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JPH063994B2 - 複数台デイジタルサーボの制御方法 - Google Patents

複数台デイジタルサーボの制御方法

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JPH063994B2
JPH063994B2 JP59208208A JP20820884A JPH063994B2 JP H063994 B2 JPH063994 B2 JP H063994B2 JP 59208208 A JP59208208 A JP 59208208A JP 20820884 A JP20820884 A JP 20820884A JP H063994 B2 JPH063994 B2 JP H063994B2
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JP
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axis
speed
control
position control
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三四郎 小原
謙二 久保
正彦 渡辺
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Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はロボット、工作機械などのように多くの駆動軸
を駆動する電動機の位置,速度制御を1台のマイクロプ
ロセッサで行なうに好適な複数台ディジタルサーボの制
御方法に関する。
〔発明の背景〕
ロボット,工作機械などのように多くの駆動軸をもつ機
械を駆動するためには複数台の電動機を同時に制御する
必要がある。電動機はそれぞれサーボ駆動される。サー
ボ系による軸位置制御を行うには軸位置制御手段として
通常マイクロプロセッサが用いられている。このことは
例えば雑誌「日立評論」第64巻,第12号の第5〜1
0頁に記載されている。
ところで、従来,多軸のサーボ系は1軸のサーボ系を組
合せて構成している。しかし、近年、高性能化や低コス
ト化が要求されるようになり、必ずしも最適な構成とい
えなくなってきている。このため、複数個のサーボ系に
共通の多軸位置制御手段を用いて制御することが考えら
れている。その一例を簡単に説明する。
多軸位置制御手段(マイクロコンピュータ)は各軸の位
置指令値を各軸毎に検出した位置検出値を入力して各軸
の速度指令値を演算により求めている。多軸位置制御手
段で求めた各軸の速度指令値は各軸毎に設けられている
速度制御回路に与えられる。各軸の速度制御回路は各軸
毎に設けられている速度検出器からの速度検出値と速度
指令値を比較して各軸毎に電流指令値(トルク指令値)
を出力する。電流指令値は電流制御回路に与えられる。
各軸の電流制御回路は電流指令値と各軸電動機電流検出
値をそれぞれ比較し、電動機に電力を供給する電力変換
器を制御する。このようにして電動機へ電圧を印加する
ことによって、電流,速度を制御しつつ位置制御を実行
する。
以上、多軸位置制御を行うディジタルサーボ制御位置に
ついて簡単に説明したが、次のような問題点を有する。
まず、サーボ用電動機として直流電動機だけでなく誘導
電動機,同期電動機などの各種の電動機が用いられるよ
うになっている、多軸の場合、電動機の機種を変更する
ことがある。この場合、通常速度制御回路は電動機の機
種によって異なるので、速度制御回路、電流制御回路、
電力変換器を含むサーボ駆動系を交換しなければならな
い。このため、経済的に得策でない。また、速度制御回
路自体もディジタル化することが成されているのに各軸
毎に設けるのは経済的でない。
一方、各軸毎に速度検出器と位置検出器を設けているの
で高価となる。また、近年は位置検出器の位置信号で位
置検出を行うようになってきており、技術動向に合った
ものといえない。
また、1台のマイクロプロセッサで速度制御をマイナー
ループに含む位置制御を複数台の電動機にわたって多軸
制御する場合には、高速なマイクロプロセッサを使用す
るか、割り込み周期を大きくしなければならない(応答
特性の劣化)という問題を有する。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、マイクロプロセッサの割込みオーバー
ヘッド(むだ時間)を減少させることにより、同時に制
御できる電動機の数を多くすることにできる複数台ディ
ジタルサーボの制御方法を提供するにある。
〔発明の概要〕
本発明の特徴は、複数台の電動機毎の位置制御を速度制
御を1台のマイクロプロセッサで行い、マイクロプロセ
ッサは一定周期毎に与えられる割り込み信号によって位
置制御の演算と速度制御の演算を行うようにした複数台
ディジタルサーボの制御方法において、マイクロプロセ
ッサは前記割り込み信号を与えられ割り込み一周期内に
1台の電動機の位置制御演算と全ての電動機の速度制御
演算を行うとともに、前記割り込み信号毎に前記複数台
の電動機の位置制御演算を順次1台づつ行なうようにし
たことにある。
〔発明の実施例〕
以下、本発明により複数台の電動機を制御する一実施例
を第1図から第7図を用いて説明する。
第1図は本発明を実施するところの多軸位置制御装置で
あり、4軸制御の例を示す。第1図において、多軸位置
指令回路1は各軸の位置指令信号Xe1〜Xe4を出力
しディジタル式多軸位置制御装置31に加える。多軸位
置制御装置31としてはマイクロコンピュータが用いら
れる。多軸位置制御装置31は第2図に示すように、マ
イクロプロセッサ46、リードオンメモリ(ROM)4
7、ランダムアクセスメモリ(RAM)48、一定時間
の割込パルスを発生するタイマー49、4個のディジタ
ル−アナログ変換器(D/A変換器)50〜53、4個
のカウンタ54〜57から構成される。多軸位置制御装
置31の出力する電流指令信号(トルク指令信号)I
e1〜Ie4はトルク制御装置32〜35の入力とな
る。トルク制御装置32は電流制御回路37、駆動回路
38、直流電動機39および電流検出器44から構成さ
れる。なお、第1図の実施例においては直流電動機39
を軸のトルクを制御するという観点からトルク制御装置
に含ませている。駆動回路38は第3図に示すようにパ
ルス幅変調回路60、4個のトランジスタTrのベース
信号を発生するベースドライブ回路61、各トランジス
タTrと逆並列に接続されているダイオードDおよび直
流電源Bから構成される。直流電動機39にはインクリ
メンタルエンコーダ40が機械的に結合されている。ト
ルク制御装置33〜35の各直流電動機にも同様にエン
コーダ41〜43が結合されている。エンコーダ40〜
43の出力パルスE〜Eは多軸位置検出装置36の
入力となる。多軸位置検出装置36は第2図のように、
4個のアップダウンカウンタ54〜57から成りそれぞ
れエンコーダ40〜43の出力パルスE〜Eを計数
する。
以下、その動作を第4図に示すタイムチャートおよび第
5〜7図に示すフローチャートを用いて説明する。
タイマー49が一定時間(例えば1mS)T毎に発生す
る割込パルスを発生するとマイクロコンピュータ46は
第5図の処理を実行する。最初に、ブロック101で軸
目の位置制御APR−iを実行する。ただし、iは1〜
4の数字であり、各軸の番号を示している。例えば、i
=1のときは1軸目の位置制御APRを行う。ブロック
101の処理内容の詳細を第6図に示す。ブロック11
1においてマイクロプロセッサ46が多軸位置指令回路
1からi軸の位置指令Xeiとを取り込む。次に、多軸
位置検出装置36のi番目のカウンタ(例えば、i=1
のときはカウンタ54、i=2のときはカウンタ55)
から位置検出値Xfiを取り込む。ブロック113では
位置指令信号Xeiと検出値Xfiを用いて速度指令値
eiを計算する。位置制御の補償として比例補償を用
いる場合には、比例ゲインをKpiとすると次式により
速度指令値Neiを計算する。
ei=Kpi(Xei−Xfi)……(1) このようにして求められたi軸の速度指令値NeiはR
AM48の所定番地に格納される。そして、軸指定の変
更を行うためにiに1を加える。ただし、結果がi=5
の場合にはi=1とする。これら、iの変更をブロック
115で実行する。これら111〜115の処理から成
る位置制御APR−iの処理が終了すると、第5図にお
けるブロック102〜105の速度制御処理が実行され
る。各ブロックは軸が異なるだけで、その処理内容は同
じである。そのフローチャートを第7図に示す。第7図
における添字jは軸の番号を示す。最初に、ブロック1
21でRAM48の所定番地に格納されているj軸の速
度指令値Nejを取り出す。ブロック122では速度検
出値Nfjを求める。即ち、j軸目のカウンタ、例えば
1軸目の場合にはカウンタ54から現時点の位置検出値
fj(t)を取り込み、前回のブロック122の処理中
に取り込んでいた位置検出値Xfj(t-T)との差を求め
る。これを式に示すと(2)式のようになる。
ここで、Tは割込周期で一定である。
このような演算をした後に、Xfj(t)を次回の速度検
出に用いるためにRAM48のXfj(t-T)のエリアに
格納する。ここまでの処理をブロック122で実行す
る。
このようにして得られた速度指令値Nejと速度指令値
fjを用いた電流指令値Iejの計算をブロック12
3で行う。例えば、速度制御の補償要素としてゲイン補
償を用いると次式のようにして求める。
ej=Ksj(Nej−Nfj)……(3) このようにして得られた電流指令値IejはD/A変換
器50〜53のいずれかに出力される。今、ブロック1
02の処理であれば、D/A変換器50が選ばれ、電流
指令値Ie1がアナログ量として出力される。電流指令
値Ie1はトルク制御装置32に加えられる。電流指令
値Ie1は第3図に示すように電流制御回路37に入力
される。そして、パルス幅変調回路60、ベースドライ
ブ回路61を介して4個のトランジスタTrを動作さ
せ、所望の電流を直流電動機39に供給する。電動機3
9に流れた実際の電流は電流検出器44で検出され、電
流制御のためのフィードバック信号If1となる。なお
直流電動機39に結合されているエンコーダ40は、そ
の回転角に応じたパルスを発生する。このパルスはカウ
ンタ54で計数され、位置検出値Xf1と速度検出値N
f1を得るのに使用される。このようにして、1軸目の
直流電動機39で駆動される移動体の位置制御が行われ
る。
マイクロプロセッサ46では、1軸目の速度制御演算処
理ASR1を実行した後、引き続いて2軸から4軸の速
度制御演算処理ASR2〜ASR4を実行し、各軸の電
流指令値Ie2〜Ie4をD/A変換器51〜53に設
定していく。このように、マイクロプロセッサ46は割
込周期Tの間に特定の1つの軸の位置制御演算APR−
iと、全ての軸の速度制御演算をASR−jを実行す
る。その動作をタイムチャートで示すと第4図のように
なり、このタイムチャートで示した多軸のAPRとAS
Rの動作を1台のマイクロプロセッサで行なうことが本
発明の特徴とするところである。
〔発明の効果〕
以上、本発明によれば、複数台ディジタルサーボの制御
において、割り込み一周期内に1台の電動機の位置制御
演算と複数の電動機の速度制御演算を行うようにしたこ
とにより、マイクロプロセッサの割込みオーバーヘッド
(むだ時間)を減少させることができるので、同時に制
御できる電動機の数を多くすることにできるという効果
が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を実施する上で用いられる複数台ディジ
タルサーボの制御装置を示すブロック構成図、第2図は
第1図における多軸位置制御装置と多軸位置検出装置の
一例構成図、第3図は第1図におけるトルク制御装置の
一例回路図、第4図〜第7図は本発明に係わるもので、
第1図に示したマイクロプロセッサの動作タイムチャー
ト及び動作を示すフローチャートである。 1…多軸位置指令発生回路、31…多軸位置制御装置、
36…多軸位置検出装置、32〜35
フロントページの続き (72)発明者 久保 謙二 茨城県日立市幸町3丁目1番1号 株式会 社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 渡辺 正彦 茨城県日立市幸町3丁目1番1号 株式会 社日立製作所日立研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−161708(JP,A) 特開 昭57−147717(JP,A) 特公 昭48−28614(JP,B1) 特公 昭56−6002(JP,B2)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数台の電動機毎の位置制御と速度制御を
    1台のマイクロプロセッサで行い、該マイクロプロセッ
    サは一定周期毎に与えられる割り込み信号によって前記
    位置制御の演算と速度制御の演算を行うようにした複数
    台ディジタルサーボの制御方法において、 前記マイクロプロセッサは前記割り込み信号を与えられ
    た割り込み一周期内に1台の前記電動機の位置制御演算
    と全ての電動機の速度制御演算を行うとともに、 前記割り込み信号毎に前記複数台の電動機の位置制御演
    算を順次1台づつ行なうようにしたことを特徴とする複
    数台ディジタルサーボの制御方法。
JP59208208A 1984-10-05 1984-10-05 複数台デイジタルサーボの制御方法 Expired - Lifetime JPH063994B2 (ja)

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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61163404A (ja) * 1985-01-12 1986-07-24 Fanuc Ltd サ−ボコントロ−ラのインタフエイス方式
GB8520123D0 (en) * 1985-08-10 1985-09-18 Wood E Remote control servo system
JP2638594B2 (ja) * 1986-11-08 1997-08-06 フアナツク株式会社 デイジタルサーボシステム
JPS63245388A (ja) * 1987-03-30 1988-10-12 フアナツク株式会社 産業ロボットにおける運動の阻害事態の警報装置
JPS63314606A (ja) * 1987-06-18 1988-12-22 Fanuc Ltd 多関節ロボットの制御装置
JP2635332B2 (ja) * 1987-09-14 1997-07-30 ファナック 株式会社 機械加工におけるスピンドルモータと送り用サーボモータとの同期制御方法
JPH01116704A (ja) * 1987-10-30 1989-05-09 Fanuc Ltd 産業ロボットの動作制御方式
US5047700A (en) * 1988-03-23 1991-09-10 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Universal computer control system for motors
JPH02146602A (ja) * 1988-08-11 1990-06-05 Fanuc Ltd サーボモータにより駆動される被駆動体の衝突検出・停出方法
US5144211A (en) * 1989-01-31 1992-09-01 Staubli International Ag Multiaxis robot controller having workpoint torque control
JP2997036B2 (ja) * 1990-11-30 2000-01-11 本田技研工業株式会社 脚式移動ロボットの歩行制御装置
JP3078009B2 (ja) * 1990-11-30 2000-08-21 本田技研工業株式会社 脚式移動ロボットの歩行制御装置
JP2716270B2 (ja) * 1990-12-27 1998-02-18 株式会社日立製作所 マニピュレ−タ
EP0543034B2 (de) * 1991-11-16 2001-09-05 Tornos-Bechler SA Verfahren zum Betrieb einer numerisch gesteuerten Werkzeugmaschine und Werkzeugmaschine zur Ausübung des Verfahrens
JP3331734B2 (ja) * 1993-05-18 2002-10-07 株式会社明電舎 回転電機の制御方式
US5463296A (en) * 1993-06-30 1995-10-31 Allen-Bradley Company, Inc. Motion controller with remote linking
JPH0828990B2 (ja) * 1993-09-03 1996-03-21 株式会社日立製作所 ディジタルサーボ制御装置
KR19980041620A (ko) * 1996-11-30 1998-08-17 이해규 건설 기계의 제어시스템
US6727079B1 (en) 1998-02-25 2004-04-27 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services cDNA encoding a gene BOG (B5T Over-expressed Gene) and its protein product
US6252367B1 (en) * 1999-01-11 2001-06-26 Fanuc Ltd. Servo controller
CN1119728C (zh) * 1999-03-18 2003-08-27 财团法人工业技术研究院 可控制多轴转动位置的集成电路
EP1255430B1 (en) * 2000-01-17 2008-07-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Positioning control method and positioning control device, and electronic part mounting device using this
ES2332402T5 (es) 2000-10-12 2018-05-14 Genentech, Inc. Formulaciones de proteína concentradas de viscosidad reducida
US7145300B2 (en) * 2003-05-05 2006-12-05 International Rectifier Corporation Multi-axis AC servo control system and method
US8876453B2 (en) * 2010-01-12 2014-11-04 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device
JP5750351B2 (ja) * 2011-09-30 2015-07-22 国際計測器株式会社 ねじり試験機
TWI555979B (zh) * 2011-09-30 2016-11-01 國際計測器股份有限公司 扭轉測試裝置
CN108957803B (zh) * 2018-07-26 2020-08-07 武汉华星光电技术有限公司 打码异常判断方法方法、装置、存储介质及终端

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4828614A (ja) * 1971-07-28 1973-04-16
JPS54106776A (en) * 1978-02-10 1979-08-22 Fanuc Ltd Positioning device
JPS566002A (en) * 1979-06-25 1981-01-22 Minoru Sasaki Sealing mechanism for rotary internal combustion engine and rotary engine
US4383209A (en) * 1980-10-15 1983-05-10 Minnesota Mining And Manufacturing Company Control system for transducer positioning motor
US4415967A (en) * 1981-06-02 1983-11-15 Automation Industries, Inc. Multi-axis controller
JPS58123394A (ja) * 1982-01-18 1983-07-22 Hitachi Ltd 交流電動機の制御装置
JPS59114609A (ja) * 1982-12-22 1984-07-02 Hitachi Ltd ロボットの制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0177060B1 (en) 1991-08-28
DE3583909D1 (de) 1991-10-02
US4712052A (en) 1987-12-08
JPS6188782A (ja) 1986-05-07
EP0177060A1 (en) 1986-04-09

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