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JPH064324B2 - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

液体噴射記録ヘツド

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Publication number
JPH064324B2
JPH064324B2 JP59118332A JP11833284A JPH064324B2 JP H064324 B2 JPH064324 B2 JP H064324B2 JP 59118332 A JP59118332 A JP 59118332A JP 11833284 A JP11833284 A JP 11833284A JP H064324 B2 JPH064324 B2 JP H064324B2
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JP
Japan
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recording head
substrate
wiring
electrode
liquid
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雅実 池田
博和 小室
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Canon Inc
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は吐出口から飛翔液滴を吐出して記録を行なう液
体噴射記録ヘッドに関する。
[従来技術] 液体噴射記録装置は記録ヘッドの吐出口からインクなど
の液体を吐出して記録を行なうもので、この装置は記録
時における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さい
という点、高速記録が可能でありしかも所詮普通紙に定
着という特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点に
おいて、最近関心を集めている。
その中で、例えば、特開昭54-51875号公報、ドイツ公開
(DOLS)第2843064号公報に記載されている液体噴
射記録方法は、熱エネルギーを液体に作用させて、液滴
吐出の原動力を得るという点において他の液体噴射記録
法とは異なる特徴を有している。
すなわち、上記の公報に開示された記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急俊な体積の増大を伴う状態
変化を起こし、該状態変化に基づく作用力によって、記
録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて飛翔
的液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し、記録
が行われる。
殊に、DOLS第2843064号公報に開示されている液体
噴射記録法は、所詮、drop-on demand記録法に極めて有
効に適用されるばかりでなく、記録ヘッド部をFull lin
eタイプで高密度マルチオリフィス化された記録ヘッド
が容易に具現化できるので、高解像度,高品質の画像を
高速で得られるという特徴を有している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出するために設けられたオリフィスと該オリフィス
に連通し、液滴を吐出するための熱エネルギーが液体に
作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路
とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段と
して、電気熱変換体を具備している。
従来、このような液体噴射記録ヘッドを用いる記録装置
においては、記録ヘッドの電気熱変換体を駆動するため
の電気信号を供給する駆動回路部分を接続するためのフ
レキシブルな配線ケーブル部分まで、前記記録ヘッドの
配線部が同一基板内に延長されて設けられていた。該記
録ヘッドに、電気信号を導くためのフレキシブルケーブ
ルは、記録ヘッドに設けられた配線パッド部とフレキシ
ブルケーブルの接続パッド部を圧着するか、又は、ワイ
ヤーボンディング,半田付け,熱圧着接合などの方法で
相互に接合した後、記録ヘッドに固定されていた。
更に、液体噴射記録ヘッドの基板はそれぞれの目的に応
じた製品毎に、例えば電卓用プリンタなら2.5本/m
mで8本、ファクシミリ装置なら4本/mmで16本と
いうように、それぞれ配線、及び発熱抵抗体のパターン
を変えて製造されていた。
第1図には従来の液体噴射記録ヘッドの構造を示してあ
る。図において符号1で示すものは基板,2は電気信号
を導く電極,3は電気熱変換体を形成するところの発熱
抵抗体,4は液体から、電極発熱抵抗体を守るところの
保護膜,5は駆動回路と基板をつなぐところのフレキシ
ブルケーブルである。
このような従来型の液体噴射記録ヘッドにおいては、図
に符号6で示す領域のように配線の引き回し部分が多
く、それだけ、1ヘッドに対して必要な基板材料の量が
多くなってしまう。又、配線の中でも記録装置との電気
的接続が行われる部分は、電気的接続の確実性等を達成
するために配線幅を広くする必要があるため、この観点
からも1ヘッドに対して必要な基板材料の量が多くなっ
てしまっていた。そしてこの基板材料はSi等の高価な
材料を用いるため、この部分による記録ヘッドのコスト
アップはばかにならない。
また、この不用な部分による基板の大型化はエッチン
グ,スパッタ,蒸着等の工程のスループットを低減さ
せ、量産化を阻害する問題がある。
さらには、各製品毎にマスクが異なるため、エッチング
工程,スパッタ,蒸着工程が煩雑となり、作業ミス等に
よる歩留りが著しく悪化する。
また、この不用な部分においても必要な部分と同じ確率
で配線ショート,ブリッジ等が発生し、不用な部分であ
るにもかかわらず、その製品としての歩留りを劣化させ
る要因にもなる。
[目的] 本発明は以上のような従来の欠点を除去するために成さ
れたもので、高価格の基板材料を必要最小限に抑え、安
価な液体噴射記録ヘッドを提供することを目的としてい
る。
また、本発明の他の目的は、製造上の歩留りを上げ、製
造加工上に於る信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供
することにある。
本発明の他の目的は自由に分割し、記録ヘッドを構成す
ることが可能で、マルチオリフィス化した場合の量産性
の優れた記録ヘッドを提供するにある。
本発明の更に他の目的は記録ヘッドからの配線の引き出
し方法に自由度を与え、ヘッド形状も、基板形状によら
ず自由度の大きな設計を可能とする記録ヘッドを提供す
ることにある。
又、本発明の更に他の目的は、装置との接続によって発
熱素子が形成された基板が損傷することを防止できる液
体噴射記録ヘッドを提供することにある。
本発明においては、上記の目的を達成するために、液体
を吐出するための発熱素子と該発熱素子に電気信号を供
給するための配線電極とを有する基板と、一端に前記基
板の前記配線電極と電気的に接続される第1の接続部を
有し、他端に装置側と電気的に接続され前記第1の接続
部より幅が広い第2の接続部を有する配線電極が配され
た、前記装置側に接続され前記基板を支持するのに十分
な堅さを有する配線基板と、を有する液体噴射記録ヘッ
ドの構造を採用した。
[実施例] 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細を説明
する。
第2図以下は本発明の一実施例を説明するもので、第2
図(a),(b)にはヘッド基板が示されている。
第2図(a)は配線電極を折り返して形成した例を示
し、同図(b)は配線電極を折り返さない場合の例を示
す。
各図中符号21で示すものは基板で、Ci,Al,C
u,Fe等の金属あるいは半導体から形成されている。
本実施例の場合発熱素子と電気的な分離を行なうため、
絶縁層としてSiO,Al等の酸化物が基板上
に層として形成されている。
尚、基板を構成する材料としては上述したものの他にS
iO,ガラス,Al等の酸化物、AlN,Si
,BN等の窒化物あるいはSiC,FeC等の炭
化物であってもよい。
このような基板21上に発熱素子23と、これに対応し
た電気信号である電流供給用の配線電極22が形成され
る。
発熱素子の材料としてはHfB,ZrB等の硼化
物、TaN,AlN,TiN,H5N,ZrN等の窒化
物,SiC,TaC,WC,TiC等の炭化物およびT
a,W,Mo,Ti等の高融点金属類が選ばれる。
一方、配線電極22及び発熱素子23上にはこれらを液
体から守る保護層24が被覆される。
保護層の材料としては、SiO,Ta,Al
等の酸化物、Si,AlN等の窒化物、及
び、SiC等の炭化物及び、ダイヤモンド状カーボン等
が選ばれる。
また、配線電極22の材料としてはAl,Au,Cu,
Ta,W,Mo,Ag,Fe等の電気導体が用いられ
る。
26は基板を分割するためのカットラインであり、ダイ
シングソー,ダイヤモンドカッター,スクライビングマ
シン,レーザービーム等で形成する。
前記記録ヘッド基板上のパターンはすべて繰返しパター
ンであり、どの部分を取っても同じ形状である。従って
ノズル本数が異なり、ノズルピッチが同じである製品に
対して、その分割巾を変えることにより、、同一工程の
基板から自由に取り出すことが可能である。
第3図(a),(b)は、前記液体噴射記録ヘッドの他
のパターンを用いて作成した基板に、ノズル及び液室を
装着させた際の具体例を示す模式的斜視図である。
第3図(a)は吐出面が、記録ヘッドのエッヂ部分に設
けられたエッヂシューター型記録ヘッド第3図(b)は
吐出面が、記録ヘッドのサイド部分に設けられたサイド
シューター記録ヘッドである。
図中符号31は記録ヘッド部全体を示し、32は前記の
記録ヘッドの基板である。33は、液体を供給するため
の供給管34を装着し、液体を記録ヘッドに供給する部
分であるところの液体供給口であり、供給管34は、不
図示の液体タンクに連結されている。35は、液体を記
録ヘッド内に一時的に蓄える所の液室38と、液体をそ
れぞれの発熱素子へ供給する所のノズル37と、液滴を
記録媒体(不図示)へ飛翔させる所の吐出口36を形成
した記録液を封じこめるための天板である。
前記天板35は記録液に浸されても長期に渡って変化し
ない材料でかつ、加工性の良い材料が良い。
たとえば、ガラス,アルミナ等のセラミックスがあり、
これらをエッチング,切削加工することにより天板が形
成される。さらに、Au,Cu,SuS,Ni等の耐食
性金属であっても良く、これらはエッチング,エレクト
ロフォーミング等により形成される。
さらに、天板35は、有機樹脂であっても良く、この場
合はモールディング,エッチング等により形成される。
さらに、感光性のある樹脂,セラミックスを用いて、フ
ォトリソグラフィーにより形成しても良い。
これら、天板35,基板32,供給管34はそれぞれ接
着剤により接合され、液体噴射記録ヘッド部となる。
この時天板35は、記録ヘッドの外部と電気的接続を行
うための接続部である電極取出し部分39が外部に露出
する分だけ、基板32より小さい必要がある。従って、
基板を分割する際、基板の大きさは、天板35と接続部
である電極取出し部分39を合わせた以上のサイズで切
断しなければならない。また、液室38は、保護膜が電
極上に覆っている部分以内に設けなければならない。
第4図は、第3図(b)に示された液体噴射記録ヘッド
部が別の配線を設けた別の配線基板に接続されてなる記
録ヘッドユニットの斜視図を示す。
41は、前記第3図(b)に示した記録ヘッド基板42
を配線電極44を搭載した配線基板43に接着し、電極
接合部材45で記録ヘッド基板側の配線電極と配線基板
側の第1の接続部とが電気的に接続された所の記録ヘッ
ドユニットである。符号46は、配線基板の配線電極の
内、上述の第1の接続部より第4図に示されるごとく配
線幅が広い第2の接続部と電気的に接続されたプリンタ
ー本体と繋れる外部電極である。
前記配線基板43は、アルミナセラミック,SiC,ガ
ラス等の無機絶縁基板もしくは、金属板上に絶縁物をコ
ーティングした物質、例えば電気化学工業製のデンカH
ITTプレート,東京IC製のIMST基板等の装置側
に接続されるのに十分な堅さを有する基板でも良く、さ
らに樹脂等からなるいわゆるプリント基板であっても良
い。このように配線基板として装置側に接続されるのに
十分な強度を有する材料を用いることで、装置側に確実
に接続させることができる。
さらに配線電極44はAu,Cu,Ag,Al,Fe等
の導電性の良い金属であれば良く、その形成法はスピン
コート,蒸着,クラッド,接着等の後、エッチングによ
り所望のパターンに形成したり、スクリーン印刷により
パターン化した後、焼成して形成しても良い。
記録ヘッド部と、別の基板43を電気的に接続する部材
45は、Al及びAu線からなり、いわゆるワイヤーボ
ンディング法によって接続した。
このようにして本発明の記録ヘッドを形成した。
ところで、本発明の記録ヘッドは、電気的接続部分の封
止を行った方が、耐久性,信頼性の向上のうえでさらに
優れた記録ヘッドとなる。第5図および第6図にその例
を示す。
第5図は前記のエッヂシューター型記録ヘッドの実施
例、第6図は前記のサイドシューター型記録ヘッドの実
施例である。
そして、第5図(a)第6図(a)は記録ヘッドユニッ
ト51の上部に他の封上部材52を接着剤53により接
着することによって形成したものであり、この部材はプ
ラスチック,金属,セラミックス等からなる。
また、第5図(b)第6図(b)は記録ヘッドユニット
の配線を完全に覆うように封止剤54で形成した記録ヘ
ッドである。この形態の記録ヘッドにおいては記録ヘッ
ド部側の電極を外部接続電極部材46に直接ボンディン
グし、その後、全体を樹膨封止することによって形成し
ても良い。
このように、完全封止を行なう場合封止剤は流動性があ
り、硬化させることが可能な絶縁材料が良く、例えば、
エポキシ樹脂,フェノール樹脂,シリコーン樹脂,等の
有機材料が好ましい。
また、本発明はシリアルタイププリンターに用いる小型
液体噴射記録ヘッドだけでなく、第7図に示すようなラ
インタイプのプリンターに用いる、フルマルチ型液体噴
射記録ヘッドにおいても、その効果は充分に生かされる
ものである。
第7図において符号71は本発明による記録ヘッド73
を並列に基板72上に接着し、コモン電極75と個別電
極74とをボンディングワイヤ76によって電気的にも
接続してある。
また、符号77は個別電極側の駆動時の電流方向を一方
向に保つための整流素子アレイである。本記録ヘッドユ
ニツトの個別電極はコンパクト化のため重なり合うよう
に設定されているが、それぞれが積重されなくても良
い。
さらに、コンパクト化のためには基板上に多層の配線で
設けても良い。また、この個別電極は、フレキシブルプ
リント板のようなさらなる別部材を用いても良い。
[効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、液体
噴射記録ヘッドにおいて、液体を吐出するための発熱素
子と該発熱素子に電気信号を供給するための配線電極と
を有する基板と、一端に前記基板の前記配線電極と電気
的に接続される第1の接続部を有し、他端に装置側と電
気的に接続され前記第1の接続部より幅が広い第2の接
続部を有する配線電極が配された、前記装置側に接続さ
れ前記基板を支持するのに十分な堅さを有する配線基板
と、を有する構造を採用したので、基板から装置側への
配線電極の引き回しを基板上でなす必要がないため高価
な基板材料の使用量を少なくでき、安価な液体噴射記録
ヘッドを提供できる。
また、基板材料の使用量を増加させることなく、装置側
との電気的接続部(第2の接続部)の配線電極幅を基板
側との電気的接続部(第1の接続部)の配線電極幅より
広くすることができるため、低コストで確実な電気的接
続をなすことができ、製造上の歩留りを上げ、信頼性の
高い液体噴射記録ヘッドを提供することができる。
さらに、装置との接続が接続に十分な強度を有する配線
基板に対してなされるため確実に接続を行なうことがで
き、また、発熱素子が配された基板と直接行なわれるこ
とがないため、素子基板を損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の液体噴射記録ヘッドを説明するための記
録ヘッドの平面図、第2図(a),(b)は本発明の記
録ヘッドを説明するための記録ヘッド基板部分のそれぞ
れ異なった例を示す平面図、第3図(a),(b)は本
発明の記録ヘッドを説明するための記録ヘッド部のそれ
ぞれ異なった例を示す斜視図、第4図は本発明の記録ヘ
ッドユニツト部を説明するための斜視図、第5図
(a),(b)、第6図(a),(b)は本発明の記録
ヘッドの他の構造例を説明するための断面図、第7図は
本発明を適用した他の構造例を説明するための記録ヘッ
ドの斜視図である。 21…基板、22…電極 23…発熱素子、24…保護層 26…カットライン 31,42,73…記録ヘッド部 32…記録ヘッド基板 33…供給口、34…供給管 35…天板、36…吐出口 37…ノズル、38…液室 39…電極取出し部 41,51,71…記録ヘッドユニット 43,72…基板、44…電極 45,76…電極接続部材 46…外部取出し電極 52,54…封止部材 53…接着剤、74…個別電極 75…共通電極、77…ダイオードアレイ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】液体を吐出するための発熱素子と該発熱素
    子に電気信号を供給するための配線電極とを有する基板
    と、 一端に前記基板の前記配線電極と電気的に接続される第
    1の接続部を有し、他端に装置側と電気的に接続され前
    記第1の接続部より幅が広い第2の接続部を有する配線
    電極が配された、前記装置側に接続され前記基板を支持
    するのに十分な堅さを有する配線基板と、を有すること
    を特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  2. 【請求項2】前記第2の接続部には前記装置側との電気
    的接続と共に機械的接続を行うための外部電極が配され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の液
    体噴射記録ヘッド。
JP59118332A 1984-06-11 1984-06-11 液体噴射記録ヘツド Expired - Lifetime JPH064324B2 (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59118332A JPH064324B2 (ja) 1984-06-11 1984-06-11 液体噴射記録ヘツド
DE19853520703 DE3520703A1 (de) 1984-06-11 1985-06-10 Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf und verfahren zu dessen herstellung
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Applications Claiming Priority (1)

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JP59118332A JPH064324B2 (ja) 1984-06-11 1984-06-11 液体噴射記録ヘツド

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JPS60262657A JPS60262657A (ja) 1985-12-26
JPH064324B2 true JPH064324B2 (ja) 1994-01-19

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