JPH06295209A - 流体コントロールバルブ - Google Patents
流体コントロールバルブInfo
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- JPH06295209A JPH06295209A JP10605693A JP10605693A JPH06295209A JP H06295209 A JPH06295209 A JP H06295209A JP 10605693 A JP10605693 A JP 10605693A JP 10605693 A JP10605693 A JP 10605693A JP H06295209 A JPH06295209 A JP H06295209A
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Landscapes
- Flow Control (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】1次圧力の早い変化に対しても瞬時に反応して
2次側流量及び2次圧力を一定に保つコントロールバル
ブを提供する。 【構成】弁体11は、一端が他端より大径になって側面
に流量制御部を有するロッド部12と、ロッド部の大径
側端部に設けられたダイヤフラム22とからなり、バル
ブ本体31は、ダイヤフラム22の周縁を固定して弁体
11を収容する弁室53と、ダイヤフラム22またはロ
ッド部12の端面により弁室53と仕切られた加圧室3
4,44と、ロッド部12外周と弁室53内壁面との間
に形成されて、流量制御通路部58を有する被制御流体
通路56と、ロッド部12の小径端部側で被制御流体通
路56に連通した被制御流体流入口59と、ロッド部の
大径端部側で被制御流体通路56に連通した被制御流体
流出口60と、加圧室34,44に通じる加圧気体流入
路33,43とからなる。
2次側流量及び2次圧力を一定に保つコントロールバル
ブを提供する。 【構成】弁体11は、一端が他端より大径になって側面
に流量制御部を有するロッド部12と、ロッド部の大径
側端部に設けられたダイヤフラム22とからなり、バル
ブ本体31は、ダイヤフラム22の周縁を固定して弁体
11を収容する弁室53と、ダイヤフラム22またはロ
ッド部12の端面により弁室53と仕切られた加圧室3
4,44と、ロッド部12外周と弁室53内壁面との間
に形成されて、流量制御通路部58を有する被制御流体
通路56と、ロッド部12の小径端部側で被制御流体通
路56に連通した被制御流体流入口59と、ロッド部の
大径端部側で被制御流体通路56に連通した被制御流体
流出口60と、加圧室34,44に通じる加圧気体流入
路33,43とからなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液体あるいは気体か
らなる流体の流量及び2次圧力(流出側圧力)をコント
ロールするバルブに関する。
らなる流体の流量及び2次圧力(流出側圧力)をコント
ロールするバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、1次圧力(流入側圧力)が変動す
る流体の流量及び2次圧力をコントロールするに際して
は、流路の一部に流量発信器あるいは圧力発信器を設け
るとともに、流量制御バルブにはバルブの開閉を行う電
動モータあるいはエアーモータを設けて、前記流量発信
器あるいは圧力発信器で感知した流量または圧力値に関
する信号を電動モータ等に送り、その信号により電動モ
ータまたはエアーモータをコントロールしバルブの開閉
を行っていた。
る流体の流量及び2次圧力をコントロールするに際して
は、流路の一部に流量発信器あるいは圧力発信器を設け
るとともに、流量制御バルブにはバルブの開閉を行う電
動モータあるいはエアーモータを設けて、前記流量発信
器あるいは圧力発信器で感知した流量または圧力値に関
する信号を電動モータ等に送り、その信号により電動モ
ータまたはエアーモータをコントロールしバルブの開閉
を行っていた。
【0003】しかし、前記の方法にあっては1次圧力の
早い変化に対し、あるいは脈動のような変化に対しては
バルブの開閉が追従せず、流量あるいは2次圧を所望の
値にコントロールできなかった。また、発信器及びモー
タを使用するため装置が複雑、かつ大掛かりとなり、し
かも保守も容易ではない等の問題もあった。
早い変化に対し、あるいは脈動のような変化に対しては
バルブの開閉が追従せず、流量あるいは2次圧を所望の
値にコントロールできなかった。また、発信器及びモー
タを使用するため装置が複雑、かつ大掛かりとなり、し
かも保守も容易ではない等の問題もあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明は前
記の点に鑑み、1次圧力の早い変化あるいは脈動変化に
対しても瞬時に反応して2次側流量及び2次圧力を一定
に保つことができ、しかも電動モータおよび発信器等の
ような複雑かつ故障し易い装置を必要とせず簡単な構造
からなって、保守が容易で耐久性にも優れるコントロー
ルバルブを提供しようとするものである。
記の点に鑑み、1次圧力の早い変化あるいは脈動変化に
対しても瞬時に反応して2次側流量及び2次圧力を一定
に保つことができ、しかも電動モータおよび発信器等の
ような複雑かつ故障し易い装置を必要とせず簡単な構造
からなって、保守が容易で耐久性にも優れるコントロー
ルバルブを提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、弁体とバル
ブ本体とよりなって、前記弁体は、筒形状の一端が拡大
して他端より大径になって両端間の側面外周に突出した
流量制御部を有するロッド部と、前記ロッド部両端の少
なくとも大径側端部に該端部外周へ鍔状に突出して設け
られたダイヤフラムとからなり、前記バルブ本体は、前
記ダイヤフラムの外周縁を固定してロッド部を軸方向に
スライド可能に弁体を収容する弁室と、前記弁室の外側
にあってダイヤフラムまたはロッド部の小径側端面によ
り弁室と仕切られた加圧室と、前記ロッド部外周と弁室
内壁面との間に形成されて、前記ロッド部が大径端部側
へスライドするに従い前記流量制御部と弁室内壁面間が
狭くなる流量制御通路部を有する被制御流体通路と、前
記ロッド部の小径端部側で被制御流体通路に連通しバル
ブ本体外面で開口する被制御流体流入口と、前記ロッド
部の大径端部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外
面で開口する被制御流体流出口と、前記加圧室に通じバ
ルブ本体外面で開口する加圧気体流入路とからなること
を特徴とする流体コントロールバルブに係る。
ブ本体とよりなって、前記弁体は、筒形状の一端が拡大
して他端より大径になって両端間の側面外周に突出した
流量制御部を有するロッド部と、前記ロッド部両端の少
なくとも大径側端部に該端部外周へ鍔状に突出して設け
られたダイヤフラムとからなり、前記バルブ本体は、前
記ダイヤフラムの外周縁を固定してロッド部を軸方向に
スライド可能に弁体を収容する弁室と、前記弁室の外側
にあってダイヤフラムまたはロッド部の小径側端面によ
り弁室と仕切られた加圧室と、前記ロッド部外周と弁室
内壁面との間に形成されて、前記ロッド部が大径端部側
へスライドするに従い前記流量制御部と弁室内壁面間が
狭くなる流量制御通路部を有する被制御流体通路と、前
記ロッド部の小径端部側で被制御流体通路に連通しバル
ブ本体外面で開口する被制御流体流入口と、前記ロッド
部の大径端部側で被制御流体通路に連通しバルブ本体外
面で開口する被制御流体流出口と、前記加圧室に通じバ
ルブ本体外面で開口する加圧気体流入路とからなること
を特徴とする流体コントロールバルブに係る。
【0006】なお、前記ダイヤフラムを、ロッド部の大
径側端部に設けられた第1ダイヤフラムと、前記第1ダ
イヤフラムより小径からなってロッド部の小径側端部に
設けられた第2ダイヤフラムとから構成し、両ダイヤフ
ラムにより加圧室を弁室と仕切ってもよい。
径側端部に設けられた第1ダイヤフラムと、前記第1ダ
イヤフラムより小径からなってロッド部の小径側端部に
設けられた第2ダイヤフラムとから構成し、両ダイヤフ
ラムにより加圧室を弁室と仕切ってもよい。
【0007】
【作用】加圧室には所定圧力の加圧気体が流入して弁体
を外面側から押す。一方、一次側の被制御流体流入口か
ら被制御流体通路に入った被制御流体は、流量制御通路
部を通り、その後ロッド部の大径側端部を外方へ押した
後2次側の被制御流体流出口からバルブ本体外へ流出す
る。
を外面側から押す。一方、一次側の被制御流体流入口か
ら被制御流体通路に入った被制御流体は、流量制御通路
部を通り、その後ロッド部の大径側端部を外方へ押した
後2次側の被制御流体流出口からバルブ本体外へ流出す
る。
【0008】そして1次流量及び圧力が大になると、一
旦2次側流出量及び2次圧力が増大し、それと同時にロ
ッド部の大径側端部に内側から外方へ向けて加わる圧力
も増大する。そのため、ロッド部の大径側端部に内側か
ら加わる圧力が大径側端部外側にある加圧室の圧力に打
ち勝って、ロッド部が大径側端部方向に押される。そし
てダイヤフラムが変形してロッド部が大径側端部方向へ
スライドし、そのロッド部のスライドにより、流量制御
通路部が狭くなって被制御流体通路を流れる流量が減少
する。それにより2次側の被制御流体流出口から流出す
る流量が減少して2次圧力が低下し、1次側の流量及び
圧力が増大しても2次側ではその変動が抑えられる。
旦2次側流出量及び2次圧力が増大し、それと同時にロ
ッド部の大径側端部に内側から外方へ向けて加わる圧力
も増大する。そのため、ロッド部の大径側端部に内側か
ら加わる圧力が大径側端部外側にある加圧室の圧力に打
ち勝って、ロッド部が大径側端部方向に押される。そし
てダイヤフラムが変形してロッド部が大径側端部方向へ
スライドし、そのロッド部のスライドにより、流量制御
通路部が狭くなって被制御流体通路を流れる流量が減少
する。それにより2次側の被制御流体流出口から流出す
る流量が減少して2次圧力が低下し、1次側の流量及び
圧力が増大しても2次側ではその変動が抑えられる。
【0009】逆に1次側の流量が減少して圧力が低下す
ると、被制御流体通路を流れる流体の流量減少及び圧力
低下を生じて、ロッド部の大径側端部に内側から加わる
圧力が大径側端部外側の加圧室内の圧力よりも小さくな
る。その結果、ロッド部が小径側端部方向へスライドし
て、流量制御通路部を広げ、被制御流体通路を流れる流
量を増大させる。それにより、2次側の被制御流体流出
口からの流出量が増大し、2次圧力が増大するため、1
次側の流量及び圧力が低下しても2次側ではその変動が
抑えられる。
ると、被制御流体通路を流れる流体の流量減少及び圧力
低下を生じて、ロッド部の大径側端部に内側から加わる
圧力が大径側端部外側の加圧室内の圧力よりも小さくな
る。その結果、ロッド部が小径側端部方向へスライドし
て、流量制御通路部を広げ、被制御流体通路を流れる流
量を増大させる。それにより、2次側の被制御流体流出
口からの流出量が増大し、2次圧力が増大するため、1
次側の流量及び圧力が低下しても2次側ではその変動が
抑えられる。
【0010】
【実施例】以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説
明する。図1はこの発明の一実施例に係るコントロール
バルブの縦断面図、図2はその実施例に用いる弁体の斜
視図、図3はその実施例の作動を説明する部分拡大断面
図、図4は他の実施例の縦断面図、図5はその実施例に
用いる弁体の斜視図、図6はその実施例の作動を説明す
る部分拡大断面図、図7はさらに他の実施例を示す要部
拡大断面図である。
明する。図1はこの発明の一実施例に係るコントロール
バルブの縦断面図、図2はその実施例に用いる弁体の斜
視図、図3はその実施例の作動を説明する部分拡大断面
図、図4は他の実施例の縦断面図、図5はその実施例に
用いる弁体の斜視図、図6はその実施例の作動を説明す
る部分拡大断面図、図7はさらに他の実施例を示す要部
拡大断面図である。
【0011】図1ないし図3に示す実施例のコントロー
ルバルブ10は、弁体11と、その弁体が収容されるバ
ルブ本体31とからなる。弁体11は、図1及び図2に
示されるように、ロッド部12とダイヤフラム22から
なる。ロッド部12は、上端13側が下端14側よりも
大径となった縦断面形状がほぼ「T」字形からなる筒状
のもので、上下2つの半体15,16が螺合により一体
に組み合わされてなる。ロッド部12の下端14側に
は、流量制御部17(図2及び図3に示す)が環状突出
形状に形成されている。
ルバルブ10は、弁体11と、その弁体が収容されるバ
ルブ本体31とからなる。弁体11は、図1及び図2に
示されるように、ロッド部12とダイヤフラム22から
なる。ロッド部12は、上端13側が下端14側よりも
大径となった縦断面形状がほぼ「T」字形からなる筒状
のもので、上下2つの半体15,16が螺合により一体
に組み合わされてなる。ロッド部12の下端14側に
は、流量制御部17(図2及び図3に示す)が環状突出
形状に形成されている。
【0012】ダイヤフラム22は前記ロッド部12の上
端部にロッド部12と一体に形成されたものである。こ
のダイヤフラム22はロッド部12の上端部外周に鍔状
に突出して、その外周縁23が厚肉となっている。ダイ
ヤフラム22及びロッド部12は、各種のゴムあるいは
樹脂から構成されるが、なかでも耐薬品性、耐腐蝕性の
高いフッ素ゴムあるいはフッ素樹脂からなるものが好ま
しい。
端部にロッド部12と一体に形成されたものである。こ
のダイヤフラム22はロッド部12の上端部外周に鍔状
に突出して、その外周縁23が厚肉となっている。ダイ
ヤフラム22及びロッド部12は、各種のゴムあるいは
樹脂から構成されるが、なかでも耐薬品性、耐腐蝕性の
高いフッ素ゴムあるいはフッ素樹脂からなるものが好ま
しい。
【0013】バルブ本体31は、第1ブロック32と第
2ブロック42間に第3ブロック52を挟んだ3層構造
の円筒状からなり、フッ素樹脂等耐腐蝕性及び耐薬品性
の高い樹脂から構成される。第1ブロック32及び第2
ブロック42内には、加圧気体流入路33,43と加圧
室34,44が形成されている。加圧気体流入路33,
43は一端がバルブ本体外面で開口し、他端が加圧室3
4,44に通じている。一方加圧室34,44は、第3
ブロック52との合わせ面40,30で開口している。
第1ブロックの加圧室34は、ダイヤフラム22の外周
縁23を除いた部分とほぼ等しい径からなり、第2ブロ
ックの加圧室44は、前記ロッド部12下端14外径と
ほぼ等しい径からなる。また第2ブロックの加圧室44
の外周には第3ブロック52との合わせ面30にシール
用リング57が嵌着されている。
2ブロック42間に第3ブロック52を挟んだ3層構造
の円筒状からなり、フッ素樹脂等耐腐蝕性及び耐薬品性
の高い樹脂から構成される。第1ブロック32及び第2
ブロック42内には、加圧気体流入路33,43と加圧
室34,44が形成されている。加圧気体流入路33,
43は一端がバルブ本体外面で開口し、他端が加圧室3
4,44に通じている。一方加圧室34,44は、第3
ブロック52との合わせ面40,30で開口している。
第1ブロックの加圧室34は、ダイヤフラム22の外周
縁23を除いた部分とほぼ等しい径からなり、第2ブロ
ックの加圧室44は、前記ロッド部12下端14外径と
ほぼ等しい径からなる。また第2ブロックの加圧室44
の外周には第3ブロック52との合わせ面30にシール
用リング57が嵌着されている。
【0014】第3ブロック52は、バルブ本体31の中
間部を構成するもので、中央には内部を貫通する弁室5
3が形成されている。弁室53は、中間部が細くなって
ほぼ「エ」字形の縦断面形状をした貫通穴からなるもの
で、ロッド部12の外径より大となっている。弁室53
両端の内径は、第1ブロック32の加圧室34内径とほ
ぼ等しくされ、また第1ブロック32との合わせ面には
弁室53外周に凹溝55が形成されている。
間部を構成するもので、中央には内部を貫通する弁室5
3が形成されている。弁室53は、中間部が細くなって
ほぼ「エ」字形の縦断面形状をした貫通穴からなるもの
で、ロッド部12の外径より大となっている。弁室53
両端の内径は、第1ブロック32の加圧室34内径とほ
ぼ等しくされ、また第1ブロック32との合わせ面には
弁室53外周に凹溝55が形成されている。
【0015】前記凹溝55にダイヤフラム22の外周縁
23が嵌着されて弁体11が弁室53内に収容され、そ
の後各ブロック32,42,52が組み合わされて一体
にされる。バルブ本体31内に収容された弁体11のロ
ッド部12外周面と、弁室53内壁面間には被制御流体
通路56が形成される。その被制御流体通路56におい
て、前記弁体ロッド部12の流量制御部17に対向する
弁室内壁面54(図3に示す)との間が流量制御通路部
58になる。また、被制御流体通路56は、ロッド部1
2の小径端部側において被制御流体流入口59に通じ、
他方ロッド部12の大径側端部において被制御流体流出
口60に通じている。
23が嵌着されて弁体11が弁室53内に収容され、そ
の後各ブロック32,42,52が組み合わされて一体
にされる。バルブ本体31内に収容された弁体11のロ
ッド部12外周面と、弁室53内壁面間には被制御流体
通路56が形成される。その被制御流体通路56におい
て、前記弁体ロッド部12の流量制御部17に対向する
弁室内壁面54(図3に示す)との間が流量制御通路部
58になる。また、被制御流体通路56は、ロッド部1
2の小径端部側において被制御流体流入口59に通じ、
他方ロッド部12の大径側端部において被制御流体流出
口60に通じている。
【0016】このようにしてなるコントロールバルブ1
0は、流量及び圧力を制御したい気体あるいは液体から
なる被制御流体の供給源に、パイプを介して被制御流体
流入口59が接続され、その被制御流体流入口59から
内部に被制御流体が送り込まれる。また、加圧気体流入
路33,43からは、一定圧力に加圧された気体、たと
えば圧縮空気が吹き込まれる。この加圧気体の圧力は、
被制御流体の2次側流量及び圧力等により定められる。
0は、流量及び圧力を制御したい気体あるいは液体から
なる被制御流体の供給源に、パイプを介して被制御流体
流入口59が接続され、その被制御流体流入口59から
内部に被制御流体が送り込まれる。また、加圧気体流入
路33,43からは、一定圧力に加圧された気体、たと
えば圧縮空気が吹き込まれる。この加圧気体の圧力は、
被制御流体の2次側流量及び圧力等により定められる。
【0017】前記加圧気体は、加圧室34,44内に到
りダイヤフラム22及びロッド部12の小径側端面を外
側から押す。また、被制御流体は、被制御流体通路56
内の流体制御通路部58を通り、ロッド部12の大径側
端部を外側へ押した後被制御流体流出口60からコント
ロールバルブ10外へ流出する。
りダイヤフラム22及びロッド部12の小径側端面を外
側から押す。また、被制御流体は、被制御流体通路56
内の流体制御通路部58を通り、ロッド部12の大径側
端部を外側へ押した後被制御流体流出口60からコント
ロールバルブ10外へ流出する。
【0018】そして、被制御流体の1次側流量あるいは
圧力が変動した場合には次のように作動する。まず流量
あるいは1次圧力が増大した場合について説明する。そ
の場合には、初めに被制御流体流出口60から流出する
流量および2次圧力が増大する。
圧力が変動した場合には次のように作動する。まず流量
あるいは1次圧力が増大した場合について説明する。そ
の場合には、初めに被制御流体流出口60から流出する
流量および2次圧力が増大する。
【0019】しかし、それと同時に前記ロッド部12端
部の大径側端部に内側から加わる圧力も増大するため、
その内圧がロッド部の大径側端部外側にある加圧室34
の圧力に打ち勝ってロッド部12が大径側端部方向に押
される。そして鎖線のようにダイヤフラム22が変形し
てロッド部12が大径側端部方向へスライドし、それに
より流量制御通路部58が狭くなって被制御流体通路5
6を流れる流量が減少する。その結果、2次側の被制御
流体流出口60から流出する流量が減少して2次圧力が
低下し、2次側の流量及び圧力変動が抑えられる。
部の大径側端部に内側から加わる圧力も増大するため、
その内圧がロッド部の大径側端部外側にある加圧室34
の圧力に打ち勝ってロッド部12が大径側端部方向に押
される。そして鎖線のようにダイヤフラム22が変形し
てロッド部12が大径側端部方向へスライドし、それに
より流量制御通路部58が狭くなって被制御流体通路5
6を流れる流量が減少する。その結果、2次側の被制御
流体流出口60から流出する流量が減少して2次圧力が
低下し、2次側の流量及び圧力変動が抑えられる。
【0020】一方、1次側流量及び圧力が減少した場合
には、被制御流体流出口60から流出する流量及び2次
圧力が一旦減少する。しかし、それと同時に前記ロッド
部12端部の大径側端部に内側から加わる圧力が低下し
て加圧室34の圧力よりも低下するため、ロッド部12
が小径側端部方向に押されてスライドする。それにより
流量制御通路部58が広くなって被制御流体通路56を
流れる流量が増大する。その結果、2次側の被制御流体
流出口60から流出する流量が増大して2次圧力が増大
し、2次側の流量及び圧力変動が抑えられる。
には、被制御流体流出口60から流出する流量及び2次
圧力が一旦減少する。しかし、それと同時に前記ロッド
部12端部の大径側端部に内側から加わる圧力が低下し
て加圧室34の圧力よりも低下するため、ロッド部12
が小径側端部方向に押されてスライドする。それにより
流量制御通路部58が広くなって被制御流体通路56を
流れる流量が増大する。その結果、2次側の被制御流体
流出口60から流出する流量が増大して2次圧力が増大
し、2次側の流量及び圧力変動が抑えられる。
【0021】図4ないし図6に他の実施例を示す。この
実施例のコントロールバルブ70は、弁体71がロッド
部72の大径側端部に第1のダイヤフラム74、小径側
端部に第2のダイヤフラム76を有するものである。図
中78はバルブ本体、79,80は加圧室、81は弁
室、82は流量制御部、83は流量制御通路部、84は
被制御流体通路、85,86は加圧気体流入路、87は
被制御流体流入口、88は被制御流体流出口である。こ
の実施例においては、弁室81と加圧室79,80と
は、第1ダイヤフラム74,第2ダイヤフラム76によ
り仕切られている。
実施例のコントロールバルブ70は、弁体71がロッド
部72の大径側端部に第1のダイヤフラム74、小径側
端部に第2のダイヤフラム76を有するものである。図
中78はバルブ本体、79,80は加圧室、81は弁
室、82は流量制御部、83は流量制御通路部、84は
被制御流体通路、85,86は加圧気体流入路、87は
被制御流体流入口、88は被制御流体流出口である。こ
の実施例においては、弁室81と加圧室79,80と
は、第1ダイヤフラム74,第2ダイヤフラム76によ
り仕切られている。
【0022】前記各実施例において、ロッド部の小径端
部側加圧室44,80に通じる加圧気体流入路43,8
6を開放状態にして、加圧室44,80の圧力を大気圧
と等しくして用いてもよい。しかし、前記のように弁体
両外側の加圧室34,79,44,80を加圧気体で加
圧するようにすれば、より効率良く被制御流体をコント
ロールすることができ、より好ましい。
部側加圧室44,80に通じる加圧気体流入路43,8
6を開放状態にして、加圧室44,80の圧力を大気圧
と等しくして用いてもよい。しかし、前記のように弁体
両外側の加圧室34,79,44,80を加圧気体で加
圧するようにすれば、より効率良く被制御流体をコント
ロールすることができ、より好ましい。
【0023】また、図7にはさらに他の実施例の要部を
示す。この実施例は、弁体89両外側の2つの加圧室9
2,93を、弁体89のロッド部90を貫通させた連通
孔91で連結して、1個の加圧気体流入路94から2個
の加圧室92,93に加圧気体が流入するようにしたも
ので,他の部分は前記図4ないし図6に示した実施例の
コントロールバルブ70と同様である。
示す。この実施例は、弁体89両外側の2つの加圧室9
2,93を、弁体89のロッド部90を貫通させた連通
孔91で連結して、1個の加圧気体流入路94から2個
の加圧室92,93に加圧気体が流入するようにしたも
ので,他の部分は前記図4ないし図6に示した実施例の
コントロールバルブ70と同様である。
【0024】なお、前記各実施例において、ロッド部の
小径端部側加圧室44,80,93にスプリング(図示
せず)を配置して、弁体11,71,89をロッド部の
大径端部側へ付勢するようにしてもよい。そのスプリン
グにより、微小圧の変動に対してもより確実にコントロ
ールできるようになる。
小径端部側加圧室44,80,93にスプリング(図示
せず)を配置して、弁体11,71,89をロッド部の
大径端部側へ付勢するようにしてもよい。そのスプリン
グにより、微小圧の変動に対してもより確実にコントロ
ールできるようになる。
【0025】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明に
よれば、きわめて簡単な構造により流体の2次側流量及
び2次圧力をコントロールすることができ、耐久性及び
保守性に優れる。しかも、耐腐蝕性あるいは耐薬品性の
高い材質からコントロールバルブを構成することもでき
るため、極めて有用である。さらに、コントロールバル
ブに作動用の加圧気体を供給するだけで作動し、また供
給する加圧気体の圧力をコントロールすることにより、
2次側の流量及び圧力を容易にコントロールできる。そ
のため、コントロールバルブとパイプで連結されてコン
トロールバルブから離れた位置にある加圧気体供給源の
位置で、あるいはコントロールバルブと加圧気体供給源
間の所望位置で加圧気体の圧力をコントロールするだけ
で2次側の流量及び圧力をコントロールでき、遠隔操作
も極めて容易である。
よれば、きわめて簡単な構造により流体の2次側流量及
び2次圧力をコントロールすることができ、耐久性及び
保守性に優れる。しかも、耐腐蝕性あるいは耐薬品性の
高い材質からコントロールバルブを構成することもでき
るため、極めて有用である。さらに、コントロールバル
ブに作動用の加圧気体を供給するだけで作動し、また供
給する加圧気体の圧力をコントロールすることにより、
2次側の流量及び圧力を容易にコントロールできる。そ
のため、コントロールバルブとパイプで連結されてコン
トロールバルブから離れた位置にある加圧気体供給源の
位置で、あるいはコントロールバルブと加圧気体供給源
間の所望位置で加圧気体の圧力をコントロールするだけ
で2次側の流量及び圧力をコントロールでき、遠隔操作
も極めて容易である。
【図1】この発明の一実施例に係るコントロールバルブ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図2】その実施例に用いる弁体の斜視図である。
【図3】その実施例の作動を説明する部分拡大断面図で
ある。
ある。
【図4】他の実施例の縦断面図である。
【図5】その実施例に用いる弁体の斜視図である。
【図6】その実施例の作動を説明する部分拡大断面図で
ある。
ある。
【図7】さらに他の実施例を示す要部拡大断面図であ
る。
る。
11 弁体 12 ロッド部 17 流量制御部 22 ダイヤフラム 31 バルブ本体 33,34 加圧気体流入路 34,44 加圧室 53 弁室 56 被制御流体通路 58 流量制御通路部 59 被制御流体流入口 60 被制御流体流出口
Claims (2)
- 【請求項1】 弁体とバルブ本体とよりなって、 前記弁体は、筒形状の一端が拡大して他端より大径にな
って両端間の側面外周に突出した流量制御部を有するロ
ッド部と、前記ロッド部両端の少なくとも大径側端部に
該端部外周へ鍔状に突出して設けられたダイヤフラムと
からなり、 前記バルブ本体は、前記ダイヤフラムの外周縁を固定し
てロッド部を軸方向にスライド可能に弁体を収容する弁
室と、前記弁室の外側にあってダイヤフラムまたはロッ
ド部の小径側端面により弁室と仕切られた加圧室と、前
記ロッド部外周と弁室内壁面との間に形成されて、前記
ロッド部が大径端部側へスライドするに従い前記流量制
御部と弁室内壁面間が狭くなる流量制御通路部を有する
被制御流体通路と、前記ロッド部の小径端部側で被制御
流体通路に連通しバルブ本体外面で開口する被制御流体
流入口と、前記ロッド部の大径端部側で被制御流体通路
に連通しバルブ本体外面で開口する被制御流体流出口
と、前記加圧室に通じバルブ本体外面で開口する加圧気
体流入路とからなることを特徴とする流体コントロール
バルブ。 - 【請求項2】 請求項1において、ダイヤフラムがロッ
ド部の大径側端部に設けられた第1ダイヤフラムと、前
記第1ダイヤフラムより小径からなってロッド部の小径
側端部に設けられた第2ダイヤフラムとからなり、加圧
室が両ダイヤフラムにより弁室と仕切られたことを特徴
とする流体コントロールバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5106056A JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5106056A JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06295209A true JPH06295209A (ja) | 1994-10-21 |
JP2671183B2 JP2671183B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=14423966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5106056A Expired - Lifetime JP2671183B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 流体コントロールバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2671183B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000061283A1 (fr) * | 1999-04-09 | 2000-10-19 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Dispositif de decomposition de compose halogene organique et dispositif de chauffage de fluide |
WO2003009076A1 (fr) * | 2001-07-18 | 2003-01-30 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Regulateur de pression constante |
JP2003084841A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Advance Denki Kogyo Kk | 流体コントロール弁 |
JP2003097747A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 背圧弁 |
JP2004019756A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Smc Corp | 流量制御装置 |
JP2004301181A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Tonii Seiki Seisakusho:Kk | ガス圧調整器におけるガス洩れ防止機構 |
US6889706B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-05-10 | Smc Kabushiki Kaisha | Flow rate control apparatus |
KR100580809B1 (ko) * | 1998-12-25 | 2006-05-16 | 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 | 유량제어밸브 |
US7108241B2 (en) | 2002-07-03 | 2006-09-19 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Flow control valve |
JP2007107606A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Ckd Corp | 流体制御弁 |
JP2008121705A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 定流量弁 |
JPWO2007097243A1 (ja) * | 2006-02-24 | 2009-07-09 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力調整弁並びにこれを用いた燃料電池システム及び水素発生設備 |
JP2013080488A (ja) * | 2006-01-06 | 2013-05-02 | Soc Bic | 圧力調整バルブ |
KR20210096087A (ko) | 2018-11-30 | 2021-08-04 | 아사히 유키자이 가부시키가이샤 | 다이어프램 밸브 |
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---|---|---|---|---|
JPS61173319A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-05 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 流体用レギユレ−タ |
-
1993
- 1993-04-07 JP JP5106056A patent/JP2671183B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11473682B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-10-18 | Asahi Yukizai Corporation | Diaphragm valve |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2671183B2 (ja) | 1997-10-29 |
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