JPH06307979A - Flaw inspection equipment for lens - Google Patents
Flaw inspection equipment for lensInfo
- Publication number
- JPH06307979A JPH06307979A JP10113793A JP10113793A JPH06307979A JP H06307979 A JPH06307979 A JP H06307979A JP 10113793 A JP10113793 A JP 10113793A JP 10113793 A JP10113793 A JP 10113793A JP H06307979 A JPH06307979 A JP H06307979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light
- photodetector
- light source
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 80
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 8
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、たとえばレンズ等の
透明物体に存在する欠け、割れ等の欠陥や端面部がなま
ったたれ状の欠陥の有無を検査するレンズ欠陥検査装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lens defect inspection apparatus for inspecting a transparent object such as a lens for defects such as cracks and cracks and blunt defects in which end faces are blunted.
【0002】[0002]
【従来の技術】本発明にかかる従来技術を記載した公知
文献としては、たとえば、特開平5−18900があ
る。この公報のものは、検査対象となる研磨後のレンズ
の側面からレンズ全体に光を照射し、レンズ内に存在す
る欠陥において発生する散乱光をレンズの光軸方向で検
出し、欠陥の有無を判定するものである。一般に、レン
ズ等の透明物体の欠陥の有無検査では、従来は人間が1
個づつ目視により欠陥の有無判定を行なっている。この
ため欠陥の有無を判定する基準があいまいで、検査する
個人によって基準が異なったり、検査に際しては多数の
人手を要するという問題がある。2. Description of the Related Art As a publicly known document describing the prior art according to the present invention, there is, for example, JP-A-5-18900. In this publication, the entire lens is irradiated with light from the side surface of the lens to be inspected after polishing, and scattered light generated in a defect existing in the lens is detected in the optical axis direction of the lens to determine whether there is a defect. It is a judgment. Generally, in the inspection of a transparent object such as a lens for defects, it has been conventionally performed by a human being.
The presence / absence of defects is visually determined one by one. Therefore, there is a problem in that the criteria for determining the presence or absence of defects are ambiguous, the criteria vary depending on the inspecting individual, and a large number of manpower is required for the inspection.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の人間の目視によ
るレンズ等の透明物体の欠陥の有無検査では、欠陥の有
無を判定する基準があいまいで、検査する個人によって
基準が異なったり、検査に際しては多数の人手を要する
という問題があった。この発明は上記問題点を解決した
レンズ欠陥検査装置を提供することを目的とする。In the conventional inspection of the presence or absence of a defect of a transparent object such as a lens by human visual inspection, the criterion for determining the presence or absence of a defect is ambiguous. There was a problem of requiring a lot of manpower. It is an object of the present invention to provide a lens defect inspection device that solves the above problems.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】この発明に係るレンズ欠
陥検査装置は、レンズの内部に向けてレンズの光軸と平
行な帯状光を照射する光源と、レンズから漏れて出力さ
れる光源からの光を検出する光検出器とにより構成され
ている。また、レンズの上側からレンズ端面に向けて照
射する光源と、光を受けてレンズの端面で反射する光を
検出する光検出器により構成されている。また、光検出
器の配置された側のレンズ端面に向けて光源から照射す
る。また、各光検出器には各光検出器に対応した光源の
波長に合致した光のみを透過するバンドパスフィルタを
配置している。また、各光源は交互に点灯し、それぞれ
の光源が点灯している時のみ各光源に対応した光検出器
が動作するよう構成されている。SUMMARY OF THE INVENTION A lens defect inspection apparatus according to the present invention comprises a light source for radiating band-shaped light parallel to the optical axis of the lens toward the inside of the lens, and a light source leaking from the lens for output. And a photodetector for detecting light. Further, it is configured by a light source that irradiates the lens end surface from the upper side of the lens, and a photodetector that receives light and detects light reflected by the end surface of the lens. Further, the light is emitted from the light source toward the lens end surface on the side where the photodetector is arranged. Further, each photodetector is provided with a bandpass filter that transmits only light that matches the wavelength of the light source corresponding to each photodetector. Further, the respective light sources are alternately turned on, and the photodetector corresponding to each light source is operated only when the respective light sources are turned on.
【0005】[0005]
【作用】この発明に係るレンズ欠陥検査装置は、レンズ
内の欠け、割れの様な欠陥についてはレンズに向けて照
射する光がレンズ内部から漏れて出る光を光検出器によ
って検出することにより欠陥を検出する。また、レンズ
端面のなまったたれの様な欠陥についてはレンズの上側
でレンズ端面を照射する様に配置した光源からの光がレ
ンズ端面で反射する光として検出することによってレン
ズの欠陥を検出する。また、光検出器が配置された側の
レンズ端面を光源で照射することによりレンズの反対側
からの写り込みを防ぎ、誤判定を防ぐ。また、各光源に
対応した光検出器にバンドパスフイルタを設置すること
により、同一レンズに対して割れや欠け欠陥と、たれ欠
陥との複数種類の欠陥検査処理を行なうことができる。
また、各光源を交互に点灯することにより、同一レンズ
に対して割れや欠け欠陥とたれ欠陥という複数種類の欠
陥検査処理を行なうことができる。また、各光検出器か
らの信号を入力し、欠陥判定を行なう判定器を各光検出
器毎に設置することにより同一レンズに対して割れや欠
け欠陥とたれ欠陥という複数種類の欠陥検査処理を行な
うことができる。The lens defect inspection apparatus according to the present invention detects defects such as chips and cracks in the lens by detecting the light emitted toward the lens and leaking from the inside of the lens by the photodetector. To detect. For defects such as sagging of the lens end face, the defect from the lens is detected by detecting light from a light source arranged to illuminate the lens end face above the lens as light reflected by the lens end face. Further, by irradiating the lens end surface on the side where the photodetector is arranged with the light source, it is possible to prevent reflection from the opposite side of the lens and prevent erroneous determination. Further, by installing a bandpass filter on the photodetector corresponding to each light source, it is possible to perform a plurality of types of defect inspection processing on the same lens, such as cracks, chipping defects, and sagging defects.
Further, by alternately turning on each light source, it is possible to perform a plurality of types of defect inspection processing such as cracking, chipping defect, and sagging defect on the same lens. Also, by inputting the signal from each photodetector and installing a determiner for performing defect determination for each photodetector, a plurality of types of defect inspection processing such as cracks, chipping defects, and sagging defects can be performed on the same lens. Can be done.
【0006】[0006]
実施例1.図1は、この発明に係るレンズ欠陥検査装置
の一実施例を示す構成図、図2は、レンズ内での光の散
乱を示す説明図で、レンズ上側から見た図である。図1
において、検査ステージ1に置かれた被検査レンズ2の
内部に向けて、レンズ2の中心軸と直交する側に置かれ
た光源4から、レンズ2の中心軸と平行な帯状光3が出
力される。被検査レンズ2の内部に割れや欠けの様な欠
陥部7が存在すれば、レンズ2に照射された光3はレン
ズ2の内部の欠陥部7から光がレンズ外部に拡散し漏れ
出る。このレンズ2から漏れた光をレンズ2の中心軸の
方向に配置した光検出器5で検出することにより、レン
ズ2の内部の割れや欠けの様な欠陥部7の有無を判定器
6において行なう。図2において、入射部分8からレン
ズ2の内部に向けて照射された光3はレンズ2の内部の
側面部で多重反射を起こす。反射した光の一部はレンズ
2の側面から外部に漏れ出る。そして、最終的にはレン
ズ2の内部に照射された光は減衰する。レンズ2の内部
に欠けのような欠陥部7が存在すれば、レンズ2の内部
で多重反射している光が欠陥部7で乱反射を生じ、欠陥
部7から光が多量に外部に漏れ出ることになる。このレ
ンズ2から漏れ出た光を光検出器5で検出することによ
りレンズ2の欠陥の有無を判定する。なお、レンズ2に
光3が当たる入射部分8では、レンズ表面で反射が生じ
るため、入射部が欠陥として誤判定される場合があり、
レンズ2の中心から外れた部分とし、レンズから漏れ出
る光を検出する光検出器5は、レンズ2の入射部分8が
視野に入らないような位置に配置することが必要であ
る。Example 1. FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a lens defect inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing light scattering in the lens, as viewed from the upper side of the lens. Figure 1
At the inside of the lens 2 to be inspected placed on the inspection stage 1, the band-shaped light 3 parallel to the central axis of the lens 2 is output from the light source 4 placed on the side orthogonal to the central axis of the lens 2. It If there is a defective portion 7 such as a crack or a chip inside the lens 2 to be inspected, the light 3 applied to the lens 2 diffuses and leaks from the defective portion 7 inside the lens 2 to the outside of the lens. The light leaking from the lens 2 is detected by a photodetector 5 arranged in the direction of the central axis of the lens 2, so that the determiner 6 determines whether or not there is a defective portion 7 such as a crack or a chip inside the lens 2. . In FIG. 2, the light 3 emitted from the incident portion 8 toward the inside of the lens 2 causes multiple reflection on the side surface inside the lens 2. A part of the reflected light leaks out from the side surface of the lens 2. Then, finally, the light applied to the inside of the lens 2 is attenuated. If there is a defective portion 7 such as a chip inside the lens 2, light that is multiply reflected inside the lens 2 causes irregular reflection at the defective portion 7, and a large amount of light leaks out from the defective portion 7. become. The light leaking from the lens 2 is detected by the photodetector 5 to determine whether the lens 2 is defective. In the incident portion 8 where the light 3 strikes the lens 2, reflection occurs on the lens surface, so the incident portion may be erroneously determined as a defect,
The photodetector 5 for detecting light leaking from the lens 2 needs to be arranged at a position off the center of the lens 2 so that the incident portion 8 of the lens 2 does not enter the visual field.
【0007】図3は、被検査レンズ2に照射された光3
が欠陥部7で漏れて出力され、光検出器5により検出さ
れた画像の一例を示す説明図である。図1及び図3にお
いて、光3は光検出器5の視野外でレンズ2の内部に入
射される。光検出器5の視野9内に割れや欠けのような
欠陥部7がないレンズであれば、光検出器5はレンズか
ら漏れ出てきた光を検知することはない。しかし、割れ
や欠けのような欠陥がある場合には、欠陥部7で光が漏
れて出てくるため光検出器5により光を検知する。な
お、被検査レンズ2の内部に光を入射する入射部分8
は、光の散乱が多量に生じるため、入射部分8をレンズ
2の欠陥と誤判定する場合が有る。このため、光の入射
部分8を光検出器5の視野から外す必要が有る。したが
って、レンズ全周にわたる検査を行なうためには検査ス
テージ1によりレンズ2を回転させることが必要とな
る。なお、光検出器5としては通常はカメラを用いる
が、カメラ以外にラインセンサやホトマルなどを用いる
ことも可能である。また、光源としては通常はレーザ光
源を用いるが、照射光がレンズ内で均一に多重反射する
ようレーザ光のビームスポットを大きくしたり、細帯状
に広げることも有効である。また、レーザ光源以外に白
熱灯や蛍光燈などをスリット状にして用いることも可能
である。FIG. 3 shows the light 3 emitted to the lens 2 to be inspected.
5 is an explanatory diagram showing an example of an image detected by the photodetector 5 that is leaked and output by the defect portion 7. FIG. In FIGS. 1 and 3, the light 3 is incident on the inside of the lens 2 outside the field of view of the photodetector 5. If the lens has no defect 7 such as a crack or a chip in the field of view 9 of the photodetector 5, the photodetector 5 will not detect light leaking from the lens. However, if there is a defect such as a crack or a chip, light leaks out at the defect portion 7 and comes out, so the light is detected by the photodetector 5. An incident portion 8 for injecting light into the lens 2 to be inspected
Since a large amount of light is scattered, the incident portion 8 may be erroneously determined as a defect of the lens 2. Therefore, it is necessary to remove the light incident portion 8 from the visual field of the photodetector 5. Therefore, in order to perform the inspection over the entire circumference of the lens, it is necessary to rotate the lens 2 by the inspection stage 1. A camera is usually used as the photodetector 5, but a line sensor or a photo sensor may be used instead of the camera. A laser light source is usually used as the light source, but it is also effective to increase the beam spot of the laser light or spread it in a strip shape so that the irradiation light is uniformly reflected in the lens. In addition to the laser light source, an incandescent lamp or a fluorescent lamp may be used in a slit shape.
【0008】実施例2.図4はこの発明にかかるレンズ
欠陥検査装置の他の実施例の構成図、図5はレンズ端面
に欠陥が存在する場合に端面に照射された光12がレン
ズ端面で反射していることを示す説明図を、図6はレン
ズ側面において反射された光をレンズの側面に配置した
光検出器11により検出した画像の一例を示す説明図で
ある。図4において、検査ステージ1に置かれた被検査
レンズ2の中心軸の方向に光源10が配置され、被検査
レンズ2の中心軸と直交する側にレンズ2の側面と対向
して光検出器11が配置される。図5に示すように被検
査レンズ2の端面になまったようなたれ欠陥部14が存
在すれば、端面から反射される光の量が正常なレンズに
比べて多くなり、また、反射を起こす範囲が広くなるた
め、端面からの反射光を光検出器11で検出し、判定器
13において欠陥の有無を判定する。このため、レンズ
端面になまったたれのような欠陥部14がある場合に
は、光検出器11の画像15では図6に示すようにレン
ズ2の端面の欠陥部14で多量の光が反射するため端面
部からの光を検知し、ひいては欠陥と判定することとな
る。Example 2. FIG. 4 is a block diagram of another embodiment of the lens defect inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 5 shows that the light 12 emitted to the end surface of the lens is reflected when the end surface of the lens has a defect. FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of an image in which the light reflected on the side surface of the lens is detected by the photodetector 11 arranged on the side surface of the lens. In FIG. 4, the light source 10 is arranged in the direction of the center axis of the lens 2 to be inspected placed on the inspection stage 1, and the photodetector is arranged on the side orthogonal to the center axis of the lens 2 to be inspected so as to face the side surface of the lens 2. 11 are arranged. As shown in FIG. 5, if there is a sagging defect portion 14 that is formed on the end surface of the lens 2 to be inspected, the amount of light reflected from the end surface is larger than that of a normal lens, and the range of reflection is generated. Becomes wider, the reflected light from the end face is detected by the photodetector 11, and the presence or absence of a defect is determined by the determiner 13. Therefore, when there is a defective portion 14 such as a droop on the end surface of the lens, a large amount of light is reflected by the defective portion 14 on the end surface of the lens 2 in the image 15 of the photodetector 11 as shown in FIG. Therefore, the light from the end face portion is detected, and eventually it is determined as a defect.
【0009】実施例3.図7はこの発明にかかるレンズ
欠陥検査装置の他の実施例を示す構成図である。図7に
おいて、被検査レンズ2の端面の画像を鮮明に光検出器
11に入力するには光源10に円形照明を用いる事が有
効である。しかし、光源10に円形照明を用いた際に
は、光検出器11の配置された側の反対側の照明部分か
ら照射される光がレンズ2の表面で反射し、レンズ表面
での反射光も光検出器11で検出されることとなる。こ
のように、光源10に円形照明を用いた際には、光検出
器11の配置された側の反対側の照明部分から照射され
る光12がレンズ2の表面で反射し光検出器11で検出
されるのを防ぐ必要がある。そのため、光検出器11が
配置された側と反対側の照明部分に遮蔽板16を設置し
て、光検出器11と反対側の照明を遮蔽する。これによ
り、光検出器11と反対側の照明による写り込みを防
ぎ、欠陥の検査精度を向上させることができる。Embodiment 3. FIG. 7 is a block diagram showing another embodiment of the lens defect inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 7, it is effective to use circular illumination for the light source 10 in order to clearly input the image of the end surface of the lens 2 to be inspected to the photodetector 11. However, when circular illumination is used for the light source 10, the light emitted from the illumination portion on the side opposite to the side where the photodetector 11 is arranged is reflected on the surface of the lens 2, and the reflected light on the lens surface is also changed. It will be detected by the photodetector 11. As described above, when circular illumination is used for the light source 10, the light 12 emitted from the illumination portion on the opposite side of the side where the photodetector 11 is arranged is reflected by the surface of the lens 2 and the light is detected by the photodetector 11. You need to prevent it from being detected. Therefore, the shielding plate 16 is installed in the illumination portion on the side opposite to the side where the photodetector 11 is arranged to shield the illumination on the side opposite to the photodetector 11. As a result, it is possible to prevent reflection due to illumination on the side opposite to the photodetector 11 and improve the defect inspection accuracy.
【0010】実施例4.図8はこの発明にかかるレンズ
欠陥検査装置の他の実施例を示す構成図である。レンズ
の欠けや割れといった欠陥と、レンズ端面のなまったよ
うなたれ欠陥といった異なった種類の欠陥を同一の検査
ステージにおいて検出するためのものである。光検出器
5,11の前にはそれぞれの光源の波長の光のみを透過
するバンドパスフィルタ17,18を配置する。これに
より、各光検出器5,11は光源4,10に対応した波
長の光のみ各バンドパスフィルタ17,18を通して検
出し、他方の欠陥を検出するための波長の光は検出しな
くなるため、同一検査ステージにおいて複数種類の欠陥
検出処理が可能となる。Embodiment 4. FIG. 8 is a block diagram showing another embodiment of the lens defect inspection apparatus according to the present invention. This is for detecting defects of different types such as defects such as chipping or cracking of the lens and sagging defects such as a blunted lens end face in the same inspection stage. In front of the photodetectors 5 and 11, bandpass filters 17 and 18 that transmit only the light of the wavelengths of the respective light sources are arranged. As a result, the photodetectors 5 and 11 detect only the light having the wavelength corresponding to the light sources 4 and 10 through the bandpass filters 17 and 18, and the light having the wavelength for detecting the other defect is not detected. Multiple types of defect detection processing can be performed in the same inspection stage.
【0011】また、各光検出器5,11にバンドパスフ
ィルタを設置しない場合には、それぞれの光検出器5,
11と同期させて光源4,10を交互に点灯させ、光源
4が点灯し光源10が消灯している時に光検出器5を動
作させ、逆に、光源10が点灯し光源4が消灯している
時に光検出器11を動作させることにより被検査レンズ
2に対して同一の検査ステージで複数種類の欠陥検出処
理が可能となる。また、図8では欠陥判定器6が1台で
光検出器5,11の2台の信号を入力し欠陥の判定を行
なうが、各光検出器毎に欠陥判定器を付加することによ
り同時に複数種類の欠陥検出処理が可能となる。If no bandpass filter is installed in each photodetector 5, 11, each photodetector 5, 11 will be used.
The light sources 4 and 10 are alternately turned on in synchronization with 11, and the photodetector 5 is operated when the light source 4 is turned on and the light source 10 is turned off. Conversely, the light source 10 is turned on and the light source 4 is turned off. By operating the photodetector 11 during the time, a plurality of types of defect detection processing can be performed on the lens 2 to be inspected at the same inspection stage. Further, in FIG. 8, the defect determiner 6 is a single unit and inputs signals from two photodetectors 5 and 11 to determine a defect. However, by adding a defect determiner to each photodetector, a plurality of defect detectors are simultaneously detected. It is possible to perform various types of defect detection processing.
【0012】実施例5.図9は、欠陥判定器の一実施例
を示すブロック図である。図9において、光検出器5,
11で検出された光信号は画像入力回路19,20でデ
ィジタル信号に変換されて入力され、CPU21により
画像メモリ22に格納される。画像メモリ22に格納さ
れた画像データはCPU21において処理が行なわれ、
欠陥の有無を判定する。図10は、CPU21において
実施される欠陥有無判定処理フローを示すフローチャー
トである。レンズに光が照射されている状態において、
レンズ上面に置かれたカメラによりレンズの上面画像を
入力する(ステップ23)。入力した画像データ全体に
対して一定レベル以上の濃度のポイントが一定値以上存
在するかを調べる(ステップ25)。ステップ25で、
一定値以上の濃度のポイントがあるか否かを判断し(ス
テップ24)、有であればレンズに欠陥が存在するとし
て判断し検査を終了する(ステップ26)。次にレンズ
の上面に置かれた円形光源が点灯している状態におい
て、レンズ側面に置かれたカメラによりレンズの側面画
像を入力する(ステップ27)。入力した画像データ全
体に対して一定レベル以上の濃度のポイントが一定値以
上存在するかを調べ(ステップ28)(ステップ2
9)、一定値以上あればレンズに欠陥が存在するとして
判断し(ステップ30)、一定値以下であれば欠陥が存
在しないとして検査を終了する(ステップ31)。Embodiment 5. FIG. 9 is a block diagram showing an embodiment of the defect determiner. In FIG. 9, the photodetector 5,
The optical signal detected by 11 is converted into a digital signal by the image input circuits 19 and 20 and input, and is stored in the image memory 22 by the CPU 21. The image data stored in the image memory 22 is processed by the CPU 21,
Determine the presence or absence of defects. FIG. 10 is a flowchart showing a defect presence / absence determination processing flow executed in the CPU 21. When the lens is illuminated with light,
An image of the upper surface of the lens is input by the camera placed on the upper surface of the lens (step 23). It is checked whether or not there is a point having a density equal to or higher than a certain level with respect to the entire input image data (step 25). In step 25,
It is judged whether or not there is a point having a density equal to or higher than a certain value (step 24), and if there is a point, it is judged that a lens has a defect and the inspection is ended (step 26). Next, while the circular light source placed on the upper surface of the lens is on, the side surface image of the lens is input by the camera placed on the side surface of the lens (step 27). It is checked whether or not there are density points of a certain level or more in the entire input image data (step 28) (step 2).
9) If it is above a certain value, it is judged that there is a defect in the lens (step 30), and if it is below a certain value, there is no defect and the inspection ends (step 31).
【0013】[0013]
【発明の効果】この発明の請求項1によれば、検査対象
となるレンズの側面から光を照射して、レンズの中心軸
の方向に配置した光検出器でレンズから漏れて出る光を
検出し、検出した光の量が所定の量を越えたことにより
欠陥と判定するので、欠陥検査が容易にできる。さら
に、請求項2または請求項3によれば、検査対象となる
レンズの側面に配置した光検出器で検出した光の量を、
正常なレンズから反射される光の量と比較して欠陥部を
検出するので、レンズ端面のたれのような欠陥の検出が
容易にできる。さらに、請求項4によれば、検査対象と
なるレンズの光検出器を配置した側を照射するので、レ
ンズの反対側からの写り込みを防ぎ、誤判定を防止でき
る。さらに、請求項5によれば、レンズの中心軸と直交
する側からレンズに第1の波長の光を照射し、レンズの
中心軸の方向からレンズに第2の波長の光を照射し、各
波長が透過する各バンドパスフィルタを介してそれぞれ
光検出器で検出して、検出した光の量が所定の量を越え
たことにより欠陥と判定するので、同一レンズに対する
割れや欠けの欠陥とたれ欠陥とを検査処理できる。さら
に、請求項6によれば、第1の光源から照射する第1の
波長の光と、第2の光源から照射する第2の波長の光と
を交互に点灯することにより、それぞれに対応した光検
出器でレンズから漏れて出る光の量を検出して欠陥を判
定するので、同一レンズに対する割れや欠けの欠陥とた
れ欠陥とを検査処理できる。According to the first aspect of the present invention, light is radiated from the side surface of the lens to be inspected, and the light leaking from the lens is detected by the photodetector arranged in the direction of the central axis of the lens. However, since the defect is determined when the detected light amount exceeds a predetermined amount, the defect inspection can be easily performed. Further, according to claim 2 or claim 3, the amount of light detected by the photodetector arranged on the side surface of the lens to be inspected is
Since the defective portion is detected by comparing with the amount of light reflected from a normal lens, it is possible to easily detect a defect such as a sag on the end surface of the lens. Further, according to the fourth aspect, since the side of the lens to be inspected on which the photodetector is arranged is illuminated, it is possible to prevent reflection from the opposite side of the lens and prevent erroneous determination. Further, according to claim 5, the lens is irradiated with the light of the first wavelength from the side orthogonal to the central axis of the lens, and the lens is irradiated with the light of the second wavelength from the direction of the central axis of the lens. It is detected as a defect when the amount of detected light exceeds a predetermined amount by detecting with a photodetector through each bandpass filter that transmits the wavelength, so it is judged as a defect of cracking or chipping for the same lens. Defects can be inspected. Further, according to claim 6, the light of the first wavelength emitted from the first light source and the light of the second wavelength emitted from the second light source are alternately turned on to deal with each. Since the amount of light leaking from the lens is detected by the photodetector to determine the defect, it is possible to inspect and process defects such as cracks or chips and sagging defects for the same lens.
【図1】この発明に係るレンズ欠陥検査装置の一実施例
を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a lens defect inspection apparatus according to the present invention.
【図2】図1におけるレンズ内部での光の反射を説明す
る説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating light reflection inside the lens in FIG.
【図3】図1におけるレンズ上面の光検出器により入力
された画像の一例を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of an image input by a photodetector on the upper surface of the lens in FIG.
【図4】この発明の他の実施例を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図5】図4におけるレンズ側面で反射される光につい
ての説明図である。5 is an explanatory diagram of light reflected on the side surface of the lens in FIG.
【図6】図4におけるレンズの側面に配置された光検出
器により入力された画像の一例を示す説明図である。6 is an explanatory diagram showing an example of an image input by a photodetector arranged on the side surface of the lens in FIG.
【図7】この発明の他の実施例を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図8】この発明の他の実施例を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図9】この発明の主要部である判定器の一実施例を示
すブロック図である。FIG. 9 is a block diagram showing an embodiment of a judging device which is a main part of the present invention.
【図10】図9の判定器で実施される欠陥判定処理フロ
ーを示すフローチャートである。10 is a flowchart showing a defect determination processing flow executed by the determiner of FIG.
2 被検査レンズ 3 光 4 光源 5 光検出器(カメラ) 6 判定器 7 欠陥部 10 光源 11 光検出器(カメラ) 12 光 13 判定器 14 欠陥部 16 遮蔽板 17 バンドパスフィルタ 18 バンドパスフィルタ 2 Inspected lens 3 Light 4 Light source 5 Photodetector (camera) 6 Judgment device 7 Defect part 10 Light source 11 Photodetector (camera) 12 Light 13 Judgment device 14 Defect part 16 Shielding plate 17 Bandpass filter 18 Bandpass filter
Claims (6)
る側から上記レンズに上記レンズの中心軸と平行になる
帯状の光を照射する光源と、上記レンズの中心軸の方向
に配置し、上記帯状の光が上記レンズに照射される部分
を除外した部分を視野とするように配置され上記レンズ
から漏れて出る光を検出する光検出器と、この光検出器
により検出した光の量が所定の量を越えたことにより、
欠陥と判定する判定器とを備えたレンズ欠陥検査装置。1. A light source for irradiating the lens with belt-shaped light parallel to the central axis of the lens from a side orthogonal to the central axis of the lens to be inspected, and arranged in the direction of the central axis of the lens, The photodetector for detecting the light leaking out from the lens, which is arranged so that the part excluding the part where the band-shaped light is irradiated to the lens is the field of view, and the amount of the light detected by the photodetector is By exceeding the prescribed amount,
A lens defect inspecting apparatus, comprising: a judging device for judging a defect.
方向から上記第1のレンズの端面部を照射する光源と、
上記第1のレンズの中心軸と直交する側に上記第1のレ
ンズの側面と対向して配置した光検出器と、この光検出
器で検出した光の量を正常な第2のレンズから反射され
る光の量と比較して欠陥部分を検出する判定器とを備え
たレンズ欠陥検査装置。2. A light source for irradiating the end face portion of the first lens from the direction of the central axis of the first lens to be inspected,
A photodetector arranged on the side orthogonal to the central axis of the first lens so as to face the side surface of the first lens, and the amount of light detected by the photodetector is reflected from a normal second lens. A lens defect inspection device including a determiner that detects a defective portion by comparing the amount of light that is generated.
方向から上記第1のレンズの端面部を照射する円形状の
光源と、上記第1のレンズの中心軸と直交する側に上記
第1のレンズの側面と対向して配置した光検出器と、こ
の光検出器で検出した光の量を正常な第2のレンズから
反射される光の量と比較して欠陥部分を検出する判定器
とを備えたレンズ欠陥検査装置。3. A circular light source that irradiates the end surface portion of the first lens from the direction of the central axis of the first lens to be inspected, and the above-mentioned light source on the side orthogonal to the central axis of the first lens. A photodetector arranged to face the side surface of the first lens, and the amount of light detected by this photodetector is compared with the amount of light reflected from a normal second lens to detect a defective portion. A lens defect inspection apparatus including a judging device.
直交する側に上記第1のレンズの側面と対向して配置し
た光検出器と、上記第1のレンズの中心から上記光検出
器側に光を照射する光源と、上記光検出器で検出した光
の量を正常な第2のレンズから反射される光の量と比較
して欠陥部分を検出する判定器とを備えたレンズ欠陥検
査装置。4. A photodetector arranged on the side orthogonal to the central axis of the first lens to be inspected so as to face the side surface of the first lens, and the photodetection from the center of the first lens. A lens provided with a light source that irradiates light to the container side, and a determiner that detects a defective portion by comparing the amount of light detected by the photodetector with the amount of light reflected from a normal second lens. Defect inspection equipment.
る側から上記レンズに第1の波長の光を照射する第1の
光源と、上記レンズの中心軸の方向に配置し上記レンズ
から漏れて出る光を検出する第1の光検出器と、この第
1の光検出器と上記第1の光源との間に配置し、上記第
1の波長のみを透過する第1のバンドパスフィルタと、
上記レンズの中心軸の方向から上記レンズの端面部に第
2の波長の光を照射する第2の光源と、上記レンズの中
心軸と直交する側に上記レンズの側面と対向して配置し
た第2の光検出器と、この第2の光検出と上記第2の光
源との間に配置し、上記第2の波長のみを透過する第2
のバンドパスフィルタとを配置し、上記第1の光検出器
により検出した光の量又は上記第2の光検出器により検
出した光の量が所定の量を越えたことにより欠陥と判定
する判定器とを備えたレンズ欠陥検査装置。5. A first light source for irradiating the lens with light of a first wavelength from a side orthogonal to the central axis of the lens to be inspected, and a light source arranged in the direction of the central axis of the lens and leaking from the lens. A first photodetector for detecting light emitted by the first bandpass filter, and a first bandpass filter arranged between the first photodetector and the first light source and transmitting only the first wavelength. ,
A second light source that irradiates the end surface portion of the lens with light of a second wavelength from the direction of the central axis of the lens, and a second light source that is disposed on a side orthogonal to the central axis of the lens so as to face the side surface of the lens. A second photodetector and a second photodetector disposed between the second photodetector and the second light source, and transmitting only the second wavelength.
And a bandpass filter of (1) are arranged, and it is determined that the defect is caused when the amount of light detected by the first photodetector or the amount of light detected by the second photodetector exceeds a predetermined amount. And a lens defect inspection device.
る側から上記レンズに光を照射し、所定の間隔で点滅す
る第1の光源と、上記レンズの中心軸の方向から上記レ
ンズの端面部に光を照射し、上記第1の光源と交互に点
滅する第2の光源と、上記レンズの中心軸の方向に配置
し、上記第1の光源が点灯しているとき上記レンズから
漏れて出る光を検出する第1の光検出器と、上記レンズ
の中心軸と直交する側に上記レンズの側面と対向して配
置し、上記第2の光源が点灯しているとき上記レンズか
ら漏れて出る光を検出する第2の光検出器と、上記各光
検出器が検出した光の量が所定の量を越えたとき欠陥と
判定する判定器とを備えたレンズ欠陥検出装置。6. A first light source that irradiates the lens with light from a side orthogonal to the center axis of the lens to be inspected and blinks at a predetermined interval, and an end surface of the lens from the direction of the center axis of the lens. A second light source that irradiates a part with light and alternately blinks with the first light source, and is arranged in the direction of the central axis of the lens, and leaks from the lens when the first light source is on. A first photodetector for detecting the emitted light and a side face of the lens which is arranged on the side orthogonal to the central axis of the lens so as to face the side face of the lens, and leaks from the lens when the second light source is turned on. A lens defect detection device comprising: a second photodetector for detecting emitted light; and a determiner for determining a defect when the amount of light detected by each of the photodetectors exceeds a predetermined amount.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10113793A JPH06307979A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Flaw inspection equipment for lens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10113793A JPH06307979A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Flaw inspection equipment for lens |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06307979A true JPH06307979A (en) | 1994-11-04 |
Family
ID=14292699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10113793A Pending JPH06307979A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Flaw inspection equipment for lens |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06307979A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111307421A (en) * | 2020-03-20 | 2020-06-19 | 宁波舜宇仪器有限公司 | Lens defect detection system |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP10113793A patent/JPH06307979A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111307421A (en) * | 2020-03-20 | 2020-06-19 | 宁波舜宇仪器有限公司 | Lens defect detection system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8319960B2 (en) | Defect inspection system | |
JP2009075078A (en) | Edge sensor and defect inspection device | |
JPH11311510A (en) | Inspection method and inspection device for minute unevenness | |
JP2000097873A (en) | Surface defect inspecting device | |
JP3216874B2 (en) | Sheet packaging inspection device and inspection method | |
JPH11316195A (en) | Surface defect detection device for transparent plate | |
JPH11304724A (en) | Hole detecting device and hole detecting method for light transmitting sheet | |
JP6121758B2 (en) | Crack and appearance inspection apparatus and crack and appearance inspection method | |
JPH06307979A (en) | Flaw inspection equipment for lens | |
JPH11326236A (en) | Surface layer defect-detection device | |
JP3662107B2 (en) | Pinhole inspection device | |
JPH10242227A (en) | Method and apparatus for automated macro test of wafer | |
JP5521283B2 (en) | Board inspection equipment | |
JPH0968504A (en) | Method and device for inspection of appearance of bottle mouth | |
JPH08233747A (en) | Method and apparatus for inspecting defect | |
JPH0755720A (en) | Defect inspecting apparatus for transparent and opaque films | |
JP3428772B2 (en) | Surface inspection equipment | |
JP3396824B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection device | |
JPH07103905A (en) | Flaw inspecting equipment | |
JPH05209734A (en) | Surface-state inspecting apparatus | |
JP3197047B2 (en) | Defect inspection equipment | |
KR200250993Y1 (en) | Non-uniformity Inspection Device in Transmissive Objects | |
JPS58744A (en) | Inspecting method of bottle or the like | |
JPH09218162A (en) | Surface defect inspection device | |
JPH05188004A (en) | Foreign matter detecting device |