JPH06234998A - 物品表面清浄法 - Google Patents
物品表面清浄法Info
- Publication number
- JPH06234998A JPH06234998A JP4435493A JP4435493A JPH06234998A JP H06234998 A JPH06234998 A JP H06234998A JP 4435493 A JP4435493 A JP 4435493A JP 4435493 A JP4435493 A JP 4435493A JP H06234998 A JPH06234998 A JP H06234998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning agent
- agent
- decafluoropentane
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Detergent Compositions (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、オゾン層を破壊する恐れがなくそ
して非毒性、不燃性、適度な沸点など洗浄剤の除去に優
れた特性を有するリンス剤を用いた新規な物品表面洗浄
法を提供することを目的する。 【構成】 本発明の物品表面清浄法は、被洗浄物表面に
残留した洗浄剤をリンス剤を用いて除去する洗浄法にお
いて、リンス剤としてデカフルオロペンタン又はデカフ
ルオロペンタンと他の有機液体との混合物を用いること
を特徴とする。
して非毒性、不燃性、適度な沸点など洗浄剤の除去に優
れた特性を有するリンス剤を用いた新規な物品表面洗浄
法を提供することを目的する。 【構成】 本発明の物品表面清浄法は、被洗浄物表面に
残留した洗浄剤をリンス剤を用いて除去する洗浄法にお
いて、リンス剤としてデカフルオロペンタン又はデカフ
ルオロペンタンと他の有機液体との混合物を用いること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属部品や電子部品な
どに付着した油やフラックスを洗浄剤により除去した後
に、被洗浄物表面に残留した微量の洗浄剤を除去するた
めに行われる物品表面洗浄法に関する。
どに付着した油やフラックスを洗浄剤により除去した後
に、被洗浄物表面に残留した微量の洗浄剤を除去するた
めに行われる物品表面洗浄法に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属部品や電子部品の仕上げ工程や錆止
めに使用されるグリースや鉱油等の脱脂洗浄、そしてハ
ンダ付けのフラックス除去を目的とする溶剤としては、
フロン１１３に代表されるクロロフルオロカーボン系洗
浄剤や1,1,1-トリクロロエタンに代表される塩素系洗浄
剤が賞用されてきた。しかしこのクロロフルオロカーボ
ン系や塩素系洗浄剤は、オゾン層破壊あるいは地下水汚
染といった環境問題を引き起こしているため使用が制限
されており、近年これらの代替として炭化水素系洗浄剤
が用いられてきている。
めに使用されるグリースや鉱油等の脱脂洗浄、そしてハ
ンダ付けのフラックス除去を目的とする溶剤としては、
フロン１１３に代表されるクロロフルオロカーボン系洗
浄剤や1,1,1-トリクロロエタンに代表される塩素系洗浄
剤が賞用されてきた。しかしこのクロロフルオロカーボ
ン系や塩素系洗浄剤は、オゾン層破壊あるいは地下水汚
染といった環境問題を引き起こしているため使用が制限
されており、近年これらの代替として炭化水素系洗浄剤
が用いられてきている。
【０００３】これらの炭化水素系洗浄剤は、油やフラッ
クス溶解力向上のため通常加温して使用されるが、元来
可燃性であるためその取扱い上の安全性から沸点が１５
０℃以上と従来の洗浄剤よりは高沸点のものが用いられ
るし、また洗浄剤としての溶解力を向上させるためエー
テル，エステル，グリコール類等が添加されることも多
い。その為これらの炭化水素系洗浄剤で洗浄した後の被
洗浄物の乾燥処理において、洗浄剤を速やかに除去する
ためその沸点に合わせて高温で乾燥すれば被洗浄物を傷
め、低温で行えば長時間かかるのみならずこれら洗浄剤
が被洗浄物に付着残留しシミ等を生じ易いという問題が
あった。
クス溶解力向上のため通常加温して使用されるが、元来
可燃性であるためその取扱い上の安全性から沸点が１５
０℃以上と従来の洗浄剤よりは高沸点のものが用いられ
るし、また洗浄剤としての溶解力を向上させるためエー
テル，エステル，グリコール類等が添加されることも多
い。その為これらの炭化水素系洗浄剤で洗浄した後の被
洗浄物の乾燥処理において、洗浄剤を速やかに除去する
ためその沸点に合わせて高温で乾燥すれば被洗浄物を傷
め、低温で行えば長時間かかるのみならずこれら洗浄剤
が被洗浄物に付着残留しシミ等を生じ易いという問題が
あった。
【０００４】一方リンス剤においても、シリコンウェハ
ーに付着したレジスト剥離剤のゆすぎに用いられるトリ
クロロエチレンが毒性問題によりその使用が制限され始
めている。
ーに付着したレジスト剥離剤のゆすぎに用いられるトリ
クロロエチレンが毒性問題によりその使用が制限され始
めている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、オゾ
ン層を破壊する恐れがなくそして非毒性、不燃性、適度
な沸点など洗浄剤の除去に優れた特性を有するリンス剤
を用いた新規な物品表面洗浄法を提供することを目的す
る。
ン層を破壊する恐れがなくそして非毒性、不燃性、適度
な沸点など洗浄剤の除去に優れた特性を有するリンス剤
を用いた新規な物品表面洗浄法を提供することを目的す
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の物品表面清浄法
は、被洗浄物表面に残留した洗浄剤をリンス剤を用いて
除去する洗浄法において、リンス剤としてデカフルオロ
ペンタン又はデカフルオロペンタンと他の有機液体との
混合物を用いることを特徴とする。
は、被洗浄物表面に残留した洗浄剤をリンス剤を用いて
除去する洗浄法において、リンス剤としてデカフルオロ
ペンタン又はデカフルオロペンタンと他の有機液体との
混合物を用いることを特徴とする。
【０００７】デカフルオロペンタンとしては、1,1,1,2,
3,4,4,5,5,5-デカフルオロペンタン（以下HFC-43-10mee
と略す）が例示されるが、他のデカフルオロペンタンか
ら選ばれる１種または２種以上の混合物であってもよ
い。HFC-43-10meeは塩素を含まないので、オゾン破壊係
数が０、沸点が約５５℃、不燃性であり、低毒性である
ためリンス剤として適している。
3,4,4,5,5,5-デカフルオロペンタン（以下HFC-43-10mee
と略す）が例示されるが、他のデカフルオロペンタンか
ら選ばれる１種または２種以上の混合物であってもよ
い。HFC-43-10meeは塩素を含まないので、オゾン破壊係
数が０、沸点が約５５℃、不燃性であり、低毒性である
ためリンス剤として適している。
【０００８】このリンス剤が除去できる洗浄剤として
は、炭化水素類、エステル類、テルペン類、グリコール
エーテル類、高級エーテル類などの有機液体またはそれ
らの混合物である。
は、炭化水素類、エステル類、テルペン類、グリコール
エーテル類、高級エーテル類などの有機液体またはそれ
らの混合物である。
【０００９】また本発明におけるリンス剤はデカフルオ
ロペンタンの他、これを主成分として洗浄剤との溶解性
を向上させるためにその他の有機液体、例えば炭化水素
類、メタノール、エタノール等のアルコール類、t-1,2-
ジクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素類、アセトン
などのケトン類、エーテル類、エステル類等から選ばれ
る少なくとも１種以上を含む混合物であっても良い。そ
してその混合物が共沸組成物を形成するならばその範囲
での使用が好ましい。
ロペンタンの他、これを主成分として洗浄剤との溶解性
を向上させるためにその他の有機液体、例えば炭化水素
類、メタノール、エタノール等のアルコール類、t-1,2-
ジクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素類、アセトン
などのケトン類、エーテル類、エステル類等から選ばれ
る少なくとも１種以上を含む混合物であっても良い。そ
してその混合物が共沸組成物を形成するならばその範囲
での使用が好ましい。
【００１０】本発明におけるリンス剤には、安定剤とし
てニトロメタン、ニトロエタン等のニトロアルカン類、
プロピオンオキサイド等のエポキシド類、フラン類、ベ
ンゾトリアゾール類、フェノール類、アミン類から選ば
れる少なくとも１種を含むことが好ましい。
てニトロメタン、ニトロエタン等のニトロアルカン類、
プロピオンオキサイド等のエポキシド類、フラン類、ベ
ンゾトリアゾール類、フェノール類、アミン類から選ば
れる少なくとも１種を含むことが好ましい。
【００１１】本発明の物品表面清浄法は、油やフラック
ス等で汚れた金属部品や電子部品等を洗浄する為に使用
された洗浄剤を被洗浄物表面から速やかに除去し、被洗
浄物をシミ等がない清浄な物品とするための方法として
好適であり、被洗浄物を本発明によるリンス剤の冷温
浴、沸騰浴、飽和蒸気相または超音波浴に浸漬すること
によっていわゆるすすぎを行い、その後室温に近い温度
にて乾燥することにより実施される。
ス等で汚れた金属部品や電子部品等を洗浄する為に使用
された洗浄剤を被洗浄物表面から速やかに除去し、被洗
浄物をシミ等がない清浄な物品とするための方法として
好適であり、被洗浄物を本発明によるリンス剤の冷温
浴、沸騰浴、飽和蒸気相または超音波浴に浸漬すること
によっていわゆるすすぎを行い、その後室温に近い温度
にて乾燥することにより実施される。
【００１２】以下実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明は下記の実施例に限定されるものではな
い。
るが、本発明は下記の実施例に限定されるものではな
い。
【００１３】
【実施例１】清浄なベアリング（直径50ｍｍ）を脂肪族
炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル［登
録商標］9100）中に７５℃で１分間浸漬した。その後HF
C-43-10meeの沸騰浴に１分間、更にHFC-43-10meeの飽和
蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで冷却し、
乾燥したベアリング重量を測定した。ベアリングの重量
増加分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤
の量とした。結果を表１に示す。
炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル［登
録商標］9100）中に７５℃で１分間浸漬した。その後HF
C-43-10meeの沸騰浴に１分間、更にHFC-43-10meeの飽和
蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで冷却し、
乾燥したベアリング重量を測定した。ベアリングの重量
増加分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤
の量とした。結果を表１に示す。
【００１４】
【実施例２】清浄なベアリング（直径50ｍｍ）を脂肪族
炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル［登
録商標］6100）中に４０℃で１分間浸漬した。その後HF
C-43-10meeの沸騰浴に１分間、更にHFC-43-10meeの飽和
蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで冷却し、
乾燥したベアリング重量を測定した。ベアリングの重量
増加分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤
の量とした。結果を表１に示す。
炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル［登
録商標］6100）中に４０℃で１分間浸漬した。その後HF
C-43-10meeの沸騰浴に１分間、更にHFC-43-10meeの飽和
蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで冷却し、
乾燥したベアリング重量を測定した。ベアリングの重量
増加分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤
の量とした。結果を表１に示す。
【００１５】
【比較例１】実施例と同じように清浄なベアリングを脂
肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル
［登録商標］9100）中に７５℃で１分間浸漬した後、７
５℃の熱風で５分間乾燥して重量を測定した。重量増加
分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤の量
とした。結果を表１に示す。
肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル
［登録商標］9100）中に７５℃で１分間浸漬した後、７
５℃の熱風で５分間乾燥して重量を測定した。重量増加
分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤の量
とした。結果を表１に示す。
【００１６】
【比較例２】比較例と同じように清浄なベアリングを脂
肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル
［登録商標］6100）中に４０℃で１分間浸漬した後、４
０℃の温風で５分間乾燥して重量を測定した。重量増加
分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤の量
とした。結果を表１に示す。
肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アクサレル
［登録商標］6100）中に４０℃で１分間浸漬した後、４
０℃の温風で５分間乾燥して重量を測定した。重量増加
分を浸漬処理によってベアリングに付着した洗浄剤の量
とした。結果を表１に示す。
【表１】
【００１７】
【実施例３】清浄な２．５×７．５ｍｍのスライドグラ
スを脂肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アク
サレル［登録商標］３２）中に６５℃で１分間浸漬し
た。その後、HFC-43-10mee、トランス−1,2-ジクロロエ
チレン及びメタノール共沸混合液（重量比５６．３：３
９．９：３．８）の沸騰浴に１分間、更にこの共沸混合
液の飽和蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで
冷却し、乾燥したスライドグラスの外観を目視して評価
した。結果を表２に示す。
スを脂肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アク
サレル［登録商標］３２）中に６５℃で１分間浸漬し
た。その後、HFC-43-10mee、トランス−1,2-ジクロロエ
チレン及びメタノール共沸混合液（重量比５６．３：３
９．９：３．８）の沸騰浴に１分間、更にこの共沸混合
液の飽和蒸気相に１分間静置した後取り出し、室温まで
冷却し、乾燥したスライドグラスの外観を目視して評価
した。結果を表２に示す。
【００１８】
【比較例３】清浄な２．５×７．５ｍｍのスライドグラ
スを脂肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アク
サレル［登録商標］３２）中に６５℃で１分間浸漬し
た。その後８５℃の熱風で５分間乾燥し、スライドグラ
スの外観を目視して評価した。結果を表２に示す。
スを脂肪族炭化水素系洗浄剤（デュポン社製洗浄剤アク
サレル［登録商標］３２）中に６５℃で１分間浸漬し
た。その後８５℃の熱風で５分間乾燥し、スライドグラ
スの外観を目視して評価した。結果を表２に示す。
【００１９】
【実施例４】洗浄用溶剤として脂肪族炭化水素系洗浄剤
（ペトロファーム社製バイオアクト［登録商標］ＥＣ−
７Ｒ）を用いて実施例３と同様のテストを行った。結果
を表２に示す。
（ペトロファーム社製バイオアクト［登録商標］ＥＣ−
７Ｒ）を用いて実施例３と同様のテストを行った。結果
を表２に示す。
【００２０】
【比較例４】洗浄用溶剤として脂肪族炭化水素系洗浄剤
（ペトロファーム社製バイオアクト［登録商標］ＥＣ−
７Ｒ）を用いて比較例３と同様のテストを行った。結果
を表２に示す。
（ペトロファーム社製バイオアクト［登録商標］ＥＣ−
７Ｒ）を用いて比較例３と同様のテストを行った。結果
を表２に示す。
【表２】
【００２１】
【発明の効果】本発明のリンス洗浄法により、オゾン層
に悪影響を与えずに、油やフラックス等で汚れた金属部
品や電子部品を洗浄する為に使用した洗浄剤を速やかに
被洗浄物表面から除去し、かつ被洗浄物を熱風により傷
めることなくシミ等を被洗浄物表面に残さない清浄な物
品とすることが可能である。
に悪影響を与えずに、油やフラックス等で汚れた金属部
品や電子部品を洗浄する為に使用した洗浄剤を速やかに
被洗浄物表面から除去し、かつ被洗浄物を熱風により傷
めることなくシミ等を被洗浄物表面に残さない清浄な物
品とすることが可能である。
Claims (2)
- 【請求項１】 被洗浄物表面に残留した洗浄剤をリンス
剤を用いて除去する洗浄法において、リンス剤としてデ
カフルオロペンタン又はデカフルオロペンタンと他の有
機液体との混合物を用いることを特徴とする物品表面清
浄法。 - 【請求項２】 デカフルオロペンタンが1,1,1,2,3,4,4,
5,5,5-デカフルオロペンタンである請求項１記載の物品
表面清浄法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4435493A JPH06234998A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 物品表面清浄法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4435493A JPH06234998A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 物品表面清浄法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06234998A true JPH06234998A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=12689183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4435493A Pending JPH06234998A (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 物品表面清浄法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06234998A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996036679A1 (en) * | 1995-05-19 | 1996-11-21 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Ternary azeotropic compositions |
| USRE39819E1 (en) | 1998-07-24 | 2007-09-04 | Atofina | Cleaning or drying compositions based on 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-decafluoropentane |
| US7307054B2 (en) | 2004-01-20 | 2007-12-11 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Vapor compression air conditioning or refrigeration system cleaning compositions and methods |
| US7524806B2 (en) | 2005-07-07 | 2009-04-28 | Arkema Inc. | Trans-1, 2-dichloroethylene and hydrofluorocarbon or alkoxy perfluoroalkane compositions having elevated flash points |
-
1993
- 1993-02-10 JP JP4435493A patent/JPH06234998A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996036679A1 (en) * | 1995-05-19 | 1996-11-21 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Ternary azeotropic compositions |
| USRE39819E1 (en) | 1998-07-24 | 2007-09-04 | Atofina | Cleaning or drying compositions based on 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-decafluoropentane |
| US7307054B2 (en) | 2004-01-20 | 2007-12-11 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Vapor compression air conditioning or refrigeration system cleaning compositions and methods |
| US7524806B2 (en) | 2005-07-07 | 2009-04-28 | Arkema Inc. | Trans-1, 2-dichloroethylene and hydrofluorocarbon or alkoxy perfluoroalkane compositions having elevated flash points |
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