[go: up one dir, main page]

JPH06295546A - Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm - Google Patents

Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm

Info

Publication number
JPH06295546A
JPH06295546A JP8163093A JP8163093A JPH06295546A JP H06295546 A JPH06295546 A JP H06295546A JP 8163093 A JP8163093 A JP 8163093A JP 8163093 A JP8163093 A JP 8163093A JP H06295546 A JPH06295546 A JP H06295546A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating layer
magnetic head
spring arm
supporting
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8163093A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Yamamura
康 山村
Sotaro Toki
荘太郎 土岐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP8163093A priority Critical patent/JPH06295546A/en
Publication of JPH06295546A publication Critical patent/JPH06295546A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the spring arm for supporting a magnetic head designed to deal with an increase in the required number of pieces of signal lines of the magnetic head by integrally forming a metallic planar member and plural wiring patterns via an insulating layer. CONSTITUTION:An insulating layer 2 is formed on the metallic planar member 1 having a trapezoidal shape longer in a longitudinal direction. The plural wiring patterns 3 are then formed adjacently to each other in the longitudinal direction on the insulating layer 2. The movement of the magnetic head in the ending state of connection is made free by forming the wiring pattern 3 on the insulating layer 2 in such a manner and a good vibration-damping characteristic is obtd. by the insulating layer 2. The wiring patterns are formable on both surfaces if the insulating layers are formed on both surfaces of the member 1 and, therefore, the dealing with an increase, if any, in the number of wirings is possible. The insulating layer 2 is preferably formed of a resin film by an electrodeposition method, anodic-oxidation method, chemical conversion treatment or printing method.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド支持用スプ
リングアームの改良と磁気ヘッド支持用スプリングアー
ムの製造方法の改良とに関する。特に、磁気ヘッドの運
動を阻害することがなく、信号配線数を増加することが
でき、製造工程を簡略にする改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improved magnetic head supporting spring arm and an improved method of manufacturing a magnetic head supporting spring arm. In particular, the present invention relates to an improvement that can increase the number of signal wirings without hindering the movement of the magnetic head and simplify the manufacturing process.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記憶装置の主要部品である磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッド支持用スプリングアームに結合された
ジンバルバネを介して磁気ヘッド支持用スプリングアー
ムに取り付けられている。磁気ヘッドの姿勢は磁気ヘッ
ドに対向する磁気媒体の面に平行することが望ましい。
このため、磁気ヘッドはジンバルバネによって前後左右
に自由に傾きうるように支承され、スプリングアームに
よって磁気媒体に弾性的に押さえられている。そして、
磁気ヘッドによって信号を記録し、再生するための信号
線は、従来、絶縁チューブに通されて磁気ヘッド支持用
スプリングアームに沿って配線されていた。
2. Description of the Related Art A magnetic head, which is a main component of a magnetic storage device, is attached to a magnetic head supporting spring arm via a gimbal spring connected to the magnetic head supporting spring arm. The attitude of the magnetic head is preferably parallel to the surface of the magnetic medium facing the magnetic head.
For this reason, the magnetic head is supported by a gimbal spring so as to be able to freely tilt forward, backward, leftward and rightward, and is elastically pressed against the magnetic medium by the spring arm. And
Conventionally, a signal line for recording and reproducing a signal by a magnetic head has been conventionally passed through an insulating tube and wired along a magnetic head supporting spring arm.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気記憶技
術における記憶密度の向上の要請は止まるところがな
く、取り扱う信号周波数の高周波化や記録・再生の方法
の改良等が行われ、スプリングアームに取り付けられる
磁気ヘッドの信号線本数も2本から4本以上へと増加す
ることゝなった。この信号線本数の増加は、一方で配線
スペースや配線作業をどのようにするかの問題を内包す
ることは勿論のこと、他方で配線の剛性に伴う磁気ヘッ
ドの自由な動きを阻害すると云う悪影響を与えかねな
い。また、信号周波数の高周波化に対応してスプリング
アームの機械的共振周波数を上昇させると共に、共振系
の制振効果をも上昇させることが必要になる。そして、
これらの技術的課題を解決し、その上、安い製造原価が
求められている。
By the way, there is a constant demand for improvement of storage density in the magnetic storage technology, and the signal frequency to be handled is increased, the recording / reproducing method is improved, and the like, and it is attached to the spring arm. The number of signal lines of the magnetic head has also increased from 2 to 4 or more. On the one hand, the increase in the number of signal lines not only involves the problem of wiring space and wiring work, but on the other hand, it adversely affects the free movement of the magnetic head due to the rigidity of the wiring. Could give you. Further, it is necessary to increase the mechanical resonance frequency of the spring arm in response to the increase in the signal frequency and also increase the vibration damping effect of the resonance system. And
There is a demand for solving these technical problems and, at the same time, cheap manufacturing cost.

【0004】本発明の目的は、これらの欠点を解消する
ことにあり、磁気ヘッドの増加する信号線本数を収納
し、磁気ヘッドの自由な運動を阻害せず、制振効果を有
し、かつ、製造工程の簡略化が図られて安い製造原価を
可能とする磁気ヘッド支持用スプリングアーム及びスプ
リングアームの製造方法とを提供することにある。
An object of the present invention is to eliminate these drawbacks. It accommodates an increasing number of signal lines of the magnetic head, does not hinder the free movement of the magnetic head, has a vibration damping effect, and (EN) Provided are a spring arm for supporting a magnetic head and a method for manufacturing a spring arm, which can achieve a low manufacturing cost by simplifying the manufacturing process.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的は、縦長台形
状の金属板状部材(1)の上に絶縁層(2)を形成し、
この絶縁層(2)の上に、縦方向に相互に隣接して、複
数の配線パターン(3)を形成して製造された磁気ヘッ
ド支持用スプリングアームによって達成される。
The above object is to form an insulating layer (2) on a vertically elongated trapezoidal metal plate member (1),
This is achieved by a magnetic head supporting spring arm manufactured by forming a plurality of wiring patterns (3) vertically adjacent to each other on the insulating layer (2).

【0006】上記の磁気ヘッド支持用スプリングアーム
の製造方法は、縦長台形状の金属板状部材(1)の上に
絶縁層(2)を形成し、この絶縁層(2)の上に、縦方
向に相互に隣接して、複数の配線パターン(3)を形成
するようにした磁気ヘッド支持用スプリングアームの製
造方法である。
In the above-mentioned method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head, an insulating layer (2) is formed on a vertically elongated trapezoidal metal plate-shaped member (1), and the insulating layer (2) is vertically A method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head, wherein a plurality of wiring patterns (3) are formed so as to be adjacent to each other in the direction.

【0007】なお、前記の絶縁層(2)を樹脂膜で構成
し、印刷法により形成すると精度の高い制振効果が得ら
れる。
When the insulating layer (2) is made of a resin film and is formed by a printing method, a highly accurate vibration damping effect can be obtained.

【0008】なおまた、前記の絶縁層(2)を樹脂膜で
構成し、電着法により形成すると精度の高い制振効果が
得られる。
If the insulating layer (2) is made of a resin film and is formed by an electrodeposition method, a highly accurate vibration damping effect can be obtained.

【0009】さらに、前記の絶縁層(2)を陽極酸化法
により形成すると配線の接続にワイヤーボンディングを
使用できる。
Furthermore, when the insulating layer (2) is formed by an anodic oxidation method, wire bonding can be used for connecting wiring.

【0010】さらにまた、前記の絶縁層(2)を化成処
理法により形成すると配線の接続にワイヤーボンディン
グを使用できる。
Furthermore, when the above-mentioned insulating layer (2) is formed by a chemical conversion treatment method, wire bonding can be used for connecting wiring.

【0011】そして、前記の絶縁層(2)と前記の配線
パターン(3)とを前記の金属板状部材(1)の表裏両
面に形成すると、配線本数をさらに増すことができ、絶
縁層(2)が絶縁膜の時は制振性能を一層向上させるこ
とができる。
When the insulating layer (2) and the wiring pattern (3) are formed on both front and back surfaces of the metal plate member (1), the number of wirings can be further increased and the insulating layer ( When 2) is an insulating film, the vibration damping performance can be further improved.

【0012】また、前記の配線パターン(3)は印刷法
により形成することができる。
The wiring pattern (3) can be formed by a printing method.

【0013】そして、前記の配線パターン(3)は印刷
法により形成し、さらに、印刷法により形成した上にメ
ッキ法により形成することにより低抵抗の配線にするこ
とができる。
Then, the wiring pattern (3) is formed by a printing method, and further formed by a printing method and then formed by a plating method so that a wiring having a low resistance can be obtained.

【0014】[0014]

【作用】上記のように本発明に係る磁気ヘッド支持用ス
プリングアームと磁気ヘッド支持用スプリングアームの
製造方法とは、縦長台形状の金属板状部材1の上に絶縁
層2を形成し、この絶縁層2の上に、縦方向に相互に隣
接して、複数の配線パターン3が形成してあり、金属板
状部材1と複数の配線パターン3とは一体とされている
ので、磁気ヘッドの配線本数が増加しても、配線スペー
スが問題になることはない。また、磁気ヘッドが運動す
る時、この配線部分はスプリングアームと一体になって
運動するから、磁気ヘッドの自由な動きを阻害すること
がない。さらに、絶縁層は配線部分を支持すると共に樹
脂膜で構成されているとスプリングアームを制振する働
きがあり、樹脂膜の厚さを調節することにより必要な制
動力を得ることができる。このように、多数個取りや自
動化等量産しやすく、工程数の少ない製造方法とするこ
とができるので、安い製造原価が可能である。
As described above, the magnetic head supporting spring arm and the method for manufacturing the magnetic head supporting spring arm according to the present invention form the insulating layer 2 on the vertically long trapezoidal metal plate member 1, and Since a plurality of wiring patterns 3 are formed vertically adjacent to each other on the insulating layer 2 and the metal plate member 1 and the plurality of wiring patterns 3 are integrated, the magnetic head Even if the number of wires increases, the wiring space does not become a problem. Further, when the magnetic head moves, this wiring portion moves together with the spring arm, so that the free movement of the magnetic head is not hindered. Further, the insulating layer has a function of supporting the wiring portion and damping the spring arm when it is made of a resin film, and a necessary braking force can be obtained by adjusting the thickness of the resin film. As described above, since it is possible to make a mass-production method such as multi-piece production or automation, and a manufacturing method with a small number of steps, a low manufacturing cost is possible.

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明に係る磁気ヘ
ッド支持用スプリングアームと磁気ヘッド支持用スプリ
ングアームの製造方法とについて、4実施例について製
造工程順にさらに詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic head supporting spring arm and a method of manufacturing a magnetic head supporting spring arm according to the present invention will be described below in more detail with respect to four embodiments in the order of manufacturing steps with reference to the drawings.

【0016】第1実施例 図1参照 図1は磁気ヘッド支持用スプリングアームの絶縁層の形
成工程を終了した状態を示す図である。図において、1
は金属板状部材であり、第1実施例においてはステンレ
スSUS316材(厚さ75μm)よりなる金属板状部
材であり、縦方向に長い台形状をしており、通常のフォ
トエッチング工程により作成されている。2は絶縁層で
あり、ポリイミドペースト(三井石油化学株式会社製N
E−4000)を用いて、スクリーン印刷法により作成
されている。そして、ポリイミドペーストを200℃、
15分間加熱し硬化させている。なお、絶縁層材料とし
てはポリイミドペースト以外に、エポキシ系樹脂または
アクリル系樹脂であってもよい。5はスプリングアーム
の固定用丸穴であり、金属板状部材1の外形抜きと同時
にフォトエッチング工程によって穿孔される。
First Embodiment See FIG. 1 FIG. 1 is a diagram showing a state in which a step of forming an insulating layer of a spring arm for supporting a magnetic head is completed. In the figure, 1
Is a metal plate-shaped member, and in the first embodiment is a metal plate-shaped member made of stainless SUS316 material (thickness 75 μm), has a trapezoid shape elongated in the vertical direction, and is formed by a normal photoetching process. ing. 2 is an insulating layer, which is a polyimide paste (Mitsui Petrochemical Co., Ltd. N
E-4000), and is produced by the screen printing method. Then, the polyimide paste is 200 ° C.,
It is heated and cured for 15 minutes. The insulating layer material may be epoxy resin or acrylic resin other than polyimide paste. Reference numeral 5 denotes a round hole for fixing the spring arm, which is punched at the same time as the outer shape of the metal plate member 1 is removed by a photo etching process.

【0017】図2・図3参照 図2は配線パターンの形成工程を終了した後の状態、す
なわち、磁気ヘッド支持用スプリングアームを示す正面
図であり、図3は図2のX−Y断面図である。図におい
て、3は配線パターンである。配線パターン3は、始め
に導体ペーストとして銀ペーストを用いて、スクリーン
印刷法により配線パターン基部31を作成する。本例に
おいては、配線数は4本であり、幅は400μmであ
り、ピッチは600μmであり、厚さは約20μmであ
る。次に、導電性を高めるために配線パターン基部31
上に無電解メッキ層を形成する。この無電解メッキ層3
2・33は厚さ約3μmのニッケルメッキ層32を形成
(上村工業(株)製のニムデンSXを15分間メッキ)
し、さらに、厚さ約0.5μmの金メッキ層33を形成
(デグサELG−511を30分間置換メッキ)して製
造する。なお、この無電解メッキ層32・33は絶縁層
2の表面には析出せず、銀が触媒として働き配線パター
ン基部31の上にのみ選択析出する。
2 and 3, FIG. 2 is a front view showing a state after the wiring pattern forming process is completed, that is, the magnetic head supporting spring arm, and FIG. 3 is a sectional view taken along line XY of FIG. Is. In the figure, 3 is a wiring pattern. In the wiring pattern 3, first, a silver paste is used as a conductor paste, and the wiring pattern base 31 is created by a screen printing method. In this example, the number of wirings is 4, the width is 400 μm, the pitch is 600 μm, and the thickness is about 20 μm. Next, in order to improve conductivity, the wiring pattern base 31
An electroless plating layer is formed on top. This electroless plating layer 3
2.33 forms a nickel plating layer 32 with a thickness of about 3 μm (Nimden SX manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. is plated for 15 minutes)
Then, further, a gold plating layer 33 having a thickness of about 0.5 μm is formed (degussa ELG-511 is subjected to displacement plating for 30 minutes) to manufacture. The electroless plating layers 32 and 33 do not deposit on the surface of the insulating layer 2, and silver acts as a catalyst to selectively deposit only on the wiring pattern base 31.

【0018】このようにして、配線パターン3は絶縁層
2によって固定されているので、図示していない磁気ヘ
ッドからの線や本体からの線を端子部35(図5参照)
に接続することは容易である。また、接続終了した状態
で磁気ヘッドの動きは自由であり、従来技術の配線によ
る磁気ヘッドの動きに対する制約を受ける恐れがない。
In this way, since the wiring pattern 3 is fixed by the insulating layer 2, the wires from the magnetic head and the body not shown are connected to the terminal portion 35 (see FIG. 5).
It is easy to connect to. Further, the movement of the magnetic head is free in the state where the connection is completed, and there is no fear of being restricted by the movement of the magnetic head by the wiring of the conventional technique.

【0019】また、絶縁層2によって良好な制振特性を
得ることができることが実験的に確認されている。な
お、制振特性は、スクリーン印刷法に用いる版厚やポリ
イミドペーストの流動特性を変えることにより、また
は、印刷を複数回行って絶縁層の厚さを変えることによ
り、調節が可能である。さらに強い制振特性を得たい場
合は、金属板状部材1の両面に絶縁層を印刷することも
できる。
It has been experimentally confirmed that the insulating layer 2 can obtain good vibration damping characteristics. The damping characteristics can be adjusted by changing the plate thickness used in the screen printing method or the flow characteristics of the polyimide paste, or by changing the thickness of the insulating layer by performing printing a plurality of times. If it is desired to obtain stronger vibration damping characteristics, it is possible to print an insulating layer on both surfaces of the metal plate member 1.

【0020】なお、金属板状部材1の両面に絶縁層を形
成する場合には両面に配線パターンを形成できるのでさ
らに配線本数が多くなっても対応できる。
When the insulating layers are formed on both sides of the metal plate-shaped member 1, wiring patterns can be formed on both sides, so that the number of wirings can be increased.

【0021】第2実施例 図1参照 図1において、1は金属板状部材であり、第2実施例に
おいては42合金材(Ni42%、残りFe)よりなる
金属板状部材であり、縦方向に長い台形状をしており、
通常のフォトエッチング工程により作成されている。2
は電着法を用いて形成した絶縁層であり、電着マスクと
して部分メッキ用マスク(例えばシリコンゴム/ガラス
エポキシ樹脂の構成)を使用して周囲をマスクし、電着
樹脂(アクリル系樹脂、例えば、アクリルメラミン系樹
脂では東亜合成製アロンED−4000)を使用して電
着処理してある。厚さは約25μmである。5はスプリ
ングアームの固定用丸穴であり、金属板状部材1の外形
抜きと同時にフォトエッチング工程によって穿孔され
る。
Second Embodiment See FIG. 1 In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a metal plate-shaped member, and in the second embodiment, a metal plate-shaped member made of 42 alloy material (Ni 42%, balance Fe) in the vertical direction. It has a long trapezoidal shape,
It is created by a normal photo-etching process. Two
Is an insulating layer formed by using an electrodeposition method, and a partial plating mask (for example, a silicon rubber / glass epoxy resin structure) is used as an electrodeposition mask to mask the periphery, and an electrodeposition resin (acrylic resin, For example, an acrylic melamine resin has been electrodeposited using Aaron ED-4000) manufactured by Toagosei. The thickness is about 25 μm. Reference numeral 5 denotes a round hole for fixing the spring arm, which is punched at the same time as the outer shape of the metal plate member 1 is removed by a photo etching process.

【0022】なお、電着は部分電着でなく全面電着であ
ってもよい。
The electrodeposition may be whole surface electrodeposition instead of partial electrodeposition.

【0023】また、電着樹脂としては、ブタジェン系等
であってもよい。
The electrodeposition resin may be butadiene resin or the like.

【0024】配線パターンの形成は第1実施例と同様の
方法により形成しているので、詳細は省略する。
Since the wiring pattern is formed by the same method as in the first embodiment, the details will be omitted.

【0025】第3実施例 図4参照 図4は磁気ヘッド支持用スプリングアームの配線パター
ンの形成工程を終了した状態を示す図であり、図3に対
応する断面図である。図において、1は金属板状部材で
あり、第3実施例においてはアルミニウム材よりなる金
属板状部材であり、縦方向に長い台形状をしており、通
常のフォトエッチング工程により作成されている。2は
陽極酸化法を用いて形成した絶縁層であり、15%硫酸
水溶液を用いて、20℃において直流電流密度1.0〜
1.2A/dm2 、10分間通電して厚さ約3μmの陽
極酸化膜を形成している。この後、100℃の水蒸気中
に5分間放置して封孔処理してある。
Third Embodiment See FIG. 4 FIG. 4 is a sectional view corresponding to FIG. 3, showing a state in which the step of forming the wiring pattern of the magnetic head supporting spring arm has been completed. In the figure, reference numeral 1 denotes a metal plate-shaped member, and in the third embodiment, a metal plate-shaped member made of an aluminum material, which has a trapezoid shape elongated in the vertical direction, and is formed by a normal photoetching process. . Reference numeral 2 is an insulating layer formed by using an anodic oxidation method, and using a 15% sulfuric acid aqueous solution, a DC current density of 1.0 to 20
Electric current of 1.2 A / dm 2 is applied for 10 minutes to form an anodic oxide film having a thickness of about 3 μm. After that, a sealing treatment was performed by leaving it in steam at 100 ° C. for 5 minutes.

【0026】なお、陽極酸化法と封孔処理とは、図にお
いては全面処理としてあるが、部分処理であってもよ
い。
The anodic oxidation method and the sealing treatment are shown as full surface treatment in the figure, but may be partial treatment.

【0027】配線パターンの形成は第1実施例と同様の
方法により形成してあるので、詳細は省略する。
Since the wiring pattern is formed by the same method as in the first embodiment, the details will be omitted.

【0028】図5参照 図5は配線パターン3を形成した後の表層絶縁の形成工
程を終了した状態を示す図である。図において、35は
配線パターン3の端子部である。4は表層絶縁であり、
端子部35とその近辺とを除く表層全面を覆うように作
成してある。この表層絶縁4は磁気ヘッド支持用スプリ
ングアームをプレス加工する際に配線パターンの保護を
している。
FIG. 5 is a diagram showing a state in which the step of forming the surface layer insulation after forming the wiring pattern 3 is completed. In the figure, 35 is a terminal portion of the wiring pattern 3. 4 is surface insulation,
It is formed so as to cover the entire surface layer except the terminal portion 35 and its vicinity. The surface insulation 4 protects the wiring pattern when the magnetic head supporting spring arm is pressed.

【0029】この実施例においては絶縁層2は制振効果
は少ないが、配線パターンに磁気ヘッドや本体からの信
号線をワイヤーボンディングする時、樹脂を使用してい
る時に生じる樹脂の軟化がないので有利である。
In this embodiment, the insulating layer 2 has little vibration damping effect, but there is no softening of the resin that occurs when the resin is used when wire-bonding the signal line from the magnetic head or the main body to the wiring pattern. It is advantageous.

【0030】第4実施例 図4参照 図4において、1は金属板状部材であり、第4実施例に
おいては42合金材(Ni42%、残りFe)よりなる
金属板状部材であり、縦方向に長い台形状をしており、
通常のフォトエッチング工程により作成されている。2
は化成処理法を用いて形成した絶縁層であり、93℃の
燐酸塩系化成処理液中に5分間放置して厚さ約1μmの
化成処理膜を形成してある。
Fourth Embodiment See FIG. 4 In FIG. 4, 1 is a metal plate-shaped member, and in the fourth embodiment, it is a metal plate-shaped member made of 42 alloy material (Ni 42%, balance Fe), in the vertical direction. It has a long trapezoidal shape,
It is created by a normal photo-etching process. Two
Is an insulating layer formed by a chemical conversion treatment method, and is left in a phosphate chemical conversion treatment liquid at 93 ° C. for 5 minutes to form a chemical conversion treatment film having a thickness of about 1 μm.

【0031】なお、化成処理は全面処理でなく、部分処
理であってもよい。
The chemical conversion treatment may be a partial treatment instead of the entire treatment.

【0032】配線パターンの形成は第1実施例と同様の
方法により形成してあるので、詳細は省略する。
Since the wiring pattern is formed by the same method as in the first embodiment, the details will be omitted.

【0033】この実施例においても第3実施例と同様
に、絶縁層2の制振効果は少ないが、配線パターンに磁
気ヘッドや本体からの信号線をワイヤーボンディングす
る時、樹脂を使用している時に生じる樹脂の軟化がない
点では有利である。
In this embodiment, as in the third embodiment, the damping effect of the insulating layer 2 is small, but resin is used when wire-bonding the signal line from the magnetic head or the main body to the wiring pattern. It is advantageous in that there is no softening of the resin that sometimes occurs.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る磁気
ヘッド支持用スプリングアーム及びスプリングアームの
製造方法とにおいては、縦長台形状の金属板状部材と複
数の配線パターンとは絶縁層を介して一体とされている
ので、磁気ヘッドの配線本数が増加しても、配線スペー
スが問題になることはない。また、磁気ヘッドが運動す
る時、この配線部分はスプリングアームと一体になって
運動するから、磁気ヘッドの自由な動きを阻害すること
がない。さらに、絶縁層は配線部分を支持すると共に樹
脂膜で構成されているとスプリングアームを制振する働
きがあり、樹脂膜の厚さを調節することにより必要な制
動力を得ることができる。かくして、磁気ヘッドの信号
線の必要本数の増加に対応した磁気ヘッド支持用スプリ
ングアームを提供することができる。なお、量産をしや
すく、工程数の少ない製造方法とすることができるの
で、安い製造原価が可能である。
As described above, in the magnetic head supporting spring arm and the method of manufacturing the spring arm according to the present invention, the vertically long trapezoidal metal plate-shaped member and the plurality of wiring patterns are provided via the insulating layer. Since they are integrated, the wiring space does not become a problem even if the number of wirings of the magnetic head increases. Further, when the magnetic head moves, this wiring portion moves together with the spring arm, so that the free movement of the magnetic head is not hindered. Further, the insulating layer has a function of supporting the wiring portion and damping the spring arm when it is made of a resin film, and a necessary braking force can be obtained by adjusting the thickness of the resin film. Thus, it is possible to provide the spring arm for supporting the magnetic head, which corresponds to the increase in the required number of signal lines of the magnetic head. In addition, since the manufacturing method can be easily performed and the number of steps is small, the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1・第2実施例に係る磁気ヘッド支持用スプ
リングアームの絶縁層の形成工程を終了した後の状態を
示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a state after a process of forming an insulating layer of a magnetic head supporting spring arm according to first and second embodiments is completed.

【図2】第1・第2実施例に係る配線パターンの形成工
程を終了した後の状態、すなわち、磁気ヘッド支持用ス
プリングアームを示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing a state after the wiring pattern forming process according to the first and second embodiments is completed, that is, a magnetic head supporting spring arm.

【図3】第1・第2実施例に係る磁気ヘッド支持用スプ
リングアームのX−Y断面図である。
FIG. 3 is an XY cross-sectional view of a magnetic head supporting spring arm according to the first and second embodiments.

【図4】第3・第4実施例に係る磁気ヘッド支持用スプ
リングアームの断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of a spring arm for supporting a magnetic head according to third and fourth embodiments.

【図5】第3実施例に係る表層絶縁の形成工程を終了し
た後の状態を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a state after finishing a forming process of a surface layer insulation according to a third example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 金属板状部材 2 絶縁層 3 配線パターン 4 表層絶縁 5 固定用丸穴 31 配線パターン基部 32 無電解メッキ層(ニッケルメッキ層) 33 無電解メッキ層(金メッキ層) 35 端子部 1 Metal Plate Member 2 Insulation Layer 3 Wiring Pattern 4 Surface Insulation 5 Round Hole for Fixing 31 Wiring Pattern Base 32 Electroless Plating Layer (Nickel Plating Layer) 33 Electroless Plating Layer (Gold Plating Layer) 35 Terminal Section

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 縦長台形状の金属板状部材(1)の上に
絶縁層(2)を形成し、 該絶縁層(2)の上に、縦方向に相互に隣接して、複数
の配線パターン(3)を形成して製造されたことを特徴
とする磁気ヘッド支持用スプリングアーム。
1. An insulating layer (2) is formed on a vertically long trapezoidal metal plate member (1), and a plurality of wirings are vertically adjacent to each other on the insulating layer (2). A spring arm for supporting a magnetic head, which is manufactured by forming a pattern (3).
【請求項2】 縦長台形状の金属板状部材(1)の上に
絶縁層(2)を形成し、 該絶縁層(2)の上に、縦方向に相互に隣接して、複数
の配線パターン(3)を形成することを特徴とする磁気
ヘッド支持用スプリングアームの製造方法。
2. An insulating layer (2) is formed on a vertically elongated trapezoidal metal plate member (1), and a plurality of wirings are vertically adjacent to each other on the insulating layer (2). A method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head, comprising forming a pattern (3).
【請求項3】 前記絶縁層(2)を樹脂膜で構成し、印
刷法により形成することを特徴とする請求項2記載の磁
気ヘッド支持用スプリングアームの製造方法。
3. The method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head according to claim 2, wherein the insulating layer (2) is made of a resin film and is formed by a printing method.
【請求項4】 前記絶縁層(2)を樹脂膜で構成し、電
着法により形成することを特徴とする請求項2記載の磁
気ヘッド支持用スプリングアームの製造方法。
4. The method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head according to claim 2, wherein the insulating layer (2) is made of a resin film and is formed by an electrodeposition method.
【請求項5】 前記絶縁層(2)を陽極酸化法により形
成することを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持
用スプリングアームの製造方法。
5. The method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head according to claim 2, wherein the insulating layer (2) is formed by an anodic oxidation method.
【請求項6】 前記絶縁層(2)を化成処理法により形
成することを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持
用スプリングアームの製造方法。
6. The method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head according to claim 2, wherein the insulating layer (2) is formed by a chemical conversion treatment method.
【請求項7】 前記絶縁層(2)と前記配線パターン
(3)とは前記金属板状部材(1)の表裏両面に形成さ
れてなることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支
持用スプリングアーム。
7. The magnetic head supporting apparatus according to claim 1, wherein the insulating layer (2) and the wiring pattern (3) are formed on both front and back surfaces of the metal plate member (1). Spring arm.
【請求項8】 前記配線パターン(3)は印刷法により
形成することを特徴とする請求項2、3、4、5、また
は、6記載の磁気ヘッド支持用スプリングアームの製造
方法。
8. The method according to claim 2, 3, 4, 5, or 6, wherein the wiring pattern (3) is formed by a printing method.
【請求項9】 前記配線パターン(3)は印刷法により
形成し、さらに、印刷法により形成した上にメッキ法に
より形成することを特徴とする請求項2、3、4、5、
6、または、7記載の磁気ヘッド支持用スプリングアー
ムの製造方法。
9. The wiring pattern (3) is formed by a printing method, further formed by a printing method and then formed by a plating method.
6. A method of manufacturing a spring arm for supporting a magnetic head according to 6 or 7.
JP8163093A 1993-04-08 1993-04-08 Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm Pending JPH06295546A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8163093A JPH06295546A (en) 1993-04-08 1993-04-08 Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8163093A JPH06295546A (en) 1993-04-08 1993-04-08 Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06295546A true JPH06295546A (en) 1994-10-21

Family

ID=13751662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8163093A Pending JPH06295546A (en) 1993-04-08 1993-04-08 Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06295546A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5862010A (en) * 1997-07-08 1999-01-19 International Business Machines Corporation Transducer suspension system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5862010A (en) * 1997-07-08 1999-01-19 International Business Machines Corporation Transducer suspension system
US5986853A (en) * 1997-07-08 1999-11-16 International Business Machines Corporation Transducer suspension system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6587310B1 (en) Magnetic head suspension with single layer preshaped trace interconnect
JP3354302B2 (en) Manufacturing method of suspension for magnetic head
US6125014A (en) Via-less connection using interconnect traces between bond pads and a transducer coil of a magnetic head slider
US6351354B1 (en) Head to flexure interconnection for disc drive microactuator
US8982512B1 (en) Low impedance, high bandwidth disk drive suspension circuit
JP4909844B2 (en) Integrated lead flexure with embedded traces
US5883758A (en) Lead structure with stainless steel base for attachment to a suspension
US9018540B2 (en) Wired circuit board including an insulating layer formed with an opening filled with a conductive portion and producing method thereof
US20130342936A1 (en) Wiring circuit substrate, flexible substrate for suspension, and method of producing flexible substrate for suspension
WO2002069330A1 (en) Head gimbal assembly
JP2006503402A5 (en)
JP2002197822A (en) Multilayer suspension, head gimbals assembly and method of manufacturing this assembly
US9251817B1 (en) Microactuator grounding through oversized via in a disk drive suspension flexure circuit
JP2855255B2 (en) Suspension for magnetic head and method of manufacturing the same
JP3329953B2 (en) Head actuator
JP3727410B2 (en) Manufacturing method of suspension with circuit wiring for magnetic head
JPH06295546A (en) Spring head for supporting magnetic head and method of manufacturing spring arm
US5771569A (en) Manufacturing method for magnetic head suspension
JP2014086118A (en) Substrate for suspension, suspension, suspension with head, hard disk drive, and method of manufacturing substrate for suspension
JP2006100301A (en) Wiring circuit board device and connection structure
JPH0536048A (en) Gimbal wiring body for magnetic head and production thereof
JPH11195214A (en) Manufacture of magnetic head device
JPH09213036A (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JP2006202358A (en) Magnetic head suspension and manufacturing method thereof
JPH08180353A (en) Method of manufacturing laminated structure for disk drive suspension assembly, laminated structure thereof, and suspension assembly