JPH06320092A - 乾燥固化性液状物滴下用ノズル - Google Patents
乾燥固化性液状物滴下用ノズルInfo
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- JPH06320092A JPH06320092A JP11580593A JP11580593A JPH06320092A JP H06320092 A JPH06320092 A JP H06320092A JP 11580593 A JP11580593 A JP 11580593A JP 11580593 A JP11580593 A JP 11580593A JP H06320092 A JPH06320092 A JP H06320092A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 27
- 238000001035 drying Methods 0.000 title abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 19
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 先端から流下させる乾燥固化性液状物が先端
部に付着、固化することのないノズルを提供する。 【構成】 ノズル先端部の外周面を先端に向かって縮幅
するように傾斜させ、管の軸線に垂直な先端面の面積を
可能な限り小さく設定した。
部に付着、固化することのないノズルを提供する。 【構成】 ノズル先端部の外周面を先端に向かって縮幅
するように傾斜させ、管の軸線に垂直な先端面の面積を
可能な限り小さく設定した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】乾燥固化性液状物をディスクの表
面に均一に塗布するために、回転中のディスク表面上に
乾燥固化性液状物を適性に滴下するノズルに関するもの
である。
面に均一に塗布するために、回転中のディスク表面上に
乾燥固化性液状物を適性に滴下するノズルに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ディスクの表面に乾燥固
化性液状物を均一に塗布するスピンコーターは、ディス
クを載置、固定して回転する水平ターンテーブルと、こ
のターンテーブルを必要に応じて低速および高速に回転
させる回転駆動部と、前記ディスク表面上に乾燥固化性
液状部を滴下するために前記ターンテーブルの上方に設
置されているノズルと、を少なくとも有している。
化性液状物を均一に塗布するスピンコーターは、ディス
クを載置、固定して回転する水平ターンテーブルと、こ
のターンテーブルを必要に応じて低速および高速に回転
させる回転駆動部と、前記ディスク表面上に乾燥固化性
液状部を滴下するために前記ターンテーブルの上方に設
置されているノズルと、を少なくとも有している。
【０００３】前記乾燥固化性液状物のディスクへの塗布
は、まず、ターンテーブル上にディスクを載置し、低速
回転させる。次に、低速回転しているディスクの表面上
の中央部分にノズルから乾燥固化性液状物を適量滴下す
る。ディスク表面の中央部分に周辺に沿って乾燥固化性
液状物が適量滴下されたら、ターンテーブルを高速に回
転させる。この高速回転によってディスク表面上の乾燥
固化性液状物をディスク表面に均一に引き延ばして、塗
布を完了する。
は、まず、ターンテーブル上にディスクを載置し、低速
回転させる。次に、低速回転しているディスクの表面上
の中央部分にノズルから乾燥固化性液状物を適量滴下す
る。ディスク表面の中央部分に周辺に沿って乾燥固化性
液状物が適量滴下されたら、ターンテーブルを高速に回
転させる。この高速回転によってディスク表面上の乾燥
固化性液状物をディスク表面に均一に引き延ばして、塗
布を完了する。
【０００４】このように、ディスクの回転中にディスク
表面上に乾燥固化性液状物を滴下するノズルは、従来、
図３に側断面図で示すように、ステンレス製またはテフ
ロン製の、例えば、内径約１. ０ｍｍ、外形約２. ０ｍ
ｍの単なる細管１から構成されており、その先端は軸線
Ｖ方向に垂直に切断されて形成されたもので、軸線Ｖ方
向に、換言すれば、液状物の流出、滴下方向に垂直な先
端面２を有している。このノズルを構成する細管１は、
図に示すように、図示しないターンテーブル上のディス
ク３の表面に対して垂直となるように、設置されてい
る。
表面上に乾燥固化性液状物を滴下するノズルは、従来、
図３に側断面図で示すように、ステンレス製またはテフ
ロン製の、例えば、内径約１. ０ｍｍ、外形約２. ０ｍ
ｍの単なる細管１から構成されており、その先端は軸線
Ｖ方向に垂直に切断されて形成されたもので、軸線Ｖ方
向に、換言すれば、液状物の流出、滴下方向に垂直な先
端面２を有している。このノズルを構成する細管１は、
図に示すように、図示しないターンテーブル上のディス
ク３の表面に対して垂直となるように、設置されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような形状の従来
のノズルにより回転中のディスク３の表面上に乾燥固化
性液状物Ｍを滴下する場合、ノズルの先端面２近傍で微
小な乱流が発生し、この乱流によって液状物Ｍの微小量
が先端面に付着する現象が生じる。さらに、ディスク３
は回転状態にあるため、ディスク３の表面に一旦到達し
た液状物Ｍの一部が、前記ディスク３の回転に伴って生
じる上昇気流により、巻き上げられ、やはり、ノズルの
前記先端面２に付着する現象が生じる。その結果、図４
に側断面図で示すように、ノズルの先端面２に液状物Ｍ
の有意な量が付着してしまう。このようにノズルの先端
面２に付着した液状物Ｍは、その性質上、経時的に乾燥
し、固化する。そして、固化後のある時点で固化物Ｍｃ
が先端面２から剥離し、ディスク３の表面に落下し、デ
ィスク３の表面コーティング品質を悪化させる。さら
に、このような液状物Ｍの付着、固化、剥離、落下現象
は、ノズルの先端面２ばかりでなく、先端内周面にも生
じることがある。このような好ましからざる現象は、ノ
ズルの設置角度がディスク面に対して垂直でない場合に
は、顕著に発生する。
のノズルにより回転中のディスク３の表面上に乾燥固化
性液状物Ｍを滴下する場合、ノズルの先端面２近傍で微
小な乱流が発生し、この乱流によって液状物Ｍの微小量
が先端面に付着する現象が生じる。さらに、ディスク３
は回転状態にあるため、ディスク３の表面に一旦到達し
た液状物Ｍの一部が、前記ディスク３の回転に伴って生
じる上昇気流により、巻き上げられ、やはり、ノズルの
前記先端面２に付着する現象が生じる。その結果、図４
に側断面図で示すように、ノズルの先端面２に液状物Ｍ
の有意な量が付着してしまう。このようにノズルの先端
面２に付着した液状物Ｍは、その性質上、経時的に乾燥
し、固化する。そして、固化後のある時点で固化物Ｍｃ
が先端面２から剥離し、ディスク３の表面に落下し、デ
ィスク３の表面コーティング品質を悪化させる。さら
に、このような液状物Ｍの付着、固化、剥離、落下現象
は、ノズルの先端面２ばかりでなく、先端内周面にも生
じることがある。このような好ましからざる現象は、ノ
ズルの設置角度がディスク面に対して垂直でない場合に
は、顕著に発生する。
【０００６】したがって、本発明の課題は、先端部に乾
燥固化性液状物が付着し、固化することがないノズルを
提供することにある。
燥固化性液状物が付着し、固化することがないノズルを
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために、本発明のノズルは、その先端部の外周面を先
端に向かって縮幅するように傾斜させ、管の軸線に垂直
な先端面の面積を可能な限り小さく設定したことを特徴
とする。
るために、本発明のノズルは、その先端部の外周面を先
端に向かって縮幅するように傾斜させ、管の軸線に垂直
な先端面の面積を可能な限り小さく設定したことを特徴
とする。
【０００８】この構成において、さらに、先端部の内周
面を先端に向かって拡幅するように傾斜させてもよい。
面を先端に向かって拡幅するように傾斜させてもよい。
【０００９】また、この構成において、前記先端部の傾
斜外周面の管の軸線に対する傾斜角度は、４５度以下で
あることが望ましく。前記先端部の傾斜内周面の管の軸
線に対する傾斜角度も、４５度以下であることが望まし
い。
斜外周面の管の軸線に対する傾斜角度は、４５度以下で
あることが望ましく。前記先端部の傾斜内周面の管の軸
線に対する傾斜角度も、４５度以下であることが望まし
い。
【００１０】
【作用】前記構成のノズルによれば、軸線に垂直な先端
面は可能な限り小さく形成されており、液状物の付着を
可能とする程の面積の水平面がない。また、ノズル先端
部の管壁の断面が液状物の流れ方向に沿って先細り形状
となっており、先端鋭角となっているため、この先端部
分での乱流発生が大幅に抑制されている。その結果、ノ
ズルから液状物が流下する際にノズルの壁面に引き付け
られて液状物が先端部に付着することがない。また、デ
ィスクの表面から舞い上げられた液状物が、ノズルの先
端部に到達しても、水平な先端面は存在せず、傾斜した
側面が存在するだけなので、ノズル先端部に液状物が付
着することがない。
面は可能な限り小さく形成されており、液状物の付着を
可能とする程の面積の水平面がない。また、ノズル先端
部の管壁の断面が液状物の流れ方向に沿って先細り形状
となっており、先端鋭角となっているため、この先端部
分での乱流発生が大幅に抑制されている。その結果、ノ
ズルから液状物が流下する際にノズルの壁面に引き付け
られて液状物が先端部に付着することがない。また、デ
ィスクの表面から舞い上げられた液状物が、ノズルの先
端部に到達しても、水平な先端面は存在せず、傾斜した
側面が存在するだけなので、ノズル先端部に液状物が付
着することがない。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【００１２】（実施例１）図１は、本発明の第１の実施
例を示す側断面図で、図中、図３および図４と同一構成
要素には、同一符号を付して説明を簡略化する。
例を示す側断面図で、図中、図３および図４と同一構成
要素には、同一符号を付して説明を簡略化する。
【００１３】本実施例のノズルの特徴は、細管１の先端
の外周面１ａが管先端に向かって縮幅するように傾斜し
ている点にある。この傾斜先端外周面１ａの終端は、管
内面に一致している。機械工作精度およびコスト上、ミ
クロ的には、水平先端面を無くすことには無理がある
が、存在する先端水平面を、液状物が容易に付着し得な
い程度以下の面積にすることは、加工コスト的にも容易
である。すなわち、このノズルでは、マクロ的には、先
端水平面が存在しない。また、この場合の、先端傾斜外
周面１ａの管の軸線Ｖに対する傾斜角度θa は、液状物
の付着防止効果を顕著なものとするために、４５度以下
が望ましい。
の外周面１ａが管先端に向かって縮幅するように傾斜し
ている点にある。この傾斜先端外周面１ａの終端は、管
内面に一致している。機械工作精度およびコスト上、ミ
クロ的には、水平先端面を無くすことには無理がある
が、存在する先端水平面を、液状物が容易に付着し得な
い程度以下の面積にすることは、加工コスト的にも容易
である。すなわち、このノズルでは、マクロ的には、先
端水平面が存在しない。また、この場合の、先端傾斜外
周面１ａの管の軸線Ｖに対する傾斜角度θa は、液状物
の付着防止効果を顕著なものとするために、４５度以下
が望ましい。
【００１４】本実施例のノズルでは、先端外周面１ａが
傾斜しており、しかも先端水平面が存在しないため、ノ
ズル先端部で乱流が生じにくく、滴下中の液状物が先端
に付着することがない。また、ディスク３の表面からデ
ィスク３の回転により巻き上げられる液状物が、ノズル
の先端に到達しても、付着しやすい水平面は存在せず、
傾斜面しか存在しないため、巻き上げられた液状物が、
ノズル先端に付着することはない。
傾斜しており、しかも先端水平面が存在しないため、ノ
ズル先端部で乱流が生じにくく、滴下中の液状物が先端
に付着することがない。また、ディスク３の表面からデ
ィスク３の回転により巻き上げられる液状物が、ノズル
の先端に到達しても、付着しやすい水平面は存在せず、
傾斜面しか存在しないため、巻き上げられた液状物が、
ノズル先端に付着することはない。
【００１５】（実施例２）図２は、本発明の第２の実施
例を示す側断面図で、図１ないし図３と同一構成要素に
は同一符号を付して説明を簡略化する。
例を示す側断面図で、図１ないし図３と同一構成要素に
は同一符号を付して説明を簡略化する。
【００１６】本実施例のノズルの特徴は、前記実施例１
と同様に先端外周面１ａが傾斜されていることに加え
て、先端の内周面１ｂも傾斜加工されている点にある。
この先端傾斜内周面１ｂは先端に向かって拡幅するよう
に形成されている。また、この先端傾斜内周面１ｂの軸
線Ｖに対する好適な傾斜角度θb も、前記先端傾斜外周
面１ａと同様に、４５度以下である。
と同様に先端外周面１ａが傾斜されていることに加え
て、先端の内周面１ｂも傾斜加工されている点にある。
この先端傾斜内周面１ｂは先端に向かって拡幅するよう
に形成されている。また、この先端傾斜内周面１ｂの軸
線Ｖに対する好適な傾斜角度θb も、前記先端傾斜外周
面１ａと同様に、４５度以下である。
【００１７】この実施例のノズルでは、前記実施例１と
同様の液状物付着防止機能を発揮するが、ノズルの開口
部の内径が拡がっているので、開口部での乱流発生がさ
らに低減化される効果をさらに発揮する。
同様の液状物付着防止機能を発揮するが、ノズルの開口
部の内径が拡がっているので、開口部での乱流発生がさ
らに低減化される効果をさらに発揮する。
【００１８】また、前記各実施例において、ノズルの先
端部の管壁の肉厚は先端に向かって先細形状になってお
り、しかも先端は鋭角になっているので、ノズルが少々
傾いても、ノズル先端部の基本形状に、すなわち、傾斜
周面のみ存在し、水平面は存在しない形状に、変化は生
じないため、ノズル先端部の液状物付着防止効果に変化
はない。
端部の管壁の肉厚は先端に向かって先細形状になってお
り、しかも先端は鋭角になっているので、ノズルが少々
傾いても、ノズル先端部の基本形状に、すなわち、傾斜
周面のみ存在し、水平面は存在しない形状に、変化は生
じないため、ノズル先端部の液状物付着防止効果に変化
はない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のノズルに
よれば、ノズルの軸線に垂直な先端面は可能な限り小さ
く形成されており、液状物の付着を可能とする程の面積
の水平面がない。また、ノズル先端部の管壁の断面が液
状物の流れ方向に沿って先細り形状となっているため、
この先端部分での乱流発生が大幅に抑制されている。そ
の結果、ノズルから液状物が流下する際に、液状物がノ
ズルの壁面に引き付けられて先端部に付着することがな
い。また、ディスクの表面から舞い上げられた液状物
が、ノズルの先端部に到達しても、ノズルの先端には水
平な面は存在せず、傾斜した側面が存在するだけなの
で、ノズル先端部に液状物が付着することがない。
よれば、ノズルの軸線に垂直な先端面は可能な限り小さ
く形成されており、液状物の付着を可能とする程の面積
の水平面がない。また、ノズル先端部の管壁の断面が液
状物の流れ方向に沿って先細り形状となっているため、
この先端部分での乱流発生が大幅に抑制されている。そ
の結果、ノズルから液状物が流下する際に、液状物がノ
ズルの壁面に引き付けられて先端部に付着することがな
い。また、ディスクの表面から舞い上げられた液状物
が、ノズルの先端部に到達しても、ノズルの先端には水
平な面は存在せず、傾斜した側面が存在するだけなの
で、ノズル先端部に液状物が付着することがない。
【図１】本発明に係るノズルの第１の実施例を示すノズ
ル先端部の側断面図である。
ル先端部の側断面図である。
【図２】本発明に係るノズルの第２の実施例を示すノズ
ル先端部の側断面図である。
ル先端部の側断面図である。
【図３】従来の乾燥固化性液状物流下用のノズルの先端
部の側断面図である。
部の側断面図である。
【図４】従来のノズルの液状物流下時の現象を説明する
ためのノズル先端部近傍の側断面図である。
ためのノズル先端部近傍の側断面図である。
１ 細管 １ａ 先端傾斜外周面 １ｂ 先端傾斜内周面 ２ 先端水平面 ３ ディスク Ｍ 乾燥固化性液状物 Ｖ ノズルの軸線
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (2)
- 【請求項１】 ほぼ垂直に設置され、内部に乾燥固化性
液状物を流通させ、その先端部から前記乾燥固化性液状
物を滴下する細管状のノズルであって、 前記先端部の外周面を先端に向かって縮幅するように傾
斜させ、管の軸線に垂直な先端面の面積を可能な限り小
さく設定したことを特徴とする乾燥固化性液状物滴下用
ノズル。 - 【請求項２】 さらに、前記先端部の内周面を先端に向
かって拡幅するように傾斜させたことを特徴とする請求
項１に記載のノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580593A JPH06320092A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 乾燥固化性液状物滴下用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580593A JPH06320092A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 乾燥固化性液状物滴下用ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320092A true JPH06320092A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14671528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11580593A Pending JPH06320092A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 乾燥固化性液状物滴下用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06320092A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009078023A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Nipro Corp | シリンジ |
| JP2013155442A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-15 | Gunze Ltd | 樹脂剤塗布装置 |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11580593A patent/JPH06320092A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009078023A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Nipro Corp | シリンジ |
| JP2013155442A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-15 | Gunze Ltd | 樹脂剤塗布装置 |
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