JPH06189569A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH06189569A JPH06189569A JP43A JP35453692A JPH06189569A JP H06189569 A JPH06189569 A JP H06189569A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 35453692 A JP35453692 A JP 35453692A JP H06189569 A JPH06189569 A JP H06189569A
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- JP
- Japan
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- stator
- laminated body
- rotor
- elastic member
- ultrasonic motor
- Prior art date
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- Pending
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波モータの小型化を図る
【構成】 ハウジング1には、固定子2を固定する一
方、円筒部31を有する回転子3を回転自在に支持させ
る。固定子2には、2つの腕部22,22を形成する。
腕部22の先端部には、弾性変形部24を形成する。弾
性変形部24の側面24bには、スリット25を形成す
る。スリット25の深さは、弾性変形部24の幅の半分
より深くする。弾性変形部24の外面24aは、中央点
Pが最も外側へ突出するよう円弧面とする。弾性変形部
22,22は、円筒部31に僅かの隙間をもって挿入す
る。2つの弾性変形部24,24間には、多数の圧電変
換素子61を積層した積層体6を挿入配置する。積層体
6の両端面を弾性部材24,24にそれぞれ固着する。
方、円筒部31を有する回転子3を回転自在に支持させ
る。固定子2には、2つの腕部22,22を形成する。
腕部22の先端部には、弾性変形部24を形成する。弾
性変形部24の側面24bには、スリット25を形成す
る。スリット25の深さは、弾性変形部24の幅の半分
より深くする。弾性変形部24の外面24aは、中央点
Pが最も外側へ突出するよう円弧面とする。弾性変形部
22,22は、円筒部31に僅かの隙間をもって挿入す
る。2つの弾性変形部24,24間には、多数の圧電変
換素子61を積層した積層体6を挿入配置する。積層体
6の両端面を弾性部材24,24にそれぞれ固着する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電変換素子を用い
た超音波モータに関する。
た超音波モータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の超音波モータとしては、
特開昭61ー224886号公報に記載のものが知られ
ている。この超音波モータは、ハウジングに固定された
固定子と、ハウジングに回転可能に支持された軸状の回
転子とを備えている。固定子には、圧電変換素子を積層
してなる積層体の一端が固定されいる。この積層体の他
端は回転子の外周に対向しており、そこには弾性部材が
設けられている。
特開昭61ー224886号公報に記載のものが知られ
ている。この超音波モータは、ハウジングに固定された
固定子と、ハウジングに回転可能に支持された軸状の回
転子とを備えている。固定子には、圧電変換素子を積層
してなる積層体の一端が固定されいる。この積層体の他
端は回転子の外周に対向しており、そこには弾性部材が
設けられている。
【0003】上記構成の超音波モータにおいて、圧電変
換素子に電圧を印加すると、圧電変換素子が伸長し、ひ
いては各積層体が伸長する。積層体が伸長すると弾性部
材が回転子の外周に接触する。そして、積層体がさらに
伸長すると、弾性部材が弾性変形し、回転子との接触箇
所が回転子の回転方向へ変位する。この結果、回転子が
微小回転する。したがって、圧電変換素子に高周波電圧
を印加と、回転子は間欠的に連続回転する。
換素子に電圧を印加すると、圧電変換素子が伸長し、ひ
いては各積層体が伸長する。積層体が伸長すると弾性部
材が回転子の外周に接触する。そして、積層体がさらに
伸長すると、弾性部材が弾性変形し、回転子との接触箇
所が回転子の回転方向へ変位する。この結果、回転子が
微小回転する。したがって、圧電変換素子に高周波電圧
を印加と、回転子は間欠的に連続回転する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】超音波モータには、そ
れを小型化したいという要望があったが、次の理由によ
り小型化をするにも限度があった。すなわち、弾性部材
が回転子に押圧接触したとき、弾性部材を支持する固定
子には弾性部材に作用する押圧力と等しい大きさの反力
が作用する。したがって、固定子の強度を高いものにす
る必要がある。しかも、高周波電圧の印加によって圧電
変換素子が高速で伸縮を繰り返すため、圧電変換素子を
積層してなる積層体は、ほとんど振動状態になる。この
ような振動状態の積層体を支持するには、固定子の重量
を大きくしてその慣性を大きくする必要がある。
れを小型化したいという要望があったが、次の理由によ
り小型化をするにも限度があった。すなわち、弾性部材
が回転子に押圧接触したとき、弾性部材を支持する固定
子には弾性部材に作用する押圧力と等しい大きさの反力
が作用する。したがって、固定子の強度を高いものにす
る必要がある。しかも、高周波電圧の印加によって圧電
変換素子が高速で伸縮を繰り返すため、圧電変換素子を
積層してなる積層体は、ほとんど振動状態になる。この
ような振動状態の積層体を支持するには、固定子の重量
を大きくしてその慣性を大きくする必要がある。
【0005】ところが、固定子の強度を大きくし、かつ
その重量を大きくすると、固定子が大型化してしまい、
この結果超音波モータ全体が大型化してしまう。勿論、
固定子の強度および重量を小さくすれば、モータ全体を
小型化することができるが、そのようにすると弾性部材
が回転子に押圧接触したときの押圧力が弱くなってしま
い、回転効率が低下してしまう。
その重量を大きくすると、固定子が大型化してしまい、
この結果超音波モータ全体が大型化してしまう。勿論、
固定子の強度および重量を小さくすれば、モータ全体を
小型化することができるが、そのようにすると弾性部材
が回転子に押圧接触したときの押圧力が弱くなってしま
い、回転効率が低下してしまう。
【0006】この発明は、上記問題を解決するためにな
されたもので、回転効率を低下させることなく、小型化
を達成することができる超音波モータを提供することを
目的とする。
されたもので、回転効率を低下させることなく、小型化
を達成することができる超音波モータを提供することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、ハウジングに固定された固定子と、
ハウジングに変位可能に支持された可動子と、上記固定
子と上記可動子とのいずれか一方に設けられ、印加され
る電圧に応じて伸縮する圧電変換素子が積層された積層
体と、この積層体の伸縮方向を向く端面に設けられ、積
層体の伸長時に上記固定子と上記可動子とのいずれか他
方に押圧接触して弾性変形することにより上記可動子を
変位させる弾性部材とを備えた超音波モータにおいて、
上記弾性部材を上記積層体の伸縮方向を向く両端面にそ
れぞれ設けたことを特徴とするものである。
を達成するために、ハウジングに固定された固定子と、
ハウジングに変位可能に支持された可動子と、上記固定
子と上記可動子とのいずれか一方に設けられ、印加され
る電圧に応じて伸縮する圧電変換素子が積層された積層
体と、この積層体の伸縮方向を向く端面に設けられ、積
層体の伸長時に上記固定子と上記可動子とのいずれか他
方に押圧接触して弾性変形することにより上記可動子を
変位させる弾性部材とを備えた超音波モータにおいて、
上記弾性部材を上記積層体の伸縮方向を向く両端面にそ
れぞれ設けたことを特徴とするものである。
【0008】
【作用】積層体が伸長すると、その両面に設けられた各
弾性部材が、固定子と可動子とのうちの積層体が設けら
れていない他方に突き当たって弾性変形する。各弾性部
材の弾性変形により可動子が変位せしめられる。
弾性部材が、固定子と可動子とのうちの積層体が設けら
れていない他方に突き当たって弾性変形する。各弾性部
材の弾性変形により可動子が変位せしめられる。
【0009】このように、各弾性部材はそれぞれ弾性変
形するが、各弾性部材が積層体の両端面に設けられてい
るので、一方の弾性部材を変形させる押圧力と他方の弾
性部材を変形させる押圧力とは相殺される。したがっ
て、固定子と可動子とのうちの積層体を支持する一方
に、弾性部材を変形させる押圧力が作用することはな
い。よって、当該一方の強度を高くする必要がない。ま
た、当該一方は、積層体の振動を受けることがなく、し
たがって当該一方の重量を大きくする必要がない。
形するが、各弾性部材が積層体の両端面に設けられてい
るので、一方の弾性部材を変形させる押圧力と他方の弾
性部材を変形させる押圧力とは相殺される。したがっ
て、固定子と可動子とのうちの積層体を支持する一方
に、弾性部材を変形させる押圧力が作用することはな
い。よって、当該一方の強度を高くする必要がない。ま
た、当該一方は、積層体の振動を受けることがなく、し
たがって当該一方の重量を大きくする必要がない。
【0010】
【実施例】以下、この発明の実施例について図1〜図3
を参照して説明する。まず、図1および図2に基づいて
この発明の一実施例について説明するに、図1はこの発
明に係る回転型超音波モータAを示すものであり、図1
(A)はその縦断面図、図1(B)は図1(A)のX−
X矢視断面図である。
を参照して説明する。まず、図1および図2に基づいて
この発明の一実施例について説明するに、図1はこの発
明に係る回転型超音波モータAを示すものであり、図1
(A)はその縦断面図、図1(B)は図1(A)のX−
X矢視断面図である。
【0011】図1に示すように、この超音波モータA
は、ハウジング1、固定子2および回転子(可動子)3
を主な構成要素としている。ハウジング1は、底部11
aを有する円筒状の本体11と、この本体11の開口部
を覆う蓋体12とから構成されている。本体11の底部
11aの中央部には、貫通孔11bが形成されている。
一方、蓋体12の外面中央部には、突出部12aが形成
され、内部には内面から突出部12aの先端面まで貫通
する支持孔12bが形成されている。
は、ハウジング1、固定子2および回転子(可動子)3
を主な構成要素としている。ハウジング1は、底部11
aを有する円筒状の本体11と、この本体11の開口部
を覆う蓋体12とから構成されている。本体11の底部
11aの中央部には、貫通孔11bが形成されている。
一方、蓋体12の外面中央部には、突出部12aが形成
され、内部には内面から突出部12aの先端面まで貫通
する支持孔12bが形成されている。
【0012】回転子3は、互いに同心でかつ一体に形成
された円筒部31と軸部32とからなるものであり、円
筒部31はその開口部を底部11a側に向けてハウジン
グ1内に配置されている。一方、軸部32は、支持孔1
2bに挿通され、軸受4,4を介して蓋体12に回転自
在に支持されている。勿論、回転子3は、その軸線をハ
ウジング1の軸線Lに一致させて配置されている。
された円筒部31と軸部32とからなるものであり、円
筒部31はその開口部を底部11a側に向けてハウジン
グ1内に配置されている。一方、軸部32は、支持孔1
2bに挿通され、軸受4,4を介して蓋体12に回転自
在に支持されている。勿論、回転子3は、その軸線をハ
ウジング1の軸線Lに一致させて配置されている。
【0013】固定子2は、直方体状をなす基部21と、
この基部21の両側部から互いに同方向へ平行に延び出
す2つの腕部22とからなるものであり、基部21の中
央部には、腕部22と逆方向に突出するねじ部23が形
成されている。そして、ねじ部23が上記貫通孔11b
に挿通され、ナット5によってハウジング1に固定され
ている。
この基部21の両側部から互いに同方向へ平行に延び出
す2つの腕部22とからなるものであり、基部21の中
央部には、腕部22と逆方向に突出するねじ部23が形
成されている。そして、ねじ部23が上記貫通孔11b
に挿通され、ナット5によってハウジング1に固定され
ている。
【0014】腕部22は、その先端部が回転子3の円筒
部31に挿入されており、そこには回転子3を回転させ
るための弾性変形部(弾性部材)24が腕部22と一体
に形成されている。弾性変形部24は、円筒部31の内
周面に押圧接触して変形することにより、回転子3を回
転させるためのものであり、次のように構成されてい
る。
部31に挿入されており、そこには回転子3を回転させ
るための弾性変形部(弾性部材)24が腕部22と一体
に形成されている。弾性変形部24は、円筒部31の内
周面に押圧接触して変形することにより、回転子3を回
転させるためのものであり、次のように構成されてい
る。
【0015】すなわち、円筒部31の内周面と対向する
弾性変形部24の外面24aは、円筒部31の内周面の
半径より小さな曲率半径を有する円弧面によって形成さ
れており、図1(B)に示すように、当該円弧面は、弾
性変形部24の幅方向における中央点Pが円筒部31の
内周面に最も接近するように配置されている。なお、中
央点Pと円筒部31の内周面との間の距離をDとしたと
き、距離Dは、 0<D≦0.5μm 程度に設定するのがよい。
弾性変形部24の外面24aは、円筒部31の内周面の
半径より小さな曲率半径を有する円弧面によって形成さ
れており、図1(B)に示すように、当該円弧面は、弾
性変形部24の幅方向における中央点Pが円筒部31の
内周面に最も接近するように配置されている。なお、中
央点Pと円筒部31の内周面との間の距離をDとしたと
き、距離Dは、 0<D≦0.5μm 程度に設定するのがよい。
【0016】また、弾性変形部24の一側面24bに
は、スリット25が形成されている。このスリット25
が形成されることにより、弾性変形部24が変形可能に
なっている。この場合、このスリット25の長さは、弾
性変形部24の円筒部31への挿入長さより長くなって
おり、スリット25の深さは、弾性変形部24の幅の半
分より深くなっている。したがって、中央点Pが円筒部
31の内周面に押圧接触すると、弾性変形部24は、図
2(C)に示すように、スリット25の側面24b側の
幅が狭くなるように変形する。そして、このように変形
すると、中央点Pが側面24b側へ変位することにな
る。
は、スリット25が形成されている。このスリット25
が形成されることにより、弾性変形部24が変形可能に
なっている。この場合、このスリット25の長さは、弾
性変形部24の円筒部31への挿入長さより長くなって
おり、スリット25の深さは、弾性変形部24の幅の半
分より深くなっている。したがって、中央点Pが円筒部
31の内周面に押圧接触すると、弾性変形部24は、図
2(C)に示すように、スリット25の側面24b側の
幅が狭くなるように変形する。そして、このように変形
すると、中央点Pが側面24b側へ変位することにな
る。
【0017】上記のように構成された2つの弾性変形部
24は、図1(B)に示すように、軸線Lに関して点対
称になるように配置されている。
24は、図1(B)に示すように、軸線Lに関して点対
称になるように配置されている。
【0018】上記弾性変形部24,24間には、積層体
6が装着されている。積層体6は、印加される電圧に応
じて伸縮する圧電変換素子61を複数個積層してなるも
のであり、外側に位置する2つの圧電変換素子61,6
1が弾性変形部24,24の内面に接着等の手段によっ
てそれぞれ固着されている。積層体6の最も外側に位置
する2つの圧電変換素子61,61は、高周波電源(図
示せず)に接続されており、外側の圧電変換素子61,
61間に所定の電圧を印加すると、積層体6が円筒部3
1の内周面と中央点Pとの間の隙間の2倍以上の長さを
もって伸長するようになっている。したがって、圧電変
換素子61,61に所定の電圧を印加すると、中央点
P,Pが回転子3の円筒部31の内周面にそれぞれ突き
当たることになる。しかも、弾性変形部24,24が軸
線Lに関して点対称に配置されているので、中央点P,
Pは、円筒部31の内周面に同時に突き当たる。
6が装着されている。積層体6は、印加される電圧に応
じて伸縮する圧電変換素子61を複数個積層してなるも
のであり、外側に位置する2つの圧電変換素子61,6
1が弾性変形部24,24の内面に接着等の手段によっ
てそれぞれ固着されている。積層体6の最も外側に位置
する2つの圧電変換素子61,61は、高周波電源(図
示せず)に接続されており、外側の圧電変換素子61,
61間に所定の電圧を印加すると、積層体6が円筒部3
1の内周面と中央点Pとの間の隙間の2倍以上の長さを
もって伸長するようになっている。したがって、圧電変
換素子61,61に所定の電圧を印加すると、中央点
P,Pが回転子3の円筒部31の内周面にそれぞれ突き
当たることになる。しかも、弾性変形部24,24が軸
線Lに関して点対称に配置されているので、中央点P,
Pは、円筒部31の内周面に同時に突き当たる。
【0019】次の、上記構成の超音波モータAの作用に
ついて説明する。図2(A)に示すように、積層体6が
伸長していない初期状態では、中央点P,Pが円筒部3
1の内周面から離れている。圧電変換素子61に電圧を
印加して積層体3を伸長させると、図2(B)に示すよ
うに、中央点P,Pが円筒部31の内周面に突き当た
る。
ついて説明する。図2(A)に示すように、積層体6が
伸長していない初期状態では、中央点P,Pが円筒部3
1の内周面から離れている。圧電変換素子61に電圧を
印加して積層体3を伸長させると、図2(B)に示すよ
うに、中央点P,Pが円筒部31の内周面に突き当た
る。
【0020】積層体3がさらに伸長すると、中央点P,
Pが円筒部31の内周面を押圧する。換言すれば、中央
点P,Pは、円筒部31の内周面により互いに接近する
方向へ押圧される。すると、図2(C)に示すように、
スリット25の側面24b側の幅が狭くなるように弾性
変形部24が変形する。この変形により、中央点P,P
が側面24b,24b側へ向かって変位する。このと
き、中央点P,Pが円筒部31の内周面に接触した状態
を維持しつつ変位するので、円筒部31が中央点P,P
の変位に追随して図2(C)の矢印方向へ回転する。
Pが円筒部31の内周面を押圧する。換言すれば、中央
点P,Pは、円筒部31の内周面により互いに接近する
方向へ押圧される。すると、図2(C)に示すように、
スリット25の側面24b側の幅が狭くなるように弾性
変形部24が変形する。この変形により、中央点P,P
が側面24b,24b側へ向かって変位する。このと
き、中央点P,Pが円筒部31の内周面に接触した状態
を維持しつつ変位するので、円筒部31が中央点P,P
の変位に追随して図2(C)の矢印方向へ回転する。
【0021】次に、圧電変換素子61,61への電圧の
印加を中断すると、積層体6が縮んで初期状態に戻る。
その後、再度電圧を印加すると、上記と同様にして回転
子3が回転する。したがって、圧電変換素子61,61
に高周波電圧を印加すると、回転子3は間欠的に連続回
転する。なお、圧電変換素子61に印加する高周波電圧
の周波数は、通常、20Hz程度若しくはそれ以上にす
るのがよい。
印加を中断すると、積層体6が縮んで初期状態に戻る。
その後、再度電圧を印加すると、上記と同様にして回転
子3が回転する。したがって、圧電変換素子61,61
に高周波電圧を印加すると、回転子3は間欠的に連続回
転する。なお、圧電変換素子61に印加する高周波電圧
の周波数は、通常、20Hz程度若しくはそれ以上にす
るのがよい。
【0022】ここで、上記の高周波モータAにおいて
は、2つの弾性変形部24,24が円筒部31の内周面
に突き当たるので、各弾性変形部24を変形させる押圧
力は相殺される。したがって、弾性変形部24を弾性変
形させる押圧力が腕部22に作用することはない。よっ
て、固定子2の強度を高めたる必要がない。しかも、積
層体6はそれ自体の中心を基点として振動するのであ
り、腕部22を振動の基点としていない。したがって、
固定子2の重量を大きくする必要がない。このように、
固定子2の強度および重量を大きくする必要がないの
で、それを小型化することができ、ひいては超音波モー
タAを小型化することができる。また、固定子2を小型
化したとしても、それが押圧力を受けたり、振動を受け
たりすることがないので、回転効率が低下することはな
い、。
は、2つの弾性変形部24,24が円筒部31の内周面
に突き当たるので、各弾性変形部24を変形させる押圧
力は相殺される。したがって、弾性変形部24を弾性変
形させる押圧力が腕部22に作用することはない。よっ
て、固定子2の強度を高めたる必要がない。しかも、積
層体6はそれ自体の中心を基点として振動するのであ
り、腕部22を振動の基点としていない。したがって、
固定子2の重量を大きくする必要がない。このように、
固定子2の強度および重量を大きくする必要がないの
で、それを小型化することができ、ひいては超音波モー
タAを小型化することができる。また、固定子2を小型
化したとしても、それが押圧力を受けたり、振動を受け
たりすることがないので、回転効率が低下することはな
い、。
【0023】次に、この発明の他の実施例について説明
する。図3(A),(B)はこの発明に係るリニア型の
超音波モータBを示すものであり、この超音波モータB
においては、棒状をなす可動子7が用いられている。こ
の場合、可動子7の断面形状は円形であるが、四角形の
ものが用いられることもある、可動子7は、その軸線を
ハウジング(図示せず)の軸線Lと一致させて軸線L方
向へ移動自在に支持されている。また、可動子7には、
その長手方向へ延びる長孔71が形成されている。長孔
71は、その中心線を軸線Lと一致させて形成されてい
る。
する。図3(A),(B)はこの発明に係るリニア型の
超音波モータBを示すものであり、この超音波モータB
においては、棒状をなす可動子7が用いられている。こ
の場合、可動子7の断面形状は円形であるが、四角形の
ものが用いられることもある、可動子7は、その軸線を
ハウジング(図示せず)の軸線Lと一致させて軸線L方
向へ移動自在に支持されている。また、可動子7には、
その長手方向へ延びる長孔71が形成されている。長孔
71は、その中心線を軸線Lと一致させて形成されてい
る。
【0024】上記長孔71内には、固定子2′が挿入さ
れている、この固定子2′は、スリット25,25が弾
性変形部24,24の同一方向を向く側面24b,24
bに形成されている点以外、上記固定子2と同様に構成
されている。そこで、同様な部分には同一符号を付して
その説明を省略する。
れている、この固定子2′は、スリット25,25が弾
性変形部24,24の同一方向を向く側面24b,24
bに形成されている点以外、上記固定子2と同様に構成
されている。そこで、同様な部分には同一符号を付して
その説明を省略する。
【0025】上記の超音波モータBにおいては、積層体
6を伸長させて中央点P,Pを長孔71の内面に突き当
てると、中央点P,Pが矢印方向へ変位する。これによ
って、可動子7も同方向へ移動する。
6を伸長させて中央点P,Pを長孔71の内面に突き当
てると、中央点P,Pが矢印方向へ変位する。これによ
って、可動子7も同方向へ移動する。
【0026】なお、この発明は、上記の実施例に限定さ
れるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲において適
宜変更可能である。例えば、図1に示す実施例におい
て、固定子2をハウジング1に回転自在に設けて回転子
とする一方、回転子3をハウジング1に固定して固定子
(可動子)としてもよい。この場合には、積層体6が回
転子に設けられることになる。なお、固定子および可動
子とハウジングとの関係を逆にしてよいことは、図3に
示す実施例においても同様である。
れるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲において適
宜変更可能である。例えば、図1に示す実施例におい
て、固定子2をハウジング1に回転自在に設けて回転子
とする一方、回転子3をハウジング1に固定して固定子
(可動子)としてもよい。この場合には、積層体6が回
転子に設けられることになる。なお、固定子および可動
子とハウジングとの関係を逆にしてよいことは、図3に
示す実施例においても同様である。
【0027】また、上記の実施例においては、弾性部材
たる弾性変形部24を固定子2の腕部22に一体に形成
しているが、弾性部材を固定子2と別体に形成してもよ
い。例えば、固定子2を板状のものとする一方、積層体
6をその伸縮方向において2分し、各半部を固定子2の
各面に固定する。そして、各半部の固定子2側と逆側の
端面に積層体をそれぞれ固着する。また、弾性部材とし
て弾性変形部24と異なる形状のものを用いてもよいの
は勿論である。
たる弾性変形部24を固定子2の腕部22に一体に形成
しているが、弾性部材を固定子2と別体に形成してもよ
い。例えば、固定子2を板状のものとする一方、積層体
6をその伸縮方向において2分し、各半部を固定子2の
各面に固定する。そして、各半部の固定子2側と逆側の
端面に積層体をそれぞれ固着する。また、弾性部材とし
て弾性変形部24と異なる形状のものを用いてもよいの
は勿論である。
【0028】さらに、図3に示す実施例の超音波モータ
Bにおいては、固定子2の一端部をハウジングに固定し
た片持ち構造になっているが、図3(B)において想像
線で示すように、固定子2を左右対称に形成し、両持構
造にしてもよい。
Bにおいては、固定子2の一端部をハウジングに固定し
た片持ち構造になっているが、図3(B)において想像
線で示すように、固定子2を左右対称に形成し、両持構
造にしてもよい。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の超音波
モータによれば、弾性部材を上記積層体の伸縮方向にお
ける両外面にそれぞれ設けているから、回転効率を低下
させることなく、超音波モータを小型化することができ
るという効果が得られる。
モータによれば、弾性部材を上記積層体の伸縮方向にお
ける両外面にそれぞれ設けているから、回転効率を低下
させることなく、超音波モータを小型化することができ
るという効果が得られる。
【図1】この発明の一実施例を示す図であって、図1
(A)はその縦断面図であり、図1(B)は図1(A)
のX−X矢視断面図である。
(A)はその縦断面図であり、図1(B)は図1(A)
のX−X矢視断面図である。
【図2】図1に示す実施例の作用を説明するための図で
あって、図2(A)は積層体が伸長していない初期状態
を示す図であり、図2(B)は積層体が伸長して中央点
Pが回転子の円筒部の内周面に突き当たった状態を示す
図であり、図2(C)は積層体がさらに伸長して回転子
が回転した状態を示す図である。
あって、図2(A)は積層体が伸長していない初期状態
を示す図であり、図2(B)は積層体が伸長して中央点
Pが回転子の円筒部の内周面に突き当たった状態を示す
図であり、図2(C)は積層体がさらに伸長して回転子
が回転した状態を示す図である。
【図3】この発明の他の実施例を示す図であって、図3
(A)はその一部を省略して示す縦断面図であり、図3
(B)は図3(A)のY−Y矢視断面図である。
(A)はその一部を省略して示す縦断面図であり、図3
(B)は図3(A)のY−Y矢視断面図である。
A 超音波モータ B 超音波モータ 1 ハウジング 2 固定子 2′ 固定子 3 回転子(可動子) 6 積層体 7 可動子 24 弾性変形部(弾性部材) 61 圧電変換素子
Claims (1)
- 【請求項1】 ハウジングに固定された固定子と、ハウ
ジングに変位可能に支持された可動子と、上記固定子と
上記可動子とのいずれか一方に設けられ、印加される電
圧に応じて伸縮する圧電変換素子が積層された積層体
と、この積層体の伸縮方向を向く端面に設けられ、積層
体の伸長時に上記固定子と上記可動子とのいずれか他方
に押圧接触して弾性変形することにより上記可動子を変
位させる弾性部材とを備えた超音波モータにおいて、上
記弾性部材を上記積層体の伸縮方向を向く両端面にそれ
ぞれ設けたことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP43A JPH06189569A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP43A JPH06189569A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06189569A true JPH06189569A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18438214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP43A Pending JPH06189569A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06189569A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19581786C1 (de) * | 1994-09-22 | 1999-09-16 | Zexel Corp | Kraftstoffeinspritzventil |
WO2003036786A3 (de) * | 2001-10-22 | 2003-10-30 | Creaholic Sa | Piezoelektrischer antrieb |
US7105987B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-09-12 | Miniswys S.A. | Piezoelectric motor and method for actuating same |
US7187103B2 (en) | 2001-06-06 | 2007-03-06 | Miniswys Sa | Piezoelectric drive |
JP2010259182A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Nikon Corp | モータ装置、回転子の駆動方法及び軸部材の駆動方法 |
US7932660B2 (en) * | 2008-05-12 | 2011-04-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
-
1992
- 1992-12-16 JP JP43A patent/JPH06189569A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19581786C1 (de) * | 1994-09-22 | 1999-09-16 | Zexel Corp | Kraftstoffeinspritzventil |
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US7075212B2 (en) | 2001-10-22 | 2006-07-11 | Miniswys Ag | Piezoelectric motor |
US7105987B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-09-12 | Miniswys S.A. | Piezoelectric motor and method for actuating same |
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JP2010259182A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Nikon Corp | モータ装置、回転子の駆動方法及び軸部材の駆動方法 |
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