JPH06190256A - 現像液調合装置及び現像液調合方法 - Google Patents
現像液調合装置及び現像液調合方法Info
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- JPH06190256A JPH06190256A JP4347645A JP34764592A JPH06190256A JP H06190256 A JPH06190256 A JP H06190256A JP 4347645 A JP4347645 A JP 4347645A JP 34764592 A JP34764592 A JP 34764592A JP H06190256 A JPH06190256 A JP H06190256A
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 現像原液と純水を混合することにより所定濃
度の現像成分を含有する現像液を得る現像液調合装置で
あって、現像原液及び純水を受け入れて混合する手段を
具備した混合槽と、該混合槽内の液に含有される現像成
分の濃度を測定する超音波濃度計と、該超音波濃度計か
らの出力信号により現像原液及び／又は純水の混合槽へ
の供給流量を調節する流量調節手段と、所定濃度の現像
成分を含有する混合槽内の現像液を受け入れて貯留する
貯槽を備えた現像液調合装置。 【効果】 現像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維
持管理することができ、かつ迅速で省力的な実施が可能
である現像液調合装置及び現像液調合方法を提供するこ
とができる。
度の現像成分を含有する現像液を得る現像液調合装置で
あって、現像原液及び純水を受け入れて混合する手段を
具備した混合槽と、該混合槽内の液に含有される現像成
分の濃度を測定する超音波濃度計と、該超音波濃度計か
らの出力信号により現像原液及び／又は純水の混合槽へ
の供給流量を調節する流量調節手段と、所定濃度の現像
成分を含有する混合槽内の現像液を受け入れて貯留する
貯槽を備えた現像液調合装置。 【効果】 現像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維
持管理することができ、かつ迅速で省力的な実施が可能
である現像液調合装置及び現像液調合方法を提供するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、現像液調合装置及び現
像液調合方法に関するものである。
像液調合方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）やＬＳＩ
（大規模集積回路）の製造において要求される微細なパ
ターンを形成するために、いわゆるリソグラフィーが用
いられる。リソグラフィーに用いられるホトレジストに
は、ポジ型及びネガ型があるが、特にポジ型が寸法精度
及び解像度が優れることから、多用されている。ポジ型
レジストの現像液としては、無機又は有機のアルカリ水
溶液が用いられるが、アルカリ金属による汚染を防ぐた
め、有機アルカリ水溶液、特に水酸化テトラメチルアン
モニウム水溶液が好適に用いられ、その使用時の濃度は
約２．４重量％という希薄なものである。ところが、原
液として製造される水酸化テトラメチルアンモニウム水
溶液の濃度は、通常５〜４０重量％程度であり、したが
って使用にあたっては、該原液を純水により希釈する必
要がある。ところで、微細なパターンを正確に得るため
には、露光されたレジストを精度良く現像することが重
要であり、そのためには用いられる現像液の組成につい
て、所定の濃度に厳密に管理する必要がある。
（大規模集積回路）の製造において要求される微細なパ
ターンを形成するために、いわゆるリソグラフィーが用
いられる。リソグラフィーに用いられるホトレジストに
は、ポジ型及びネガ型があるが、特にポジ型が寸法精度
及び解像度が優れることから、多用されている。ポジ型
レジストの現像液としては、無機又は有機のアルカリ水
溶液が用いられるが、アルカリ金属による汚染を防ぐた
め、有機アルカリ水溶液、特に水酸化テトラメチルアン
モニウム水溶液が好適に用いられ、その使用時の濃度は
約２．４重量％という希薄なものである。ところが、原
液として製造される水酸化テトラメチルアンモニウム水
溶液の濃度は、通常５〜４０重量％程度であり、したが
って使用にあたっては、該原液を純水により希釈する必
要がある。ところで、微細なパターンを正確に得るため
には、露光されたレジストを精度良く現像することが重
要であり、そのためには用いられる現像液の組成につい
て、所定の濃度に厳密に管理する必要がある。
【０００３】従来、現像液は現像液メーカーで濃度や組
成を正確に管理して調合し、ユーザーであるＬＳＩメー
カーやＬＣＤメーカーに供給されていた。現像液の主要
成分であるアルカリ濃度は前記のとおり約２．４重量％
程度であるが、原液は５〜４０重量％程度の水溶液で得
られることを考慮すると、現像液メーカーからユーザー
に対して希釈後の現像液を供給する場合は、現像液メー
カーからユーザーへの輸送のための容器費や輸送費が割
高になるという問題点を有していた。この問題を解消す
るためには、現像液メーカーからユーザーへは原液を供
給し、ユーザー側で原液を希釈して用いればよいことに
なる。しかしながら、希釈後の現像液の濃度は、前記の
とおり、所定の濃度に厳密に調合して維持管理する必要
があり、かつ工業的実施の観点からは、迅速で省力的な
実施が可能であることも要求される。かかる状況におい
て、現像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維持管理
することができ、かつ迅速で省力的な実施が可能である
現像液調合装置及び現像液調合方法は実現されていなか
った。
成を正確に管理して調合し、ユーザーであるＬＳＩメー
カーやＬＣＤメーカーに供給されていた。現像液の主要
成分であるアルカリ濃度は前記のとおり約２．４重量％
程度であるが、原液は５〜４０重量％程度の水溶液で得
られることを考慮すると、現像液メーカーからユーザー
に対して希釈後の現像液を供給する場合は、現像液メー
カーからユーザーへの輸送のための容器費や輸送費が割
高になるという問題点を有していた。この問題を解消す
るためには、現像液メーカーからユーザーへは原液を供
給し、ユーザー側で原液を希釈して用いればよいことに
なる。しかしながら、希釈後の現像液の濃度は、前記の
とおり、所定の濃度に厳密に調合して維持管理する必要
があり、かつ工業的実施の観点からは、迅速で省力的な
実施が可能であることも要求される。かかる状況におい
て、現像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維持管理
することができ、かつ迅速で省力的な実施が可能である
現像液調合装置及び現像液調合方法は実現されていなか
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状に鑑み、本
発明が解決しようとする課題は、現像液の濃度を所定の
値に厳密に調合して維持管理することができ、かつ迅速
で省力的な実施が可能である現像液調合装置及び現像液
調合方法を提供する点に存する。
発明が解決しようとする課題は、現像液の濃度を所定の
値に厳密に調合して維持管理することができ、かつ迅速
で省力的な実施が可能である現像液調合装置及び現像液
調合方法を提供する点に存する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意検討の結果、本発明に到達した。す
なわち、本発明のうち、一の発明は、現像原液と純水を
混合することにより所定濃度の現像成分を含有する現像
液を得る現像液調合装置であって、現像原液及び純水を
受け入れて混合する手段を具備した混合槽と、該混合槽
内の液に含有される現像成分の濃度を測定する超音波濃
度計と、該超音波濃度計からの出力信号により現像原液
及び／又は純水の混合槽への供給流量を調節する流量調
節手段と、所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現
像液を受け入れて貯留する貯槽を備えた現像液調合装置
に係るものである。
題を解決すべく鋭意検討の結果、本発明に到達した。す
なわち、本発明のうち、一の発明は、現像原液と純水を
混合することにより所定濃度の現像成分を含有する現像
液を得る現像液調合装置であって、現像原液及び純水を
受け入れて混合する手段を具備した混合槽と、該混合槽
内の液に含有される現像成分の濃度を測定する超音波濃
度計と、該超音波濃度計からの出力信号により現像原液
及び／又は純水の混合槽への供給流量を調節する流量調
節手段と、所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現
像液を受け入れて貯留する貯槽を備えた現像液調合装置
に係るものである。
【０００６】また、本発明のうち、他の発明は、現像原
液と純水を混合することにより所定濃度の現像成分を含
有する現像液を調合する方法において、上記の装置を用
い、現像原液及び純水を混合槽に受け入れて混合し、該
混合槽内の液に含有される現像成分の濃度を超音波濃度
計により測定し、超音波濃度計からの出力信号を流量調
節手段に入力させて現像原液及び／又は純水の混合槽へ
の供給流量を調節することにより所定濃度の現像成分を
含有する現像液を混合槽に得、該現像液を貯槽へ供給し
て貯留する現像液調合方法に係るものである。
液と純水を混合することにより所定濃度の現像成分を含
有する現像液を調合する方法において、上記の装置を用
い、現像原液及び純水を混合槽に受け入れて混合し、該
混合槽内の液に含有される現像成分の濃度を超音波濃度
計により測定し、超音波濃度計からの出力信号を流量調
節手段に入力させて現像原液及び／又は純水の混合槽へ
の供給流量を調節することにより所定濃度の現像成分を
含有する現像液を混合槽に得、該現像液を貯槽へ供給し
て貯留する現像液調合方法に係るものである。
【０００７】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
用いられる現像液は、特に制限はないが、具体例として
は無機又は有機のアルカリ水溶液をあげることができ
る。近年のＬＳＩの微細化を実現し得るという観点から
は、金属類の含有量の非常に少ない有機アルカリ水溶液
が好適であり、なかでも水酸化テトラメチルアンモニウ
ム水溶液が特に好ましい。なお、現像原液は、通常５〜
４０重量％の現像成分を含有する水溶液として得られ
る。そして、本発明により、かかる現像原液を純水で希
釈することにより、約２．４重量％程度の所定の濃度に
厳密に調整された現像液が得られるのである。
用いられる現像液は、特に制限はないが、具体例として
は無機又は有機のアルカリ水溶液をあげることができ
る。近年のＬＳＩの微細化を実現し得るという観点から
は、金属類の含有量の非常に少ない有機アルカリ水溶液
が好適であり、なかでも水酸化テトラメチルアンモニウ
ム水溶液が特に好ましい。なお、現像原液は、通常５〜
４０重量％の現像成分を含有する水溶液として得られ
る。そして、本発明により、かかる現像原液を純水で希
釈することにより、約２．４重量％程度の所定の濃度に
厳密に調整された現像液が得られるのである。
【０００８】本発明において用いられる純水としては、
金属イオンの含有量が数ｐｐｂ以下のものが好ましく、
金属イオンの含有量が０．１ｐｐｂ以下のいわゆる超純
水が更に好ましい。
金属イオンの含有量が数ｐｐｂ以下のものが好ましく、
金属イオンの含有量が０．１ｐｐｂ以下のいわゆる超純
水が更に好ましい。
【０００９】本発明においては、現像原液及び純水を受
け入れて混合する手段を具備した混合槽が用いられる。
具体例としては、現像原液受入れ口、純水受入れ口及び
攪拌装置を有する混合槽をあげることができる。攪拌方
法としては、混合槽の内部に設置された攪拌機を用いる
方法、混合槽内の液の一部をポンプにより抜き出して再
度混合槽に循環する方法、該循環方法の循環ラインにラ
インミキサーを設置する方法などをあげることができ
る。更に、現像原液及び純水を混合槽に受け入れる前
に、ラインミキサーなどの混合装置で混合し、その後該
混合物を混合槽に受け入れてもよく、この方法は混合槽
内の液の濃度が均一になるという観点から、好ましい方
法である。
け入れて混合する手段を具備した混合槽が用いられる。
具体例としては、現像原液受入れ口、純水受入れ口及び
攪拌装置を有する混合槽をあげることができる。攪拌方
法としては、混合槽の内部に設置された攪拌機を用いる
方法、混合槽内の液の一部をポンプにより抜き出して再
度混合槽に循環する方法、該循環方法の循環ラインにラ
インミキサーを設置する方法などをあげることができ
る。更に、現像原液及び純水を混合槽に受け入れる前
に、ラインミキサーなどの混合装置で混合し、その後該
混合物を混合槽に受け入れてもよく、この方法は混合槽
内の液の濃度が均一になるという観点から、好ましい方
法である。
【００１０】本発明においては、混合槽内の液に含有さ
れる現像成分の濃度を測定するための超音波濃度計が用
いられる。超音波濃度計としては、特に限定することな
く用いられ、要するに測定対象である現像成分の濃度を
正確に測定できるものであればよい。たとえば、用いら
れる周波数は数ＭＨｚであり、接液部はＳＵＳ（ステン
レススチール）又はテフロンなどのフッ素樹脂であり、
温度測定部と超音波送受信部を備え、あらかじめ濃度既
知の現像液を用いて求めた検量線と温度変化補償装置に
より測定時の温度に対する測定値の自動修正ができる機
能を備えているものが好ましい。本発明で用いられる超
音波濃度計は、その測定値を出力信号として発信できる
機能を有するものでなければならない。該出力信号によ
り、現像原液及び／又は純水の混合槽への供給流量を調
節する必要があるからである。超音波濃度計の測定端
は、混合槽内の液中に設置されていてもよく、前記の循
環ラインに設置されていてもよく、更に混合槽内の液の
少量をサンプリングして再度混合槽内にリサイクルする
測定用サンプリングラインに設置されていてもよい。
れる現像成分の濃度を測定するための超音波濃度計が用
いられる。超音波濃度計としては、特に限定することな
く用いられ、要するに測定対象である現像成分の濃度を
正確に測定できるものであればよい。たとえば、用いら
れる周波数は数ＭＨｚであり、接液部はＳＵＳ（ステン
レススチール）又はテフロンなどのフッ素樹脂であり、
温度測定部と超音波送受信部を備え、あらかじめ濃度既
知の現像液を用いて求めた検量線と温度変化補償装置に
より測定時の温度に対する測定値の自動修正ができる機
能を備えているものが好ましい。本発明で用いられる超
音波濃度計は、その測定値を出力信号として発信できる
機能を有するものでなければならない。該出力信号によ
り、現像原液及び／又は純水の混合槽への供給流量を調
節する必要があるからである。超音波濃度計の測定端
は、混合槽内の液中に設置されていてもよく、前記の循
環ラインに設置されていてもよく、更に混合槽内の液の
少量をサンプリングして再度混合槽内にリサイクルする
測定用サンプリングラインに設置されていてもよい。
【００１１】本発明においては、超音波濃度計からの出
力信号により現像原液及び／又は純水の混合槽への供給
流量を調節する流量調節手段を用いる必要がある。該流
量調節手段としては、特に制限はなく、要するに超音波
濃度計からの出力信号として得られる混合槽中の現像液
の現像成分濃度と目的とする現像成分濃度の偏差に応じ
て現像原液及び／又は純水の混合槽への供給流量を調節
する機能を有するものであればよい。また、混合槽に槽
内の液の重量を検出するためのロードセルを設け、該重
量信号と上記の偏差値に基づいて現像原液及び／又は純
水の混合槽への供給流量を調節することにより、一層精
密で迅速な自動制御が可能となる。更に、現像原液及び
純水の混合槽への供給ラインに各流量を検出し該流量を
出力できる機能を有する流量検出装置を設け、上記の重
量、偏差及び該流量の値に基づいて、現像原液及び／又
は純水の混合槽への供給流量を調節することにより、極
めて精密で迅速な自動制御が可能となる。
力信号により現像原液及び／又は純水の混合槽への供給
流量を調節する流量調節手段を用いる必要がある。該流
量調節手段としては、特に制限はなく、要するに超音波
濃度計からの出力信号として得られる混合槽中の現像液
の現像成分濃度と目的とする現像成分濃度の偏差に応じ
て現像原液及び／又は純水の混合槽への供給流量を調節
する機能を有するものであればよい。また、混合槽に槽
内の液の重量を検出するためのロードセルを設け、該重
量信号と上記の偏差値に基づいて現像原液及び／又は純
水の混合槽への供給流量を調節することにより、一層精
密で迅速な自動制御が可能となる。更に、現像原液及び
純水の混合槽への供給ラインに各流量を検出し該流量を
出力できる機能を有する流量検出装置を設け、上記の重
量、偏差及び該流量の値に基づいて、現像原液及び／又
は純水の混合槽への供給流量を調節することにより、極
めて精密で迅速な自動制御が可能となる。
【００１２】本発明においては、上記の方法により得ら
れた所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現像液
は、貯槽に受け入れられて貯留され、必要に応じて貯槽
から抜き出して使用される。
れた所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現像液
は、貯槽に受け入れられて貯留され、必要に応じて貯槽
から抜き出して使用される。
【００１３】なお、本発明の装置の接液部分は、不純物
である金属の混入を防ぐため、テフロンなどのフッ素樹
脂やポリオレフィン系の樹脂などの樹脂材料又は該樹脂
でコーティングされた材料を用いることが好ましい。
である金属の混入を防ぐため、テフロンなどのフッ素樹
脂やポリオレフィン系の樹脂などの樹脂材料又は該樹脂
でコーティングされた材料を用いることが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。攪拌
機を有する容量１ｍ3 の混合槽を準備した。混合槽の内
部及び撹拌機の接液部は全てテフロン製とした。現像原
液及び超純水の各供給ラインはテフロン配管とし、各ラ
インは混合槽へ入る前に合一され、その後ラインミキサ
ーを経て混合槽に結合されている。現像原液及び超純水
の混合槽への各供給ラインには、流量を調節する流量調
節装置として流量調節弁が設けられていおり、該流量調
節弁は超音波濃度計からの出力信号により流量を調節で
きるようにした。超音波濃度計は混合槽内の液の一部を
抜き出すラインに設置し、濃度を測定した後の液は混合
槽に戻した。混合槽からの吐出ラインを設け、調合され
た現像液は貯槽に送液できるようにした。
機を有する容量１ｍ3 の混合槽を準備した。混合槽の内
部及び撹拌機の接液部は全てテフロン製とした。現像原
液及び超純水の各供給ラインはテフロン配管とし、各ラ
インは混合槽へ入る前に合一され、その後ラインミキサ
ーを経て混合槽に結合されている。現像原液及び超純水
の混合槽への各供給ラインには、流量を調節する流量調
節装置として流量調節弁が設けられていおり、該流量調
節弁は超音波濃度計からの出力信号により流量を調節で
きるようにした。超音波濃度計は混合槽内の液の一部を
抜き出すラインに設置し、濃度を測定した後の液は混合
槽に戻した。混合槽からの吐出ラインを設け、調合され
た現像液は貯槽に送液できるようにした。
【００１５】現像原液として水酸化テトラメチルアンモ
ニウムの約１５重量％水溶液を用いた。該現像原液及び
超純水を、上記のラインミキサーで混合した後、混合槽
に供給した。また、混合槽の撹拌機を回転させ、混合槽
内でも十分に攪拌混合した。混合槽内の液の一部を超音
波濃度計を設置したラインに流し、液中の水酸化テトラ
メチルアンモニウム濃度を測定すると共に超音波濃度計
からの出力信号をコントローラーを介して現像原液及び
超純水供給ラインの流量調節装置に送り、流量調節弁の
開度を自動制御することにより現像原液及び超純水の流
量を調整した。その結果、実施時間０．５時間、全調合
量０．８ｍ3 にわたって、混合槽内の現像液濃度は２．
３８１± 重量％に維持され、目標の２．３８０重量％
に対しわずか０．０４％の誤差内で調合することができ
た。しかも、この間の操作はすべて自動化されており、
省力化の点においても極めて優れた方法であることが確
認された。
ニウムの約１５重量％水溶液を用いた。該現像原液及び
超純水を、上記のラインミキサーで混合した後、混合槽
に供給した。また、混合槽の撹拌機を回転させ、混合槽
内でも十分に攪拌混合した。混合槽内の液の一部を超音
波濃度計を設置したラインに流し、液中の水酸化テトラ
メチルアンモニウム濃度を測定すると共に超音波濃度計
からの出力信号をコントローラーを介して現像原液及び
超純水供給ラインの流量調節装置に送り、流量調節弁の
開度を自動制御することにより現像原液及び超純水の流
量を調整した。その結果、実施時間０．５時間、全調合
量０．８ｍ3 にわたって、混合槽内の現像液濃度は２．
３８１± 重量％に維持され、目標の２．３８０重量％
に対しわずか０．０４％の誤差内で調合することができ
た。しかも、この間の操作はすべて自動化されており、
省力化の点においても極めて優れた方法であることが確
認された。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、現
像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維持管理するこ
とができ、かつ迅速で省力的な実施が可能である現像液
調合装置及び現像液調合方法を提供することができた。
像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維持管理するこ
とができ、かつ迅速で省力的な実施が可能である現像液
調合装置及び現像液調合方法を提供することができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｂ 1/00 7531−3Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/027 (72)発明者 中川 則一 千葉県市原市姉崎海岸５の１ 住友化学工 業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 現像原液と純水を混合することにより所
定濃度の現像成分を含有する現像液を得る現像液調合装
置であって、現像原液及び純水を受け入れて混合する手
段を具備した混合槽と、該混合槽内の液に含有される現
像成分の濃度を測定する超音波濃度計と、該超音波濃度
計からの出力信号により現像原液及び／又は純水の混合
槽への供給流量を調節する流量調節手段と、所定濃度の
現像成分を含有する混合槽内の現像液を受け入れて貯留
する貯槽を備えた現像液調合装置。 - 【請求項２】 混合槽内の液の重量を検出するためのロ
ードセルを有する請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 現像原液が水酸化テトラメチルアンモニ
ウムの水溶液である請求項１記載の装置。 - 【請求項４】 現像原液と純水を混合することにより所
定濃度の現像成分を含有する現像液を調合する方法にお
いて、請求項１記載の装置を用い、現像原液及び純水を
混合槽に受け入れて混合し、該混合槽内の液に含有され
る現像成分の濃度を超音波濃度計により測定し、超音波
濃度計からの出力信号を流量調節手段に入力させて現像
原液及び／又は純水の混合槽への供給流量を調節するこ
とにより所定濃度の現像成分を含有する現像液を混合槽
に得、該現像液を貯槽へ供給して貯留する現像液調合方
法。 - 【請求項５】 超音波濃度計からの出力信号及びロード
セルからの出力信号を流量調節手段に入力させる請求項
４記載の方法。 - 【請求項６】 現像原液が水酸化テトラメチルアンモニ
ウムの水溶液である請求項４記載の方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347645A JPH06190256A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 現像液調合装置及び現像液調合方法 |
| EP93308875A EP0605095B1 (en) | 1992-12-28 | 1993-11-05 | Apparatus and method for preparing a developer solution |
| DE69303883T DE69303883T2 (de) | 1992-12-28 | 1993-11-05 | Vorrichtung und Verfahren zur Vorbereitung einer Entwicklerlösung |
| SG1996006763A SG48061A1 (en) | 1992-12-28 | 1993-11-05 | Apparatus and method for preparing a developer solution |
| TW082110876A TW316954B (ja) | 1992-12-28 | 1993-12-22 | |
| KR1019930030211A KR100270946B1 (ko) | 1992-12-28 | 1993-12-28 | 현상액 제조장치 및 현상액 제조방법 |
| CN93121504A CN1090522A (zh) | 1992-12-28 | 1993-12-28 | 显影液的配制装置和方法 |
| US08/338,222 US5476320A (en) | 1992-12-28 | 1994-11-09 | Developer preparing apparatus and developer preparing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347645A JPH06190256A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 現像液調合装置及び現像液調合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06190256A true JPH06190256A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18391628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4347645A Pending JPH06190256A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 現像液調合装置及び現像液調合方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0605095B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06190256A (ja) |
| KR (1) | KR100270946B1 (ja) |
| CN (1) | CN1090522A (ja) |
| DE (1) | DE69303883T2 (ja) |
| SG (1) | SG48061A1 (ja) |
| TW (1) | TW316954B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871494A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Mitsubishi Chem Corp | 色素溶液の自動調製方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI298423B (en) * | 2001-02-06 | 2008-07-01 | Nagase & Co Ltd | Developer producing equipment and method |
| SG110064A1 (en) * | 2003-07-14 | 2005-04-28 | Mitsubishi Gas Chemical Co | Resist developing composition |
| US6872014B1 (en) | 2003-11-21 | 2005-03-29 | Asml Netherlands B.V. | Method for developing a photoresist pattern |
| CN100416413C (zh) * | 2005-12-06 | 2008-09-03 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 多路显影液显影控制信号监视系统 |
| CN106422930A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种高固含量浆料自动化预混系统 |
| CN107300838A (zh) * | 2017-08-08 | 2017-10-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显影液稀释系统 |
| CN109260974A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-01-25 | 无锡金鹏环保技术有限公司 | 一种高效稀释装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921022A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-02 | Nippon Zeon Co Ltd | 半導体用レジスト現像液又はリンス液を容器に充填する方法 |
| JPH067910B2 (ja) * | 1987-02-10 | 1994-02-02 | 日立プラント建設株式会社 | 現像原液の希釈装置 |
| JPH0246464A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Seiko Epson Corp | 現像方法 |
| JP2585784B2 (ja) * | 1989-02-03 | 1997-02-26 | 株式会社東芝 | 自動現像装置および方法 |
| JP3120817B2 (ja) * | 1992-02-04 | 2000-12-25 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 現像液の自動希釈装置 |
| JP2670211B2 (ja) * | 1992-07-10 | 1997-10-29 | 東京応化工業株式会社 | 現像液の調整方法 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4347645A patent/JPH06190256A/ja active Pending
-
1993
- 1993-11-05 EP EP93308875A patent/EP0605095B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-05 DE DE69303883T patent/DE69303883T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-05 SG SG1996006763A patent/SG48061A1/en unknown
- 1993-12-22 TW TW082110876A patent/TW316954B/zh active
- 1993-12-28 KR KR1019930030211A patent/KR100270946B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-12-28 CN CN93121504A patent/CN1090522A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871494A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Mitsubishi Chem Corp | 色素溶液の自動調製方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100270946B1 (ko) | 2001-03-02 |
| KR940015711A (ko) | 1994-07-21 |
| TW316954B (ja) | 1997-10-01 |
| EP0605095B1 (en) | 1996-07-31 |
| EP0605095A1 (en) | 1994-07-06 |
| SG48061A1 (en) | 1998-04-17 |
| CN1090522A (zh) | 1994-08-10 |
| DE69303883T2 (de) | 1996-12-05 |
| DE69303883D1 (de) | 1996-09-05 |
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