JPH06250061A - 光学部材保持装置 - Google Patents
光学部材保持装置Info
- Publication number
- JPH06250061A JPH06250061A JP5062561A JP6256193A JPH06250061A JP H06250061 A JPH06250061 A JP H06250061A JP 5062561 A JP5062561 A JP 5062561A JP 6256193 A JP6256193 A JP 6256193A JP H06250061 A JPH06250061 A JP H06250061A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leaf spring
- optical member
- holding device
- mirror
- frame body
- Prior art date
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ミラーの光軸安定性の向上及び構造が簡素化
を図るとともに、保持力の調整を不要にする。 【構成】 横型ミラー１を吊り下げた状態で保持するよ
うにしたので、板バネ６の長手方向と重力方向とは一致
し、板バネ６の座屈やねじれが生じ難く、横型ミラー１
の光軸方向の安定性が高くなる。また、調整機構により
保持力を調整する構造ではないので、構造は簡素で保持
力の調整も不要である。更に、板バネ６に仮留め用孔９
を設けるようにしたので、仮留め用孔９に接着剤８を注
入して板バネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化し
た後にボルト１０で板バネ６を枠体３に固定することが
でき、その結果ボルト１０の締付け時に生じる板バネ６
の微動を防ぐことができ、横型ミラー１の光軸方向の安
定性を一層向上させることができる。
を図るとともに、保持力の調整を不要にする。 【構成】 横型ミラー１を吊り下げた状態で保持するよ
うにしたので、板バネ６の長手方向と重力方向とは一致
し、板バネ６の座屈やねじれが生じ難く、横型ミラー１
の光軸方向の安定性が高くなる。また、調整機構により
保持力を調整する構造ではないので、構造は簡素で保持
力の調整も不要である。更に、板バネ６に仮留め用孔９
を設けるようにしたので、仮留め用孔９に接着剤８を注
入して板バネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化し
た後にボルト１０で板バネ６を枠体３に固定することが
でき、その結果ボルト１０の締付け時に生じる板バネ６
の微動を防ぐことができ、横型ミラー１の光軸方向の安
定性を一層向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光学部材保持装置に関
し、特に半導体製造用の露光装置等の投影光学系の光学
部材の保持装置に関する。
し、特に半導体製造用の露光装置等の投影光学系の光学
部材の保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の光学部材保持装置の破断面
図である。この光学部材保持装置は、垂直光軸の円板状
の横型ミラー１０１を保持するものであり、図６に示す
ように、円筒状の枠体１０２の内周面につば部１０５を
設け、そのつば部１０５の内周面に段差部１０６を設け
てなる。つば部１０５の段差部１０６は横型ミラー１０
１の周縁部を受けて横型ミラー１０１を支持する。すな
わち、横型ミラー１０１の下面１０１ａは段差部１０６
の水平面１０６ａで支持される。
図である。この光学部材保持装置は、垂直光軸の円板状
の横型ミラー１０１を保持するものであり、図６に示す
ように、円筒状の枠体１０２の内周面につば部１０５を
設け、そのつば部１０５の内周面に段差部１０６を設け
てなる。つば部１０５の段差部１０６は横型ミラー１０
１の周縁部を受けて横型ミラー１０１を支持する。すな
わち、横型ミラー１０１の下面１０１ａは段差部１０６
の水平面１０６ａで支持される。
【０００３】また、大型のミラーや高い精度を求められ
るミラーの保持装置としては、横型ミラーの下面や側面
を複数点で保持し、理想的な重量配分になるように３軸
方向に調整可能な調整機構を備えたものがある。
るミラーの保持装置としては、横型ミラーの下面や側面
を複数点で保持し、理想的な重量配分になるように３軸
方向に調整可能な調整機構を備えたものがある。
【０００４】更に、板バネを用いた保持装置としては、
枠体から横型ミラーへ板バネを横型ミラーの接線方向に
沿って架け渡すようにしたものもある。
枠体から横型ミラーへ板バネを横型ミラーの接線方向に
沿って架け渡すようにしたものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、横型ミラー
の周縁部を全周に亘って保持する従来の光学部材保持装
置には、互いに接触する横型ミラー１０１の下面１０１
ａと段差部１０６の水平面１０６ａとのそれぞれの平面
度を厳しく管理しなければならず、所定の平面度が得ら
れないと、接触する互いの面のうねりの影響を受けてミ
ラー面に歪が生じ易いという問題があった。
の周縁部を全周に亘って保持する従来の光学部材保持装
置には、互いに接触する横型ミラー１０１の下面１０１
ａと段差部１０６の水平面１０６ａとのそれぞれの平面
度を厳しく管理しなければならず、所定の平面度が得ら
れないと、接触する互いの面のうねりの影響を受けてミ
ラー面に歪が生じ易いという問題があった。
【０００６】また、横型ミラーの下面や側面を複数点で
保持する従来の光学部材保持装置には、調整機構が複雑
であり、各保持点における保持力の調整も難しいという
問題があった。
保持する従来の光学部材保持装置には、調整機構が複雑
であり、各保持点における保持力の調整も難しいという
問題があった。
【０００７】更に、板バネを用いた保持装置には、板バ
ネを横型ミラーの側面にボルトで固定するとき、ボルト
を締め込んだ際に板バネが微動したり、また座屈やねじ
れを起こして横型ミラーの光軸が安定しないという問題
があった。
ネを横型ミラーの側面にボルトで固定するとき、ボルト
を締め込んだ際に板バネが微動したり、また座屈やねじ
れを起こして横型ミラーの光軸が安定しないという問題
があった。
【０００８】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は光学部材に与える歪が小さく、構
造が簡素で保持力の調整が不要な光学部材保持装置を提
供することである。
たもので、その課題は光学部材に与える歪が小さく、構
造が簡素で保持力の調整が不要な光学部材保持装置を提
供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の光学部材保持装置は、垂直光軸
の円板状の光学部材を収容する筒状の枠体と、この枠体
内に円周方向に沿って等間隔おきに配置され、前記光学
部材を支持する少なくとも３個の支持部材とを備え、前
記支持部材を、前記枠体内に垂直光軸に沿うように懸装
された板バネと、前記板バネの下部に連結され、前記光
学部材を支持するブロックとで構成した。
め請求項１記載の発明の光学部材保持装置は、垂直光軸
の円板状の光学部材を収容する筒状の枠体と、この枠体
内に円周方向に沿って等間隔おきに配置され、前記光学
部材を支持する少なくとも３個の支持部材とを備え、前
記支持部材を、前記枠体内に垂直光軸に沿うように懸装
された板バネと、前記板バネの下部に連結され、前記光
学部材を支持するブロックとで構成した。
【００１０】また、請求項２記載の発明の光学部材保持
装置は、前記板バネに、前記板バネを前記枠体に接着剤
で仮留めするための仮留め用孔を設けた。
装置は、前記板バネに、前記板バネを前記枠体に接着剤
で仮留めするための仮留め用孔を設けた。
【００１１】
【作用】光学部材は吊り下げられた状態で保持され、板
バネの長手方向と重力方向とが一致するので、板バネの
座屈やねじれが生じ難く、光学部材の光軸方向の安定性
が増す。
バネの長手方向と重力方向とが一致するので、板バネの
座屈やねじれが生じ難く、光学部材の光軸方向の安定性
が増す。
【００１２】また、板バネに仮留め用孔を設けるように
すれば、仮留め用孔に接着剤を注入して板バネを枠体に
仮留めし、接着剤が硬化した後にボルトで板バネを枠体
に固定することができ、ボルト締付け時に生じる板バネ
の微動を防ぐことができる。
すれば、仮留め用孔に接着剤を注入して板バネを枠体に
仮留めし、接着剤が硬化した後にボルトで板バネを枠体
に固定することができ、ボルト締付け時に生じる板バネ
の微動を防ぐことができる。
【００１３】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１はこの発明の一実施例に係る光学部材
保持装置の破断面図、図２は図１の光学部材保持装置の
平面図である。
保持装置の破断面図、図２は図１の光学部材保持装置の
平面図である。
【００１５】垂直光軸の円板状の横型ミラー１は６個の
支持部材２ａ〜２ｆによって支持され、支持部材２ａ〜
２ｆは円筒状の枠体３内に円周方向に沿って等間隔おき
に配置されている。
支持部材２ａ〜２ｆによって支持され、支持部材２ａ〜
２ｆは円筒状の枠体３内に円周方向に沿って等間隔おき
に配置されている。
【００１６】前記横型ミラー１の側面には円周方向に沿
って凸部４が設けられている。凸部４の上面及び下面は
テーパ状に形成されている。
って凸部４が設けられている。凸部４の上面及び下面は
テーパ状に形成されている。
【００１７】前記枠体３の内周面には円周方向に沿って
つば部５が設けられている。つば部５の内周面には一定
間隔おきにめねじ（図示せず）が２つずつ設けられてい
る。
つば部５が設けられている。つば部５の内周面には一定
間隔おきにめねじ（図示せず）が２つずつ設けられてい
る。
【００１８】前記支持部材２ａ〜２ｆは、枠体３内に垂
直光軸に沿うようにたれ下げて取り付け（懸装）られた
板バネ６と、板バネ６の下部に連結され、横型ミラー１
の凸部４と嵌合するブロック７とで構成されている。
直光軸に沿うようにたれ下げて取り付け（懸装）られた
板バネ６と、板バネ６の下部に連結され、横型ミラー１
の凸部４と嵌合するブロック７とで構成されている。
【００１９】板バネ６の一端部には、仮留め用の接着剤
８を注入するための仮留め用孔９（図３参照）と、ボル
ト１０を通すための２つの通孔（図示せず）とが設けら
れている。板バネ６の他端部には、ボルト１１を通すた
めの２つの通孔（図示せず）が設けられている。
８を注入するための仮留め用孔９（図３参照）と、ボル
ト１０を通すための２つの通孔（図示せず）とが設けら
れている。板バネ６の他端部には、ボルト１１を通すた
めの２つの通孔（図示せず）が設けられている。
【００２０】ブロック７の下部には横型ミラー１の凸部
４の下面を受ける凸部７ａが設けられ、この凸部７ａの
上面はテーパ状に形成されている。ブロック７の上部に
は板バネ１２がボルト１３で取り付けられている。板バ
ネ１２の端部は屈曲し、横型ミラー１の凸部４の上面に
当接し、板バネ１２とブロック７の凸部７ａとで横型ミ
ラー１の凸部４を上下から挟み、保持する。
４の下面を受ける凸部７ａが設けられ、この凸部７ａの
上面はテーパ状に形成されている。ブロック７の上部に
は板バネ１２がボルト１３で取り付けられている。板バ
ネ１２の端部は屈曲し、横型ミラー１の凸部４の上面に
当接し、板バネ１２とブロック７の凸部７ａとで横型ミ
ラー１の凸部４を上下から挟み、保持する。
【００２１】次に、この光学部材保持装置を用いた横型
ミラー１の保持方法について説明する。
ミラー１の保持方法について説明する。
【００２２】まず、板バネ６をブロック７に連結する。
板バネ６をブロック７に連結するには、ブロック７のめ
ねじにボルト１１を板バネ６の通孔からねじ込む。
板バネ６をブロック７に連結するには、ブロック７のめ
ねじにボルト１１を板バネ６の通孔からねじ込む。
【００２３】次に、横型ミラー１の凸部４を板バネ１２
とブロック７の凸部７ａとで上下から挟みつけ、ボルト
１３を締め込む。横型ミラー１の凸部４の上面及び下面
をテーパにしたので、挟みつける力が小さくてすみ、横
型ミラー１に与える歪も少なくなる。
とブロック７の凸部７ａとで上下から挟みつけ、ボルト
１３を締め込む。横型ミラー１の凸部４の上面及び下面
をテーパにしたので、挟みつける力が小さくてすみ、横
型ミラー１に与える歪も少なくなる。
【００２４】その後、枠体３内に配置した横型ミラー１
を図示しない工具ホルダに載せて、歪がない状態（理想
的には空間に浮いた状態）に保ち、この状態で、板バネ
６の一端部を、枠体３のつば部５の内周面に仮留めす
る。仮留めするには、図３に示すように、板バネ６の仮
留め用孔９に例えばエポキシ等の接着剤８を注入した。
仮留め用孔９に接着剤８を注入して仮留めするようにし
たので、接着剤８の硬化収縮による光軸方向の歪は殆ど
生じない。また、偏心方向の安定性は板バネ６の幅
（Ｗ）方向の剛性によって保たれる。逆に、板バネ６の
厚さ（Ｔ）方向の剛性は弱いので温度変化時の横型ミラ
ー１と枠体３との線膨脹係数差による寸法変化を吸収す
ることができる。また、組立時、横型ミラー１と枠体３
との半径方向の誤差も吸収することができる。
を図示しない工具ホルダに載せて、歪がない状態（理想
的には空間に浮いた状態）に保ち、この状態で、板バネ
６の一端部を、枠体３のつば部５の内周面に仮留めす
る。仮留めするには、図３に示すように、板バネ６の仮
留め用孔９に例えばエポキシ等の接着剤８を注入した。
仮留め用孔９に接着剤８を注入して仮留めするようにし
たので、接着剤８の硬化収縮による光軸方向の歪は殆ど
生じない。また、偏心方向の安定性は板バネ６の幅
（Ｗ）方向の剛性によって保たれる。逆に、板バネ６の
厚さ（Ｔ）方向の剛性は弱いので温度変化時の横型ミラ
ー１と枠体３との線膨脹係数差による寸法変化を吸収す
ることができる。また、組立時、横型ミラー１と枠体３
との半径方向の誤差も吸収することができる。
【００２５】最後に、接着剤８が硬化した後、ボルト１
０を板バネ６の通孔から枠体３のつば部５のめねじにね
じ込む。
０を板バネ６の通孔から枠体３のつば部５のめねじにね
じ込む。
【００２６】この実施例の光学部材保持装置によれば、
横型ミラー１が吊り下げられた状態で保持され、板バネ
６の長手方向と重力方向とは一致するので、板バネ６の
座屈やねじれが生じ難く、横型ミラー１の光軸方向の安
定性が高くなる。また、横型ミラー１の下面や側面を複
数点で保持する構造ではないので、構造は簡素で保持力
の調整も不要である。
横型ミラー１が吊り下げられた状態で保持され、板バネ
６の長手方向と重力方向とは一致するので、板バネ６の
座屈やねじれが生じ難く、横型ミラー１の光軸方向の安
定性が高くなる。また、横型ミラー１の下面や側面を複
数点で保持する構造ではないので、構造は簡素で保持力
の調整も不要である。
【００２７】また、板バネ６に仮留め用孔９を設けるよ
うにしたので、仮留め用孔９に接着剤８を注入して板バ
ネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化した後にボル
ト１０で板バネ６を枠体３に固定することができ、その
結果ボルト１０の締付け時に生じる板バネ６の微動を防
ぐことができ、横型ミラー１の光軸方向の安定性を一層
向上させることができる。
うにしたので、仮留め用孔９に接着剤８を注入して板バ
ネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化した後にボル
ト１０で板バネ６を枠体３に固定することができ、その
結果ボルト１０の締付け時に生じる板バネ６の微動を防
ぐことができ、横型ミラー１の光軸方向の安定性を一層
向上させることができる。
【００２８】図４はこの発明の他の実施例に係る光学部
材保持装置の破断面図、図５は図４の光学部材保持装置
の平面図である。前述の実施例と共通する部分には同一
符号を付して説明を省略する。
材保持装置の破断面図、図５は図４の光学部材保持装置
の平面図である。前述の実施例と共通する部分には同一
符号を付して説明を省略する。
【００２９】前述の実施例では、板バネ６の一端部に仮
留め用孔９を設け、仮留め用孔９に接着剤８を注入して
板バネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化した後に
ボルト１０で板バネ６を枠体３に固定するようにした
が、これに代え、図４及び図５に示すように、枠体２３
のつば部１５の上面に接着剤１８が注入される接着溝２
０と板バネ１６の一端部を接着溝２０へ逃がす貫通孔２
１とを光軸方向に沿って上下に設け、板バネ１６の一端
部を貫通孔２１から接着溝２０へ差し込み、接着溝２０
内に接着剤１８を注入して板バネ１６を枠体２３に固定
するようにしてもよい。前述の実施例では、板バネ１６
を固定するためのボルト１０を用いないが、多量の接着
剤１８が収まる接着溝２０を設けたので、接着部に十分
な強度をもたせることができる。この実施例の光学部材
保持装置によれば、より簡易な構造によって横型ミラー
１を吊り下げられた状態で保持することができる。
留め用孔９を設け、仮留め用孔９に接着剤８を注入して
板バネ６を枠体３に仮留めし、接着剤８が硬化した後に
ボルト１０で板バネ６を枠体３に固定するようにした
が、これに代え、図４及び図５に示すように、枠体２３
のつば部１５の上面に接着剤１８が注入される接着溝２
０と板バネ１６の一端部を接着溝２０へ逃がす貫通孔２
１とを光軸方向に沿って上下に設け、板バネ１６の一端
部を貫通孔２１から接着溝２０へ差し込み、接着溝２０
内に接着剤１８を注入して板バネ１６を枠体２３に固定
するようにしてもよい。前述の実施例では、板バネ１６
を固定するためのボルト１０を用いないが、多量の接着
剤１８が収まる接着溝２０を設けたので、接着部に十分
な強度をもたせることができる。この実施例の光学部材
保持装置によれば、より簡易な構造によって横型ミラー
１を吊り下げられた状態で保持することができる。
【００３０】なお、前述の実施例では、６個の支持部材
２ａ〜２ｆを用いて横型ミラー１を保持するようにした
が、少なくとも３個の支持部材を用いればよく、支持部
材の数が増えるほど横型ミラー１に与える影響を小さく
することができる。
２ａ〜２ｆを用いて横型ミラー１を保持するようにした
が、少なくとも３個の支持部材を用いればよく、支持部
材の数が増えるほど横型ミラー１に与える影響を小さく
することができる。
【００３１】また、前述の実施例では、横型ミラー１の
側面に凸部４を設け、凸部４を挟みつけるようにした
が、これに代え、横型ミラー１の側面に円周方向に沿っ
て凸部４を設けず、横型ミラー１の周縁部を挟みつける
ようにしてもよい。
側面に凸部４を設け、凸部４を挟みつけるようにした
が、これに代え、横型ミラー１の側面に円周方向に沿っ
て凸部４を設けず、横型ミラー１の周縁部を挟みつける
ようにしてもよい。
【００３２】更に、横型ミラー１の凸部４の上面及び下
面をテーパ状にしたが、両面を平行平面にしてもよい。
面をテーパ状にしたが、両面を平行平面にしてもよい。
【００３３】また、前述の各実施例では、光学部材の横
型ミラー１に適用した場合について述べたが、ミラーに
代えてレンズに適用することもできる。
型ミラー１に適用した場合について述べたが、ミラーに
代えてレンズに適用することもできる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の光学部材
保持装置によれば、光学部材が吊り下げられた状態で保
持され、板バネの長手方向と重力方向とは一致するの
で、板バネの座屈やねじれが生じ難く、光学部材の光軸
方向の安定性が高い。また、構造は簡素で調整機構によ
る光学部材の保持力の調整も不要である。
保持装置によれば、光学部材が吊り下げられた状態で保
持され、板バネの長手方向と重力方向とは一致するの
で、板バネの座屈やねじれが生じ難く、光学部材の光軸
方向の安定性が高い。また、構造は簡素で調整機構によ
る光学部材の保持力の調整も不要である。
【００３５】また、板バネに仮留め用孔を設けるように
すれば、仮留め用孔に接着剤を注入して板バネを枠体に
仮留めし、接着剤が硬化した後にボルトで板バネを枠体
に固定することができ、その結果ボルト締付け時に生じ
る板バネの微動を防ぐことができ、光学部材の光軸方向
の安定性を一層向上させることができる。
すれば、仮留め用孔に接着剤を注入して板バネを枠体に
仮留めし、接着剤が硬化した後にボルトで板バネを枠体
に固定することができ、その結果ボルト締付け時に生じ
る板バネの微動を防ぐことができ、光学部材の光軸方向
の安定性を一層向上させることができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る光学部材保持
装置の破断面図である。
装置の破断面図である。
【図２】図２は図１の光学部材保持装置の平面図であ
る。
る。
【図３】図３は図１の光学部材保持装置の一部の拡大断
面図である。
面図である。
【図４】図４はこの発明の他の実施例に係る光学部材保
持装置の破断面図である。
持装置の破断面図である。
【図５】図５は図４の光学部材保持装置の平面図であ
る。
る。
【図６】図６は従来の光学部材保持装置の破断面図であ
る。
る。
１ 横型ミラー ２ａ〜２ｆ 支持部材 ３ 枠体 ６ 板バネ ７ ブロック ８ 接着剤 ９ 仮留め用孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (2)
- 【請求項１】 垂直光軸の円板状の光学部材を収容する
筒状の枠体と、 この枠体内に円周方向に沿って等間隔おきに配置され、
前記光学部材を支持する少なくとも３個の支持部材とを
備え、 前記支持部材を、前記枠体内に垂直光軸に沿うように懸
装された板バネと、前記板バネの下部に連結され、前記
光学部材を支持するブロックとで構成したことを特徴と
する光学部材保持装置。 - 【請求項２】 前記板バネに、前記板バネを前記枠体に
接着剤で仮留めするための仮留め用孔を設けたことを特
徴とする請求項１記載の光学部材保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5062561A JPH06250061A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 光学部材保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5062561A JPH06250061A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 光学部材保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06250061A true JPH06250061A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13203824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5062561A Withdrawn JPH06250061A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 光学部材保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06250061A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006140366A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 投影光学系及び露光装置 |
| JP2009204658A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Nidec Sankyo Corp | レンズ駆動装置 |
| JP4622058B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法 |
| JP2019505828A (ja) * | 2015-12-03 | 2019-02-28 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 能動的に調整可能なメトロロジー支持ユニットを備える光学結像装置 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP5062561A patent/JPH06250061A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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