 200 μm line-and-space pattern. Next, after leaving for 30 minutes after the exposure, the polyester film was peeled off, and then the uncured portion was dissolved and removed using a 1% sodium carbonate aqueous solution to obtain a scanning exposure pattern. The spray pressure was 1.4 kg / cm 2 , the distance between the spray and the substrate was 10 cm, and the treatment was performed at a temperature of 30 ° C. for 40 seconds. The line width of the cured part of the scanning pattern is measured by sequentially changing the scanning exposure speed, and the irradiation energy per unit area at that time is calculated from the obtained scanning exposure speed with the same line width as the scanning line width. , Sensitivity.
The results are shown in Tables 9 and 10.

【0061】[0061]

【表9】 [Table 9]

【0062】[0062]

【表10】 [Table 10]

【0063】表9に示す結果により、可視光線硬化型樹
脂と、550〜700nmに最大吸収波長を有する、ビ
クトリアピュアブルー、アントラキノン染料、モノアゾ
染料、メロシアニン染料、フタロシアニン染料の染料群
から選ばれた染料と、ロイコ染料である4,4'−(フェ
ニルメチレン)ビス[N,N−ジエチルベンゼンアミ
ン]と、ラジカル発生剤であるトリブロモメチルフェニ
ルスルフォンとを合わせて用いた実施例1〜16の光重
合性組成物は、可視光に対する高い感光性を有し、赤色
灯下において非照射部分と基板の間に良好なコントラス
トを与え、しかもレーザーの照射部分と非照射部分の間
に、良好なコントラストを与えることが確認された。ま
た、安定性も良好である。
Based on the results shown in Table 9, a visible light curable resin and a dye having a maximum absorption wavelength in the range of 550 to 700 nm, selected from the dye group of Victoria Pure Blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye and phthalocyanine dye. And the leuco dye 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine] and the radical generator tribromomethylphenylsulfone were used in combination for photopolymerization in Examples 1 to 16. The photosensitive composition has a high sensitivity to visible light, provides a good contrast between the non-irradiated portion and the substrate under a red lamp, and further provides a good contrast between the laser-irradiated portion and the non-irradiated portion. It was confirmed to give. In addition, stability is also good.

【0064】これに対し、表10によれば、染料として
550〜700nmに最大吸収波長を有する、ビクトリ
アピュアブルー、アントラキノン染料、モノアゾ染料、
メロシアニン染料、フタロシアニン染料の染料群から選
ばれた染料の配合されていない比較例1〜4の組成物に
おいて、染料の配合されていない比較例1の組成物はレ
ジストと銅面が赤色灯下で差異が認められず、染料とし
てマラカイトグリーンを配合した比較例2の組成物はレ
ジストと銅面が赤色灯下で差異が認められず、かつマラ
カイトグリーンが消色してしまった。また、染料として
クリスタルバイオレットを配合した比較例3の組成物で
は感度が非常に悪く、染料としてメチレンブルーを配合
した比較例4の組成物ではレジストと銅面が赤色灯下で
差異が認められず、かつメチレンブルーが消色してしま
った。
On the other hand, according to Table 10, Victoria Pure Blue, anthraquinone dye, monoazo dye, which has a maximum absorption wavelength at 550 to 700 nm as a dye,
In the compositions of Comparative Examples 1 to 4 in which a dye selected from the group of dyes of merocyanine dyes and phthalocyanine dyes is not blended, the composition of Comparative Example 1 in which no dye is blended has a resist and a copper surface under a red light. No difference was observed, and in the composition of Comparative Example 2 in which malachite green was blended as a dye, no difference was observed between the resist and the copper surface under red light, and malachite green was decolored. In addition, the composition of Comparative Example 3 containing crystal violet as the dye had very poor sensitivity, and the composition of Comparative Example 4 containing methylene blue as the dye showed no difference between the resist and the copper surface under red light. And the methylene blue has disappeared.

【0065】また、ロイコ染料として4,4'−(フェニ
ルメチレン)ビス[N,N−ジエチルベンゼンアミン]
の配合されていない比較例5〜9において、ロイコ染料
の配合されていない比較例5の組成物では、露光部と非
露光部が赤色灯において差異が認められず、ロイコ染料
としてロイコクリスタルバイオレットを配合した比較例
6の組成物では、露光部と非露光部が赤色灯において差
異が認められず、かつ感度が非常に悪く、ロイコクリス
タルバイオレットが発色してしまった。また、ロイコ染
料としてロイコミリンググリーンを配合した比較例7の
組成物では、露光部と非露光部が赤色灯において差異が
認められず、ロイコ染料としてロイコベイシックシアニ
ンを配合した比較例8の組成物では露光部と非露光部が
赤色灯においての差異が僅かであり、ロイコ染料として
ロイコマラカイトグリーンを配合した比較例9の組成物
では露光部と非露光部が赤色灯において差異が認められ
なかった。
As a leuco dye, 4,4 '-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine]
In Comparative Examples 5 to 9 in which the leuco dye is not blended, no difference is observed between the exposed portion and the unexposed portion in the red light, and the leuco crystal violet is used as the leuco dye. In the compounded composition of Comparative Example 6, no difference was observed between the exposed part and the unexposed part in the red light, and the sensitivity was very poor, and the leuco crystal violet was colored. Further, in the composition of Comparative Example 7 in which leuco milling green was blended as the leuco dye, no difference was observed between the exposed portion and the unexposed portion in the red lamp, and the composition of Comparative Example 8 in which leuco basic cyanine was blended as the leuco dye. The difference between the exposed part and the non-exposed part in the red lamp was slight, and the composition of Comparative Example 9 containing leuco malachite green as the leuco dye showed no difference in the exposed part and the non-exposed part in the red lamp. .

【0066】また、ラジカル発生剤としてトリブロモメ
チルフェニルスルフォンを配合しなかった比較例10,
11の組成物において、ラジカル発生剤を配合しなかっ
た比較例10の組成物では露光部と非露光部が赤色灯に
おいて差異が僅かであり、ラジカル発生剤として2,2'
−ビス(オルトクロロフェニル)4,5,4',5'−テト
ラフェニルビイミダゾールを配合した比較例11の組成
物では露光部と非露光部が赤色灯において目視ではっき
りとは認識できなかった。
Comparative Example 10 in which tribromomethylphenyl sulfone was not added as a radical generator,
In the composition of Comparative Example 11 in which the radical generator was not blended, the difference between the exposed portion and the non-exposed portion in the red lamp was small, and the radical generator was 2,2 ′.
In the composition of Comparative Example 11 in which -bis (orthochlorophenyl) 4,5,4 ', 5'-tetraphenylbiimidazole was blended, the exposed part and the unexposed part could not be clearly recognized visually by a red lamp.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上のように、本発明の光重合性組成物
は、400nmから700nmの可視光領域の光線を主
たる照射エネルギーとする可視光線硬化型樹脂100重
量部と、550〜700nmに最大吸収波長を有する、
ビクトリアピュアブルー、アントラキノン染料、モノア
ゾ染料、メロシアニン染料、フタロシアニン染料の染料
群から選ばれる少なくとも一種の染料を0.02〜0.5
重量部と、4,4'−(フェニルメチレン)ビス[N,N
−ジエチルベンゼンアミン]を0.1〜5重量部と、ト
リブロモメチルフェニルスルフォンを0.1〜5重量部
とを配合してなるものである。さらに、この光重合性組
成物において、可視光線硬化型樹脂が、光重合開始剤と
して、上記一般式(1)で表される化合物と、上記一般
式(4)で表わされる化合物とを含むものである。
As described above, the photopolymerizable composition of the present invention contains 100 parts by weight of a visible light curable resin whose main irradiation energy is light in the visible light region of 400 nm to 700 nm and a maximum of 550 to 700 nm. Have an absorption wavelength,
0.02 to 0.5 of at least one dye selected from the group consisting of Victoria Pure Blue, anthraquinone dye, monoazo dye, merocyanine dye, and phthalocyanine dye.
Parts by weight and 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N
-Diethylbenzenamine] in an amount of 0.1 to 5 parts by weight and tribromomethylphenyl sulfone in an amount of 0.1 to 5 parts by weight. Further, in this photopolymerizable composition, the visible light curable resin contains, as a photopolymerization initiator, a compound represented by the general formula (1) and a compound represented by the general formula (4). .

【0068】これら本発明の光重合性組成物は、可視光
線に対して高い感光性を有し、可視光レーザー、例えば
アルゴンイオンレーザーにより硬化可能で、赤色灯下に
おいて非照射部分と基板の間に良好なコントラストを与
え、しかもレーザーの照射部分と非照射部分の間に、良
好なコントラストを与える。よって、可視光レーザーを
用いるプリント配線板作成用レジスト、製版材料の用途
に用いると非常に有用である。
These photopolymerizable compositions of the present invention have high photosensitivity to visible light and can be cured by a visible light laser such as an argon ion laser. Good contrast, and good contrast between the laser-irradiated part and the non-irradiated part. Therefore, it is very useful when used as a resist for making a printed wiring board using a visible light laser and a plate-making material.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/038 505 H01L 21/027 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location G03F 7/038 505 H01L 21/027

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 400nmから700nmの可視光領域
の光線を主たる照射エネルギーとする可視光線硬化型樹
脂を100重量部と、550〜700nmに最大吸収波
長を有する、ビクトリアピュアブルー、アントラキノン
染料、モノアゾ染料、メロシアニン染料、フタロシアニ
ン染料の染料群から選ばれる少なくとも一種の染料を
0.02〜0.5重量部と、4,4'−(フェニルメチレ
ン)ビス[N,N−ジエチルベンゼンアミン]を0.1〜
5重量部と、トリブロモメチルフェニルスルフォンを
0.1〜5重量部とを配合してなる光重合性組成物。
1. Victoria pure blue, anthraquinone dye, monoazo dye having 100 parts by weight of a visible light curable resin whose main irradiation energy is light in the visible light region of 400 nm to 700 nm, and having a maximum absorption wavelength at 550 to 700 nm. 0.02 to 0.5 parts by weight of at least one dye selected from the group of dyes of merocyanine dyes and phthalocyanine dyes and 0.1 parts of 4,4 ′-(phenylmethylene) bis [N, N-diethylbenzenamine]. ~
A photopolymerizable composition comprising 5 parts by weight and 0.1 to 5 parts by weight of tribromomethylphenyl sulfone.
【請求項2】 請求項1記載の光重合性組成物におい
て、 可視光線硬化型樹脂が、光重合開始剤として、下記一般
式(1)で表される化合物と、下記一般式(4)で表わ
される化合物とを含むことを特徴とする光重合性組成
物。 【化1】 [式中、R1はそれぞれ独立して、非置換のまたはC1
6アルキルまたはC1〜C6アルコキシ置換のシクロペ
ンタジエニル-、インデニル-、または4,5,6,7,テト
ラヒドロインデニル-であるか、または連結して式
(2) 【化2】 (式中、R4及びR5はそれぞれ独立して水素またはメチ
ルである。)で示される基である。R2は6員の炭素環
状芳香族環または5員または6員の複素環状芳香族環で
あって、金属−炭素結合の2つのオルト位の少なくとも
一方が、弗素原子または−CF2R基(式中、Rは弗素
原子またはメチルである。)で置換されているものであ
る。R3は、R2と同様であるか、またはさらにハロゲン
原子、−OR6または−OR7(式中、R6は水素、C1
6アルキル、フェニル、アセチルまたはトリフルオロ
アセチルであり、R7はC1〜C6アルキルまたはフェニ
ルである。)であり、またはR2とR3が連結して式
(3) −Q−Y−Q− ・・・(3) (式中、Qは、6員の炭素環状芳香族基、または5員ま
たは6員の複素環状芳香族基であり、2つの結合の各々
がYに対してオルト位にあり、しかもYに対して各々メ
タ位が1個の弗素原子または1個の−CF2R基で置換
されているものであり、Yは直接結合、−O−,−S
−,−SO2−,−CO−,−CH2−または−C(CH
32−である。)で示される基であってもよい。] 【化3】 [式中、R8,R9,R10は各々独立して、水素原子、ク
ロル原子、低級アルコキシ基、低級ジアルキルアミノ
基、低級ジアルケニルアミノ基または、脂環式アミノ基
を表すか、または、連結して、置換または非置換の脂環
式アミノ基を表す。Xは、炭素及びヘテロ原子の総数が
5〜9個の置換または非置換の複素環基を表す。Zは、
水素原子またはアミノ基を表す。]
2. The photopolymerizable composition according to claim 1, wherein the visible light curable resin comprises a compound represented by the following general formula (1) as a photopolymerization initiator and a general formula (4) below. A photopolymerizable composition comprising the compound represented. [Chemical 1] [In the formula, each R 1 is independently an unsubstituted or C 1 to
C 6 alkyl or C 1 -C 6 alkoxy-substituted cyclopentadienyl -, indenyl -, or 4,5,6,7, tetrahydroindenyl - or where connection to Equation (2) ## STR2 ## (In the formula, R 4 and R 5 are each independently hydrogen or methyl.). R 2 is a 6-membered carbocyclic aromatic ring or a 5- or 6-membered heterocyclic aromatic ring, and at least one of the two ortho positions of the metal-carbon bond is a fluorine atom or a —CF 2 R group ( In the formula, R is a fluorine atom or methyl). R 3 is the same as R 2 or further a halogen atom, —OR 6 or —OR 7 (wherein R 6 is hydrogen, C 1 to
C 6 alkyl, phenyl, acetyl or trifluoroacetyl, R 7 is C 1 -C 6 alkyl or phenyl. ), Or R 2 and R 3 are linked to each other to form formula (3) -Q-Y-Q -... (3) (wherein, Q is a 6-membered carbocyclic aromatic group, or 5-membered). Or a 6-membered heterocyclic aromatic group in which each of the two bonds is in the ortho position with respect to Y, and each meta position with respect to Y has one fluorine atom or one —CF 2 R group. And Y is a direct bond, -O-, -S.
-, - SO 2 -, - CO -, - CH 2 - or -C (CH
3 ) 2- . ) May be a group represented by ] [Chemical 3] [Wherein R 8 , R 9 and R 10 each independently represent a hydrogen atom, a chloro atom, a lower alkoxy group, a lower dialkylamino group, a lower dialkenylamino group or an alicyclic amino group, or , And represents a substituted or unsubstituted alicyclic amino group. X represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 5 to 9 total carbon and hetero atoms. Z is
Represents a hydrogen atom or an amino group. ]
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